CN212570950U

CN212570950U - 一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器

Info

Publication number: CN212570950U
Application number: CN202021865387.4U
Authority: CN
Inventors: 陶为银; 巩铁建
Original assignee: Henan General Intelligent Equipment Co Ltd
Current assignee: Jiangsu General Semiconductor Co ltd
Priority date: 2020-08-31
Filing date: 2020-08-31
Publication date: 2021-02-19
Anticipated expiration: 2030-08-31

Abstract

本实用新型公开了一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，包括上提手、下箱体和内箱合页，上箱体上方固定有提手，侧向减震器右侧末端连接有内箱体，内箱体右侧设置有延伸板，延伸板下方设置有固定在延伸板上的伸缩杆，下箱体底部设置的防滑脚垫顶部固定在下箱体的底部，侧向减震器左侧末端固定在下箱体左边内侧，且侧向减震器右侧末端固定在内箱体左边外侧，内箱合页中间设置的轴承右侧的螺栓穿过内箱合页固定在盖板上，滑槽弹簧右侧固定在滑动挡板上，滑动挡板、滑槽弹簧和滑槽构成滑动结构下箱体内侧右边安装的中空杆、伸缩杆和减震弹簧构成减震结构，内箱底座为阶梯形状，且内箱底座每层结构上设置有固定在内箱底座上的定位柱。

Description

一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器

技术领域

本实用新型涉及晶圆存储技术领域，具体为一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1 片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，当前市面上的晶圆贮存容器装置普遍存在运输不便，减震效果差，晶圆叠放在一起容易造成磨损等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，以解决上述背景技术中提出的运输不便，减震效果差，晶圆叠放在一起容易造成磨损等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，包括上箱体、提手、下箱体和内箱合页，所述上箱体上方固定有提手，上箱体下方两侧设置有主合扣，上箱体下方设置有通过外箱合页连接的下箱体，主合扣下方设置有固定在下箱体上的副扣，下箱体下方底部安装有防滑脚垫，下箱体左侧设置有侧向减震器，侧向减震器右侧末端连接有内箱体，内箱体右侧设置有延伸板，延伸板下方设置有固定在延伸板上的伸缩杆，伸缩杆周围设置有减震弹簧，减震弹簧底部设置有中空杆上，内箱体上方设置有通过内箱合页连接的盖板，盖板左侧末端设置有螺栓，螺栓左侧设置有轴承，内箱体左侧内壁固定有支撑板，支撑板内部设置有镶嵌在支撑板内部的滑槽，支撑板上方设置有滑动挡板，滑动挡板左侧末端设置有滑槽弹簧，内箱体右侧内部设置有内箱底座，内箱底座上的设置有定位柱，滑动挡板右侧设置有晶圆。

优选的，所述提手固定在上箱体上，上箱体前方两侧设置的主合扣和副扣构成合扣结构。

优选的，所述下箱体底部设置的防滑脚垫顶部固定在下箱体的底部，侧向减震器左侧末端固定在下箱体左边内侧，且侧向减震器右侧末端固定在内箱体左边外侧。

优选的，所述内箱合页中间设置的轴承右侧的螺栓穿过内箱合页固定在盖板上，盖板右侧末端设置有提手，且提手焊接在盖板上。

优选的，所述内箱体左边内侧固定的支撑板上方设置的滑动挡板底部与支撑板内部镶嵌的滑槽契合，滑槽弹簧左侧固定在内箱体左边内侧，滑槽弹簧右侧固定在滑动挡板上，滑动挡板、滑槽弹簧和滑槽构成滑动结构。

优选的，所述下箱体内侧右边安装的中空杆、伸缩杆和减震弹簧构成减震结构，内箱体内侧右边固定的内箱底座底部固定在下箱体上，内箱底座为阶梯形状，且内箱底座每层结构上设置有固定在内箱底座上的定位柱。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，结构设置合理，在内箱体外侧设置有上箱体和下箱体构成的外箱体，外箱体顶部设置有提手，便于移动和保护，在内箱体和外箱体之间设置有减震弹簧和侧向减震弹簧，避免在运输过程中受到碰撞时对晶圆造成损伤，在晶圆之间通过设置内箱底座和支撑板进行隔开处理，保证在运输过程中晶圆之间不会互相磨损造成损坏，在支撑板上方设置了滑动结构，可以更好的适应不同型号的晶圆同时运输，在下箱体底部设置防滑脚垫，减缓震动的同时防止箱体滑动，该结构合理。

附图说明

图1为本实用新型结构正视剖视示意图；

图2为本实用新型结构下箱体俯视示意图；

图3为本实用新型结构滑槽结构示意图；

图4为本实用新型结构箱体打开时俯视示意图。

图中：1、上箱体；2、支撑板；3、滑槽弹簧；4、滑动挡板；5、提手；6、晶圆；7、定位柱；8、盖板；9、延伸板；10、内箱体；11、伸缩杆；12、减震弹簧；13、中空杆；14、内箱底座；15、防滑脚垫；16、下箱体；17、副扣；18、主合扣；19、内箱合页；20、轴承；21、螺栓；22、滑槽；23、外箱合页。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1—4，本实用新型提供一种技术方案：一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，包括上箱体1、提手5、下箱体16和内箱合页19，上箱体1上方固定有提手5，上箱体1下方两侧设置有主合扣18，上箱体1下方设置有通过外箱合页23连接的下箱体16，主合扣18下方设置有固定在下箱体16上的副扣17，下箱体16下方底部安装有防滑脚垫15，下箱体16左侧设置有侧向减震器，侧向减震器右侧末端连接有内箱体10，内箱体10右侧设置有延伸板9，延伸板9下方设置有固定在延伸板9上的伸缩杆11，伸缩杆11周围设置有减震弹簧12，减震弹簧12底部设置有中空杆13上，内箱体10上方设置有通过内箱合页19连接的盖板8，盖板8左侧末端设置有螺栓21，螺栓21左侧设置有轴承20，内箱体10左侧内壁固定有支撑板2，支撑板2内部设置有镶嵌在支撑板2内部的滑槽22，支撑板2上方设置有滑动挡板4，滑动挡板4左侧末端设置有滑槽弹簧3，内箱体10右侧内部设置有内箱底座14，内箱底座14上的设置有定位柱7，滑动挡板4右侧设置有晶圆6提手5固定在上箱体1上，上箱体1前方两侧设置的主合扣18和副扣17构成合扣结构，下箱体16底部设置的防滑脚垫15顶部固定在下箱体16的底部，侧向减震器左侧末端固定在下箱体16左边内侧，且侧向减震器右侧末端固定在内箱体10左边外侧，内箱合页19中间设置的轴承20右侧的螺栓21穿过内箱合页19固定在盖板8上，盖板8右侧末端设置有提手5，且提手5焊接在盖板8上，内箱体10左边内侧固定的支撑板2上方设置的滑动挡板4底部与支撑板2内部镶嵌的滑槽22契合，滑槽弹簧3左侧固定在内箱体10左边内侧，滑槽弹簧3右侧固定在滑动挡板4上，滑动挡板4、滑槽弹簧3和滑槽22构成滑动结构，下箱体16内侧右边安装的中空杆13、伸缩杆11和减震弹簧12构成减震结构，内箱体10内侧右边固定的内箱底座14底部固定在下箱体16上，内箱底座14为阶梯形状，且内箱底座14每层结构上设置有固定在内箱底座14上的定位柱7。

在使用该具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器时，首先主合扣18向上提动至背部靠近上箱体1，随后提动提手5将上箱体1沿着外箱合页23打开，随后将内箱体10上方盖板8右侧末端的提手向上提，盖板8沿着内箱合页19向上翻动至盖板8背部靠在下箱体16的边缘，随后将晶圆6放入内箱体10的内部，将晶圆6一侧放入内箱体10左侧设置的支撑板2上的滑动挡板4上，将滑动挡板4左推动至晶圆6右侧与内箱底座14上的定位柱7接触时停止，随后依次从上到下放置晶圆6，随后将上盖板8关闭，扣动提手5将上箱体1沿着外箱合页23向内移动至上箱体1与下箱体16贴合，随后将主合扣18向下扣在副扣17上这就是该具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器工作的整个过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，包括上箱体（1）、提手（5）、下箱体（16）和内箱合页（19），其特征在于：所述上箱体（1）上方固定有提手（5），上箱体（1）下方两侧设置有主合扣（18），上箱体（1）下方设置有通过外箱合页（23）连接的下箱体（16），主合扣（18）下方设置有固定在下箱体（16）上的副扣（17），下箱体（16）下方底部安装有防滑脚垫（15），下箱体（16）左侧设置有侧向减震器，侧向减震器右侧末端连接有内箱体（10），内箱体（10）右侧设置有延伸板（9），延伸板（9）下方设置有固定在延伸板（9）上的伸缩杆（11），伸缩杆（11）周围设置有减震弹簧（12），减震弹簧（12）底部设置有中空杆（13）上，内箱体（10）上方设置有通过内箱合页（19）连接的盖板（8），盖板（8）左侧末端设置有螺栓（21），螺栓（21）左侧设置有轴承（20），内箱体（10）左侧内壁固定有支撑板（2），支撑板（2）内部设置有镶嵌在支撑板（2）内部的滑槽（22），支撑板（2）上方设置有滑动挡板（4），滑动挡板（4）左侧末端设置有滑槽弹簧（3），内箱体（10）右侧内部设置有内箱底座（14），内箱底座（14）上的设置有定位柱（7），滑动挡板（4）右侧设置有晶圆（6）。

2.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于：所述提手（5）固定在上箱体（1）上，上箱体（1）前方两侧设置的主合扣（18）和副扣（17）构成合扣结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于：所述下箱体（16）底部设置的防滑脚垫（15）顶部固定在下箱体（16）的底部，侧向减震器左侧末端固定在下箱体（16）左边内侧，且侧向减震器右侧末端固定在内箱体（10）左边外侧。

4.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于：所述内箱合页（19）中间设置的轴承（20）右侧的螺栓（21）穿过内箱合页（19）固定在盖板（8）上，盖板（8）右侧末端设置有提手（5），且提手（5）焊接在盖板（8）上。

5.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于：所述内箱体（10）左边内侧固定的支撑板（2）上方设置的滑动挡板（4）底部与支撑板（2）内部镶嵌的滑槽（22）契合，滑槽弹簧（3）左侧固定在内箱体（10）左边内侧，滑槽弹簧（3）右侧固定在滑动挡板（4）上，滑动挡板（4）、滑槽弹簧（3）和滑槽（22）构成滑动结构。

6.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位柱的晶圆贮存容器，其特征在于：所述下箱体（16）内侧右边安装的中空杆（13）、伸缩杆（11）和减震弹簧（12）构成减震结构，内箱体（10）内侧右边固定的内箱底座（14）底部固定在下箱体（16）上，内箱底座（14）为阶梯形状，且内箱底座（14）每层结构上设置有固定在内箱底座（14）上的定位柱（7）。