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KR100818331B1 - 별도의 공급 라인을 가지는 약액 저장 및 공급 장치 및탱크 - Google Patents

별도의 공급 라인을 가지는 약액 저장 및 공급 장치 및탱크 Download PDF

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KR100818331B1
KR100818331B1 KR1020060135645A KR20060135645A KR100818331B1 KR 100818331 B1 KR100818331 B1 KR 100818331B1 KR 1020060135645 A KR1020060135645 A KR 1020060135645A KR 20060135645 A KR20060135645 A KR 20060135645A KR 100818331 B1 KR100818331 B1 KR 100818331B1
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KR
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chemical
cleaning liquid
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cleaning
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이동기
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세메스 주식회사
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    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

별도의 공급 라인을 가지는 약액 저장 및 공급 장치가 설명된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 장치는, 화학적 약액을 저장하는 화학적 약액 저장 탱크와, 세정액을 저장하는 세정액 저장 탱크와, 화학적 약액 저장 탱크와 연결되어 화학적 약액을 이송하기 위한 이송 펌프와, 이송 펌프 및 세정액 저장 탱크와 관으로 연결된 3웨이 밸브와, 3웨이 밸브와 연결되어 화학적 약액 및 세정액을 공급받아 이송하는 이송관 및 이송관으로부터 화학적 약액 및 세정액을 공급받아 분사하는 노즐을 포함하며, 3웨이 밸브는 노즐과 인접하게 설치된다.
약액 저장 장치, 공급 장치, 탱크

Description

별도의 공급 라인을 가지는 약액 저장 및 공급 장치 및 탱크{Chemical Storage and Supply Unit and Tank Including Individual Chemical Lines}
도 1은 종래 기술에 의한 약액 저장 및 공급 장치 및 그것을 이용하여 노즐을 세정하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 탱크의 구조를 더 상세하게 설명하기 위한 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
110: 약액 저장 및 공급 장치
120: 약액 저장 탱크 130: 세정액 저장 탱크
140: 이송 펌프 150: 3웨이 밸브
160: 이송관 170: 노즐
본 발명은 반도체 및/또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 포토레지스트 코팅 장비의 약액 저장 및 공급 장치에 관한 것으로서, 특히 코팅 노즐에 공급되는 포토레지스트와 세정액의 공급 라인을 별도로 구성한 약액 저장 및 공급 장치에 관한 것이다.
반도체, LCD, 유기 EL 및/또는 평판 패널 디스플레이 등을 제조하기 위한 공정에서는 포토레지스트와 같은 점성이 있는 고분자 유기물, 또는 기타 다른 성분의 화학적 약액을 저장 및 공급하는 장치가 많이 사용된다. 이러한 화학적 약액은 노즐 등을 통하여 가공물에 제공되며, 제공된 후에는 노즐에 레지듀로 남아있지 않도록 세정하는 과정이 반드시 필요하다. 만약 노즐에 레지듀로 남아 있게 될 경우, 급속하게 경화되어 노즐 또는 공급관의 일부를 막아버리거나, 코팅 공정에서 불량을 유발하는 결함으로 작용하게 되기 때문에, 이러한 레지듀를 제거하는 공정, 노즐을 세정하는 공정은 단순하면서도 매우 중요한 공정이다.
우선, 종래 기술에 의한 약액 저장 및 공급 장치 및 노즐 세정 방법을 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 본 명세서에서는 특히 가장 접하기 쉽고 이해하기 쉬운 포토레지스트를 예로 하여 설명한다.
도 1은 종래 기술에 의한 약액 저장 및 공급 장치 및 그것을 이용하여 노즐을 세정하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 의한 약액 저장 및 공급 장치(10)는 화학적 약액 저장 탱크(20), 세정액 저장 탱크(30), 이송 펌프(40), 밸브(50), 이송관(60) 및 노즐(70)을 포함한다.
화학적 약액 저장 탱크(20)는 화학적 약액을 저장하는 곳이며, 본 실시예에 서 포토레지스트를 일시적으로 저장하고 있는 것으로 간주된다.
세정액 저장 탱크(30)는 노즐(70)을 세정하기 위한 세정액을 일시적으로 저장한다.
이송 펌프(40)는 예시적으로 로터리 방식일 수 있으며, 화학적 약액 저장 탱크(20) 및 세정액 저장 탱크(30)로부터 약액 및 세정액을 끌어들여 노즐(70) 방향의 이송관(60)으로 밀어 내보내는 기능을 갖는다.
밸브(50)는 공정 진행에 따라 동작된다. 예를 들어, 코팅 공정이 진행될 경우, 이송 펌프(40)가 화학적 약액, 예를 들어 포토레지스트를 밀어내면 밸브(50)가 열리고, 이송관(60)을 통하여 포토레지스트가 노즐(70)에 공급된다. 이로써, 노즐(70)을 통하여 가공물(미도시)에 포토레지스트가 코팅된다.
다음으로, 코팅 공정이 종료된 직후 또는 노즐(70)을 세정하는 공정이 진행될 경우, 이송 펌프(40)가 세정액을 밸브(50)쪽으로 밀어내면 밸브(50)가 열리고 이송관(60)을 통하여 노즐(70)에 세정액이 공급된다. 이로써, 노즐(70)을 세정하는 공정이 진행된다.
이렇게 종래 기술에 의한 약액 저장 및 공급 장치(10)를 이용하여 약액을 저장 및 공급하는 공정이 진행되는 경우, 특히 포토레지스트 등을 공급하여 가공물 상에 코팅하고 노즐을 세정하는 공정이 진행되는 경우, 세정액이 이송 펌프(40), 밸브(50), 이송관(60) 및 노즐 등을 모두 세정해야 하므로 세정 공정에 소모되는 시간도 매우 길어지고 세정액도 다량으로 소모되기 때문에 시간적, 물질적으로 큰 낭비 요소이다.
그러므로, 최소량의 세정액으로 최대한 빠른 시간 내에 노즐을 세정할 수 있는 장치 및 세정 방법이 필요하다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 보다 빠른 시간에 적은 소모량으로 세정액을 공급하고 세정하는 약액 저장 및 공급 장치를 제공함에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 간단한 구조로 내부의 용액을 외부로 공급할 수 있는 약액 저장 탱크를 제공함에 있다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 장치는, 화학적 약액을 저장하는 화학적 약액 저장 탱크와, 세정액을 저장하는 세정액 저장 탱크와, 상기 화학적 약액 저장 탱크와 연결되어 상기 화학적 약액을 이송하기 위한 이송 펌프와, 상기 이송 펌프 및 상기 세정액 저장 탱크와 관으로 연결된 3웨이 밸브와, 상기 3웨이 밸브와 연결되어 상기 화학적 약액 및 상기 세정액을 공급받아 이송하는 이송관 및 상기 이송관으로부터 상기 화학적 약액 및 상기 세정액을 공급받아 분사하는 노즐을 포함하며, 상기 3웨이 밸브는 상기 노즐과 인접하게 설치된다.
세정액 저장 탱크와 3웨이 밸브의 사이에, 세정액을 이송하기 위한 세정액 이송용 펌프를 더 포함할 수 있다.
세정액 저장 탱크에는 N2 가스를 공급하기 위한 N2 가스 공급관을 더 포함할 수 있다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 탱크는, 액상의 물질을 저장할 수 있는 밀폐형 용기, 용기의 내부 상부에 N2를 공급하는 공급관, 및 용기의 바닥면에 인접하도록 설치되어 내부에 저장된 액상의 물질을 배출할 수 있다. 즉, 용기 내에 담긴 약액을 외부에 공급할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 장치(110)는, 화학적 약액 저장 탱크(120), 세정액 저장 탱크(130), 이송 펌프(140), 3웨이 밸브(150), 이송관(160) 및 노즐(170)을 포함한다.
화학적 약액 저장 탱크(120)와 세정액 저장 탱크(130)는 이송 펌프(140)를 공유하지 않는다. 보다 상세하게, 화학적 약액 저장 탱크(120)는 이송 펌프(140)와 연결되도록 설치되나, 세정액 저장 탱크(130)는 이송 펌프(140)와 연결되지 않는다. 또는, 세정액 저장 탱크(130)는 별도의 세정액 이송용 펌프(미도시)를 구비할 수도 있다.
화학적 약액과 세정액은 3웨이 밸브(150)를 통하여 이송관(160) 및 노즐(170)에 제공된다. 3웨이 밸브는 화학적 약액 또는 세정액 중 어느 하나만을 선택적으로 이송관(160)으로 공급되도록 개폐하는 기능을 갖는다. 또한, 3웨이 밸브(150)는 역류 방지 기능을 구비할 수도 있다.
이송관(160)은 화학적 약액 또는 세정액을 노즐(170)로 이송, 공급하는 기능을 가지며, 도면에는 다른 구성 요소에 비하여 상대적으로 길이가 긴 것으로 도시되었으나, 이것은 본 발명의 기술적 사상을 이해하기 쉽도록 하기 위하여 도시한 것으로 이해하여야 한다. 즉, 본원 발명의 목적 중 하나에 충실하도록, 3웨이 밸브(150)가 노즐(170)과 되도록 인접하도록 설치될 수 있다면 더욱 좋은 효과를 기대할 수 있다. 이 경우, 이송관(160)의 길이는 매우 짧게 도시되어야 할 것이다.
노즐(170)은 반도체, LCD, 유기 EL, 및/또는 평판 패널 디스플레이 제조 공 정에 사용되는 다양한 노즐 중 한 종류일 수 있으며, 특히 포토레지스트를 코팅하기 위한 노즐일 수 있다. 더욱 상세하게, 도시된 노즐(170)은 슬릿형 노즐일 수 있다. 이러한 다양한 노즐들의 종류, 기능 및 특징 등은 잘 알려져 있으므로 본 명세서에서는 상세한 설명을 생략한다.
본 발명에 의한 약액 저장 및 공급 장치는, 화학적 약액 공급 라인과 세정액 공급 라인이 같은 펌프를 이용하지 않고 별개로 구분된 라인으로 공급되는 구조이며, 화학적 약액과 세정액이 공유하는 곳을 최소화할 수 있으므로 세정액의 소모량이 적어지며, 빠른 시간에 더 큰 세정 효과를 기대할 수 있다.
본 실시예에서는 코팅을 하기 위한 장치 및 코팅 공정을 예로하여 설명되었으나, 이것은 단지 예시적인 것일 뿐이다. 코팅을 하기 위한 장치와 방법이 아니더라도, 두 종류의 액상의 물질을 한 곳으로 다른 시간에 공급하는 시스템이라면 어디에서든지 응용될 수 있다. 예를 들어, 현상액과 린스액, 식각액과 세척액, 연마액과 세정액 등을 공급하는 시스템에 응용될 수 있다. 보다 구체적으로, 본 실시예에서 설명된 화학적 약액을 제1 약액, 화학적 약액 탱크를 제1 약액 탱크, 세정액을 제2 약액, 세정액 탱크를 제2 약액 탱크로 이해한 다음, 다양한 약액 및 약액 탱크를 적용하여 이해할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 저장 및 공급 탱크의 구조를 더 상세하게 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 세정액 저장 탱크(130)는, 세 정액을 일시적으로 담아두는 밀폐형 몸체부(133), 몸체부(133) 내에 N2 가스를 공급하는 N2 공급관(131) 및 몸체부(133) 내에 저장되어 있는 세정액을 3웨이 밸브(150)로 공급하기 위한 세정액 공급관(135)을 포함한다.
본 실시예에서, 몸체부(133) 내에 저장되어 있는 세정액은 N2 공급관(131)으로부터 공급되는 N2 가스의 압력에 의해 세정액 공급관(135)으로 밀려가게 되고, 궁극적으로 3웨이 밸브(150)에 공급된다. 즉, 본 실시예에서는 세정액만을 공급하기 위한 세정액 전용 이송 펌프가 필요하지 않다.
또, 본 실시예에서, N2 공급관(131) 쪽에 공급되는 N2 가스의 압력을 일정하게 유지시킬 수 있는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
즉, 본 실시예에서, 세정액 저장 탱크(130)와 3웨이 밸브(150)의 사이에 별도의 세정액 이송용 펌프(미도시)가 구비 될 수도 있으나, 본 실시예에서 처럼 펌프를 구비하지 않고, 세정액 저장 탱크(130)에 N2 가스 등을 공급하여 항상 일정한 압력으로 공급될 수 있도록 하고, 공급 여부는 밸브의 개폐를 통해 제어하는 시스템으로 구성될 수 있다. 세정액은 다른 화학적 약액과 달리, 양적인 제어를 정교하게 하지 않아도 무방하기 때문이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므 로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 실시예들에 의한 약액 저장 및 공급 장치와 약액 저장 및 공급 탱크는, 각기 약액 종류별로 다른 공급 라인을 구비하고 있으므로, 각 약액이 공유되는 공급 라인을 최소화 할 수 있다. 따라서, 보다 빠른 시간에 적은 약액을 소모하며 약액 공급 공정을 수행할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

Claims (6)

  1. 화학적 약액을 저장하는 화학적 약액 저장 탱크,
    세정액을 저장하는 세정액 저장 탱크,
    상기 화학적 약액 저장 탱크와 연결되어 상기 화학적 약액을 이송하기 위한 이송 펌프,
    상기 이송 펌프 및 상기 세정액 저장 탱크와 관으로 연결된 3웨이 밸브,
    상기 3웨이 밸브와 연결되어 상기 화학적 약액 및 상기 세정액을 공급받아 이송하는 이송관, 및
    상기 이송관으로부터 상기 화학적 약액 및 상기 세정액을 공급받아 분사하는 노즐을 포함하며,
    상기 3웨이 밸브는 상기 노즐과 인접하게 설치되는 약액 저장 및 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 저장 탱크와 상기 3웨이 밸브의 사이에,
    상기 세정액을 이송하기 위한 세정액 이송용 펌프를 더 포함하는 약액 저장 및 공급 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 저장 탱크에는,
    N2 가스를 공급하기 위한 N2 가스 공급관을 포함하는 약액 저장 및 공급 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 세정액 저장 탱크는,
    상기 세정액을 외부에 공급하기 위한 세정액 공급관을 더 포함하며,
    상기 N2 가스는 상기 세정액 저장 탱크의 내부 상부에 공급되어 상기 세정액이 압력에 의해 상기 세정액 공급관으로 유출되는 약액 저장 및 공급 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 N2 가스 공급관의 일부에,
    공급되는 상기 N2 가스의 압력을 일정하게 유지시키기 위한 압력 제어부를 더 포함하는 약액 저장 및 공급 장치.
  6. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100273204B1 (ko) * 1993-12-04 2000-12-15 김영환 반도체 왯-스테이션 장비의 필터 클리닝 장치
KR20040099131A (ko) * 2003-05-16 2004-11-26 니폰 필라고교 가부시키가이샤 튜브디바이스 및 그 튜브디바이스를 포함하는 배관시스템

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