CN202297760U - 涂装设备工件转架 - Google Patents
涂装设备工件转架 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202297760U CN202297760U CN2011203275224U CN201120327522U CN202297760U CN 202297760 U CN202297760 U CN 202297760U CN 2011203275224 U CN2011203275224 U CN 2011203275224U CN 201120327522 U CN201120327522 U CN 201120327522U CN 202297760 U CN202297760 U CN 202297760U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- workpiece
- gear
- coating equipment
- power system
- swinging mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 7
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种涂装设备工件转架，包括动力系统、自转系统、转动支架及若干工件挂杆，所述转动支架内置于所述真空容器内，所述动力系统固定于所述真空容器的下方且输出端与所述转动支架的中心固定，所述工件挂杆竖直地均匀分布于所述转动支架内，所述自转系统包括主动齿轮、双齿轮、若干从动齿轮及链条，所述主动齿轮与所述动力系统的输出端固定连接，所述双齿轮与任一所述工件挂杆的下端固定连接，所述从动齿轮分别与其余的所述工件挂杆的下端固定连接，其中一所述链条缠绕于所述主动齿轮与双齿轮的下齿轮之间，另一所述链条缠绕于所述双齿轮的上齿轮与从动齿轮之间。本实用新型具有结构紧凑、节省成本、传动噪声低的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜设备，尤其涉及一种结构紧凑、节省成本、传动噪声低的涂装设备工件转架。
背景技术
真空镀膜是工件表面涂装处理的一种方式，其主要通过在真空条件下，将靶材表面组分以原子或离子的形式分离出来，最终使其沉积在于工件的表面而形成薄膜。
现今出现的真空镀膜机内部通常采用一种工件转架，通过在工件转架上挂载多个待涂装的工件并在镀膜过程中转动工件转架，从而使靶材的粒子均匀地沉积于各个工件上，利用此方式一次可对多个工件镀膜，极大地提高了生产效率。然而，此种工件转架大多数为齿轮传动机构，其主要通过主传动齿轮带动大齿盘，再通过大齿盘把力传递给星轮，以达到带动工件挂杆的目的。这种工件转架存在几个缺陷：1.主动传动齿轮与大齿盘分离，传动效率不高，而且相互啮合后浪费了真空室大量的空间；2.大齿盘、中齿盘的体积较大，不易加工，且容易变形，装配精度要求比较高，从长远来看，齿盘的齿根受损后，整个齿盘就要报废，经济上浪费很大，不利于降低生产成本；3.齿轮传动的噪声比较大，会对周围环境造成严重影响。
对于上述的不足，因此，需要一种更能满足要求的涂装设备工件转架。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构紧凑、节省成本、传动噪声低的涂装设备工件转架。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种涂装设备工件转架，该涂装设备工件转架安装于真空容器内对工件进行旋转，包括动力系统、自转系统、转动支架及若干工件挂杆，所述转动支架内置于所述真空容器内，所述动力系统固定于所述真空容器的下方且输出端与所述转动支架的中心固定，所述工件挂杆竖直地均匀分布于所述转动支架内，且上端枢接于所述转动支架上方，下端枢接于所述转动支架下方，所述自转系统包括主动齿轮、双齿轮、若干从动齿轮及链条，所述主动齿轮与所述动力系统的输出端固定连接，所述双齿轮安装于所述转动支架的下方并与任一所述工件挂杆的下端固定连接，所述从动齿轮分别与其余的所述工件挂杆的下端固定连接，其中一所述链条缠绕于所述主动齿轮与双齿轮的下齿轮之间，另一所述链条缠绕于所述双齿轮的上齿轮与从动齿轮之间。
较佳地，所述动力系统包括电机、联轴器及输出轴，所述电机的输出端与所述联轴器的一端联接，所述联轴器的另一端与所述输出轴的一端联接，所述输出轴另一端穿过所述真空容器与所述转动支架的中心固定。
具体地，所述涂装设备工件转架还包括支撑架，所述支撑架包括轴承座、轴承及固定支架，所述轴承座固定于所述真空容器的内底面上，所述轴承的外圈套接固定于所述轴承座内，内圈与所述输出轴密封地套接，所述固定支架安装于所述真空容器的下底表面且固定所述电机。通过将所述轴承座及固定支架分别固定于所述真空容器上，从而使所述动力系统、自转系统及转动支架承载于所述真空容器上，为整个涂装设备工件转架提供有效的支撑。
更具体地，所述轴承座与所述真空容器的内底面之间设有绝缘层。由于在镀膜的过程中所述涂装设备工件转架为负极，因此，设置所述绝缘层可使所述涂装设备工件转架与圆柱靶材有效形成正负极性，从而提高镀膜时粒子的沉积速率。
具体地，所述联轴器的输出端与所述输出轴之间、所述双齿轮与工件挂杆之间及所述从动齿轮与工件挂杆之间均安装有棘轮装置。所述棘轮装置可使所述动力系统输出动力时能带动所述输出轴及工件挂杆，并在停机时，可使所述转动支架轻松地实现手动反转，从而方便工件在镀膜前后的安装及拆卸。
较佳地，所述转动支架包括上转盘、下转盘及若干支撑杆，所述上转盘与所述动力系统的输出端固定连接，所述支撑杆均匀地分布于所述下转盘的四周且下端与所述下转盘固定，所述支撑杆的上端分别与所述上转盘固定。所述转动支架可挂载多个工件，只需通过对所述转动支架进行驱动即可同时对所有工件进行旋转，不但简化了结构，而且操作更加方便。
较佳地，所述涂装设备工件转架还包括导向机构，所述导向机构包括吊架、导向轮、固定座及导向盘，所述吊架安装于所述真空容器内部的顶面，所述固定座横向水平地固定于所述吊架上，所述导向轮轴向垂直地枢接于所述固定座上，所述导向盘设置于所述转动支架的上表面，所述导向轮与所述导向盘的内侧壁滚动接触。由于所述动力系统位于所述转动支架的下方，驱动时，所述转动支架的下方受力转动，因此上方会因受力不平衡而产生摇罢，通过将所述导向轮在导向盘滚动接触，使转动支架上方沿着所述导向盘及导向轮所限定的方向转，避免所述转动支架转动时产生振动，运行更加平稳。
由于本实用新型将所述转动支架内置于所述真空容器内，通过将所述动力系统安装于所述真空容器底部且轴出端伸入所述真空容器内驱动所述转动支架，从而使所述转动支架带动挂载于其上的工件进行公转，所述动力系统与转动支架直接连接可提高传动效率，结构紧凑；并且，通过在所述动力系统的输出端安装所述主动齿轮及在所述工件挂杆上分别安装一双齿轮及多个从动齿轮，使用所述链条将所述主动齿轮与双齿轮及将双齿轮与各个从动齿轮缠绕在一起，利用动力系统输出端的带动下进行转动，从而使工件在进行公转的同时实现自转，使镀膜更加均匀；而采用链条传动结构与齿轮传动相比，不仅使结构更加紧凑、装拆方便，而且传动产生的噪声比齿轮传动小，并且传动过程中发生磨损只需更换链条即可，有效节省成本。
附图说明
图1是本实用新型涂装设备工件转架的结构示意图。
图2是本实用新型动力系统安装于支撑架上的结构示意图。
图3是本实用新型自转系统的结构示意图。
图4是图1中A部分的放大图。
图5是图1中B部分的放大图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型涂装设备工件转架100安装于真空容器200内对工件(图中未示)进行旋转，包括动力系统1、支撑架2、自转系统3、转动支架4、棘轮装置5、导向机构6及若干工件挂杆7。所述转动支架4内置于所述真空容器200内，所述动力系统1固定于所述真空容器200的下方且输出端与所述转动支架4的中心固定，所述工件挂杆7竖直地均匀分布于所述转动支架4内，且上端枢接于所述转动支架4的上方，下端枢接于所述转动支架4的下方。
如图2所示，所述动力系统1包括电机11、联轴器12及输出轴13，所述支撑架2包括轴承座21、轴承22及固定支架23，所述轴承座21固定于所述真空容器200的内底面上，所述轴承22的外圈套接固定于所述轴承座21内，所述固定支架23安装于所述真空容器200的下底表面。所述电机11固定于所述固定支架23之下，所述电机11的输出端与所述联轴器12的一端联接，所述联轴器12的另一端与所述输出轴13的一端之间通过所述棘轮装置5联接，所述输出轴13的另一端密封地套接于所述轴承22的内圈上且穿过所述真空容器200与所述转动支架4的中心固定。通过将所述轴承座21及固定支架23分别固定于所述真空容器200上，从而使所述动力系统1、自转系统3及转动支架4承载于所述真空容器200上，为整个涂装设备工件转架100提供有效的支撑。
如图3及图4所示，所述自转系统3包括主动齿轮31、双齿轮32、若干从动齿轮33及链条34，所述主动齿轮31与所述动力系统1的输出轴13固定连接，所述双齿轮32安装于所述转动支架4的下方并与任一所述工件挂杆7的下端固定连接，且所述双齿轮32与工件挂杆7之间设置所述棘轮装置5；所述从动齿轮33分别与其余的所述工件挂杆7的下端固定连接，且所述从动齿轮33与工件挂杆7之间也设置有棘轮装置5；所述棘轮装置5可使所述双齿轮32及从动齿轮33带动工件挂杆7正转，并在停机时，可使所述转动支架4轻松地实现手动反转，从而方便工件在镀膜前后的安装及拆卸。其中一所述链条34缠绕于所述主动齿轮31与双齿轮32的下齿轮之间，另一所述链条34缠绕于所述双齿轮32的上齿轮与从动齿轮33之间。当所述动力系统1启动时带动所述主动齿轮31转动，通过所述链条34带动所述双齿轮32转动，从而带动与其连接的工件挂杆7转动，同时所述双齿轮32通过所述链条34带动所述从动齿轮33转动，进而驱动与其连接的所述工件挂杆7转动。
另外，所述轴承座21与所述真空容器200的内底面之间设有绝缘层8。由于在镀膜的过程中所述涂装设备工件转架100为负极，因此，设置所述绝缘层8可使所述涂装设备工件转架100与圆柱靶材(图中未示)有效形成正负极性，从而提高镀膜时粒子的沉积速率。
所述转动支架4包括上转盘41、下转盘42及若干支撑杆43，所述下转盘42与所述动力系统1的输出轴13固定连接，所述支撑杆43均匀地分布于所述下转盘42的四周且下端与所述下转盘固定，所述支撑杆43的上端分别与所述上转盘41固定。所述转动支架4可挂载多个工件，只需通过对所述转动支架4进行驱动即可同时对所有工件进行旋转，不但简化了结构，而且操作更加方便。
如图5所示，所述导向机构6包括吊架61、导向轮62、固定座63及导向盘64，所述吊架61安装于所述真空容器200内部的顶面，所述固定座63横向水平地固定于所述吊架61上，所述导向轮62轴向垂直地枢接于所述固定座63上，所述导向盘64设置于所述转动支架4的上表面，所述导向轮62与所述导向盘64的内侧壁滚动接触。由于所述动力系统1位于所述转动支架4的下方，驱动时，所述转动支架4的下方受力转动，因此上方会因受力不平衡而产生摇罢，通过将所述导向轮62在导向盘64滚动接触，使所述转动支架4上方沿着所述导向盘64及导向轮62所限定的方向转，避免所述转动支架4转动时产生振动，运行更加平稳。
结合上述附图，镀膜时，所述电机11启动带动所述联轴器12，所述联轴器12的另一端通过所述棘轮装置5带动所述输出轴13转动，所述输出轴13带动整个所述转动支架4绕其中心轴线转动，安装于其上的所述工件挂杆7绕所述转动支架4的中心轴线公转。所述导向盘64随所述转动支架4转动，所述导向轮62与所述导向盘64的侧壁产生磨擦而滚动，使所述转动支架4上方平稳地转动。同时所述输出轴13带动所述主动齿轮31转动，所述主动齿轮31通过所述链条34带动所述双齿轮32转动，所述双齿轮32带动与其连接的所述工件挂杆7自转；同时所述双齿轮32通过另一链条34带动其余的所有从动齿轮33转动，所述从动齿轮33驱动其余的所有工件挂杆7自转。此时，所述工件挂杆7既进行公转又进行自转，所述工件即可在所述真空容器200内进行均匀镀膜。
由于本实用新型将所述转动支架4内置于所述真空容器200内，通过将所述动力系统1安装于所述真空容器200底部且轴出端伸入所述真空容器200内驱动所述转动支架4，从而使所述转动支架4带动挂载于其上的工件进行公转，所述动力系统1与转动支架4直接连接可提高传动效率，结构紧凑；并且，通过在所述动力系统1的输出端安装所述主动齿轮31及在所述工件挂杆7上分别安装一双齿轮32及多个从动齿轮33，使用所述链条34将所述主动齿轮31与双齿轮32及将双齿轮32与各个从动齿轮33缠绕在一起，利用动力系统1输出端的带动下进行转动，从而使工件在进行公转的同时实现自转，使镀膜更加均匀；而采用链条34传动结构与齿轮传动相比，不仅使结构更加紧凑、装拆方便，而且传动产生的噪声比齿轮传动小，并且传动过程中发生磨损只需更换链条即可，有效节省成本。
本实用新型涂装设备工件转架100所涉及到的镀膜原理为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。
以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。
Claims (7)
1.一种涂装设备工件转架，安装于真空容器内对工件进行旋转，其特征在于：包括动力系统、自转系统、转动支架及若干工件挂杆，所述转动支架内置于所述真空容器内，所述动力系统固定于所述真空容器的下方且输出端与所述转动支架的中心固定，所述工件挂杆竖直地均匀分布于所述转动支架内，且上端枢接于所述转动支架上方，下端枢接于所述转动支架下方，所述自转系统包括主动齿轮、双齿轮、若干从动齿轮及链条，所述主动齿轮与所述动力系统的输出端固定连接，所述双齿轮安装于所述转动支架的下方并与任一所述工件挂杆的下端固定连接，所述从动齿轮分别与其余的所述工件挂杆的下端固定连接，其中一所述链条缠绕于所述主动齿轮与双齿轮的下齿轮之间，另一所述链条缠绕于所述双齿轮的上齿轮与从动齿轮之间。
2.如权利要求1所述的涂装设备工件转架，其特征在于：所述动力系统包括电机、联轴器及输出轴，所述电机的输出端与所述联轴器的一端联接，所述联轴器的另一端与所述输出轴的一端联接，所述输出轴另一端穿过所述真空容器与所述转动支架的中心固定。
3.如权利要求2所述的涂装设备工件转架，其特征在于：所述涂装设备工件转架还包括支撑架，所述支撑架包括轴承座、轴承及固定支架，所述轴承座固定于所述真空容器的内底面上，所述轴承的外圈套接固定于所述轴承座内，内圈与所述输出轴密封地套接，所述固定支架安装于所述真空容器的下底表面且固定所述电机。
4.如权利要求3所述的涂装设备工件转架，其特征在于：所述轴承座与所述真空容器的内底面之间设有绝缘层。
5.如权利要求2所述的涂装设备工件转架，其特征在于：所述联轴器的输出端与所述输出轴之间、所述双齿轮与工件挂杆之间及所述从动齿轮与工件挂杆之间均安装有棘轮装置。
6.如权利要求1所述的涂装设备工件转架，其特征在于：所述转动支架包括上转盘、下转盘及若干支撑杆，所述上转盘与所述动力系统的输出端固定连接，所述支撑杆均匀地分布于所述下转盘的四周且下端与所述下转盘固定，所述支撑杆的上端分别与所述上转盘固定。
7.如权利要求1所述的涂装设备工件转架，其特征在于：所述涂装设备工件转架还包括导向机构，所述导向机构包括吊架、导向轮、固定座及导向盘，所述吊架安装于所述真空容器内部的顶面，所述固定座横向水平地固定于所述吊架上，所述导向轮轴向垂直地枢接于所述固定座上，所述导向盘设置于所述转动支架的上表面，所述导向轮与所述导向盘的内侧壁滚动接触。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011203275224U CN202297760U (zh) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 涂装设备工件转架 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011203275224U CN202297760U (zh) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 涂装设备工件转架 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202297760U true CN202297760U (zh) | 2012-07-04 |
Family
ID=46366695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011203275224U Expired - Fee Related CN202297760U (zh) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 涂装设备工件转架 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202297760U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103290382A (zh) * | 2013-05-15 | 2013-09-11 | 宁波韵升股份有限公司 | 一种真空镀膜机行星式工件架 |
| CN110760810A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-07 | 中山凯旋真空科技股份有限公司 | 转架及具有其的镀膜设备 |
| CN110923652A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-03-27 | 北京大学深圳研究院 | 一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置 |
-
2011
- 2011-09-02 CN CN2011203275224U patent/CN202297760U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103290382A (zh) * | 2013-05-15 | 2013-09-11 | 宁波韵升股份有限公司 | 一种真空镀膜机行星式工件架 |
| CN103290382B (zh) * | 2013-05-15 | 2015-09-09 | 宁波韵升股份有限公司 | 一种真空镀膜机行星式工件架 |
| CN110760810A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-07 | 中山凯旋真空科技股份有限公司 | 转架及具有其的镀膜设备 |
| CN110760810B (zh) * | 2019-11-27 | 2022-04-08 | 中山凯旋真空科技股份有限公司 | 转架及具有其的镀膜设备 |
| CN110923652A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-03-27 | 北京大学深圳研究院 | 一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207062370U (zh) | 一种多弧离子镀用转架和多弧离子镀膜设备 | |
| CN110172677B (zh) | 用于真空镀膜的公自转式镀膜设备 | |
| CN109852939B (zh) | 一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置 | |
| CN208308946U (zh) | 一种轮毂真空镀膜装置 | |
| CN111408503B (zh) | 喷涂设备 | |
| CN210215535U (zh) | 用于真空镀膜的公自转式镀膜设备 | |
| CN202297760U (zh) | 涂装设备工件转架 | |
| CN203080023U (zh) | 炉内工件自转公转的井式炉 | |
| CN110760808A (zh) | 一种曲面屏磁控溅射组件 | |
| CN102086508B (zh) | 镀膜装置 | |
| CN106890593A (zh) | 一种波动式实验室试管自动摇匀装置 | |
| CN206286130U (zh) | 行星式离心机 | |
| CN108014884A (zh) | 一种陶瓷加工用的球磨装置 | |
| CN202595264U (zh) | 真空镀膜机上的工件架 | |
| CN204262223U (zh) | 冲床智能上下料机械手 | |
| CN108044468B (zh) | 一种石墨光棒快速成型的设备 | |
| CN203641407U (zh) | 真空离子镀膜机多级传动装置 | |
| CN111469054A (zh) | 喷丸抛光机工件旋转驱动装置 | |
| CN206961952U (zh) | 电芯卷绕装置 | |
| CN207103021U (zh) | 一种多工位浸涂机 | |
| CN111068807A (zh) | 一种谷物加工用鼠笼转子直径大小可自动调节装置 | |
| CN222082892U (zh) | 一种可同步进行公转和自转的旋转架 | |
| CN218779012U (zh) | 一种旋转装夹机构 | |
| CN221663008U (zh) | 一种小型零件真空溅射镀膜水平旋转工装 | |
| CN214288196U (zh) | 一种生产水性胶粘剂的反应装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Coating equipment workpiece rotating frame Effective date of registration: 20130819 Granted publication date: 20120704 Pledgee: Dongguan rural commercial bank, Limited by Share Ltd, Tangxia branch Pledgor: Dongguan Fengyu Motor Co., Ltd. Registration number: 2013990000589 |
|
| PLDC | Enforcement, change and cancellation of contracts on pledge of patent right or utility model | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20150209 Granted publication date: 20120704 Pledgee: Dongguan rural commercial bank, Limited by Share Ltd, Tangxia branch Pledgor: Dongguan Fengyu Motor Co., Ltd. Registration number: 2013990000589 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Coating equipment workpiece rotating frame Effective date of registration: 20150226 Granted publication date: 20120704 Pledgee: CITIC Bank, Limited by Share Ltd, Dongguan branch Pledgor: Dongguan Fengyu Motor Co., Ltd. Registration number: 2015990000159 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120704 Termination date: 20160902 |