CN214378343U - 一种硅片清洗用花篮固定装置 - Google Patents
一种硅片清洗用花篮固定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN214378343U CN214378343U CN202120157564.1U CN202120157564U CN214378343U CN 214378343 U CN214378343 U CN 214378343U CN 202120157564 U CN202120157564 U CN 202120157564U CN 214378343 U CN214378343 U CN 214378343U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- basket
- flowers
- fixedly connected
- fixing device
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 27
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 27
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 17
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Packging For Living Organisms, Food Or Medicinal Products That Are Sensitive To Environmental Conditiond (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板、花篮主体和两个侧板，所述花篮主体与底板活动连接，两个所述侧板分别与底板的两侧固定连接，两个所述侧板相背的一侧均活动连接有活动推板，所述活动推板远离侧板的一侧固定连接有螺纹环。该硅片清洗用花篮固定装置，将花篮放置到底板上，通过旋转调节旋钮带动螺纹柱在螺纹环的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环和活动推板向靠近花篮主体的一侧移动，推动导向杆和定位套向靠近花篮主体的一侧移动，使得定位套套在定位柱的表面，通过定位套和定位柱的作用，便于对花篮主体的位置进行定位固定，使得该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片清洗用花篮固定装置。
背景技术
半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，在对硅片进行清洗时需要使用到硅片花篮来对硅片进行存放。
传统的硅片在进行清洗的过程中，通常是将装有硅片的花篮放置到清洗装置的内部进行清洗，在清洗的过程中花篮简单放置到清洗装置的内部，使得花篮在清洗的过程中固定效果不是很好，在清洗时可能会导致花篮的位置出现偏移，为此我们提出了一种硅片清洗用花篮固定装置。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片清洗用花篮固定装置，具备便于对花篮的位置进行固定，防止在清洗的过程中硅片花篮的位置出现移动的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。
(二)技术方案
本实用新型提供如下技术方案：一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板、花篮主体和两个侧板，所述花篮主体与底板活动连接，两个所述侧板分别与底板的两侧固定连接，两个所述侧板相背的一侧均活动连接有活动推板，所述活动推板远离侧板的一侧固定连接有螺纹环，所述螺纹环的内部螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的一端固定连接有调节旋钮，所述螺纹柱远离调节旋钮的一端与侧板的内部活动连接，所述活动推板的一侧固定连接有导向杆，所述导向杆远离活动推板的一端固定连接有定位套，所述花篮主体的两侧均固定连接有定位柱，所述定位套与定位柱的侧表面套接。
优选的，所述螺纹柱远离调节旋钮的一端固定连接有限位圆盘，所述侧板的内部开设有圆槽，所述限位圆盘与圆槽的内部活动连接。
优选的，所述侧板的内部开设有导向槽，所述导向杆的侧表面与导向槽的内部活动插接。
优选的，两个所述侧板相对的一侧均固定连接有限位板，所述花篮主体的两侧均固定连接有限位块，所述限位块与限位板的内部活动连接。
优选的，所述花篮主体包括有两个提拉把手，两个所述提拉把手分别与花篮主体正面的两侧固定连接。
优选的，所述调节旋钮的侧表面设置有凸起结构。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片清洗用花篮固定装置，具备以下有益效果：
1、该硅片清洗用花篮固定装置，将花篮放置到底板上，通过旋转调节旋钮带动螺纹柱在螺纹环的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环和活动推板向靠近花篮主体的一侧移动，推动导向杆和定位套向靠近花篮主体的一侧移动，使得定位套套在定位柱的表面，通过定位套和定位柱的作用，便于对花篮主体的位置进行定位固定，使得该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。
2、该硅片清洗用花篮固定装置，通过设置有限位块和限位板，在将花篮主体放置到底板内部的过程中，限位块会插接到限位板的内部，通过限位块和限位板的作用可以初步对花篮主体的位置进行限位。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型图1中A处结构放大图；
图3为本实用新型图1中B处结构放大图。
其中：1、底板；2、花篮主体；3、侧板；4、活动推板；5、螺纹环；6、螺纹柱；7、调节旋钮；8、限位圆盘；9、导向杆；10、定位套；11、定位柱；12、导向槽；13、限位块；14、限位板；15、提拉把手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板1、花篮主体2和两个侧板3，花篮主体2与底板1活动连接，两个侧板3分别与底板1的两侧固定连接，两个侧板3相背的一侧均活动连接有活动推板4，活动推板4远离侧板3的一侧固定连接有螺纹环5，螺纹环5的内部螺纹连接有螺纹柱6，螺纹柱6的一端固定连接有调节旋钮7，螺纹柱6远离调节旋钮7的一端与侧板3的内部活动连接，调节旋钮7的侧表面设置有凸起结构，通过凸起结构的设置，增大了手与调节旋钮7之间的摩擦力，从而便于对调节旋钮7进行转动，螺纹柱6远离调节旋钮7的一端固定连接有限位圆盘8，侧板3的内部开设有圆槽，限位圆盘8与圆槽的内部活动连接，通过限位圆盘8的作用，使使得螺纹柱6的一端可以通过限位圆盘8在侧板3的内部旋转，活动推板4的一侧固定连接有导向杆9，导向杆9远离活动推板4的一端固定连接有定位套10，花篮主体2的两侧均固定连接有定位柱11，定位套10与定位柱11的侧表面套接，侧板3的内部开设有导向槽12，导向杆9的侧表面与导向槽12的内部活动插接，导向杆9可以在导向槽12的内部左右移动，两个侧板3相对的一侧均固定连接有限位板14，花篮主体2的两侧均固定连接有限位块13，限位块13与限位板14的内部活动连接，花篮主体2包括有两个提拉把手15，两个提拉把手15分别与花篮主体2正面的两侧固定连接，通过提拉把手15的作用便于将花篮主体2从装置的内部提起。
在使用时，将花篮放置到底板1上，在放置的过程中限位块13会插接到限位板14的内部，通过限位块13和限位板14的作用可以初步对花篮主体2的位置进行限位，通过旋转调节旋钮7带动螺纹柱6在螺纹环5的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环5和活动推板4向靠近花篮主体2的一侧移动，推动导向杆9和定位套10向靠近花篮主体2的一侧移动，使得定位套10套在定位柱11的表面，通过定位套10和定位柱11的作用，便于对花篮主体2的位置进行定位固定。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板(1)、花篮主体(2)和两个侧板(3)，其特征在于：所述花篮主体(2)与底板(1)活动连接，两个所述侧板(3)分别与底板(1)的两侧固定连接，两个所述侧板(3)相背的一侧均活动连接有活动推板(4)，所述活动推板(4)远离侧板(3)的一侧固定连接有螺纹环(5)，所述螺纹环(5)的内部螺纹连接有螺纹柱(6)，所述螺纹柱(6)的一端固定连接有调节旋钮(7)，所述螺纹柱(6)远离调节旋钮(7)的一端与侧板(3)的内部活动连接，所述活动推板(4)的一侧固定连接有导向杆(9)，所述导向杆(9)远离活动推板(4)的一端固定连接有定位套(10)，所述花篮主体(2)的两侧均固定连接有定位柱(11)，所述定位套(10)与定位柱(11)的侧表面套接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述螺纹柱(6)远离调节旋钮(7)的一端固定连接有限位圆盘(8)，所述侧板(3)的内部开设有圆槽，所述限位圆盘(8)与圆槽的内部活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述侧板(3)的内部开设有导向槽(12)，所述导向杆(9)的侧表面与导向槽(12)的内部活动插接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：两个所述侧板(3)相对的一侧均固定连接有限位板(14)，所述花篮主体(2)的两侧均固定连接有限位块(13)，所述限位块(13)与限位板(14)的内部活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述花篮主体(2)包括有两个提拉把手(15)，两个所述提拉把手(15)分别与花篮主体(2)正面的两侧固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述调节旋钮(7)的侧表面设置有凸起结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120157564.1U CN214378343U (zh) | 2021-01-20 | 2021-01-20 | 一种硅片清洗用花篮固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120157564.1U CN214378343U (zh) | 2021-01-20 | 2021-01-20 | 一种硅片清洗用花篮固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214378343U true CN214378343U (zh) | 2021-10-08 |
Family
ID=77957924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120157564.1U Expired - Fee Related CN214378343U (zh) | 2021-01-20 | 2021-01-20 | 一种硅片清洗用花篮固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214378343U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114217098A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-22 | 南京理工大学 | 一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台 |
| CN114308865A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种用于硅芯清洗的旋转花篮 |
| CN118237320A (zh) * | 2024-04-16 | 2024-06-25 | 无锡市世通模塑有限公司 | 一种硅片承载用花篮的清洗装置及清洗工艺 |
| TWI847803B (zh) * | 2023-07-19 | 2024-07-01 | 鼎洲科技股份有限公司 | 晶圓儲存盒 |
-
2021
- 2021-01-20 CN CN202120157564.1U patent/CN214378343U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114217098A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-22 | 南京理工大学 | 一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台 |
| CN114217098B (zh) * | 2021-12-14 | 2024-04-30 | 南京理工大学 | 一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台 |
| CN114308865A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种用于硅芯清洗的旋转花篮 |
| TWI847803B (zh) * | 2023-07-19 | 2024-07-01 | 鼎洲科技股份有限公司 | 晶圓儲存盒 |
| CN118237320A (zh) * | 2024-04-16 | 2024-06-25 | 无锡市世通模塑有限公司 | 一种硅片承载用花篮的清洗装置及清洗工艺 |
| CN118237320B (zh) * | 2024-04-16 | 2024-08-16 | 无锡市世通模塑有限公司 | 一种硅片承载用花篮的清洗装置及清洗工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN214378343U (zh) | 一种硅片清洗用花篮固定装置 | |
| CN212421825U (zh) | 晶圆片全自动切割清洗一体机 | |
| CN115116908A (zh) | 一种晶圆片沟槽腐蚀装置 | |
| CN216913262U (zh) | 一种钛合金棒材表面处理装置 | |
| CN216066403U (zh) | 一种工业机械加工用定位装置 | |
| CN212824739U (zh) | 一种工业生产用工装夹具 | |
| CN207127634U (zh) | 一种方便调节口径大小的不锈钢管打磨机 | |
| CN115732392B (zh) | 一种搬运晶圆的抓取组件 | |
| CN204538002U (zh) | 硅片花篮夹持装置 | |
| CN213164856U (zh) | 一种金相试样预磨夹持装置 | |
| CN213560814U (zh) | 一种自动化二保焊焊机 | |
| CN214519376U (zh) | 一种阀杆加工数控车床用打磨装置 | |
| CN213225463U (zh) | 一种不锈钢制品毛边打磨装置 | |
| CN214923169U (zh) | 一种防尘除尘的义齿生产用石膏修磨装置 | |
| CN213195661U (zh) | 一种多功能机床滑台 | |
| DE102004016445A1 (de) | Vorrichtung zum Herstellen von Brillengläsern und anderen Formkörpern mit optisch wirksamen Oberflächen | |
| CN210732153U (zh) | 一种磨砣工装 | |
| CN209831165U (zh) | 一种便于取放的amr传感器用底板打磨装置 | |
| CN211331379U (zh) | 一种多功能机床夹具 | |
| CN203495202U (zh) | 精密铸造浇口切割机 | |
| CN208945801U (zh) | 一种瓷砖生产用切边抛光装置 | |
| CN219106126U (zh) | 一种晶圆的托举组件 | |
| CN215346239U (zh) | 一种风景园林用植被移栽装置 | |
| CN212071473U (zh) | 一种磨金相装置 | |
| CN220427960U (zh) | 棱镜的单面研磨抛光机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20211008 Termination date: 20220120 |