[go: up one dir, main page]

TWI583935B - A leak detection device and a fluid controller provided with the device - Google Patents

A leak detection device and a fluid controller provided with the device Download PDF

Info

Publication number
TWI583935B
TWI583935B TW102125859A TW102125859A TWI583935B TW I583935 B TWI583935 B TW I583935B TW 102125859 A TW102125859 A TW 102125859A TW 102125859 A TW102125859 A TW 102125859A TW I583935 B TWI583935 B TW I583935B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
leak
fluid
fluid controller
leakage
port
Prior art date
Application number
TW102125859A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201411110A (zh
Inventor
土肥亮介
篠原努
西野功二
銅敏男
池田信一
山路道雄
Original Assignee
富士金股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士金股份有限公司 filed Critical 富士金股份有限公司
Publication of TW201411110A publication Critical patent/TW201411110A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI583935B publication Critical patent/TWI583935B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/24—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using infrasonic, sonic, or ultrasonic vibrations
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/24—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using infrasonic, sonic, or ultrasonic vibrations
    • G01M3/243—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using infrasonic, sonic, or ultrasonic vibrations for pipes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

漏洩檢測裝置及具備此裝置的流體控制器
本發明係關於檢測流體之漏洩的漏洩檢測裝置及具備此裝置的流體控制器。
已知一種設有漏洩檢測裝置的流體控制器，其於流體控制器本體安裝有振動感應器(專利文獻1)。
此外，已知一種檢測流體控制器之漏洩的裝置，其使用超音波感測器(專利文獻2)。
先前技術文獻
專利文獻1 日本實開昭61-8850號公報
專利文獻2 日本特開2001-305005號公報
該專利文獻1中，具有檢測流體之漏洩的精度差之問題。如專利文獻2，藉由使用超音波感測器，來提高檢測漏洩之精度。專利文獻2之漏洩檢測裝置，係視需要檢測漏洩，而非常時監視者。為了常時進行監視，需要將漏洩檢測裝置常時安裝於流體控制器本體，因此，小型化上成為課題。
本發明之目的在於提供一種漏洩檢測裝置及具備此裝置的流體控制器，其可達成小型化且常時安裝於流體控制器等之漏洩檢測對象構件，藉此，可常時監視流體之漏洩。
本發明之漏洩檢測裝置係檢測流體之漏洩，該漏洩檢測裝置之特徵為具備：感測器保持體；直線狀的超音波感測器，其與設於漏洩檢測對象構件且連通漏洩檢測對象構件內之密封部分與外部的漏洩口以隔開既定間隔對向之方式保持於感測器保持體；超音波通道，其設於超音波感測器之感測面與漏洩口之間；及處理電路，其對由超音波感測器所獲得之超音波進行處理。
本發明之流體控制器之特徵為：該流體控制器係由控制流體之流動的流體控制器本體、及檢測流體控制器本體內之流體的漏洩之漏洩檢測裝置所構成，於流體控制器本體設有連通流體控制器本體內之密封部分與外部的漏洩口，漏洩口係非用在流體通路而是為了檢測漏洩而設置者，漏洩檢測裝置係上述構成者。
流體控制器本體係例如公知之隔膜閥，通常設有用於檢測漏洩之漏洩口。當因隔膜閥之破損等造成流體控制器本體內之密封性破壞時，流體自漏洩口漏出。因該漏洩而產生超音波(約40kHz)，於是藉由超音波感測器便可檢測有無產生超音波、亦即可檢測有無漏洩。就處理電路而言，於持續檢測出超音波之情況下，會產生警報。漏洩檢測裝置係以可利用位於超音波產生部位之漏洩口的方式安裝，藉此，可精度良好地檢測有 無漏洩，並可將漏洩檢測裝置小型化。被小型化之漏洩檢測裝置係隔著感測器保持體而可容易地安裝於流體控制器本體，如此獲得之流體控制器可常時監視流體控制器內之漏洩。
只要是設有漏洩口之構件，就可應用該漏洩檢測裝置，關於漏洩檢測對象構件之其他例方面，有於螺帽側面形成漏洩口之接頭。接頭之種類並無特別限制，漏洩檢測裝置可應用於使用墊圈進行密封者、或使用金屬環(環)等進行固定之方法等的使用了設有漏洩口之螺帽的各種接頭。
根據本發明之漏洩檢測裝置，使用設於漏洩檢測對象構件之漏洩口，且使超音波感測器面向漏洩口，藉此，可提高檢測流體之漏洩的精度，可將超音波感測器小型化。藉此，可隔著漏感測器保持體將超音波感測器常時安裝於漏洩檢測對象構件，可常時監視漏洩檢測對象構件內之漏洩。
1‧‧‧流體控制器
2‧‧‧流體控制器本體(漏洩檢測對象構件)
3‧‧‧漏洩檢測裝置
11‧‧‧閥體
12‧‧‧入口管接頭部
13‧‧‧出口管接頭部
14‧‧‧閥蓋
15‧‧‧殼體
16‧‧‧漏洩口
21‧‧‧感測器保持體
22‧‧‧超音波感測器
23‧‧‧超音波通道
24‧‧‧處理電路
31‧‧‧水平部
31a‧‧‧貫通孔
32‧‧‧垂直部
32a‧‧‧下部
32b‧‧‧上部
第1圖為顯示本發明之漏洩檢測裝置及具有此裝置的流體控制器之一實施形態的部分剖開之側視圖。
第2圖為第1圖之俯視圖。
第3圖為流體控制器本體之前視圖。
第4圖為漏洩檢測裝置之感測器保持體之立體圖。
以下，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。以下之說明中，上下及左右係指第1圖之上下及左右。
如第1及第2圖所示，流體控制器(1)係由控制(遮斷開放、流量調整等)流體之流動的流體控制器本體(漏洩檢測對象構件)(2)、及檢測流體控制器本體(2)內之流體的漏洩之漏洩檢測裝置(3)所構成。
流體控制器本體(2)係公知之隔膜閥，其內部構成被省略，如第3圖所示，其具備設有入口管接頭部(12)及出口管接頭部(13)之閥體(11)、嵌合覆蓋於閥體(11)上部之大致圓筒狀的閥蓋(14)、及安裝於閥蓋(14)上方之殼體(15)。
於流體控制器本體(2)之閥蓋(14)設有連通流體控制器本體(2)內之密封部分與外部，用以檢測漏洩之漏洩口(16)。
漏洩檢測裝置(3)係利用超音波感測器檢測設於流體控制器本體(2)之漏洩口(16)的漏洩者，其具備安裝於流體控制器本體(2)之感測器保持體(21)、以隔開既定間隔與漏洩口(16)對向之方式保持於感測器保持體(21)的超音波感測器(22)、設於超音波感測器(22)之感測面與漏洩口(16)之間的直線狀之超音波通道(23)、及對以超音波感測器(22)獲得之超音波進行處理之處理電路(24)。
如第4圖所示，感測器保持體(21)係由設有嵌入閥蓋(14)之貫通孔(31a)之水平部(31)、及自側面抵接於閥蓋(14)及殼體(15)之垂直部(32)所構成。於感測器保持體(21)之垂直部(32)的下部(32a)設有超音波感測器(22)，於感測器保持體(21)之垂直部(32)的上部(32b)設有處理電路(24)。感測器保持體(21)係以可拆卸自如地安裝於既有之流體控制器本體(2)的方式所構成。感測器保持體(21)可視需要分割為複數個構件，並藉由螺栓等進行結合而予組裝。
超音波感測器(22)係設定成可測量約40kHz之頻率的大小。超音波感測器(22)之感測面係隔著超音波通道(23)而面向漏洩口(16)。
處理電路(24)係處理超音波感測器(22)之輸出，於持續檢測出超音波之情況下，判斷為發生漏洩，並發出警報。
根據本實施形態之流體控制器(1)，當因隔膜閥之破損等而破壞流體控制器本體(2)內之密封性時，流體自漏洩口(16)漏出。因該漏洩會產生超音波(約40kHz)，藉由超音波感測器可檢測有無產生超音波、亦即可檢測有無漏洩。漏洩檢測裝置(3)係以可利用位於超音波產生部位之漏洩口(16)的方式安裝，所以可精度良好地檢測有無漏洩。因此，即使不將超音波感測器(22)大型化，仍可檢測漏洩，可將漏洩檢測裝置(3)小型化。被小型化的漏洩檢測裝置(3)可隔著感測器保持體(21)容易地安裝於流體控制器本體(2)。根據依此獲得之流體控制器(1)，可常時監視流體控制器(1)內之漏洩。
又，上述說明中，關於流體控制器本體(2)，是例示了隔膜閥，但流體控制器本體(2)不限於此，只要是能進行各種之流體控制者即可，且只要具有用以檢測漏洩之漏洩口(16)即可，對形狀等並無限制。感測器保持體(21)係作成適合於流體控制器本體(2)的形狀。漏洩口(16)也可於後加工中設於流體控制器本體(2)之適當位置。
此外，設在配管中途之接頭所使用的螺帽，通常於其側面設有漏洩口，漏洩檢測裝置(3)也可應用於具有此種螺帽之接頭。
此情況之接頭係由包含具有相互連通的流體通道之第一及第二接頭構件、對兩接頭構件之對接部進行密封的密封機構、及結合接頭構件彼此之螺帽之管接頭本體、及檢測接頭本體內之流體的漏洩之漏洩檢測裝置(3)所構成，於螺帽設有連通管接頭本體內之密封部分與外部的漏洩口(16)，漏洩檢測裝置(3)具備安裝於螺帽之感測器保持體(21)、以與漏洩口(16)對向之方式設於感測器保持體(21)的超音波感測器(22)、設於超音波感測器(22)之感測面與漏洩口(16)之間的超音波通道(23)、及對以超音波感測器(22)獲得之超音波進行處理之處理電路(24)。
[產業上可利用性]
根據本發明，可達成小型化且常時安裝於流體控制器等之漏洩檢測對象構件，藉此，可常時監視流體之漏洩，所以，可有助於解消隨流體之漏洩而產生的問題。
1‧‧‧流體控制器
2‧‧‧流體控制器本體(漏洩檢測對象構件)
3‧‧‧漏洩檢測裝置
11‧‧‧閥體
12‧‧‧入口管接頭部
14‧‧‧閥蓋
15‧‧‧殼體
16‧‧‧漏洩口
21‧‧‧感測器保持體
22‧‧‧超音波感測器
23‧‧‧超音波通道
24‧‧‧處理電路
31‧‧‧水平部
31a‧‧‧貫通孔
32‧‧‧垂直部
32a‧‧‧下部
32b‧‧‧上部

Claims (2)

  1. 一種漏洩檢測裝置，係檢測流體之漏洩，該漏洩檢測裝置之特徵為具備：感測器保持體；直線狀的超音波感測器，其與設於漏洩檢測對象構件且連通漏洩檢測對象構件內之密封部分與外部的漏洩口以隔開既定間隔對向之方式保持於感測器保持體；超音波通道，其設於超音波感測器之感測面與漏洩口之間；及處理電路，其對由超音波感測器所獲得之超音波進行處理。
  2. 一種流體控制器，其特徵為：該流體控制器係由控制流體之流動的流體控制器本體、及檢測流體控制器本體內之流體的漏洩之漏洩檢測裝置所構成，於流體控制器本體設有連通流體控制器本體內之密封部分與外部的漏洩口，漏洩口並非用在流體通路，而是為檢測漏洩而設置，漏洩檢測裝置係如申請專利範圍第1項記載之構成者。
TW102125859A 2012-07-23 2013-07-19 A leak detection device and a fluid controller provided with the device TWI583935B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012162244A JP5978038B2 (ja) 2012-07-23 2012-07-23 漏れ検出装置およびこれを有する流体制御器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201411110A TW201411110A (zh) 2014-03-16
TWI583935B true TWI583935B (zh) 2017-05-21

Family

ID=49997121

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102125859A TWI583935B (zh) 2012-07-23 2013-07-19 A leak detection device and a fluid controller provided with the device

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9702781B2 (zh)
JP (1) JP5978038B2 (zh)
KR (1) KR101710772B1 (zh)
CN (1) CN104685333B (zh)
IL (1) IL236100A0 (zh)
TW (1) TWI583935B (zh)
WO (1) WO2014017305A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI692627B (zh) * 2017-03-17 2020-05-01 日商富士金股份有限公司 流體控制機器之動作分析系統、方法，以及電腦程式

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11226257B2 (en) 2017-02-20 2022-01-18 Fujikin Inc. Anomaly detection device for fluid controller, anomaly detection system, anamoly detection method, and fluid controller
US11162606B2 (en) 2017-03-17 2021-11-02 Fujikin Irc. Fluid control device
CN112119291A (zh) 2018-08-10 2020-12-22 株式会社富士金 流体控制设备、流体控制设备的异常检测方法、异常检测装置以及异常检测系统
JP7179377B2 (ja) 2018-08-30 2022-11-29 株式会社フジキン 流体制御機器
US11879813B2 (en) * 2020-09-24 2024-01-23 Transportation Ip Holdings, Llc Leak detection device
KR20240066527A (ko) * 2022-11-07 2024-05-16 한국자동차연구원 고압밸브용 가스누출 감지장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4823600A (en) * 1987-11-05 1989-04-25 Ue Systems, Inc. Ultrasonic transducer and current loop transmitter
US20070068225A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Brown Gregory C Leak detector for process valve

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS618850U (ja) 1984-06-21 1986-01-20 石川島播磨重工業株式会社 弁の漏洩検出装置
JPH02291937A (ja) * 1989-05-01 1990-12-03 Kubota Corp バルブの漏れ検出方法
JPH03130637A (ja) * 1989-10-16 1991-06-04 Tomoe Gijutsu Kenkyusho:Kk バタフライ弁の漏洩検知方法及び装置
JP3142304B2 (ja) * 1991-04-26 2001-03-07 清原 まさ子 シール部破損検知機構付制御器
JP3443807B2 (ja) * 2000-02-15 2003-09-08 株式会社テイエルブイ 超音波漏洩検出装置
CN2557927Y (zh) * 2002-07-18 2003-06-25 房继祥 一种介质隔离插入式超声波传感器
JP2004108809A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Nissan Motor Co Ltd 漏れ検出機能付き超音波流量計
JP3868894B2 (ja) * 2002-11-19 2007-01-17 キリンビバレッジ株式会社 ボトルキャップの密封性検査方法およびその装置
EP1975573B1 (fr) 2007-03-06 2017-10-04 Itron Global SARL Compteur à cellule de mesure à ultra sons de type capsule, standardisée
DE102010040396A1 (de) * 2010-09-08 2012-03-08 Robert Bosch Gmbh Durchflussmesser zur Erfassung einer Eigenschaft eines fluiden Mediums

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4823600A (en) * 1987-11-05 1989-04-25 Ue Systems, Inc. Ultrasonic transducer and current loop transmitter
US20070068225A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Brown Gregory C Leak detector for process valve

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI692627B (zh) * 2017-03-17 2020-05-01 日商富士金股份有限公司 流體控制機器之動作分析系統、方法，以及電腦程式

Also Published As

Publication number Publication date
US9702781B2 (en) 2017-07-11
JP5978038B2 (ja) 2016-08-24
US20150143876A1 (en) 2015-05-28
KR20150013878A (ko) 2015-02-05
TW201411110A (zh) 2014-03-16
WO2014017305A1 (ja) 2014-01-30
JP2014021029A (ja) 2014-02-03
KR101710772B1 (ko) 2017-02-27
CN104685333B (zh) 2017-08-04
IL236100A0 (en) 2015-01-29
CN104685333A (zh) 2015-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI583935B (zh) A leak detection device and a fluid controller provided with the device
JP5594541B2 (ja) 圧力検出器
TWI565897B (zh) 真空閥之外部密封構造
JP5963875B2 (ja) 改良された同一平面プロセス流体圧力センサモジュール
JP4700448B2 (ja) 差圧式流量計
TWI391635B (zh) 流量感測器
TWI757368B (zh) 壓力式流量計
JP2015025469A5 (ja) 真空弁の外部シール構造
EP3104134A1 (en) Gas flowmeter
CA3162168A1 (en) Non-invasive process fluid flow indication using temperature difference
JP2015145827A (ja) 計測流路ユニット
JP2005283565A (ja) 流量計測装置
CN111226062A (zh) 具有一体式冲洗环的隔膜密封件
JP2015145826A (ja) ガスメータ
JP4443023B2 (ja) 弁類の作動状態検出装置
JP6546073B2 (ja) 超音波流量計
JP5963294B2 (ja) ガスメータ
JP2009287966A (ja) 流量計の組立て方法および流量計
JP2014059190A (ja) 流量検出センサ用防塵機構
JP7649701B2 (ja) ガスメータ
JP6851333B2 (ja) ガスメータ
KR20180002187A (ko) 커넥팅부가 구비된 소방용 버터플라이밸브
JP2009068839A (ja) ガスメータ取付ユニット
JPH11190643A (ja) 流体振動形流量計
JP2008304396A (ja) 流量計

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees