TWI847803B

TWI847803B - 晶圓儲存盒

Info

Publication number: TWI847803B
Application number: TW112126985A
Authority: TW
Inventors: 陳延方
Original assignee: 鼎洲科技股份有限公司
Priority date: 2023-07-19
Filing date: 2023-07-19
Publication date: 2024-07-01

Abstract

一種晶圓儲存盒包含一盒體、一蓋體及一晶圓保持器。該盒體界定出一容置空間供該承載架放置。該蓋體樞接於該盒體，並包括一頂壁及多個形成於該頂壁底面的定位柱。該等定位柱形成於該頂壁底面中央且排列成上下左右完全對稱的圖形。該晶圓保持器可拆卸地設置該蓋體的頂壁底面，並包括一基壁、兩個分別自該基壁兩相反側向下延伸並適用於抵接晶圓的延伸壁，及多個形成於該基壁頂面的接合柱，該等接合柱形成於基壁頂面中央且排列成上下左右完全對稱的圖形，以能分別對應接合該等定位柱，使該晶圓保持器在設置於該蓋體時能在一橫向狀態與一直向狀態間轉換。

Description

晶圓儲存盒

本發明是有關於一種儲存盒，特別是指一種用於儲存晶圓的晶圓儲存盒。

為了確保晶圓的安全儲存、運輸、搬運，晶圓儲存盒被廣泛地運用作為晶圓的承載及運輸工具。然而，現有的晶圓儲存盒通常只能對應存放單一尺寸的晶圓，如要放置另一尺寸的晶圓，必須使用另外的晶圓儲存盒，導致購買晶圓儲存盒的成本增加。

因此，本發明之一目的，即在提供一種可放置不同尺寸晶圓且能避免晶圓震動或晃動的晶圓儲存盒。

於是，本發明晶圓儲存盒適用於供一承載架放置，該承載架適用於承載多個晶圓，該晶圓儲存盒並包含一盒體、一蓋體，及一晶圓保持器。該盒體包括一底壁，及一自該底壁周緣向上延伸的第一圍壁，該底壁與第一圍壁共同界定出一容置空間供該承載架放置。該蓋體樞接於該第一圍壁，並包括一頂壁，及多個形成於該頂壁底面的定位柱，該等定位柱形成於該頂壁底面中央且排列成上下左右完全對稱的圖形。該晶圓保持器可拆卸地設置該蓋體的頂壁底面，並包括一基壁、兩個分別自該基壁兩相反側向下延伸並適用於抵接該等晶圓的延伸壁，及多個形成於該基壁頂面的接合柱，該等接合柱形成於基壁頂面中央且排列成上下左右完全對稱的圖形，以能分別對應接合該等定位柱，使該晶圓保持器在設置於該蓋體時能在一橫向狀態與一直向狀態間轉換。

在一些實施態樣中，該等定位柱的數量為四個且排列成一第一正方形，該等接合柱的數量為四個且排列成一第二正方形。

本發明具有以下功效：藉由該蓋體的定位柱與該晶圓保持器的接合柱相配合，使不同態樣的該晶圓保持器安裝於該晶圓儲存盒的蓋體時可在直向狀態與橫向狀態間轉換，因此不論該晶圓儲存盒中放入讓晶圓直向排列的承載架還是放入讓晶圓橫向排列的承載架，該蓋體蓋合於該盒體時，該晶圓保持器的延伸壁皆能抵接於該等晶圓，防止晶圓因震動或晃動而損壞。

100:晶圓儲存盒

1:盒體

11:底壁

12:第一圍壁

121:第一側壁部

122:第二側壁部

13:容置空間

2:蓋體

21:頂壁

22:第二圍壁

23:定位柱

3:晶圓保持器

31:基壁

32:延伸壁

33:接合柱

8:承載架

9:晶圓

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是本發明晶圓儲存盒的一實施例放入一承載架且該承載架上的多個晶圓與該實施例的一晶圓保持器是呈橫向排列的一立體圖；圖2是該實施例的一蓋體的一仰視圖；圖3是沿圖2中的III-III線所取的一剖視圖；圖4是該晶圓保持器的一俯視圖；圖5是沿圖4中的V-V線所取的一剖視圖；及圖6是該實施例放入一承載架且該承載架上的多個晶圓與該晶圓保持器是呈直向排列的一立體圖。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1至圖3，本發明晶圓儲存盒100之一實施例，適用於供一承載架8放置，該承載架8適用於承載多個晶圓9。晶圓9可至少為兩種態樣，一種為4.5英吋方片晶圓9，另一種為6英吋圓片晶圓9(見圖6)。該承載架8可至少為兩種態樣，一種為4.5英吋晶圓承載架8，另一種為6英吋晶圓承載架8(見圖6)。晶圓尺寸、外觀不以上述為限，承載架的態樣也不以上述為限。

該晶圓儲存盒100包含一盒體1、一蓋體2，及一晶圓保持器3。該盒體1呈長方體，並包括一底壁11，及一自該底壁11周緣向上延伸的第一圍壁12。該第一圍壁12具有兩個彼此相對的第一側壁部121，及兩個彼此相對的第二側壁部122。於本實施例中，該等第一側壁部121的長度大於該等第二側壁部122的長度。該底壁11與第一圍壁12共同界定出一容置空間13供該承載架8放置。

該蓋體2樞接於該第一圍壁12的其中一第一側壁部121，並包括一頂壁21、一自該頂壁21周緣向下延伸的第二圍壁22，及多個形成於該頂壁21底面的定位柱23。該等定位柱23形成於該頂壁21底面中央且排列成上下左右完全對稱的圖形。具體而言，於本實施例中，該等定位柱23的數量為四個且呈陣列排列地排列成一第一正方形S1。該等定位柱23的行數等於該等定位柱23的列數，且為二乘二的排列方式。

配合參閱圖4與圖5，該晶圓保持器3於本實施例中有兩種態樣(見圖1與圖6)，並可拆卸地設置該蓋體2的頂壁21底面。該晶圓保持器3包括一基壁31、兩個分別自該基壁31兩相反側向下延伸並適用於抵接該等晶圓9的延伸壁32，及多個形成於該基壁31頂面的接合柱33。該等接合柱33形成於基壁31頂面中央且排列成上下左右完全對稱的圖形。具體而言，於本實施例中，該等接合柱33的數量為四個且呈陣列排列地排列成一第二正方形S2。該等接合柱33的行數等於該等接合柱33的列數，且同樣為二乘二的排列方式，以能分別對應接合該等定位柱23，並藉由二乘二的排列方式，使對應於不同尺寸的晶圓9的晶圓保持器3在設置於該蓋體2時能在一如圖1所示的橫向狀態與一如圖6所示的直向狀態間轉換。

在一變化的實施態樣中，該等定位柱23和該等接合柱33的數量也可以多於四個，排列方式也可不限於正方形，可以是排列成圓形或菱形或其他形狀，只要能使該晶圓保持器3安裝於該蓋體2底面時能橫向地安裝且也能直向地安裝即可。

參閱圖1，當該晶圓儲存盒100放入4.5英吋的晶圓9，該承載架8是橫向地置入該容置空間13，該承載架8上的多個晶圓9是面對該第二側壁部122並沿該第一側壁部121排列，對應於4.5英吋的晶圓9的該晶圓保持器3是橫向地設置於該蓋體2底面，以能在該蓋體2蓋合於該盒體1時，該晶圓保持器3的延伸壁32能抵接於每一片晶圓9，防止晶圓9因震動或晃動而損壞

參閱圖6，當該晶圓儲存盒100放入6英吋的晶圓9，該承載架8是直向地置入該容置空間13，該承載架8上的多個晶圓9是面對該第一側壁部121並沿該第二側壁部122排列，對應於6英吋的晶圓9的該晶圓保持器3是直向地設置於該蓋體2底面，以能在該蓋體2蓋合於該盒體1時，該晶圓保持器3的延伸壁32能抵接於每一片晶圓9，防止晶圓9因震動或晃動而損壞。

綜上所述，當該晶圓儲存盒100欲放入較小片的晶圓9時，可放入面向該第二側壁部122且沿該第一側壁部121延伸的承載架8，使該等晶圓9表面是面向該第二側壁部122且沿該第一側壁部121排列；當該晶圓儲存盒100欲放入較大片的晶圓9時，可放入面向該第一側壁部121且沿第二側壁部122延伸的承載架8，使該等晶圓9表面是面向該第一側壁部121且沿該第二側壁部122排列；此外，該晶圓儲存盒100可因應晶圓9不同的排列方向而置換不同態樣的該晶圓保持器3在直向狀態與橫向狀態間轉換，確保晶圓9在不同的排列方向時晶圓保持器3的延伸壁32皆能抵接於該等晶圓9，防止晶圓9因震動或晃動而損壞，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。