CN108681142A - 一种显示面板的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种显示面板的制作方法，该方法包括：提供一基板，基板上设置有至少一个曝光对位标识；在曝光对位标识远离基板的一侧形成彩色滤光层，彩色滤光层包括覆盖曝光对位标识的标识增厚层，标识增厚层与曝光对位标识的形状相同且大小相同；在彩色滤光层远离基板的一侧形成黑色光阻层；通过曝光对位标识和标识增厚层进行曝光对位，以对黑色光阻层进行曝光，形成黑色遮光层。本发明实施例提供的显示面板的制作方法，通过形成覆盖曝光对位标识的标识增厚层增加曝光对位标识所在位置的高度，在后续黑色光阻层形成后，可实现精准识别曝光对位标识，从而提高黑色遮光层的制作精度。

Description

一种显示面板的制作方法

技术领域

本发明实施例涉及显示技术，尤其涉及一种显示面板的制作方法。

背景技术

随着显示技术的发展，为避免上下基板错位导致的遮光区域不匹配的问题，通常将黑矩阵整合到阵列基板上，即BOA(Black Matrix on Array)技术。同时，在显示装置的制备过程中，为了提高制程中的对位精度，通常设置有曝光对位标识。

但是，由于形成黑矩阵的黑色遮光层材料具有较高的光密度值(opticaldensity，OD)，导致在涂布黑色遮光材料后，对光罩曝光对位标识的识别造成干扰，从而导致曝光机无法精准对位；若使用光密度值较低的黑色遮光层材料，虽然可以减小对标记标识的识别难度，但是会导致黑矩阵的遮光效果受到严重影响。

发明内容

本发明实施例提供一种显示面板的制作方法，以在不影响黑矩阵的遮光效果的同时实现曝光对位标识的精准识别。

本发明实施例提供了一种显示面板的制作方法，该方法包括：

提供一基板，所述基板上设置有至少一个曝光对位标识；

在所述曝光对位标识远离所述基板的一侧形成彩色滤光层，所述彩色滤光层包括覆盖所述曝光对位标识的标识增厚层，所述标识增厚层与所述曝光对位标识的形状相同且大小相同；

在所述彩色滤光层远离所述基板的一侧形成黑色光阻层；

通过所述曝光对位标识和所述标识增厚层进行曝光对位，以对所述黑色光阻层进行曝光，形成黑色遮光层。

本发明实施例还提供了一种显示面板的制作方法，该方法包括：

提供一基板，所述基板上设置有至少一个曝光对位标识；

在所述曝光对位标识远离所述基板的一侧形成第一色阻层，图案化所述第一色阻层形成第一彩色滤光层和覆盖所述曝光对位标识的第一标识层；

在所述第一彩色滤光层远离所述基板的一侧形成第二色阻层，图案化所述第二色阻层形成第二彩色滤光层和覆盖所述第一标识层的第二标识层；

在所述第二彩色滤光层远离所述基板的一侧形成第三色阻层，图案化所述第三色阻层形成第三彩色滤光层和覆盖所述第二标识层的第三标识层；其中，所述第一标识层、所述第二标识层和所述第三标识层构成覆盖所述曝光对位标识的标识增厚层，所述标识增厚层与所述曝光对位标识的形状相同且大小相同；

在所述第三彩色滤光层远离所述基板的一侧形成黑色光阻层；

检测所述曝光对位标识和标识增厚层的轮廓确定所述曝光对位标识的位置，并根据所述曝光对位标识的位置进行曝光对位，以对所述黑色光阻层进行曝光，形成黑色遮光层。

本发明实施例提供的显示面板的制作方法，通过在曝光对位标识远离基板的一侧形成彩色滤光层，彩色滤光层包括覆盖曝光对位标识的标识增厚层，标识增厚层与曝光对位标识的形状相同且大小相同，以此来增加曝光对位标识所在位置的厚度；在彩色滤光层远离基板的一侧形成黑色光阻层，由于曝光对位标识所在位置厚度增加，可实现曝光对位标识的精准识别。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图；

图2是本发明实施例提供的一种基板的结构示意图；

图3是形成彩色滤光层后显示面板的结构示意图；

图4是形成黑色光阻层后显示面板的结构示意图；

图5是形成黑色光阻层后显示面板的平面示意图；

图6是形成黑色遮光层后显示面板的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的标识增厚层为单层的显示面板的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的标识增厚层为两层的显示面板的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的形成彩色滤光层的流程示意图；

图10是形成第一色阻层后的显示面板的结构示意图；

图11是图案化第一色阻层后的显示面板的结构示意图；

图12是形成第二色阻层后的显示面板的结构示意图；

图13是图案化第二色阻层后的显示面板的结构示意图；

图14是形成第三色阻层后的显示面板的结构示意图；

图15是图案化第三色阻层后的显示面板的结构示意图；

图16是形成黑色光阻层后的显示面板的又一结构示意图；

图17是图案化黑色光阻层后的显示面板的又一结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下将参照本发明实施例中的附图，通过实施方式清楚、完整地描述本发明的技术方案，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1是本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图。参照图1，该方法包括：

S10、提供一基板，基板上设置有至少一个曝光对位标识。

其中，基板包括显示区和位于显示区至少一侧的非显示区，至少一个曝光对位标识位于基板的非显示区。

示例性的，图2是本发明实施例提供的一种基板的结构示意图。图2中仅示例性的示出了设置在基板11上的一个曝光对位标识12，但并非对本实施例提供的显示面板的制作方法的限定。在其他实施方式中，曝光对位标识12的个数还可以根据实际需求设置为多个。

S20、在曝光对位标识远离基板的一侧形成彩色滤光层，彩色滤光层包括覆盖曝光对位标识的标识增厚层，标识增厚层与曝光对位标识的形状相同且大小相同。

其中，彩色滤光层可为多个颜色的彩色滤光单元。彩色滤光层的厚度可根据需求设置，本实施例对此不做具体限定。

示例性的，图3是形成彩色滤光层后显示面板的结构示意图。参照图3，彩色滤光层13包括覆盖曝光对位标识12的标识增厚层131和多个彩色滤光单元132，标识增厚层131与曝光对位标识12的形状相同且大小相同。由此，曝光对位标识12所在位置的厚度由单个曝光对位标识12的厚度增加为曝光对位标识12与标识增厚层131的厚度之和，即曝光对位标识12所在位置的高度增加，从而提高曝光对位标识12的可识别性。

示例性的，曝光对位标识12为方形，边长为300um；则标识增厚层131的形状为方形，且边长为300um，标识增厚层131在基板11上的垂直投影与曝光对位标识12在基板11上的垂直投影重合。示例性的，曝光对位标识12的厚度为0.5um，标识增厚层131的厚度为2.0um，则曝光对位标识12所在位置的高度由0.5um增加为2.5um，其高度增加，从而可识别性提高。

S30、在彩色滤光层远离基板的一侧形成黑色光阻层。

示例性的，图4是形成黑色光阻层后显示面板的结构示意图；图5是形成黑色光阻层后显示面板的平面示意图。参考图4和图5，黑色光阻层140覆盖标识增厚层131和彩色滤光单元132。

需要说明的是，图5中仅示例性的示出了4行6列的彩色滤光单元132，并非对本发明的限定。在其他实施方式中，彩色滤光单元132的行数和列数可根据显示面板的实际需求设定。

S40、通过曝光对位标识和标识增厚层进行曝光对位，以对黑色光阻层进行曝光，形成黑色遮光层。

其中，对位过程中，曝光对位标识所在位置与其周边区域的高度差为曝光对位标识的厚度与标识增厚层的厚度之和，与周边区域的高度差较大，可以通过检测显示面板的厚度，或者检测黑色光阻层远离基板一侧的表面的高度确定曝光对位标识的位置，提高了曝光对位标识的位置识别精度，提高了曝光对位精度，从而提高黑色遮光层的制作精度。

示例性的，图6是形成黑色遮光层后显示面板的结构示意图。参考图6，通过曝光对位标识12的精准识别，可实现黑色光阻层的精准曝光，从而使黑色遮光层14与彩色滤光单元132在基板上的位置分布更精准，从而提高显示面板的画面显示质量。

需要说明的是，图6中仅示例性的示出了彩色滤光层与黑色遮光层的相对位置关系，对彩色滤光层和黑色遮光层的相对大小并不做具体限定。

本发明实施例提供的显示面板的制作方法，通过在曝光对位标识远离基板的一侧形成彩色滤光层，彩色滤光层包括覆盖曝光对位标识的标识增厚层，标识增厚层与曝光对位标识的形状相同且大小相同，以此来增加曝光对位标识所在位置的厚度；在彩色滤光层远离基板的一侧形成黑色光阻层，由于曝光对位标识所在位置厚度增加，可实现曝光对位标识的精准识别，从而提高黑色遮光层的制作精度。

图7是本发明实施例提供的标识增厚层为单层的显示面板的结构示意图。参照图7，可选的，彩色滤光层还包括第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G和第三彩色滤光层132B；第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G和第三彩色滤光层132B在基板11上的垂直投影不交叠。

其中，第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G和第三彩色滤光层132B在基板11上的垂直投影不交叠。

第一彩色滤光层132R包括多个第一彩色滤光单元，第二彩色滤光层132G包括多个第二彩色滤光单元，第三彩色滤光层132B包括多个第三彩色滤光单元。

可选的，标识增厚层131与第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G和第三彩色滤光层132B中的任一层在同一工艺中形成。

参考图7，标识增厚层131R与第一彩色滤光层132R在同一工艺中形成，此时，曝光对位标识12所在位置增加的高度差与第一彩色滤光层132R的厚度相同，由此提高了曝光对位标识的识别精准度，从而提高了黑色遮光层的制作精度。

需要说明的是，图7仅示例性的示出了标识增厚层与第一彩色滤光层在同一工艺中形成的显示面板的结构，但并非对本实施例的限定。在其他实施方式中，标识增厚层还可与第二彩色滤光层在同一工艺中形成，或者，标识增厚层与第三彩色滤光层在同一工艺中形成。

可选的，标识增厚层包括第一标识层和第二标识层，第二标识层位于第一标识层远离曝光对位标识的一侧；第一标识层和第二标识层分别与第一彩色滤光层和第二彩色滤光层在同一工艺中形成，或，第一标识层和第二标识层分别与第二彩色滤光层和第三彩色滤光层中在同一工艺中形成，或，第一标识层和第二标识层分别与第一彩色滤光层和第三彩色滤光层在同一工艺中形成。

示例性的，图8是本发明实施例提供的标识增厚层为两层的显示面板的结构示意图。参照图8，标识增厚层包括第一标识层131R和第二标识层131G，第一标识层131R与第一彩色滤光层132R在同一工艺中形成，第二标识层131G与第二彩色滤光层132G在同一工艺中形成，此时，曝光对位标识12所在位置增加的高度差等于第一彩色滤光层132R和第二彩色滤光层132G的厚度之和，从而使曝光对位标识12所在位置与周边位置的高度差进一步增大，从而进一步提高了曝光对位标识的识别精准度，从而进一步提高黑色遮光层的制作精度。

需要说明的是，图8仅示例性的示出了标识增厚层与第一彩色滤光层以及第二彩色滤光层在同一工艺中形成的显示面板的结构，但并非对本实施例的限定。在其他实施方式中，标识增厚层还可与三层彩色滤光层中的任两层在同一工艺中形成。

可选的，标识增厚层包括层叠设置的第一标识层、第二标识层和第三标识层，第二标识层位于第一标识层远离曝光对位标识的一侧，第一标识层、第二标识层和第三标识层分别与第一彩色滤光层、第二彩色滤光层和第三彩色滤光层在同一工艺中形成。

由此，标识增厚层可与第一彩色滤光层、第二彩色滤光层和第三彩色滤光层中的任一层、任两层或者三层在同一工艺中形成，即标识增厚层的形成无需引入新的工艺步骤，从而可简化工艺流程，节省工艺成本。

示例性的，以标识增厚层为三层膜结构为例，对彩色滤光层的形成步骤进行示例性说明，图9是本发明实施例提供的形成彩色滤光层的流程示意图。参照图9，该步骤包括：

S201、在曝光对位标识远离基板的一侧形成第一色阻层，图案化第一色阻层形成第一彩色滤光层和覆盖曝光对位标识的第一标识层。

其中，第一标识层的厚度可通过曝光条件的调节进行控制，示例性的，曝光时光强越大，曝光时间越长，第一标识层的厚度越薄；反之，曝光时光强越小，曝光时间越短，第一标识层的厚度越厚。

示例性的，图10是形成第一色阻层后的显示面板的结构示意图。参照图10，第一色阻层13R覆盖曝光对位标识12和基板11。

示例性的，图11是图案化第一色阻层后的显示面板的结构示意图。结合图10和图11，图案化第一色阻层13R后，形成第一彩色滤光层132R和第一标识层131R，其中，第一标识增厚层131R与曝光对位标识12形状相同且大小相同。

S202、在第一彩色滤光层远离基板的一侧形成第二色阻层，图案化第二色阻层形成第二彩色滤光层和覆盖第一标识层的第二标识层。

其中，第二标识层的厚度也可通过曝光条件的调节进行控制，可参见第一标识层，在此不再赘述。

示例性的，图12是形成第二色阻层后的显示面板的结构示意图。参照图12，第二色阻层13G覆盖第一彩色滤光层132R、第一标志层131R和基板11。

示例性的，图13是图案化第二色阻层后的显示面板的结构示意图。结合图12和图13，图案化第二色阻层13G后，形成第二彩色滤光层132G和第二标识层131G，其中，第二标识增厚层131G与第一标识增厚层131R以及曝光对位标识12的形状相同且大小相同。

S203、在第二彩色滤光层远离第一彩色滤光层的一侧形成第三色阻层，图案化第三色阻层形成第三彩色滤光层和覆盖第二标识层的第三标识层。

其中，第三标识层的厚度同样可通过曝光条件的调节进行控制，可参见第一标识层，在此不再赘述。

示例性的，图14是形成第三色阻层后的显示面板的结构示意图。参照图14，第三色阻层13B覆盖第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G、第二标识层131G和基板11。

示例性的，图15是图案化第三色阻层后的显示面板的结构示意图。结合图14和图15，图案化第三色阻层13B后，形成第三彩色滤光层132B和第三标识层131B，其中，第三标识增厚层131B与第一标识增厚层131R、第二标识增厚层131G以及曝光对位标识12的形状相同且大小相同。

示例性的，图16是形成黑色光阻层后的显示面板的又一结构示意图。参照图16，黑色光阻层140覆盖第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G、第三彩色滤光层132B、第三标识层131B和基板11。此时，黑色光阻层140在曝光对位标识12所在位置的高度与周边区域的高度差为曝光对位标识12、第一标识层131R、第二标识层131G和第三标识层131B四层膜层的厚度之和，相对于曝光对位标识12本身的厚度而言，厚度显著增加，利于实现曝光对位标识的精准识别，从而使黑色光阻层的曝光对位更精准。

同时，第一彩色滤光层132R、第二彩色滤光层132G和第三彩色滤光层132B在基板11上的垂直投影不交叠，可形成显示面板中的彩色滤光层。

示例性的，图17是图案化黑色光阻层后的显示面板的又一结构示意图。结合图16和图17，图案化黑色光阻层140后，形成黑色遮光层14。

可选的，曝光对位标识的形状为矩形、十字型、菱形或者圆形。本发明实施例对比不限定，可实现曝光前精准对位即可。

示例性的，曝光对位标识为矩形时，标识增厚层为矩形；曝光对位标识为十字型时，标识增厚层为十字型。需要说明的是，图5中仅示例性的示出了曝光对位标识为圆形的情况，仅为对本发明的说明，并非限定。

可选的，图1中步骤S40包括：检测曝光对位标识和标识增厚层的轮廓确定曝光对位标识的位置，并根据曝光对位标识的位置进行曝光对位。

其中，曝光对位前，黑色光阻层在基板及前述工艺形成的结构上整面覆盖，由于黑色光阻层的光密度值较高，对光线吸收能力较强，因此，若采用光学识别方式对曝光对位标识进行识别，容易造成曝光对位标识识别不准确，从而导致曝光机无法精确对位。由此，本发明实施例通过曝光对位标识所在位置的高度与周边区域的高度差值，来检测曝光对位标识以及覆盖在曝光对位标识上的标识增厚层的轮廓来确定曝光对位标识的位置，从而实现曝光对位标识的精准识别，进而实现黑色光阻层的精准曝光。

可选的，基板为阵列基板。其中，阵列基板上可包括多个阵列排布的像素单元、多条扫描线和数据线。

本发明实施例提供的显示面板将彩色滤光层和黑色遮光层集成到阵列基板上，通过彩色滤光层增加像素电极与金属走线之间的距离，可减小二者之间的电容耦合效应，从而可以改善金属走线上的信号延时效应，进而提高显示面板的画面显示质量。并且将黑色遮光层与彩色滤光层集成到阵列基板上，可解决黑色遮光层形成在对置基板上导致的遮光不完全的问题，从而可提高显示面板的画面显示质量。

可选的，第一彩色滤光层、第二彩色滤光层和第三彩色滤光层分别为红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层。

示例性的，对于液晶显示面板而言，可通过设置不同颜色的滤光层实现像素单元发出红色、绿色或蓝色的光，从而实现显示面板的彩色画面正常显示。

可选的，黑色遮光层为黑矩阵或黑色间隔物。

其中，黑矩阵主要用来防止画素间的漏光，以及增加色彩的对比性，以保证显示面板的画面显示效果。黑色间隔物为设置于阵列基板与对置基板之间的支撑物，用于支撑对置基板和阵列基板，并且具有一定的遮光作用。

本发明实施例提供的显示面板的制作方法，通过在曝光对位标识远离基板的一侧形成彩色滤光层，彩色滤光层包括覆盖曝光对位标识的标识增厚层，标识增厚层与曝光对位标识的形状相同且大小相同，以此来增加曝光对位标识所在位置的厚度；在彩色滤光层远离基板的一侧形成黑色光阻层，由于曝光对位标识所在位置厚度增加，可实现曝光对位标识的精准识别。此外，将彩色滤光层和黑色遮光层集成到阵列基板上，可解决黑色遮光层形成在对置基板上导致的遮光不完全的问题，同时可改善金属走线上的信号延时效应，提高显示面板的画面显示质量。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一基板，所述基板上设置有至少一个曝光对位标识；

在所述曝光对位标识远离所述基板的一侧形成彩色滤光层，所述彩色滤光层包括覆盖所述曝光对位标识的标识增厚层，所述标识增厚层与所述曝光对位标识的形状相同且大小相同；

在所述彩色滤光层远离所述基板的一侧形成黑色光阻层；

通过所述曝光对位标识和所述标识增厚层进行曝光对位，以对所述黑色光阻层进行曝光，形成黑色遮光层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于,

所述彩色滤光层还包括第一彩色滤光层、第二彩色滤光层和第三彩色滤光层；所述第一彩色滤光层、所述第二彩色滤光层和所述第三彩色滤光层在所述基板的垂直投影不交叠。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于,

所述标识增厚层与所述第一彩色滤光层、所述第二彩色滤光层和所述第三彩色滤光层中的任一层在同一工艺中形成；或者，

所述标识增厚层包括第一标识层和第二标识层，所述第二标识层位于所述第一标识层远离所述曝光对位标识的一侧；所述第一标识层和所述第二标识层分别与所述第一彩色滤光层和所述第二彩色滤光层在同一工艺中形成，或，所述第一标识层和所述第二标识层分别与所述第二彩色滤光层和所述第三彩色滤光层中在同一工艺中形成，或，所述第一标识层和所述第二标识层分别与所述第一彩色滤光层和所述第三彩色滤光层在同一工艺中形成；或者，

所述标识增厚层包括层叠设置的第一标识层、第二标识层和第三标识层，所述第二标识层位于所述第一标识层远离所述曝光对位标识的一侧，所述第一标识层、所述第二标识层和所述第三标识层分别与所述第一彩色滤光层、所述第二彩色滤光层和所述第三彩色滤光层在同一工艺中形成。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述曝光对位标识远离所述基板的一侧形成彩色滤光层，包括：

在所述曝光对位标识远离所述基板的一侧形成第一色阻层，图案化所述第一色阻层形成所述第一彩色滤光层和覆盖所述曝光对位标识的第一标识层；

在所述第一彩色滤光层远离所述基板的一侧形成第二色阻层，图案化所述第二色阻层形成所述第二彩色滤光层和覆盖所述第一标识层的第二标识层；

在所述第二彩色滤光层远离所述第一彩色滤光层的一侧形成第三色阻层，图案化所述第三色阻层形成所述第三彩色滤光层和覆盖所述第二标识层的第三标识层。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述曝光对位标识的形状为矩形、十字型、菱形或者圆形。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过所述曝光对位标识和所述标识增厚层进行曝光对位包括：

检测所述曝光对位标识和所述标识增厚层的轮廓确定所述曝光对位标识的位置，并根据所述曝光对位标识的位置进行曝光对位。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于,

所述基板为阵列基板。

8.根据权利要求2所述的方法，其特征在于,

所述第一彩色滤光层、所述第二彩色滤光层和所述第三彩色滤光层分别为红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于,

所述黑色遮光层为黑矩阵或黑色间隔物。

10.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一基板，所述基板上设置有至少一个曝光对位标识；

在所述曝光对位标识远离所述基板的一侧形成第一色阻层，图案化所述第一色阻层形成第一彩色滤光层和覆盖所述曝光对位标识的第一标识层；

在所述第一彩色滤光层远离所述基板的一侧形成第二色阻层，图案化所述第二色阻层形成第二彩色滤光层和覆盖所述第一标识层的第二标识层；

在所述第二彩色滤光层远离所述基板的一侧形成第三色阻层，图案化所述第三色阻层形成第三彩色滤光层和覆盖所述第二标识层的第三标识层；其中，所述第一标识层、所述第二标识层和所述第三标识层构成覆盖所述曝光对位标识的标识增厚层，所述标识增厚层与所述曝光对位标识的形状相同且大小相同；

在所述第三彩色滤光层远离所述基板的一侧形成黑色光阻层；

检测所述曝光对位标识和标识增厚层的轮廓确定所述曝光对位标识的位置，并根据所述曝光对位标识的位置进行曝光对位，以对所述黑色光阻层进行曝光，形成黑色遮光层。