KR101097621B1 - 튜브 디바이스 및 그 튜브 디바이스를 포함하는 배관시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체제조장치나 액정장치, 화학약품제조장치, 식품생산라인 등에 이용되는 튜브디바이스 및 그 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템에 관한 것으로서, 튜브 디바이스는, 케이싱과 유니언 너트를 구비하며, 상기 케이싱은, 합성수지제의 튜브와, 상기 튜브의 단부를 받아들이는 주둥이부(8)와 상기 주둥이부 내에 설치된 적어도 1개의 시일면(42)을 각각 구비한 1쌍의 합성수지제의 덮개부재(5)와, 상기 튜브의 직경확대부(43)가 형성된 일단부 및 타단부에 각각 외부에서 끼워지는 동시에, 상기 덮개부재의 상기 주둥이부를 구비한 일단부에 각각 나사결합되는 1쌍의 합성수지제의 유니언너트(6)를 구비하고, 상기 덮개부재(5)는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부(A)와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(B)와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(C)를 구비하며, 상기 유니언너트는, 상기 덮개부재의 일단부로의 나사 전진에 의한 체결에 의해 상기 튜브를 외측으로부터 밀어누르고, 이 밀어누름작용에 의해 상기 튜브의 직경확대부(43)와 상기 덮개부재의 시일면(42)이 밀착함으로써 적어도 1군데에 시일부(44)가 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

튜브 디바이스 및 그 튜브 디바이스를 포함하는 배관시스템{TUBE DEVICE AND PLUMBING SYSTEM HAVING THE TUBE DEVICE}

본 발명은 반도체 제조장치나 액정장치, 화학약품 제조장치, 식품생산라인 등에 이용되는 튜브 디바이스 및 그 튜브 디바이스를 포함하는 배관시스템에 관한 것이다.

반도체장치나 액정장치, 화학약품 제조장치, 식품 생산라인 등의 배관시스템은 각각의 용도에 따라서 보다 완전성이 요구되고 있다. 예를 들면 반도체 제조장치의 배관시스템에 있어서, 반도체 디바이스의 고집적화에 동반하여 반도체웨트 프로세스의 솔루션의 하나인 각종 세정장치에 있어서의 세정 공정수는 점점 증가 일로를 걷는 것에서 세정의 청정도도 점점 완전성이 요구되고 있다. 이 때문에 세정장치에 초순수나 약액으로 이루어지는 세정액을 청정하게 공급하는 기술로의 요구는 점점 엄격해지고 있다. 현재 약액은 약액공급시스템 중 조합, 희석, 수송의 프로세스에서 오염을 받고 있는데, 웨이퍼클린도로서는, 서브쿼터미크롱시대에 대응할 필요가 있다. 약액공급시스템으로서는, 대량조정방식이 알려져 있다. 약액은 받아들임조로부터 희석조합조에 펌프수송되고, 소요의 조성이나 농도로 조정되며, 공급조로부터 장거리배관에 의하여 펌프수송되며, 웨트스테이션의 저장조에 펌프수송되고, 또한 펌프와 필터를 거쳐서 세정조에 공급되는 방식이다(예를 들면 일본국ㆍ특개2000-265945호 공보나 일본국ㆍ특개평11-70328호 공보 참조.)

이 종류의 반도체제조장치 등의 배관시스템에 적용되는 각종 튜브디바이스 중의 하나로서 예를 들면 도 19, 도 20에 나타내는 바와 같은 열교환기가 있다. 이 열교환기는 열교환튜브(70)가 통과되는 케이싱(71)이 충분한 시일성을 확보함으로써 적당한 정도의 내압에 견딜 수 있도록 구성되어 있다. 이 열교환기는 케이싱(1)의 본체를 구성하는 원통상의 셀(72)의 외주에 복수개의 타이로드나 통과볼트 등의 금속제 체결부재(73)를 그 긴쪽방향을 따르도록 서로 평행하게 배치하는 동시에, 해당 금속제 체결부재(73)의 양단부를 셀(72)의 양단부에 배치되는 덮개부재(74)에 삽입통과하고, 해당 덮개부재(74)로부터 돌출하는 금속제 체결부재(74)의 양단의 숫나사부에 너트(75)를 조여넣음으로써 셀(72)의 양단부와 덮개부재(74)의 맞댐면간이 밀착상으로 시일되고, 이에 따라 케이싱(71)이 밀봉상으로 구성된다는 것이다(예를 들면 일본국ㆍ특개평10-160362호 공보 참조.). 또 상기 셀(72)의 양단부와 덮개부재(74)의 맞댐면간에는 시일부재인 O링(76)이 개재되어 있다(상기의 일본국ㆍ특개평10-160362호 공보 참조.).

그러나 대량조정방식의 상기 약액공급시스템에서는 저장조ㆍ배관ㆍ이음매ㆍ펌프ㆍ열교환기ㆍ프로미터ㆍ필터ㆍ탈기모듈 등 모든 디바이스의 구성부품의 각종 접액부 등으로부터의 파티클이나 메탈컨테머네이션의 발생이 문제시되고 있다.

한편 반도체웨이퍼 등을 세정하는 기판세정장치의 고속세정화에 동반하는 장치 전체의 대규모화나 복잡화가 문제시되고 있으며, 특히 각종 디바이스가 비치되어 이루어지는 배관시스템은 클린룸에 설치되는 관계에서 소형화, 콤팩트화가 요구된다.

각종 튜브디바이스에서는 메탈재를 사용하는 경우가 많기 때문에 메탈컨테머네이션을 발생시키고 있는 동시에, 디바이스 형상이 고정화되어 있었기 때문에 배관시스템 설계의 자유도가 작고, 배관의 데드 스페이스가 발생하기 쉬우며, 배관시스템이 대형으로 되는 경향이고, 세정장치 등의 기계장치도 포함하여 콤팩트화 또는 저렴화에 한도가 있었다. 또 기존에 이루어진 배관시스템의 개조요구에 대하여 유연하게 대응 가능한 형상의 디바이스가 존재하지 않아서 배관시스템개조에는 스페이스상의 제약이 많았다.

또 셀(72)의 양단부와 덮개부재(74)가 복수개의 타이로드나 통과볼트 등의 금속제 체결부재(73)와 너트(75)의 조여넣음에 의하여 시일되는 상기 열교환기(튜브디바이스)에서는 시일하기 위한 부품수가 많아서 비용상승, 케이싱구조의 대형화를 초래할 뿐만 아니라 금속제 체결부재(73)는 황산분위기 등에 드러내어지는 장소에 배치된 경우 부식하기 쉬우며, 또 금속오염을 피할 수 없기 때문에 근래 특히 반도체업계에서는 사용제한의 요구가 높다.

또 금속제 체결부재(73)의 체결의 느슨함에 대하여 금속제 체결부재(73)를 정기적으로 꽉 조일 필요가 있는데, 통상 금속제 체결부재(73)는 복수개, 적어도 4개 이상이기 때문에 각 금속제 체결부재(73)를 꽉 조이는 정도에 흐트러짐이 발생하기 쉽고, 이 흐트러짐에 의해 덮개부재(74)나 셀(72)의 변형을 초래할 염려가 있었다. 덮개부재(74)나 셀(72)의 변형이 발생하면 셀(72)의 단부와 덮개부재(74)의 사이에 비틀림이나 변형이 발생하기 때문에 국부적인 응력집중이 발생하여 크리프의 진행을 조장하는 문제가 있다. 또 금속제 체결부재(73)의 금속제 타일로드와 금속제 타이로드시스의 중심축이 일치하지 않고, 양자가 맞스쳐서 슬라이딩저항이 증대하며, 또한 금속가루를 포함하는 마모가루의 발생원인으로 된다는 문제도 있었다. 또한 셀(72)이나 덮개부재(74)의 변형이 발생한 경우 이들 부재교환이 필요하게 되는데, 이들 부재는 통상 절삭품이며, 비교적 고가이기도 하기 때문에 케이싱구조의 교환을 실시하여 디바이스요소(예를 들면 열교환튜브(70))를 계속 이용한다는 재이용이 어려운 구조이었다.

셀(72)의 양단부와 덮개부재(74)의 맞댐면간에 시일부재로서 O링(76)을 개재시키는 접속구조의 상기 열교환기에서는 O링(76)을 사용하기 때문에 내식성이나 사용온도범위에 제한이 있다. 예를 들면 O링(76)에 접하는 공간에는 고온의 약액을 연통시킬 수 없다. 또 O링(76)의 먼지발생에 의한 오염이 문제로 되는 일도 있다. 따라서 근래 반도체업계에서는 이와 같은 O링(76)의 사용제한의 요구가 높다.

또 이 종류의 열교환기가 약액 등에 사용된 경우, 그 셀(72)이나 덮개부재(74) 등의 구성부재에는 내부식성이 우수한 PTFE나 PFA 등의 불소수지가 사용되는 일이 많는데, 불소수지는 윤활성이 높기 때문에 셀(72)과 덮개부재(74)의 사이의 접속부가 배관의 진동이나 열의 영향으로 크리프하고, 이에 따라 타이로드나 통과볼트 등 금속제 체결부재(73)의 느슨함이 발생하여 셀(72)의 양단의 접속부로부터 유체누설이 발생하는 문제가 있었다.

셀(72)과 덮개부재(74)의 사이의 케이싱접속구조로서는, 그 밖에 나사시일이나 용접이 채용되는 일이 있는데, 그다지 효과적이지는 않다. 즉 단순한 나사에 의한 접속시일구조에서는 높은 시일성을 얻을 수 없고, 내압성이 충분하지 않으며, 또한 크리프에 의한 누설이 발생하기 쉽다. 또 용접은 일반적으로 숙련기술을 필요로 하고, 용이한 작업은 아니기 때문에 생산효율이 낮은 동시에 현장작업성이 나쁘고, 현장에서의 보수ㆍ점검이 곤란하다는 문제가 있다.

본 발명은 이와 같은 제 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 금속제 체결부재 등의 금속재를 사용하지 않고, 모든 구성부재를 합성수지제의 것으로 하는 것을 가능하게 함으로써 메탈녹아나옴이나 금속마모가루발생의 문제를 해소할 수 있는 반도체제조장치 등에 가장 적합한 튜브디바이스 및 이 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템을 제공하는 것에 있다.

또 본 발명의 목적은 각종 디바이스의 슬림화, 배관시스템의 소형화, 콤팩트화를 꾀할 수 있는 반도체제조장치 등에 가장 적합한 튜브디바이스 및 이 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템을 제공하는 것에 있다.

또한 본 발명의 목적은, 타이로드나 통과볼트 등의 금속제 체결부재 및 O링을 이용하는 일 없이 부품수의 감소, 비용저감을 꾀할 수 있는 동시에, 내압성이 높은 케이싱구조 및 신뢰성이 높은 시일구조를 갖는 반도체제조장치 등에 가장 적합한 튜브디바이스 및 이 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템을 제공하는 것에 있다.

또 본 발명의 다른 목적은, 그 구성부재를 모두 불소수지로 구성해도 높은 시일성을 확보할 수 있는 동시에, 내약품성 분위기로의 적용, 설치가 가능하게 되는 튜브디바이스 및 이 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 튜브디바이스는, 케이싱과, 상기 케이싱에 비치되어 있는 디바이스요소를 포함하는 튜브디바이스로서, 상기 케이싱은, 합성수지제의 튜브와, 상기 튜브의 단부를 받아들이는 주둥이부와 상기 주둥이부 내에 설치된 적어도 1개의 시일면을 각각 구비한 1쌍의 합성수지제의 덮개부재와, 상기 튜브의 직경확대부가 형성된 일단부 및 타단부에 각각 외부에서 끼워지는 동시에, 상기 덮개부재의 상기 주둥이부를 구비한 일단부에 각각 나사결합되는 1쌍의 합성수지제의 유니언너트를 구비하고, 상기 덮개부재는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부를 구비하며, 상기 유니언너트는 상기 덮개부재의 일단부로의 나사 전진에 의한 체결에 의해 상기 튜브를 외측으로부터 밀어누르고, 이 밀어누름작용에 의해 상기 튜브의 직경확대부와 상기 덮개부재의 시일면이 밀착함으로써 적어도 1군데에 시일부가 형성되는 것을 특징으로 하며, 이에 따라 상기 목적을 달성할 수 있다.

본 발명의 배관시스템은, 배관로와, 상기 배관로의 도중에 개입되어 있는 튜브디바이스를 포함하는 반도체장치 등의 배관시스템으로서, 상기 튜브디바이스는, 케이싱과, 상기 케이싱에 비치된 디바이스요소를 구비하고, 상기 케이싱은, 합성수지제의 튜브와, 상기 튜브의 단부를 받아들이는 주둥이부와 상기 주둥이부내에 설치된 적어도 1개의 시일면을 각각 구비한 1쌍의 합성수지제의 덮개부재와, 상기 튜브의 직경확대부가 형성된 일단부 및 타단부에 각각 외부에서 끼워지는 동시에, 상기 덮개부재의 상기 주둥이부를 구비한 일단부에 각각 나사결합되는 1쌍의 합성수지제의 유니언너트를 구비하고, 상기 덮개부재는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부를 구비하며, 상기 유니언너트는 상기 덮개부재의 일단부로의 나사전진에 의한 체결에 의해 상기 튜브를 외측으로부터 밀어누르고, 이 밀어누름작용에 의해 상기 튜브의 직경확대부와 상기 덮개부재의 시일면이 밀착함으로써 적어도 1군데에 시일부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 금속제 체결부재 등의 금속재를 전혀 사용하지 않기 때문에 메탈녹아나옴이나 금속마모가루발생의 문제를 해소할 수 있다.

또한, 유니언너트의 체결에 따르면, 튜브의 단부의 외측 전체둘레를 균등하게 밀어누를 수 있기 때문에 튜브나 덮개부재의 뜻밖의 변형을 초래하는 일이 없어진다. 따라서 이들 부재의 크리프나 교환의 문제를 해소할 수 있다.

유니언너트의 체결을 느슨하게 함으로써 튜브의 단부로부터 덮개부재를 간단히 떼어낼 수 있기 때문에 튜브내에 체류하는 체류물의 제거를 용이하게 실시할 수 있다.

또 이 배관시스템의 배관로에 개입되는 튜브디바이스는 유니언너트의 체결에 의한 것만으로 튜브에 내압이 가해져도 충분히 기밀을 유지할 수 있어서 유체누설을 방지할 수 있기 때문에 종래와 같이 O링을 사용하지 않고도 완료되며, 모든 구성부재를 불소수지로 성형하는 것으로 고온, 부식성이 강한 약액에도 잘 대응할 수 있어서 내약품성 분위기로의 적용, 설치가 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 배관시스템의 한 예인 약액공급배관시스템을 포함하는 반도체웨이퍼(기판)세정장치의 전체구성을 나타내는 개략단면도.
도 2는 도 1에 나타내어진 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 한 예인 열교환기의 단면도.
도 3은 도 2의 열교환기의 튜브단부와 덮개부재의 접속구조의 확대단면도.
도 4는 도 2의 열교환기의 열교환튜브의 다른 예를 도 3에 상응하여 나타내는 단면도.
도 5는 도 2의 열교환기의 열교환튜브의 다른 예를 도 3에 상응하여 나타내는 단면도.
*도 6은 도 2의 열교환기의 열교환튜브의 또다른 예를 도 3에 상응하여 나타내는 단면도.
도 7은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 다른 예인 필터디바이스의 단면도.
도 8은 본 발명의 실시형태의 필터디바이스의 다른 예를 나타내는 단면도.
도 9는 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 다른 예인 초음파식 유량계의 단면도.
도 10은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 또다른 예인 수동식 탈기디바이스의 단면도.
도 11은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 또다른 예인 자동식 탈기디바이스의 단면도.
도 12는 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 또다른 예인 탈기모듈의 단면도.
도 13은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 케이싱의 다른 예를 나타내는 단면도.
도 14는 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 케이싱의 또다른 예를 나타내는 단면도.
도 15는 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 시일부의 다른 예를 나타내는 단면도.
도 16은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 시일부의 또다른 예를 나타내는 단면도.
도 17은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 시일부의 또다른 예를 나타내는 단면도.
도 18은 본 발명의 실시형태의 튜브디바이스의 시일부의 또다는 예를 나타내는 단면도.
도 19는 종래예의 튜브디바이스(열교환기)의 정면도.
도 20은 도 19의 열교환기의 단면도이다.

본 발명의 가장 적합한 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 관련되는 배관시스템의 한 형태예인 약액공급배관시스템을 포함하는 반도체웨이퍼(기판)세정장치의 전체구성을 나타내는 개략단면도이다. “A”는 웨이퍼(기판)(W)가 설치되어 세정되는 세정챔버, “B”는 소망 농도의 세정액을 생성하여 세정챔버(A)에 공급하는 약액공급시스템이다. 약액공급배관시스템(B)은 약액이 원액의 상태로 저장되는 약액저장탱크(100)와, 약액저장탱크(100)와 연결되어 약액공급을 실시하는 약액공급장치(101)와, 약액공급장치(101)와 연결되어 약액과 혼합하는 초순수의 통로로 되는 공급유로관(102)과, 세정챔버(A)내에 설치되는 웨이퍼(W)의 표면과 대향하도록 공급유로관(102)의 하류측단부에 설치되어 웨이퍼(W)의 표면에 세정액을 공급하는 1쌍의 토출노즐(103, 104)과, 토출노즐(103, 103)로부터 공급하는 세정액의 농도나 유량 등의 각종 상태를 조절하기 위한 제어계(105)를 구비하여 구성되어 있다.

약액공급장치(101)는 약액공급펌프(106)와, 공급유로관(102)과 약액공급펌프(106)를 연결하여 유로를 형성하는 연결관(107)과, 연결관(107)내에 공급유로관(102)내와 직접 연결하는 모세관(108)을 구비하여 구성되어 있다. 약액공급펌프(106)의 구동에 의해 모세관(108)으로부터 공급유로관(102)내의 초순수 속으로 약액이 토출된다.

공급유로관(102)에는, 이 공급유로관(102)내를 통과하는 초순수의 유량을 조절하는 유량조절수단(109), 공급유로관(102)내를 통과하는 세정액의 농도를 조절하는 농도조절수단(110) 및 공급유로관(102)과 모세관(108)의 연결부위에 배치되고, 세정액에 회전류를 발생시켜서 교반하며, 세정액을 균일화시키는 혼합수단(111)이 설치되어 있다.

제어계(105)는 약액공급펌프(106)의 약액의 초순수로의 공급량을 조절하는 동시에, 유량조절수단(109)을 구동하는 약액공급제어수단(112)과, 농도조절수단(110)을 구동하는 농도제어수단(113)을 구비하고 있다. 그리고 약액공급제어수단(112)과 농도제어수단(113)이 연결되고, 농도제어수단(113)에 의한 농도제어의 결과가 약액공급제어수단(112)에 피드백되어 약액공급펌프(106)를 제어하며, 약액의 공급량이 조절된다.

본 발명은 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 적소에 각종 튜브디바이스를 개입하고, 이 튜브디바이스를 이하와 같이 구성하는 것에 특징을 갖는다.

도 1은 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로인 공급유로관(102)의 도중에 튜브디바이스로서 열교환기(114)를 개입한 경우의 실시예를 나타낸다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 열교환기(114)는 케이싱(1)의 내부(열교환실)(2)에 통과된 열교환튜브(3)내를 통과하는 유체와, 케이싱(1)의 내부와 열교환튜브(3)의 외부의 사이를 통과하는 유체의 사이에서 열교환을 실시하는 것이다.

도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이, 케이싱(1)은 열교환튜브(3)의 외주를 포위하는 튜브(4)와, 이 튜브(4)의 일단부 및 타단부를 각각 밀봉상으로 폐색하는 1쌍의 덮개부재(5) 및 각 덮개부재(5)가 튜브(4)의 단부에 체결되는 유니언너트(6)를 구비한다.

튜브(4)는 내열성, 내약품성이 우수한 PFA, PTFE 등의 불소수지나 도전성 물질을 함유하는 대전방지불소수지 등의 합성수지에 의하여 통상으로 성형되고, 이 튜브(4)의 양단부에는 각각 똑같이 불소수지 등의 합성수지로 이루어지는 덮개부재(5)를 삽입하여 불소수지 등 합성수지제의 유니언너트(6)의 체결을 통하여 접속한다.

덮개부재(5)는 동체벽부(7)와, 이 동체벽부(7)의 일단에 개방하는 주둥이부(8) 및 동체벽부(7)의 타단을 폐색하는 저벽부(9)를 갖는 형태로 형성된다. 그리고 도 3에 나타내는 바와 같이, 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 내부에는 제 1∼3 시일면(10∼12)이 설치된다. 제 1 시일면(10)은 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 입구보다 안쪽에, 덮개부재(5)의 축선(C)에 대하여 교차상, 즉 축선(C)방향의 바깥쪽을 향하여 점차 직경확대하는 테이퍼면에 의해 구성된다. 제 2 시일면(11)은 주둥이부(8)의 입구에, 상기 축선(C)에 대하여 교차상, 즉 축선(C)방향의 바깥쪽을 향하여 점차 직경확대하는 테이퍼면에 의해 구성된다. 제 3 시일면(12)은 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 안쪽에 있어서 제 1 시일면(10)보다도 직경방향 바깥쪽으로 축선(C)과 평행하게 형성된 환상 홈부(13)에 의해 구성된다. 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 외주에는 숫나사(14)가 형성되어 있다.

한편 튜브(4)의 일단부 및 타단부에는 각각 불소수지 등 합성수지제의 이너링(15)을 압입한다. 이 이너링(15)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 튜브(4)의 단부에 압입되어 해당 단부를 단면산형상으로 직경확대팽출시키는 단면주판알형상의 압입부(16)와, 이 압입부(16)에 연이어 설치되어 튜브(4)의 단부에 돌출하는 돌출부(17)를 갖는 슬리브형상으로 형성되어 있다. 단면주판알형상의 압입부(16)에는 이것의 1사면부에 외부향함테이퍼면(18)을, 타사면부에 상기 제 2 시일면(11)과의 사이에서 튜브(4)의 단부를 경사상태로 끼워 파지하여 제 2 시일부(21)를 형성하는 내부향함테이퍼면(20)이 각각 형성되어 있다. 돌출부(17)의 선단에는 상기 제 1 시일면(10)에 밀착상으로 맞닿아서 제 1 시일부(19)를 형성하는 테이퍼면으로 이루어지는 돌출단면(22)과, 상기 환상 홈부(13)에 끼워넣어서 제 3 시일부(23)를 형성하는 원통부(24)가 형성되어 있다. 이 이너링(15)의 내경은 튜브(4)의 내경과 동일하거나 대략 동일하게 설정함으로써 이너링(15) 및 튜브(4)내를 흐르는 유체가 이너링(15)과 튜브(4)의 경계에서 체류하는 일 없이 원활하게 유동하도록 하고 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 유니언너트(6)에는 이것의 내주에 덮개부재(5)의 숫나사(14)에 나사결합되는 암나사(25)가 형성되고, 또한 유니언너트(6)의 일단부에 환상 플랜지부(26)가 내부향함으로 튀어나오는 동시에, 해당 환상 플랜지부(26)의 내주면의 축방향내단에 예각 또는 직각의 밀어누름에지부(26a)가 설치되어 있다.

그리고 상기 이너링(15)이 압입된 튜브(4)의 단부를 덮개부재(5)의 주둥이부(8)에 삽입하고, 해당 튜브(4)의 단부의 외주에 미리 유동 가능하게 끼운 유니언너트(6)의 암나사(25)를 덮개부재(5)의 숫나사(14)에 나사결합하여 체결한다. 이 체결에 동반하여 유니언너트(6)의 밀어누름에지부(26a)가 튜브(4)의 직경확대부(27)의 직경확대부분에 맞닿아서 이너링(15)을 축방향으로부터 밀어누른다. 이에 따라 도 3에 나타내는 바와 같이, 이너링(15)의 돌출단면(22)이 덮개부재(5)의 제 1 시일면(10)에 압박되어 제 1 시일부(19)를 형성하는 동시에, 이너링(15)의 내부향함테이퍼면(20)과 덮개부재(5)의 제 2 시일면(11)의 사이에서 튜브(4)의 단부를 경사상태로 끼워 파지하여 제 2 시일부(21)를 형성하고, 또한 이너링(15)의 원통부(24)가 환상 홈부(13)에 압입하여 제 3 시일부(23)를 형성한다. 이들 제 1∼3 시일부(19, 21, 23)에 의해 신뢰성이 높은 시일기능을 발휘한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 튜브(4)의 일단부의 덮개부재(5)에는 다른 배관인 열교환유체의 도입용 배관(28a)이 접속되는 접속부(29a)를, 타단부의 덮개부재(5)에는 다른 배관인 도출용 배관(28b)이 접속되는 접속부(29b)를 각각 구비한다. 즉 다른 배관과의 접속부(29a, 29b)는 한쪽의 덮개부재(5)의 동체벽부(7)에 온도조절수 등의 열교환유체의 인렛포트(30)를, 다른쪽의 덮개부재(5)의 동체벽부(7)에 아웃렛포트(31)를 각각 형성하고, 인렛포트(30)에는 열교환유체의 도입용 배관(28a)의 단부가, 아웃렛포트(31)에는 열교환유체의 도출용 배관(28b)의 단부가 각각 불소수지 등 합성수지제의 유니언너트(32), 불소수지 등 합성수지제의 이너링(33)을 통하여 접속되고, 열교환유체가 인렛포트(30), 튜브(4)내의 열교환실(2), 아웃렛포트(31)의 차례로 유통하기 위해 구성되어 있다.

인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)의 각 내부구조는 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 내부구조와 동일하게 구성하고(다만 직경은 다르다), 또 열교환유체의 도입용 배관(28a) 및 도출용 배관(28b)의 각 단부에는 튜브(4)의 단부의 이너링(15)의 단면형상과 똑같은 이너링(33)을 압입하고 있으며, 인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)에 대한 도입용 배관(28a) 및 도출용 배관(28b)의 각 단부의 접속구조는 튜브(4)의 단부의 덮개부재(5)의 주둥이부(8)에 대한 접속구조와 똑같기 때문에 그 상세한 설명은 생략한다. 다만 이 인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)에 대한 열교환유체의 도입용 배관(28a) 및 도출용 배관(28b)의 각 단부의 접속구조로서는, 그 밖에 인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)에 대하여 열교환유체의 도입용 배관(28a) 및 도출용 배관(28b)의 각 단부를 직접 녹여붙이거나 나사접속하는 등의 수단을 채용할 수도 있다. 즉 다른 배관과의 접속부(29a, 29b)는 녹여붙임, 나사접속 등의 접속수단이어도 좋다.

한편 튜브(4)의 내부에는 약액이 통과하는 불소수지합성수지제의 코일튜브로 이루어지는 열교환튜브(3)가 통과되고, 이 열교환튜브(3)의 양단부는 덮개부재(5)의 저벽부(9)에 개구한 도출구(34)로부터 도출되며, 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 공급유로관(102)의 도중에 접속된다. 그 열교환튜브(3)의 도출단부에는 불소수지 등 합성수지제의 유니언너트(35)를 외부에서 끼우고, 이 유니언너트(35)를 도출구(34)에 불소수지 등 합성수지제의 페럴(36)을 통하여 체결함으로써 해당 도출구(34)와 열교환튜브(3)의 단부의 사이의 틈을 밀봉하고 있다.

이와 같이 구성된 열교환기는 열교환튜브(3)내를 통과한다. 예를 들면 약액 등의 유체와 통상 케이싱본체(4)내의 열교환튜브(3)의 외부를 통과하는 온도조절수 등 열교환유체의 사이에서 열교환이 실시되는데, 열교환튜브(3)내에 약액 등의 유체를, 열교환튜브(3) 외부에 온도조절수 등 열교환유체를 각각 통과시키는 대신에, 그것과는 반대로 열교환튜브(3)내에 온도조절수 등 열교환유체를, 열교환튜브(3) 외부에 약액 등의 유체를 각각 통과시킬 수도 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 열교환튜브(3)의 양단부는 덮개부재(5)의 동체벽부(7)에 개구한 도출구(34)에 도출하고, 약액 등의 유체의 인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)는 덮개부재(5)의 저벽부(9)에 설치할 수도 있다. 또한, 덮개부재(5)는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부(A)와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(B)와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(C)를 구비한다.

약액 등 유체 또는 온도조절수 등 열교환유체를 통과시키는 열교환튜브(3)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 불소수지제의 단일한, 스트레이트한 튜브로 구성할 수도 있다. 이 경우에 있어서도, 도 3에 나타내는 코일튜브로 이루어지는 열교환튜브의 경우와 마찬가지로 열교환튜브(3)의 양단부는 덮개부재(5)의 저벽부(9)에 개구한 도출구(34)로부터 도출된다. 그 열교환튜브(3)의 도출단부에는 불소수지 등 합성수지제의 유니언너트(37)를 외부에서 끼우고, 이 유니언너트(37)를 도출구(34)에 불소수지 등 합성수지제의 페럴(38)을 통하여 체결함으로써 해당 도출구(34)와 열교환튜브(3)의 단부의 사이의 틈을 밀봉한다.

그 밖에 약액 등 유체 또는 온도조절수 등 열교환유체를 통과시키는 열교환튜브(3)로서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 도 20에 나타내어지는 종래의 열교환기의 경우와 똑같은 불소수지 등 합성수지제의 복수의 스트레이트한 튜브로 구성할 수도 있다.

(튜브디바이스의 다른 실시예)

튜브디바이스로서는, 상기 열교환기(114) 이외에 도 7, 도 8에 나타내는 필터디바이스, 도 9의 초음파식 유량계, 도 10의 수동식 탈기디바이스, 도 11의 자동식 탈기디바이스, 도 12의 탈기모듈 등을 채용할 수 있으며, 각각이 독자로 갖는 기능에 따라서 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 적소에 개입배치된다.

도 7에 있어서, 필터디바이스(115)는 케이싱(1)의 내부에 디바이스요소로서 필터부재(3)를 수용한다. 이 필터부재(3)로서는, 예를 들면 세락믹스나 활성탄, 산화티탄 등의 기능성 분말을 합성섬유 등의 캐리어에 함유시키고, 덮개부재(5)에 설치한 인렛포트(30)로부터 유입하는, 예를 들면 초순수를 이 필터부재(3)내에 통과시켜서 초순수로 하거나 실리카겔 등의 이온교환수지를 캐리어에 함유시키고, 인렛포트(30)로부터 유입하는 순수나 약액을 이 필터부재(3)내에 통과시켜서 순수나 약액 속에 포함되는 금속이온을 제거하는 것이다.

이 필터디바이스(115)의 케이싱(1)은 튜브(4)와, 이 튜브(4)의 양단부를 밀봉상으로 폐색하는 덮개부재(5) 및 덮개부재(5)를 튜브(4)의 단부에 체결하는 유니언너트(6)를 구비한다. 덮개부재(5, 5)에 설치한 인렛(30) 및 아웃렛포트(31)가 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 적소에 접속된다. 이들 튜브(4), 덮개부재(5) 및 유니언너트(6)의 각 구성은 상기 열교환기(114)의 그들 부재의 구성과 똑같기 때문에 동일부재, 동일요소에는 동일부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.

도 8은 필터디바이스(115)의 다른 예를 나타낸다. 이 필터디바이스(116)는 케이싱(1)의 내부에 디바이스요소로서 중공사막(中空絲膜)으로 이루어지는 필터부재(3)를 수용하여 이루어지고, 예를 들면 순수를 이 필터부재(3)내에 통과시켜서 초순수로 하는 것으로 한 이외는 상기 필터디바이스(115)의 것과 똑같은 구성이며, 이 때문에 동일부재, 동일요소에는 동일부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.

도 9에 있어서, 초음파식 유량계(117)는 상기 열교환기(114)의 경우와 마찬가지로 케이싱(1)이 튜브(4)와, 이 튜브(4)의 양단부를 밀봉상으로 폐색하는 덮개부재(5) 및 덮개부재(5)를 튜브(4)의 단부에 체결하는 유니언너트(6)를 구비한다. 그리고 디바이스요소로서 케이싱(1)의 튜브(4)의 양단의 덮개부재(5, 5)의 한쪽의 저벽부(9)에 초음파식 유량계용의 초음파발진기(51)를, 다른쪽의 저벽부(9)에 초음파수신기(52)를 각각 편입하고 있다.

이 초음파식 유량계(117)는 한쪽의 덮개부재(5)의 동체벽부(7)에 설치한 인렛포트(30)로부터 유입하여 튜브(4)내를 다른쪽의 덮개부재(5)에 설치한 아웃렛포트(31)를 향해서 흐르는, 예를 들면 순수나 초순수, 또는 약액의 흐름에 의해 초음파가 도플러 변위하는 것을 이용하여 유량을 계측할 수 있다. 덮개부재(5, 5)에 설치한 인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)가 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 적소에 접속된다. 그 밖의 케이싱(1)의 구조, 튜브(4)의 단부와 덮개부재(5)의 접속구조 등은 상기 열교환기(114)의 경우와 마찬가지이기 때문에 동일부재, 동일요소에는 동일부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.

도 10에 있어서, 수동식 탈기디바이스(118)는 케이싱(1)이 세로향함자세로 배치되는 튜브(4)와, 이 튜브(4)의 상하단부를 밀봉상으로 폐색하는 상하 1쌍의 덮개부재(5) 및 각 덮개부재(5)를 튜브(4)의 상하단부에 각각 체결하는 유니언너트(6)를 구비한다. 그리고 디바이스요소로서 위쪽의 덮개부재(5)의 동체벽부(7)에 인렛포트(30)를, 저벽부(9)에 에어빼냄튜브(53) 및 수동식의 에어빼냄용 밸브(54)를 편입하고 있다. 아래쪽의 덮개부재(5)의 동체벽부(7)에 아웃렛포트(31)를 설치하고 있다. 또한, 덮개부재(5)는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부(A)와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(B)와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(C)를 구비한다. 이 수동식 탈기디바이스(118)는 에어빼냄용 밸브(54)를 개방함으로써 위쪽의 덮개부재(5)의 인렛포트(30)로부터 튜브(4)내에 체류하여 아래쪽의 덮개부재(5)의 아웃렛포트(31)에 유출한다. 예를 들면 순수나 초순수, 또는 약액 속의 기포를 제거할 수 있다. 덮개부재(5, 5)에 설치한 인렛포트(30) 및 아웃렛포트(31)가 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 적소에 접속된다. 그 밖의 케이싱(1), 튜브(4)의 단부와 덮개부재(5)의 접속구조 등은 상기 열교환기(114)의 경우와 마찬가지이기 때문에 동일부재, 동일요소에는 동일부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.

도 11에 있어서, 자동식 탈기디바이스(119)는 세로향함자세로 배치된 튜브(4)의 외측에 배치한 액면센서(56)에 연동하여 작용하는 자동식의 에어빼냄용 밸브(55)를 에어빼냄튜브(53)에 설치하고, 액면센서(56)에서 튜브(4)내의 액면을 감지하면 에어빼냄용 밸브(55)를 열고, 액 속에 쌓인 에어를 배출하도록 한 이외는 도 10의 수동식 탈기디바이스의 경우의 구성 및 작용과 똑같다. 이 때문에 동일부재, 동일요소에는 동일부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.

도 12에 있어서, 탈기모듈(120)은 디바이스요소로서 튜브(4)내에 발포불소수지로 이루어지는 복수개의 가스투과성 튜브(57)를 집속상태로 통과시키는 동시에, 덮개부재(5)에 탈기구(58)를 설치한 것이다. 가스투과성 튜브(57)의 양단부는 튜브(4)의 양단의 덮개부재(5)의 각 저벽(9)에 설치한 도입구(59) 및 도출구(60)에 각각 통과된 유입배관(61) 및 유출배관(62)에 연통접속된다. 유입배관(61) 및 유출배관(62)이 상기 약액공급배관시스템(B)의 배관로의 적소에 접속된다.

지금 진공펌프 등에 의하여 튜브(4)내를 탈기구(58)로부터 감압하면서 예를 들면 약액을 유입배관(61)으로부터 가스투과성 튜브(57)내에 통과시키면 약액 속에 녹아 있는 공기 등의 가스는 가스투과성 튜브(57)의 둘레벽을 투과하여 가스투과성 튜브(57)의 외측으로 제거되어서 탈기작용이 실시되고, 탈기처리 후의 약액은 유출배관(62)으로 배출된다는 탈기모듈이다. 그 밖의 케이싱(1), 튜브(4)의 단부와 덮개부재(5)의 접속구조 등은 상기 열교환기(114)의 경우와 똑같기 때문에 동일부재, 동일요소에는 동일부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.

도 12에 나타내는 탈기모듈(120)은 가스용해디바이스로서도 이용할 수 있다. 가스용해디바이스로서 이용하는 경우는 탈기구(58)를 용해성 가스공급구로서 사용하고, 오존 등의 용해성 가스를 튜브(4)내에 가압공급하면서 예를 들면 초순수나 약액을 유입배관(61)으로부터 가스투과성 튜브(57)내로 통과시키면 튜브(4)내의 용해성 가스가 가스투과성 튜브(57)의 둘레벽을 투과하여 해당 가스투과성 튜브(57)내의 초순수나 약액에 용해시키고, 용해처리 후의 피처리액은 유출배관(62)에 배출시킨다는 가스용해디바이스에도 이용할 수 있다.

(튜브디바이스의 케이싱의 다른 실시예)

튜브디바이스의 케이싱(1)의 전체적인 형상으로서는, 상기의 각 실시예와 같이 직관상으로 형성하는 대신에 도 13에 나타내는 바와 같이 L형상, 또는 도 14에 나타내는 바와 같이 U형상 등의 응용형태를 채용할 수 있다. 이 경우 도 13에 나타내는 L형상의 케이싱(1)에서는 2개의 제 1, 2 튜브(4A, 4B), 2개의 제 1, 2 덮개부재(5A, 5B) 및 1개의 엘보형상의 불소수지 등 합성수지제의 접합부재(39)를 사용하고, 도 13에 나타내는 U형상의 케이싱(1)에서는 3개의 제 1, 2, 3 튜브(4A, 4B, 4C), 2개의 제 1, 2 덮개부재(5A, 5B) 및 2개의 엘보형상의 불소수지 등 합성수지제의 제 1, 2 접합부재(39A, 39B)를 사용한다.

도 13에 나타내는 L형상의 케이싱(1)에 있어서는, 각각의 일단부에 제 1, 2 덮개부재(5A, 5B)가 제 1 유니언너트(6)로 접속된 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 타단부끼리를 1개의 엘보형상의 접합부재(39) 및 1쌍의 제 2 유니언너트(40)로 접속한다. 이 경우 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 일단부에 대하여 제 1, 2 덮개부재(5A, 5B)를 접속하는 접속구조에 대해서는 상기한 각 실시예의 튜브(4)의 단부와 덮개부재(5)의 접속구조의 경우와 똑같이 구성한다.

접합부재(39)는 이것의 양단에 접속구(41)를 서로 직교상으로 연통하도록 개구되어 있으며, 각 접속구(41)의 내부구조는 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 내부구조와 동일하게 구성되어 있다. 즉 접합부재(39)의 접속구(41)의 내부에는 제 1∼3 시일면이 설치되어 있다. 제 1 시일면은 접속구(41)의 입구보다 안쪽에 축방향의 바깥쪽을 향하여 점차 직경확대하는 테이퍼면에 의해 구성된다. 제 2 시일면은 축방향의 바깥쪽을 향하여 점차 직경확대하는 테이퍼면에 의해 구성된다. 제 3 시일면은 접속구(41)의 안쪽에 있어서 제 1 시일면보다도 직경방향 바깥쪽으로 축방향과 평행하게 형성된 환상 홈부에 의해 구성된다. 한편 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 타단부에는 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 일단부의 이너링(15)과 똑같은 단면형상의 이너링(15)을 압입하고 있기 때문에 접합부재(39)의 일단의 접속구(41)에 제 1 튜브(4A)의 타단부가, 또 타단의 접속구(41)에 제 2 튜브(4B)의 타단부가 각각 상기 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 일단부의 제 1, 2 덮개부재(5A, 5B)의 주둥이부(8)에 대한 접속구조의 경우와 똑같은 접속구조를 통하여 접속된다. 유체튜브(3)는 접합부재(39)의 내부에서 직각으로 구부러진다.

도 14에 나타내는 U형상의 케이싱(1)에 있어서는, 각각의 일단부에 덮개부재(5)가 제 1 유니언너트(6)로 접속된 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 타단부끼리간에 제 3 튜브(4C)를 2개의 엘보형상의 접합부재(39) 및 1쌍의 제 2 유니언너트(40)로 접속한다. 이 경우에 있어서도, 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 일단부에 대하여 제 1, 2 덮개부재(5)의 주둥이부(8)를 접속하는 접속구조는 상기한 각 실시예의 튜브(4)의 단부와 덮개부재(5)의 접속구조의 경우와 마찬가지로 구성한다. 그리고 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 타단부에 대하여 각 접합부재(39)의 접속구(41)를 접속하는 접속구조 및 제 3 튜브(4C)의 양단부에 대하여 각 접합부재(39)의 접속구(41)를 접속하는 접속구조는 각각 상기 제 1, 2 튜브(4A, 4B)의 각 일단부의 제 1, 2 덮개부재(5)의 주둥이부(8)에 대한 접속구조의 경우와 마찬가지로 접속된다. 유체튜브(3)는 각 접합부재(39)의 내부에서 직각으로 구부러진다.

또한 케이싱(1)은 도 13의 L형상의 케이싱(1)과 도 14의 U형상의 케이싱(1)을 조합한 형상으로 구성할 수도 있다.

이와 같이 튜브디바이스의 케이싱(1)을 L형상 또는 U형상 등으로 형성함으로써 배관의 데드스페이스를 유효하게 활용한, 콤팩트한 배관시스템을 편성할 수 있다. 또 기존 배관에 새로이 튜브디바이스를 설치하는 등의 배관시스템의 개조요구에 대응할 수 있는 형상으로 할 수 있어서 유리하다.

(시일부의 다른 실시예)

상기 튜브(4)의 단부와 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 사이에 형성되는 시일부로서는, 도 3에 나타내는 상기 실시예와 같이, 제 1, 2 시일부(19, 21) 외에 이너링(15)의 원통부(24)와 덮개부재(5)의 환상 홈부(13)에 의한 제 3 시일부(23)를 부가함으로써 시일성능을 더한층 확실하게 향상시킬 수 있는데, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 그 밖에 예를 들면 도 15에 나타내는 바와 같이, 제 1, 2 시일부(19, 21)만을 형성하고, 제 3 시일부(23)를 생략하는 것, 즉 덮개부재(5)의 안쪽에 환상 홈부(13)를 설치하지 않고, 또 이너링(15)에 원통부(24)를 설치하지 않는 것이어도 좋다. 이 경우 덮개부재(5)의 안쪽에 설치하는 제 1 시일면(10)은 축선(C)에 대하여 제 2 시일면(11)과는 역방향의 교차상, 즉 축선(C)방향의 바깥쪽을 향하여 점차 직경축소하는 테이퍼면에 의해 구성되어 있다.

또한, 도 16에 나타내는 바와 같이, 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 선단측에 있어서의 단부외주에 튜브(4)의 내경보다 직경이 큰 테이퍼면으로 이루어지는 시일면(42)을 형성하고, 이 시일면(42)의 후방의 외주에 해당 시일면(42)의 외경보다 직경이 큰 숫나사(14)를 형성하고 있다. 한편 튜브(4)의 단부는 플레어가공하여 직경확대부(43)를 형성한다. 이렇게 하여 튜브(4)의 단부의 직경확대부(43)를 덮개부재(5)의 시일면(42)상에 압입한다. 그리고 튜브(4)에 외부에서 끼워져 있는 유니언너트(6)의 암나사(25)를 덮개부재(5)의 숫나사(14)에 나사결합하여 체결하고, 유니언너트(6)의 환상 플랜지부(26)의 밀어누름에지부(26a)를 튜브(4)의 외측에 맞닿게 하여 직경확대부(43)의 내주면을 주둥이부(8)의 시일면(42)에 축방향으로부터 압박해서 밀착시킴으로써 시일부(44)를 형성할 수도 있다.

도 17에 나타내는 바와 같이, 튜브(4)의 단부에 불소수지 등 합성수지제의 단면원호형상의 이너링(45)을 압입하여 해당 튜브(4)의 단부를 단면산형상으로 직경확대팽출시키고, 덮개부재(5)의 숫나사(14)에 나사결합하게 한 유니언너트(6)를 나사전진시켜서 강하게 체결함으로써 튜브(4)의 단부를 이너링(45)과 함께 덮개부재(5)의 주둥이부(8)의 내주에 설치한 테이퍼상의 시일면(46)에 대하여 압박해서 밀착시킴으로써 시일부(47)를 형성하는 시일구조이어도 좋다.

또한, 도 18에 나타내는 바와 같이, 튜브(4)의 단부에 아우터링(48)을 끼워넣고, 튜브(4)의 말단부를 해당 아우터링(48)의 외면상에 되꺾으며, 덮개부재(5)의 숫나사(14)에 나사결합하게 한 유니언너트(6)를 나사전진시켜서 강하게 체결함으로써 튜브(4)의 단부를 아우터링(48)과 함께 덮개부재(5)의 주둥이부(8)내의 시일면(49)에 대하여 압박해서 밀착시킴으로써 시일부(50)를 형성한다는 시일구조이어도 좋다.

1: 케이싱 3: 열교환튜브
4: 튜브 5: 덮개부재
6, 35, 37: 유니언너트 8: 주둥이부
13: 환상 홈부 26: 환상 플랜지부
30: 인렛포트 31: 아웃렛포트
34: 도출구 36, 38: 페럴
39: 접합부재 41: 접속구
57: 가스투과성 튜브 58: 탈기구
59: 도입구 60: 도출구
61: 유입배관 62: 유출배관
100: 약액저장탱크 101: 약액공급장치
102: 공급유로관 103, 104: 토출노즐
105: 제어계 106: 약액공급펌프
107: 연결관 108: 모세관
109: 유량조절수단 110: 농도조절수단
111: 혼합수단 112: 약액공급제어수단
113: 농도제어수단 114: 열교환기
115, 116: 필터디바이스 117: 초음파식 유량계
118: 수동식 탈기디바이스 119: 자동식 탈기디바이스
120: 탈기모듈

Claims (2)

1. 케이싱과, 상기 케이싱에 비치되어 있는 디바이스요소를 포함하는 튜브디바이스로서;
   상기 케이싱은,
   합성수지제의 튜브와,
   상기 튜브의 단부를 받아들이는 주둥이부(8)와 상기 주둥이부 내에 설치된 적어도 1개의 시일면(42)을 각각 구비한 1쌍의 합성수지제의 덮개부재(5)와,
   상기 튜브의 직경확대부(43)가 형성된 일단부 및 타단부에 각각 외부에서 끼워지는 동시에, 상기 덮개부재의 상기 주둥이부를 구비한 일단부에 각각 나사결합되는 1쌍의 합성수지제의 유니언너트(6)를 구비하고,
   상기 덮개부재(5)는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부(A)와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(B)와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부(C)를 구비하며,
   상기 유니언너트는 상기 덮개부재의 일단부로의 나사 전진에 의한 체결에 의해 상기 튜브를 외측으로부터 밀어누르고, 이 밀어누름작용에 의해 상기 튜브의 직경확대부(43)와 상기 덮개부재의 시일면(42)이 밀착함으로써 적어도 1군데에 시일부(44)가 형성되는 것을 특징으로 하는 튜브디바이스.
2. 배관로와, 상기 배관로의 도중에 개입되어 있는 튜브디바이스를 포함하는 반도체장치 등의 배관시스템으로서;
   상기 튜브디바이스는, 케이싱과, 상기 케이싱에 비치된 디바이스요소를 구비하고,
   상기 케이싱은,
   합성수지제의 튜브와,
   상기 튜브의 단부를 받아들이는 주둥이부와 상기 주둥이부내에 설치된 적어도 1개의 시일면을 각각 구비한 1쌍의 합성수지제의 덮개부재와,
   상기 튜브의 직경확대부가 형성된 일단부 및 타단부에 각각 외부에서 끼워지는 동시에, 상기 덮개부재의 상기 주둥이부를 구비한 일단부에 각각 나사결합되는 1쌍의 합성수지제의 유니언너트를 구비하고,
   상기 덮개부재는 상기 케이싱을 구성하는 튜브 연결부와, 상기 케이싱에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부와, 상기 디바이스에 유체를 도입하거나 유출하는 튜브 연결부를 구비하며,
   상기 유니언너트는 상기 덮개부재의 일단부로의 나사전진에 의한 체결에 의해 상기 튜브를 외측으로부터 밀어누르고, 이 밀어누름작용에 의해 상기 튜브의 직경확대부와 상기 덮개부재의 시일면이 밀착함으로써 적어도 1군데에 시일부가 형성되는 것을 특징으로 하는 배관시스템.

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