CN110369390A - 一种陶瓷盘360度旋装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘360度旋装置，用于陶瓷盘的清洗过程中，包括设有开口结构的容体、旋转驱动机构以及安装于所述容体内的承载机构，陶瓷盘设于所述承载机构上，所述承载机构与所述旋转驱动机构直接或间接连接；所述旋转驱动机构用于驱动对应的承载机构转动，以使得设于所述承载机构上的陶瓷盘发生转动，利用旋转驱动机构带动旋转卡槽轮转动，从而带动陶瓷盘360度转动，再通过超声波震荡清洗槽对陶瓷盘进行清洗，实现陶瓷盘的全面清洗，且陶瓷盘置于容体内，相对于机械臂夹持的清洗方式，降低了安全隐患。

Description

一种陶瓷盘360度旋装置

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘360度旋装置。

背景技术

半导体陶瓷是指具有半导体特性、电导率约在10-6～105S/m的陶瓷。半导体陶瓷的电导率因外界条件(温度、光照、电场、气氛和温度等)的变化而发生显著的变化，因此可以将外界环境的物理量变化转变为电信号，制成各种用途的敏感元件。

现有相关技术中，在陶瓷盘的清洗过程中，多采用人工清洗，工作效率低，也采用机器通过机械臂夹持的方式进行清洗。

然而，通过机械臂夹持的方式清洗，其清洗不够全面，且存在安全隐患。

所以，如何设计一种陶瓷盘360度旋装置是当前要解决的问题。

发明内容

本发明提供了一种陶瓷盘360度旋装置，以解决人工清洗工作效率低、机械臂夹持的方式清洗，清洗不够全面，且存在安全隐患的问题。

一种陶瓷盘360度旋装置，用于陶瓷盘的清洗过程中，包括设有开口结构的容体、旋转驱动机构以及安装于所述容体内的承载机构，陶瓷盘设于所述承载机构上，所述承载机构与所述旋转驱动机构直接或间接连接；

所述旋转驱动机构用于驱动对应的承载机构转动，以使得设于所述承载机构上的陶瓷盘发生转动。

可选的，所述旋转驱动机构包括驱动电机、主动轮、从动轮、传动于主动轮与所述从动轮之间的同步皮带；所述主动轮与所述从动轮相对于所述容体位置固定，所述驱动电机用于直接或间接驱动所述主动轮转动，以利用所述同步皮带绕所述主动轮与从动轮的运动带动所述承载机构同步发生转动。

可选的，所述承载机构包括至少两个卡槽轮，所述陶瓷盘与所述卡槽轮上的卡槽滑动卡合，所述卡槽轮能够随着所述同步皮带的运动发生转动，以使得设于所述卡槽轮上的陶瓷盘能够随着所述卡槽轮同步发生转动。

可选的，所述旋转驱动机构还包括旋转轴、配合旋转轴使用的轴承座、以及伞状轮，所述旋转轴一端部连接所述驱动电机的输出轴，另一端部通过所述伞状轮带动所述主动轮同步转动。

可选的，该种陶瓷盘360度旋装置还包括超声波震荡清洗槽，所述超声波震荡清洗槽安装于所述容体，用于清洗所述陶瓷盘。

可选的，该种陶瓷盘360度旋装置还包括安装板，所述安装板可拆卸式安装于所述容体，所述主动轮与所述从动轮设于所述安装板。

可选的，该种陶瓷盘360度旋装置还包括用于调整所述同步皮带松紧度的调整机构，所述调整机构包括固定安装在所述安装板上的滑轨、可沿着所述滑轨滑动的滑动块以及固定块；所述滑动块上设有调节轮，所述调节轮与所述同步皮带贴合，以使得所述调节轮在沿着所述滑轨滑动时能够对所述同步皮带进行松紧度调节，所述固定块用于调节所述滑动块的相对滑动位置。

可选的，该种陶瓷盘360度旋装置还包括固定架，所述固定架设于所述安装板。

可选的，所述旋转驱动机构还包括支撑座，所述支撑座安装于所述安装板，用以支撑所述旋转轴。

可选的，所述滑轨由两块对称设置的“L”字型板材组成，所述滑动块嵌于两块所述“L”字型板材形成的空间内。

本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

本发明提供的一种陶瓷盘360度旋装置，利用旋转驱动机构带动旋转卡槽轮转动，从而带动陶瓷盘360度转动，再通过超声波震荡清洗槽对陶瓷盘进行清洗，实现陶瓷盘的全面清洗，且陶瓷盘置于容体内，相对于机械臂夹持的清洗方式，降低了安全隐患。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图一；

图2为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图二；

图3为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图三；

图4为本发明一实施例中调整机构的结构示意图；

图5为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图四；

附图标记说明：

1-容体；2-陶瓷盘；3-调整机构；31-滑轨；32-滑动块；33-固定块；34-连接耳；35-调节轮；4-驱动电机；5-轴承座；6-旋转轴；7-从动轮；8-第一伞状轮；9-主动轮；10-同步皮带；11-固定架；12-卡槽轮；13-超声波震荡清洗槽；14-安装板；15-支撑座；16-皮带；12A-每组卡槽轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语(“第一”、“第二”、“第三”“第四”等如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

图1为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图一；图2为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图二；图3为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图三；图4为本发明一实施例中调整机构的结构示意图；图5为本发明一实施例中陶瓷盘360度旋装置的结构示意图四。

其所述的陶瓷盘360度旋装置，可以理解为用于陶瓷盘的清洗过程中。

参考图1和图2，一种陶瓷盘360度旋装置，包括设有开口结构的容体1、旋转驱动机构以及承载机构；所述承载机构安装于所述容体1内部，陶瓷盘2设于所述承载机构上，所述承载机构与所述旋转驱动机构直接或间接连接；

在本实施例中，所述旋转驱动机构用于驱动对应的承载机构转动，以使得设于所述承载机构上的陶瓷盘2发生转动。

由于承载机构与旋转驱动机构直接或间接相对位置固定连接，两者可同步发生转动，由于陶瓷盘2设置在承载机构上，两者也可同步发生转动。

可见，只要旋转驱动机构工作，承载机构、陶瓷盘2均随之同步发生转动。

故而，在本实施例中，所述旋转驱动机构能够驱动所述承载机构进行转动，以使得设于承载机构上的陶瓷2盘同步发生转动。

其中一种实施方式中，参考图1，所述旋转驱动机构包括驱动电机4、主动轮9、从动轮7、传动于主动轮9与所述从动轮7之间的同步皮带10。

所述主动轮9与所述从动轮7相对于所述容体1位置固定，所述驱动电机用于直接或间接驱动所述主动轮9转动，以利用所述同步皮带10绕所述主动轮9与从动轮7的运动带动所述承载机构同步发生转动。

其中，主动轮9与从动轮7的差别在于，主动轮9是被驱动电机4驱动的，从动轮7是在同步皮带10的带动下发生旋转的，主动轮9和从动轮7的直径可以是相同的，也可以是不同的。

主动轮9可直接与驱动电机4的输出轴连接，也可以通过其他传动结构实现与驱动电机4之间的传动。

例如，在一个实施方案中，所述旋转驱动机构还包括旋转轴6、配合旋转轴6使用的轴承座5、以及伞状轮8，所述旋转轴6一端部连接所述驱动电机4的输出轴，另一端部通过所述伞状轮8带动所述主动轮9同步转动。

在具体的实施过程中，伞状轮8由第一伞状轮和第二伞状轮组成，旋转轴的一端穿过所述轴承座5并与第一伞状轮连接，所述第二伞状轮同轴心安装于主动轮9，且主动轮9与第二伞状轮可同步转动，所述第一伞状轮与第二伞状轮齿合。

在本实施方案中，驱动电机4利用旋转轴6带动第一伞状轮转动，由于第一伞状轮与第二伞状轮齿合(垂直状态)，故，在第一伞状轮转动的同时带动第二伞状轮转动，由于第二伞状轮同轴心安装于主动轮9，主动轮9与第二伞状轮可同步转动，故，第二伞状轮的转动可带动主动轮9进行同步转动，从而实现驱动电机4对主动轮9的驱动。

在一个实施方式中，参考图3，所述承载机构包括至少两个卡槽轮12，所述陶瓷盘2与所述卡槽轮12上的卡槽滑动卡合，所述卡槽轮12能够随着所述同步皮带10的运动发生转动，以使得设于所述卡槽轮12上的陶瓷盘2能够随着所述卡槽轮12同步发生转动。

在具体的实施过程中，承载机构包括三个卡槽轮12，三个卡槽轮12分别位于陶瓷盘2竖直方向的底端，以及对称设置在陶瓷盘2两端，三个卡槽轮12将陶瓷盘2托住，且陶瓷盘2与三个卡槽轮12相切设置，故而，在卡槽轮12转动时，会带动陶瓷盘2同步发生转动。

在一个实施方式中，卡槽轮12通过转轴或者其他连接件与从动轮7/主动轮9相对固定连接，这样，就能够使得旋转驱动机构在驱动主动轮9转动的同时，各卡槽轮12也同步随之发生转动，从而带动陶瓷盘2进行转动。例如，设置三个卡槽轮12，分别为第一卡槽轮、第二卡槽轮、第三卡槽轮，其中，第一卡槽轮与主动轮之间通过转轴连接，第二卡槽轮和第三卡槽轮可通过同样的方式分别与从动轮7连接(注：从动轮7的数量≥卡槽轮12的数量)，此方案中，从动轮7优选两个，且对称分布在主动轮9两侧。当主动轮9转动时，通过同步皮带10带动从动轮7进行转动，而三个卡槽轮12同步随之发生转动，从而带动陶瓷盘2进行360旋转。

或者是，卡槽轮12通过连接杆/轴件安装与容体1内，同样以三个卡槽轮12为例，一个主卡槽轮、两个从卡槽轮，三个卡槽轮之间通过皮带连接，其中该主卡槽轮通过固定连接件与主动轮9连接(该固定连接件例如连杆、连接轴等能够连接两个轮状体的杆状连接件)。由于主动轮9转动时会带动主卡槽轮转动，在皮带的作用下，两个从卡槽轮也会随之转动，进而带动陶瓷盘2旋转。

在一个实施方式中，该种陶瓷盘360度旋装置还包括安装板14，所述安装板14可拆卸式安装于所述容体1，所述主动轮9与所述从动轮7设于所述安装板14。

在具体的实施过程中，在容体1的侧壁开设一个小于所述安装板14的通槽，再讲安装板14装配在容体1上，使得安装板14上的安装区域将开设的通槽覆盖。

在一个实施方式中，参考图1，所述安装板14上还装配有固定架，有利于整个装置的安装与固定。

在一个实施方式中，参考图1，图4，该种陶瓷盘360度旋装置还包括用于调整所述同步皮带10松紧度的调整机构3。

在本实施例中，所述调整机构3包括固定安装在所述安装板14上的滑轨31、可沿着所述滑轨31滑动的滑动块32以及固定块33；所述滑动块32上设有调节轮35，所述调节轮35与所述同步皮带10贴合，以使得所述调节轮35在沿着所述滑轨31滑动时能够对所述同步皮带10进行松紧度调节，所述固定块33用于调节所述滑动块32的相对滑动位置。

由于滑动块32可上、下滑动，同步皮带10贴合在滑动块32上，那么在滑动块32滑动的同时，会对同步皮带10进行拉紧或放松。

故而，调整同步皮带10的松紧度只需滑动调节滑动块32的位置即可。

在具体的实施过程中，所述滑轨31由两块对称设置的“L”型钢板组成，两个“L”型钢板通过螺丝固定在安装板14上，其L状开口朝内形成滑行空间，滑动块32嵌于两块“L”型钢板形成的空间，在滑动块32的端部对应固定块33的位置固定设有一个固定耳34。

所述固定耳34与固定块33之间利用锁定部件进行固定。

例如，锁定部件可包括开设在固定耳34上的第一通孔，开设在固定块33上的第二通孔，以及用来连接第一通孔与第二通孔的锁定杆，将锁定杆穿过第一通孔与第二通孔，可锁定固定耳34与固定块33的位置。其他举例中，锁定部件也可以是螺丝、螺栓等结构方式。

即滑动滑动块32，调节到合适同步皮带10的松紧度时，通过上述的锁定部件对固定耳34与固定块33进行锁定，从而固定滑动块32的相对位置。

在一个实施方式中，参考图1，所述旋转驱动机构还包括支撑座15，所述支撑座15装配于所述安装板14，用来支撑所述旋转轴6，有利于旋转轴6在转动时，保持较高的稳定性。

在以上的实施例中，参考图2，该种陶瓷盘360度旋装置还包括超声波震荡清洗槽13，所述超声波震荡清洗槽13安装于所述容体1，用于清洗所述陶瓷盘2。

在具体实施方式中，超声波震荡清洗槽13装配于容体1底部，以使得超声波震荡清洗槽13在工作时，能对陶瓷盘2进行清洗，即在陶瓷盘2进行360度旋转的整个过程中，超声波震荡清洗槽13都能对陶瓷盘2进行清洗，实现陶瓷盘2的全面清洗。另外在超声波震荡清洗槽13上应设有排污管口，排出清洗后的污渍。

在一个可实施方式中，参考图1、图5，该装置还可以对多个陶瓷盘2同时进行清洗。

例如，以上述的三个卡槽轮为一组，设置多组，以三组为例，每组用于支撑一个陶瓷盘2，每组卡槽轮12A中，主卡槽轮与从卡槽轮之间通过皮带16连接；当然，皮带16的安装位置是位于卡槽轮卡槽外侧的，作为示例，在卡槽轮上再开设另一个卡槽，用于皮带16的连接。

在本实施例中，每组卡槽轮12A之间通过连轴进行并排连接。这样主动轮9的转动，就可同时带动多组卡槽轮进行转动，从而带动位于每组卡槽轮12A上陶瓷盘进行转动，进而进行清洗工作。进一步需要说明的是，至少是与主动轮9对应的连轴是可以随主动轮9一起转动的，故而每组卡槽轮12A上的卡槽轮12是通过皮带16进行传动(其安装方式与转动原理与上述的实施例雷同，在此不做赘述)。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种陶瓷盘360度旋装置，用于陶瓷盘的清洗过程中，其特征在于：包括设有开口结构的容体(1)、旋转驱动机构以及安装于所述容体(1)内的承载机构，陶瓷盘(2)设于所述承载机构上，所述承载机构与所述旋转驱动机构直接或间接连接；

所述旋转驱动机构用于驱动对应的承载机构转动，以使得设于所述承载机构上的陶瓷盘(2)发生转动。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：所述旋转驱动机构包括驱动电机(4)、主动轮(9)、从动轮(7)、传动于主动轮(9)与所述从动轮(7)之间的同步皮带(10)；所述主动轮(9)与所述从动轮(7)相对于所述容体(1)位置固定，所述驱动电机用于直接或间接驱动所述主动轮(9)转动，以利用所述同步皮带(10)绕所述主动轮(9)与从动轮(7)的运动带动所述承载机构同步发生转动。

3.根据权利要求1或2所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：所述承载机构包括至少两个卡槽轮(12)，所述陶瓷盘(2)与所述卡槽轮(12)上的卡槽滑动卡合，所述卡槽轮(12)能够随着所述同步皮带(10)的运动发生转动，以使得设于所述卡槽轮(12)上的陶瓷盘(2)能够随着所述卡槽轮(12)同步发生转动。

4.根据权利要求1或2所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：所述旋转驱动机构还包括旋转轴(6)、配合旋转轴(6)使用的轴承座(5)、以及伞状轮(8)，所述旋转轴(6)一端部连接所述驱动电机(4)的输出轴，另一端部通过所述伞状轮(8)带动所述主动轮(9)同步转动。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：还包括超声波震荡清洗槽(13)，所述超声波震荡清洗槽(13)安装于所述容体(1)，用于清洗所述陶瓷盘(2)。

6.根据权利要求1或2所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：还包括安装板(14)，所述安装板(14)可拆卸式安装于所述容体(1)，所述主动轮(9)与所述从动轮(7)设于所述安装板(14)。

7.根据权利要求6所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：还包括用于调整所述同步皮带(10)松紧度的调整机构(3)，所述调整机构(3)包括固定安装在所述安装板(14)上的滑轨(31)、可沿着所述滑轨(31)滑动的滑动块(32)以及固定块(33)；所述滑动块(32)上设有调节轮(35)，所述调节轮(35)与所述同步皮带(10)贴合，以使得所述调节轮(35)在沿着所述滑轨(31)滑动时能够对所述同步皮带(10)进行松紧度调节，所述固定块(33)用于调节所述滑动块(32)的相对滑动位置。

8.根据权利要求6所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：还包括固定架(11)，所述固定架(11)设于所述安装板(14)。

9.根据权利要求1、2或6任一项所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：所述旋转驱动机构还包括支撑座(15)，所述支撑座(15)安装于所述安装板(14)，用以支撑所述旋转轴(6)。

10.根据权利要求7所述的一种陶瓷盘360度旋装置，其特征在于：所述滑轨(31)由两块对称设置的“L”字型板材组成，所述滑动块(32)嵌于两块所述“L”字型板材形成的空间内。