TWI351895B

TWI351895B -

Info

Publication number: TWI351895B
Application number: TW092135052A
Authority: TW
Inventors: Shunpei Yamazaki
Original assignee: Semiconductor Energy Lab
Priority date: 2002-12-12
Filing date: 2003-12-11
Publication date: 2011-11-01
Also published as: US8709540B2; US20050016462A1; TW200415952A; US7583020B2; US20090293808A1; JPWO2004054325A1; AU2003289212A1; CN1723741B; CN1723741A; JP5072184B2; WO2004054325A1

Description

1351895 (1) 玖、發明說明【發明所屬之技術領域】本發明係有關一種可藉由蒸鍍成膜之材料（以下稱爲蒸鍍材料）之成膜所使用的成膜裝置、製造裝置、淸潔方法以及成膜方法。本發明特別對於使用包含有機化合物之材料作爲蒸鏡材料之情況甚爲有效。【先前技術】近年來，具有EL元件之發光裝置的硏究活潑化作爲自發光型的元件，特別是使用有機材料之發光裝置作爲 EL材料備受矚目。該發光裝置亦稱爲有機EL顯示器或有機發光二極體。發光裝置係與液晶顯示裝置不同，沒有所謂自發光型之視野角的問題之特徵。亦即，疑案有一種比液晶顯示器更適用，以各種形式使用作爲屋外所使用的顯示器。 EL元件雖係形成在一對的電極間挾住EL層之構造，惟EL層一般係形成積層構造。最具代表性者有「正孔輸送層/發光層/電子輸送層」之積層構造。該構造係發光效率非常高，現在硏究開發正進行中的發光裝置大致上採用這種構造。 EL元件之實用化的最大問題係元件的壽命不充分之點。又，元件的劣化係在長時間發光之同時，使非發光區域（黑點）變寬之形式表現，惟其原因係成爲導致EL層之劣化的問題。 -4- (2) (2)1351895 形成EL層之EL材料係藉由氧或水等雜質引起劣化。又’著其他的雜質包含於EL材料，對EL層的劣化產生影響。又’ EL材料係區分爲低分子系（單體系）材料與高分子系（聚合物）材料’惟其中低分仔細材料主要係藉由蒸鍍成膜。在真空下從蒸發源使蒸發材料蒸發而成膜的真空蒸鍍法’係週知爲物理性的成膜法之代表例。又，化學性的成膜法之代表性例係將原料供給至基板上，藉由在氣相中或基板表面的化學反應成膜之CVD (化學蒸鍵）法〇藉由習知的蒸鍍法進行成膜之際，雖依舊使用蒸鍍材料，惟蒸鍍時的蒸鍍材料混入雜質。亦即，導致EL元件的劣化原因之一，係有氧或水及其他雜質混入之可能性。又，藉由預先精製蒸鍍材料雖可提高純度，惟鄧蒸鍍爲止之期間亦有混入雜質之可能性。 EL材料極容易劣化，亦容易因爲氧或水的存在而氧化劣化。因此，成膜後無法進行微影製程，爲了圖案化，必須以具有開口部的掩模（以下稱爲蒸鍍掩模）與成膜同時分離。因而’已經昇華的有機EL材料大致上附著於成模式內的蒸鍍掩模或是防止附著板（防止蒸鍍材料附著於成膜式的內壁之保護板）。【發明內容】〔發明所欲解決之課題〕 -5- (3) (3)1351895 本發明係有鑑於上述問題點，提供一種使生產率提高 ’且形成高密度的EL層之成膜裝置以及該成膜裝置所具備的製造裝置。再者，更提供一種使用本發明的成膜裝置之成膜方法。〔用以解決課題之手段〕本發明係提供一種新穎的成膜方法，係藉由減壓手段 (渦輪分子泵或乾式泵或低溫泵等真空泵），設爲5x 10·3Τ〇ΓΓ ( 〇.665Pa )以下，以 1 x 1 〇·3Τ〇ΓΓ ( 0.13 3Pa )以下最佳，在成膜室從蒸發源使有機化合物材料蒸發而成膜之際’使比有機化合物材料的粒子小的粒子亦即由原子半徑小的材料構成的氣體（矽烷氣體等）微量流動，在有機化合物膜中包含原子半徑小的材料。本發明係在有機化合物膜中含有無機材料使信賴性提昇。亦即，本發明係在成膜時導入材料氣體，藉由在有機化合物膜中含有材料氣體的成分形成高密度膜，阻止引起劣化之氧或水分等雜質入侵擴散至膜中。上述原子半徑小的材料氣體具體而言，材料氣體具體而言亦可從矽烷系氣體（甲矽烷、乙矽烷 '丙矽烷等）、 SiF4、GeH4、GeF4、SnH4、或是碳化氫系氣體（CH4、 c2h2、C2H4、c6h6等）中選擇一種或複數種。此外，包含以氫或氬稀釋此等氣體之混合氣體。在裝置內部所導入的此等氣體在導入.至裝置內之前藉由氣體精製機高純度化。因而’必須在高純度化氣體之後以導入至蒸鍍裝置的方 -6 - (4) (4)1351895 式具備氣體精製機。藉此，由於可預先除去氣體中所含有的殘留氣體（氧或水分，其他雜質等），因此可防止在裝置內部導入此等雜質。例如，藉由在蒸鍍時導入甲矽烷，於膜中包含Si，在完成發光元件之後，具有銷孔或短路的不良部分時，藉由使該不良部分發熱使Si反應，形成SiOx、SiCx等絕緣性的絕緣物，可降低銷孔或短路部分的漏洩，亦可獲得不進行點缺陷（黑點等）之自我修復功效。又，藉由加熱基板所導入的材料氣體的成分在基板上有效沉積亦可。而且，藉由電漿產生手段自由基化亦可。例如，爲甲矽烷時，藉由電漿產生手段，生成SiHx、SiHxOy、SiOy 等氧化矽前軀體，此等來自蒸發源的有機化合物材料同時沉積於基板上。甲矽烷容易與氧或水分反應，亦可降低成膜室內的氧濃度或水分量。在本說明書揭示的本發明之構成係具備有發光元件，該發光源件係包含有：在具有絕緣表面的基板上包含陽極極與該陽極相接的有機化合物之層、與包含該有機化合物之層相接的陰極，其特徵再於，在包含上述有機化合物之層含有以SIMS測定lxlO18至5xl02()個/ cnT3的矽，更以 3xl018 至 3xl02G 個 /cm·3 最佳。如矽烷系般，在材料氣體與氧或水分反應時，可降低成膜室內的氧濃度或水分量，可獲得信賴性高的有機化合物膜。此外，電漿產生方法可適當應用ECR、ICP、天線 (5) (5)1351895 '磁控管、雙頻、三極管或是LEP等。又，在本說明書中，提供一種新穎的成膜裝置。有關本發明之成膜裝置的構成係從與基板相對向而配置的蒸鍍源使有機化合物材料蒸鍍，在上述基板上進行成膜，其特徵在於，在配置有上述基板之成膜室具有收納有 ^ 機化合物材料的蒸鍍源、加熱該蒸鍍源的手段，上述成膜 · 室係與將上述成膜室內設爲真空之真空排器處理室連結，且具有可導入材料氣體的手段。 φ 又，使用本發明之成膜裝置，可成爲多重反應室方式的製造裝置，本發明之製造裝置係具有裝載室、與該裝載室連結的搬送室、及與搬送室連結的成膜室，其特徵在於，上述搬送室係具有掩膜（蒸鍍掩膜）進行與基板的位置對準的功能，配置有上述基板的成膜室係收納有機化合物材料的蒸鍍源、及加熱該蒸鍍源之手段，上述成膜室係與將上述成膜室內設爲真空之真空排氣處理室連結，且具有可導入材料氣體的手段。 φ 而且，使用上述成膜裝置，可成爲使裝載室、搬送室、成膜室在串聯方向連結之線上方式的製造裝置，其構成係具有裝載室、與該裝載室連結的搬送室、及與搬送室在串聯方向連結的成膜室之製造裝置，上述搬送室係具有進行掩膜（蒸鍍掩膜）與基板的位置對準的功能，配置有上述基板的成膜室係收納有機化合物材料的蒸鍍源、及加熱該蒸鍍源之手段，上述成膜室係與將上述成膜室內設爲真空之真空排氣處理室連結，且具有可導入材料氣體的手段 -8 - (6) (6)1351895 又’在上述成膜裝置（以及具備上述成膜裝置的製造裝置）的各構成中，上述蒸鍍源係保持水平，在成膜室內可移動至X方向或Y方向。又，在蒸鍍之際，代表性地將基板與蒸鍍源保持氣之間隔距離d設爲30cm以下，更以設爲20cm以下，最理想者係設爲5cm至15cm以下，格外使蒸鍍材料的利用效率及產生提昇》蒸鍍源保持器由以下構件所構成：容器（代表性者爲坩堝）、在容器外側介以均熱構件配設的加熱器、設置於該加熱器外側的斷熱層、收納此等的外筒' 在外筒的外側旋轉的冷卻管 '關閉包含坩堝的開口部之外筒的開口部的蒸鍍快門、及膜厚感應器。又’蒸鍍掩膜係難以因熱變形（爲低膨脹率），在蒸鍍時可耐高溫之金屬材料（例如期望係所謂鎢、耝、鉻、鎳或是鉬之高融點金屬或是使用包含此等元素的合金、不銹鋼、鉻鐵耐熱合金、耐蝕鎳基合金之材料的金屬掩膜）。例如，玻璃基板（0.4x10-6至8.5x10-6)與熱膨脹率接近之鎳42%、鐵58%之低熱膨脹率合金（42埃羅），鎳36%的低熱膨脹合金（36因瓦合金）等。而且，在上述成膜裝置（以及具備上述成膜裝置之製造裝置）的各構成中，具有加熱上述基板的手段亦可。又，加熱基板的手段係設置有加熱器或電熱線等之載置台（具有固定基板的功能亦可），或是使設置有加熱器或電熱線等之金屬掩膜與基板密接或近接加熱，基板的溫度爲 -9 - (7) 1351895 50至200°C，更以設爲65至150°C最佳。使材料氣體的成分容易取入至有機化合物膜又，在上述成膜裝置（以及具備上述成裝置）之構成中，可導入上述材料氣體的手產生手段導入自由基化的材料氣體之手段。入材料氣體的系統之外另設置導入用以將成壓的非活性氣體（氮、氬等）亦可。又，除體的系統之外另設置導入用以淸潔成膜室內 H2、氬、NF3等）亦可。 '又，有關在本說明書所揭示的淸潔方法去具備蒸鑛源的成膜室內所附著的有機化合在於，在成膜室內產生電漿或在成膜室內藉離子化的氣體，防止成膜於內壁或該內壁之，或是淸潔掩膜，藉由真空排氣手段進行排在上述構成中，上述電漿係從 Ar、H，中選擇一種或複數種氣體激起而產生。又，在蒸鍍時於成膜室內進行天線方式電漿，化學附著於使離子化的材料氣體之成化合物。而且，在上述成膜裝置的各構成中，與設置的真空排氣手段係從大氣壓在不含油月旨排氣IPa左右，高於此的壓力係藉由磁浮型泵或是複合分子泵真空排氣。爲了除去成膜設低溫泵亦可。如此，從排氣手段主要防止藉由加熱基板中〇膜裝置的製造段係藉由電漿而且，除了導膜室內設爲常了導入材料氣的淸潔氣體（之構成，係除物者，其特徵由電漿導入已附著防止手段 mo F、NF3 或 Ο 的放電，形成分蒸發之有機成膜室連結而的乾式泵真空的面朝下分子室之水分，併油等有機物之 -10- (8) (8)1351895 污染。內壁面係藉由電解硏磨鏡面處理，減少表面積以防止氣體放出。而且，在上述各成膜裝置中，在一個成膜室配置複數個蒸鍍源，在相同的成膜室形成複數個功能區域’且’可形成具有混合區域的發光元件。因而，在發光元件的陽極與陰極之間形成有由複數個功能區域構成的有機化合物膜時，不是形成習知存在之明確界面的積層構造，而是在第一功能區域與第二功能區域之間形成具有由構成第_功能區域的材料以及構成第二功能區域的材料之兩方混合區域的構造。藉由本發明，在成膜前，或是成膜中導入材料氣體，藉由在膜中含有材料氣體的成分，可更配合混合區域之分子間。藉由形成混合區域，功能區域間的能源障壁緩和。因而，可防止驅動電壓的降低以及亮度降低。此外，第一有機化合物及第二有機化合物係具有以下之一群的性質，並從中選擇：從陽極接受正孔之正孔注入性；正孔移動度大於電子移動度之正孔輸出性；電子移動度大於正孔移動度的電子輸送性；從陰極接收電子的電子注入性；可阻止正孔或電子的移動之阻止性；使發光呈現的發光性，且各別具有不同的上述性質。此外，正孔注入性高的有機化合物係以鈦花青系的化合物最佳，正孔輸送性高的有機化合物係以芳香族二胺化合物最佳，又，電子輸送性高的有機化合物係以包含奎林骨格之金屬錯體、包含苯昆骨骼的金屬錯體、或是噁二唑誘導體，或是三唑誘導體較佳。再者，使發光呈現的有機 -11 - (9) (9)1351895 化合物係包含穩定發光的奎林骨格之金屬錯體.，或是包含苯昆骨骼的金屬錯體，或是包含苯倂塞坐之金屬錯體。再者，最理想者爲，以主客材料、勵起能源比主客材料低的發光材料（摻雜區域）構成發光性區域，摻質之勵起能源以低於正孔輸送性區域之勵起能源及電子輸送層的勵起能源之方式設計。藉此，防止摻質之分子勵起子的擴散，有效地使摻質發光。又，若摻質爲載子捕獲型的材料，則亦可提高載子的再結合效率。又，以發光變換三重態激發能量之材料作爲摻質，添加在混合區域時亦包含於本發明。又，在混合區域的形成中，於混合區域維持濃度梯度。此外，本發明之成膜裝置係不僅爲以EL材料所代表的有機化合物’亦可用於蒸鍍使用的金屬材料等其他材料之成膜。又’在本說明書中’亦提供一種新穎的成膜方法。有關本發明之成膜方法的構成，係在成膜室內所配置的基板上蒸鍍有機化合物者，其特徵在於，將上述成膜室內設爲比lxl(T3Torr高之高真空，從與基板相對向而配置的蒸鍵源蒸鍍有機化合物材料，在上述基板上進行成膜之際，同時將材料氣體導入至上述成膜室。而且’有關本發明之成膜方法的其他構成，係在成膜室內所配置的基板上蒸鍍有機化合物者，其特徵在於，將上述成膜室內設爲比lxlO_3Torr高之高真空，從與基板相對向而配置的蒸鍍源蒸鍍有機化合物材料，在上述基板 -12- (10) 1351895 上進行成膜之際，同時將自由基化的材料氣體成膜室，。又，在上述各構成中，上述材料氣體係使、乙矽烷、丙矽烷、SiF4、GeH4、GeF4、Si hH2、C2H4或是C6H6中選擇的一種或複數種而且，除了甲矽烷之外，亦可導入磷化氫取代甲矽烷使用 AsH3、B2H2、BF4、H2Te、、2n ( CH3 ) 2、 ( CH3 ) 3In、H2Se、BeH2、或是以三甲基鎵所示的各種氣體亦可。又，包含在陰極與陽極之間配置的有機化雖以積層正孔輸送層、發光層、電子輸送層三表，爲並無特別限制，在陽極上依據積層正孔孔輸送層/發光層/電子輸送層/或是積層正正孔輸送層/發光層/電子輸送層/電子注入或是雙層構造亦可。與發光層相對，摻雜螢光可。又，發光層係具有正孔輸送性之發光層或之發光層等。而且，此等之層係全部使用低分形成亦可。此外，在本說明書中，總稱陰極與設置的全部層爲包含有機化合物層之層（EL ，上述正孔注入層、正孔輸送層、發光層、電電子注入層係全部包含於EL層。又，包含有層（EL層）係亦可包含係等無機材料等。此外，發光元件（EL元件）係具有藉著生的電激發光（Electro Luminescence)所獲導入至上述用從甲矽烷 nH4 、 CH4 、 ο 氣體。又， Cd ( CH3 ) 2 三甲基鎵、合物之層，層之例爲代注入層/正孔注入層/ 層之構造，性色素等亦電子輸送性子系的材料陽極之間所層）。因而子輸送層、機化合物之施加電極產得的有機化 -13- (11) (11)1351895 合物層之層（以下計爲EL層）、陽極、及陰極。有機化合物之電激發光係有從一重項勵起狀態回到基底狀態之際的發光（螢光）與從三重項勵起狀態回到基底狀態之際的發光（磷光），自由基據本發明所製作的發光裝置亦可應用在使用任一種發光之情況。此外，在本說明書中，總稱陰極與陽極之間所設置的全部層爲EL層。因而，上述正孔注入層、正孔輸送層、發光層、電子輸送層以及電子注入層係全部包含於EL層〇又，在本發明之發光裝置中，畫面顯示的驅動方法並無特別限定，例如若使用點順次驅動方法或線順次驅動方法或面順次驅動方法等亦可。具代表性者有適當使用時間分割灰階度驅動方法或面積灰階度驅動方法作爲線順次驅動方法。又’發光裝置之源極線所輸入的影像信號亦可爲類比信號，亦可爲數位信號，事可適當與影像信號對準設計驅動電路等。又，在本說明書中’陰極、EL層及陽極所形成的發光元件稱爲EL元件’在此具有在以互相垂直的方式設置的兩種管狀電極之間形成EL層的方式（單純矩陣方式），或是在與TFT連接配列爲矩陣狀之像素電極與對向電極之間形成EL層之方式（主動矩陣方式）兩種。【實施方式】以下說明本發明的實施形態。 -14 - (12) (12)1351895 (實施形態1 ) 使用第I圖說明本發明之成膜裝置的構成。第1圖係本發明之成膜裝置的剖面圖之一例。藉由蒸鍍法進行成膜之際，以設爲仰頂（Face-down )方式（所謂面朝下方式）最佳，基板1〇係將被成膜面設爲向下。仰頂方式係所謂使基板的被成膜面於向下之狀態下成膜之方式，自由基據該方式，可抑制垃圾的附著等〇如第1圖所示，具備有與基板1 0相接的加熱手段，在此係於基板保持器1 2具備有加熱器。藉由加熱手.段，基板的溫度以50至200°C較佳，最理想者爲65至]50°C 。又，基板1〇係藉由在基板保持器內藏的永久磁鐵，以金屬掩模（未圖示）挾住而固定。又，在成膜室內所設置的定盤18設置有可加熱至不同溫度的蒸鍍單元（亦稱爲蒸鍍保持器）13。此外’以與基板相對向之方式設置有蒸鍍源。在此，雖例示使用永久磁鐵以金屬掩模挾住基板而固定之例，惟亦可使用保持器固定。在此，所謂蒸鍍源係以下述構件所構成：蒸鍍單元 1 3、收納有機化合物之容器（坩堝、蒸鍍晶舟）、外門 14、加熱有機化合物之加熱手段、以及包圍周圍的段熱材。加熱手段係以電阻加熱型爲基本，惟亦可使用客努森容器（Knudsen cell ) 〇又’在成膜室連結有：在蒸鑛時導入數seem材料氣 -15- (13) (13)1351895 體至成膜室的氣體導入系統；以及將成膜室內設爲常壓之氣體導入系統。材料氣體係使用從甲矽烷、乙矽烷、丙矽烷、SiF4 、 GeH4 、 GeF4 、 SnH4 、 CH4 、 C2H2 、 C2H4 或是 C6H 6中選擇的一種或複數種。此外，期望從氣體導入口以最短距離使材料氣體不流至氣體排出口。藉由減壓手段（渦輪分子泵16或乾式泵或低溫泵17 等真空泵）將反應室壁11所包圍的空間設爲5x1 (T3T〇rr (〇.665Pa)以下，以 lxl(T3Torr(0.133Pa)以下最佳，藉由蒸鍍單元所設置的加熱手段（施加電壓之際產生的電阻（電阻加熱））使內部的有機化合物加熱至昇華溫度時 ’氣化並蒸鍍在基板10的表面。在該蒸鍍之際藉由導入 #料氣體數seem，使膜中含有材料氣體的成分。此外， _ 1圖係表示以混合已蒸發的第I材料15a及已蒸發的第 2材料15b之方式使一側的單元傾斜，進行共同蒸鍍，再 $ ’亦表示混合所導入的材料氣體形成膜之例。所謂共同 $鍍意指加熱不同的蒸鍍源同時使之氣化，在成膜階段混合不同的物質之蒸鍍法。又，在蒸鍍之際，由於使膜厚均 ~ ’故基板保持器12係旋轉。此外，基板10的表面係在本說明書中，亦形成於基板與其上所形成的薄膜，在此，於基板上形成有陽極或陰極。另外，外門1 4係控制已氣化的有機化合物之蒸鍍。換言之，當打開外門時，可藉由加熱蒸鍍已氣化的有機化合物。再者，基板1〇與外門14之間亦可設置一個或複數 -16 - (14) (14)1351895 個其他的外門（例如從蒸鍍源的昇華至穩定爲止的期間，覆蓋蒸鍍源之外門）。此外，有機化合物係從蒸鍍前加熱而氣化，在蒸鍍時若打開外門1 4可馬上進行蒸鍍，期望縮短成膜時間。又，在本發明之成膜裝置中，在一個成膜室可形成具有複數個功能區域之有機化合物膜，蒸鍍源亦因應於此設置有複數個。而且，爲防止蒸鍍時有機化合物附著於成膜室的內壁而設置有防止附著板19。藉由設置該防止附著板19，可使未蒸鍍於基板上的有機化合物附著。又，成膜室係與將成膜室內設爲真空的複數個真空排氣處理室連結。真空排氣處理室係具備有磁浮型的面朝下分子泵16與低溫泵17。藉此，可將成膜室的到達真空度設爲1〇'5至l(T6T〇rr。此外，在低溫泵17進行真空排氣之後，停止低溫泵17，且以面朝下分子泵16 —邊進行真空排氣，一邊流動數seem之材料氣體，以進行蒸鍍。當蒸鍍結束，以面朝下分子泵一邊排氣一邊導入非活性氣體使壓力上升，使殘留的材料氣體從成膜室內排出，在進行高真空排氣。最後，保持真空將已蒸鍍的基板從成膜室內搬出至裝載室》又，用於反應室壁Π的材料係藉著縮小其面積，可縮小氧或氫等雜質的吸附性，因此進行電解硏磨而鏡面化的鋁或不銹鋼（SUS)等用於內部壁面。藉此，可將成膜室內部的真空度維持在1(Γ5至i〇_0T〇rr。又，以氣孔變爲 -17- (15) (15)1351895 極少之方式處理的陶瓷等材料用於內部構件。此外，此等係以具有中心線平均粗縫度成爲3nm以下之表面平化性較爲理想。若使用第1圖所示的成膜裝置，則在成膜時導入材料氣體’藉由在有機化合物膜中含有材料氣體的成分可成爲高密度之膜。藉由在有機化合物膜中含有材料氣體的成分 ’阻止引起劣化之氧或水分等雜質入侵擴散至膜中，可提升發光元件之信賴性。例如’使有機材料蒸發並進行蒸鍍之成膜室中導入數 seem之甲矽烷氣體時，與從蒸鍍源蒸發朝向基板的有機材料一起浮游在成膜室內之SiH4安裝入有機膜中。亦即 ’比較性地在粒子半徑大的有機材料分子之間隙藉由埋設原子半徑小的SiH4或SiHx，可包含於有機膜中。在蒸鍍中雖加熱至100°C左右，惟甲矽烷的分解溫度（大氣壓下的分解溫度）約爲5 50 °C，因此不會分解。亦有藉由蒸發的有機材料與SiH4或SiHx反應形成化合物之情況。又，在成膜室中捕獲殘留些微的氧（或水分）以生成SiOx，故可減少在成膜室中及膜中成爲有機材料劣化的主因之氧 (或水分），結果可提升發光元件的信賴性。又’所生成的Si 0X包含於該膜中亦可。當在膜中具有有機材料分子的間隙時’氧谷易進入其間隙，而產生劣化。因而，由於埋設於該間隙’因此亦可使用SiF4 ' GeH4、GeF4、SnH4、或是碳化氫系氣體（CH4 、C2H2、C2H4、C6H6等）使發光元件之信賴性提昇。 -18 - (16) 1351895 此外，上述有機材料係列舉有：a -NPD ( 雙一 [N_ (萘基）一 N苯基—胺基]聯苯基） MTDATA(4，4' ，4，—三（n— 3 —甲苯基— —胺基）三苯胺、A丨q 3 (三_ 8 —羥基哮啉鋁錯儀以下，使用第1圖的成膜裝置，表示具有與接的有機化合物層、即與該有機化合物層相接的光元件的製作步驟之一例。首先，將形成有陽極之基板搬入至搬入室（。形成陽極的材料係使用透明導電性材料，銦. 或氧化鋅等。然後’搬送至與搬入室（未圖示）之成膜前處理室（未圖示）。在該成膜前處理室行陽極表面的淸潔或氧化處理或加熱處理等亦可面的淸潔係在真空中進行紫外線照射，淸潔陽極，氧化處理係一邊以1 〇〇至1 2 0°c加熱，一邊在環境中照射紫外線亦可，在陽極如ITO之氧化物效。又，加熱處理係在真空中基板可耐溫之50 加熱溫度，以進行65至150°C之加熱最佳，除基板的氧或水分等雜質，或形成於基板上的膜中分等雜質。特別是’由於EL材料係容易因爲氧質引起劣化’故在蒸鍍前於真空中加熱甚爲有效然後，結束上述前處理之基板不與大氣接觸成膜室。在成膜室使基板10的被成膜面向下設，在搬入至基板之前’成膜室內以真空排氣較爲與成膜室連結而設置的真空排氣手段係以不 4，4 一、BCP > -N _苯基 I )等。該陽極相陰極之發未圖示）錫化合物連結的點中，若進。陽極表表面。又含有氧的時甚爲有 °c以上的去附著於之氧或水或水等雜〇，搬入至置。此外理想·。含油脂（ -19- (17) (17)1351895

Oil free)的乾式泵從大氣壓真空排氣lPa左右，其上之壓力係藉由磁浮型的面朝下分子泵16真空排氣。再者，爲了除去成膜室的水分而倂設低溫泵17。如此，實現ix 1 (Γ 6 T 〇 r r爲止的真空度。於真空排氣成膜室內之際，同時意可除去附著於成膜室內壁或金屬掩模或防止附著的等的吸附水或吸附氧。再者’在搬入基板之前加熱成膜室最爲理想。慢慢冷卻在前處理加熱的基板，於搬入至成膜室之後，再度長時間加熱 ’而導致產率的降低。期望不需冷卻於前處理所進行的加熱處理所加熱的基板，直接搬入籍設置於已加熱的成膜室。此外’第1圖所示的裝置係在基板保持器12設置有加熱基板的加熱手段，故可在成膜室進行前處理即真空中的加熱處理。在此，於進行蒸鍍之前，在成膜室內於真空中進行加熱觸處理（回火）。藉由該回火（脫氣）除去附著於基板之氧或水分等等雜質或除去形成於基板上的膜中之氧或水分等雜質。由於從成膜.室除去以此方法除去的雜質，故進行真空排氣最爲理想，更可提高真空度。然後，一邊導入數seem的材料氣體，一邊在真空排氣至5xl〇-3Torr( 0.665Pa)以下，最理想者爲10·4至 1 0'6T〇rr的成膜室內進行蒸鍍。在蒸鍍之際，藉由電阻加熱預先使第一有機化合物氣化，在蒸鍍時藉由打開外門 14飛散至基板10的方向。已氣化的有機化合物係飛散至上方與材料氣體混合，通過設置於金屬掩模之開口部（未 -20- (18) (18)1351895 圖示）蒸鍍於基板10。此外，在蒸鍍之際藉由加熱基板之手段，將基板的溫度設爲50至200°C，以設爲65至 1 5 (TC最爲理想。在第1圖所示的裝置中，設置有用以加熱基板的加熱手段’在成膜中進行真空中的加熱處理。由於蒸鍍時的蒸發材料有混入氧或水分等的雜質之慮，因此在蒸鍍中於真空中進行加熱處理，使膜中所含有的氣體放出甚爲有效。如此’在真空中進行加熱處理使膜中所含有的氣體放出甚爲有效。如此’藉由在真空中一邊加熱基板一邊進行蒸鍍，藉由進行成膜至期望的膜厚，可形成高密度的有機化合物層。此外’在此所謂有機化合物係具有：從陽極接受正孔之正孔注入性、正孔移動度大於電子移動度之正孔輸送性、電子移動度大於正孔移動度之電子輸送性、從陰極接受電子之電子注入性、阻止正孔或電子的移動之阻塞性、呈現發光的發光性之性質。如此，結束有機化合物的蒸鍍，構成有機化合物的膜形成於陽極上。再者，爲降低所獲得的有機化合物層中的水分或氧之雜質，以1 X 1 (T4T〇rr以下的壓力進行加熱處理，進行使在蒸鍍時混入的水分等放出之加熱處理亦可。蒸鍍時的蒸發材料由於有混入氧或水分等的雜質之慮，故在蒸鍍後於真空中進行加熱處理使膜中含有的氣體放出甚爲有效。在進行蒸鍍後的回火時，不需要與大氣接觸，將基板搬送到其他處理室，在真空中進行回火最佳。 -21 - (19) (19)1351895 由於第1圖所示的裝置係設置有加熱基板的加熱手段，故在成膜厚於成膜室進行真空中的加熱處理亦可。將蒸空度設爲比蒸鍍之際的真空度高，在蒸鍍之後進行1〇〇至 2 00 °C的回火。藉由該成膜後的回火，除去形成於基板上的有機化合物層中的氧或水分等雜質，形成高密度的有機化合物層。在有機化合物層中，料氣體或材料氣體的主成分，例如在蒸鍍之際導入甲矽烷氣體時，以SIMS測定使材將矽設爲O.Olatoms%至5atoms%較佳，更以設爲O.latoms% 至2atoms%左右。包含使用第1圖所示的成膜裝置所成膜的有機化合物之膜矽包含材料氣體或材料氣體的主成分 ’由於成爲氧或水分難以進入的膜，因此使用包含該有機化合物膜的發光元件係信賴性提昇。在此所示的步驟係形成有機化合物的單層。以後，藉由反覆上述單層的形成步驟，積層期望的有機化合物層，最後積層形成陰極。此外，積層不同的蒸鍍材料（有機化合物或積極的材料）時，以個別的成膜室進行亦可，全部在相同的成膜室積層亦可。陰極的材料係使用包含工作函數小的鎂（Mg )、鋰（Li )或是鈣（Ca ) 的材料亦可。更以使用由MgAg (以Mg: Ag=l〇: 1混合 Mg與Ag之材料）構成之電極。其他亦有鏡（Yb )、 MgAgAl電極、LiAl電極或LiFAL電極。如此，可製作具有陽極、與該陽極相接的有機化合物層、及與該有機化合物層相接的陰極之發光元件。又，可在成膜室進行成膜前 -22- (20) (20)1351895 的回火，此時，使產率提昇。又，可在成膜室進行成膜後的回火，此時，使產率提昇。 (實施形態2 ) 在此，於第2圖表示與實施形態1不同的成膜裝置。第2圖係以均勻成膜膜的方式移動蒸鍍源（或旋轉）之成膜裝置的例。第2圖中，20爲基板，21爲反應室壁，22爲基板保持器，23爲單元，25a爲已蒸發的第1材料，25b爲已蒸發的第2材料，26爲面朝下分子泵，27爲低溫泵，28爲使單元移動的移動機構。由於不需要旋轉基板，故可提供一種與大面積基板對應的蒸鍍裝置。又，藉由蒸鍵單元 23與基板相對移動至X軸向即γ軸向，可均勻成膜蒸鍍膜。在本發明的蒸鍍裝置中，於蒸鍍之際，基板20與蒸鍍單元23之間隔距離d代表性者爲3 0 cm以下，最理想者爲20cm以下’更理想者爲5cm至1 5cm，格外使蒸鏟材料的利用效率及產生提昇。又’蒸鍍單元23所具備的有機化合物不一定爲一種 ’亦可爲複數種。例如，除了在蒸鍍源保持器預備一種材料作爲有發光性之有機化合物之外，亦可一起預備成爲摻質的其他有機化合物（摻質材料）。以主客材料、及勵起能源比主客材料低的發光材料（摻質材料）構成所蒸鍍的有機化合物層’摻質的勵起能源已低於正孔輸送性區域的 -23- (21) (21)1351895 勵起能源及電子輸送層的勵起能源之方式設計。藉此，防止摻質的分子勵起子的擴散’可有效使摻質發光。又，摻質若爲載子捕獲型的材料，則亦可提高載子的再結合效率。又’以發光變換三重態激發能量之材料作爲摻質，添加在混合區域時亦包含於本發明。又，在混合區域的形成中，於混合區域維持濃度梯度。再者，將一個蒸鍍源保持器所具備的有機化合物設爲複數時’以混合彼此的有機化合物之方式使蒸發的方向在被蒸鍍物的位置上交叉之方式傾斜。又，由於進行共同蒸鍍，故在蒸鍍單元具備四種蒸鍍材料（例如以兩種主客材料作爲蒸鍍材料a、以兩種摻質材料作爲蒸鍍材料b )亦可〇又’在舉出恐有氧或水等雜質混入所蒸鍍之EL材料或金屬材料之主要的過程時，考慮在蒸鍍前於成膜室設置 EL材料之過程、週度過程等。因此’與成膜室連結的前處理室具備有球體，每一蒸鍍源從成膜室移動至前處理室，在前處理室於蒸鍍源設置蒸鍍材料最爲理想。亦即’設爲蒸鍍源移動至前處理室爲止之製造裝置。藉此，保持成膜室的淸洗度，可設置蒸鍍源。即使在第2圖所示的成膜裝置中，於成膜時導入材料氣體，藉由在有機化合物膜中含有材料氣體的成分，可設爲高密度的膜》藉由在有機化合物膜中含有材料氣體的成分，阻止引起劣化的氧或水分等雜質侵入擴散至膜中，使 -24- (22) (22)1351895 發光元件的信賴性提昇。又，本實施形態係可與實施形態1自由組合。 (實施形態3 ) 在此，第3圖表示與實施形態1不同之成膜裝置。此外，與第1圖相同之處使用相同的符號。第3圖所示的成膜裝置係一邊藉由電漿產生手段預先將自由基化的材料氣體導入至成膜室，一邊進行蒸鍍之例〇如第3圖所示，微波源30a與導波管30b連接。該導波管30b係對放電管中的材料氣體進行照射，形成激烈（ GLOW )放電之電漿30c。在此所使用的微波源放射出約 2.45GHz 的 // 波。例如，當使用甲矽烷氣體作爲材料氣體時，生成 SiHx ' SiHxOy ' SiOy等氧化矽前軀體，導入至成膜室內。上述自由基容易與氧或水分反應，可降低成膜室內的氧濃度或水分量，結果可獲得信賴性高的有機化合物膜。又，此等自由基係容易朝向溫度高的場所移動，或是容易沉積，故一邊在基板保持器】2所設置的加熱器31加熱基板，一邊進行蒸鍍較爲理想。又，爲了防止移動或沉積於蒸鍍單元13，蒸鍍單元13係以斷熱材覆蓋最理想。又’本實施形態係可與實施形態1或實施形態2自由組合。 -25- (23) (23)1351895 (實施形態4 ) 在此，第4圖係表示與實施形態1不同的成膜裝置。第4圖之成膜裝置係使用離子噴鍍系統法，在成膜室內便材料氣體離子化，一邊附著於已蒸發的有機材料—邊進行蒸鍍。第4圖中，60爲基板，61爲反應室壁，62爲基板保持器’ 63爲單元，65爲已蒸發的有機材料，66爲面朝下分子泵’ 67爲低溫泵，68爲定盤，69爲防止附著板。第4圖所示的成膜裝置係在收納材料51的坩堝52設置有照射電子束之電子槍50、產生電漿53的電漿產生手段6 4。藉由電子槍50將電子束照射在坩堝52，使坩堝內的材料51溶解且蒸發，以形成材料51的蒸發流，藉由電漿產生手段64離子化’混合已離子化的蒸發流與從蒸鍍單元63蒸發的有機材料65，使此等衝撞基板而成膜。在第4圖所示的成膜裝置中，在有機材料的蒸鍍途中使已蒸發的材料51化學附著，藉由在有機化合物膜中含有材料51的成分，可形成高密度的膜。藉由在有機化合物膜中含有材料51的成分，阻止引起劣化的氧或水分等雜質侵入擴散至膜中，使發光元件的信賴性提昇。又’本實施形態係可自由組合實施形態1至3的任一形態。由以上構成構成的本發明係可以下所示的實施例進行更詳細的說明。 -26- (24) (24)1351895 (實施例） [實施例1] 在本實施例中，緩和存在於有機化合物膜中的能源障壁，以提高載子的移動性，且製作與積層構造的功能分離相同具有各種複數個材料的功能之發光元件的例。有關積層構造的能源障壁之緩和，在所謂載子注入層的插入技術更爲顯著。換言之，在能源障壁大的積層構造之界面中，藉由插入用以緩和其能源障壁之材料，可階段狀地§十能源P早壁。藉此’提局來自電極之載子注入性，可正確地使驅動電壓下降至某程度》然而問題點在於藉由增加層的數量，使有機界面的數量反而增加。該原因在於單層構造保持驅動電壓、電力效率的頂資料（TOP DATA )。反之，藉由克服該點，活用積層構造的優點（可組合各種材料，不需複雜的分子設計），且追加單層構造的驅動電壓•電力效率。因此，在本實施例中，在發光元件的陽極與陰極之間形成有由複數個功能區域構成之有機化合物膜時，不是存在習知的明確的界面之積層構造，而是在第一功能區域與第二功能區域形成具有由構成第一功能區域的材料以及構成第二功能區域的材料兩方所構成之混合區域的構造。藉著應用這種構造，存在於功能區域間的能源障壁係習知的構造比較可降低，使載子的注入性提昇。亦即，功能區域間的能源障壁係藉由形成混合區域而緩和。因而， -27- (25) (25)1351895 可使驅動電壓降低以及防止亮度的降低。如以上所述，在本實施例中，至少包含第一有機化合物可發現功能之區域（第一功能區域）；與構成上述第一功能區域的物質不同的第二有機化合物可發現功能之區域 (第二功能區域）的發光元件以及具有此的發光裝置之製作，使用第1圖所示的成膜裝置，在上述第一功能區域與第二功能區域之間，製作由構成上述第一功能區域的有機化合物與構成上述第二功能區域的有機化合物所構成的混合曲區域。在第1圖所示的成膜裝置中，以在一個成膜室中形成具有複數個功能區域的有機化合物膜之方式形成，蒸鏟源亦因應於此設置複數個。此外，搬入並設置形成有陽極的基板。首先，蒸鍍第一材料室所具備的第一有機化合物。此外，第一有機化合物係藉由預先電阻加熱氣化，在蒸鍍時，藉由打開第1外門，飛散至基板的方向。在蒸鍍之際使膜中含有材料氣體在此導入甲矽烷。藉此，可形成第5( A)圖所示的第一的功能區域210。然後，蒸鍍第一有機化合物1 7a，打開第2外門，蒸鍍第二材料室所具備之第二有機化合物。此外，藉由預先電阻加熱第二有機化合物氣化第二有機化合物，在蒸鍍時 ’藉由打開第2外門，飛散至基板的方向。在蒸鍍之際使膜中含有材料氣體在此導入甲矽烷。藉此，可形成由第一有機化合物與第二有機化合物所構成的第一混合區域211 -28- (26) (26)1351895 繼而，短暫時間之後僅關閉第1外門，蒸鍍第二有機化合物。在蒸鍍之際使膜中含有材料氣體在此導入甲矽烷。藉此，可形成第二功能區域2 1 2。此外，在本實施例中，雖藉由同時蒸鍍兩種的有機化合物，表示形成混合區域的方法，惟在蒸鍍第一有機化合物之後，在該蒸鍍環境下藉由蒸鍍第二有機化合物，在第一功能區域與第二功能區域之間形成混合區域。然後，蒸鍍第二有機化合物，打開第3外門，蒸鍍第三材料室所具備的第三有機化合物。此外，第三有機化合物係藉由預先電阻加熱而氣化，在蒸鍍時，藉由打開第3 外門，飛散至基板的方向。在蒸鍍之際使膜中含有材料氣體在此導入甲矽烷。在此，可形成由第二有機化合物與第三有機化合物所構成的第二混合區域2 1 3。然後，短暫時間之後僅關閉第2外門，蒸鍍第三有機化合物。在蒸鍍之際使膜中含有材料氣體在此導入甲矽烷。然後關閉第3外門結束第三有機化合物之蒸鏟。藉此，可形成第三功能區域2 1 4。最後，藉由形成陰極完成藉由本發明之成膜裝置所形成的發光元件。再者，其他的有機化合物膜如第5(B)圖所示，使用第一有機化合物形成第一功能區域220之後，形成由第 —有機化合物與第二有機化合物構成的第一混合區域221 ，再者，使用第二有機化合物形成第二功能區域222。然 • 29 - (27) (27)1351895 後’在形成第二功能區域222的途中，暫時打開第3外門同時進行第三有機化合物17c的蒸鍍，形成第二混合區域 223 ° 藉由短時間關閉第3外門，再度形成第二功能區域 222。然後，藉由形成陰極形成有發光元件。可形成以上的有機化合物膜之第2圖的成膜裝置由於係在相同的成膜室中形成具有複數個功能區域的有機化合物膜，因此可在功能區域界面形成混合區域。藉由以上所述’不需顯示明聊的積層構造（亦即沒有明確的有機界面 )，且可製作具備有複數個功能的發光元件。又’第1圖的成膜裝置係在成膜時導入材料氣體（甲矽烷氣體），可在有機化合物膜中含有材料氣體的成分，藉由在有機化合物中含有原子半徑小的材料（具代表性者爲矽），可調和混合區域之分子間。因而，更可防止驅動電壓的降低及亮度降低。又，藉由材料氣體更可除去成膜室內的氧或水分等的雜質，亦可形成高密度的有機化合物層。又，本實施例係可自由組合實施形態1、實施形態2 、實施形態3或是實施形態4。 [實施例2] 在本實施例中，第6圖係表示使第1電極至密封爲止的製作全自動化之多室真空方式的製造裝置之例。第6圖係多室真空方式的製造裝置，其係具備有：閘 -30- (28) (28)1351895 極 500a 至 500y、搬送室 502、504a、508、514、518、受渡室505、507、511、裝入室501、第1成膜室506H、第 2成膜室506B、第3成膜室506G、第4成膜室506R、第 5 成膜室 506E、其他成膜室 509、510、512、513、531、 532、設置蒸鍍源之設置室526R、526G、526B、526E、 526H '前處理室 5 03 a、503 b、密封室516、掩模支撐室 524、密封基板支撐室530、卡匣室520a、520b'托盤裝設載置台521、及取出室519。此外，搬送室5(Ma設置有用以搬送基板504c的搬送機構504b，其他搬送室亦同樣各別設置有搬送機構。以下，將設置有預先覆蓋陽極（第1電極）與該陽極端部的絕緣物（隔壁）的基板搬入至第6圖所示的製造裝置，製作發光裝置的步驟。此外，在製作主動矩陣型發光裝置時，預先在基板上設置複數個與陽極連接的薄膜電晶體（電流控制用TFT )以及其他薄膜電晶體（開關用TFT 等），亦設置有由薄膜電晶體構成的驅動電路。又，在製作單純矩陣型的發光裝置時亦可以第6圖所示的製造裝置製作。首先，在卡匣室520a或卡匣室520b設置上述基板。當基板爲大型基板（例如300mmx360mm)時設置在卡匣室5 2.0b，通常爲基板（例如127mmxl27mm)時，設置在卡匣室5 20a之後，搬送到托盤裝設載置台521，在托盤 (例如300mmx360mm)設置複數個基板。搬送至卡匣室的基板（設置有覆蓋陽極與該陽極端部 -31 - (29) (29)1351895 的絕緣物之基板）係搬送到搬送室5 1 8。又，設置在卡厘室前爲了降低點缺陷，與第1電極（陽極）之表面相對，以包含界面活性劑（弱鹼性）之多孔質的海綿（具代表性者爲PVA (聚乙烯醇）製、尼龍製等 )淸洗以除去表面的垃圾。淸洗機構亦可使用具有在基板面於平行的軸線轉動，與基板的面接觸之滾刷（PVA製）之淸洗裝置；亦可使用具有在基板的面於垂直的軸線周圍旋轉且與基板的面接觸之圓盤刷（PVA製）之淸洗裝置。又，在形成包含有機化合物的膜之前，爲了除去上述基板所包含的水分或其他的氣體，以在真空中進行用以脫氣的回火最理想，搬送至與搬送室518連接的前處理室523, 在此進行回火亦可。然後，從設置有基板搬送機構的搬送室518搬送到裝入室501。在本實施例的製造裝置中，裝入室501具備有基板反轉機構，可適當使基板反轉。裝入室501係與真空排氣處理室連結，在真空排氣之後，導入非活性氣體並設爲大氣壓較佳。然後，搬送到與裝入室501連結的搬送室502。在搬送室5 02內極力不存在水分或氧，預先真空排氣以維持真空較爲理想。又，上述的真空排氣處理室係具備有磁浮型的面朝下分子泵。藉此，與裝入室連結的搬送室之到達真空度可設爲10_5至l(T6Torr，更可控制來自泵側及排氣系統的雜質之逆擴散。爲防止在裝置內部導入雜質，因此所導入的 -32- (30) (30)1351895 氣體係使用氮或希氣等非活性氣體。導入至裝置內部的此等氣體係使用在導入至裝置之前藉由氣體精製機高純度化。因而’必須在氣體高純度化之後以導入至蒸鍍裝置的方式具備氣體精製機。藉此，由於可預先除去氣體中所含有的氧或水及其他雜質，因此可防止在裝置內部導入此等雜質。又’欲除去包含形成於不需用的場所之有機化合物的膜時’搬送到前處理室503a，選擇性除去有機化合物膜的積層亦可。前處理室503a係具有電漿產生手段，藉由激起從Ar、H、F以及〇選擇的一種或複數種氣體，使電漿產生’進行乾式蝕刻。又，以進行紫外線照射作爲陽極表面處理之方式，在前處理室503a具備有UV照射機構亦可》又，爲了使收縮消失，在包含有機化合物的膜之蒸鍍不久之前以進行真空加熱最佳，搬送到前處理室503 b，爲徹底除去上述基板所包含的水分或其他氣體，在真空（ 5 X 1 〇-3Torr ( 0.665 Pa )以下，更以 1〇·4 至 10-6Torr)下進行用以脫氣的回火》在上述處理室503 b使用平板加熱器（代表性者爲護套加熱器（SHEATH HEATER ))，均勻加熱複數個基板。特別是，使用有機樹脂膜作爲層間絕緣膜或隔壁的材料時，藉由有機樹脂材料容易吸附水分，更由於有產生脫氣之虞，因此在形成有機化合物的層之前以1 0 01：至2 5 0 °C，更以1 5 0 °C至2 0 0 °C較佳，例如在進行30分以上的加熱之後，進行30分的自然冷卻’進行除 -33- (31) (31)1351895 去吸附水分之真空加熱甚爲有效。然後，在進行上述真空加熱之後，從搬送室5 02將基板搬送到受渡室5 05，不須與大氣接觸，從受渡室5 05將基板搬送到搬送室504a。繼而，將基板適當搬送至與搬送室5 04 a連結的成膜室 5 06R、506G、5 06B、506E，適當形成將成爲正孔注入層 '正孔輸送層、發光層、電子輸送層或電子注入層的低分子所構成的有機化合物層。又，從搬送室5 02將基板搬送到成膜室506H，進行蒸鍍亦可。又，在成膜室512以噴墨法或旋塗法等形成由高分子材料構成的正孔注入層亦可。而且，將基板縱置在真空中藉由噴墨法成膜亦可。在第1電極（陽極）上全面塗敷燒成作爲正孔注入層（陽極緩衝層）之作用的聚（乙二氧撐塞吩，ethylenedioxy thiophene )/ 聚（苯乙嫌擴酸， styrene sulfonic acid)水溶液（PEDOT/PSS)、聚苯胺 / 樟腦磺酸水溶液（PANI / CSA ) 、PTPDES、Et- PTPDEK，或是PPBA等。在燒成之際，在烘烤室523進行降爲理想。使用旋塗等之塗敷法形成由高分子材料構成的正孔注入層時，使平坦性提昇，使於其上成膜之塗敷層及膜厚均一性良好。特別是可使發光層的膜厚成爲均勻而獲得均勻的發光。此時，以塗敷法形成正孔注入層之後，在以蒸鍍法成膜之前，進行真空加熱（100至2 00 °C )。在真空加熱之際於前處理室5 03b進行亦可。例如，以海綿淸洗第1電極（陽極）的表面之後，搬入卡匣室，全面 -34- (32) (32)1351895 以膜厚60nm塗敷聚（乙二氧撐塞吩）/聚（苯乙烯磺酸 )水溶液（PEDOT/ PSS )之後，搬送到烘烤室523，以 80°C、10分鐘假燒成，以200°C、1小時真燒成，更搬送到前處理室503 b在蒸鍍之前進行真空加熱（1 7(TC、加熱 30分、冷卻30分）之後，搬送到成膜室506R、506G、 5 06B且以不與大氣接觸之蒸鍍法進行發光層的形成亦可。特別是使用ITO膜作爲陽極材料，於表面存在有凹凸或微小的粒子時，藉著將PEDOT/PSS的膜厚設爲30nm以上，可降低此等之影響。又，由於當PEDOT/PSS塗敷於ito膜上時，較不具有濕潤性，故在以旋塗法進行第一次的PEDOT/ PSS溶液之塗敷後，藉由暫時以淸水淸洗提昇濕潤性，再度以旋塗法進行第二次的PEDOT/ PSS溶液之塗敷，進行燒成使成爲均一性良好的成膜。此外，在進行第一次的塗敷之後，藉由暫時以淸水淸洗，改質表面，並且可獲得除去微小的粒子之效果》而且，藉由旋塗法成膜PEDOT/PSS時，由於在全面成膜，故選擇性除去基板的端面、端子部、陰極與下部配線之連接區域等較爲理想，以〇2拋光等除去前處理室 503a較佳。

在此，說明成膜室 506R > 506G' 506B、506E' 506H 〇各成膜室5 06R、506G、506B、506E、506H係設置有可移動的蒸鍍源保持器（蒸鍍單元）。亦即，與上述實施 -35- (33) (33)1351895 形態2的第2圖所示的成膜室相當。如上述實施形態2所示’在蒸鑛之際一邊導入材料氣體一邊進行蒸鍍^材料氣體具體而言亦可從矽烷系氣體（甲矽烷 '乙矽烷、丙矽烷等）、SiF4 ' GeH4、GeF4、SnH4、或是碳化氫系氣體（ CH4、C2H2 ' C2H4、C6H6等）中選擇一種或複數種。藉由在有機化合物膜中含有材料氣體的成分，阻止引起劣化的氧或水分等雜質侵入擴散至膜中，使發光元件的信賴性提昇。此外’準備複數個該蒸鍍源保持器，適當第具備複數個峰入EL材料的容器（坩堝），在該狀態下設置於成膜室。以仰頂方式設置基板，以CCD等進行蒸鍍掩模的位置校正’藉以電阻加熱法進行蒸鍍，可選擇性進行成膜。此外’蒸鍍掩模係支撐於掩模支撐室524，適當地在進行蒸鍍之際搬送到成膜室。又，成膜室532係形成包含有機化合物之層或金屬材料層之預備的蒸鍍室。此等成膜室之EL材料的設置以使用以下所示的製造系統較佳。亦即’預先使用以材料製造機收納有EL材料的容器（代表性者爲坩堝）進行成膜。再者，於設置之際 ’以不與大氣接觸之方式進行較佳，從材料製造機搬送之際’坩堝係在第2容器密閉的狀態下導入至成膜室較佳。期望將具有與各成膜室506R、506G、506B、506H、506E 連結之真空排氣手段的設置室526R、526G、526B、526H 、52 6E設爲真空或非活性氣體環境，其中從第2容器取出坦禍’在成膜室設置財渦。此外，在第7圖或第8圖表 -36- (34) (34)1351895 示設置室的一例。在此，所搬送的容器之形態係使用第7圖進行具體說明。區分爲搬送所使用的上部（72 la)與下部（72 1b)之第2容器係具備有：用以固定第2容器的上部所設置的第 1容器之固定手段706 ;用以加壓在固定手段的彈簧705 ;用以減壓保持第2容器下部所設置的第2容器成爲氣體路徑的氣體導入口 708;固定上部容器721a與下部容器 721b的Ο形環；以及扣具702。在該第2容器內設置封入有精製的蒸鍍材料之第1容器701。此外，第2容器係以包含不銹鋼的材料形成，第1容器701係以具有鈦的材料形成。在材料製造機中，在第1容器701封入精製的蒸鍍材料。然後，介以Ο型環使第2上部721 a與下部72 1 b相合，以扣具7〇2固定上部容器721a與下部容器721b，在第 2容器內密閉第1容器701。然後，介以氣體導入口 708 使第2容器內減壓，更置換爲氮氣環境，調節彈簧705並藉由固定手段706固定第1容器701。此外，在第2容器內設置乾燥劑亦可。如此，使第2容器內保持在真空或減壓、氮氣環境時，可防止氧或水附著於蒸鍍材料。在該狀態下搬送到發光裝置製造機，將第1容器設置在蒸錢室。然後，藉由加熱使蒸鍍材料昇華，進行蒸鍍膜的成膜。 $ ’其他的零件例如膜厚監視器（水晶振動子等）、 #Η胃亦同樣不與大氣接觸而搬送，以設置在蒸鍍裝置內 •37- (35) (35)1351895 最理想。又，從容器取出不與大氣接觸而真空密封在容器內的坩堝（充塡有蒸鑛材料），在蒸鍍保持器設置坩堝之設置室與成膜室連結，不會與大氣接觸而以搬送機器人從設置室搬送坩堝。即使在設置室亦設計真空排氣手段，更亦設計用以加熱坩堝的手段較佳。使用第7(A)圖及第7(B)圖，說明將密閉於第2 容器721a' 721b而被搬送的第1容器701設置於成膜室之機構。第7(A)圖係載置收納有第1容器的第2容器72 1a 、721b之旋轉台707;用以搬送第1容器的搬送機構；以及舉起機構711之設置室705的剖面。又，藉由設置室以與成膜室相鄰的方式配置，並介以氣體導入口控制環境氣體之手段控制設置室的環境。此外，搬送機構係如第7( B)圖所記載，不限於從第1容器701的上方挾住（抓住 )該第1容器而搬送之構成，亦可爲挾住第1容器的側面而搬送的構成。在這種設置室內以取出扣具702的狀態將第2容器配置於旋轉設置台713上。由於內部爲真空狀態，因此無法取下扣具702。然後，藉由控制環境氣體的手段，使設置室內成爲減壓狀態。設置室內的壓力與第2容器內的壓力成爲相等時，成爲可容易開封第2容器的狀態。然後，藉由舉起機構711取出第2容器的上部72 1a，使旋轉設置台713以旋轉軸712爲軸旋轉，藉以使第2容器的下部及 -38- (36) (36)1351895 第1容器移動。然後，藉由搬送機構將第1容器701搬送到蒸鍍室，將第1容器701設置在蒸鍍源保持器（未圖示 )° 然後，藉由設置於蒸鍍源的加熱手段使蒸鍍材料昇華，開始成膜。在該成膜時，打開蒸鍍源保持器所設置的快門（未圖示）時，已昇華的蒸鍍材料飛散至基板的方向，蒸鑛於基板，形成有發光層（包含正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層）。繼而，當蒸鍍結束之後，從蒸鍍保持器舉起第1容器，搬送到設置室，載置於旋轉台804所設置的第2容器之下部容器（未圖示），藉由上部容器72 1a密閉。此時，第1容器、上部容器、及下部容器係以所搬送的組合密閉較爲理想。在該狀態下，將設置室805設爲大氣壓，從設置室取出第2容器，固定扣具702並搬送至材料製造機。又，第8圖表示可設置複數個第1容器911的設置室之例。在第8(A)圖中，於設置室905具有以下機構：可載置第1容器911或第2容器912之旋轉台907;用以搬送第1容器的搬送機構902b;以及舉起機構902a，在成膜室906係具有蒸鍍源保持器903以及使蒸鍍保持器移動的機構（在此未圖示）。第8(A)圖係表示上面圖，第8 ( B )圖係表示設置室內的斜視圖。又，設置室905 係以與成膜室906相鄰的方式介以閘閥900配置，介以氣體導入口藉由控制環境氣體的手段可控制設置室的環境氣體。此外，雖未圖示，惟配置已取出的上部（第2容器） -39- (37) (37)1351895 9 1 2之處另外設置。或是，在與成膜室連結的前處理室（設置室）具有機器人，在每一蒸鍍源從成膜室移動至前處理室，亦可在前處理室於蒸鍍源設置蒸鑛材料。亦即，亦可爲使蒸鍍源移動至前處理室之製造裝置。藉此，保持成膜室的淸洗度，設置蒸鍍源。藉此，可防止被坩堝以及收納在該坩堝的EL材料污染。此外，亦可在設置室526R、526G、526B、526H、 526E支撐金屬掩模。藉由適當選擇成膜室506R、506G' 506B、506H、 5 06E所設置的EL材料，可形成顯示單色（具體而言係白色）或是全彩（具體而言爲紅色、綠色、藍色）之發光的發光元件。例如在形成形成綠色的發光元件時，依序在成膜室5 06H積層正孔輸送層或正孔注入層；在成膜室506G 積層發光層（G);在成膜室506E積層電子輸送層或電子注入層之後，若形成陰極，則可獲得綠色的發光元件。例如，在形成全彩的發光元件時，在成膜室506R使用R 用的蒸鍍掩模，依序積層正孔輸送層或是正孔注入層、發光層（G)、電子輸送層或是電子注入層，在成膜室50 6B 使用B用的蒸鍍掩模，依序積層正孔輸送層或是正孔注入層、發光層（B)、電子輸送層或是電子注入層之後，若形成陰極，則可獲得全彩的發光元件》此外，顯示白色的發光之有機化合物層係在積層具有不同發光色的發光層時，區分爲含有紅色、綠色、藍色之 -40- (38) (38)1351895 三原色的3波長型；及使用藍色/黃色或是藍綠色/橘色之補色的關係的2波長型兩類。可在一個成膜室形成白色發光元件。例如，使用3波長型獲得白色發光元件時，準備具備複數個搭載複數個坩堝的蒸鍍源保持器之成膜室，在第1蒸鍍源保持器封入芳香族二胺（TPD ) '在第2蒸鍍源保持器封入p-EtTAZ '在第3蒸鍍源保持器封入Alq3 、在第4蒸鍍源保持器封入在Alq3添加紅色發光色素之 Nilered之EL材料、在第5蒸鏡源保持器封入於Alq3, 在該狀態下設置於各成膜室。繼而，使第1至第5蒸鍍源保持器依序開始移動，與基板相對進行蒸鍍積層》具體而言，藉由加熱使TPD從第1蒸鍍源保持器昇華，蒸鍍於基板全面。然後，從第2蒸鍍源保持器使p-EtTAZ昇華，從第3蒸鍍源保持器使Alq3昇華，從第4蒸鍍源保持器使八03:1^1^6£1昇華，從第5蒸鍍源保持器使六193昇華，蒸鍍在基板全面。然後，若形成陰極，則可獲得白色發光元件。藉由上述步驟，適當積層包含有機化合物之層後，從搬送是504a將基板搬送到受度室507，再者，不與大氣接觸從受度室507將基板搬送到搬送室508。然後，藉由設置於搬送室508內的搬送機構，將基板搬送到成膜室5 1 0以形成陰極。該陰極係藉由使用電阻加熱的蒸鍍法所形成的金屬膜（藉由蒸鍍MgAg、Mgln、 CaF2' LiF、CaN等合金，或是屬於週期表的1族或2族之元素與鋁所形成的膜，或是此等的積層膜）。又，使用 -41 - (39) 1351895 漸鍍法形成陰極亦可。又，在製作上面射出型的發光裝置時，陰極以透半透明較爲理想，上述金屬膜的薄膜（lnm至1 Onm 或是以上述金屬膜的薄膜（Inm至1 Onm )與透明導之積層作爲陰極較爲理想。此時，使用漸鍍法在成 5〇9形成透明導電膜（ITO (氧化銦氧化錫合金））化銦氧化鋅合金（Ιη203-Ζη0 )、氧化鋅（ZnO等）成的膜亦可。在以上的步驟形成有積層構造的發光元件。又，搬送到與搬送室508連結的成膜室513形成矽膜或是由氮化矽膜構成的保護膜而密封亦可。在此成膜室513內具備有由矽構成的標靶、或由氧化矽構標靶、或是由氮化矽構成的標靶。例如，使用由矽構標靶。例如，使用由矽構成的標靶，藉由設爲以氮氣成膜室環境氣體或是包含氮氣與氫氣的環境氣體，可極上形成氮化矽膜。又，以碳爲主成分的薄膜（DLC CN 膜、非晶質碳膜（fluorinated amorphous carbon )作爲保護膜而形成亦可，亦可設置使用CVD法的室。類鑽碳膜（亦稱爲DLC膜）係可以電漿CVD法代表性者爲RF電漿CVD法、微波CVD法' 電子迴振化學氣相沉積系統（ECR) CVD法、熱燈絲CVD )、燃燒焰法、漸鍍法、離子光束蒸鍍法、雷射蒸鍍形成。成膜所使用的反應氣體係使用氫氣與碳化氫系體（例如CH4、C2H2、C6H6等），藉由激烈放電離明或 )，電膜膜室、氧所構氮化，在成的成的作爲在陰膜、 film 成膜 (具旋共法等法等的氣子化 • 42- (40) (40)1351895 ’在已施加負的自行偏壓之陰極加速撞擊離子而成膜。又，CN膜係亦可使用C2H4氣體與N2氣體作爲反應氣體。此外’ DLC膜或CN膜係與可見光相對爲透明或半透明的絕緣膜。與可見光相對，透明意指可見光的透過率爲80 至100%，與可見光相對半透明意指可見光的透過率爲50 至 80% 〇在本實施例中，於陰極上形成第1無機絕緣膜、應力緩和膜、第2無機絕緣膜之積層所構成的保護層。例如，在形成陰極之後，搬送到成膜室513以形成第1無機絕緣膜，搬送到成膜室532，以蒸鍍法形成具有吸濕性及透明性的應力緩和膜（包含有機化合物的層等），更再度搬送到成膜室513以形成第2無機絕緣膜。然後，不使形成有發光元件的基板與大氣接觸，從搬送室508搬送到受渡室511，更從受渡室511搬送到搬送室5 1 4。然後，從搬送室5 1 4將形成有發光元件之基板搬送到密封室5 1 6。準備從外部設置於裝載室517之密封基板。此外，爲了除去水分等的雜質，預先在真空中進行回火較爲理想。然後，在形成用以與密封基板設置有發光元件之基板貼合的密封材時，在密封室527形成密封材’將形成密封材的密封基板搬送到密封基板支撐室530。此外，在密封室中在密封基板設置乾燥劑亦可。此外，在此雖例示於密封基板形成密封材之例，惟並無特別限制’在形成有發光元件的基板上形成密封材亦可。 -43- (41) (41)1351895 然後，在密封室516使基板與密封基板貼合，藉由將所貼合的一對基板設置於密封室516之紫外線照射機構，照射UV光使密封材硬化。此外，在此密封材雖使用紫外線硬化樹脂，惟若爲黏著材則無特別限定》然後，從密封室516將已黏合的一對基板搬送到搬送室1014，再從搬送室1014搬送到取出室1019以取出。如上所述，藉著使用第6圖所示的製造裝置在完全將發光元件密封入密閉空間爲止，由於不曝光於大氣，因此可製作出信賴性高的發光裝置。此外，在搬送室514、 518中，雖反覆真空與在大氣壓的氮氣環境，惟搬送室 502、504a、508係經常可望保持在真空。此外，在此雖未圖示，惟控制將基板移動到各個處理室之路徑，設置實現自動化之控制裝置。又，在第6圖所示的製造裝置中，藉由搬入設置有透明導電膜（或是金屬膜（TiN))作爲陽極之基板，在形成包含有機化合物之層後，形成透明或半透明的陰極（例如薄的金屬膜（Al、Ag ))與透明導電膜的積層，亦可形成上面射出型（或兩面射出）之發光元件。此外，上面射出型的發光元件係指取出透過陰極在有機化合物中產生的發光之元件。又，在第6圖所示的製造裝置中，藉由搬入設置有透明導電膜作爲陽極之基板，在形成包含有機化合物之層後，形成由金屬膜構成的陰極，亦可形成下面射出型之發光元件。此外，下面射出型的發光元件係指從透明電極即陽 _ 44 · (42) (42)1351895 極取出在有機化合物中產生的發光至TFT側，更通過基板之元件。又，本實施例係可自由組合實施形態1、實施形態2 、實施形態3、實施形態4或是實施例1。 [實施例3] 在本實施例中，第9圖顯示於具有絕緣表面的基板上製作以有機化合物層作爲發光層的發光元件之發光裝置（上面射出構造）的例。此外，第9(A)圖係表示發光裝置，第9(B)圖係以 A - A /切斷第 9 ( A )圖之剖面圖。以點線表示的 1 I 01係源極信號線驅動電路，1 102係像素部，1 103爲閘極信號線驅動電路。又，1 104爲透明的密封基板，1 105 爲第1密封材，以第1密封材1 1 05包圍的內側係以透明的第2密封材1107充塡。此外，第1密封材1105係含有用以保持基板間隔的間隔材。此外，1108係用以傳送源極信號線驅動電路1 101係以及閘極信號線驅動電路1 1 03所輸入的信號之配線，從成爲外部輸入端子的FPC (可撓性印刷電路）1109接收影像信號或時脈信號。此外，在此雖僅圖示FPC，惟在該 FPC安裝有印刷配線基盤（PWB )亦可。然後，使用第9(B)圖說明剖面構造。在基板1101 上雖形成有驅動電路以及像素部，惟在此表示源極信號線驅動電路M01與像素部1102作爲驅動電路。 -45- (43) (43)1351895 此外，源極信號線驅動電路1101係形成有組合η通道型TFT1123與ρ通道型TFT1124之CMOS電路。又，形成驅動電路的TFT係以週知的CMOS電路、PMOS電路或是NMOS電路形成亦可。又，在本實施形態中，於基板上雖表示形成驅動電路的驅動器一體型，惟不一定需要， ’ 不僅形成在基板上亦可形成於外部。又，以多晶矽膜作爲活性層之TFT構造並不限定於此，亦可爲頂閘型TFT，亦可爲底閘型TFT。 · 又，像素部1102係包含藉由開關用TFT1111'電流控制用TFT1112、以及與其汲極電性連接的第1電極（陽極）1113之複數個像素所形成。電流控制用TFT1H2雖可爲π通道型TFT，亦可爲ρ通道型TFT，與陽極連接時 ’以設爲P通道型TFT較爲理想。又，以適當設計保持電容（未圖示）較佳。此外，在此無數配置的像素中，僅顯示一個像素之剖面構造，雖於其中一個像素使用兩個 TFT之例示，惟亦可適當使用三個或三個以上的TFT。 φ 在此，由於成爲第1電極1113與TFT之汲極直接連接的構成，因此第1電極1113的下層設爲由矽構成的汲極與取得歐姆接觸的材料層，期望以與包含有機化合物之層相偕的最上層作爲工作係數大的材料層。例如，以氮化鈦膜與鋁爲主成分的膜與氮化鈦膜之3層構造時，作爲配線之電阻亦低，且取得良好的歐姆接觸，且可作爲陽極。又’第1電極1 1 1 3係作爲氮化鈦膜、鉻膜 '鎢膜、Zn膜、Pt膜等的單層亦可，使用三層以上的積層亦可。 • 46 - (44) (44)1351895 又’在第1電極（陽極）1113的兩端形成有絕緣物 (稱爲堤部、隔壁、障壁、堤防等）1 1 1 4。絕緣物1 1 1 4 亦可以包含有機樹脂膜或矽的絕緣膜形成。在此，絕緣物 II]4係使用正型的感光性丙烯基樹脂膜形成第9圖所示的形狀之絕緣物。由於塗敷層爲良好者，在絕緣物1Π4的上端部或是下端部形成具有曲率的曲面。例如，使用正型的感光性丙烯基樹脂膜作爲絕緣物1114的材料時，僅於絕緣物1114 的上端部具有曲率半徑至3/im)的曲面較爲理想。又，亦可使用藉由感光性的光在腐蝕劑成爲非溶解性的負型或是藉由光在腐蝕劑成爲溶解性的正型任一種作爲絕緣物1 1 1 4。又，以絕緣物1114作爲氮化鋁膜、氮氧化鋁膜、碳作爲主成分的薄膜，或是由氮化矽膜構成的保護膜覆蓋亦可。而且，在第1電極（陽極）1113上一邊導入甲矽烷氣體一邊藉由蒸鍍法選擇性形成包含有機化合物之層 1115。再者，於包含有機化合物之層1115上形成有第2 電極（陰極）1116。陰極亦可使用工作係數小的材料（A1 ' Ag、Li、Ca、或是此等的合金 MgAg，Mgln、AILi、 CaF2或是CaN)。在此，以使發光透過之方式，使用使膜厚薄的金屬薄膜、透明導電膜（I TO (氧化銦氧化錫合金））、氧化銦氧化鋅合金（Ιη2 03 ·Ζη0 )、與氧化鋅（ ΖηΟ )之積層。如此，形成有包含第1電極（陽極）1113 -47 · (45) 1351895 、有機化合物之層1115以及第2電極（陰極）1116 的發光元件1118。在本實施例中，依序積層芳香族 (TPD ) 、p-EtTAZ層、Alq3層、摻雜尼羅紅之Alq3

Alq3層以獲得白色發光作爲包含有機化合物之層Π 在本實施例中，發光元件1118由於係成爲白色發光，因此設置由著色層1131與遮光層（BM) 1132所的彩色過濾器（爲了簡化在此未圖示覆膜層）。又，若個別選擇形成包含R、G、B之發光所獲有機化合物之層，則不需使用彩色濾光片可獲得全彩示。而且，爲了密封發光元件1118形成透明保護層。該透明保護層1117以使用藉由以漸鍍法（DC方 RF方式）或PCVD法所獲得的氮化矽或氮化矽作爲分的絕緣膜；以碳爲主成分的薄膜（DLC膜、CN膜 ;或是此等之積層較佳。若使用矽標靶在包含氮與氬境氣體下形成，則與水分或鹼金屬等雜質相對可獲得效果高的氮化矽膜。又，亦可使用氮化矽標靶。又，保護層係使用遠距電漿之成膜裝置形成亦可。又，由發光通過透明保護層，故透明保護層的膜厚係盡可能爲理想。又，爲了密封發光元件1118，在非活性氣體環藉由第1密封材1 105、第2密封材1 107黏合密封 104。此外，第1密封材1105、第2密封材1107以環氧系樹脂較佳。又，期望第1密封材1〗05 '第2 構成二胺層、 15。之例構成得的的顯 1117 式或主成等）的環阻塞透明於使薄較境下基板使用密封 -48- (46) (46)1351895 材1107爲盡可能使水分或氧不透過之材料。又，在本實施例中，作爲構成密封基板1 1 04的材米斗除了玻璃基板或石英基板之外，亦可使用 FRP( Fiberglass Reinforced Plastics，玻璃纖維強化塑膠）、 PVF (聚乙烯）、聚酯薄膜 '聚酯或丙烯基等所構成的塑膠基板。又，使用第1密封材1105、第2密封材1107 黏著密封基板1 1 04之後，更以覆蓋側面（露呈面）的方式以第3密封材密封。如以上所述，藉由將發光元件封入第1密封材1105 '第2密封材1107，可從外部完全遮斷發光元件，可防止所謂從外部侵入所謂水分或氧之有機化合物層的劣化之物質。因而，可獲得信賴性高的發光裝置。又，若使用透明導電膜作爲第1電極1113，可製作兩面發光型的發光裝置》而且，在本實施例中，於陽極上形成包含有機化合物之層，在包含有機化合物之層上形成透明電極之陰極的構造（以下稱爲上面出射構造）之例示，惟在陽極上形成有包含有機化合物之層，在有機化合物層上具有形成陰極的發光元件，在包含有機化合物之層上產生的發光從透明電極即陽極取出至TFT側（以下稱爲下面出射構造）之構造亦可。在此，第10圖表示下面出射構造的發光裝置之一例〇此外’第10(A)圖係表示發光裝置的上面圖，第 -49- (47) (47)1351895 10(B)圖以A_A<切斷第10(A)圖之剖面圖。以點線表示的1201爲係源極信號線驅動電路，1202係像素部， 1203爲閘極信號線驅動電路。又，1204爲透明的密封基板，1 2 05係含有用以保持密閉空間的間隔之間隔材的密封材’以密封材1 205包圍的內側係非活性氣體（代表性爲氮氣）充塡。以密封材1 2 0 5包圍的內側之空間係藉由乾燥劑1207除去微量的水分，充分乾燥。此外’ 1208係用以傳送源極信號線驅動電路1201以及閘極信號線驅動電路1 203所輸入的信號之配線，從成爲外部輸入端子的FPC (可撓性印刷電路）1 209接收影像信號或時脈信號。然後’使用第10(B)圖說明剖面構造。在基板1201 上雖形成有驅動電路以及像素部，惟在此表示源極信號線驅動電路1201與像素部1202作爲驅動電路。此外，源極信號線驅動霉路1201係形成有組合η通道型TFT1223與 ρ通道型TFT1 224之CMOS電路。又’像素部1 102係包含藉由開關用TFT121 1、電流控制用TFT1212、以及與其汲極電性連接的第】電極（陽極）1213之複數個像素所形成。在此，以使第1電極1213與連接電極一部份重疊的方式形成，第1電極1213係成爲介以TFT的汲極區域與連接電極電性連接之構成。第1電極1213具有透明性，且期望使用工作係數大的導電膜（ITO (氧化銦氧化錫合金））、氧化銦氧化鋅合金（Ιη203-Ζη0 )、及氧化鋅（ -50- (48) (48)1351895 Ζ η Ο )等。又，在第1電極（陽極）1213兩端形成有絕緣物（稱爲堤部、隔壁、障壁、堤防等）1214。由於塗敷層爲良好者，故在絕緣物1214的上端部或是下端部形成具有曲率的曲面。又，以絕緣物1214作爲氮化鋁膜、氮氧化鋁膜、碳作爲主成分的薄膜，或是由氮化矽膜構成的保護膜覆蓋亦可。而且，在第1電極（陽極）1213上一邊導入甲矽烷氣體一邊進行有機化合物之蒸鍍，選擇性形成包含有機化合物之層的1215。再者，於包含有機化合物之層1215上形成有第2電極（陰極）1216。陰極亦可使用工作係數小的材料（Al、Ag' Li、Ca、或是此等的合金MgAg、Mgln 、AlLi、CaF2或是CaN)。如此，形成有包含第1電極（陽極）1213、有機化合物之層1215以及第2電極（陰極 )1216構成的發光元件1218。在此，發光元件1118係R 、G或B之單色發光所獲得的發光元件之_，以個別選擇形成包含R、G、B的發光所獲得的有機化合物之層的三個發光元件成爲全彩。而且，爲了密封發光元件1218形成透明保護層1217 。該透明保護層1217以使用藉由漸鏟法（DC方式或RF 方式）或PCVD法所獲得的氮化矽或氮化矽作爲主成分的絕緣膜：或是以碳爲主成分的薄膜（DLC膜、CN膜等） ;或是此等之積層較佳。若使用矽標靶在包含氮與氬的環境氣體下形成，則與水分或鹼金屬等雜質相對可獲得阻塞 -51 - (49) (49)1351895 效果高的氮化矽膜。又，亦可使用氮化矽標靶。又，透明保護層係使用遠距電漿之成膜裝置形成亦可。又，爲了密封發光元件1218，在非活性氣體環境下藉由密封材1205黏合密封基板1204。密封基扳12 04係形成有藉由預先噴砂法等所形成的凹部，於該凹部黏貼乾燥劑1 2 0 7。此外，密封材1 205以使用環氧系樹脂較佳。又，期望密封材1 205爲盡可能使水分或氧不透過之材料〇又，在本實施例中，作爲構成密封基板1 204的材料除了金屬基板、玻璃基板或石英基板之外，亦可使用FRP (Fiberglass Reinforced Plastics) 、PVF(聚乙烁）、聚酯薄膜、聚酯或丙烯基等所構成的塑膠基板。又，可以在內側黏貼乾燥劑的金屬罐密封。又，本實施例係可與實施形態1至4、實施例1、或是實施例2中任一個自由組合。 [實施例4] 在本實施例中，說明一個像素之剖面構造，特別說明發光元件以及TFT的連接而配置於像素間的隔壁之形狀〇第11(A)圖中，40爲基板，41爲隔壁，42爲絕緣膜’43爲第1電極（陽極），44係包含有機化合物之層 ’ 45係第2電極（陰極）’ 46爲TFT。在TFT46中，46a係通道形成區域，46b' 46c係源極 -52- (50) (50)1351895 區域或汲極區域，4 6 d係閘極，4 6 e、4 6 f係源極或汲極。在此，雖表示頂閘型TFT，爲並無特別限制’亦可爲反交錯型TFT，爲順交錯型TFT亦可。此外，46f係藉由與第 1電極43 —部份接觸重疊，使與TFT46連接的電極。第11(B)圖係顯示與第11(A)圖一部分不同的剖面構造。在第11(B)圖中，使第1電極與電極的重疊側與第 11(A)圖之構造不同，在圖案化第1電極之後，藉著使電極一部份重疊的方式形成與TFT連接。又，第11(c)圖係顯示與第11(A)圖一部分不同的剖面構造。在第11(C)圖中，更設置有一層層間絕緣膜，第1 電極介以接觸孔與TFT電極連接。又，隔壁4 1的剖面形狀係如第1 1 ( D )圖所示’形成傾斜狀亦可。在使用微影法曝光抗蝕劑之後’藉由蝕刻非感光性的有機樹脂或無機絕緣膜所獲得。而且，若使用正型的感光性有機樹脂’如第11 (E) 圖所示的形狀，可形成在上端部具有曲面之形狀。又，若使用負型的感光性有機樹脂，如第11(F)圖所示的形狀，可形成在上端部及下端部具有曲面之形狀° 又，本實施例係可與實施形態1、實施形態2、實施形態3、實施形態4、實施例1、實施例2或實施例3自由組合。 -53- (51) 1351895 [實施例5 ] 在本實施例中表示製作被動矩陣型爲單純矩陣型之發光裝置）之例。首先，在玻璃基板上以ITO等的材料）形成管狀之複數條第1配線。然後域形成由抗蝕劑或感光性樹脂構成的隔鍍法在以隔壁包圍的區域形成包含有機全彩顯示時’適當選擇材料一邊導入甲法形成包含有機化合物層之層。然後，化合物之層上以與ITO構成的複數個第 ’以A1或A1合金等金屬材料（成爲陰狀的複數條第2配線。在以上的步驟中化合物之層作爲發光層的發光元件。然後，以密封材黏貼密封基板，或置保護膜以密封。使用玻璃基板、聚丙 '聚碳酸酯 '聚醚酸醯、聚苯烯硫化物聚碩，或是聚鄰苯二甲醯胺苯所構成的膠基板作爲密封基板。第12(A)圖表示本實施例之顯示例。在基板1 3 0 0的主表面上使第1電| 在其交叉部上設置形成有發光元件之像，設置有發光性的像素配列成矩陣狀之素數若爲VGA規格則爲640 X 480點，之發光裝置（亦稱料（成爲陽極的材 ’包圍成爲發光區壁。之後，藉由蒸化合物之層。成爲砂院一邊屆由蒸鎪在包含隔壁及有機 1配線交叉的方式極的材料）形成管可形成以包含有機是在第2配線上設烯、聚丙烯硫化物、聚（二）苯醚、合成樹脂構成之塑裝置的剖面圖之一 i與第2電極交叉素部1 3 2 1 »亦即像素部 1 3 2 1。像若爲XGA規格則 -54- (52) (52)1351895 爲1024x768點’若爲SXGA規格則爲1365x1024點，若爲UXGA規格則爲1600x1200點，第1電極以及第2 電極的條數係因應於此設置。再者，在基板1301的端部即像素部1 3 2 1的周邊部設置形成有與外部電路連接的端子趁墊之輸入端子部。在第12(A)圖所示的顯示裝置中，在像素部形成有 :在基板1300的主表面上延伸於左右方向的第]電極 1302;包含於其上層所形成的發光體之薄膜1305 (由於包含以電激發光發光的媒體，因此在以下的說明中爲了方便稱爲EL層）：形成於其上層且延伸於上下方向之第2 電極13 06，在其交叉部形成有像素。亦即，藉由將第] 電極1302與第2電極1306形成漁獵方向與行方向，以矩陣狀配設像素。輸入端子係以與第1電極或第2電極相同的材料形成。該輸入端子的數目係設置有與配設於列方向與行方向之第1電極及第2電極之條數相同的數量。隔壁1 3 04的剖面形狀係從與第1電極1 302相接的下端部至上端部具有曲線形狀》該區面形狀係在隔壁或其下層側中心之至少具有一個的曲率半徑之形狀，或是在與第 1電極1 302相接的下端部於隔壁1 304的外側有中心之至少一個第1曲率半徑，在隔壁13 04的上端部於隔壁或其下層側有中心之至少一個第2曲率半徑的形狀。其剖面形狀係從隔壁1304的下端部朝向上端部使曲率連續而變化亦可。EL層係沿著其曲面形狀而形成，藉由其曲面形狀使應力緩和。亦即，在積層不同的構件之發光元件中，具 -55- (53) 1351895 有使其熱壓引起的畸變緩和的作用。表示以密封材固接密封像素部1321的對向基; 之形態。在基板1 3 0 1與對向基板1 3 5 0之間的空間活性氣體亦可，密封有機樹脂材料1 340亦可。在情況下，像素部1 3 2 1之發光元件係以阻障性的 1307覆蓋’因此不需特別設置乾燥財等，可防止性的雜質引起的劣化。又，第1 2 ( A )圖係與像素部1 3 2 1的各像素在對向基板1350側形成有著色層1 342至1 344。層1345係防止著色層的段差。另外，第12(B) 基板1301側設置著色層1 3 42至1 3 44之構成，在膜1345上形成有第1電極1302。又，第12(B) 12(A)圖之發光方向不同。此外，在相同的部分同的符號。又，不限於全彩的顯示裝置，亦可在單色彩色裝置例如面光源、電飾用裝置實施本發明。又，本實施例係可與實施形態1至4、實施例施例2中任一個自由組合。 [實施例6] 藉由實施本發明所獲得的發光裝置組裝於顯示製作電子機器。電子機器係列舉有：攝影機、數位護目型顯示器（頭盔顯示器）、導航系統、音響再 (汽車音響、音頻組合式立體音響等）、筆記型個 5 1350 塡充非任一種絕緣膜因外因對應，平坦化圖係在平坦化圖與第使用相的發光 1或實部，可相機、生裝置人電腦 -56- (54) (54)1351895 、遊戲機、行動資訊終端（移動式電腦、行動電話、攜帶型遊戲機或是電子書籍等），使具備記錄媒體的畫像再生裝置（具體言之係Digital Versatile Disc (DVD)等的記錄媒體再生’可表示具備有該畫像之顯示器的裝置）等。此等電子機器係顯示於第13圖。第13(A)圖係電視，包含框體2001、支持台2002 '顯示部2003、音響部2004、影像輸入端子2005等。本發明係可應用在顯示部2003。此外，包含電腦用、TV傳送接受用、廣告顯示用等全部的資訊顯示用的電視。第】3(B)圖係數位相機，包含本體2101、顯示部 2102、受像部2103、操作鍵2104'外部連接埠2105、快門2106等。本發明係可應用在顯示部21〇2 ^ 第1 3 ( C )圖係筆記型電腦，包含本體22〇 1、框體 2202、顯示部2203、鍵盤2204、外部連接埠2205、指向滑鼠2206等。本發明係可應用在顯示部2203。第13(D)圖係行動電腦，包含本體2301'顯示部 2302、開關.2303、操作鍵2304、紅外線埠2305等。本發明係可適用於顯示部2302。第13(E)圖係具備記錄媒體的行動型之畫像再生裝置（具體而言爲DVD再生裝置），包含本體2401、框體 2402'顯示部A2403、顯示部B2404、記錄媒體（DVD等 )讀取部2405 '操作鍵2406、音響部2407等》雖然顯示部A2403主要係顯示畫像資訊，顯示部B2404主要顯示文字資訊，惟本發明係適用顯示部A、B2403、2402。此 -57- (55) 1351895 外，具有記錄媒體的行動型之畫像再生裝置係包含用遊戲機。第13(F)圖係遊戲機，包含本體 2501、 2 50 5 '操作開關2 5 04等。第13 ( G )圖係攝影相機，包含本體2601、 2602、框體2603、外部連接埠26〇4、遙控接受部受像部2606、電池2607、聲音輸入部2608、操作。本發明係可應用在顯示部2602。第13 ( Η )圖係行動電話，包含本體270 1 2702、顯示部27〇3、聲音輸入部27〇4、聲音輸出】、操作鍵2706、外部連接埠2707'天線2708等。係可應用在顯示部2 703。此外，顯示部2703係藉色的背景顯示白色的文字可抑制行動電話的消耗電如以上所述，實施本發明所獲得的顯示裝置係謂的電子機器之顯示部使用亦可。此外，本實施型子機器係使用實施形態1至4，實施例1至5中任成製作的發光裝置亦可。 [實施例7] 在本實施例中，顯示全自動化從第1電極至密的製作之線上方式的製造裝置之例於第14圖。第14圖係具有以下構件的線上方式之製造裝極 1000a 至 l〇〇〇u;搬送室 1〇〇2、l〇〇4a、1014; 1011;第1成膜室1006H;第2成膜室1006B;第有家庭顯示部顯示部 2605 ' 鍵 2609 、框體部 2705 本發明著在黑流。作爲所態的電一種構封爲止置：閘受渡室 3成膜 -58- (56) (56)1351895 室1006G;第4成膜室1006R;第5成膜室1006E;預備成膜室1 006G 〃：預備成膜室1 006R〃：預備成膜室 1006B";其他的成膜室1009、1010、1013;設置蒸鍍源之設置室 1026R' 1026G、 1026B、 1026R〃、 1026G" ' 1026B〃、1026E、1026H;前處理室 l〇〇3a、密封室 1018 、密封室1016、密封基板支撐室1〇30、基板導入室1020 、取出室1019。此外，在搬送室l〇〇4a設置有搬送基板 1 004c，或設置具有用以反轉的複數個臂部之搬送機構 10 〇4b，其他的搬送室亦相同分別設置有搬送機構。以下，將預先設置有陽極（第1電極）、覆蓋該陽極端部之絕緣物（隔壁）之基板搬入至第14圖所示的製造裝置，製作發光裝置之步驟。首先，在基板導入室1020設置上述基板。可與基板爲大型基板時（例如600mmx720mm)時，或爲一般基板 (例如127mmxl27mm)時對應。基板導入室1〇20係與真空排器處理室連結，在真空排氣之後，導入非活性氣體設爲大氣壓亦佳。設置於基板導入室的基板（設置有陽極及覆蓋陽極的絕緣物）係搬送到搬送室1002。在搬送室1〇〇2內部極力不存在水分或氧，預先真空排氣以維持真空較佳。又’在設置於卡匣室之前，爲了降低點缺陷與第丨電極（陽極）的表面相對含有界面活性劑（弱鹼性）之多孔質的海綿（代表性者爲PVA (聚乙烯醇）製、尼龍製等）淸洗以除去表面的垃圾。又’在形成包含有機化合物的膜 -59- (57) (57)1351895 之前，爲了除去上述基板所包含的水分或其他的氣體’以在真空中進行用以脫氣的回火最理想’在搬送室1 002或是前處理室1 00 3a進行回火亦可。又，搬送室1 002所設置的基板搬送機構係具備有基板反轉機構，可適當使基板反轉。而且，上述真空排氣處理室係具備有磁浮型的面朝下分子泵、低溫泵、或乾式泵。又，欲除去包含形成於不需用的場所之有機化合物的膜時，搬送到前處理室1003a，選擇性除去有機化合物膜的積層亦可。前處理室1 003 a係具有電漿產生手段，藉由激起從Ar、H、F以及Ο選擇的一種或複數種氣體，使電漿產生，進行乾式蝕刻。又，以進行紫外線照射作爲陽極表面處理之方式，在前處理室1 〇〇3a具備有UV照射機構亦可。又，爲了使收縮消失，在包含有機化合物的膜之蒸鍍不久之前以進行真空加熱最佳，在搬送室1 002，爲徹底除去上述基板所包含的水分或其他氣體，在真空（5x l(T3T〇rr( 0.665Pa)以下，更以 1〇·4 至】(T6Torr)下進行用以脫氣的回火。然後，在進行上述真空加熱之後，搬送到成膜室 1 006H進行蒸鍍。繼而，從搬送室1 〇〇2適當搬送基板至與搬送室1004a連結之成膜室i〇〇6R、l〇〇6G、1006B、 1006R〃 ' 1006(3〃、l〇〇6B〃、1066£，適當形成正孔注入層、正孔輸送層、發光層、電子輸送層或是成爲電子注 -60- (58) (58)1351895 入層之低分子的有機化合物層。又，另外設置以噴墨法或旋塗法等形成由高分子材料構成的正孔注入層之成膜室亦可。而且，將基板縱置於真空中藉由噴墨法成膜亦可。而且，藉由旋塗法成膜PEDOT/PSS時，由於在全面 ’ 成膜，因此以選擇性除去基板的端面或周緣部、端子部、 ‘ 陰極與下部配線之連接區域等，在前處理室1 003 3以02 拋光等除去較佳。 φ 在此，說明成膜室 1006R、 1006G、 1006B、 1006R" 、1 006G" 、1 006B" 、1 066E、1 006H。各成膜室 1 〇〇 6 R、1 0 0 6 G、1 0 0 6 B、1 〇〇 6 R，、 1 0 0 6 G " 、1 0 0 6 B " 、1 0 6 6 E、1 0 〇 6 Η設置有可移動的蒸鍍源保持器（蒸鍍單元）。亦即，與上述實施型態之第2圖所示的成膜室相當。如上述實施型態2所示，在爭鏡之際一邊導入材料氣體一邊進行蒸鍍。材料氣體具體而言，從甲矽烷系氣體（甲矽烷、乙矽烷、丙矽烷）、SiF4、GeH4 φ ' GeF4、SnH4、或是碳化氫系氣體（ch4' c2H2、C2H4、 QH6等）選擇的一種或複數種。在成膜時導入材料氣體並藉由在有機化合物膜中包含的材料氣體之成分設爲高密度的膜。藉由在有機化合物膜中包含的材料氣體之成分，阻止引起劣化的養或水分等雜質侵入擴散至膜中，使發光元件的信賴性提箅。此外，準備複數該蒸鍵源保持器，適當第準備密封有 EL材料之容器㈠甘渦）’在該狀態下設置於成膜室。以 -61 - (59) (59)1351895 仰頂方式設置基板’以CCD等進行蒸鍍掩膜之位置校正 ’以電阻加熱法進行蒸鍍選擇性成膜亦可。此外，設置保管蒸鍍掩膜之掩膜支撐示亦可。設置於此等成膜室之EL材料係使用上述實施例1之第7圖、第8圖所示的製造系統。亦即，使用el材料預先以材料製造機收納的容器（代表性者爲坩堝）進行成膜亦可。再者’於設置之際不須與大氣接觸而進行，從材料製造機搬送之際，坩堝係在第2容器密閉的狀態下導入至成膜室最佳。期望將具有與各成膜室l〇〇6R、1006G、 1 006B、1 〇〇6R# 、1 006G" ' 1 006B"" 、1 0 6 6 E、1 0 0 6 Η 連結的真空排氣手段之設置室1026R、1026G、1026Β、 1026R”' i〇26G”、 1026Β”、 1026Η、 1026Ε 設爲真空或非活性氣體環境’在其中從第2容器取出坩堝，在成膜室設置ί甘渦。藉此，可防止坩堝及收納於該坩堝之EL材料被污染。此外，在設置室 1026R、1026G、1026Β、1026R"、 1 026G* 、1 026ΒΑ 、1 026Η、1 026Ε 支撐金屬掩膜。藉由適當選擇各成膜室 1 006R、1 006G、1 006Β、 1006R" 、1 〇〇6G ^ 、1006Β" 、1066Ε' 1006Η 所設置的 EL材料，可形成顯示單色（具體而言係白色）或是全彩 (胃體而言係紅色、綠色、藍色）之發光的發光元件作爲發光元件全體。例如，在形成綠色的發光元件時，在成膜室1 006Η依序積層正孔輸送層或是正孔注入層' 在成膜室1006G積層發光層（G)、在成膜室1006Ε依序積層電 -62- (60) 1351895 子輸送層或是電子注入層之後’若形成陰極’則色的發光元件。例如’在形成全彩的發光元件時室1 006R使用R用的蒸鍍掩膜，依序積層正孔是正孔注入層、發光層（G)、電子輸送層或是層，在成膜室I006B使用B用的蒸鍍掩膜’依孔輸送層或是正孔注入層' 發光層（B)、電子是電子注入層，若形成陰極’則可獲得全彩的發又，藉由利用成膜室1 006R，、1 006G"、，在成膜室l〇〇6R' 1 006G、1 006B進行淸潔之停止線，可製作面板。又，兩方運轉增加製作面可 ° 藉由上述步驟積層包含有機化合物之層後，室1 004a內所設置的搬送機構將基板搬送到成g ，形成陰極。該陰極係藉由使用電阻加熱之蒸鍍的金屬膜（藉由共同蒸鍍MgAg、Mgln、CaF2、等合金，或是屬於週期表的1族或2族之元素與的膜，或是此等的積層膜）。又，使用漸鍍法形可。

又，在製作上面射出型的發光裝置時，陰極半透明較爲理想，上述金屬膜的薄膜（lnm至或是以上述金屬膜的薄膜（lnm至lOnm)與透之積層作爲陰極較爲理想。此時，使用漸鍍法 1009形成透明導電膜（ITO (氧化銦氧化錫合金化銦氧化綷合金（Ιη203-Ζη0 )、氧化鋅（ZnO 可獲得綠，在成膜輸送層或電子注入序積層正輸送層或光元件。 1 006B " 期間不需板片數亦藉由搬送莫室 101 0 法所形成 LiF 、 CaN 鋁所形成成陰極亦以透明或 1 0 n m )，明導電膜在成膜室 ))、氧等）所構 -63- (61) (61)1351895 成的膜亦可。在以上的步驟行成有積層構造的發光元件。又，搬送到與搬送室iOOda連結的成膜室1013，形成由氮氧化矽膜構成的保護膜進行密封亦可。在此，於成膜室1〇〗3內具備有由矽構成的標靶、或由氧化矽構成的標靶、或是由氮化矽構成的標靶。例如，使用由矽構成的標靶，藉由設爲以氮氣作爲成膜室環境氣體或是包含氮氣與氬氣的環境氣體，可在陰極上形成氮化矽膜。又，以碳爲主成分的薄膜（DLC膜、CN膜、非晶質碳膜作爲保護膜而形成亦可，另外，設置使用CVD法的成膜室亦可。然後，不需使形成有發光元件的基板與大氣接觸，從搬送室〗0]4a搬送到受渡室]0]〗，再者從受渡室1〇11搬送到搬送室1014。繼而’從搬送室1014將形成有發光元件的基板搬送到密封室〗0 1 6。準備密封基板係從外部設置於密封基板裝載室1 〇 1 7 ’此外’爲了除去水分等的雜質，預先在真空中進行回火較爲理想。然後，在形成用以與密封基板設置有發光元件之基板貼合的密封材時，在密封室形成密封材，將形成密封材的密封基板搬送到密封基板支撐室1 030。此外，在密封室1018中，於密封基板設置乾燥劑亦可。此外，在此雖例示於密封基板形成密封材之例，惟並無特別限制，在形成有發光元件的基板上形成密封材亦可。然後’在密封室1016使基板與密封基板貼合，藉由將所貼合的一對基板設置於密封室1016之紫外線照射機 -64- (62) (62)1351895 構’照射UV光使密封材硬化。此外，在此密封材雖使用紫外線硬化樹脂，惟若爲黏著材則無特別限定。然後，從密封室1 〇 1 6將已黏合的一對基板搬送到搬送室1014，在從搬送室1014搬送到取出室1019以取出〇如上所述，藉著使用第14圖所示的製造裝置在完全將發光元件密封入密閉空間爲止，由於不曝光於大氣，因此可製作出信賴性高的發光裝置。此外，在搬送室1014 中，雖反覆真空與在大氣壓的氮氣環境，惟搬送室〗0 02 、1 004a係經常可望保持在真空。此外，在此雖未圖示，惟控制將基板移動到各個處理室之路徑，設置實現自動化之控制裝置。又，在第14圖所示的製造裝置中，藉由搬入設置有透明導電膜（或是金屬膜（TiN))作爲陽極之基板，在形成包含有機化合物之層後，形成透明或半透明的陰極（例如薄的金屬膜（Al、Ag ))與透明導電膜的積層，亦可形成上面射出型（或兩面射出）之發光元件。又，在第14圖所示的製造裝置中，藉由搬入設置有透明導電膜作爲陽極之基板，並於形成包含有機化合物之層後，形成由金屬膜（Al、Ag )構成的陰極，亦可形成下面射出型之發光元件。又，本實施例係可與實施形態1至4，實施例1中任一種1自由組合。 -65- (63) (63)1351895 〔產業上利用的可能性〕自由基據本發明，一邊導入材料氣體一邊進行有機化合物膜的蒸鍍，使有機化合物膜中含有材料氣體的成分，藉由進行成膜至期望的膜厚爲止，可形成高密度的有機化合物層。自由基據本發明，藉由在成膜時導入材料氣體成爲高密度膜，阻止使引起劣化的氧或水分等雜質侵入擴散至膜中。【圖式簡單說明】第1圖係顯示實施形態1的本發明之成膜裝置的剖面圖。第2圖係顯示實施形態2的本發明之成膜裝置的剖面圖。第3圖係顯示實施形態3的本發明之成膜裝置的剖面圖。第4圖係顯示實施形態4的本發明之成膜裝置的剖面圖。第5圖係說明藉由顯示實施例1的本發明之成膜裝置所製作的元件構造圖。第6圖係顯示實施例2的多重反應室方式的製造裝置圖。第7圖係顯示實施例2的設置室之鉗堝搬送圖。第8圖係顯示實施例2之設置室的蒸鍍源鉗堝之鉗堝搬送圖。 -66· (64)1351895 第9圖係顯示實施例3。第1 0圖係顯示實施例3。第1 1圖係顯示實施例4。第1 2圖係顯示實施例5。第13圖係顯不實施例6。第14圖係顯示實施例7之線上方式的製造裝置圖。主要元件對照表 10、 60 ' 20、40 基板 12、 22 ' 62 基板保持器 13 蒸鍍單元 14 快門 15a 第 1 材料 15b 第 2 材料 16、 26 > 66 面朝下分子泵 17' 27、 67 低溫泵 18、 68 定盤 19、 69 防止附著板 21、 6 1 反應室壁 23、 63 單元 25a 已蒸發的第 1材料 25b 已蒸發的第 2材料 28 移動機構 30a 微波源極

-67- (65) 1351895 3 0b 導波管 30c、 53 電漿 3 1 加執器 4 6a 通道形成 Wo 域 4 6b ' 4 6c 源極丨品- 域或汲極區域 4 6 e、 46f 源極或汲極 50 電子槍 5 1 材料 52 坩堝 64 電漿產生手段 65 已葱 / 1 \ \ 發的有機材料 2 11、 22 1 第一混合域 2 13' 223 第二混合丨品- 域 17a 第一有機化合物 2 10、 220 第一的功能域 222 第二功能域 2 14 第三功能丨品- 域 1 7c 第二有機化合物 500a 至 5 OOy 閘極 502、 504a 、 508、 514' 518 搬送室 505、 507 、 511 受渡室 501 裝入室 506H 第 1 成膜室

506B 第2成膜室 (66)1351895 5 06G 第 3 成膜室 5 06R 第 4 成膜室 5 06E 第 5 成膜室 508 搬送室 5 09、 510' 512 、 513 、 531 、 532 其他成膜室 5 2 6R 、526G 、 526B 、 526E 、 526H ΒΠ B5L 置室 5 03 a ' 5 03 b 前處理室 5 11 受渡室 5 13、 532 成膜室 5 16 密封室 5 17 裝載室 524 掩模支撐室 527 密封室 530 密封基板支撐室 5 20a、 5 20b 卡匣室 5 2 1 托盤裝 5几載置台 5 04a、 514 '518 搬送室 5 19 取出室 504c 搬送基板 5 04b 搬送機構 702 扣具 705 彈簧 706 固定手段 708 氣體導入 □

-69 - (67)1351895

7 11 舉起機構 7 12 旋轉軸 7 13 旋轉設置台 72 1a 上部容器 72 1 b 下部容器 804 旋轉台 805 壬几置室 900 閘閥 902 舉起機構 902b 搬送機構 903 葱鍍源保持器 905 設置室 906 成膜室 907 旋轉台 9 11 第 1 容器 9 12 第 2 容器 110 1' 120 1 源極信號線驅動電路 1102' 1202、 1321 像素部 1103、 1203 閘極信號線驅動電路 1104、 1204 密封基板 1105 第 1 密封材 1107 第 2 密封材 1108、 1208 配線 1109 FPC

-70- (68) 1351895 1110 、1210、 1300、 130 1 基板 1111 開關用TFT 1112 電流控制用TFT 1113 、43 、 1302 第1電極 1115 包含有機化合物之層 1116 、45 、 1306 第2電極 1117 透明保護層 1118 發光元件 113 1 著色層 113 2 遮光層 1205 間隔材 1207 乾燥劑 1223 η通道型TFT 41、 1304 隔壁 42 ' 13 07 絕緣膜 46 TFT 1 305 薄膜 1350 對向基板 1340 有機樹脂材料 1342 至]344 著色層 1345 平坦化層 200 1 、2202 、 2402 ' 2603 、 2702 框體 2002 支持台 2003 顯示部 (69)1351895 2004 、 2407 音響部 2005 影像輸入端子 2101、 2201 ' 1301 、 2301 、 2401 、 2501 ' 2601 本體 2602 ' 2102 、 2302 、 2505 ' 2703 ' 2602 、 2703 顯示部 2103' 2606 受像部 2104、 2406 、 2504 、 2609 操作鍵 2105、 2205、 2604 外部連接埠 2 106 快門 2204 鍵盤 2206 指向滑鼠 2 3 03 開關 23 05 紅外線埠 2403 顯示部A 2404 顯示部B 2405 記錄媒體 2605 遙控接受部 2607 電池 2608 ' 2704 聲音輸入部 2705 聲音輸出部 2708 天線 1000a 至 lOOOu 閘極 1002' 1004a、 1014 搬送室 10 11 受渡室 1 006H 第1成膜室 -72- (70) 1351895 、1006R〃、 1006B 1010、 1013 1026G、 1026B、 1026R" 、 1026G〃、 1026B 設置室 1 006B 1 006G 1 006R 1 006E 1 006G 1009 ' 1026R 、、1026E 、 1026H 1 003 a 1016、 1018 1030 10 19 1020 1 004a 1 004c 第2成膜室第3成膜室第4成膜室第5成膜室預備成膜室成膜室前處理室密封室密封基板支撐室取出室基板導入室搬送室搬送基板 1 004b 搬送機構

Claims

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日修（更;-丨二々'丨第092135052號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國100年6月3曰修正拾申請專利範圍 1. —種發光裝置，包含發光元件，該發光元件包含：在具有絕緣表面的基板上的陽極；與該陽極接觸的EL(電致發光）層；以及與該EL層接觸的陰極，其中該EL層包括有機化合物，其中可獲得電致發光，以及其中該EL層包括以SIMS測量爲lxlO18至5xl02G原子/cm3的砂。 2. 如申請專利範圍第1項的發光裝置，其中該矽被包括成矽烷。 3. 如申請專利範圍第1項的發光裝置，其中該矽被包括成氧化砂。 4. 如申請專利範圍第1項的發光裝置，其中該電致發光爲螢光。 5. 如申請專利範圍第1項的發光裝置，其中該有機化合物爲選自由包括喹啉結構的金屬複合物，包括苯噁唑結構的金屬複合物，以及包括苯並噻唑結構的金屬複合物所組成之群之—。 6. 如申請專利範圍第1項的發光裝置，進一步包含在該基板上且電連接至該陽極的薄膜電晶體。 7. —種發光裝置，包含發光元件，該發光元件包含： 1351895 . 在具有絕緣表面的基板上的陽極；與該陽極接觸的EL(電致發光）層；以及與該EL層接觸的陰極， _ 其中該EL層包括施體材料和受體材料，其中該施體材料是有機化合物，其中可獲得電致發光，以及其中該EL層包括以SIMS測量爲ΙχΙΟ18至5xl 020原鲁子/cm3的矽。 8. 如申請專利範圍第7項的發光裝置，其中該矽被 -包括成矽烷。 9. 如申請專利範圍第7項的發光裝置，其中該矽被包括成氧化矽。 10. 如申請專利範圍第7項的發光裝置，其中該電致發光爲螢光。

11. 如申請專利範圍第7項的發光裝置，其中該有機化合物爲選自由包括喹啉結構的金屬複合物，包括苯噁唑結構的金屬複合物，以及包括苯並噻唑結構的金屬複合物所組成之群之一。 12. 如申請專利範圍第7項的發光裝置，進一步包含在該基板上且電連接至該陽極的薄膜電晶體。 13. —種發光裝置，包含發光元件，該發光元件包含在具有絕緣表面的基板上的陽極；與該陽極接觸的EL(電致發光）層；以及 1351895 與該EL層接觸的陰極，其中該EL層包含：與該陽極接觸的電洞注入層；該電洞注入層上的發光層，包括有機化合物，其中可獲得電致發光，以及在該發光層上的電子注入層，以及其中該發光層包括以SIMS測量爲lxl〇18至5x102D 原子/cm3的矽。 14. 如申請專利範圍第13項的發光裝置，其中該矽被包括成砂院。 15. 如申請專利範圍第13項的發光裝置，其中該矽被包括成氧化矽。 16. 如申請專利範圍第13項的發光裝置，其中該電致發光爲螢光。 17. 如申請專利範圍第13項的發光裝置，其中該有機化合物爲選自由包括喹啉結構的金屬複合物，包括苯噁唑結構的金屬複合物，以及包括苯並噻唑結構的金屬複合物所組成之群之一。 18. 如申請專利範圍第13項的發光裝置，進一步包含在該基板上且電連接至該陽極的薄膜電晶體。 19. 一種發光裝置，包含發光元件，該發光元件包含在具有絕緣表面的基板上的陽極；與該陽極接觸的EL(電致發光）層；以及 -3- 1351895 . 與該el層接觸的陰極，其中該EL層包含：與該陽極接觸的電洞注入層；在該電洞注入層上的電洞傳送層；在該電洞傳送層上的發光層，包括有機化合物，其中可獲得電致發光；在該發光層上的電子傳送層；以及 Φ 在該電子傳送層上的電子注入層，以及其中該發光層包括以SIMS測量爲lxlO18至5xl020 . 原子/cm3的砂。 20. 如申請專利範圍第19項的發光裝置，其中該矽被包括成矽烷。 21. 如申請專利範圍第19項的發光裝置，其中該矽被包括成氧化砂。 22. 如申請專利範圍第19項的發光裝置，其中該電 I致發光爲螢光。 23. 如申請專利範圍第19項的發光裝置，其中該有機化合物爲選自由包括喹啉結構的金屬複合物，包括苯噁唑結構的金屬複合物，以及包括苯並噻唑結構的金屬複合物所組成之群之一。 24. 如申請專利範圍第19項的發光裝置，進一步包含在該基板上且電連接至該陽極的薄膜電晶體。 25. —種發光裝置，包含發光元件，該發光元件包含 -4- 1351895 在具有絕緣表面的基板上的陽極；與該陽極接觸的EL(電致發光）層；以及與該EL層接觸的陰極，其中該EL層包含：在該陽極上的第一功能區，包括第一化合物；與該第一功能區接觸的第二功能區，包括第二有機化合物，其中可獲得電致發光；以及在該第一功能區和該第二功能區間的混合區，包括該第一化合物和該第二有機化合物，以及其中該混合區包括以SIMS測量爲lxio18至5x102Q 原子/cm3的矽。 26.如申請專利範圍第25項的發光裝置，其中該矽被包括成矽烷。 2 7.如申請專利範圍第25項的發光裝置，其中該矽被包括成氧化砂。 28.如申請專利範圍第25項的發光裝置’其中該電致發光爲螢光。 2 9.如申請專利範圍第25項的發光裝置，其中該有機化合物爲選自由包括喹啉結構的金屬複合物’包括苯噁唑結構的金屬複合物，以及包括苯並噻唑結構的金屬複合物所組成之群之一。 30.如申請專利範圍第25項的發光裝置’進一步包含在該基板上且電連接至該陽極的薄膜電晶體。