JP2791971B2 - ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット - Google Patents
ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケットInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体関連のウェー
ハ，マスク原板，フォトマスクなどの精密基板を安全に
輸送，保管，取り扱えるウェーハ収納容器におけるウェ
ーハバスケットに関するものである。
ハ，マスク原板，フォトマスクなどの精密基板を安全に
輸送，保管，取り扱えるウェーハ収納容器におけるウェ
ーハバスケットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体単結晶柱体をスライスし
て薄板状としたウェーハなどの精密基板は、各種電子機
器類での集積回路を作るためにユーザーに向けて大量に
輸送，保管する場合が多く、高価で薄くて脆く、しかも
汚染を極端に嫌う半導体ウェーハを損傷，汚染から守る
ために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全に配
列保持収容する配慮が必要である。従来、この輸送用容
器内では、複数枚の各ウェーハを互いに接触，衝突しな
いように一定間隔をおいて個別に整然と配列されて収容
するのに、ウェーハ収納溝を備えたウェーハバスケット
を用いて弾性的に保持して、輸送中の振動を緩衝してウ
ェーハの破損やウェーハの支持部材とのガタつき摩擦接
触によって生ずる微粉の発生を防止していて、このウェ
ーハを弾性的に保持する容器として実開平１−１２９８
３６号公報などが知られている。このウェーハバスケッ
トは図６に示すように対向する一対の側壁ａ，ａと、該
側壁ａ，ａを結合する一対の端壁ｂ，ｂとで矩形枠状に
形成され、一方の端壁ｂには水平なバー部材ｃが設けら
れ、該バー部材ｃの表面には、断面半円形のインデック
ス用突起ｄがバー部材ｃの長さ方向（水平方向）に突設
されている。そして、ウェーハバスケット１を移送装置
や検査装置等の自動機に装着する場合、バー部材ｃのあ
る端壁ｂを下面としてセットされる事が多く（図７参
照）、この時にウェーハ収納溝ｅは自動機のセット面と
平行になっている。
て薄板状としたウェーハなどの精密基板は、各種電子機
器類での集積回路を作るためにユーザーに向けて大量に
輸送，保管する場合が多く、高価で薄くて脆く、しかも
汚染を極端に嫌う半導体ウェーハを損傷，汚染から守る
ために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全に配
列保持収容する配慮が必要である。従来、この輸送用容
器内では、複数枚の各ウェーハを互いに接触，衝突しな
いように一定間隔をおいて個別に整然と配列されて収容
するのに、ウェーハ収納溝を備えたウェーハバスケット
を用いて弾性的に保持して、輸送中の振動を緩衝してウ
ェーハの破損やウェーハの支持部材とのガタつき摩擦接
触によって生ずる微粉の発生を防止していて、このウェ
ーハを弾性的に保持する容器として実開平１−１２９８
３６号公報などが知られている。このウェーハバスケッ
トは図６に示すように対向する一対の側壁ａ，ａと、該
側壁ａ，ａを結合する一対の端壁ｂ，ｂとで矩形枠状に
形成され、一方の端壁ｂには水平なバー部材ｃが設けら
れ、該バー部材ｃの表面には、断面半円形のインデック
ス用突起ｄがバー部材ｃの長さ方向（水平方向）に突設
されている。そして、ウェーハバスケット１を移送装置
や検査装置等の自動機に装着する場合、バー部材ｃのあ
る端壁ｂを下面としてセットされる事が多く（図７参
照）、この時にウェーハ収納溝ｅは自動機のセット面と
平行になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ウェーハ移送装置や検
査装置等の自動機は、装着されたウェーハバスケット内
のウェーハが基準面（セット面）に対して平行に保持さ
れているものとして作動するが、実際には、ウェーハバ
スケット内のウェーハは平行に保持されていないため、
自動機の作動ミスを誘発することがある。即ち、ウェー
ハが平行に保持されていない原因は、ウェーハ収納溝の
形状とガタ寸法にあって、バスケット中央部におけるウ
ェーハと収納溝の関係は図８（ａ）の様になり、ウェー
ハは収納溝の傾斜面で保持されている。また、バスケッ
ト底部付近では、図８（ｂ）の様にウェーハは収納溝の
谷部まで挿入された状態で保持される。この様にバスケ
ット内におけるウェーハ保持位置の差によって、ウェー
ハはバスケットの上部のウェーハ挿入口側で低く、底部
側で高いという傾いた状態で保持される。ウェーハ収納
溝の中でウェーハを平行に保持する方法として、収納溝
形状を図８（ｃ）の様な斜面の無い形状にする事も考え
られる。しかし、この様な溝形状ではウェーハが溝表面
と面接触をおこし、ウェーハが接触汚染を受けたり、こ
すれによってウェーハの表面平滑性が失われたりしてウ
ェーハ品質を損なう恐れがある。また別の方法として図
８（ａ）におけるガタ寸法を全く無くする事によって
も、ウェーハは平行に保持される。しかし、ガタ寸法無
しではウェーハ出し入れが円滑に行われず作業性が低下
するほか、こすれによるウェーハ損傷も考えられ、現実
には不可能である。本発明は、従来のウェーハ収納溝を
持つバスケットにおいて、自動機装着時にウェーハを水
平に保持しようとするもので、ウェーハの安定確実な担
持ができ、容器内でのウェーハの出し入れを容易にし、
自動機の作動ミスもなく、取扱処理を簡便化させること
を目的としたものである。
査装置等の自動機は、装着されたウェーハバスケット内
のウェーハが基準面（セット面）に対して平行に保持さ
れているものとして作動するが、実際には、ウェーハバ
スケット内のウェーハは平行に保持されていないため、
自動機の作動ミスを誘発することがある。即ち、ウェー
ハが平行に保持されていない原因は、ウェーハ収納溝の
形状とガタ寸法にあって、バスケット中央部におけるウ
ェーハと収納溝の関係は図８（ａ）の様になり、ウェー
ハは収納溝の傾斜面で保持されている。また、バスケッ
ト底部付近では、図８（ｂ）の様にウェーハは収納溝の
谷部まで挿入された状態で保持される。この様にバスケ
ット内におけるウェーハ保持位置の差によって、ウェー
ハはバスケットの上部のウェーハ挿入口側で低く、底部
側で高いという傾いた状態で保持される。ウェーハ収納
溝の中でウェーハを平行に保持する方法として、収納溝
形状を図８（ｃ）の様な斜面の無い形状にする事も考え
られる。しかし、この様な溝形状ではウェーハが溝表面
と面接触をおこし、ウェーハが接触汚染を受けたり、こ
すれによってウェーハの表面平滑性が失われたりしてウ
ェーハ品質を損なう恐れがある。また別の方法として図
８（ａ）におけるガタ寸法を全く無くする事によって
も、ウェーハは平行に保持される。しかし、ガタ寸法無
しではウェーハ出し入れが円滑に行われず作業性が低下
するほか、こすれによるウェーハ損傷も考えられ、現実
には不可能である。本発明は、従来のウェーハ収納溝を
持つバスケットにおいて、自動機装着時にウェーハを水
平に保持しようとするもので、ウェーハの安定確実な担
持ができ、容器内でのウェーハの出し入れを容易にし、
自動機の作動ミスもなく、取扱処理を簡便化させること
を目的としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のウェー
ハＷを整列保持し、開閉自在の蓋体５を有する容器本体
４に着脱自在に嵌装されるウェーハバスケット３におい
て、内面に平行に延在する複数のウェーハ収納溝２がウ
ェーハＷの周縁部を保持可能に形成された一対の側壁３
１と、該一対の側壁３１の前記ウェーハ収納溝２延在方
向と直交する方向の両辺側にそれぞれ連続する一対の端
壁３２とを備え、前記ウェーハ収納溝２延在方向の一面
にウェーハＷを挿入、取出可能な開口を有する矩形枠状
に一体成形され、前記端壁３２の一方には、表面にイン
デックス用突起３０を備えたバー部材３１が前記ウェー
ハ収納溝２と平行に設けられ、該バー部材３１を設けら
れた端壁３２端面が前記ウェーハ収納溝２延在方向に前
記開口に向かうに従い順次突出量が大きくなる傾斜面を
なすものである。
ハＷを整列保持し、開閉自在の蓋体５を有する容器本体
４に着脱自在に嵌装されるウェーハバスケット３におい
て、内面に平行に延在する複数のウェーハ収納溝２がウ
ェーハＷの周縁部を保持可能に形成された一対の側壁３
１と、該一対の側壁３１の前記ウェーハ収納溝２延在方
向と直交する方向の両辺側にそれぞれ連続する一対の端
壁３２とを備え、前記ウェーハ収納溝２延在方向の一面
にウェーハＷを挿入、取出可能な開口を有する矩形枠状
に一体成形され、前記端壁３２の一方には、表面にイン
デックス用突起３０を備えたバー部材３１が前記ウェー
ハ収納溝２と平行に設けられ、該バー部材３１を設けら
れた端壁３２端面が前記ウェーハ収納溝２延在方向に前
記開口に向かうに従い順次突出量が大きくなる傾斜面を
なすものである。
【０００５】
【作用】容器本体内に挿入されたウェーハバスケット
は、蓋体をかぶせると、ウェーハ収納溝上に嵌挿される
ウェーハ緩衝材支持枠体が緩衝材としてウェーハを押
え、ウェーハは安定的に保持される。しかも、ウェーハ
は収納溝の隙間をおいてそれぞれ個別に支持されるた
め、輸送中における振動に充分に対応し、緩衝的保持で
安全性が大巾に高められ、ウェーハが他の部品と接触し
微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられる
し、ウェーハの出し入れや閉蓋などの取扱も簡便安全で
収納，保管，運搬の各作業に良好に用いられるものであ
る。また、容器本体から取り出したウェーハバスケット
をバー部材のある端壁側を下にして、バスケットを自動
機に装着した場合に、バスケットのウェーハ収納溝はウ
ェーハ挿入口側を上にして傾斜する。一方、ウェーハ収
納溝内のウェーハは前述の様に、ウェーハ挿入口側を下
にして溝内で傾斜するため、それぞれの傾斜が相殺され
た形になり、ウェーハは自動機の装着基準面に対して平
行な状態で保持されている事になり、自動機の作動ミス
がなく安全に取り扱えるものである。
は、蓋体をかぶせると、ウェーハ収納溝上に嵌挿される
ウェーハ緩衝材支持枠体が緩衝材としてウェーハを押
え、ウェーハは安定的に保持される。しかも、ウェーハ
は収納溝の隙間をおいてそれぞれ個別に支持されるた
め、輸送中における振動に充分に対応し、緩衝的保持で
安全性が大巾に高められ、ウェーハが他の部品と接触し
微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられる
し、ウェーハの出し入れや閉蓋などの取扱も簡便安全で
収納，保管，運搬の各作業に良好に用いられるものであ
る。また、容器本体から取り出したウェーハバスケット
をバー部材のある端壁側を下にして、バスケットを自動
機に装着した場合に、バスケットのウェーハ収納溝はウ
ェーハ挿入口側を上にして傾斜する。一方、ウェーハ収
納溝内のウェーハは前述の様に、ウェーハ挿入口側を下
にして溝内で傾斜するため、それぞれの傾斜が相殺され
た形になり、ウェーハは自動機の装着基準面に対して平
行な状態で保持されている事になり、自動機の作動ミス
がなく安全に取り扱えるものである。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図１乃至図３の例で説明す
ると、ウェーハＷの多数枚をそれぞれ一定間隔をおいて
配列担持しうる弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リ
ブ１，１間にＶ溝状のウェーハ収納溝２を形成したウェ
ーハバスケット３を、容器本体４に嵌脱自在に設け、該
容器本体４に蓋体５が開閉自在に設けられ、該蓋体５の
内面に嵌装されるウェーハ緩衝材支持枠体８にウェーハ
Ｗの上端縁に当接する押え片６を支持部７で対設してあ
る。
ると、ウェーハＷの多数枚をそれぞれ一定間隔をおいて
配列担持しうる弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リ
ブ１，１間にＶ溝状のウェーハ収納溝２を形成したウェ
ーハバスケット３を、容器本体４に嵌脱自在に設け、該
容器本体４に蓋体５が開閉自在に設けられ、該蓋体５の
内面に嵌装されるウェーハ緩衝材支持枠体８にウェーハ
Ｗの上端縁に当接する押え片６を支持部７で対設してあ
る。
【０００７】前記ウェーハバスケット３が対向する一対
の側壁３1 ，３1 と、該側壁を結合する一対の端壁
３2 ，３2 とで矩形枠状に一体成形され、各側壁３1 の
内面にウェーハＷの多数枚をそれぞれ一定間隔をおいて
配列担持しうる弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リ
ブ１，１間にウェーハ収納溝２を配備し、また前記端壁
の一方には、表面にインデックス用突起３０を備えたバ
ー部材３１が水平に設けられていて、該バー部材３１を
有する側の端壁端面が下方から上方に向い順次突出量の
大きな傾斜面を持つ突起部３3 を設けたことで、バスケ
ット３をバー部材３１のある端壁側を下にして自動機１
０に装着した場合に、バスケット３のウェーハ収納溝２
はウェーハ挿入口側を上にして傾斜するので、ウェーハ
は自動機の装着基準面に対して平行な状態で保持されて
いる事になり、自動機の作動ミスがなく安全に取り扱え
る。
の側壁３1 ，３1 と、該側壁を結合する一対の端壁
３2 ，３2 とで矩形枠状に一体成形され、各側壁３1 の
内面にウェーハＷの多数枚をそれぞれ一定間隔をおいて
配列担持しうる弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リ
ブ１，１間にウェーハ収納溝２を配備し、また前記端壁
の一方には、表面にインデックス用突起３０を備えたバ
ー部材３１が水平に設けられていて、該バー部材３１を
有する側の端壁端面が下方から上方に向い順次突出量の
大きな傾斜面を持つ突起部３3 を設けたことで、バスケ
ット３をバー部材３１のある端壁側を下にして自動機１
０に装着した場合に、バスケット３のウェーハ収納溝２
はウェーハ挿入口側を上にして傾斜するので、ウェーハ
は自動機の装着基準面に対して平行な状態で保持されて
いる事になり、自動機の作動ミスがなく安全に取り扱え
る。
【０００８】前記容器本体４と蓋体５との嵌合周縁部に
はリング状のシール部材１２を介在配備して密閉性を良
好にしてある。なお、前記ウェーハバスケット３は、合
成樹脂系の弾性材で成形され、容器本体４との間に隙間
をあけて嵌装保持できるように容器本体４，底面の凸壁
１４に嵌め込まれ、上方外周縁には対向してフランジ１
３を設けて容器本体４への出入れ取扱い操作がしやすい
内箱状に構成して、ウェーハ収納溝２を容器本体４の内
部に備えられるようにしてある。また、この容器本体４
及び蓋体５は、内外圧の変化に対応できるように適所に
リブを備えた強靱な構造体とし、その製作には内容物が
透視可能なポリカーボネート，ポリプロピレン，ポリエ
チレン，ＰＢＴ樹脂などのプラスチックからなる剛性の
高い合成樹脂材質を用いるのが好ましい。
はリング状のシール部材１２を介在配備して密閉性を良
好にしてある。なお、前記ウェーハバスケット３は、合
成樹脂系の弾性材で成形され、容器本体４との間に隙間
をあけて嵌装保持できるように容器本体４，底面の凸壁
１４に嵌め込まれ、上方外周縁には対向してフランジ１
３を設けて容器本体４への出入れ取扱い操作がしやすい
内箱状に構成して、ウェーハ収納溝２を容器本体４の内
部に備えられるようにしてある。また、この容器本体４
及び蓋体５は、内外圧の変化に対応できるように適所に
リブを備えた強靱な構造体とし、その製作には内容物が
透視可能なポリカーボネート，ポリプロピレン，ポリエ
チレン，ＰＢＴ樹脂などのプラスチックからなる剛性の
高い合成樹脂材質を用いるのが好ましい。
【０００９】なお、前記突起部３3 としては、バー部材
３１を有する側を下面として載置した際に、ウェーハ収
納溝２の挿入側が若干上方になる方向にバスケットを傾
斜して載置できる傾斜壁としたものであって、端壁３2
の上方から下方にわたる全長に突設されているが、図４
及び図５の如く、端壁３2 の上方一部に突設したもので
もよい。この場合でも、ウェーハバスケット３を自動機
１０に装着した状態ではウェーハ収納溝２は挿入口側を
上にして傾斜するが、そこに収納されたウェーハは装着
基準面に対して略々平行に保持されている。いずれの場
合でも、一般に使用されているバスケットのウェーハ収
納溝形状（規格準拠）では、角度は０°１５’〜１°０
０’位であり、突起部３3 の高さはバスケットサイズや
突起位置によっても異なるが約０．３ｍｍ〜３ｍｍとす
るのがよい。
３１を有する側を下面として載置した際に、ウェーハ収
納溝２の挿入側が若干上方になる方向にバスケットを傾
斜して載置できる傾斜壁としたものであって、端壁３2
の上方から下方にわたる全長に突設されているが、図４
及び図５の如く、端壁３2 の上方一部に突設したもので
もよい。この場合でも、ウェーハバスケット３を自動機
１０に装着した状態ではウェーハ収納溝２は挿入口側を
上にして傾斜するが、そこに収納されたウェーハは装着
基準面に対して略々平行に保持されている。いずれの場
合でも、一般に使用されているバスケットのウェーハ収
納溝形状（規格準拠）では、角度は０°１５’〜１°０
０’位であり、突起部３3 の高さはバスケットサイズや
突起位置によっても異なるが約０．３ｍｍ〜３ｍｍとす
るのがよい。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、開閉自在の蓋体を有する容器
本体に嵌装されるウェーハバスケットが対向する一対の
側壁と、該側壁を結合する一対の端壁とで矩形枠状に一
体成形され、各側壁の内面にウェーハの多数枚をそれぞ
れ一定間隔をおいて配列担持しうる弾性リブを複数並列
突設して各弾性リブ間にウェーハ収納溝を配備し、また
前記端壁の一方には、表面にインデックス用突起を備え
たバー部材が水平に設けられているウェーハバスケット
において、該バー部材を有する側の端壁端面が下方から
上方に向かうに従い順次突出量の大きな傾斜面に形成し
たことにより、ウェーハバスケットを自動機に装着した
状態では収納されたウェーハが装着基準面に対して略々
平行に保持され、自動機の作動ミスによるトラブルを解
消することができるし、ウェーハ容器本体へ挿入が迅速
かつ容易で単純作業での多量処理を安全に行うことが可
能となり、輸送中または保管中において、ウェーハが容
器内の収納溝から外れたりすることなく、かつガタつか
ないで振動に耐え、他の部品との接触による微粉発生や
損傷を受けるおそれがなく、振れ止めで容器内における
安定した担持が可能で、担持させる取扱操作も簡便であ
る。
本体に嵌装されるウェーハバスケットが対向する一対の
側壁と、該側壁を結合する一対の端壁とで矩形枠状に一
体成形され、各側壁の内面にウェーハの多数枚をそれぞ
れ一定間隔をおいて配列担持しうる弾性リブを複数並列
突設して各弾性リブ間にウェーハ収納溝を配備し、また
前記端壁の一方には、表面にインデックス用突起を備え
たバー部材が水平に設けられているウェーハバスケット
において、該バー部材を有する側の端壁端面が下方から
上方に向かうに従い順次突出量の大きな傾斜面に形成し
たことにより、ウェーハバスケットを自動機に装着した
状態では収納されたウェーハが装着基準面に対して略々
平行に保持され、自動機の作動ミスによるトラブルを解
消することができるし、ウェーハ容器本体へ挿入が迅速
かつ容易で単純作業での多量処理を安全に行うことが可
能となり、輸送中または保管中において、ウェーハが容
器内の収納溝から外れたりすることなく、かつガタつか
ないで振動に耐え、他の部品との接触による微粉発生や
損傷を受けるおそれがなく、振れ止めで容器内における
安定した担持が可能で、担持させる取扱操作も簡便であ
る。
【図１】本考案の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の例の使用状態の分離状態の斜視図であ
る。
る。
【図３】図１の例のウェーハバスケットを自動機に装着
した状態の縦断面図である。
した状態の縦断面図である。
【図４】本考案の他の実施例の斜視図である。
【図５】図４の例のウェーハバスケットを自動機に装着
した状態の縦断面図である。
した状態の縦断面図である。
【図６】従来例の斜視図である。
【図７】図６の例のウェーハバスケットを自動機に装着
した状態の縦断面図である。
した状態の縦断面図である。
【図８】図７の例のウェーハ収納溝でのウェーハの状態
を示す一部拡大縦断面図で、（ａ）はバスケット中央部
状態図、（ｂ）はバスケット底部状態図、（ｃ）は想定
状態図である。
を示す一部拡大縦断面図で、（ａ）はバスケット中央部
状態図、（ｂ）はバスケット底部状態図、（ｃ）は想定
状態図である。
Ｗ ウェーハ １ 弾性リブ ２ ウェーハ収納溝 ３ ウェーハバスケット ３1 側壁 ３2 端壁 ３3 突起部 ４ 容器本体 ５ 蓋体 ６ ウェーハ押え片 ７ 支持部 ８ ウェーハ緩衝材支持枠体 １０ 自動機 １２ シール部材 １３ フランジ １４ 底部 ３０ インデックス用突起 ３１ バー部材
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のウェーハＷを整列保持し、開閉自
在の蓋体５を有する容器本体４に着脱自在に嵌装される
ウェーハバスケット３において、 内面に平行に延在する複数のウェーハ収納溝２がウェー
ハＷの周縁部を保持可能に形成された一対の側壁３
１と、該一対の側壁３１の前記ウェーハ収納溝２延在方
向と直交する方向の両辺側にそれぞれ連続する一対の端
壁３２とを備え、前記ウェーハ収納溝２延在方向の一面
にウェーハＷを挿入、取出可能な開口を有する矩形枠状
に一体成形され、前記端壁３２の一方には、表面にイン
デックス用突起３０を備えたバー部材３１が前記ウェー
ハ収納溝２と平行に設けられ、該バー部材３１を設けら
れた端壁３２端面が前記ウェーハ収納溝２延在方向に前
記開口に向かうに従い順次突出量が大きくなる傾斜面を
なすことを特徴とするウェーハバスケット。 - 【請求項２】 前記傾斜面が、前記端壁端面の下方部、
上方部に設けられた突起部３３で形成された請求項１記
載のウェーハバスケット。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15822894A JP2791971B2 (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット |
| TW084105930A TW299485B (ja) | 1994-06-17 | 1995-06-10 | |
| FR9506920A FR2725185B1 (fr) | 1994-06-17 | 1995-06-12 | Panier pour plaquettes, notamment de silicium semi-conducteur |
| GB9512022A GB2290414B (en) | 1994-06-17 | 1995-06-14 | Wafer basket in wafer-holder box |
| DE19521575A DE19521575C2 (de) | 1994-06-17 | 1995-06-14 | Wafer-Korb in einem Wafer-Haltekasten |
| KR1019950016073A KR100332719B1 (ko) | 1994-06-17 | 1995-06-16 | 웨이퍼수납박스내의웨이퍼배스킷 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15822894A JP2791971B2 (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH088332A JPH088332A (ja) | 1996-01-12 |
| JP2791971B2 true JP2791971B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=15667084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15822894A Expired - Lifetime JP2791971B2 (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2791971B2 (ja) |
| KR (1) | KR100332719B1 (ja) |
| DE (1) | DE19521575C2 (ja) |
| FR (1) | FR2725185B1 (ja) |
| GB (1) | GB2290414B (ja) |
| TW (1) | TW299485B (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW296361B (ja) * | 1995-06-26 | 1997-01-21 | Kakizaki Seisakusho Kk | |
| US5788082A (en) * | 1996-07-12 | 1998-08-04 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
| GB2350604A (en) * | 1999-06-03 | 2000-12-06 | Horizon Biscuit Company Ltd Th | Container |
| DE10046942A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-04-25 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Transport von Wafern |
| DE10104313C1 (de) * | 2001-01-22 | 2002-08-08 | Hunke & Jochheim | Aufbewahrungsbehälter für Kassetten |
| TW511649U (en) * | 2001-09-12 | 2002-11-21 | Ind Tech Res Inst | Wafer retainer |
| TWI239931B (en) * | 2003-05-19 | 2005-09-21 | Miraial Co Ltd | Lid unit for thin plate supporting container and thin plate supporting container |
| DE10337570A1 (de) * | 2003-08-14 | 2005-03-17 | Infineon Technologies Ag | Transportvorrichtung |
| JP4716928B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2011-07-06 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ収納容器 |
| CN102339777B (zh) * | 2010-07-15 | 2013-09-11 | 家登精密工业股份有限公司 | 晶圆盒的晶圆限制件 |
| DE102010040918B4 (de) * | 2010-09-16 | 2013-10-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Behälter zum Stapeln und Transportieren von Scheiben aus brüchigem Material |
| CN103402678A (zh) | 2011-02-28 | 2013-11-20 | 株式会社钨钛合金 | 引导块、切削工具本体及切削工具 |
| EP2682212B1 (en) | 2011-02-28 | 2020-10-07 | Tungaloy Corporation | Guide pad and cutting tool |
| KR101658631B1 (ko) | 2014-04-03 | 2016-09-22 | 형제기계공업 주식회사 | 격벽을 이용한 제설장치 |
| CN106784145B (zh) * | 2016-12-23 | 2018-03-06 | 中赣新能源股份有限公司 | 一种硅片插片方法 |
| CN116936432B (zh) * | 2023-09-14 | 2024-01-02 | 常州银河世纪微电子股份有限公司 | 一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648126A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Nec Kyushu Ltd | Auxiliary carrier for replacing wafers |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60160539U (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-25 | ソニー株式会社 | 半導体ウエハ等収納容器 |
| US4687097A (en) * | 1984-12-11 | 1987-08-18 | Empak, Inc. | Wafer processing cassette |
| US4724963A (en) * | 1985-02-20 | 1988-02-16 | Empak, Inc. | Wafer processing cassette |
| US4684021A (en) * | 1986-06-23 | 1987-08-04 | Fluoroware, Inc. | Bottom loading wafer carrier box |
| JPH0284319U (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-29 | ||
| US5154301A (en) * | 1991-09-12 | 1992-10-13 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
| EP0579099B1 (en) * | 1992-07-08 | 1997-01-02 | Daifuku Co., Ltd. | Container for plate-like objects |
-
1994
- 1994-06-17 JP JP15822894A patent/JP2791971B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-06-10 TW TW084105930A patent/TW299485B/zh not_active IP Right Cessation
- 1995-06-12 FR FR9506920A patent/FR2725185B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-14 GB GB9512022A patent/GB2290414B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-14 DE DE19521575A patent/DE19521575C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-16 KR KR1019950016073A patent/KR100332719B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648126A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Nec Kyushu Ltd | Auxiliary carrier for replacing wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2725185B1 (fr) | 1997-10-17 |
| GB9512022D0 (en) | 1995-08-09 |
| KR960002468A (ko) | 1996-01-26 |
| TW299485B (ja) | 1997-03-01 |
| GB2290414B (en) | 1998-07-29 |
| JPH088332A (ja) | 1996-01-12 |
| DE19521575C2 (de) | 2002-04-18 |
| GB2290414A (en) | 1995-12-20 |
| DE19521575A1 (de) | 1995-12-21 |
| FR2725185A1 (fr) | 1996-04-05 |
| KR100332719B1 (ko) | 2002-10-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080619 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090619 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100619 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100619 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110619 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110619 Year of fee payment: 13 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 14 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 14 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619 Year of fee payment: 15 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |