CN105425453A - 彩色滤光片基板、显示装置及彩色滤光片基板制作方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了彩色滤光片基板、显示装置及彩色滤光片基板制作方法。彩色滤光片基板的一具体实施方式包括：彩色滤光片基板包括形成于衬底之上的叠置的第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层；第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层均包括多个形状相同的滤光单元；滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，各滤光单元中的滤光区和第一开孔区的间距与第一开孔区和第二开孔区的间距相等；第二滤光片层的滤光区与第一滤光片层的第一开孔区重合，第三滤光片层的滤光区与第一滤光片层的第二开孔区重合。本申请提供的实施方式可以防止出现由于制作各滤光片层时对位不准造成的色偏的问题。

Description

彩色滤光片基板、显示装置及彩色滤光片基板制作方法

技术领域

本申请涉及电子技术领域，具体涉及显示技术领域，尤其涉及一种彩色滤光片基板、显示装置及彩色滤光片基板制作方法。

背景技术

随着高PPI(PixelsPerInch，每英寸的像素数量)的显示屏幕的广泛应用，人们在追求高PPI的同时，也希望能够得到高亮度的显示效果。为了得到高亮度的显示效果，就要提高每个子像素的开口率。在现有技术中，实现了相邻两个子像素之间使用两层色阻叠加取代BM(BlackMatrix，黑色矩阵)的彩色滤光片基板以提高开口率，如图1所示，该彩色滤光片基板100包括衬底11、第一滤光片(色阻)12、第二滤光片(色阻)13和第三滤光片(色阻)14。第一滤光片(色阻)12、第二滤光片(色阻)13和第三滤光片(色阻)14的颜色不相同。其中，第一滤光片12、第二滤光片13和第三滤光片14并排设置，且部分第二滤光片层叠置在部分第一滤光片之上，部分第三滤光片叠置在部分第二滤光片层之上，部分第一滤光片叠置在部分第三滤光片之上。两层颜色不同滤光片叠置几乎可以吸收全部的光线，可以取代BM。

但是，这样的结构在制作色阻的过程中，由于对位不准会造成构成像素的各子像素的开口率不一致，很容易造成像素出现色偏的问题。

发明内容

鉴于现有技术存在的上述问题，期望提供一种既具有较高开口率，又能防止色偏的解决方案，为了实现上述目的，本申请提出一种彩色滤光片基板、显示装置及彩色滤光片基板制作方法。

一方面，本申请提供了一种彩色滤光片基板，包括衬底，还包括形成于衬底之上的叠置的第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层；所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层均包括多个形状相同的滤光单元；所述滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，各所述滤光单元中的所述滤光区和所述第一开孔区的间距与所述第一开孔区和第二开孔区的间距相等；所述第二滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第一开孔区重合，且所述第二滤光片层的第一开孔区与所述第一滤光片层的第二开孔区相对应；所述第三滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第二开孔区重合，且所述第三滤光片层的第一开孔区与所述第二滤光片层的第二开孔区相对应。

可选的，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色互不相同。

可选的，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色分别为红色、绿色、蓝色中的一种。

可选的，所述滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状为矩形、其他多边形或圆形。

可选的，所述第一滤光片层、所述第二滤光片层和所述第三滤光片层的厚度相同。

可选的，所述彩色滤光基板还包括平坦化层，所述平坦化层叠置在所述第三层滤光片层之上。

本申请的第二方面提出了一种显示装置，包括所述彩色滤光片基板。

可选的，所述显示装置为液晶显示装置或有机电致发光显示装置。

本申请的第三方面提出了一种彩色滤光片基板制作方法，包括以下步骤：在衬底上形成第一滤光片层；在第一滤光片层之上形成第二滤光片层；在第二滤光片层之上形成第三滤光片层；其中，所述第一滤光片层、所述第二滤光片层和所述第三滤光片层均包括多个形状相同的滤光单元，各所述滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，各所述滤光单元中的所述滤光区和所述第一开孔区的间距与所述第一开孔区和第二开孔区的间距相等；所述第二滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第一开孔区重合，且所述第二滤光片层的第一开孔区与所述第一滤光片层的第二开孔区相对应；所述第三滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第二开孔区重合，且所述第三滤光片层的第一开孔区与所述第二滤光片层的第二开孔区相对应。

可选的，所述在衬底上形成第一滤光片层，包括：在所述衬底上涂覆第一色阻层；透过与所述滤光单元相对应的掩膜版对所述第一色阻层进行曝光；对曝光过的第一色阻层进行显影，形成包括多个所述滤光单元的第一滤光片层。

可选的，所述在第一滤光片层之上形成一层第二滤光片层，包括：在所述第一滤光片层之上涂覆第二色阻层；透过与所述滤光单元相对应的掩膜版对所述第二色阻层进行曝光，其中，所述掩膜版的对应滤光区的位置对应所述第一滤光片层的第一开孔区，所述掩膜版的对应第一开孔区的位置对应所述第一滤光片层的第二开孔区；对曝光过的第二色阻层进行显影，形成包括多个所述滤光单元的第二滤光片层。

可选的，所述在第二滤光片层之上形成一层第三滤光片层，包括：在所述第二滤光片层之上涂覆第三色阻层；透过与所述滤光单元相对应的掩膜版对所述第三色阻层进行曝光，其中，所述掩膜版的对应所述滤光单元的滤光区的位置对应所述第一滤光片层的滤光单元的第二开孔区，所述掩膜版的对应所述滤光单元的第一开孔区的位置对应所述第二滤光片层的滤光单元的第一开孔区；对曝光过的第三色阻层进行显影，形成包括多个所述滤光单元的第三滤光片层。

可选的，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色互不相同。

可选的，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色分别为红色、绿色、蓝色中的一种。

可选的，所述滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状为矩形、其他多边形或圆形。

可选的，形成的所述第一滤光片层、所述第二滤光片层和所述第三滤光片层的厚度相同。

可选的，所述彩色滤光片基板制作方法还包括在所述第三层滤光片层之上形成一层平坦化层。

本申请提供的彩色滤光片基板、显示装置及彩色滤光片基板制作方法，通过将三层不同颜色滤光片层分别分成多个形状相同的滤光单元，滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区。滤光单元中的滤光区和第一开孔区的间距与第一开孔区和第二开孔区的间距相等；第二滤光片层的滤光区与第一滤光片层的第一开孔区重合，且第二滤光片层的第一开孔区与第一滤光片层的第二开孔区相对应；第三滤光片层的滤光区与第一滤光片层的第二开孔区重合，且第三滤光片层的第一开孔区与所述第二滤光片层的第二开孔区相对应。这样的结构使得即便有一层滤光片层(色阻)对位不准，也不会导致各子像素的出光不均匀，从而避免了色偏的问题。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是现有技术中的彩色滤光片基板的示意图；

图2A是本申请彩色滤光片基板的一个实施例的示意性截面图；

图2B是本申请彩色滤光片基板的一个实施例的各滤光片层的相对位置示意图；

图2C是本申请彩色滤光片基板的一个实施例的结构俯视图；

图3是本申请彩色滤光片基板制作方法的一个实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图2A，其示出了本申请彩色滤光片基板的一个实施例的示意性截面图。

如图2A所示，本实施例的彩色滤光片基板200包括，衬底21，还包括叠置于衬底21之上的第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24。

图2B示出了本实施例的彩色滤光片基板的所包括的各滤光片层的相对位置。如图2B所示，第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24都包括形状相同的多个滤光单元。也就是说，第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24的每一层包括形状相同的多个滤光单元，而且各层之间的滤光单元的形状也相同。

以第一滤光片层22的一个滤光单元221为例进行说明，如图2B所示，第一滤光片层22的滤光单元221包括滤光区2211、第一开孔区2212和第二开孔区2213。滤光区2211、第一开孔区2212和第二开孔区2213的形状相同。滤光区2211和第一开孔区2212之间的距离与第一开孔区与第二开孔区之间的距离L相等。在本实施例中，如图2B所示，可以设置同一滤光片层内的滤光单元221的第二开孔区2213到与滤光单元221’的滤光区2211’的距离为L，其中，滤光单元221与滤光单元221’相邻且滤光单元221’的滤光区2211’与滤光单元221的第二开孔区2213相邻。具体的，如图2B所示，可以设置任意一个滤光单元221的滤光区2211到221的边L1的距离为L/2，滤光单元221的第二开孔区与滤光单元221的边L1’的距离为L/2。

在图2B中示意性给出了第一滤光片层的滤光单元221和221’、第二滤光片层的滤光单元231和231’以及第三滤光片层的滤光单元241和241’的相对位置。在图2A中给出了第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层按照图2B所示的相对位置叠置后的示意性图。结合图2A和2B，彩色滤光片基板的第二滤光片层23的滤光单元231的滤光区2311与第一滤光片层22的滤光单元221的第一开孔区2212重合，而且第二滤光片层23的滤光单元231的第一开孔区2312与第一滤光片层22的滤光单元221第二开孔区2213相对应。也就是说，第二滤光片层23的滤光单元231的滤光区2311位于第一滤光片层22的第一开孔区2212的位置；同时，第二滤光片层23的滤光单元231的第一开孔区2312与第一滤光片层22的第二开孔区2213对齐；第二滤光片层23的滤光单元231的第二开孔区2313与第一滤光片层22的滤光单元221相邻的滤光单元221’的滤光区2211’重合。

第三滤光片层24的滤光单元241的滤光区2411与第一滤光片层22的滤光单元221的第二开孔区2213重合。而且第三滤光片层24的第一开孔区2412对应第二滤光片层23的第二开孔区2313。

也就是说，第三滤光片层24的滤光区2411位于第一滤光片层22的第二开孔区2213的位置；同时，第三滤光片层24的滤光单元241的第一开孔区2412与第二滤光片层23的滤光单元231的第二开孔区2313相对齐；第三滤光片层24的滤光单元241的第二开孔区2413与第二滤光片层23与滤光单元231相邻的滤光单元231’的滤光区2311’相对齐。

由于各层的滤光单元中的滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状相同；同时，滤光区与第一开孔区的间距和第一开孔区与第二开孔区之间的间距均为L以及如图2B的第一滤光片层的滤光单元221所示的，将滤光区与边缘L1的距离设置为L/2，将第二开孔区与边缘L2的距离设置为L/2，这样使得第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层除去滤光区、第一开孔区和第二开孔区的部分可以重叠。

这样，如图2C所示，以一定角度俯视本实施例的阵列基板，可以看出在基板上，依次排列着第一滤光片层的滤光区2211、第二滤光片层的滤光区2311以及第三滤光片层的滤光区2411，以及在第一滤光片层的滤光区2211、第二滤光片层的滤光区2311之间和在第二滤光片层的滤光区2311和第三滤光片层的滤光区2411之间叠置的宽度为L的第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24。这样，在制作滤光区(色阻)的过程中，任意一层的滤光片层对位发生错位时，由于该滤光片层的以滤光单元为最小单位错位(任意两层滤光片层叠加就可以认为光被全部吸收)则会引起第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区和第二滤光片层的滤光区相同的错位，也就是说，第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区和第二滤光片层的滤光区分别对应的子像素的出光的形状和大小相同，由于这三个滤光区分别对应同一个滤光单元的形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，即便有任意一层滤光片层发生错位，各子像素的形状和大小不会发生相对变化。避免了在制作滤光区(色阻)的过程中，由于对位错位而造成的色偏的问题。

在一些可选的实现方式中，第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24的颜色互不相同。也就是说第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层中的任意一层的颜色可以为任意颜色，且各层之间的颜色互不相同。

值得指出的是，在实际使用过程中，一个像素可以由四个甚至更多的颜色不相同的子像素组成，可以根据具体的子像素的数量和颜色设置滤光片层数以及各滤光单元中所包含的开孔区的个数。例如，假设，滤光片层数为m，则滤光单元中所包含的开孔区个数为m-1个。

另外需要指出的是，本实施例的滤光单元中的滤光区、第一开孔区和第二开孔区的位置示意性的，在实际使用中，可以交换滤光区、第一开孔区和第二开孔区的位置。例如，可以将图2B中第一滤光片层22的滤光单元221中所示的滤光区2211设置为第一开孔区，而将图2B中所示的第一开孔区2211设置为滤光区。

在一些可选的实现方式中，第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24的颜色不相同，且分别可以为红色、绿色、蓝色中的一种。

在一些可选的实现方式中，滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状相同，例如，滤光区、第一开孔区和第二开孔区可以为矩形、其他多边形和圆形中的一种形状。在实际应用场景中，可以根据具体的子像素的形状和大小设置滤光单元的滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状和大小。

在一些可选的实现方式中，第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24的厚度均相同。这样，便于采用常规的掩膜工艺制作第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24，降低制作成本。

在一些可选的实现方式中，如图2A所示，在彩色滤光片基板上还包括平坦化层25，平坦化层25叠置在第三滤光片层24之上。厚度可以根据实际需要进行设定。由于在第一滤光片层22的滤光区2211、第二滤光片层23的滤光区2311之间和在第二滤光片层23的滤光区2311和第三滤光片层24的滤光区2411之间叠置的宽度为L的第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24，则叠置的第一滤光片层22、第二滤光片层23和第三滤光片层24明显高出滤光区。导致彩色滤光片层表面不平整，不便于后续配向工艺的实施。在第三滤光片层表面涂覆一层平坦化层，可以解决这个问题。

本实施例还提供一种显示装置，该显示装置包括上述实施例的彩色滤光片基板，上述显示装置的一个可选实施方式为液晶显示装置，上述显示装置的另一个可选实施方式为有机电致发光显示装置。

请参考图3，图3是本申请彩色滤光片基板制作方法的一个实施例的流程示意图。

如图3所示，本实施例的彩色滤光片基板制作方法可以包括以下步骤：

步骤301，在衬底上形成第一滤光片层，第一滤光片层包括多个形状相同的滤光单元。

步骤302，在第一滤光片层之上形成第二滤光片层，第二滤光片层包括多个形状相同的滤光单元。

步骤303，在第二滤光片层之上形成第三滤光片层，第三滤光片层包括多个形状相同的滤光单元。

上述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层均包括多个形状相同的滤光单元，各滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，各滤光单元中的滤光区和第一开孔区的间距与第一开孔区和第二开孔区的间距相等；第二滤光片层的滤光区与第一滤光片层的第一开孔区重合，且第二滤光片层的第一开孔区与第一滤光片层的第二开孔区相对应；第三滤光片层的滤光区与第一滤光片层的第二开孔区重合，且第三滤光片层的第一开孔区与第二滤光片层的第二开孔区相对应。

在本实施例的一些可选的实现方式中，形成第一滤光片层包括以下步骤：

步骤一，在衬底上涂覆第一色阻层。

在本实施例中，色阻层可以为混合了某种颜色的光刻胶，光刻胶可以为正性胶也可以为负性胶。

步骤二，透过与滤光单元相对应的掩膜对第一色阻层进行曝光。

在本实施例中，透过掩膜的透光区对上述色阻层进行曝光，掩膜的遮光区阻止上述色阻层曝光。掩膜的形状可以根据滤光单元的形状及色胶的正、负性进行设置。例如，若色胶为负性胶，由于被曝光的负性胶不容易去除，则将掩膜的对应第一开孔区和第二开孔区的部分设置为遮光区，而将对应滤光区以及对应滤光单元除第一开孔区、第二开孔区及滤光区之外的部分设置为透光区。

步骤三，对曝光过的第一色阻层进行显影，形成包括多个滤光单元的第一滤光片层。

在本实施例中，可以使用显影液对曝光过的色阻层进行显影，得到包含多个滤光单元的第一滤光片层。

在本实施例的一些可选的实现方式中，形成第二滤光片层包括以下步骤：

步骤一，在第一滤光片层之上涂覆第二色阻层。

步骤二，透过与滤光单元相对应的掩膜版对第二色阻层进行曝光，其中，掩膜版的对应滤光区的位置对应第一滤光片层的第一开孔区，掩膜版的对应第一开孔区的位置对应第一滤光片层的第二开孔区。

步骤三，对曝光过的第二色阻层进行显影，形成包括多个滤光单元的第二滤光片层。

在本实施例的一些可选的实现方式中，形成第三滤光片层包括以下步骤：

步骤一，在第二滤光片层之上涂覆第三色阻层。

步骤二，透过与滤光单元相对应的掩膜版对第三色阻层进行曝光，其中，掩膜版的对应滤光单元的滤光区的位置对应第一滤光片层的滤光单元的第二开孔区，掩膜版的对应滤光单元的第一开孔区的位置对应第二滤光片层的滤光单元的第一开孔区。

步骤三，对曝光过的第三色阻层进行显影，形成包括多个滤光单元的第三滤光片层。

通过上述步骤形成的第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区和第三滤光片层的滤光区依次排列在衬底上，同时在衬底上的第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区之间和在第二滤光片层的滤光区和第三滤光片层的滤光区之间叠置了部分第一滤光片层、部分第二滤光片层和部分第三滤光片层。

在一些可选的实现方式中，第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色互不相同。

在一些可选的实现方式中，第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色分别可以为红色、绿色、蓝色中的任意一种。

在一些可选的实现方式中，滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状为矩形、其它多边形和圆形中的一种。在实际应用场景中，可以根据具体的子像素的形状和大小来设置滤光单元中的滤光区、第一开孔区、第二开孔区的形状和大小。

在一些可选的实现方式中，形成的第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的厚度相同。在实际应用中，可以根据使用的滤光片层(色阻的极性)来设计用以形成滤光单元的掩膜的透光区和遮光区。例如，若滤光片层的极性为负极性，则可以根据常规的掩膜设计方法，将掩膜对应滤光单元的第一开孔区和第二开孔区的部分设置为遮光区，掩膜的对应滤光单元的滤光区、滤光区与第一开孔区的之间、第一开孔区与第二开孔区之间的部分设置为透光区。

在一些可选的实现方式中，本实施例的彩色滤光片基板制作方法还可以包括：

步骤304，在第三层滤光片层之上形成一层平坦化层。平坦化层的厚度可以根据实际需要进行设定。

上述方法在制作滤光基板的过程中，对各层滤光片层制作了包括多个形状相同的滤光单元，而且，第二滤光片层的滤光单元的滤光区制作在第一滤光片层的第一开孔区内，第三滤光片层的滤光单元的滤光区制作在第一滤光片层的第三开孔区内。这样，最后在基板上最终依次形成第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区和第三滤光片层的滤光区以及第一滤光片层的滤光区与第二滤光片层的滤光区之间和第二滤光片层的滤光区与第三滤光片层的滤光区之间的叠置的部分第一滤光片层、部分第二滤光片层和部分第三滤光片层。这样，在制作任意一层的滤光片层时，掩膜对位发生错位时，由于该滤光片层的以滤光单元为最小单位错位(任意两层滤光片层叠加就可以认为光被全部吸收)则会引起第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区和第二滤光片层的滤光区相同的错位，也就是说，第一滤光片层的滤光区、第二滤光片层的滤光区和第二滤光片层的滤光区分别对应的子像素的出光的形状和大小相同，由于这三个滤光区分别对应同一个滤光单元的形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，即便有任意一层滤光片层发生错位，各子像素的形状和大小不会发生相对变化。避免了在制作滤光区(色阻)的过程中，由于对位错位而造成的色偏的问题。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (17)

1.一种彩色滤光片基板，包括衬底，其特征在于，还包括形成于衬底之上的叠置的第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层；

所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层均包括多个形状相同的滤光单元；

所述滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，各所述滤光单元中的所述滤光区和所述第一开孔区的间距与所述第一开孔区和第二开孔区的间距相等；

所述第二滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第一开孔区重合，且所述第二滤光片层的第一开孔区与所述第一滤光片层的第二开孔区相对应；

所述第三滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第二开孔区重合，且所述第三滤光片层的第一开孔区与所述第二滤光片层的第二开孔区相对应。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板，其特征在于，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色互不相同。

3.根据权利要求2所述的彩色滤光片基板，其特征在于，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色分别为红色、绿色、蓝色中的一种。

4.根据权利要求1所述的彩色滤光基板，其特征在于，所述滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状为矩形、其他多边形或圆形。

5.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板，其特征在于，所述第一滤光片层、所述第二滤光片层和所述第三滤光片层的厚度相同。

6.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板，其特征在于，还包括平坦化层，所述平坦化层叠置在所述第三层滤光片层之上。

7.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-6任意一项所述的彩色滤光片基板。

8.根据权利要求7所述的显示装置，其特征在于，所述显示装置为液晶显示装置或有机电致发光显示装置。

9.一种彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

在衬底上形成第一滤光片层；

在第一滤光片层之上形成第二滤光片层；

在第二滤光片层之上形成第三滤光片层；

其中，

所述第一滤光片层、所述第二滤光片层和所述第三滤光片层均包括多个形状相同的滤光单元，各所述滤光单元包括形状相同的滤光区、第一开孔区和第二开孔区，各所述滤光单元中的所述滤光区和所述第一开孔区的间距与所述第一开孔区和第二开孔区的间距相等；

所述第二滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第一开孔区重合，且所述第二滤光片层的第一开孔区与所述第一滤光片层的第二开孔区相对应；

所述第三滤光片层的滤光区与所述第一滤光片层的第二开孔区重合，且所述第三滤光片层的第一开孔区与所述第二滤光片层的第二开孔区相对应。

10.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述在衬底上形成第一滤光片层，包括：

在所述衬底上涂覆第一色阻层；

透过与所述滤光单元相对应的掩膜版对所述第一色阻层进行曝光；

对曝光过的第一色阻层进行显影，形成包括多个所述滤光单元的第一滤光片层。

11.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述在第一滤光片层之上形成一层第二滤光片层，包括：

在所述第一滤光片层之上涂覆第二色阻层；

透过与所述滤光单元相对应的掩膜版对所述第二色阻层进行曝光，其中，所述掩膜版的对应滤光区的位置对应所述第一滤光片层的第一开孔区，所述掩膜版的对应第一开孔区的位置对应所述第一滤光片层的第二开孔区；

对曝光过的第二色阻层进行显影，形成包括多个所述滤光单元的第二滤光片层。

12.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述在第二滤光片层之上形成一层第三滤光片层，包括：

在所述第二滤光片层之上涂覆第三色阻层；

透过与所述滤光单元相对应的掩膜版对所述第三色阻层进行曝光，其中，所述掩膜版的对应所述滤光单元的滤光区的位置对应所述第一滤光片层的滤光单元的第二开孔区，所述掩膜版的对应所述滤光单元的第一开孔区的位置对应所述第二滤光片层的滤光单元的第一开孔区；

对曝光过的第三色阻层进行显影，形成包括多个所述滤光单元的第三滤光片层。

13.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色互不相同。

14.根据权利要求13所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述第一滤光片层、第二滤光片层和第三滤光片层的颜色分别为红色、绿色、蓝色中的一种。

15.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述滤光区、第一开孔区和第二开孔区的形状为矩形、其他多边形或圆形。

16.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，形成的所述第一滤光片层、所述第二滤光片层和所述第三滤光片层的厚度相同。

17.根据权利要求9所述的彩色滤光片基板制作方法，其特征在于，所述方法还包括在所述第三层滤光片层之上形成一层平坦化层。