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TWI277830B - Resist composition - Google Patents

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TWI277830B
TWI277830B TW089101076A TW89101076A TWI277830B TW I277830 B TWI277830 B TW I277830B TW 089101076 A TW089101076 A TW 089101076A TW 89101076 A TW89101076 A TW 89101076A TW I277830 B TWI277830 B TW I277830B
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TW
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poly
hydroxystyrene
polymer
formula
Prior art date
Application number
TW089101076A
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English (en)
Inventor
Fumiyoshi Urano
Hirotoshi Fujie
Naoki Takeyama
Koji Ichikawa
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co
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Description

1277830 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1 發明背景 本發明係有關一種用於製備半導體元件之光阻組成物 ，更特別，係有關一種用於使用紫外線（特別是具有波長 不高於300nm，例如，KrF激元雷射光線）作為曝露能量源 之形成正型圖案之光阻組成物。 因最近之更高密度體積化之半導體元件之趨勢，用於 精密操作（特別是照像石版術）之曝露方式之能量源變成愈 來愈短波長。現今使用深紫外線（波長不超過3〇〇nm)，KrF 激元雷射光（248.4nm之波長）等已被開始。但是，尚未能 獲得對於使用此種短波長曝露光線之大規模生產技術之高 可應用性之光阻組成物。 作為KrF激元雷射光線之光阻組成物及作為曝露源之 深紫外線’ H· Ito等人提出之化學放大型光阻組成物已被 用以改良降低曝露能量之含量[H· Ito等人，聚合物工程科 學，23 ， 1012 (1983)]。 許多有關化學放大型光阻組成物之報告已被出版，且 由κ際可應用性之觀點，此等組成物已伴隨需被解決之許 多問題。 即，於早期發展階段之報告[例如，jp_B 2-27660 (美 國專利第4,491，628號案）；JP-A 62_115440(美國專利第 4,603，101 號案）；jp-A 2-25850 ; Y. Jian等人，聚合物料科 學及工程，66, 41 (1992)等]中，其間所用之聚合物係酚醚 型聚合物，諸如，聚（對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯）、聚（ 對-弟二丁氧基苯乙炸）、聚（對-第三丁氧基魏基氧-α-甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · I------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -4 - 1277830 A7 ______ B7 五、發明說明（2 ) 基苯乙烯）、聚（對_第三丁氧基_α•甲基苯乙烯）、聚（第三 丁基對-異丙烯基苯氧基乙酯）、聚（對·第三丁氧基羰基氧 本乙烯/颯）、聚（對·四氫σ比喃基氧苯乙烯）、聚[對甲氧 基乙氧基）苯乙烯]及聚（[對·（1-苯氧基乙氧基）_苯乙烯]， 但所有此等聚合物對於基材之黏附性係差的，於顯影時易 自基材剝離，且於熱阻性係更差。因此，含有此等聚合物 之光阻組成物具有不能產生良好圖案之缺點。於使用諸如 聚（苐二丁基對·乙烯基苯甲酸酯）及聚（四氫0比喃基對_乙稀 基苯甲酸酯）之羧酸型聚合物之光阻組成物之情況中，其 具有之缺點係於248.4nm周圍之傳遞係不足夠，因為苯甲 基之故，且因而解析度不良。於使用聚（第三丁基甲基丙 烯酸醋之光阻組成物之情況中，其具有之問是係聚合物之 差的熱阻性及差的乾式蝕刻抗性。 此外，使用含矽之聚合物之光阻組成物已被揭示[例 如，JP-B 3-44290]，但於使用聚（對-三曱基甲矽烷基氧苯 乙烯）及聚（對-第三丁基二甲基甲矽烷基氧苯乙烯）之情況 中’其被發現之缺點係低敏感性、藉由灰化之不完全移除 (其係因於其間含矽之故）等，因而其係難以實現於實際應 用。 因技術發展，已報告其中上述缺點藉由使用聚（對-第 三丁氧基羰基氧苯乙稀/對-經基苯乙烯）[JP-A 2-209977 ; JP-A 3-206458]、聚（對-四氫p比喃基氧苯乙稀/對-經基苯乙 烯）[日本專利第2675138號案（EPC第342498號案）；JP-A 2-
161436]及聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[jp_A 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 127783〇 A7 B7 五、發明說明（3 ) 2-62544 ; JP-A 4-211258(美國專利第 5,3 50,660號案，EPC 第440374號案）]改良之化學放大型光阻組成物。 但是，使用此等聚合物之任何光阻組成物不能保持所 需之解析能力，亦不能克服延遲時間之問題（其已於實際 應用探討[於塗覆光阻物至光線曝露期間或光線曝露至熱 處理（PEB)期間之尺寸改變及圖形之變質])及基材依賴性 之問題[Si02, Si3N4, Ti3N4, BPSG或聚矽已被作為半導體基 材，且圖形變得不適當地依賴基材種類]。 其後，使用其間乙縮醛基或縮酮基被引入作為保護基 [例如，聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）]及 光酸產生劑（諸如，三苯基銃鹽衍生物及二苯基硤鐵鹽）之 聚合物之光阻組成物[例如，JP-A 2-161436 ; JP-A 4-219757 (EPC 第 447868) ; JP-A 5-281745(EPC 公告第 553737號案） ;JP-A 3-282550]已被報告。但是，其伴隨諸如浮渣產生（ 於顯影期間產生之未溶解部份；其造成蝕刻時複寫至下基 材之問題）、基材之依賴性及延遲之時間等問題。此外，Jp_A 5-249682(EPC公告弟520642號案）]揭示一種光阻組成物， 其包含諸如聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯） 、聚（對-1-甲氧基-1_甲基乙氧基-苯乙烯/對-羥基苯乙烯） 、聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基丙烯 酉文甲s曰）或K對-1-乙氧基乙氧基苯乙婦/對_經基苯乙稀/富 馬賸）之聚合物及作為光酸產生劑之二偶氮二颯化合物， 及JP-A 8-253528揭示一種光阻組成物，其包含聚（對-；1-第 二丁氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙烯）及作為光酸產生 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) π裝 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（4 ) 劑之二偶氮颯化合物。 雖然此等光阻組成物於許多方面係優異的（諸如，解 析能力及延遲時間等），但其仍伴隨諸如差的基材依賴性 及產生浮渣之問題。 JP-A 8-15864 (EPC公告第679951號案，美國專利第 5736296 號案）、JP-A26272 卜 JP-A 9-127698、JP-A 9-90639 之光阻組成物含有二種聚合物之混合物（聚（對_ 1 _乙氧基乙 氧基苯乙烯/對羥基苯乙烯）及聚（對-第三丁氧基羰基氧苯 乙烯/對-羥基苯乙烯）)及一或多者之作為光酸產生劑之二 偶氮二楓化合物。JP-A 9-160244揭示一種組成物，其含 有二種聚合物之混合物（聚（對-1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對 羥基苯乙烯）及聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）) 及一或多者之二偶氮二颯化合物。JP_A 10-97074揭示一 種組成物，其含有二種聚合物（聚（對·丨·乙氧基乙氧基苯乙 烯/對羥基苯乙烯）及聚（對-四氫。比喃基氧苯乙烯/對-羥基 苯乙烯））及一或多者之二偶氮二颯化合物。此等組成物伴 隨許多問題，諸如，差的解析能力、DOF及侧壁形狀（此 等係最近之0.20至0.15// m L/S之解析度之性質所必需者） 〇 JP-A 9-160246揭示一種光阻組成物，其含有聚（對_i-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙 烯）、作為溶解抑制劑之其中酚羥基之氫原子以酸不穩定 基部份取代之具有1000至3000之分子量之化合物及作為光 酸產生劑之最高正價鹽。JP-A 10-48826揭示一種光阻組 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 1277830
五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 成物，其中含有以縮路基（例如，1_乙氧基乙氧基）保護之 對-經基笨乙稀單體單元之對·經基苯乙稀型聚合物及含有 :烷乳基(例如’第三丁氧基)保護之對-經基笨乙烯單體 早7G之對.經基苯乙稀型聚合物（其重量平均分子量係少於 前者聚合物）被共同使用且—或二種光酸產生劑與此等聚 合物混合使用。但是’此等組成物亦伴隨許多問題，其含 有差的DOF、㈣形狀、延料間、基材依賴性、差的儲 存穩定性及與最近之請肢以m圖案尺寸之解析度所 需性質相反等。 再者，JP-A 9-274320及JP_A 1〇·53621揭示光阻組成 物，其含有聚（對-1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對_經基苯乙烯/ 對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯）或聚（對-丨—乙氧基乙氧基苯 乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）及由二偶氮二 颯化合物及最高正價鹽組成之光酸產生劑，其實質上不含 有作為相反離子之芳族環或脂族多環。但是，此等組成物 亦伴隨諸如差DOF、側壁形狀、延遲時間及最近之〇 2〇至 〇.15//m圖案尺寸之解析度所需性質相反等之問題。 如上所述，化學放大型光阻組成物已被改良聚合物之 差的熱阻性、對基材之差的附著性及248.4nm周圍之差的 傳送，其於顯影之早期階段被發現。但此等組成物現仍伴 隨諸如差的解析能力、隨時間消逝之圖案尺寸之改變、圖 形之變質、差的DOF、留於圖案上之渣滓及浮渣、圖形側 壁之粗糙性等之問題。因此，其中上述問題被解決之實際 可應用之光阻組成物被強列需求。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 五、發明說明（6 ) 發明之綜述 本發明之目的係提供-種實際可應用之光阻組成物， 其顯示對抗紫外線之高透明性’特別是對具有她㈤或更 小之波長之深紫外線、KrF激元雷射線等，對以此等光源 曝露及以電子束 '軟性x射線等之㈣顯示高敏感性，於 熱阻性及對基材之附著性係優異，具有高解析度，能產生 问精確性之圖案而不會造成圖案尺寸隨時間消逝而愛變， 顯示高儲存穩定性，具有寬的DOF&良好之罩線性，顯示 無基材依賴性及能形成於側壁具有少的粗糙性之矩形圖案 而不會造成渣:滓及浮清。 本發明提供一種化學放大型光阻組成物，包含 (a)二種或多種之聚合物，其藉由酸之作用變成鹼可 溶且以下述化學式表示： R1
CH2 I Ο Ι R22 OH2 [24] -----------裳--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中，R1及R2個別係氫原子或甲基；r3及R4係個別為氫原 子、直鏈、分枝或環狀之具有1至6個碳原子之烷基、直鏈 、分枝或環狀之具有1至6個碳原子之鹵烷基、可具有一或 多個取代基之苯基，或R3及R4可一起形成伸甲基鍵，但R3 及R 一者不此同時為鼠，R5係直鍵、分枝或環狀之具有1 至10個碳原子之烧基、直鍵、分枝或環狀之具有1至1〇個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 9 Ϊ277830
、發明說明（ 碳原子之鹵烷基或芳烷基；R22係酯化之羧基或芳基，其 可具有一或多個取代基；爪及n係個別為整數；且』係〇或 i數，但0.10g(m+n+j)g〇.90及Og(m+n+j)g〇.25， (b)至少一下述化學式之化合物·· 〇 〇 8 II I R8-S-C — S — R9 «II I [3] 〇 n2 〇 其中R8係分枝或環狀之具有3至8個碳原子之烧基；且R9係 直鏈、分枝或環狀之具有1至8個碳原子之烧基；或芳烧基 及 至少一選自由下述化學式之化合物·· R11 —s®· R13S〇3° [4]
R12 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中RW、Rm系個別為、线原子、直鏈、分枝或環 狀之具有1至6個碳原子之烷基、直鏈、分枝或環狀之具有 1至6個碳原子之烷氧基或苯基硫基；尺^係丨·萘基、孓英 基、10-樟腦基、吡啶基或下述化學式之基：
[5] -------------------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 10 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 其中R及R係個別為氳原子或鹵素原子丨且r16係氮原子 、鹵素原子、直鏈、分枝或環狀之具有丨至12個碳原子之 烷棊、直鏈、分枝或環狀之具有丨至4個碳原子之烷氧基、 或二亂甲基及下述化學式之化合物：
其中R及R18係個別為氫原子、直鏈或分枝之具有丨至斗個 碳原子之烷基、直鏈或分枝之具有丨至4個碳原子之烷氧基 ;且尺19係1-萘基、2-萘基、ίο·樟腦基、苯基，或以一或 多者之相同或相異之直鏈、分枝或環狀之具有1至12個碳 原子之烷基取代之苯基，及 (c)溶解組份（a)及（b)之溶劑。 圖示簡要說明 第1A至1C圖係顯示使用本發明光阻組成物之形成正 型式圖案之方法之截面圖。 弟2圖係顯示於比較例1至3、12至13、19、21至22、29 至31、40至41、47、49及56至57所觀察之錐形之截面圖。 第3圖係顯示於比較例4至6、23至24、32至34、50至51 及54至55所觀鏢之渣滓之截面圖。 第4圖係顯示於比較例7、9、11、14、35、37、39及42 觀察之差的形狀之截面圖。 第5圖係顯示於比較例8、10、15至18、20、25至26、 36、38、43至46、48及52至53觀察之差的形狀之截面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 五、發明說明（9 ) 第6圖係由範例26、27、55及56所獲得之矩形接觸孔 洞圖案之截圖。 第7圖係由比較例27、28、58及59獲得之具有圓形阻 性膜表面之差的錐形接觸孔洞之截面圖。 發明之詳細說明 本發明之化學放大型光阻組成物包含： (a)二種或多種之聚合物，其藉由酸之作用變成驗可 溶且以下述化學式表示：
其中’ R1及R2個別係氫原子或甲基；R3及R4係個別為氫原 子、直鏈、分枝或環狀之具有1至6個碳原子之烷基、直鏈 、分枝或環狀之具有1至6個碳原子之齒烷基、可具有一或 多個取代基之苯基，或R3及R4可一起形成伸甲基鍵，但R3 及R 一者不能同時為氫，R5係直鍵、分枝或環狀之且有1 至10個奴原子之烧基、直鍵、分枝或環狀之具有1至個 石反原子之_烧基或芳烧基；R22係醋化之叛基或芳基，其 可具有一或多個取代基；m及η係個別為整數；且』係〇或 整數，但0.10$(111+11+』）$0.90及0$(111+11+』）^ 0 25， (b)至少一下述化學式之化合物： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 12 [3]1277830 A7 五、發明說明（10 Ο Ο R8 — S — c — S —R9 0 其中R8係分枝或環狀之具有3 + 吉Μ八# I 厌原子之烷基；且R9係 直鏈、刀枝或裱狀之具有丨至8個 展于之烷基；或芳烷基 至少一選自由下述化學式之化合物： Λ s®· R13S〇30 ί4]
R12 ，中广心心個別為、_子、直鏈、分枝或環 狀之具有1至6個碳原子之院基、直鏈、分枝或環狀之具有 1至6個碳原子之烧氧基或苯基硫基；以们_萘基、2_萎 基、10-樟腦基、吡啶基或下述化學式之基： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
[5] /、中R及R係個別為氫原子或鹵素原子；且汉10係氫原子 一鹵素原子、直鏈、分枝或環狀之具有丨至12個碳原子之 烷基、直鏈、分枝或環狀之具有丨至4個碳原子之烷氧基、 或二氟甲基及下述化學式之化合物··
1277830 A7 五、發明說明（11)
其中Rl7及Rl8係個別為氫原子、直鏈或分枝之具有1至4個 石厌原子之烷基、直鏈或分枝之具有丨至4個碳原子之烷氧基 ;且^係1-萘基、2_萘基、1〇_樟腦基、苯基，或以一或 夕者之相同或相異之直鏈、分枝或環狀之具有丨至12個碳 原子之烷基取代之苯基，及 (c)溶解組份（a)及（b)之溶劑。 於上述通式[24]中，直鏈、分枝或環狀之具有1至6個 石厌原子之烷基及於直鏈、分枝或環狀之具有1至6個碳原子 之鹵烷基中之烷基（如r3&R4所示者）例示者係甲基、乙基 、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、第三丁基 、第二丁基、正戊基、異戊基、第三戊基、1-甲基戊基、 環戊基、正己基、異己基、環己基等；直鏈、分枝或環狀 之具有1至10個碳原子之烷基及於直鏈、分枝或環狀之具 有1至10個碳原子之鹵烷基中之烷基（如R5所示者）例示者 係甲基、乙基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁 基、第三丁基、第二丁基、正戊基、異戊基、第三戊基、 1-甲基戊基、環戊基、正己基、異己基、環己基、庚基、 辛基、壬基、癸基等。 於直鏈、分枝或環狀之具有1至6個碳原子之鹵烷基之 _素（113及R4所示者）及於直鏈、分枝或環狀之具有1至10 個碳原子之鹵烷基中之鹵素（如R5所示者）包含氯、溴、碘 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I裝--------訂---------線泰 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 14 I277830
五 、發明說明（12 ) 氟等。 通式[24]内之R5所示之芳烷基包含苯甲基、苯乙基、 苯基丙基、甲基苯甲基、甲基苯乙基、乙基苯甲基等。 於化學式[24]中，於具有一或多者取代基且以r22表 示之芳基之定義中之芳基包含苯基、萘基。作為取代基者 ’可被例示者係直鏈或分枝之具有1至4個碳原子之烷基、 直鏈、分枝或環狀之具有丨至8個碳原子之烷氧基、飽和之 雜環氧基或如下化學式之基·· 〇——（CHA——c——X——r7 [2] Ο 其中R7係直鏈、分枝或環狀之具有1至8個碳原子之烧基， 芳基，或飽和之雜環基；X係直接鍵或氧原子；/係〇或整 個0 更具有體地，可具有一或多個取代基且以R22表示之 芳基可以下述化學式表示：
裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [29] 其中R6係氫原子、直鏈或環狀之具有1至4個碳原子之烷基 、直鏈、分枝或環狀之具有1至8個碳原子之烷氧基、飽和 之雜環氧基，或下述化學式之基： —〇 —(。㈠山—c ——X —r7 II 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 15 [2] 1277830
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R7、x及/係如上定義者。 如化學式[29]中之R6所示之直鏈或分枝之具有14個 碳原子之烧基包含，例如，甲基、乙基、正丙基、異丙基 、環丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第二丁基等。 於化學式[29]中，以R6所示之直鏈、分枝或環狀之具 有1至8個碳原子之院氧基包含，甲氧基、乙氧基、正丙氧 基、異丙氧基、環丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第三丁 氧基、第三Τ氧基、正絲基、異餘基、環戊氧基、正 己氧基、4己氧基、環己氧基、卜甲基環戊氧基、卜甲基 環己氧基、正庚氧基、異庚氧基、正辛氧基、第三辛氧基 等；且飽和雜環氧基包含四氫吼喃氧基、四氫吱喃氧基等 .〇 於上述通式[2]中，以R7所示之直鏈、分枝或環狀之 具有1至8個碳原子之烷基之例示者係甲基、乙基、正丙基 、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第二丁基、正戊 基、異戊基、第三戊基、卜甲基戊基、環戊基、卜甲基環 戊基、正己基、異己基、環己基、！·曱基環己基、庚基、 辛基等，飽和雜環基包含四氫σ比喃基、四氫吱喃基等；且 以R7所示之芳基包含苯基、‘甲基苯基、卜萘基、2-萘基 等。 通式[2]所示之官能基之特殊例子係甲氧基羰氧基、 乙氧基幾氧基、異丙氧基躲基、異了氧基純基、第二 丁氧基幾氧基、第三丁氧基幾氧基、$絲基罗炭氧基、第 二戊氧基羰氧基、1-甲基環己氧基羰基甲氧基、卜甲基環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公f ) -----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 16 1277830 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（Η) 戊氧基羰基甲氧基、四氫α比喃氧基羰基甲氧基、四氫。比喃 氧基羰基甲氧基、異丁醯基氧基、特戊醯基氧基、異戊醯 基氧基、環己基羰基氧基、笨醯基氧基、4_甲基苯醯基氧 基、1-萘醯基氧基、2-萘酿基氧基等。 於可被取代之苯基中之取代基（於化學式[24]中之R3 及R4)包含諸如氯、溴、碘及氟之齒素原子；直鏈或分枝 之烷基（較佳係具有1至4個碳原子），諸如，甲基、乙基、 正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、 第二丁基；直鏈或分枝之烷氧基（較佳係具有丨至4個碳原 子），諸如，甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正 丁氧基、異丁氧基、第三丁氧基及第二丁氧基等。 以R3及R4形成之伸甲基包含具有2至5個碳原子者。 於化學式[23]中，以R22表示之酯化羧基可以下述化 學式表示·· -COOR23，其中R23係烴基。以r23表示之烴基 包含，例如，直鏈、分枝或環狀之具有1至6個碳原子之烷 基’或具有7至9個碳原子之含橋鍵之脂環烴基，諸如，異 冰片基及降冰片基。於R23定義中之上述烷基包含甲基、 乙基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、第三 丁基、第二丁基、正戊基、異戊基、第三戊基、^甲基戊 基、環戊基、正己基、異己基、環己基等。 以化學式[24]表示之聚合物之較佳例子包含以下述化 學式表示之聚合物： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------^裳--------訂---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 17 127783〇 A7 B7 五、 發明說明（I5 )
ch2 R2 C-- CH2
[i] 其中k係0或整數；且R1，R2, r3, R4, r5, r6, m&n係如上定 義者，但0.01$(m+k)/(m+n+k) $0.90及〇Sk/(m+n+k) $ 〇·25，及以下述化學式表示之聚合物： R1
CH, R2 C-CH2 ~7~I U COOR23 [25] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中h係0或整數；R1，R2, R3, R4, R5, r23, m&n係如上定義 者，但0.10$(!11+11)/(111+11+11)$0.90及0$11/(111+11+11)$ 0.25。 於化學式[24]、[1]及[25]之聚合物中，以下述化學式 表示之單體單元之响例以莫耳數計較佳係10%或更多，更 佳係10至60%，且最佳係1〇至50%(以總單體單元為基準） R1I —C —ch2 . R3 .〇 —c-OR5 [8] -------------^^裳--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 18 1277830 A7 五、發明說明（l6) 其中R^R'R4及R5係如上定義。 本發明光阻組成物之特徵之一在於使用 述通式表示之聚合物： 或多種以下
其中^^^^^^，咏係如上定義者其具有 含有以下示通式表示之官能基之單體： R3 Ί Ο — C--〇 —- r5 [7] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R3, R4及R5係如上義，該能藉由以酸之作用移除保％ 基產生㈣基之官能基，包含烧氧基燒氧基、_基烧氧基 烷氧基、芳基烷氧基烷氧基、烷氧苯基烷氧基、鹵基 烷氧基-1-苯基烷氧基及芳基烷氧基β1_(4_甲基苯基）氧基 ，即，該單體單元係以下述通式表示： R1 I C-CH2 R3 .0 —·C-* OR5 [8] 護 其中R1，R3，R4及R5係如上定義；產生對基材之良好附著 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 19 1277830
五、發明說明（Π) 性及熱阻性之單體單元係以下通式表 R1 CH= *—
不 [9] ，、中R係如上疋義，且選擇性地用於控制曝露部份上之顯 影速率以使側壁形狀更佳、抑制鄰近作用之影響及改良遮 蔽線性之單體單元，其係以下通式表示： R2
C 鲴__ l_n __ CHg — i22 [26] 其中R2及R22係如上定義。 化學式[26]之單體單元之較佳例子係如下化學式者·· 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R2
其中R2及R6係如上定義 如下化學式者： [10] is)Α4 規格（210 X 297 公釐） 20 ^77830
五、 發明說明（1S) R2 I—广 CH2 — C00R22 其中R2及R22係如上定義者。 本發明中之二或多重聚合物之混合包含，例如 ①二或多種以下述通式表示之聚合物之混合： [28] -{
C-CHj [11] 八中R，R，R3，R4，汉5，及化6係如上定義者，且q及r係個 別為整數’但 〇·25 ;即，二或多種具有不同重量平均分子量及/或不同 單體单元構成比例等之聚合物， ②一或多種以上述化學式[11]表示及一或多種以下述 通式表示之聚合物之混合： ------------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--- 線#. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
其中R1，R' R4及R5係如上定義者；且m及η係個別為整數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 21 l2?783〇
五、發明說明（19 ’但0.10$111/(111+11)$0.90，及 ③二或多種以上述通式[12]表示之聚合物之混合，其 重里平均分子篁及/或其間所含之單體單元等係彼此不同 ④二或多種如下化學式之聚合物之混合： R1 + f — 〇h2 ^ i — 〇η2 -j R1 I c-
oXr5 广CH; COOR23 [27]
OH 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R1，R2, R3, R'尺5及尺23係如上定義者；P，q&r係個別 為整數，但0.10g(p+q)/(p+q+r) g〇.9(^〇.〇5gq/(p+q+r) S 0·25，個別之聚合物係具有不同重量平均分子量及/或 不同單體單元比例等。 ⑤一或多種化學式[11]之聚合物及一或多種化學式 [27]之聚合物之混合， ⑤一或多種化學式[12]之聚合物及一或多種化學式 [27]之聚合物之混合， ⑦一或多種化學式[11]之聚合物，一或多種化學式[12] 及一或多種化學式[27]之聚合物之混合。 於上述中，化學式[11]之聚合物係相對應於其中k係 整數之化學式[1]之聚合物。化學式[12]之聚合物係相對應 於其中k係〇之化學式[1]之聚合物，及其中h係〇之化學式 [25]之聚合物。化學式R7]之聚合物係相對應於其中h係整 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 22 ----------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（20 ) 數之化學式[25]之聚合物。 於化學式[11L [12]及[27]中，化學式[8]之單體單元之 比例以莫耳計較佳係10%或更多，更佳係1〇至6〇%，且最 佳係10至50%(以總單體單元為基準）。 本發明之光阻組成物特徵在於使用二或多種化學式 [24]之聚合物，個別之聚合物具有高解析度、d〇f、優異 之熱阻性、優異之圖形、優異之罩線性、優異之蝕刻阻性 、抑制鄰近作用之影響等，此等係光阻組成物性質之必需 者。 化學式[24]之聚合物之混合之更佳例子係二或多種不 同之化學式[11]之聚合物之混合（例如，具有不同重量平 均分子量及/或不同單體單元構成比例之聚合物，具有不 同單體單元之聚合物等）；一或多種化學式[11]之聚合物 及一或多種化學式[12]之聚合物之混合；不同之化學式[27] 之聚合物之混合（例如，具有不同重量平均分子量及/或不 同單體單元構成比例之聚合物，具有不同單體單元之聚合 物等）；一或多種化學式[27]之聚合物及一或多種化學式[u] 之聚合物之混合；一或多種化學式p7]之聚合物及一或多 種化學式[12 ]之聚合物之混合等。其間，一或多種化學式 [11]之聚合物及一或多種化學式[12]之聚合物之混合；及 一或多種化學式[27]之聚合物及一或多種化學式[u]之聚 合物之混合係特別佳。 化學式[11]之聚合物及化學式[12]之聚合物之混合比 例一般係95: 5至5: 95(以重量計），較佳係95: 5至50: 5〇( 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------•裝--------訂---------線# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 23 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 五、發明說明（21 ) 以重量計）（此係用於線及間隔時之由光線強度差異之觀點） ;更佳係90: 10至50 : 50(以重量計）（此係由熱阻性及形 成圖案之側壁形狀之觀點）。當用於接觸孔洞時，: 至10 : 90(以重量計）之比例係一般，且更佳係5〇 : 5〇至1〇 • 90(以重量計）(其係考量解析度及d〇f)。 當二聚合物由化學式[丨1]，[12]及[27]選出時，使用比 例一般係95 : 5至5 : 95(以重量計）。 化學式[11]之聚合物及化學式[27]之聚合物，或化學 式[12]之聚合物及化學式[27]之聚合物之使用比例一般係 95 : 5至5 : 95(以重量計），更佳係5〇 : 5〇至5 : 95(以重量 計）。 化學式[11]之聚合物、化學式[12]之聚合物及化學式 [27]之聚合物之使用比例一般係9〇 : 5 : 5至5 : 90 : 5(以 重量計），或5 : 90 : 5至5 : 5 : 90(以重量計）。 不同之化學式[1]之聚合物（第一聚合物及第二聚合物） 或不同之化學式[12]之聚合物（第一聚合物及第二聚合物） 或不同之化學式[25]之聚合物（第一聚合物及第二聚合物） 之使用比例一般係95 : 5至5 : 95(以重量計），更佳係50 : 50至5 : 95(以重量計）。 用於本發明光阻組成物之通式[1], [11]，[12]，[24]，[25] 或[27]之聚合物於改良解析能力、隨時間消逝之穩定圖案 尺寸（延遲時間）及於晶元表面之圖案尺寸之均句性等係非 常有利，此係藉由顯著之更易移除以通式[7]表示之官能 基内之保護基而產生羥基而造成（其係相較於已知之諸如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 24 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 Β7
丁氧基叛氧基、四氫基响喃氧基、第三丁氧基 丁氧基羰基甲氧基及羧酸第三丁基酯基之官能基） 再者，藉由併入適當含量之通式[26]所示之單體單; (更八體地’化學式[10], [28]等）於聚合物内，顯像時之$ 像速率可被㈣，因此，侧壁粗祕（其於含有作為官| 基之縮搭基之聚合物中普遍觀察到）可被改良，鄰近作戶 =料可被抑制，且草線性可被改良。再者，藉由併心 皁體單元’聚合物中之通式[8]所示之單體單元之量可承 降低，造成整個聚合物之熱阻性之改良。 通式[8]所示之單體單元包含衍生自對或間·之經基与 乙烯衍生物及對-或間-之羥基·α-甲基苯乙烯衍生物：， 其特別例示者係對.或間.之Μ氧基小甲基乙氧基苯^ 、對:或間之“苯甲基氧+甲基乙氧基苯乙稀、對_或間 之1-苯甲基氧乙氧基苯乙烯、對·或間乙氧基 苯乙稀、對-或間4甲氧基乙氧基苯乙烯、對_或間_之！ ==乙乳基苯乙稀、對-或間_之〗_異丁氧基乙氧基苯 乙細、對-或間-之…山巧基乙氧幻小歹基乙氧 乙婦、對«.之叫^基乙㈣乙氧基苯乙^對 -或間_之叩'氯乙氧基）乙氧基苯乙婦、對_或間_之卜(2_乙 基{基氧）乙氧基苯乙稀、對-或間-之1·乙氧基_4基乙 =乙:、對-或間_之〗-正丙氧基乙氧基苯乙稀、或 二之正丙氧基乙氧基苯乙婦、對_或間七砰 :::…乙婦、對-或間·之“乙氧基丙氧基苯乙婦、 對或間-之Μ氧基丁氧基苯乙婦、對_或間_之4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4 χ 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------訂---------線· 經濟部智慧財屋I費^
I 25 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 127783〇 五、發明說明（23) %己基氧苯乙烯、對-或間_之丨_乙氧基環己基曱氧基苯 乙烯、對-或間-之1-環己基氧乙氧基苯乙烯、對-或間_之（ 乙氧基苯甲基）-氧苯乙烯、對_或間_之[^_乙氧基_(4_ 甲基苯甲基）]氧苯乙烯、對_或間_之4-乙氧基_(4_曱氧基 笨甲基）]氧笨乙烯、對-或間-之[α _乙氧基兴4-溴苯甲基）] 氧苯乙烯、對-或間-之丨_乙氧基_2•甲基丙氧基苯乙烯等及 具有與上述對-或間-之羥基苯乙烯衍生物相同取代基之對 -或間-之羥基·α_甲基·苯乙烯衍生物等。 通式[9]所示之單體單元之特殊例子係衍生自對_或間- 之乙烯基酚、對-或間-之羥基〒基苯乙烯等之單體單 元。 以通式[10]所示之單體單元包含衍生自苯乙烯、對_ 或間之甲基-苯乙烯、對-或間·之第三丁基苯乙烯、對-或 間-之甲氧基苯乙烯、對_或間-之乙氧基苯乙烯、對-或間_ 之異丙氧基苯乙烯、對-或間-之第三丁氧基苯乙烯、對_ 或間-之環己氧基苯乙烯、對-或間-之^甲基環己氧基苯乙 烯、對-或間·之1-甲基環戊基氧苯乙烯、對-或間·之四氫 比南基氧苯乙烯、對-或間·之四氫。夫喃基氧苯乙烯、對_ 或間-之縮醛氧苯乙烯、對-或間-之異丁醯基氧苯乙烯、 對-或間-之特戊醯基氧苯乙烯、對_或間_之環己基羰基氧 笨乙烯、對-或間-之笨甲基氧苯乙烯、對-或間-之（4_甲基 笨甲基）氧笨乙烯、對-或間-之1-萘醯基氧苯乙烯、對-或 間-之2_萘醯基氧苯乙烯、對_或間_之甲氧基縣氧苯乙婦 對或間-之乙氧基幾基氧苯乙烯、對_或間_之異丙氧基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 26 - 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（24 ) 羰基氧苯乙烯、對-或間-之異丁氧基羰基氧苯乙烯、對-或間-之第二丁氧基羰基氧苯乙烯、對_或間-之第三丁氧 基羰基氧苯乙烯、對-或間_之異戊氧基羰基氧苯乙烯、對 -或間-之第三戊氧基羰基氧苯乙烯、對-或間-之異丁氧基 羰基氧苯乙烯、1-甲基環戊基之對-或間-之乙烯基苯氧基 乙酯、1-甲基環己基之對·或間_之乙烯基苯氧基乙酯、四 氫口比喃基之對-或間-之乙烯基苯氧基乙酯、第三丁基之對 -或間-之乙烯基苯氧基乙酯等及具有與上述苯乙烯衍生物 相同取代基之α-甲基苯乙烯衍生物。 化學式R8]之單體單元包含衍生自丙烯酸甲酯、丙烯 酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸第三丁酯、丙烯酸環己酯 、丙烯酸異冰片酯、丙烯酸降冰片基酯、甲基丙烯酸甲酯 、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸第三 丁酯、甲基丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸異冰片酯、甲基丙 烯酸降冰片基酯等。 於化學式[24]，[1]或[25]之聚合物中，化學式[24]之聚 合物中之化學式[8]之單體單元及化學式06]之單體單元之 比例，化學式[1]之聚合物中之化學式[8]之單體單元及化 學式[1〇]之單體單元之比例，或化學式[25]之聚合物中之 化學式[8]之單體單元及化學式[28]之單體單元之比例一般 係以莫耳計為10至90%(以個別聚合物中之總單體單元計） 。由使本發明光阻組成物之解析度、熱阻性、對基材之附 著性及罩之線性顯著良好之觀點，較佳者係2〇至5〇%(以 莫耳計）之範圍。 本紙張尺度適心_家彳—⑽χ 297H )-------- -27 - --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、 發明說明（25) 通式[24]，[1]或[25]所示之聚合物中之通式[26]，[10] 或[28]所示之單體單元之比例一般係個別為〇至25莫耳％。 由改良側壁粗輪性及罩線性及降低鄰近作用之影響及抑制 解析能力降低之觀點，較佳者係〇至2〇莫耳％之範圍。 再者’於使用本發明之通式[u]所示之聚合物及通式 [12]所不之聚合物之混合之情況中，通式[u]所示之聚合 物内所含之上述通式[8]所示之單體單元及通式[1〇]所示之 單體單元之比例一般係總量之10至90莫耳％，且上述範圍 内之任何比例於本發明之光阻組成物中係可使用的。由顯 著改良解析能力、熱阻性、對基材之附著性及罩線性之觀 點，較佳係20至50莫耳％之範圍。 於通式[11]或[27]所示之聚合物内所含之通式[10]或 [28]所示之單體單元之比例一般係個別為5至25莫耳％，且 由改良侧壁粗糙性及罩線性及降低鄰近作用之影響及抑制 解析能力之降低之觀點，較佳係1〇至2〇莫耳％之範圍。 於通式[12]所示之聚合物内所含之上述通式[8]所示之 單體單元之比例一般係10至90莫耳％，且由改良解析能力 、抑制延遲時間之影響及改良對基材之附著性之觀點，較 佳係20至50莫耳％之範圍。 二種化學式[1 ]之聚合物之混合之較佳例子包含⑴第 一聚合物，其中R1及R2係個別為氫原子或甲基；R3&R4之 任一者係氫原子，或具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環 狀之烷基，且R3及R4之另一者係具有丨至6個碳原子之直鏈 、分枝或環狀之烷基；R5係具有丨至⑺個碳原子之直鏈、 --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 28 1277830 A7 B7
Ο (CHA— C —- χ r7
O
[2] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 八中R係具有1至8個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烧基 芳基飽和雜環氧基；χ係直接鍵結或氧原子；/係⑷之. 數；m及η係個別為整數；係整數 (m+k)/(m+n+k)以·9〇 及 ek/(m+n+k)以 25 ,及⑼ 二聚合物’其中_;祝R2, R3, r4, r5,他係⑷ ' 聚合物相同。 二種化學式Π]之聚合物之混合之更較例子包含⑼ 一聚合物’其中Rl，咖係氫原子；R4係具有⑴個， 原子之直鏈、分枝或環狀燒基；R5係具有㈤個碳原子戈 之直鏈、分枝«狀絲；R6係具有3至8個碳原子之之』 鏈、分枝或環狀院氧基；四氫吨喃基氧基；四氫吹喃基孝 基；乙酿基氧基，特戊醯基氧基、苯醯基氧基、第三丁寧 基幾基氧基，或第三丁氧基幾基Μ氧基；係個及 為整數；k係整數，但 〇.〇1s(m+k)/(m+n+k)g〇9〇&(^ —0.25’及(ii)第二聚合物，其中_〇;且㈣ R3，R4，R5，m及η係與第一聚合物相同。 二種化學式路[1]之聚合物之混合物之最佳例子包含(j 第一聚合物，其中Rl，R2及R3係氫原子；R4係具有1至6個 反原子之之直鏈、分枝或環狀烧基；R5係具有1至6個碳
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--------tr---------签 請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1277830 五、發明說明（27) 子之直鏈、分枝或環狀烷基；R6係異丙氧基、第三丁氧基 、四氫"比喃基氧基、四氫呋喃基氧基、乙醯基氧基，特戊 醯基氧基、笨醯基氧基、第三丁氧基羰基氧基，或第三丁 氧基k基甲基氧基；m&n係個別為整數；k係整數，但〇1〇 $(m+k)/(m+n+k) $〇·9〇 及 〇$k/(m+n+k) $0.25，及（ϋ) 第二聚合物，其中以系》;且R1，R2, R3, R4, R5, m及η係與 第一聚合物相同。 至少一化學式[1]之聚合物及至少一化學式[25]之聚合 物之混合之較佳例子包含⑴至少一化學式[丨]之聚合物， 其中R1及R2係個別為氫原子或氫基；R3及R4之任一者係氫 原子，具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀烷基；及尺3 及R4之另一者係氫原子，具有1至6個碳原子之直鏈、分枝 或環狀烷基；R5係具有1至10個碳原子之直鏈、分枝或環 狀烷基或芳烷基；R6係具有1至8個碳原子之直鏈、分枝或 環狀烧氧基、飽和雜環氧基或如下化學式之基： 〇 (CHA— C — X- II [2] ο 其中R7係具有1至8個碳原子之直鏈、分枝或環狀烷基、芳 基或飽和雜環基；X係直接鍵或氧原子；丨係〇或整數；m 及η係個別為整數；k係〇或整數，但〇 1〇g(m+k)/(m+n+k) $〇·90及 0$k/(m+n+k) $0.25，及（ii)至少一化學式[25] 之聚合物，其中R1及R2係個別為氫原子或甲基；r3及…之 任一者係氫原子或具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀 烷基，且R3及R4之另一者係具有丨至6個碳原子之直鏈、分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------- I----I I ^---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 30 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（28) 枝或環狀烷基；R5係具有1至10個碳原子之直鏈、分枝或 環狀燒基或芳烧基；R23係具有1至6個碳原子之直鏈、分 枝或％狀烧基’或具有7至9個碳原子之含有橋鍵之脂環烴 基；m及η係個別為整數；h係0或整數，但〇1〇 ^ (m+h)/(m+n+h)S 0.90及0$ h/(m+n+h)S 0.25。 至少一化學式[1]之聚合物及至少一化學式[25]之聚合 物之混合之更佳例子包含⑴至少一化學式[丨]之聚合物， 其中R、R及R個氫原子，R4係具有1至6個碳原子之直鍵 、分枝或環狀烷基；R5係具有1至6個碳原子之直鏈、分枝 或環狀烷基或芳烷基；R6係具有3至8個碳原子之直鏈或環 狀烷氧基、四氫处喃基氧基、四氫呋喃氧基、乙醯基氧基 ’特戊醯基氧基、苯醯基氧基、第三丁氧基羰基氧基，或 第二丁氧基^基甲基氧基；m、n及k係個別為整數，但〇. 1 〇 $(111+1〇/(^+11+1〇$〇.90及〇$]^/(111+11+1〇^0.25，及（^)至 少一化學式[25]之聚合物，其中Ri、R2&R 3係氫原子；R4 係具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷基；R5係具 有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷基；R23係具有ι 至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷基，或具有7至9個 碳原子之含有橋鍵之脂環烴基；m、個別為整數； ’但 〇.l〇S(m+h)/(m+n+h) $〇9〇 及 〇$h/(m+n+h) $〇25 〇 至少一化學式[1 ]之聚合物及至少一化學式[25]之聚合 物之混合之最佳例子包含⑴至少一化學式[丨]之聚合物， 其中r1 m3個氫原子；R4係具有⑴個碳原子之直鍵 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（29 刀枝或％狀之烧基，R5係具有1至6個碳原子之直鏈、分 枝或環狀之烷基；R6係異丙氧基、第三月氧基、四氫吡喃 基氧基、四氫呋喃氧基、乙醯基氧基，特戊醯基氧基、苯 酿基氧基或第三丁氧基羰基氧基；m、n&k係個別為整數 H!0.10S(m+k)/(m+n+k)S0.90A0$k/(m+n+k)g0.25 ’及（ii)至少一化學式[25]之聚合物，其中ri、R2及r 3係 氫原子；R4係具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷 基，R5係具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷基； R23係甲基、第三丁基、環己基、異冰片基或降冰片基； m、η及 h 係個別為整數；但 〇·10$ (m+h)/(m+n+h) ^ 〇 9〇 及〇$h/(m+n+h) $0.25。 二種化學式[25]之聚合物之混合之較佳例子包含⑴第 ♦ 5物，其中R及R係個別為氫原子或氫基；r3及Μ之 任一者係氫原子，具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀 烷基；及R3及R4之另一者係具有個碳原子之直鏈、分 枝或環狀之烷基；R5係具有1至10個碳原子之直鏈、分枝 或環狀之烷基或芳烷基；R23係具有丨至6個碳原子之直鏈 刀枝或環狀之院基或含有7至9個碳原子之含橋鍵之脂環 烴基；m、n及k係個別為整數；但$ 〇·90及0$h/(m+n+h) $0.25，及（ii)第二聚合物，其中…系 0 ; R1，R2 ’ R3，R4，R5，n^n係與第一聚合物相同。 二種化學式[25]之聚合物之混合之更佳例子包含⑴第 一聚合物，其中R1、R2及R3係氫原子；R4之任一者係氫原 子，具有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀烷基；R5係具 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 32 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3〇) 有1至6個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷基；R23係具有1 至6個奴原子之直鏈、分枝或環狀之院基或含有7至9個碳 原子之含橋鍵之脂環烴基；m、η及h係個別為整數；但0.10 S(m+h)/(m+n+h) S0.90 及 〇$h/(m+n+h) $0.25，及（ii) 第二聚合物，其中h係0 ; R1，R2，r3，，r5，m及η係與 第一聚合物相同。 二種化學式[2 5 ]之聚合物之混合之最佳例子包含⑴第 一聚合物，其中Ri、R2&R3係氫原子；R4係具有1至6個碳 原子之直鏈、分枝或環狀烷基；R5係具有1至6個碳原子之 直鏈、分枝或環狀之烷基或芳烷基；R23係甲基、第三丁 基、環己基、異冰片基或降冰片基；m、^及!!係個別為整 數；但0.10$(m+h)/(m+n+h) $0.90 及0Sh/(m+n+h) $ 〇·25，及（ii)第二聚合物，其中 h係 〇 ; Rl，R2，r3，r4，r5 ’ m及n係與第一聚合物相同。 當二種聚合物自化學式[1]選出時，第一聚合物對第 二聚合物之比例較佳係95 : 5至5 : 95(以重量計）。 當二種聚合物自化學式[1]之聚合物及化學式p5]之聚 合物選出時，聚合物[丨]對聚合物[25]之比例較佳係95 : 5 至5 : 95(以重量計）。 當二種聚合物自化學式[25]選出時，第一聚合物對第 二聚合物之比例較佳係95 : 5至5 : 95(以重量計）。 通式[24]，[1]及[25]所示之聚合物之平均分子量不被 特別限制，只要可用作為光阻組成物，且較佳範圍一般係 3,000至50,000，更佳係5,〇〇〇至25,000(其係以使用聚笨乙 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 33
1277830 五、發明說明（31 ) 烯作為標準物之GPC方法測量之重量平均分子量（Mw))。 再者，以通式[24]，[1]或[25]所示之聚合物之重量平均分 子1對其數平均分子量之比例（分散率：Mw/Mn)較佳係1.〇 至2.5。特別地，當化學式[幻之聚合物之分散性更佳係1〇 至1 ·5時’顯影時之對顯影溶液之溶出速率變得均勻，造 成側壁形狀良好及熱阻性高。 通式[11]所示之三元聚合物之特殊例子係： 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 笨乙烯）， Κ對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙嫦/對_經基苯乙烯/ 對-曱基苯乙稀）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/ 對-甲氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/ 對-1-甲基環己基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 對-第三丁氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙婦/對基苯乙稀/ 第三丁基-對-乙烯基苯氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基_1_曱基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 對-乙氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 34 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（32 ) /1-甲基環己基-對-乙烯基苯氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 對-四氫吨喃基氧基苯乙烯）， 聚（間_1·甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 間-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-2-甲基丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/ 對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-1-正丙基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙 烯/對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-苯甲基氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/苯乙烯）， 聚（對-1·苯甲基氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對··羥基苯 乙烯/對-甲基苯乙烯）， 聚（對-1-苯甲基氧基-1-甲基乙氧基苯乙稀/對-經基苯 乙烯/對-異丙氧基苯乙烯）， 聚（對-1-苯甲基氧基-1-甲基乙氧基苯乙婦/對-經基苯 乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-苯甲基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙稀/對_ 異丙氧基苯乙稀）， 聚（對-1-苯甲基氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙婦/對_ 第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-苯甲基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙婦/對一 第三丁氧基羰基氧苯乙烯）， t(對-1-乙氧基乙氧基本乙細/對-經基苯乙婦/苯乙婦） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 35 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（33) 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-甲基 本乙稀）’ 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_異丙 基苯乙烯）， 聚（對_1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-甲氧 基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對-乙氧 基苯乙婦）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異丙 氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲 基環戊基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-環己 基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲 基環己基氧基苯乙烯）， 聚（對_1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對-甲氧 基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙氧 基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異丙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 36 -------------------訂---------線雖 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（34 ) 氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異丁 氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對_1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異戊 基氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對-乙醯 基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-特戊 醯基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-環己 基氧羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對-苯醯 基氧基苯乙稀）’ 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四氫 吱喃基氧基苯乙稀）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-萘 醯基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四氫 p比喃基氧基苯乙烯）’ 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/1-甲基 壞己基-對-乙細基苯氧基乙S旨）^ 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/第三丁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 37 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（35) 基-對-乙稀基苯氧基乙自旨）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/四氫，比 喃基-對-乙烯基苯氧基乙酯）， 聚（間-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯/間_第三 丁氧基羰基苯乙烯）， 聚（間-1_乙氧基乙氧基苯乙烯/間_羥基苯乙烯/間_第三 丁氧基苯乙烯）， 聚（對_1_甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/苯乙烯） 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-甲基 苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/間_甲基 苯乙婦）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基笨乙婦/對_羥基苯乙烯/對萘 醯基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_第三 丁基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對_甲氧 基苯乙婦）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_乙氧 基苯乙稀）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對·異丙 氧基苯乙烯）， " 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對# 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 38 1277830 A7 五、發明說明（36 ) 丁氧基苯乙烯）， 聚（對·1·甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙 基環己基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/四 喃基-對-1-乙烯基苯氧基乙酯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 吨喃基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-基羰基氧基苯乙烯）， 四氳 乙氧 聚（對-1_甲氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對_第二 丁氧基幾基氧基苯乙婦）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_異丁 氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1_甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/第 丁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 基·對-乙婦基苯氧基乙s旨）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙稀甲吴 環己基-對-乙烯基苯氧基乙酯）， i 聚（間-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯/間_第三 丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯/對-甲 氧基苯乙烯）， 聚（對-1，1-二甲基乙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯/間_甲 氧基苯乙烯）， 聚（對-1，1-二甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第 . --------^---------線赢 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 39 1277830
五、發明說明（3?) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-正丙氧基乙氧基笨乙烯/對_羥基苯乙烯/對、第 三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基-正丙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對_ 異丙氧基苯乙烯）， ~ 聚（對_1_乙氧基·正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/姆_ 第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基-正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1·乙氧基··正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_ 特戊醯基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基-正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_ 四氫"比喃基氧基苯乙烯）， 聚（對_1_乙氧基-正丙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對· 第三丁氧基羰基氧基苯乙稀）， 聚（對-1-乙氧基·正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 甲基苯醯基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基_正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 第三丁氧基羰基氧基苯乙婦）， 聚（對-1_乙氧基-正丁氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_ 第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對·1·環己基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/笨 乙烯）， 聚（對-1-環己基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 本紙張尺度巾_ @家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' ------- -------訂---------線 Γ%先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（38 ) 第三丁氧基羰基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-環己基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-環己基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四氫σ比喃基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-環己基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-特戊基氧基苯乙烯）， 聚（對-1_環己基氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-異丙基氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基環己基氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基環己基氧基甲氧基苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）， 聚[對[α -乙氧基-(對-甲基苯甲基）]氧基苯乙烯/對·羥 基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯]， 聚[對[α -乙氧基-(對-溴苯甲基）]氧基苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯]等。 通示[12]所示之二元聚合物之特殊例子係： 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙婦/對-¾基-苯乙婦） 聚（對-1-苯甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙 烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 41 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 Α7 Β7 五、發明說明（39) 聚（對-1-正丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚（對-l，l-二甲基乙氧基_丨-甲基乙氧基苯乙烯/對_羥 基苯乙埽）， 聚（對-1-甲氧基-正丙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基-正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）， 聚（對-1-環己基氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-1，1-二甲基乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙 烯）， 聚（對-1-乙氧基環己基甲氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯） 聚[對-(α _乙氧基苯甲基）氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯] 聚[對-(α -乙氧基-(對-甲基苯甲基）]氧基苯乙烯/對—羥 基苯乙烯等。 化學式[27]之三元聚合物之較佳例子包含： 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/曱基丙 稀酸甲S旨）， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚（對-1-乙氧基丙乳基苯乙稀/對-經基苯乙烯/曱基丙 烯酸乙酯）， (對-1-乙氧基丙氧基本乙婦/對-經基苯乙烯/曱基丙 烯酸第三丁酯）， 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙婦/對-經基苯乙烯/曱基丙 烯酸環己酯）， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 42 1277830 A7 B7 五、發明說明（40 ) 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/甲基丙 烯酸異冰片酯）， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/甲基丙 烯酸降冰片基酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 甲酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 第三丁酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯酸 環己酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/丙烯酸 異冰片酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/甲基丙 烯酸甲醋）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/甲基丙 烯酸第三丁酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/甲基丙 浠酸異冰片醋）， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 甲酯）， 聚（對-1·乙氧基丙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/丙烯酸 第三丁酯）， 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 環己酯）， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公爱） 43
五、 I277830 發明說明（μ) 聚（對-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 異冰片酯）， 聚（對乙氧基丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 降冰片基酯）， 聚（對-1·異丁氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/丙烯 酸甲酯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯 酸第三丁酯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯 酸環己酯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯 酸異冰片酯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基 丙烯酸甲酯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基 丙烯酸環己酯）， 聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯 酸甲酯）， 聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯 酸第三丁酯）， 聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯 酸環己酯）， 聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯 酸異冰片S旨）， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------^ —------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 I277830 A7 B7
聚（對-1-¼己基氧乙氧基苯乙婦/對-經基苯乙婦/甲其 丙烯酸第三丁酯）， 土 f 裒己基氧乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基 丙稀酸環己醋）， Λ 裒己基氧乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙婦/甲基 丙烯酸異冰片酯）等。 化學式[24]之聚合物中之通式π]所示之聚合物可藉由 ，例如，下述方法a)至d)製得。 a)方法製備其中1^0且R6係氫原子、烧基或直鏈 烷氧基之通式[1]之聚合物之方法） --------------------訂 i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 下述通式所示之單體 R1 9
[13] 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 製 其中R1係如上定義者，及選擇性含量之下述通式之單體 R2 C =CH.
[14] 其中R2及R6係如上定義者，係於5〇至i2〇°c之氮或氬氣流 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 45 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（43 下之於有機溶劑（諸如，甲苯、L4—二噁唑、丨，2_二甲氧基 乙炫、四氫呋喃、異丙醇、2·曱氧基丙醇、u•二噁茂烷 、乙酸乙酯及甲基乙基酮）中之自由基聚合反應起始劑（例 如’偶氮型聚合反應起始劑，諸如，2,2，-偶氮雙異丁醯 基腈、2,2’-偶氮雙（2-甲基丁醯基腈）、2,2、偶氮雙（2,4-二 甲基戊酿基腈）、2,2，-偶氮雙（甲基-2-甲基丙醯基腈）、2,2，-偶氮雙（乙基-2-甲基丙醯基腈）及2,2，-偶氮雙（甲基-2-甲基 丁醋）；過氧化物型之聚合反應起始劑，諸如，苯醯基過 氧化物、月桂醯基過氧化物、雙（4_第三丁基環己基）過氧 二羧酸酯、二第三丁基過氧化物、第三丁基過氧_2_乙基 己酯、第三丁基過氧苯甲酸酯及丨，^雙（第三丁基過氧 3,3,5-三曱基環己烷）存在中以傳統之聚合物製備方法進行 1至10小時。 作為聚合反應起始劑，諸如2,2，-偶氮雙（甲基_2_甲基 丙酯）、2,2’-偶氮（乙基-2-甲基丙酯）及2,2、偶氮（甲基甲 基丁酯）之非腈型起始劑係較佳，因其顯現高可溶性且因 而能輕易賦予低分子量之聚合物及由安全及毒性觀點而令 係有利的。 再者’為獲得具有窄分子量分佈之聚合物，較佳係於 _78至25°C之氮或氬氣流下之脫水有機溶劑（乙基醚、丨，2_ 二甲氧基乙烧、四氫吹喃、甲基乙基酮、1，3_二σ惡茂燒、 乙酸乙及甲本）中之催化劑（諸如，正丁基鐘、第二丁其鍵 、奈基内、第二丁基鋰、枯基鉀及萘基鉀）存在中進行险 離子聚合反應方法1至10小時。聚合反應後，用以獲得二 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 五、發明說明（44 ) 合物之傳統後處理以分離下述通式之共聚物： R1 r2 CH, k
O-C-CH3 CH, [15] 其中R1，R2, R6及k係如上定義者，且e係整數，但 e/(k+e)$ 0.99。 ^ 然後，於30至11(TC之有機溶劑（諸如，四氫呋喃、 酮、甲醇、乙醇、異丙醇、正丙醇、正丁醇、第二丁醇 第三丁醇、1，4·二。惡唾及1>3_二喔茂烧）中使共聚物與適 之酸[例如，無機酸（諸如，硫酸、磷酸、氫氯酸及氫填酸H 、路易士酸、有機酸（諸如，對-甲苯續酸、1〇•棒腦續1 、馬綸酸及草酸）係較佳]反應丨至汕小時，藉此，官能基（ 第二丁基）被完全移除。於反應後，用以獲得聚合物之傳 統後處理被進行以分離下述通式之羥基苯乙烯共聚物： 丙 當 ch2 + R2 I C— CHo --------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R1 I C 一
[16}
OH 其中R，R，R，e及k係如上定義者。然後， 當含量之下述通式之乙烯基醚化合物反應： 此共聚物與適 47 [17]1277830 A7 /R： 20 五、發明說明（45 ) R4
R5——Ο— C=C 、R21 其中R4及R5係如上定義者；R2G係氫原子、具有⑴個碳 原子之直鏈或分枝线基 '具有⑴個碳原子之直鍵或分 枝之i烧基或可被取代之苯基；R21係氯料或具有⑴ 個碳原子之烧基nR21可—起形成伸甲基鍵，反應係 於10至100。。之適當催化劑(例如’硫酸、氫氯酸、磷酸、 對-甲苯磺酸、10-樟腦磺酸、氯磺酸.吡啶鹽、吡啶硫酸 鹽、吨啶對-甲苯磺酸鹽等）存在中之有機溶劑（諸如，四 氫呋喃、丙酮、甲基乙基酮、丨，4_二噁唑、u-二噁茂烷 、二氯甲烷、1，2-二甲氧基甲烷、乙基醚、乙酸乙）内2 行1至30小時，藉此，化學式[7]之適當含量之官能基被化 學性引入。 另外，通式[16]所示之共聚物可與適當量之下述化學 式之化合物反應： R3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------線▲
r5 — 〇 — C — Y 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R4 [18] 其中R3，R4及R5係如上定義者；且Y係鹵素原子，其反 係於-10至100°C時之適當去鹵素化試劑（例如，氨、二 基胺、三甲基胺、二乙基胺、三乙基胺、σ比咬、。底咬、 啉、0 -甲基吼啶等）存在中之有機溶劑（四氫吱喃、 丙 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1277830 Α7 ----- - __Β7 _ 五、發明說明（46 ) 、甲基乙基酮、1，4-二噁唑、;ι，3_二噁茂烷、二氣甲烷、以 一甲氧基乙烷、乙基醚、Ν，Ν_:甲基甲醯胺、Ν，Ν_二甲 基乙醯胺及乙酸乙酯）中進行丨至％小時，藉此，適當含量 之化學式[7]之官能基被化學式引入。於反應後，後處理 依據用以獲得聚合物之傳統方法進行，以分離上述通式[丨] 所示之聚合物。 b)方法-2(用以製備其中]^关〇且116係第三丁氧基之通 式[1]之聚合物 如上通式[13]所示之單體以相同與方法-1之方式聚合 ’其後藉由用以獲得聚合物之傳統方式進行後處理以分離 以下述通式所示之均聚物：
其中R係如上定義者；且d係整數。然後，此均聚物於30 至100 C日守於有機溶劑（四氫吱喃、丙艱j、1，4_二σ惡唾、1，3_ 二噁茂烷、甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、第二 丁醇及第三丁醇）中與適當酸[例如，無機酸（諸如，硫酸 、麟酸、氫氣酸及氫溴酸）、路易士酸、有機酸（諸如，對 -甲本、、1 〇 ·棒腦續酸、馬論酸及草酸）]反應1至1 〇小時 ’以依所欲及部份移除官能基（第三丁基）。於反應後，後 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 49 t | L ' --------------------訂---------線 ----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 五、發明說明（47 處理藉由用以獲得聚合物之傳統方式進行，以分離下述通 式之羥基苯乙烯共聚物： ,R1 R1 c — ch2 c — ch2 -
OH
[20]
O-C ch3 ;-ch3 ch3 其中R1及k係如上定義者；且c=m+n。然後，上述通式 所示之官能基藉由相同於方法<者之方式引入，其後藉由 用以獲得聚合物之傳統方式進行後處理以分離如上述通式 [1]所示之聚合物。 C)方法-3(用以製備其中k=0之化通式[丨]之聚合物之 法） 通式[13]或下述通式所示之單體： 方 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣
ch2 --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) [21] Ό—CH3 0 其中R1係如上定義者，個別以相似於方法_丨者聚合反應 其後以用以獲得聚合反應之傳統方式進行後處理，以分 如上述通式[19 ]或下述通示所示之均聚物·· 離 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 50 A7 B7
R1
1277830 五、發明說明（48 ) [22] 其中r1及d係如上定義者n此均聚物接受於1〇至7〇 。。時之於適當鹼[例如，氫氧化納、氫氧化鉀、銨水溶液 、經基胺、各種水性之四絲銨氫氧化物H各種三& 基胺、各種三芳烷基胺等]或適當之酸[例如，無機酸(諸 如，硫酸、磷酸、氫氯酸及氫溴酸）、路易士酸、有機酸( 諸如，對-甲苯磺酸、10-樟腦磺酸、馬綸酸及草酸）]之存 在中之氮氣流下之溶劑（四氫呋喃、丨，‘二噁唑、13-二噁 茂烷、乙酸乙酯、曱醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇 、第二丁醇、第三丁醇及水）中（若需要）之反應，進行3C 分鐘至10小時，藉此，官能基（第三丁基或乙醯基）被完全 移除。於反應後，後處理藉由用以獲得聚合物之傳統方式 進行以分離下述通式之羥基苯乙稀聚合物： --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
12 [23] 其中R1及d係如上定義者。上述通式[7]所示之官 能基 51 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 1277830
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明說明（49 ) 精由相同於方法_丨之相同方式引入均聚物，其後，以用以 獲得聚合物之傳統方式進行後處理，以分離如上通式[1] 所示之聚合物。 d)方法_4(用以製備其且R6係分枝或環狀烷氧 基、飽和雜環氧基或通式[2]之基之通式[1]所示之聚合物 之方法）。 上述方法-3所獲得之均聚物（以通式[23]所示者）於1〇 至100°C時之適當鹼（例如，氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉 反酉夂鉀一乙基胺、N-甲基-2- σ比洛烧嗣、σ底咬、各種 四烷基鋁氫氧化物水溶液、各種三烷基胺、各種三芳基烷 基胺等）存在中與適當含量之對於羥基之保護劑（諸如，二 烷基二碳酸鹽（諸如，二第三丁基二碳酸鹽）、氯烷基碳酸 鹽（諸如’氣甲基碳酸鹽）、2,3-二氫呋喃、3,4-二氫-2Η-吡 喃、第三丁基單氯乙酯、^甲基環己基單氣乙酯、異丁歸 、二燒基磺酸、烷基碘化物及1-甲基環己基氣化物）於有 機溶劑（諸如，四氫吱喃、丨，‘二嗯嗤、乙酸乙酯、甲基 乙基晴、丙酮、二氯甲烷、込弘二噁茂烷、甲醇、乙醇、 正丙醇、異丙醇、正丁醇、第二丁醇、第三丁醇及二氯甲 烧）内反應，其後藉由用以獲得聚合物之傳統方式後處理 產生如上通式[16]之共聚物。 再者，以上述通式[7]所示之官能基藉由相同於方法_ 1者之方法引入共聚物，其後以用以獲得聚合物之傳統方 式進行後處理，以分離上述通式[1]所示之聚合物。 化學式[25]之聚合物可以相同於上述之用以製備化風 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線_ 1277830 A7 B7 五、發明說明（5〇 式[1]之聚合物之相同方式合成，但係使用下述化學式之 單體： R2 I [30] c==ch2COOR22 其中R2及R22係如上定義者，以替代化學式[14]之單體。 於本發明之光阻組成物中，除本發明之聚合物外，一 或多種以下列通式[3]所示之化合物及一或多種之以下列 通式[4]或[6]所示之化合物被作為能藉由輻射產生酸之光 敏性化合物（其後簡稱為，，光酸產生劑，，)地以額外組份加入 ，且此等組份一般係以溶於溶劑中之形式被置入。 Ο Ο R8-S-C — S —R9I II II 〇 N2 0 其中R8及R9係如上定義者， [3] --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
其中R10，Rn，R12及R13係如上定義者， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 53 Ϊ277830
五、發明說明（51 )
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 通式[3]中之以R8所示之具有3至8個碳原子之分枝或 環狀烷基包含異丙基、環丙基、異丁基、第二丁基、第三 丁基、異戊基、第三戊基、環戊基、甲基環戊基、異己 基、環己基、1·甲基環己基、異庚基、第三辛基等。 通式[3]中之以R9所示之具有1至8個碳原子之分枝、 刀枝或％狀烧基包含甲基、乙基、正丙基、異丙基、環丙 基、正丁基、異丁基、第三丁基、第二丁基、正戊基、異 戊基、第三戊基、1-甲基戊基、環戊基、正己基、異己基 、環己基、1-甲基環己基、正庚基、異庚基、辛基、第三 辛基等。 通式[3]中之R9所示之芳烷基包含苯甲基、苯乙基、 苯基丙基、甲基苯甲基、甲基苯乙基、乙基苯甲基等。 通式[4]中之以RiG，Rii及Ri2所示之具有1至6個碳原子 之直鏈、分枝或環狀烧基包含甲基、乙基、正丙基、異丙 基、環丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第二丁基、正 戊基、異戊基、第三戊基、1-甲基戊基、環戊基、^甲基 環戊基、正己基、異己基、環己基等。 以R1G，R11及R12所示之具有1至6個碳原子之直鏈、分 枝或環狀烷氧基包含甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧 基、環丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第三丁氧基、第二 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 54 ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 ---------B7__—_______ 五、發明說明（52 ) 丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、環戊氧基、丨_甲基戊氧美 、1-甲基環戊氧基、正己氧基、異己氧基、環己氧基等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 通式[5]中之以R16所示之具有丨至12個碳原子之直鍵 、分枝或環狀烷基包含甲基、乙基、正丙基、異丙基、環 丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第二丁基、正戊基、 異戊基、環戊基、1-甲基戊基、1·甲基環戊基、正己基、 異己基、環己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一院基、 十二烷基等，且具有1至4個碳原子之直鏈或分枝之烷氧基 包含甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、 異丁氧基、第三丁氧基、第二丁氧基等。 通式[4]中之以Ri〇至RU所示及通式[5]中之以尺“至以“ 所示之鹵素原子包含氯、溴、碘及氟。 通式[6]中之以RU及RU所示之具有1至4個碳原子之直 鏈或分枝之烷基包含甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁 基、異丁基、第三丁基、第二丁基等，且具有丨至4個碳原 子之直鏈或分枝之烷氧基包含甲氧基、乙氧基、正丙氧基 、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第三丁氧基、第二丁 氧基等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於以具有1至12個碳原子之直鏈、分枝或環狀之烷基 取代之苯基中（其係以通式[6]中之Ri9所示），該烷基包含 甲基、乙基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基 、第二丁基、第二丁基、正戊基、異戊基、環戊基、1-曱 基戊基、1-甲基環戊基、正己基、異己基、環己基、庚基 、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基等。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 55 127783〇
五、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（53) 用於本發明之較佳光酸產生劑之特殊例子係如下所述 〇 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 化學式[3]之光酸產生劑：1-環己基磺醯-1·(1,1-二甲 基乙基·1-磺醯基）二偶氮甲烷、雙（1,1-二甲基乙基磺醯基） 二偶氮甲烷、雙（1-曱基乙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己 基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（1,1-二甲基丙基磺醯基）二偶氮 甲烧、1 ·正丁基石頁酿基-1-(1，1_二甲基乙基石黃酿基）二偶氣 甲烷、1-(1-甲基乙基磺醯基）·1·苯甲基磺醯基二偶氮甲烷 、雙（第三辛基磺醯基）二偶氮甲烷等。 化學式[4]之光酸產生劑： 三苯基统/十二烧基苯績酸鹽、三苯基銃/對·甲苯續酸 鹽、三苯基銃/10-樟腦磺酸鹽、三苯基銃/2,4,5·三氯苯磺 酸鹽、三苯基銃/3-三氟甲基苯磺酸鹽、三苯基銃/σ比啶 磺酸鹽、二苯基-對-苯甲基銃/十二烷基苯磺酸鹽、二苯 基-對-苯甲基銃/對-甲苯績酸鹽、二苯基_對_笨甲基銃 樟腦磺酸鹽、二苯基-對-苯甲基銃/苯磺酸鹽、二苯基-對_ 苯甲基銃/2,4,5-三氯苯石黃酸鹽、二苯基-對-苯甲基銃/2,5-二氟甲基苯磺酸鹽、二苯基-對-苯甲基銃/4-正辛基苯石黃酸 鹽、二苯基-對-苯甲基銃/4-甲氧基苯石黃酸鹽、二苯基_對_ 苯甲基銳/4-第三丁基苯磺酸鹽、二苯基-對-苯甲基銃/4-氟苯續酸鹽、二苯基_對_苯曱基銃/4-氣苯續酸鹽、二苯基 -對-苯甲基銃/3-三氟甲基苯石黃酸鹽、二苯基_對_苯甲基统/ 。比啶-3_磺酸鹽、二苯基-對-苯曱基銃/4_乙基苯續酸鹽、 —本基·對-本甲基統/ 2，4 -.一乙基苯石黃酸鹽、二苯美對苯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 56 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（54 ) 甲基銃/2,5-二乙基苯磺酸鹽、二苯基_鄰-苯甲基銃/對-甲 苯磺酸鹽、二苯基-鄰-苯甲基銃/三氟-甲烷磺酸鹽、二苯 基-鄰-苯甲基銃/10-樟腦甲烷磺酸鹽、二苯基-鄰-苯甲基 銃/2,4-二甲基苯磺酸鹽、二苯基-鄰-苯甲基銃/2,5-二甲基 苯磺酸鹽、二苯基-鄰-苯甲基銃/苯磺酸鹽、二苯基-鄰-苯 甲基銃/4-第三丁基苯磺酸鹽、二苯基-鄰-苯甲基銃/3-三 氟甲基苯磺酸鹽、對-第三丁基苯基二苯基銃/對-甲苯磺 酸鹽、對-第三丁基苯基二苯基銃/10_樟腦磺酸鹽、對-第 三丁基苯基二苯基銃/4-甲氧基苯磺酸鹽、對-第三丁基苯 基二苯基銃/4-氯苯磺酸鹽、對-環己基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽、對·環己基苯基二苯基銃/10-樟腦磺酸鹽、 對-甲氧基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽、對-甲氧基苯基 二苯基銃/10-樟腦磺酸鹽、對-第三丁氧基苯基二苯基銃/ 對-甲苯磺酸鹽、對-第三丁氧基苯基二苯基銃/10-樟腦磺 酸鹽、對-第三丁氧基苯基二苯基銳/對-氯苯橫酸鹽、三 苯基銃/1-萘磺酸鹽、三苯基銃/2-萘磺酸鹽、二苯基_對_ 甲苯基銃/1-萘磺酸鹽、二苯基-對-甲苯基銃/2-萘磺酸鹽 、對-第三丁基苯基銃/1-萘磺酸鹽、對-第三丁基二苯基銃 /1-萘磺酸鹽、二苯基-對-苯基硫基苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 、二苯基_對_苯基硫基苯基銃/10-樟腦磺酸鹽等。 化學式[6]之光酸產生劑： 二苯基碘鏺/對-甲苯磺酸鹽、二苯基碘鏺/10-樟腦磺 酸鹽、對-甲氧基苯基苯基碘鏘/對-甲苯磺酸鹽、對-甲氧 基苯基苯基碘鏘/10-樟腦磺酸鹽、雙（對-甲基苯基）碘鏘/ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 57 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（55) 對-甲苯磺酸鹽、雙（對-甲基苯基）碘爾/苯磺酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘爾/對-甲苯磺酸鹽、雙（對-第三丁基苯基） 碘鏘/苯磺酸鹽、雙（對-第三丁氧基苯基）碘鏺/對-曱苯磺 酸鹽、雙（對-第三丁氧基苯基）碘鏺/10-樟腦磺酸鹽、雙（ 對-第三丁氧基苯基）碘鏘/苯磺酸鹽、二苯基碘鏘/1-萘磺 酸鹽、二苯基碘鏺/2-萘磺酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘 鏺/1·萘磺酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘鏺/2-萘磺酸鹽等 〇 上述光酸產生劑中，化學式[3]者可輕易依據JP-A 4-210960號案合成。化學式[4]之光酸產生劑可輕易依據 Hashimoto 等人之 ’’Nippon-Kagaku-Xasshi，87(10)，第 63 頁 (1966)及 Y. Endo之”Chem· Pharm. Bull”，29(12)，第 3753 (1981)合成。化學式[6]之光酸產生劑可輕易依據F. Μ. Beringer等人之”J_ Am. Chem. Soc.’’，81，第 342 頁（1959)及 F.M. Beringer等人之”J. Am. Chem. Soc·”，Ί上，第 2705 頁 (1953)合成之。 本發明之光阻組成物之最有價值之特徵係在於與以通 式[3]所示之光酸產生劑一起混合使用之使用二或多種以 通式[24]表示之聚合物，其顯示248.4周圍之高的光傳送 性，以便保持光阻組成物之高透明性，顯示曝露後於熱處 理之低的溫度依賴性（PEB)及以通式[4]或[6]所示之光酸產 生劑曝露產生弱酸，其藉由預定曝露劑量顯示高效率之酸 之產生，且能產生強酸，能改良側壁之粗糙性，及解析能 力、DOF及圖形尺寸之均勻性可被保持，即使於諸如0.20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 58 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830
m. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -W将別係().18難或更少）之超細微設計標準下 、杏“改良〉查滓部份之圖案(改良渣滓)及進一步能移除浮 I。由改良_部份之圖案及移除浮渣之觀點，通式⑴ 所不之光酸產生劑與通式⑷所示者之混合係較佳。 通式m或[6]所示之光酸產生劑被認為係最高正價鹽 ’且本發明之特徵在於最高正價鹽之相對陰離子係具有芳 族環者，諸如，苯續酸鹽及對、間、或鄰_之甲苯績酸鹽 或脂族環（多環），諸如，10.樟腦續酸鹽，且由於此特徵 ’相較於傳統之組成物(其中含有作為相對陰離子之三敦 甲燒續酸鹽之最高正價鹽被使用），觀察到無受延遲時間 之影響被仙且無尺寸變化產生及矩形_可被獲得之效 果。 通式[4]或[6]所示之光酸產生劑（其中相對陰離子以 头之CF3S〇3，PF6，AsF6，SbFr及BF，取代）（其藉由曝露一 生超強之酸），由圖案尺寸控制之困難性觀點，可從未被 用於本發明，其係因延遲時間之影響、差的圖案形狀及低 的儲存穩定性。 用於本發明之二或多種光酸產生劑之比例不被特別 制，只要本發明之目的可被達成。其可為每份重量 一或多種之化學式[3]之光酸產生劑使用10至1〇〇份重 較佳係10至50份重量）之化學式[4]及/或[6]之光酸產生 已 產 限 之 量（ 劑 用於本發明光阻組成物中之溶劑不被特別限制，只要 其能溶解聚合物、光酸產生劑及添加劑（諸如，鹼化合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 59 I277830 A7 B7 發明說明（57 。深紫外線吸收劑、酸性化合物及界面活性劑，其可依所 需使用），且一般係具有良好之膜形成能力及於220至 400nm周圍不具吸收者係較佳。溶劑包含，例如，（1)含鱗 基之伸烷基二醇酯，（2)羧酸酯，（3)醯胺化合物，（4)_化 合物，（3)内酯化合物，（6)伸烷基二醇醚化合物，（7)正烧 基呢咯烷酿1等。此等溶劑可單獨或混合使用之。此等溶劑 中，内酯或内酯化合物及含醚基之伸烷基二醇酯之混合物 由抑制非常細微之顆粒之產生及良好之儲存穩定性而言係 較佳。特殊例子係：（1)甲基溶纖劑乙酯、乙基溶纖劑乙 酉旨、丙一醇單甲基醚乙S旨、丙二醇單乙基鱗乙g旨等；（2) 乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙酸2-乙氧基乙酯、丙酮酸甲醋、 丙酮酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙g旨等； (3)N，N_二甲基甲醯胺、N，N-二甲基乙醯胺；（4)環己烧、 甲基乙基酮、2-庚酮；（5)如下化學式之化合物： ο o 一c [31] (R) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 其中R係具有2至4個碳原子之直鏈或分枝之伸烧基[例如， 伸乙基、伸丙基、伸丁基、甲基伸乙基、甲基伸丙基、乙 基伸乙基等]，例如，Θ -丙内酯、冷-丁内酯、r -丁内酉旨 、r -戊内酯、（5 -戊内酯；（6)1，4-二噁唑、二乙二醇單甲 基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇單異丙基醚等；（7)n_ 甲基-2-咣咯烷_等。内酯化合物及含醚基之伸烷基二醇 醚之混合物之例子係丙二醇單甲基醚乙酯及石-丙内酯或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公釐) "~77 ------ 1277830 A7 B7 五、發明說明（58 ) 7 -丁内酯之混合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之光阻組成物中之聚合物對光酸產生劑之比例 一般係以100份重量之聚合物為1至3〇份重量（較佳係 份重量）之光酸產生劑。 本發明光阻組成物中之溶劑量並未特別限制，只要於 基材上塗覆由溶解聚合物及光酸產生劑及其它於溶劑中必 需使用之添加劑獲得之正型阻性材料時不產生麻煩。一般 被使用係每份重量之聚合物係1至2〇份重量（較佳係i 5至 10份重量）之溶劑。 本發明之光阻組成物一般係由上述三種組份組成（即 ，聚合物（a)、光酸產生劑（b)及溶劑（c))。於改良側壁形狀 及樹脂與基材間之界面上之浮渣及渣滓之目的時，其可另 外併入諸如驗性化合物、深紫外線（uv)吸收劑及酸性化 合物及敏感性調節劑之組份。再者，界面活性劑可被添加 至光阻組成物以用以改良膜形成能力、條紋及濕化能力。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 需要時作為用於本發明光阻組成物之鹼性化合物時， 可使用吡啶、哌啶、甲基吡啶、甲基胺、三乙基胺、丙胺 、二正丁胺、三正辛胺、二辛基甲基胺、三正苯甲基胺、 一環己基胺、一壞己基甲基胺、N-甲基町b P各烧σ定、N-甲 基吡咯烷啶、Ν-甲基哌啶、三乙醇胺、三異丙醇胺、三 正丙醇胺、二甲基十二烷基胺、二甲基十六烷基胺、三[2_(2_ 甲氧基乙氧基）乙基]胺、四甲基銨氫氧化物、四乙基銨氫 氧化物、四正丙基銨氫氧化物、四正丁基銨氫氧化物、聚 乙稀基σ比咬等。其等化合物可被單獨或以混合物使用之。
1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（59) 需要時被用於本發明之光阻組成物中之深紫外線吸收 劑包含9-二偶氮芴及其衍生物、二偶氮_2_四氫萘酮、2-二偶氮-1-四氫萘酮、9-二偶氮-1〇_菲酮、2,2，，4,4，-四（鄰· 萘醌二疊氮基-4_磺醯基氧）苯并苯酮、2,2，，4,4，-四羥基-苯 并苯酮、1，2,3-三（鄰-萘醌二疊氮基-4-磺醯基氧）丙烷、 蒽衍生物[例如，9-(2-甲氧基乙氧基）甲基蒽、9-(2-乙氧基 乙氧基）甲基-蒽、9-特戊醯基氧甲基蒽、9-丁醯基氧甲基 蒽、9-(4-甲氧基丁氧基）甲基蒽等]、9_蒽甲基乙酸酯、二 妓基Η烧綱、二苯基减、五經黃嗣、三經基黃烧嗣、四經 基黃烷酮、4’，6-二羥基_2_萘苯并-苯基酮、4,4，-二羥基苯 并苯基酮、2,2’，4,4’-四羥基苯并苯基酮等，其間於248.4nm 周圍具有強吸收之2-二偶氮-10-菲酮及蒽衍生物係較佳。 需要時被用於本發明光阻組成物中之酸性化合物包含 酞酸、玻珀酸、馬綸酸、苯甲酸、水揚酸、間-羥基苯甲 酸、對-羥基苯甲、鄰-乙醯基苯甲酸、鄰-乙醯基氧苯甲 酉夂、鄰-石肖基本甲酸、硫代水揚酸、thioniconitic acid、二 紛酸等’且亦包含水楊醛、琥珀醯亞胺、酜醯亞胺、糖精 、抗壞血酸等。 需要時被用於本發明光阻組成物中之界面活性劑包含 非離子性者（諸如，聚乙二醇二硬脂酸酯、聚乙二醇二月 桂酸醋、聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧基伸乙基硬脂基醚、 聚氧伸乙基月桂基醚、聚氧伸乙基十六烷基醚、聚氧伸乙 基壬基醚及聚氧伸乙基辛基苯基醚）；及其它可購得之非 離子性界面活性劑、含氟之非離子性界面活性劑、含氣之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) 62 --------------------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7
1277830 五、發明說明（6〇 ) 陽離子性界面活㈣、含氟之陰料性界面活㈣、陽離 子性界面活性劑、陰離子性界面活性劑等。於本發明中， 較佳係使用顯示良好之抗膜形成能力之界面活性劑，包含 含氟之界面活性劑，諸如，Flu〇rad (Sumit〇m〇 3]^公司之 商 口口名）、Surflon (Asahi Glass有限公司之商品名）、Unidyne (Daikin工業有限公司之商品名）、Megafac (Dainipp〇n墨 水及化學品公司之商品名）及Eft〇p (T〇hkemu產品公司之商 口口名）、聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧伸乙基十六烷基醚等 〇 塑化劑包含二乙酸酞酸酯、二丁基酞酸酯、二丙基酞 酸酯等。 本發明之光阻組成物可被應用於一般之半導體基材及 具有吸附塗覆物（抗反射膜）之半導體，其間應用於後者係 更有效。 半導體基材包含由銘、聚石夕顚j、銘_石夕_、石夕化鐵等 製得者。基材上之抗反射膜之形成可藉由於半導材上之化 學蒸氣沈積（CVD)或喷濺方法後使用抗反射材料，諸如， Si3N4, Ti3N4，無機抗反射膜（si〇N，非晶型碳等），或於半 導體基材上旋轉塗覆有機型抗反射膜材料及熱處理而形成 使用本發明光阻組成物形成圖案可以，例如，下述方 式完成。 本發明之光阻組成物被塗覆諸如矽酮晶元或具有抗反 射膜之半導體塗覆物之半導體基材至0.3至2.0# m之塗覆 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------I--· 11---- 訂---I-----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 63 1277830 A7 ^------______ 五、發明說明（6i ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 物厚度（於作為三層塗覆物之上層之情況中係約〇1至〇·5鋒) ’於7〇至14Gt之爐㈣烘㈣至3G分鐘，或於7〇至14〇。〇 之熱板上烘培⑴分鐘。經由用以形成所欲圖案之罩，此 阻性膜被曝露至3GGnm或更少之深紫外線（其曝露劑量係i 〇〇mJ/cm )，其後於7〇至15〇°c熱板上烘焙丨至2分鐘， 且使用0.1至5%四甲錢氫氧化物（TMAH)水溶液顯影約 0.5至3刀4里，其係以傳統之諸如浸潰、精煉或喷灑之方法 於基材上形成所欲圖案。 用於諸如上述之形成方法中之顯影溶液係選自具有能 增加被曝露部份及未被曝露部份間之溶解度差異之濃度之 驗〖生水/合液，一般係〇 〇丨至2〇重量％。驗性水溶液包含含 有有機胺者，諸如，TMAH、膽鹼及三乙醇胺，及含有無 機鹼者，諸如，NaOH及KOH。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明光阻組成物之特徵在於二或多種化學式[24]之 聚合物被與如通式[3]所示之光酸產生劑及通式[4]所示者 混合使用，或二或多種之通式[24]所示之聚合物與通示[3] 所示之光酸產生劑及通式[6]所示者混合使用。即，目前 被使用之以通式[3]所示之光酸產生劑產生弱酸，且其係 顯著有效，因為其小的移動區域及高的透明性，但依據細 微設計準則之趨勢其造成問題，特別是單獨使用時，諸如 ，差的解析能力及圖形，其係因低的酸產生效率，而造成 曝露於光線之阻性膜之酸濃度之分散產生變化。因此，藉 由使用以通式[4]或[6]所示之光酸產生劑（其相較於傳統之 相似最高正價鹽，具有高的酸產生效率且能產生具有較小 64 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 1277830 A7 _____ B7 _ 五、發明說明（62 ) 移動區域之強酸）並與通式[3]所示之光酸產生劑混合使用 ，為通式[3]所示之光酸產生劑之缺點之於曝露區域之酸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 濃度之改變可被移除而產生均勻（或均一）之酸濃度，且依 曝露後消逝時間（延遲時間）之圖案尺寸之變化（其於單獨 使用通式[4]或[6]之光酸產生劑中被觀察到）可被抑制，因 此，對於超細微傳送技術之高解析能》&D〇F(與伴隨〇 2〇 // m或更少之没計規則，特別是〇 ·丨8 # m或更少之設計規） 可被獲得，穩定之圖案之尺寸於曝露至熱處理之時間消逝 期間可被保持’且進一步之基材依賴性及侧壁粗糙性之改 良可被實現，同時保持上述性質。再者，藉由混合特別之 光酸產生劑，阻性圖案之渣滓及浮渣（其於使用反射膜（無 機或有機之抗反射膜）時觀察到）之移除變成可能。 使用一或多種通式[24]所示之聚合物能抑制延遲時間 之影響及使晶元表面之圖案尺寸均勻化，其係由於此等聚 合物中之含有通式[7]所示之官能基之以通式所示之普 遍單體單元’造成藉由曝露產生之酸之作用於短時間内變 成鹼性可溶者。此係與其中使用二種聚合物之已知光阻材 料不同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者’高熱阻性、高的乾式蝕刻抗性及對基材之強的 附著性可被達成’因為通式[9]所示之羥基苯乙烯單位作 為額外之構成單元。 再者，因通式[26]之單體單元，更具體地係化學式[1〇] 者作為額外之構成單元，聚合物中之通式所示之單體 單元之比例可被降低’其造成整個聚合物之熱阻性之增加 本紙張尺度適用規格（2ig χ挪公爱）-—--
1277830 五、發明說明（63) ’增加乾式㈣抗性’抑制周圍作用之影響，降低顯影時 之顯影速率等’造成侧壁粗糙性之改良。 通式[10]所示之單體單元（其中R0係具有3至8個碳原 子之分枝或環狀烷氧基、飽和雜環氧基或以通式[2]所示 之基）藉由移除存在於酸中之官能基而改變成可溶於鹼性 顯影溶液中之羥基苯乙烯單元，但於本發明之聚合物中， 含有以通式[7]所示之官能基之以通式[8]所示之單體單元 可藉由酸之作用移除保護基而快速及輕易地改變成羥基笨 乙烯單7G，因此，通式[1〇]所示之單體單元不會對化學放 大作用產生如此大之直接影響。 但是，此單元明確有助於顯影溶液之溶解速率及解析 能力，且例如，相較於使用含有不受（或很難）酸作用化學 影響之單體單元之聚合物之情況，諸如，苯乙烯、烷基取 代之苯乙烯、直鏈烷氧基苯乙烯等，其係相對應於其中R6 係氫原子、烷基或直鏈烷氧基，上述之聚合物係較佳，因 為顯影時於顯影溶液中之較高之溶解速率，及更優異之解 析能力，DOF及圖形。 被轉疋的疋本發明之光阻組成物於藉由深紫外線及 KrF激元雷射光及i-線、電子束及軟性^射線束曝露時產 生酸，如此造成化學放大作用。因此，本發明之光阻組成 物係能使用藉由低劑量之深紫外線、KrF激元雷射光、 線、電子束或軟性X-射線束之輻射之化學放大作用形成圖 案。 下述者係具體解釋本發明之功用。即，以KrJ7激元雷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 66 1277830 五、發明說明（64) 射光、深紫外線等曝露之部份可藉由、、 之光反應產生酸。 下述方程式1至3所 方程式1 : 不
<^>ΓΐΙ<Ξ) ^ <2>__s〇3H 方程式2:
ch3-
so3h 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 方程式3 : (CHaJaC-QHl^QHCiCH^CHa-Q^SC^ ^CH3hQ.S〇3H 藉由曝露程序後之加熱，依據下述方程式4，聚合物 之特殊官能基（於下列方程式4中，其係指丨_乙氧基乙氧°基) 藉由酸之作用接受化學變化，產生羥基，藉此，聚合物變 成鹼性可溶且於顯影時溶入顯影溶液内。 方程式4 : -(CH-CH2)n- -(CH-CH^n-Λ Θ Λ ! I + HgO + Η -► I I + πΟΗ3〇ΗΟ + π〇2Η5〇Η +V V 0-CH-CH3 OH OCH2CH3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 67 ---------------------訂---------線· (請先閱讀背面之注t-事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1277830 A7 B7 五、發明說明（65) 另一方面，於未被曝露部份，其無化學變化產生，即 使藉由加熱，因為其未產生酸，且其藉由光酸產生劑產生 保護用於強化對基材之附著性之目的之聚合物之親水性基 之作用，其係充滿於顯影溶液。以此方式，當圖案之形成 藉由使用本發明之光阻組成物進行時，其於被曝露部份與 本被曝露部份間產生對顯影溶液之可溶性之差異，及聚合 物對未被曝露部份上之基材之強烈附著性，因此，於顯影 時無膜之剝離產生，此形成具有良好對比之圖案可被形成 。再者，如上述方程式4所示，藉由曝露產生之酸亦可作 為催化劑，因此，其藉由曝露足以產生所需量之酸，其造 成用以曝露之能量之量之降低。 於下述中，本發明係進一步參考範例、製備範例、參 考例及比較例解釋，且本發明不被以任何方式限制之。 用於範例及比較例（未顯示生產範例）之一部份聚合物 、光酸產生劑、UV吸收劑等依據曰本專利第2500533號案 (美國專利第5,216，135號案，EPC第440374號案）；JP-A 4-211258(美國專利第5,350,660號案，EPC第440374號案） ;JP_A 5-249682(EPC 公告第 520642 號案）；JP-A 4-251259 號案；JP-A 10-48826; JP-A 10-53621; Y· Endo等人之Chem· Pharm. Bull., 29(12)，3753 (1981); Hashimoto等人之Nippon Kagakuxassi，87 (10)，63 (1966) ; F· M. Beringer等人之J· Am. Chem. Soc·，342 (1959) ; M. Desbois等人之Bull· Chim. Soc. France，1974, 1956或C. D. Beard等人之J. Org. Chem·，38, 3673 (1973)揭示之方法合成，其等揭示在此被 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 68 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1277830 併入以供參考。 生產範例1 : 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對_ 第三丁氧基苯乙烯） ⑴催化劑含量之2,2，-偶氮雙（2-甲基丙酸甲醋）被添加至 35.2克之對·第三丁氧基苯乙烯（於異丙醇中），其後於 氮氣流中之8(TC時進行聚合反應6小時。反應溶液被冷 卻且倒入15〇〇毫升之甲醇水溶液以沈澱出。沈澱出之 聚合物被過濾，以甲醇清洗，且於減壓下乾燥，產生334 克之♦(對-第二丁氧基苯乙烯），白色粉末。••約2〇〇〇〇 ，Mw/Mn·· ：L90(GPC方法··聚苯乙烯為標準液）。 (2) 30.0克之上述（丨）獲得之聚（對-第三丁氧基苯乙烯）被分 散於異丙醇，且30亳升之濃縮氫氯酸被添加，其後於7〇 至80 C進行反應4小時，同時擾拌。於冷卻後，反應溶 液被倒入1500亳升之水中，使其沈澱。沈澱出之聚合 物被過濾，以水清洗且於減壓下乾燥，產生18·8克之 聚（對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯），白色粉末 獲付之1合物中之對-經基苯乙稀單元及對-第三丁氧 基苯乙烯單元係約94: 6(以1HNMR測量”Mw:約15〇〇〇 ，Mw/Mn: 1.90(GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 (3) 15.7克之上述（2)獲得之聚（對_羥基苯乙烯/對·第三丁 基苯乙烯）及3.2克之乙基乙烯基醚被溶於14〇毫升 1，4-一噁唑，且催化量之對_甲苯磺酸吡啶鹽被添加， 其後於室溫進行反應24小時並攪拌之。反應後，形成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^---------^ (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 氧 之 69 1277830 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（67) 物被倒入3000毫升之水中以使其沈殿。沈殿之聚合物 被過濾，以水清洗，且於減壓下乾燥，產生ΐ5·5克之 聚（對-1·乙氧基-乙氧基苯乙烯/對經基苯乙埽/對_第三 丁氧基苯乙烯），白色粉末。所獲得聚合物中之對— I·乙 氧基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元及對-第三 丁氧基苯乙稀單元係約3〇 ·· 64 : 6。Mw:約丨8_， :1.90 (GPC方法：以聚苯乙烯為標準物）。 生產範例2 合成聚（對_1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對_經基苯乙婦導 甲基苯乙烯） (1) 2,2’-偶氮雙（2-甲基丙酸甲酯）被添加至1〇〇克（〇·567莫耳） 之對-第二丁氧基笨乙烯及354克（〇〇3莫耳）之對·甲基 苯乙烯之混合物（於1，4-二嗔唾中），其後於氮氣流下之 80°C進行聚合反應6小時。冷卻後，反應溶液被倒入5〇〇〇 亳升之甲醇水溶液以沈澱出。沈澱出之聚合物被過濾 ，以甲醇清洗，且於減壓下乾燥，產生92·3克之聚（對_ 第二丁氧基苯乙烯/對-曱基苯乙烯），白色粉末。對-第 三丁氧基苯乙烯單元對對·甲基苯乙烯單元之比例係約 95 : 5 (以1HNMR測量）。Mw :約 20000，Mw/Mn : 1.90 ( 以GPC方法測量，使用聚苯乙烯為標準液）。 (2) 70克之上述（1)獲得之聚（對·第三丁氧基笨乙烯/對-甲基 苯乙烯）被溶於1，4-二噁唑，且100毫升之濃縮氫氯酸被 添加，其後於70至80°C進行反應4小時，同時攪拌。於 冷卻後，反應溶液被倒入5000毫升之水中，使其沈澱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公Μ ) --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 70
1277830 五、發明說明（68) 。沈澱出之聚合物被過濾，以水清洗且於減壓下乾燥 ，產生47.6克之聚（對-羥基苯乙烯/對·甲基苯乙烯），白 色粉末。獲得之聚合物中之對-羥基苯乙烯單元及對-曱 基苯乙烯單元之比例係約95 : 5(以！HNMR測量）。 ••約14500，Mw/Mn : 1.89 (GPC方法，聚苯乙烯為標 準液）。 (3) 15.0克之上述（2)獲得之聚（對_羥基苯乙烯/對_甲基苯乙 烯）及3.5克之乙基乙烯基醚被溶於15〇毫升之丨，4•二噁 唑，且催化量之對-甲苯磺酸吡啶鹽被添加，其後於室 溫進行反應24小時並攪拌之。反應後，形成物被倒入 5000毫升之水中以使其沈澱。沈澱之聚合物被過濾， 以水清洗，且於減壓下乾燥，產生lh5克之聚（對·丨_乙 氧基-乙氧基苯乙烯/對羥基苯乙烯/對_甲基苯乙烯），白 色粉末。所獲得聚合物中之對_丨_乙氧基乙氧基苯乙烯 單元、對_羥基苯乙烯單元及對-甲氧基苯乙烯單元係約 35 : 60 : 5(以1HNMR測量）。Mw :約 18000，Mw/Mn : 1.86 (GPC方法：以聚苯乙稀為標準物）。 生產範列3 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·經基苯乙烯/苯 乙稀） (1)藉由使用81.1克（0.46莫耳）之對-第三丁氧基苯乙烯及 4.6克（〇·〇4莫耳）之苯乙烯，如生產範例2-(ι)之相同聚 合反應及後處理被進行，產生77.1克之聚（對-第三丁氧 基本乙細/本乙細）’白色粉末。所獲得聚合物中之對一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 71 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（69 第二丁氧基本乙稀單元與苯乙稀單元之比例係約92 : 8 ( 以1HNMR測量）。Mw :約20000，分子量分佈：1 : 90 (GPC 方法：以聚苯乙烯為標準物）。 (2) 藉由使用70克之上述（1)獲得之聚（對_第三丁氧基苯乙 晞/苯乙烯）’與生產範例1_(2)之相同反應及後處理被 進行產生44.0克之聚（對-經基苯乙烯/苯乙烯），白色粉 末。所獲得聚合物之聚（對-羥基苯乙烯單元與苯乙烯單 元之比例係約92 : 8(以1HNMR測量）。Mw :約15000， Mw/Mn : 1 : 89 (GPC方法：以聚苯乙烯為標準物）。 (3) 藉由使用15.0克之上述（2)獲得之聚（對_羥基苯乙烯/苯 乙烯）及3.2克之乙烯基乙基醚，與生產範例2_(3)之相同 反應及後處理被進行產生14.1克之聚（對_；μ乙氧基乙氧 基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/苯乙烯），白色粉末。所獲得 聚合物之對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯單元、對_羥基苯乙 烯單元及苯乙烯之比例係約32 : 60 : 8 (以1HNMR測量） 。Mw :約 18000 ’ Mw/Mn : 1 : 85 (GPC 方法：以聚苯 乙烯為標準物）。 生產範例4 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_ 第三丁氧基苯乙烯） (1) 52.9克之對-第三丁氧基苯乙烯被溶於15〇毫升之乾燥四 氫呋喃，且5_5毫升之正丁基鋰（1·6莫耳，正己烷溶液） 於_78(：之氮氣流下添加，其後於_78至_72。(^進行反應2 小時且攪拌之。10毫升之甲醇被添加至_7〇〇Ci反應溶 --------—-------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 127783〇 A7 B7 氧 乙 五、發明說明（70 ) 液’以終結聚合反應。然後，反應溶液被倒入丨5〇〇毫 升之甲醇’且上層物藉由傾析棄置。形成之黏性油質 物料於減壓下乾燥以產生51·5克之聚（對·第三丁氧基苯 乙烯）’白色粉末。Mw :約22000，Mw/Mn : 1.12 (GPC 方法··以聚苯乙烯為標準物）。 (2)30.0克之上述（1)獲得之聚（對_第三丁氧基苯乙烯）被溶 於異丙醇，且30亳升之濃縮氫氯酸被添加，其後於7〇 至80°C進行反應4小時並攪拌之。於冷卻後，反應溶液 被倒入1500毫升之水中，使其沈澱。沈澱出之聚合物 被過濾，以水清洗且於減壓下乾燥，產生19·2克之聚（ 對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯），白色粉末。獲 知之聚合物中之對·經基苯乙烯單元及對·第三丁氧基苯 乙烯單元之比例係約90 : 1〇 (以！HNMR測量）。Mw :約 15·，Mw/Mn: 1.12 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液） (3) 15.7克之上述（2)獲得之聚（對-羥基苯乙烯/對_第三丁 基本乙烯）及3.2克之乙基乙稀基_被溶於ι5〇亳升之 酸乙酯，且催化量之對·甲苯磺酸被添加，其後於室溫 進行反應6小時並攪拌之。反應後，形成物以三乙基胺 中和化且》辰縮之。黏性油質殘質被溶於1 毫升之丙_ 且被倒入3000毫升之水中以使其沈澱。沈澱之聚合物 被過濾，以水清洗，且於減壓下乾燥，產生15 5克之 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對羥基笨乙烯/對-第三丁 氧基苯乙烯），白色粉末。所獲得聚合物中之對乙氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1277830 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（71 ) 基乙氧基本乙稀單元、對-經基苯乙稀單元及對_第二丁 氧基苯乙烯單元係約30 : 60 : 10(以1HNMR測量）。Mw :約18200，Mw/Mn : 1.11 (GPC方法：以聚苯乙烯為 標準物）。 生產範例5 合成聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯 乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯） 15.7克之以相同於生產範例4-(1)及（2)所述方法獲得 之聚（對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯）及3·2克之2_甲 氧基-1-丙稀被溶於120毫升之四氫吱喃，且催化量之氧氣 化磷被添加，其後於室溫進行反應16小時並攪拌之。反應 後，形成物被倒入5000毫升之水中以使其沈澱。沈澱之聚 合物被過濾，以水清洗，且於減壓下乾燥，產生14·3克之 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 苐二丁氧基苯乙細）’白色粉末。所獲得聚合物中之對 甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元及 對-第三丁氧基苯乙婦單元係約34 : 56 : 10(以1HNMR測量） 。Mw :約 18000，Mw/Mn : 1.12 (GPC方法：以聚苯乙稀 為標準物）。 生產範例6 合成聚（對-1-乙氧基-正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 對·第三丁氧基苯乙烯） 藉由使用15.7克之以相同於生產範例4-(1)及（2)所述 之方法獲得之聚（對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 74 --------訂---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁)
1277830 五、發明說明（72) ^克之1乙氧基丙烯，與生產範例4-(3)之相同反應及 後處理被進行，產生16·2克之聚（對小乙氧基正氧基苯乙 烯/對，基苯㈣/對·第三τ氧基苯乙稀），白色粉末。所 f得聚合物中之對-乙氧基_正氧基苯乙烯單元、對_羥基 本乙烯單元及對·第二丁氧基$乙稀單元係約Μ : π ·· ι〇( 以1冊職測量）°Mw:約 18200，Mw/Mn: 1.11(GPC方法 :以聚苯乙烯為標準物）。 生產範例7 合成聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/ 對第三丁氧基苯乙烯） 藉由使用15.7克之以相同於生產範例4_(1)及（2)所述 之方法獲得之聚（對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧基苯乙烯及 3.2克之環己基乙烯基醚，與生產範例4_(3)之相同反應及 後處理被進行，產生17·〇克之聚（對_丨_環己基氧乙氧基苯 乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧基苯乙烯），白色粉末。 所獲得聚合物中之對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯單元、對_ 經基苯乙烯單元及對-第三丁氧基苯乙烯單元係約22 : 68
• 10(以1HNMR測量）。Mw :約 18200，Mw/Mn : 1.12 (GPC 方法：以聚苯乙烯為標準物）。 生產範例8 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙婦/對_ 四氫ϋ比喃基氧苯乙烯） (1)藉由使用32.4之對-乙醯基氧苯乙烯，如生產範例4_(1) 之相同陰離子聚合反應及後處理被進行，產生315克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 75 1277830
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（73 之K對-乙醯基氧苯乙婦），白色粉末。Mw :約18000 ，Mw/Mn : 1.20 (GPC方法：以聚苯乙烯為標準物）。 (2) 16.2克之於上述（1)獲得之聚（對-乙醯基氧苯乙烯）被溶 於二噁唑，且25毫升之濃縮氫氣酸被添加，其後迴 流4小時並攪拌之。於反應後，反應溶液被倒入1〇〇〇亳 升之水中，使其沈澱。沈澱出之聚合物被過濾，以水 清洗且於減壓下乾燥，產生11·4克之聚（對·羥基苯乙烯） ，白色粉末。Mw :約 14000，Mw/Mn : 1.18 (GPC 方法 ’聚苯乙烯為標準液）。 (3) 10.8克之上述（2)獲得之聚（對-羥基苯乙烯）被溶於72亳 升之1，4-一。惡唾’且2.5克之3,4-二氫-211-。比喃及〇.〇5克 之對·甲苯磺酸吡啶鹽被添加，其後於25至3〇它進行反 應15小時並攪拌之。反應溶液被倒入1〇〇〇亳升之水中 ，使其沈殿。沈澱出之聚合物被過遽，以水清洗且於 減壓下乾燥，產生1〇·〇克之聚（對-羥基苯乙烯/對_四氫 "比喃基氧基苯乙烯），白色粉末。獲得之聚合物中之對_ 羥基苯乙烯單元及對-四氫,比喃基氧基苯乙烯單元之比 例係約 90: 1〇(以 iHNMR測量）c>Mw:約 15500, Mw/Mn :1.18 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 (4) 藉由使用9.5克之上述（3)獲得之聚（對-羥基苯乙烯/對_ 四氫11比喃基氧基本乙婦）及2.5克之乙基乙稀基驗，與生 產範例4-(3)之相同反應及後處理被進行。所形成之聚 合物被過濾，以水清洗且於減壓下乾燥，產生9·9克之 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_四 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 76 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 五、發明說明（74 ) σ比喃基氧本乙稀）’白色粉末。獲得之聚合物中之對_1一 乙氧基乙氧基苯乙烯單元、對_羥基苯乙烯單元及對·四 氫σ比喃基氧本乙烯單元之比例係約3〇 : 6〇 : 1〇 (以 HNMR測量）。Mw :約 18500，Mw/Mn : 1.18 (GPC 方 法，聚苯乙烯為標準液）。 生產範例9 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_ 第三丁氧基幾基氧苯乙烯） (1) 35.3克之以生產範例4-(1)所述之相同方獲得之聚（對-第 三丁氧基苯乙烯）被懸浮於異丙醇及50亳升之濃縮氫氣 酸被添加，其後迴流4小時並攪拌。冷卻後，於反應後 ，反應溶液被倒入3000毫升之水中，使其沈澱。沈澱 出之聚合物被過濾，以水清洗且於減壓下乾燥，產生 22.1克之聚（對-羥基苯乙烯），白色粉末。Mw :約 ，Mw/Mn : 1.12 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 (2) 16.2克之上述（1)獲得之聚（對-羥基苯乙烯）被溶於⑼毫 升之乙酸乙酯，且5.6克之二_第三丁基二碳酸酯及55 克之二乙基胺被添加，其後於室溫進行反應4小時，並 攪拌之。反應後，乙酸乙酯於減壓下藉由蒸餘移除， 且殘質溶於80毫升之丙酮且倒入1000亳升之水中，使 其沈澱。沈澱出之聚合物被過濾，以水清洗且於減壓 下乾燥’產生12.2克之聚（對·經基苯乙婦/對_第二丁氧 基羰基氧苯乙烯），白色粉末。獲得之聚合物中之對_羥 基苯乙烯單元及對_第三丁氧基羰基氧苯乙稀單元之比 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明說明（76 ) 生產範例11 合成聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 乙烯基苯氧基乙酸第三丁 g旨） (1) 16.2克之以生產範例9_(1)所述之相同方式獲得之聚（對_ 羥基苯乙烯），2.7克之單氯乙酸第三丁酯及2·5克之無 水碳酸鉀被懸浮於200毫升之丙酮，其後迴流2小時並 攪拌。冷卻後，不可溶物藉由過濾移除，且過濾物被 倒入3000耄升之水中，使其沈澱。沈澱出之聚合物被 過濾，以水清洗且於減壓下乾燥，產生15·8克之聚（對_ 羥基苯乙烯/對-乙烯基苯氧基乙酸第三丁酯），白色粉 末所獲彳于之聚合物之對-經基苯乙稀單元及對_乙稀基 苯氧基乙酸第三丁酯單元之比例係約93 : 7 (w1hnmr 測畺）。Mw ·約 16500，Mw/Mn : 1·12 (GPC 方法，聚 苯乙烯為標準液）。 (2) 藉由使用13.2克之上述（1)獲得之聚（對_羥基苯乙烯/對· 乙嫦基苯氧基乙酸第三丁8旨）及2G克之甲基乙婦基酸， 與生產範例4-(3)之相同方式進行反應及後處理被進行 ，產生11.0克之聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/對-乙烯基苯氧基乙酸第三丁酯），白色粉末。 獲得之聚合物中之對小甲氧基乙氧基苯乙烯單元、對_ 經基苯乙烯單元及對-乙烯基苯氧基乙酸第三丁醋單元 之比例係約33 : 60: 7 (以1HNMR測量pMw ••約2〇〇〇〇 ，Mw/Mn: 方法，聚苯乙埽為標準液）。 ----------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公爱） 79 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（75 ) 例係約 90 : 10 (以1HNMR測量）。Mw :約 16700，Mw/Mn :1·12 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 (3)藉由使用11.4克之上述（2)獲得之聚（對·羥基苯乙稀/對_ 第二丁氧基幾基氧苯乙稀）及2.5克之乙基乙稀基鱗，與 生產範例4-(3)之相同反應及後處理被進行，產生6.7克 之聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_第 二丁氧基羰基氧苯乙烯），白色粉末。獲得之聚合物中 之對-1-乙氧基乙氧基笨乙晞單元、對-經基苯乙稀單元 及對-第二丁氧基羰基氧苯乙烯單元之比例係約3〇 : 6〇
•lOOfHNMR^i^hMwmOOOthMw/MnmCGPC 方法，聚苯乙烯為標準液）。 生產範例10 合成聚（對_1_環己基氧乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/ 對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯） 藉由使用11.4克之藉由相同於生產範例9_(丨）及（2)所 述方法獲得之聚（對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧基羰基氧苯 乙烯）及2.7克之環己基乙烯基醚，與生產範例‘(3)之相同 方式進行反應及後處理，產生13.2克之聚（對_丨_環己基氧 ^氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧基羰基氧苯乙 烯）’白色粉末。獲得之聚合物中之對·丨_環己基氧乙氧基 =乙烯單元、對，基苯乙烯單元及對_第三丁氧基幾基氧 苯乙烯單兀之比例係約22 : 68 : 1〇 (以1hnmr測量）。 ••約20000，Mw/Mn: uyGpc方法，聚苯乙婦為標準液） 本紙張尺^適种關家標準（CNS；)A4規格（21q χ 297公爱------- - /X . --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1277830 A7 -----^_______ 五、發明說明（77 ) 生產範例12 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對_ 異丙氧基苯乙烯） (1)(1)16.2克之以生產範例9-(i)所述之相同方式獲得之聚（ 對-羥基苯乙烯），1.3克之異丙基氯化物被溶於1〇〇亳升 之丙嗣，且1·8克之二乙基胺被添加，其後於π至we 進行反應5小時並攪拌。反應溶液被倒入丨〇〇〇亳升之水 中，且上層物藉由傾析移除。所獲得之黏性樹脂材料 被；谷於75¾升之丙酮及形成物被倒入5〇〇亳升之水中。 沈澱之橡膠質樹脂於減壓下乾燥，產生15·4克之聚（對_ 备基笨乙稀/對-異丙氧基苯乙婦），白色粉末。所獲得 之聚合物之對羥基苯乙烯單元及對·異丙氧基苯乙烯單 元之比例係約90 : 1〇 (以iHNMR測量）。Mw ••約155〇〇 ，Mw/Mn: 1.12(GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 (2)藉由使用15.0克之上述（^獲得之聚（對·羥基苯乙烯/對_ 異丙氧基苯乙烯）及3.0克之乙基乙烯基醚，與生產範例 4-(3)之相同方式進行反應及後處理被進行，產生16.2 克之聚（對_丨-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 異丙氧基本乙烯）’白色粉末。獲得之聚合物中之對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元及對-異 丙氧基苯乙烯單元之比例係約30 : 60 : 10 (以1HNMR 測量）。Mw :約 18000，Mw/Mn : 1.12 (GPC 方法，聚 笨乙烯為標準液）。 生產範例13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 80 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（78 ) 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙嫦/對-經基苯乙埽/對_ 苯醯基氧苯乙烯） (1) 藉由使用16.2克之以生產範例9-(1)所述之相同方式獲 得之聚（對-羥基苯乙烯），2.3克之苯醯基氯化物及18克 之二乙基胺，與生產範例12-(1)所述之相同反應及後處 理被進行，產生16.2克之聚（對-羥基苯乙烯/對_苯醯基 氧苯乙烯），白色粉末。所獲得之聚合物之對_經基笨乙 稀單元及對·苯醯基氧苯乙稀單元之比例係約9〇: 1〇 (
以1HNMR測量）。Mw ··約 16000，Mw/Mn : 1.12 (GPC 方法，聚苯乙烯為標準液）。 (2) 藉由使用15.7克之上述（1)獲得之聚（對_羥基苯乙烯/對_ 苯酸基氧苯乙稀）及3_〇克之乙基乙烯基驄，與生產範例 4-(3)之相同方式進行反應及後處理被進行，產生165 克之聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 本醯基氧本乙稀）’白色粉末。獲得之聚合物中之對_1_ 乙氧基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙稀單元及對·苯 醯基氧苯乙烯單元之比例係約30 : 60 : 10 (以1HNMR 測量）。Mw :約 18800，Mw/Mn : 1.12 (GPC 方法，聚 苯乙烯為標準液）。 生產範例14 合成聚（對_1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 特戊醯基氧苯乙烯） (1)藉由使用16.2克之以生產範例9-(1)所述之相同方式獲 得之聚（對-經基笨乙烯），2.0克之特戊醯基氯化物及1.8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 81 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ---------E____ 五、發明說明（79 ) 克之三乙基胺，與生產範例12_(1)所述之相同反應及後 處理被進行，產生16.0克之聚（對-羥基苯乙烯/對_特戊 醯基氧苯乙烯），白色粉末。所獲得之聚合物之對_羥基 笨乙烯單元及對-特戊醯基氧苯乙烯單元之比例係約90
• 10 (以1HNMR測量）。Mw:約 16000，Mw/Mn: 1.12 (GPC 方法，聚苯乙烯為標準液）。 (2)藉由使用15.5克之上述（1)獲得之聚（對_羥基苯乙烯/對_ 特戊醯基氧苯乙烯）及3·〇克之乙基乙烯基醚，與生產範 例4-(3)之相同方式進行反應及後處理被進行，產生7 克之聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_ 特戊醯基氧苯乙烯），白色粉末。、獲得之聚合物中之對_ 1-乙氧基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元及對_ 特戊醯基氧苯乙烯單元之比例係約3〇 : 6〇 : 1〇 (以 iHNMR測量）。Mw :約 18800，Mw/Mn : 1.12 (GPC 方 法，聚苯乙烯為標準液）。 生產範例15 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯） (1) 藉由使用105.9克之聚（對-第三丁氧基苯乙烯）[Mw:約 20000, Mw/Mn: U (GPC方法：以聚苯乙烯為標準 物）；Nippon Soda有限公司]，以與生產範例9_(1)所述 之相同反應及後處理進行，產生66·3克之聚（對-經基苯
乙烯），白色粉末。Mw :約 14000，Mw/Mn : 1.20 (GPC 方法，聚苯乙烯為標準液）。 (2) 藉由使用16.2克之上述（1)獲得之聚（對_羥基苯乙烯及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蓳）
----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) n ϋ ϋ 訂---------線· 82 ^77830 A7 B7 五、發明說明（80 ) 4·7克之乙基乙烯基醚，與生產範例4_(3)所述者之相同 之反應及後處理被進行，產生18·2克之聚（對_丨_乙氧基 乙氧基笨乙烯/對-羥基笨乙烯），白色粉末。獲得之聚 合物中之對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯單元及對_羥基苯乙 烯單元之比例係約40: 6〇 (以iHNMR測量）。Mw••約丨乃〇〇 ，Mw/Mn: ：L18(GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 生產範例16 合成聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯） 藉由使用16.2克之藉由相同於生產範例15_(1)所述方 法獲得之聚（對-羥基苯乙烯）及6·5克之異丁基乙烯基醚， 與生產範例4-(3)之相同方式進行反應及後處理，產生198 克之聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯），白 色粉末。獲得之聚合物中之對異丁氧基乙氧基苯乙烯 單兀及對-羥基苯乙烯單元之比例係約4〇 : 6〇 (以1hnmr 測！）。Mw :約 18500，Mw/Mn : 1.18 (GPC方法，聚苯乙 烯為標準液）。 生產範例17 合成聚（對-1-乙氧基-正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯） 藉由使用16.2克之藉由相同於生產範例15_(1)所述方 法獲得之聚（對-羥基苯乙烯）及5·6克之丨_乙基_丨_丙烯基醚 [Wako Pure化學工業有限公司]，以生產範例所述之 相同反應及後處理進行之，產生19〇克之聚（對_丨_乙氧基_ 正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯），白色粉末。獲得之聚 合物中之對-1-乙氧基·正丙氧基苯乙烯單元及對_羥基乙 --------------------訂-------！線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（81 ) 烯單元之比例係約40 : 60 (以1HNMR測量）。Mw :約18500 ，Mw/Mn : 1.18 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 生產範例18 合成聚（對·第三丁氧基羰基氧苯乙烯/對_羥基苯乙烯） 藉由使用18.0克之藉由相同於生產範例15_(1)所述方 法獲得之聚（對-羥基苯乙烯）及11 ·〇克之二-第三丁基二碳 酸醋，以生產範例9-(2)所述之相同反應及後處理進行之 ，產生18.2克之聚（對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯/對_羥基 苯乙烯），白色粉末。獲得之聚合物中之對_第三丁氧基羰 基氧苯乙稀單元及對-經基苯乙烯單元之比例係約3〇 : 7〇 ( 以1HNMR測量）。Mw :約 17500，Mw/Mn : 1.20 (GPC 方 法’聚本乙杯*為標準液）。 生產範例19 合成聚（對-四氫町b喃基氧苯乙烯/對-羥基苯乙烯） 16.2克之聚（對-經基苯乙嫦[Mw :約15000，Mw/Mn :1·14 (GPC方法：以聚苯乙烯為標準物）；Nipp(m 8〇如有 限公司]被溶於180毫升之1，2-二甲氧基甲烷，且4·ι克之3,4-二氫-2H-%b喃及〇·7亳升之硫酸被添加，其後於3〇至4〇它 時進行反應15小時並攪拌之。反應後，形成物於減壓下濃 縮，且殘質於碳酸鈉中中和，且被倒入2〇〇〇亳升之水中沈 澱。被沈澱出之聚合物被過濾，以水清洗及於減壓下乾燥 ’產生18.0克之聚（對-四氫吡喃基氧苯乙烯/對_羥基苯乙 烯）’白色粉末。所獲得聚合物之對-四氫。比喃基氧苯乙婦 單元及對-髮基苯乙烯單元之比係約3〇 : 7〇 (以iHNMR測 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 84 1277830 A7 B7 五、發明說明（82) 量）。Mw :約 18000，Mw/Mn : 1_14 (GPC方法，聚苯乙烯 為標準液）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 生產範例20 合成聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯） (1) 藉由使用45.4克（0.28莫耳）之對-第三丁氧基苯乙烯及催 化量之2,2’-偶氮雙（2-甲基丙酸甲酯），與生產範例2-(1) 相同之反應之後處理被進行，產生59.7克之聚（對-第三 丁氧基苯乙烯/對-乙醯基氧苯乙烯），白色粉末。對-第 三丁氧基苯乙烯單元與對-乙醯基氧苯乙烯單元之比係 約 70 : 30 (以1HNMR測量）。Mw :約 15000，Mw/Mn : 1.75 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2) 藉由使用46.3克之上述(1)獲得之聚（對_第三丁氧基苯乙 烯/對-乙醯基氧苯乙烯）及100毫升之28%銨水溶液（於 300毫升之異丙醇内），迴流進行4小時並攪拌之。反應 溶液以乙酸中和且於減壓下濃縮。殘質溶於150毫升之 丙_且被倒入5000毫升之水中沈殿。沈殿出之聚合物 被過濾，以水清洗且於減壓下乾燥，產生34.0克之聚（ 對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯），白色粉末。所 獲得之聚合物之對-羥基苯乙烯單元及對-第三丁氧基苯 乙烯單元之比例係約30 : 70 (以1HNMR測量）。Mw :約 12000，Mw/Mn : 1.70 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液） 〇 生產範例21 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 85 1277830 A7 B7 五、發明說明（83) 第三丁氧基苯乙烯） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (1) 藉由使用48.6克（0.30莫耳）之對-乙醯基氧苯乙烯，17.6 克（0.10莫耳）之對-第三丁氧基苯乙烯及催化劑之2,2，_ 偶氮（2,4·二甲基正戊腈，相同於生產範例2彳丨）所述之 反應及後處理被進行，且形成之黏性樹脂材料被溶於 200¾升之丙酮及形成物被倒入1〇〇〇毫升之5〇〇/〇之甲醇 水溶液。沈澱之樹脂藉由傾析回收且於減壓下乾燥， 產生59_7克之聚（對-乙醯基氧苯乙烯/對-第三丁氧基苯 乙烯），白色粉末。所獲得之聚合物之對_乙醯基氧苯乙 烯單元及對-第三丁氧基苯乙烯單元之比例係約3: 1 ( 以1HNMR測量）。Mw :約 10500，Mw/Mn : 1·32 (GPC 方法，聚苯乙烯為標準液）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2) 藉由使用46.3克之上述（1)獲得之聚（對_乙醯基氧苯乙烯 /對-第三丁氧基苯乙烯），與生產範例2〇_(2)之相同方式 進行反應及後處理被進行，產生33·8克之聚（對_第三丁 氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯），白色粉末。獲得之聚合 物中之對-第三丁氧基苯乙烯單元及對-羥基苯乙烯單元 之比例係約1 · 3 (以1HNMR測量）。Mw :約8540，Mw/Mn :1.30 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 (3) 藉由使用26.8克之上述（2)獲得之聚（對·第三丁氧基苯乙 烯/對-羥基苯乙烯），與生產範例4-(3)之相同方式進行 反應及後處理被進行，產生25.0克之聚（對_1_乙氧基乙 氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對-第三丁氧基苯乙烯），白 色粉末。獲得之聚合物中之對乙氧基乙氧基苯乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 86 1277830 A7
tr t
A7 B7 1277830 五、發明說明（85 ) 乙烯/對基苯乙烯/對-特戊醯氧基苯乙烯），淡黃色粉末 。對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元 及對-特戊醯氧基苯乙烯單元之比例係約23 : 67 : 10 (以 WNMR測量）。Mw :約 18800，Mw/Mn ·· 1.12(GPC方法， 聚苯乙烯為標準液）。 生產範例24 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對—經基苯乙烯/苯乙稀） (1) 如生產範例4-(1)所述，使用81.1克（〇·46莫耳）之對-第三 丁氧基苯乙烯及4.6克（〇·〇4莫耳）之苯乙烯之相同反應 及後處理被進行，產生80.5克之聚（對-第三丁氧基苯乙 烯/苯乙烯），白色粉末。然後，聚合物接受與生產範例 9 0)所述相同之反應及後處理，產生44.0克之聚（對·經 基本乙稀/苯乙稀），白色粉末。對-經基苯乙婦單元及 苯乙烯單元之比例係約92 : 8(以1HNMR測量）。Mw : 約15500，Mw/Mn : 1·〇8 (GPC方法，聚苯乙烯為標準 液）。 (2) 藉由使用15.0克之上述獲得之聚（對_羥基苯乙烯/苯乙 烯）與3.2克之乙烯基乙基醚，與生產範例4_(3)相同之反 應及後處理被進行，產生15.0克之聚（對乙氧基乙氧 基苯乙烯/對-經基苯乙烯/苯乙烯），白色粉末。對乙 氧基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元及苯乙婦 單元之比例係約 32:60:8(以1HNMR測量）。Mw:約 18300 ，Mw/Mn : l.〇6(GPC方法，聚苯乙烯為標準液）。 生產範例25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------- -88 - --------訂---------線 (請先閱讀背面之注音3事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1277830 A7 B7 五、發明說明（86) 合成聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_第三 丁氧基苯乙烯） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (1) 藉由使用100克（0.567莫耳）之對-第三丁氧基苯乙烯及 5·3克（0.03莫耳）之對_第三丁基苯乙烯，相同於生產範 例2_(1)所述之反應及後處理被進行。然後，形成之黏 性樹脂材料被溶於300克之丙酮及倒入2〇〇〇毫升之5〇〇/〇 之甲醇水溶液，且沈澱之樹脂接受傾析。此處理步驟 進一步進行兩次，且形成物於減壓下乾燥，產生94.5 克之聚（第三丁氧基苯乙烯/對_第三丁基苯乙烯），白色 粉末。然後，70克之聚合物接受相同於生產範例9_(1) 所述之反應及後處理，產生48.5克之聚（對-經基苯乙稀 /對-第三丁基苯乙烯），白色粉末。對_羥基苯乙烯單元 及對-第三丁基苯乙烯單元之比例係約94 : 6(以iHNMR 測量）。Mw :約 16000，Mw/Mn : 1.29(GPC方法，聚苯 乙烯為標準液）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2) 藉由使用15.0克之上述（1)獲得之聚（對-羥基苯乙烯/對_ 弟二丁基本乙稀）及2.8克之1-甲氧基乙基氣化物（其係 由乙縮醛、甲醇及氯化氫反應及其後蒸餾而獲得），與 生產範例22所述相同之反應及後處理被進行，產生15 8 克之聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙稀/對_ 弟二丁基苯乙烯）’白色粉末。對-1-甲氧基乙氧基苯 乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元及對-第三丁基苯乙稀 單元之比例係約30 : 64 : 6 (以1HNMR測量）。Mw :約 19000，Mw/Mn : 1.25 (GPC方法，聚苯乙烯為標準液） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 89 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（87) 〇 生產範例26 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·經基苯乙烯/丙嫦酸 環己酯） (1) 於250亳升之異丙醇中，176.3克（1.0莫耳）之對-第三丁 氧基本乙稀及16.2克（0.105莫耳）之丙烯酸環己醋被溶 解，其後於氮氣流下添加2,2，·偶氮雙異丁醯腈，以於75 °C進行聚合反應6小時。冷卻反應溶液後，反應產物被 倒入5000毫升之甲醇水溶液以沈積聚合物。。沈積出 之聚合物被過濾，以甲醇清洗且於減壓下乾燥，產生 172.5克之聚（對-第三丁氧基苯乙烯/丙稀酸環己酯）， 白色粉末。所形成聚合物具有對-第三丁氧基苯乙烯單 元及丙烯酸環己酯單元之比例約9〇 : 1 〇 (以莫耳計， 且以1HNMR及 13CNMR測量）。Mw :約 20600，Mw/Mn :1.55(以GPC方法且以聚苯乙烯為標準液）。 (2) 130.5克含量之上述（1)獲得之聚（對·第三丁氧基苯乙烯/ 丙烯酸環己酯）接受與生產範例丨_(2)之相同反應及後處 理’產生85.5克之聚（對-經基苯乙烯/丙烯酸環己酯）， 白色粉末。所形成之聚合物具有對_羥基苯乙烯單元與 丙稀酸環己酯單元之比例係約9〇 : 1 〇 (以irnMR測量） 。Mw :約14800，Mw/Mn : 1.50 (以GPC方法且以聚苯 乙婦為標準液測量）。 (3) 24.7克含量之上述（2)獲得之聚（對_經基苯乙烯/丙稀酸 環己醋）及4.6克之乙基乙烯基醚被溶於乙酸乙酯，其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 90 Ϊ277830
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（88 ) 後添加對-甲苯磺酸呲啶鹽，於室溫進行反應6小時並 攪拌。於以生產範例1-(3)之相同方式處理反應溶液後 ，產生26.1克之聚（對_1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/丙烯酸環己酯），白色粉末。所形成之聚合物 具有對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯單元、對_羥基苯乙烯 單元與丙烯酸環己酯單元之比例係約3〇 : 6〇 : 1()(以 WNMR及 13CNMR測量）。Mw ··約 17500，Mw/Mn : 1.50 (以GPC方法且以聚苯乙稀為標準液測量）。 生產範例27 合成聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/丙烯酸 異冰片酯） (1) 於250毫升之異丙醇中，176·3克（1〇莫耳）之對-第三丁 氧基苯乙烯及21.9克（0.105莫耳）之丙烯酸異冰片酯被 溶解，其後於氮氣流下添加2,2，-偶氮（2_甲基丙酸甲酯） ，以於75 C進行聚合反應6小時。於以相同於生產範例 26-(1)之方式處理反應溶液後，獲得177·4克之聚（對-第二丁氧基苯乙烯/丙烯酸異冰片酯），白色粉末。所 形成聚合物具有對-第三丁氧基苯乙稀單元及丙婦酸異 冰片酯單元之比例約90 : 10 (以莫耳計，且以1hnmr 及 13cnmr測量）。Mw:約 23600，Mw/Mn: 1 6〇 (以 Gpc 方法且以聚苯乙稀為標準液）。 (2) 125.6克含量之上述（1)獲得之聚（對_第三丁氧基笨乙烯/ 丙浠酸異冰；^旨）接受與生產範糾⑺之㈣反應及後 處理，產生81.2克之聚（對-經基笨乙稀/丙稀酸異冰片 本紙張尺錢财_家標準㈣S)A4規格（210 X 297公爱） --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 91 1277830
五、發明說明（89) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酯），白色粉末。所形成之聚合物具有對_羥基苯乙烯 單元與丙烯酸異冰片酯單元之比例係約9〇 ·· 1 〇 (以
WNMR測量）。Mw :約 17000，Mw/Μη : 1.55 (以 GPC 方法且以聚本乙婦為標準液測量）。
(3)使用25.8克含量之上述（2)獲得之聚（對-羥基苯乙烯/丙 烯酸異冰片酯）及4.6克之乙基乙烯基醚，以生產範例 26-(3)所述之相同反應及後處理被完成，產生25·9克之 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸 異冰片酯），白色粉末。所形成之聚合物具有對_丨-乙 氧基乙氧基苯乙烯單元、對-羥基苯乙烯單元與丙烯酸 異冰片酯單元之比例係約30 : 60 : 10 (以1HNMR及 13CNMR測量）。Mw :約20000，Mw/Mn : 1.55 (以GPC 方法且以聚本乙婦為標準液測量）。 生產範例28 合成聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙婦/對_羥基苯乙烯/甲基 丙烯酸第三丁酯） (1)於125毫升之異丙醇中，73.1克（0.5莫耳）之對·乙醯氧 基苯乙稀及7.1克（0.05莫耳）之甲基丙烯酸第三丁酯被 溶解，其後於氮氣流下添加2,2，-偶氮雙（2,4-二甲基正 戊腈），以於7 0 °C進行聚合反應6小時。於以相同於生 產範例26-(1)之方式處理反應溶液後，獲得72.5克之聚 (對-乙醯氧基苯乙烯/曱基丙烯酸第三丁酯），白色粉末 。所形成聚合物具有對-乙醯氧基苯乙烯單元及甲基丙 烯酸第三丁酯單元之比例約92 : 8 (以莫耳計，且以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 92 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9〇 1HNMR及 13CNMR測量）。Mw :約 15800，Mw/Mn : 1.70 (以GPC方法且以聚苯乙烯為標準液）。 (2) 於1〇〇〇毫升之丙酮中，73·〇克含量之上述（1)獲得之聚（ 對-乙醯氧基苯乙烯/甲基丙烯酸第三丁酯）被溶解，其 後添加125克之25%氨水，於室溫進行反應2〇小時並攪 拌。於減壓下濃縮反應溶液後，5〇〇毫升之乙酸乙酯及 5000亳升之水被添加，其後攪拌，靜置，分離有機層 ’以稀釋之氫氯酸水溶液清洗及以水清洗。於減壓下 濃縮有機層後，殘質被溶於150毫升之丙酮，其後倒入 2000亳升之水中沈積。被沈積之聚合物被過濾且於減 壓下乾燥，產生54.8克之聚（對-經基苯乙嫦/甲基丙烯 酸第三丁酯），白色粉末。所形成之聚合物具有對·羥 基苯乙烯單元與甲基丙烯酸第三丁酯單元之比例係約 92 : 8 (以1HNMR測量）。Mw ··約 13200，Mw/Mn : 1.60 (以GPC方法且以聚苯乙烯為標準液測量）。 (3) 使用29.5克含1之上述（2)獲得之聚（對-經基苯乙稀/甲 基丙烯酸第三丁酯）及5.5克之1-乙氧基丙烯，以生 產範例1_(3)所述之相同方式進行反應及後處理，產生 31·5克之聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙稀/對_經基苯乙 稀/甲基丙烯酸第三丁酯），白色粉末。所形成之聚合 物具有對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯單元、對-經基苯 乙烯單元與甲基丙烯酸第三丁酯單元之比例係約3〇: 62 ·· 8(以1HNMR及 13CNMR測量"Mw:約 16000，Mw/Mn • 1.60 (以GPC方法且以聚苯乙稀為標準液測量）。 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 93 - 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（91 ) 生產範例29 合成聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/甲基 丙烯酸甲酯） (1) 於120毫升之異丙醇中，88.1克（0.5莫耳）之對·第三丁 氧基乙婦及5.0克（0.05莫耳）之甲基丙稀酸甲醋被溶解 ’其後於氮氣流下添加2,2’-偶氮雙（2,4-二甲基正戊腈） ，以於70°C進行聚合反應6小時。於以相同於生產範例 26-(1)之方式處理反應溶液後，獲得83·8克之聚（對-第 三丁氧基苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯），白色粉末。所形 成聚合物具有對-第三丁氧基苯乙稀單元及甲基丙稀酸 甲酯單元之比例約90 : 10 (以莫耳計，且以iHNMR及
13CNMR測量）。Mw :約 17600，Mw/Mn : 1.75 (以 GPC 方法且以聚苯乙烯為標準液）。 (2) 使用67.5克之上述（1)獲得之聚（對-第三丁氧基苯乙烯/ 甲基丙烯酸甲酯），以相同於生產範例1·(2)所述之方式 完成反應及後處理，產生40.5克之聚（對-羥基苯乙烯/ 甲基丙烯酸甲酯），白色粉末。所形成之聚合物具有對 -羥基苯乙烯單元與甲基丙烯酸甲酯單元之比例係約9〇 :10 (以1HNMR測量）。Mw :約 12300，Mw/Mn : 1.70 ( 以GPC方法且以聚苯乙烯為標準液測量）。 (3) 使用23.6克之上述（2)獲得之聚（對-羥基苯乙烯/甲基丙 嫦酸甲酯）及7.0克之環己基乙稀基_，以生產範例ι_(3) 所述之相同方式進行反應及後處理，產生26〇克之聚（ 對-1-環己基氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/甲基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 94 127783〇
五、 發明說明（92 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 烯酸甲酯），白色粉末。所形成之聚合物具有對_丨_環 己基氧基乙氧基苯乙烯單元、對_羥基苯乙烯單元與甲 基丙烯酸甲醋單元之比例係約25 : 65 : 1〇 (以1hnmr
及 13CNMR測量）。Mw :約 15500，Mw/Mn : 1.70 (以 GPC 方法且以聚本乙婦為標準液測量）。 範例1 具有下列組份之光阻組成物被製備。 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基羰基氧苯乙烯）[Mw=20000 ; Mw/Mn=1.12 :於製備範例 9中之聚合物] 4 5克 聚（對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對_第三丁 氧基苯乙烯）[Mw=18200; Mw/Mn=1.12 :製備範例7之聚合 物] 1.5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇·3克 三苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05克 三乙醇胺 0.1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28_7克 使用上述光阻組成物之形成圖案參考第1圖解釋之。 用以形成抗反射之塗覆物之物料（DUV-32 ; Brewer Science Co·，改良，弱鹼）被旋轉塗覆於矽基材上且於熱板 上接受200°C時之熱處理60秒，形成0.52/zm厚之抗反射 膜。上述光阻組成物3被旋轉塗覆於形成之抗反射膜2上， 其後於熱板上於l〇〇°C時預烘焙90秒，產生0.7/zm厚之光 阻組成物（第1A圖）。然後，藉由使用KrF激元雷射stepper 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 95 ^^1 tmem in i^i 1·· i-*i ^^1 -1 ^^1 it in 1_ 1··· ^^1 11 ^^1 Hi emmt ^ ^ I ^^1 1 11 emKt ^^1 I 〜一口 矣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 _______B7 五、發明說明（93 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (NA 0.55)，248.4nm之雷射光4被經由罩5選擇性地輻射於 其上（第1B圖），且形成物於熱板上以ii〇°c後烘焙9〇秒， 其後使用鹼性顯影溶液（2.38%之四甲基銨氫氧化物溶液) 顯影60秒，藉此，僅光阻膜之曝露部份被溶解形成正型式 之圖案3 a(第1C圖）。所形成之正型式圖案具有矩形及〇15 /zm之線及間隔（其後縮寫成l & S)之解析能力（於 30mJ/cm2之曝露劑量下）。當藉由去聚焦曝露被進行時， 其未觀察到於0.18 # m L&S下之最高達土0.7# m之圖案變 質，因而獲得令人滿意之DOF。再者，圖案之側壁係平滑 且未觀察到浮渣。 為了本發明光阻組成物之熱阻性之測量，上述獲得之 圖於熱板上以130°C烘焙4分鐘，0.40/zm及0.18/zm L&S 之圖案之截面以電子掃瞄式顯微鏡（SEm)檢測，發現矩形 圖案即使於熱處理後亦未改變，因此光阻膜之熱阻性被確 認。 熱處理後之時間消耗之圖案尺寸變化（PED)對上述光 阻膜測量’發現即使於4小時之時間消耗後於〇18//mL&S 上亦無變化，因此，被確認係穩定的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖案之形成於Ti#4基材上使用上述光阻組成物進行 獲件0.15 // m L&S矩形圖案會於24mJ/cm2曝露劑量解析 之結果。當以去聚焦進行曝露時，觀察到至±〇.7//m時於 〇.18#m L&S圖案仍無變質，因此，令人滿意之D〇F可被 獲得。 於23C時儲存上述製得之光阻組成物丨個月或3個月， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 96 1277830 A7 五、發明說明（94 ) 於上述相同方式於抗反射膜上形成圖案，發現〇· 15“ mL&S之正型圖案可被解析，且進一步地，於〇18“mL&s 時之DOF係最咼達〇.7//m。因此，令人滿意之儲存穩定性 可被確認。 範例2至25於下述第1至12表所述之光阻組成物被製得。弟1表 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯苯乙婦/對-第一 ^ 氧基苯乙烯)[Mw 18000, Mw/Mn=1.90 :生產範例1之蝥合物] 聚（對-1-乙氧基乙氧基本乙烯/對-經基苯乙烯/苯乙烯 "ifMw 1 ROOn* λ/Γ\χ7/λ/Γη=1 · ύ. ^ . . 4.5克 範例2 範例3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 )[Mwl8000;Mw/Mn=1.85 :生產範例3之聚合物] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 三苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 三正辛基胺 含氟之非離子性界面活性劑[可講得之產物] 丙二醇單甲基醚乙酸酯 -甲氧基-1-甲基乙烯/對-羥基苯乙烯 -第三丁氧基苯乙烯)[Mw 18000, Mw/Mn=1.12 :生產範 例5之聚合物] 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對遗基苯乙豨/對_四氫口比 喃基氧苯乙稀)[Mw 18000; Mw/Mn=1.18 :生產範例8之 聚合物] 雙(1，1-二曱基乙基續醯基)二偶氮甲烧 對·第三丁基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 UL辛基胺 -丙一醇早甲基鱗乙酸酉旨 1.5克 〇.3克 0·05 克 〇·1克 〇·1克 4.0克 2·0克 〇·3克 0.05 克 0.1克 28.5 克 ---------------------訂---------線 AW. (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 私紙張尺度翻ϋ家鮮（以油規格（2lf X 297公釐） 97 1277830
五、發明說明（95) 第2表 範例4 ，(對乙氧基苯乙烯/對-羥基苯 乳基Ik基氧苯乙稀)[Mw 20000, Mw/Mn=l.l2] 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基笨乙烯/ 丁氧基苯乙烯)[Mw 18200; Mw/Mn=l.ll :生產^第 聚合物] Ά之 雙(1，1-二甲基乙基石黃醯基)二偶氮甲统 對第二丁基本基—本基銳/對-甲苯續酸鹽 二酚酸 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產物] 乳酸乙酯 丙二醇單曱基醚乙酸酯 3·5克 範例5 ，(對-ιΐ氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯^^7^-三丁 氧基苯乙稀)[Mw 18000, Mw/Mn=l.90] 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_曱基苯 乙烯)[Mw 18000;Mw/Mn=1.86 :生產範例2之聚合物] 雙(環己基績醯基)二偶氮甲烧 對-環己基苯基二苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 水楊酸 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產物] 否三醇單甲基醚乙酸酯 2.5克 〇·2克 0·1克 0·1克 〇·ΐ克 6.0克 22.0 克 4·5克 1.5克 〇·3克 0.05 克 〇·1克 〇·1克 22.0 克 --------訂---------線 i^w. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 98 1277830 A7 B7 五、發明說明（96 ) 第3表 範例6 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對•異丙基 氧苯乙烯)[Mw 18000, Mw/Mn=1.12 :生產範例12之聚 合物] 聚(對_1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對苯醯基 氧苯乙烯)[Mw 18800; Mw/Mn=1.12 :生產範例π之聚 合物] " 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 三苯基銃/對·甲苯磺酸鹽 丙二醇單甲基醚乙酸酯 5.〇克 範例7 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對·第 氧基苯乙烯)[Mw 18200, Mw/Mn=l.ll :生產範例4、4 合物] <?灸 聚(對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙埽/對/ 丁氧基羰基氧苯乙烯)[Mw 2〇00〇; Mw/Mn=l.l2 .^$ 範例10之聚合物] •兔產 雙(1-甲基乙基磺醯基)二偶氮曱烷 對-曱苯基二苯基銃/10-樟腦磺酸鹽 丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 1,0克 〇·3克〇·〇5 克 4. U克0·3克 〇·ο5 克 [5克 (請先閱讀背面之注咅P事項再填寫本頁) --------訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 99 1277830 A7 B7 五、發明說明（97) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第4表 範例8 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙嫦）[Mw 17500，Mw/Mn=1.18 :生產範例15之聚合物] 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 18000;Mw/Mn=1.18 :生產範例17之聚合物] 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 18500;Mw/Mn=1.18 :生產範例16之聚合物] 雙(環己基磺醯基)二偶氮曱烷 對-第三丁基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 玻珀醯亞胺 丙二醇 丙二醇單甲基醚乙酸酯 2.5克 2.5克 1.0克 0.3克 0.05 克 0.1克 0.1克 28.5 克 聚(對-1-曱氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙烯基 苯氧基乙酸第三丁酯）[Mw 20000, Mw/Mn=1.12 :生產 範例11之聚合物] 3.5克 範例9 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-經基苯乙烯)[Mw 18000; Mw/Mn=1.18] 2.5克 雙(1，1-二曱基乙基磺醯基)二偶氮曱烷 0.3克 對-環己基苯基二苯基銃/對·甲笨磺酸鹽 0.05 克 7 -丁内醋 5.0克 -—---- 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23.5 克 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 100 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1277830 五、發明說明（98) 第5表 範例10 聚(對-1-乙氧基乙苯乙烯/對-羥 基氧苯乙烯))[Mw 18500，Mw/Mn=1.12 :生產範例μ之 聚合物] 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對_經基苯乙稀）[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對·曱苯磺酸鹽 二環己基甲基胺 丁内酯 丙二醇單曱基縫乙酸g旨 5·0克 1.0克 〇·3克 〇.〇5 克 0.1克 1.0克 28.5 克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙烯/對-異丙氧 基苯乙稀)[Mw 18000, Mw/Mn=1.12] 5.0克 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 1.0克 範例U 雙(環己基磺醯基)二偶氮曱烷 0.3克 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05 克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 T -丁内醋 1.0克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5 克 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) f 訂---------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 101 1277830 A7 _B7 五、發明說明（99 ) 第6表 範例12 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙豨/對-第三丁 氧基苯乙烯))[Mw 18200, Mw/Mn=l.ll] 聚(對-環己基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對-第三丁 氧基苯乙烯)[Mw 18200; Mw/Mn=1.12] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 對-第三丁基苯基二苯基銃/10-樟腦磺酸鹽 聚氧伸乙基乙醯基醚 9-二偶氮-1 〇-菲酮 含氟之非離子性界面活性劑 丙二醇單甲基醚乙酸酯 5.0克 2.0克 〇·3克 0.1克 0.1克 〇·1克 0.1克 22.6 克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17500, Mw/Mn=l. 18] 4.0克 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 18500; Mw/Mn=l. 18] 2.0克 範例13 雙(1，1-二甲基乙基磺醯基)二偶氮甲烷 0.3克 對-曱苯基二苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 0.05 克 琥珀醯亞胺 〇·1克 丙二醇 〇·1克 7-丁内酯 1.0克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 22.6 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 102 1277830 A7 B7 五、發明說明（100) 第7表 範例14 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁 氧基苯乙烯))[Mw 18200, Mw/Mn=l.ll] 聚(對-1 ·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁 氧基苯乙烯)[Mw9200; Mw/Mn=1.30] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 二苯基-對-曱苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 4.5克 1.5克 0.3克 0.05 克 1.0克 28.6 克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁 氧基苯乙烯)[Mw 18200, Mw/Mn=l.11] 5.0克 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基苯乙烯)[Mw 18200; Mw/Mn=l. 11] 2.5克 範例15 雙(1-曱基乙基磺醯基)二偶氮曱烷 0.2克 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 0.1克 對-第三丁基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.1克 二環己基甲基胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 2-庚酮 28.5克 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 103 1277830 A7 B7 五、發明說明（ιοί) 篦8矣 範例16 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-羥基苯乙烯/對-氧基苯乙烯))[Mw 18200，Mw/Mn=l.ll] 聚(對-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁 氧基羰基氧苯乙烯)[Mw 20000; Mw/Mn=l· 12] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 雙(對-第三丁基苯基)i〇d〇nium/對-甲苯石黃酸鹽 丙二醇早甲基趟乙酸酉旨 4·〇克 2·〇克 0.3克 〇·〇5 克 2R 7 dk 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙嫦/對-經基苯乙烯/對-特戊 醯基氧苯乙烤)[Mw 18800，Μ\ν/Μη=1·12 ··生產範例23 之聚合物] 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 4.5克 18000; Mw/Mn=1.18] 1·5克 範例17 雙(環己基續醯基)二偶氮甲烧 0.3克 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲笨橫酸鹽 0.05 克 二環己基胺 〇·1克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 T-丁内酯 0.05 克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5 克 -ϋ 1 ϋ ϋ 1 ϋ ϋ n I I I I ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ I 一^J I I I I I f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) 104 1277830 A7 B7 五、發明說明（1〇2) 第9表 範例18 ，(對乙氧基正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-異丙 氧基本乙晞X)[Mw 18200, Mw/Mn=1.12 :生產範列22Φ 之聚合物] 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯 18000; Mw/Mn=l· 18] 雙(環己基續醯基)二偶氮曱烧 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 二環己基胺 含氟之非離子性界面活性劑 T - 丁内酉旨 丙二醇單甲基醚乙酸酯 5.0克 1.0克 0.3克 0.05 克 0.1克 0.1克 0.05 克 28.5 克 聚乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/異丙氧 基苯乙烯)[Mw 18200, Mw/Mn=1.12] 5.0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯）[Mw 17500； Mw/Mn=1.18] 1.0克 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 0.3克 範例19 二苯基-對-曱苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 0.05 克 二環己基胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 T-丁内酯 1.0克 乳酸乙酯 3.5克 及三^單甲基醚乙酸酯 25.0克 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 105 1277830 A7 B7 五、發明說明（ι〇3) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第10表 範例20 聚(對1己氧基正丙氧基笨乙稀/對-經基苯乙烯/對-特戊 酿基乳基本乙婦))[以'\\^18800，^4'\^/乂11=112] 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_經基苯乙稀）[Mw 17500; Mw/Mn=l. 18] 雙(1，1-二曱基乙基磺醯基)二偶氮曱烷 對-第三丁基苯基二苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 三乙醇胺 含氟之非離子性界面活性劑 丨-丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 4.5克 1·5克 〇·3克 〇·〇5 克 〇·1克 0.05 克 3.5克 26.0 克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙烯/對-特戊醯 基氧基苯乙稀)[Mw 18500, Mw/Mn=1.12] 5.0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烤/對-經基苯乙婦）[Mw 17500; Mw/Mn=l· 18] 1.0克 範例21 雙(環己基磺醯基)二偶氮曱烷 0.3克 二苯基-對-曱苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05 克 二環己基胺 0.1克 丨-丁内酯 1.0克 乳酸乙酯 3.5克 丙二醇單曱基醚乙酸酯 25.0克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •f 訂---------線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 106 1277830 A7
五、發明說明（1〇4) 第11表 範例22 甘文/必丄 1 夕与钍今》片 4+ 〜·S' 承W1-。G礼丞本乙烯/對·羥基苯乙烯/ 基苯乙烯)[Mw 18000, Mw/Mn=：L12；| ^ 氧基笨乙稀/對-經基笨乙稀)， 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲燒 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯石黃酸鹽 二環己基胺 含氟之非離子性界面活性劑 7-丁内酯 乳酸乙酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 5.0克 1.0克 0.3克 0.05 克 〇·1克 〇·1克 1.0克 3.5克 25 5^ 範例23 ^(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁 氧基苯乙烯)[Mw 18200, Mw/Mn=l.121 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/苯乙烯 )[Mw 18300; Mw/Mn=l.〇6 :生產範例24之聚合物] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 一苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯石黃酸鹽 二環己基甲基胺 ' 含氟之非離子性界面活性劑 7-丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 5.0克 2.0克 0.3克 〇·1克 〇·1克 〇·1克 〇·1克 25.5 克 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
1277830 A7 B7 五、發明說明（1〇5) 範例24 範例25 聚(對-1-甲氧基乙氧基苯乙- 基苯乙烯)[Mw 19000, 烯/對-第三丁 合物] ·〇 ·生產範例25之聚 聚（對-乙氧基正丙氧基笨乙婦/對+ 18000; Mw/Mn=1.18] 匕丞本乙烯）[Mw 雙(1，1-二甲基乙基磺醯基)二偶氮甲燒 對-第二丁基苯基二苯基銃/對_甲笨 二環己基甲基胺 丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 _ ，對-1-乙氧基乙氧基苯 氧基本乙稀)[Mw 18200, Mw/Mn=l 11 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對，基 17500; Mw/Mn=1.18] ㈣八 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯續酸鹽 τ-丁内酯 1 丙二醇單甲基醚乙酸酯 4.0克 2·0克 〇·3克 0.1克 0.1克 0.2克 0.1克 25.5 克 4.0克 2·0克 0.3克 0.05 克 0.1免 27.5 克 藉由使用上述光阻組成物之每一者，圖案之形成藉由 範例1所述之相同方式進行。對抗反射膜之評估結果如第13 至18表所示，且對於Ti#4上者係如第19及2〇表所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -0 mmmmm 1 n ϋ ϋ .1 丨、 ·ϋ 1_1 ammt ·ϋ Mmmt I - 爸口 矣 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 108 1277830 A7 B7 五、發明說明（106) 第13表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 範例 曝露劑量 解析能力 自曝露至， 之線寬度1 洛處理之隨時間消逝 ί 化（/zmL&S) DOF (0.18/zm) MJ/cm2 βΐη L&S 0分鐘 30分鐘後 4小時後 (Um) 2 26 0.16 0.18 0.18 0.18 ±0.6 3 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 4 30 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 5 26 0.16 0.18 0.18 0.18 ±0.6 6 32 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 7 30 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 8 24 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 9 26 0.15 0.18 0.18 0.18 土 0.7 10 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 11 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 12 30 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 13 24 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 14 30 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 15 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 第14表 範例 曝露劑量 解析能力 自曝露至， 之線寬度1 爽處理之隨時間消逝 Ϊ 化（/zmL&S) DOF (0.18 jum) MJ/cm2 /zm L&S 0分鐘 30分鐘後 4小時後 (//m) 16 23 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 17 28 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 18 26 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 19 26 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 20 28 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 21 26 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 22 28 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 23 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 24 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 25 24 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) f 訂---------線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 109 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1〇7) 第15表 第16表 範例 圖案形狀 側壁粗糙 浮渣 範例 圖案形狀 側壁粗糙 浮渣 2 矩形 良好 無 16 矩形 良好 無 3 矩形 良好 無 17 矩形 良好 無 4 矩形 良好 無 18 矩形 良好 無 5 矩形 良好 無 19 矩形 良好 無 6 矩形 良好 無 20 矩形 良好 無 7 矩形 良好 無 21 矩形 良好 無 8 矩形 良好 無 22 矩形 良好 無 9 矩形 良好 無 23 矩形 良好 無 10 矩形 良好 無 24 矩形 良好 無 11 矩形 良好 無 25 矩形 良好 無 12 矩形 良好 無 13 矩形 良好 無 14 矩形 良好 無 15 矩形 良好 無 第17表 範例 熱阻性 隨儲存時間消逝之線寬度變化 (//m L&S) 隨儲存時間消逝之DOF 變化0.18/zm L&S(/zm) 儲存前 儲存1個月後 儲存3個月後 儲存1個月後 儲存1個月後 2 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.6 ±0.6 3 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 4 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 5 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.6 ±0.6 6 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 7 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 8 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 9 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 10 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 11 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 12 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 13 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0_7 14 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 15 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 110 1277830 五 、發明說明（108)
範例 熱阻性 良好 17 良好 18 良好 19 良好 20 良好 21 良好 22 良好 23 良好 24 良好 25 良好 1¾
___ 第18表 1儲存時間消逝之線寬度變化 ^儲存時間消逝之DOF ( ( ( ( ( ( ( ( C
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 篦19夹 範例 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力Ti3N4; 〇·7“ηι 展 DOF (0.18^m L&S) 側壁粗輪 2 22 0.16 土 0·6 良好 3 22 0.15 士 0·7 良好 4 24 0.15 ±0·7 良好 5 22 0.16 土 0·6 良好 6 28 0.15 ±0·7 良好 7 25 0.15 ±0·7 良好 8 21 0.15 士 0·7 良好 9 22 0.15 土 0·7 良好 10 22 0.15 ±0·7 良好 11 25 0.15 ±0·7 良好 12 25 0.15 ±0·7 良好 13 21 0.15 ±0·7 良好 14 25 0.15 ±0·7 良好 15 24 0.15 ±0·7 良好 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 圖案形狀 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 ------------·--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 111 1277830 A7 B7 五、發明說明（109) 第20表 範例 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力Ti3N4; 0.7//m 厚 DOF (0.18# mL&S) 側壁粗縫性 圖案形狀 20 22 22 22 24 22 24 24 24 21 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 土 0·7 ±0·7 土 0·7 ±0·7 ±0.7 ±0.7 ±0·7 ±0·7 ±0·7 ±0.7 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第13至20表之清楚地，相似於範例i之組成物之任 何範例2至25之光阻組成物能形成良好之正型圖案且能於 抗反射膜解析0.15至0.16/z m L&S。再者，多於±〇.7#m 之DOF可於〇.18/zm L&S下獲得。再者，即使於4小時後 ，〇· 18 // m L&S能被解析而無任何問題，且未觀察到圖案 尺寸憂化’其係相似於範例1之光阻組成物，即，無觀察 到受PDE之影響。範例2至25之任何光阻組成物能顯示良 好之性質，即使於Ti3N4及其它基材被使用時，且無有關 基材依賴性問題產生。再者，於範例2至25之此等光阻組 成物中，無有關儲存穩定性之問題被觀察到。 比較例1 具有下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17500; Mw/Mn=1.18 ;生產範例15之聚合物] 4.0克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 112 -—----^訂--------- 127?83〇
五、發明說明（110) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚（對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯/對_羥基笨乙烯）[Mw 17500 ; Mw/Mn=1.20 ;生產範例18之聚合物]2 〇克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.2克 雙（2,4-二甲基苯基磺醯基）二偶氮甲烷 〇1克 水楊酸 04 n，n-二甲基乙醯胺 〇 2克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28 5克 圖案之形成於相似於範例1之方式後使用上述光阻組 成物進行。0.16/zm L&S之正型圖案可於30mJ/cm2之曝露 wJ 1解析’但形狀係差到像錐形。於〇· 1 $ # m時之d〇f係 ±〇·3/zm。當圖案之形成於23r儲存1個月後進行時，多 於±10%之圖案尺寸變化被觀察，因此，此光阻組成物係 具有差的能力及儲存穩定性。 比較例2 具有下列組成之光阻組成物被製備。 ♦(對-四氫扯喃基氧苯乙稀/對-經基苯乙婦）[Mw 1 Mw/Mn=1.14 ;生產範例19之聚合物] 6 〇克 雙（1-甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 〇·3克 二苯基銃/對-甲苯石黃酸鹽 0 05克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28·5克 圖案之形成於相似於範例1之方式後使用上述光阻組 成物進行。0.18/ζ m L&S之正型圖案可於32mJ/cm2之曝露 劑量解析，但形狀係差到像錐形。於0·18//Π1時之D〇f係 ± 0 // m。因此，此光阻組成物係具有差的穩定性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 113 1277830 A7 B7 五、發明說明（111) 比較例3 具有下列組成之光阻組成物被製備。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 12〇〇〇; Mw/Mn=1.70 ;生產範例20之聚合物] 6.0克 雙（1,1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 〇·3克 二苯基銳/對-甲苯續酸鹽 0.05克 丙二醇單曱基醚乙酸酯 28.5克 圖案之形成於相似於範例1之方式後使用上述光阻組 成物進行。0.18# m L&S之正型圖案可於3〇mj/cm2之曝露 劑量解析，但形狀係差到像錐形，且〇·16//ιη L&S之圖案 不能被解析。因此，此光阻組成物係具有差的穩定性。 比較例4 具有下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對·第三丁氧基羰基氧苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17500; Mw/Mn=1.20] 6 〇克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.3克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 …(^克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5克 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖案之形成於相似於範例1之方式後使用上述光阻組 成物進行。0.20/zm L&S之正型圖案可於33mJ/cm2之曝露 劑量解析（浮渣），但〇.18/zm L&s之圖案不能被解析。因 此’此光阻組成物係具有差的穩定性。 比較例5至26 為作比較，第21至28表所示之組成物個別被製備，且 114 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（112) 圖案之形成於相似於範例1之方式後被進行，且評估結果 係顯示於第29及30表。 第21表 比較例5 K對-第二丁氧基本乙烯/對-經基苯乙稀)[Mw 12000; Mw/Mn=1.70] 雙(1，1-二甲基乙基石黃醯基)二偶氮甲燒 雙(對-甲苯磺醯基)二偶氮甲烷 丙二醇單甲基醚乙酸酯 6.0克 0.2克 0.1克 28.5克 比較例6 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對·第三 丁氧基羰基氧苯乙烯)[Mw 20000; Mw/Mn=1.12 :生產 範例9之聚合物] 6.0克 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 0.2克 雙(2,4-二甲基苯基石黃醯基）二偶氮曱烧 0.1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5 克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙稀）[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 6.0克 比較例7 雙(環己基磺醯基）二偶氮曱烷 0.2克 三苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 0.1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28·7 克 比較例8 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/苯乙烯 )[Mwl8000;Mw/Mn=1.85 :生產範例3之聚合物] 6.0克 二苯基iodonium六氟磷酸鹽[可購得之產物] 〇_2克 二乙二醇單二甲基醚 28.7 克 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 115 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 1277830 A7 _______B7 五、發明說明（1U) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第22表 比較例9 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對·第 三丁氧基苯乙烯)[Mw 18000; Mw/Mn=1.90 :生產範 例1之聚合物] 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 丙二醇單甲基醚乙酸酯 6·〇克 〇·3克 28.7 券 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯/對·第 三丁氧基苯乙嫦)[Mw 18200; Mw/Mn=l.ll :生產範 例4之聚合物] 4.0克 比較例10 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 17500 ； Mw/Mn=1.18] 2.0克 二(二氣甲基)-s-三氮雜苯 1.1克 三乙醇胺 〇·1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 27.5克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第 三丁 氧基苯乙烯)[Mw 18000; Mw/Mn=1.90] 4.5克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第 比較例11 三丁氧基苯乙稀)[Mw 9200; Mw/Mn=1.3〇 :生產範 例21之聚合物] 1.5克 二苯基-對-甲苯基銳/對-甲苯續酸鹽 0.3克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.7 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 參 訂---------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 116 1277830 A7 _B7 五、發明說明（114) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第23表 聚(對-1-乙氧基乙氧基茉乙嫌/f+絲糞贫厂 比較例12 丁氧基本乙稀)[Mw 18000; Mw/Mn=l .90] 一 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/ 丁氧基苯乙烯)[Mw 9200; Mw/Mn=1.30] -弟三 雙(i，l-二甲基乙基石黃醯基)二偶氮曱烧 雙(對-甲苯磺醯基）二偶氮曱烷 丙二醇單甲基醚乙酸酯 4.50 克 1.5克 0·2克 〇.1克 28 5券 比較例13 聚(對-1-乙氧基乙氧基笨乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四氣 吡喃基苯乙烯)[Mw 18500; Mw/Mn=1.18 ;生產範例8 之聚合物] 6.0克 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 〇·2克 1,2,3-三（甲烷磺醯基氧)苯 〇·1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.7 克 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙婦/對·經基苯乙稀)[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 3.5克 比較例14 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 18000 ; Mw/Mn=1.18 :生產範例17之聚合物] 2.5克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 0.2克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 參 訂---------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 117 1277830 A7 B7 五、發明說明（115) 第24表 比較例15 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三 丁氧基苯乙晞)[Mw 9200; Mw/Mn=1.30 ;生產範例21 之聚合物] 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對·第三 丁氧基幾基氧苯乙烯)[Mw 20000; Mw/Mn=l.12] 雙(對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 18500;Mw/Mn=U8 :生產範例16之聚合物] 雙(環己基石黃醯基)二偶氮甲烧 二苯基-對-甲苯基銃/全氟辛烷磺酸鹽 丙二醉早曱基驗乙酸酉旨 2.50 克 2.0克 1.5克 〇·3克 0.15克 28.0 克 比較例13 聚(對·1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四氫 ^匕喃基苯乙烯)[Mw 18500; Mw/Mn=1.18 ;生產範例8 之聚合物] 雙(環己基磺醯基)二偶氮曱烷 1，2,3-三（曱烧石黃醯基氧)苯 丙二醇早甲基鱗乙酸酉旨 6.0克 0.2克 〇·1克 28.7 克 比較例16 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基苯乙婦)[Mw 18200; Mw/Mn=l. 11] 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基羰基氧苯乙烯)[Mw20000 ; Mw/Mn=l.l2] 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯)[Mw 18000 ； Mw/Mn=1.18] 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃基/全氟丁烷磺酸鹽 丙二醇單甲基醚乙酸酯 2.5克 2.0克 1.5克 0.3克 0.06 克 28.5 克 --------------------^---------^ J^wi (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 118 1277830 A7 B7 五、發明說明（116) 第25表 聚(對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基苯乙稀)[Mw 18000; Mw/Mn=l.90] 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 4.5克 比較例17 丁氧基苯乙嫦)[Mw 9200; Mw/Mn=1.30] 1.5克 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 二苯基-對-曱苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 丙二醇單甲基醚乙酸酯 〇·3克 〇.1克 4·〇克 比較例18 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙嫦/對-經基苯 丁氧基苯乙烯)[Mw 18200; Mw/Mn=l.ll] ~ 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基笨乙歸 17500; Mw/Mn=1.18] W 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 2·〇克 f\ ^丄 二苯基-對-曱苯基銃基/三氟甲烷磺酸鹽 0.3克 T-丁内酯 〇·〇5 克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 0.1克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} -^———訂—-------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1277830 B7 五、發明說明（m) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 弟26表 比較例19 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙豨/對_羥基苯乙^ 丁乳基苯乙婦)[Mw 18200; Mw/Mn=l 1J 一 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對，基笨 17500; Mw/Mn=1.18] 埽)[Mw 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 雙(曱苯磺醯基）二偶氮甲烷 丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 4·0克 2.0克 0.2克 〇·1克 0.1克 27·5 克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基笨乙烯)[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 4.0克 比較例20 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯)[Mw 10200 ; Mw/Mn=l .05] 2.0克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 0.3克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.6 克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三 丁氧基苯乙烯)[Mw 18200; Mw/Mn=l. 11；| 6.0克 比較例21 三苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 ‘ 0·3克 三乙基胺 〇·1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.6 克 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 120 1277830 A7 B7 五、發明說明（η8) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第27表 比較例22 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基Ik基氧笨乙婦)[Mw 20000; Mw/Mn=1.12] 雙(環己基磺醯基)二偶氮曱烷 二苯基銃/三氟甲院石黃酸鹽 丙二醇單甲基醚乙酸酯 6.0克 0.3克 0.05 克 28.6 克 比較例23 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對基苯乙烯)[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 聚(對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯/對·羥基苯乙烯)[Mw 4.5克 17500 ； Mw/Mn=1.20] 1.5克 雙(環己基磺醯基)二偶氮曱烷 0.3克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.7 克 比較例24 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三 丁氧基苯乙烯)[Mw 18200; Mw/Mn=l. 11] 6.0克 雙(環己基磺醯基)二偶氮甲烷 0.3克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 0.05 克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.6 克 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 121 1277830 Α7 Β7 五、發明說明（II9) 第28矣 比較例25 聚（對-1-乙氧基乙氧基笨乙烯/對名基苯乙嫦)[Mw 17500; Mw/Mn=1.18] 4.5克 聚(對-第三丁氧基羰基氧笨乙烯/對·羥基苯乙烯)[Mw 17500 ; Mw/Mn=l .20] 1.5克 雙(對-第二-丁基-苯基)礙鐵/三氣_甲磺酸酯 0.3克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.6克 17500; Mw/Mn=1.18] P-三苯二颯 含氟之非離子性界面活性劑[可觸^ 丙二醇單甲基醚乙酸酷 到 6.0克 0.3克 〇·1克 28·6 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ·- -— — — — — — II » — — — — — — 1— — — — — — — — — — — 122 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（12〇) 第29表 比較例 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力 DOF (0.18 //m L&S) 圖案形狀 側壁粗糙 5 50 0.24/zm L&S —— 浮渣 良好 6 45 0.18 β m L&S ±0.1 /zm 浮潰 不佳 7 30 0.18//m L&S ±0.1 //m 無好的形狀 不佳 8 22 0.20 β m L&S 無好的形狀 不佳 9 26 0.18//m L&S ±0//m 無好的形狀 不佳 10 26 0.20 β m L&S — 無好的形狀 不佳 11 22 0.18/zm L&S ±0.2 /z m 無好的形狀 不佳 12 32 0.18βπι L&S ±0.2 // m 錐形 不佳 13 24 0.18 /z m L&S ±0//m 錐形 不佳 14 18 0.18 β m L&S ±0.2// m 無好的形狀 不佳 15 30 0.16 β m L&S ±0.3 無好的形狀 不佳 16 30 0.16/zm L&S ±0.3 /z m 無好的形狀 不佳 17 27 0.16 β m L&S ±0.3 // m 無好的形狀 不佳 18 22 0.18 β m L&S ±0.2 // m 無好的形狀 不佳 19 26 0.18/zm L&S ±0.2 // m 錐形 不佳 20 18 0.18//m L&S ±0.2 /z m 無好的形狀 不佳 21 22 0.16/zm L&S ±0.2 // m 錐形 良好 22 30 0.18//m L&S ±0.2/z m 錐形 良好 23 36 0.18 β m L&S ±0.2/zm 浮邊 不佳 24 25 0.16 β m L&S ±0.3 // m 浮渣 不佳 25 26 0.18 // m L&S ±0.1 // m 無好的形狀 不佳 26 14 0.18 // m L&S ±0.1 //m 無好的形狀 不佳 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 123 1277830 A7 _______Β7 五、發明說明（121 ) 第30表 比較例 曝露劑量 從曝露至熱處理之時間消逝之線寬度變化（#mL&s) mJ/cm2 0分鐘 30分鐘後 4小時後 15 30 0.18 0.16 0.15 16 30 0.18 0.16 0.15 17 27 0.18 0.16 0.15 18 22 0.18 0.16 0.15 19 26 0.18 0.18 0.18 20 18 0.18 0.16 0.15 21 22 0.18 0.18 0.16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 此外，比較例1至3、比較例12至13、比較例19及比較 例21至22之錐形係如第2圖所示，比較例4至6及比較例23 至24之浮渣係如第3圖所示，比較例7、比較例9、比較例11 及比較例14之不佳形狀係如第4圖所示，且比較例8、比較 例10、比較例15至18、比較例20及比較例25至26之不佳形 狀係如第5圖所示。 由第29表及第2至5圖，於此等比較例中，解析能力係 差的’圖案形狀不佳且於0.18//m L&S之DOF—般係較小 (相較於本發明之光阻組成物）。 再者，由比較例26之組成物組成之光阻組成物被製備 且圖案形成方法於以相似於比較例1之方式施行48小時後 ’即使是未被曝露之部份被溶解於顯影溶液，而無法形成 圖案。此係指具有比較例26之組成物之光阻組成物於溶液 態時係不穩定。 再者，於比較例15至18及比較例2〇至21中，觀察到圖 案尺寸之隨從曝露至熱處理之時間消逝而變化，因此，清 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
124 1277830 A7 1·〇克 〇·3克 〇·〇5 克 〇·ΐ克 〇·5克 28.5 克 五、發明說明（l22) 楚看出延遲時間之影響被影響。 再者，由比較例25及比較例18及2〇可清楚看出藉由解 析能力之影響、DOF、圖案形狀及延遲時間依據所用光酸 產生劑之混合而顯著不同，因此，本發明之組成物之優點 由此觀點被清楚瞭解。 範例26 下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 175〇〇 ；Mw/Mn=1.181 5·0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙烯四氣处喃 基氧本乙婦）[Mw 18500 ; Mw/Mn=l.18] 雙（1，1-二甲基乙基確醯基）二偶氮甲烧 對-第三丁氧苯基二苯基銃/對_甲苯磺酸鹽 丙二醇 7 - 丁丙酯 丙二醇單乙基_乙酸酯 使用上述光阻組成物，接觸孔洞（其縮寫成c &印之 圖案形成藉由相同於範例1所述方式進行，但使用用於接 觸孔洞之罩，其形成於48 mJ/cm2之曝露劑量時為〇18#m C & Η之解析，及矩形形狀。於〇 22//m c & H時之d〇f 係土0.5 # m。 範例27 下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）[Μ^ 175〇〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 125 1277830 A7 B7 1.0克 0.3克 0·05 克 〇·1克 1.0克 28.5 克 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（123) ；Mw/Mn=1.18] 5 0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_異丙氧基 苯乙烯）[Mw 18000 ; Mw/Mn=1.12] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基_對-甲苯基銃/對-甲苯績酸鹽 含氟界面活性劑 T -丁丙酯 丙—醇早乙基喊乙酸酉旨 使用上述光阻組成物，接觸孔洞之圖案形成藉由相同 於乾例26所述方式進行’其形成於5〇 mJ/cm2之曝露劑量 時為0.18/zmC &H之解析，及矩形形狀。於〇.22/zm c & t 時之 DOF 係 ±〇.5//m。 比較例27 使用比較例7之光阻組成物且藉由範例26所述之相同 方式進行孔洞之圖案形成，其形成於5〇 mJ/cm2之曝露劑 3：時為0.20#m C & Η之解析，及於光阻膜表面具圓形之 錐形形狀。於0.22#m C & Η時之DOF係差到為±0.1#!!! 比較例28 使用比較例1之光阻組成物且藉由範例26所述之相同 方式進行孔洞之圖案形成，其形成於75 mJ/cm2之曝露劑 量時為0.20//m C & Η之解析，及於光阻膜表面具圓形之 錐形形狀。於0.22//m C & Η時之DOF係差到為±〇.i#m 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------^--------^------------------------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 126 127783〇 、發明說明（124) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 藉由一方面比較範例26及27之結果及另一方面比較比 幸又例27及28之結果可清楚地看出於接觸孔洞之圖案形成時 ，使用二或多種之含有乙醯基之聚合物及具有特殊結構之 二或多種光酸產生劑之混合物由解析能力、D〇F及圖案形 狀之觀點而言係較佳。 範例26及27獲得之矩形接觸孔洞之圖案之截面係如第 6圖所示，且於光阻膜表面上具有具圓形之差的圖案形狀 之接觸孔洞圖案之截面（其係於比較例27及28中獲得）係 如第7圖所示。 範例28 下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·經基苯乙稀/對_第三丁氧 基羰基氧苯乙烯）[Mw 20000 ; Mw/Mn=1.12 ;生產範例9 之聚合物] 45克 聚（對-1·環己基氧乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對·第三丁 氧基苯乙烯）[Mw 18200 ; Mw/Mn=l.l2 ;生產範例7之聚 合物] 1.5^ " 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇 3克 二苯基銃/對-甲苯續酸鹽 0 05克 三乙醇胺 （U克 7 -丁丙酉1 〇·〇3克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28 7克 當藉由去聚焦曝露被施行時，所獲得之正型圖案具有 矩形形狀及於30 mJ/cm2曝露劑量下為015/ζ爪之線及間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 127 I277830 A7
五、發明說明（125) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其後縮寫成L & S)解析能力，觀察於〇.i8//m L & S時最 高達±0.7//m無圖案變質，因此可獲得令人滿意之DOF。 再者’圖案側壁係平滑且未觀察到浮渣。 為測量本發明光阻組成物之熱阻性之目的，上述獲得 之圖案於130°C之熱板上烘焙4分鐘，且0.40/zm及0.18// m L & S之圖案截面以電子掃瞄式顯微鏡（Sem)檢測，發 現圖案之矩形即使於熱處理後亦未改變，因此光阻膜之熱 阻性被確認。 自曝露至熱處理之隨時間消逝之圖案尺寸（PED)對上 述光阻膜測量，發現即使於4小時之消逝後亦未有〇.18# m L & S圖案尺寸之變化，因此其被認為穩定的。 圖案之形成於Ti3N4基材上且使用上述光阻組成物進 行，發現0.15/zm L & S之矩形形狀能於24 mJ/cm2之曝露 劑量解析。當藉由去聚焦曝露被進行時，觀察到於〇18/z m L & S之圖案尺寸至±〇.7//m係無變質，因此可獲得令 人滿意之DOF。 於23 °C時儲存上述光阻組成物1個月或3個月，以相 同於上述之方式於抗反射膜上形成圖案，發現〇15#mL& S之正型圖案可於相同曝露劑量解析且於l & s之 DOF係±0.7/zm。因此，可確認令人滿意之儲存穩定性。 範例29至54 如下所述之光阻組成物被製得。 範例29 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------0--------訂---------線蟀 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 128 1277830 A7 B7 3克 〇5克 1克 1克 .05克 28.5 克 五、發明說明（126) 基苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=l .90 ;生產範例1之聚合 物] 4.5克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/苯乙埽 18,000 ; Mw/Mn=1.85 ;生產範例3之聚合物] 1.5克 雙（環己基磺醯）二偶氮甲烷 三苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 三正辛基胺 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產物] 7 -丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例3 0 聚（對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_ 第三丁氧基苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=l.i2 ;生漆_ 例5之聚合物] 4〇克執 聚（對·1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_四氫吡嘀 基氧苯乙烯）[Mw 18,500 ; Mw/Mn=1.18 ;生產範例8之^ 合物] 1 2.0克 雙（1，1-二甲基乙基石黃醯基）二偶氮甲烷 0 3克 對-第三丁基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 克 三正丁基胺 0.1克 7 - 丁内酉旨 0.05 克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 伙 28.5克 範例3 1 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯7對_第二卜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------^ (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 129 1277830 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（l27) 基羰基氧苯乙烯）[Mw 20,〇〇〇 ; Mw/Mn=1.12 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對-第 氧基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll ;生產範例6 ' 合物] ，之聚 2·5克 雙（1，1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 對-第三丁基苯基二苯基銃/對_甲苯磺酸鹽 二紛酸 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產物] 二環己基胺 乳酸乙酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例32 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.90] 4_5克 聚（對·1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_甲基苯乙烯 )[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.86 ;生產範例2之聚合物]1>5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.3克 對-弟二丁基苯基二苯基統/對·甲苯石黃酸鹽 〇.〇5克 水楊酸 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產物] 二環己基甲基 乳酸乙酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 .5克 0.2克 〇.1克 0.1克 0·1克 〇·ΐ克 2.0克 26.0 克 〇·1克 0.1克 0.1克 2.5克 26.0 克 f請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) # 訂---------線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 130 1277830 A7 B7 五、發明說明（128) 範例33 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異丙氧基苯乙烯 )[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.12 ;生產範例12之聚合物 5.0克 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_苯醯基氧苯乙烯 )[Mw 18,800 ; Mw/Mn=1.12 ;生產範例 13之聚合物]1.0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 三苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05克 二環己基胺 0.1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.6克 範例34 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll ;生產範例4之聚合 物] 4.5克 聚（對-1-環己氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁 氧基羰基苯乙烯）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=l,12 ;生產範例10 之聚合 1.5克 雙（1,1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 二苯基-對-甲苯基銃/10·樟腦磺酸鹽 0.05克 三乙醇胺 0.1克 二環己基甲基胺 0.05克 r-丁内酯 1.5克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 27.0克 範例35 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 131 1277830 Α7 Β7 五、發明說明（l29) ;Mw/Mn=1.18 ;生產範例15之聚合物] 2.5克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙稀/對-經基笨乙烯）[MW 18,000 , Mw/Mn=1.18 ;生產範例17之聚合物]2.5克 聚（對·1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基笨乙烯）[Mw 18,500 ; Mw/Mn=l · 18 ;生產範例16之聚合物]1.0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.3克 對-第二丁基本基二苯基統/對-甲苯石黃酸鹽 005克 三正辛基胺 （M克 琥ίέ醯亞胺 01克 丙二醇 0.1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28 5克 範例36 Κ對-1-甲氧基乙乳基本乙婦/對-^基苯乙婦/對_乙稀基苯 氧基乙酸第三丁酯）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=l.l2 ;生產範例 11之聚合物] 2《士 3 · 3見 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對_羥基笨乙烯） 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 18,000 ； Mw/Mn-1.18] 雙（U-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 對-甲氧基苯基二苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 三正丁基胺 T -丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例37 水（對_1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙埽/對_特戊醯美 2 5克 • 3克 .05克 •1克 5.0克 23·5 克 --------------------訂---------^ i^wi (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 132 1277830 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五 、發明說明（130) 氧基苯乙烯）[Mw 18,500 ; Mw/Mn=1.12 ;生產範例14之聚 合物] 5.0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ；Mw/Mn=1.18] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 一苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯石黃酸鹽 二環己基甲基胺 T - 丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例38 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_異丙氧基 本乙稀）[Mw 18,000 ; Mw/Mn= 1 · 12] 5.0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 1.0克 0.3克 0.05 克 0.1克 1.0克 28.5 克
;Mw/Mn=1.18] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 二環己基甲基胺 含氟之非離子性界面活性劑 T -丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例39 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-瘦基苯乙稀）[Mw 17,500 ，Mw/Mn=1.18] 4 0克 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[MW 1.0克 0.3克 0.05 克 0.1克 0.1克 1.0克 28.5 克 -------------# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 133 127783〇
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 18,500 ； Mw/Mn=1.18] 雙（1,1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 三丙醇胺 琥珀醯亞胺 丙二醇 T ·丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例40 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙埽/對第 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll] 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙埽/對第— 基苯乙烯）[Mw 9,200 ; Mw/Mn=1.30] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 三正丁胺 7 -丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 範例41 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對·第三丁氧 基本乙細）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l. 11 ] 3 5克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對·魏基苯乙稀/第三丁氧 基本乙細）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l · 11 ] 2 5克 雙（1-甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 〇 2克 2.〇克 0·3克 0·〇5 克 o.i克 〇·ι克 ο·1克 lo克 22·6 克 丁 氧 4·5克 丁氧 U克 〇·3克 0.05 克 0·1克 克 28.6 克 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁> # 訂---------線· 134 1277830 A7 B7 五、發明說明（i32) o.i克 〇·ι克 0·ι克 〇·ι克 28.5 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯石夤酸鹽 二環己基甲基胺 含氟之非離子性界面活性劑 2-庚酮 範例42 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第二丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll] 4 〇克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第二丁氧 基幾基氧苯乙稀）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=1.12] 2 〇克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇3克 雙（對-第三丁基苯基）i〇donium/對-甲苯石备 π 八 υ·〇5克 四丁基銨氫氧化物 〇1克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28 7克 範例43 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙稀/對-羥基苯乙烯/對_特戍酿 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 氧基苯乙稀）[Mw 18,800 ; Mw/Mn=1.12 ;生產範例23之聚 合物] 4.5克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基笨乙烯）[Mvv 18,000 ； Mw/Mn=1.18] i 5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 心3克 一本基-對-甲苯基銃/對-甲苯石黃酸鹽 0.05克 二環己基胺 克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 135 1277830 A7 B7 五、發明說明（133) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 含氟之非離子性界面活性劑 7 -丁内酯 丙*一醇早甲基鱗乙酸醋 範例44 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對，基苯乙烯隊里丙氧基苯乙稀）[Mw 18,200; Mw/Mn=1.12;生產範他之聚人物] ° 5.0克 聚(對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對，基笨乙烯)[Mw 18,000 ； Mw/Mn=1.18] 雙（環己基續醯基）二偶氮甲烧 二苯基-鄰-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 -一壞己基胺 含氣之非離子性界面活性劑 7 - 丁内酉旨 丙二醇單曱基醚乙酸酯 範例45 K對-1-乙氧基正丙氧基本乙烯/對-經基苯乙婦/對-異丙氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=1.12] 5 0克 水（對小乙氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙稀）[Mw 17,500 ;Mw/Mn=1.18] i 〇克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇 3克 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 〇 〇5克 二環己胺 （U克 含氟之非離子性界面活性劑 〇1克 〇·1克 0·05 克 28.5 克 1.0克 0.3克 0.05 克 0.1克 〇·1克 0.05 克 28.5 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 136 1277830 A7 B7 五、發明說明（I34) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 -丁内酯 1-0克 乳酸乙酯 2.5克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 26.5 免 範例46 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對_特戊醯 氧基苯乙烯）[Mw 18,500 ; Mw/Mn=1.12；l 5.0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）[Mw 17,5〇〇 ;Mw/Mn=1.18] 1·〇克 雙（環己基續醯基）二偶氮甲烧 〇·3克 一苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯石黃酸鹽 〇·〇5 克 二環己胺 〇·1克 7-丁内酯 1.0克 乳酸乙酯 1.5克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 27.0 克 範例47 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙烯/對-異丙氧基 苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.12] 5.0克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對- 羥基苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.18] 1.0克 雙（環己基石黃醯基）二偶氮甲烧 0.3克 二苯基-對-甲苯基銃/對·甲苯磺酸鹽 0.05 克 二環己胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑 〇·1克 7 -丁内酯 1.0克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 137 1277830 A7 B7 五、發明說明（I35) 乳酸甲酯 3.5克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 25.5克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 範例48 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll] 5.0克 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/苯乙烯）[Mw 18,300 ; Mw/Mn=1.06 ;生產範例24之聚合物]2.0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.3克 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 〇.1克 二環己基甲基胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑 〇. 1克 r -丁内酯 〇·ι克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 25.5克 範例49 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.11] 4·0克 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ；Mw/Mn=1.18] 2.0克 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.3克 二苯基_對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 〇.〇5克 三[2-(2-甲氧基乙氧基）乙基胺] 〇.05克 二環己基甲胺 0.05克 r -丁内酯 〇.1克 丙二醇單曱基醚乙酸酯 27.5克 138 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1277830 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明說明（136) 範例50 聚(對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯酸環己酯)[Mw 17,500 ; Mw/Mn=1.50 ;生產範例26之聚合物] 4.5克 聚（對-1_環己基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基羰基氧苯乙烯）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=1.12 ;生產範例10 之聚合物] 1.5克 雙（1,1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05克 二苯基·鄰-甲苯基銃/對·甲苯磺酸鹽 0.02克 二環己基甲胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 r-丁内酯 0.05克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 27.5克 範例51 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯酸異冰片酯 )[Mw20,000 ; MW/Mn=1.55 ;生產範例27之聚合物]4.5克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ;Mw/Mn=1.18] 1·5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05克 二苯基-鄰-甲苯基銃/對·甲苯磺酸鹽 0.02克 二環己基甲胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑 0 · 1克 r -丁内酯 〇.1克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 139 ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1277830 A7 B7 五、發明說明（I37) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丙—知早甲基喊乙酸醋 27.0克 範例52 聚（對-1·乙氧基正丙氧基苯乙烯/對，基苯乙稀/甲基丙稀 酸第三丁师Mw 16，_; Mw/M則氣生產範例28之聚 合物] 5.0克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基笨乙稀/對_經基苯乙稀）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=l_18] 1.0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 二苯基-2,4,6-三甲基苯基銃/對·甲苯磺酸鹽 0.05 克 二環己基甲胺 〇·1克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 7 -丁内酯 0.2克 丙-一 早甲基鱗乙酸酉旨 26·5 克 範例53 聚(對-1-環己基氧乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯 )[Mw 15,500 ; Mw/Mn=1.70 ;生產範例29之聚合物] 4.5克 聚（對-1-乙基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ; Mw/Mn=l .18] 1.5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮曱烷 0.3克 二苯基-2,4-二甲基苯基銃/對-曱苯磺酸鹽 0.05 克 二苯基-鄰-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 〇·〇2 克 二環己基甲胺 0.07 克 四甲基銨氫氧化物 0-03 克 含氟之非離子性界面活性劑 0.1克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •Φ 訂---------線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 140 1277830
五、發明說明（l38) 克 26.0 克 嫦/丙婦酸環己 4·5克 烯）[Mw 17,5〇〇 15克 〇·3克 0.05 克 〇·1克 〇·1克 0-1克 27.0 克 相同於範例28之 31至36表所示， 7 -丁内酯 丙二醇單甲基_乙酸酯 範例54 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙 酉旨）[Mw 17,500 ; Mw/Mn=1.50] 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙 ;Mw/Mn=1.18] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 二環己基甲胺 含氟之非離子性界面活性劑 7 - 丁内i旨 丙二醇單甲基醚乙酸酯 使用上述樹脂組成物，圖案之形成以 方式進行。對抗反射膜之評估結果係如第 且對TisN4板之評估者係顯示於37及38表。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) # 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 141 1277830 A7 B7 五、發明說明（139) 第31表 範例 曝露劑量 解析能力 自曝露至熱處理之隨時間消逝之 線寬度變化(//mL&S) DOF (0.18 //m) mJ/cm2 μmL&S 〇分鐘 30分鐘後 4小時後 (//m) 29 26 0.16 0.18 0.18 0.18 ±0.6 30 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 31 31 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 32 27 0.16 0.18 0.18 0.18 ±0·6 33 33 0.15 0.18 0.18 0.18 土 0.7 34 32 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 35 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 36 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 37 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 38 30 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 39 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 40 32 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 41 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第32表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 範例 曝露劑量 解析能力 自曝露至熱處理之隨時間消逝之 線寬度變化（//mL&S) DOF (0.18//m) MJ/cm2 μγπ L&S 0分鐘 30分鐘後 4小時後 (#m) 42 26 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 43 28 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 44 26 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 45 26 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 46 26 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 47 28 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 48 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0·7 49 27 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 50 28 0.15 0.18 0.18 0.18 ±0.7 51 28 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0.7 52 27 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 53 32 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 54 278 0.14 0.18 0.18 0.18 ±0·7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 142 1277830 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（14〇) 第33表 第34表 範例 圖案形狀 側壁粗糙 浮渣 範例 圖案形狀 側壁粗糙 浮渣 29 矩形 良好 無 42 矩形 良好 無 30 矩形 良好 無 43 矩形 良好 無 31 矩形 良好 無 44 矩形 良好 無 32 矩形 良好 無 45 矩形 良好 無 33 矩形 良好 無 46 矩形 良好 無 34 矩形 良好 無 47 矩形 良好 無 35 矩形 良好 無 48 矩形 良好 無 36 矩形 良好 無 49 矩形 良好 無 37 矩形 良好 無 50 矩形 良好 無 38 矩形 良好 無 51 矩形 良好 無 39 矩形 良好 無 52 矩形 良好 無 40 矩形 良好 無 53 矩形 良好 無 41 矩形 良好 無 54 矩形 良好 無 第35表 範例 熱阻性 隨儲存時間消逝之線寬度變化 (//m L&S) 隨儲存時間消逝之DOF 變化0.18//m L&S(//m) 儲存前 儲存1個月後 儲存3個月後 儲存1個月後 儲存1個月後 29 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.6 ±0.6 30 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 31 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 32 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.6 ±0.6 33 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 34 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 35 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 36 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 37 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 38 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 39 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 40 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 41 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 士 0.7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----I----訂·--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 143 1277830 A7 B7 五、發明說明（141) 第36表 範例 熱阻性 隨儲存時間消逝之線寬度變化 (#m L&S) 隨儲存時間消逝之DOF 變化 0.18/zmL&S(/zm) 儲存前 儲存1個月後 儲存3個月後 儲存1個月後 儲存1個月後 42 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 43 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 44 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 45 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0·7 46 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 47 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 48 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0·7 49 良好 0.18 0.18 0.18 ±0·7 ±0·7 50 良好 0.18 0.18 0.18 ±0·7 ±0·7 51 良好 0.18 0.18 0.18 ±0·7 ±0.7 52 良好 0.18 0.18 0.18 ±0·7 ±0.7 53 良好 0.18 0.18 0.18 ±0·7 ±0.7 54 良好 0.18 0.18 0.18 ±0.7 ±0.7 第37表 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 範例 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力(Ti3N4; 0.7//m厚） DOF (0.18//m L&S) 側壁粗糙性 圖案形狀 29 22 0.16/zm L&S ±0.6// m 良好 良好 30 22 0.15 β m L&S ±0·7// m 良好 良好 31 24 0.15 μπι L&S ±0.7 // m 良好 良好 32 22 0.16 μ m L&S ±0.6/z m 良好 良好 33 26 0.15 μ m L&S ±0.7 // m 良好 良好 34 25 0.15//m L&S ±0_7//m 良好 良好 35 22 0.15 β m L&S ±0.7 // m 良好 良好 36 22 0.15 β m L&S ±0.7//m 良好 良好 37 22 0.15 μπι L&S ±0.7 // m 良好 良好 38 25 0.15//m L&S ±0.7 // m 良好 良好 39 22 0.15 β m L&S ±0.7// m 良好 良好 40 25 0.15 β m L&S ±0.7// m 良好 良好 41 24 0.15μπι L&S ±0.7/z m 良好 良好
I ϋ ϋ n ϋ ϋ H ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ 1 -ϋ 1__1 ϋ ϋ I -I I I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 144 ^77830 A7 B7 五 發明說明（142) 第38表 範例 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力(Ti3N4; 0.7/zm厚） DOF (0.18//m L&S) 側壁粗糙性 圖案形狀 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 22 24 22 22 22 24 24 22 26 26 26 30 27
0.15//m L&S 0.15 /zm L&S 0.15βϊπ L&S 0.15 /zm L&S 0.15/zm L&S 0.15 //m L&S 0.15 β m L&S 0.15//m L&S 0.15 //m L&S 0.15/zm L&S 0.15/zm L&S 0.15/zm L&S 0.15/zm L&S 土 0.7//m ±0.7/zm ±0.7/zm 土 0.7//m ±0.7//m ±0.7em ±0.7/zm ±0.7//m ±0.7//m ±0.7/zm ±0.7#m ±0.7/zm ±0.7//m 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 良好 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由第31至38表可清楚看出，範例29至54之任何光阻組 成物’如同範例！般’可形成良好之正型式圖案且能於抗 反射膜上解析0.15至0.16//m L & S。再者，多於土〇·6/ζ 之DOF可於〇.18#m l & S獲得。再者，即使於消逝4小時 後，〇·18 L & S可被解析而無任何問題，且未觀察到 圖案尺寸變化，其表示相似於範之組成物無pED影 。再者，範例29至54之任何光阻組成物顯示良好之性能 即疋於使用Tl3N4及其它基材時，且無對基材依賴性之 題被質疑。再者，範例29至54之級組成物不會產生有 儲存穩定性之問題。 m 響 關 比較例29 下列組成之光阻組成物被智 尺 張 紙 本
*· ^ 11111111 I Awl — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — I. 12^783〇
五、發明說明（I43) 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ;Mw/Mn=1.18 ;生產範例15之聚合物] 4.0克 聚（對-第三丁氧基羰基氧苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ; Mw/Mn=1.20 ;生產範例18之聚合物]2·0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇·2克 雙（2,4-二甲基苯基磺醯基）二偶氮甲烷 〇1克 水揚酸 0.1克 二正丁基胺 0.1克 Ν，Ν-二甲基乙醯胺 0.2克 丙一醇單乙基_乙酸g旨 28.5克 圖案之形成係藉由使用上述光阻組成物且以相同於範 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例1之方式形成。〇.16//m L & S之正型式之圖案可於 32mJ/cm2之曝露劑量解析，但形狀係有缺點，因其係錐形 。〇.18#m L & S之 DOF係 ±0.3/zm。當於 23X：儲存 1 個月 後進行圖案之形成時，±10%之圖案變化被觀察到，因此 ’此光阻組成物係差的能力及儲存穩定性。 比較例3 0 下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-四氫处喃基氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 18,000 ;Mw/Mn=1.14 ;生產範例19之聚合物] 6.0克 雙（1-甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 三苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 0.05克 三乙醇胺 0.1克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28.5克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公董） 146
a — — — — — — — — I ϋ I I I ii — — — — — — I I I I I 1277830 Α7 Β7 五、發明說明（144) 圖案之形成係藉由使用上述光阻組成物且以相同於範 例1之方式形成。〇.18//m L & S之正型式之圖案可於 33mJ/cm2之曝露劑量解析，但形狀係有缺點，因其係錐形 °〇.18//m L & S之DOF係± 0 # m。因此，此光阻組成物 係差的能力及穩定性。 比較例3 1 下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 12,〇〇(); 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
Mw/Mn=1.70;生產範例20之聚合物] 雙（1，1-一甲基乙基石黃酿基）二偶氮甲烧 三苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 三乙醇胺 丙二醇單乙基鱗乙酸酯 圖案之开》成係藉由使用上述光阻組成物且以相同於聋 例1之方式形成。〇.18//m L & s之正型式之圖案可方 32mJ/cm2之曝露劑量解析，但形狀係有缺點，因其係錐男 ，且於0.16/zm L & S之圖案不能被解析。〇 18//m時^ DOF係±l/zm。因此，此光阻組成物係差的能力。 比較例32 下列組成之光阻組成物被製備。 聚（對-第二丁氧基羰氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯）[M 17,500 ； Mw/Mn=1.201 ^ Λ . 6·0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇 3克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 6.0克 〇·3克 〇·〇5 克 〇·1克 28.5 克 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) .· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
一 -a^i ϋ ϋ ·ϋ ϋ ·ϋ I 1^— ϋ ^1 ^1 ϋ_1 I emmt ϋ 11 ·>ϋ n 1_ϋ Β·^— i^i ϋ 11 I 147 !27783〇 、發明說明（l45) 三乙醇胺 0.1克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28.5克 圖案之形成係藉由使用上述光阻組成物且以相同於範 例1之方式形成。〇·2〇 vmL & S之正型式之圖案可於 34mJ/cm2之曝露劑量解析（浮渣），但於〇18 #爪l & S之圖 案不能被解析。因此，此光阻組成物係差的能力。 藉由比較，下述之組成之光阻組成物被製備，且圖案 之形成以相同於範例29之方式進行。評估結果係如第39至 41表所示。 比較例33 聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 12,000;
Mw/Mn=1.70] 6·〇 免 雙（1，1-二甲基乙基石黃醯基）二偶氮甲烧 0.2克 雙（對-甲苯磺醯基）二偶氮甲烷 克 二乙醇胺 0.1克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28.5克 比較例3 4 聚（對-1 -乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基Μ基氧苯乙稀）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=l · 12 ;生產範例9 之聚合物] 6.0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇2克 雙（2,4-二甲基苯基磺醯基）二偶氮甲烷 〇1克 三乙醇胺 0.1克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28.5克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·------- 丨訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 148 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6·〇克 〇·3克 〇·1克 〇·ι克 A7 B7 五、發明說明（l46) 比較例35 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ；Mw/Mn=1.18] 6.0克 雙（環己基續醯基）二偶氮甲院 0.2克 三苯基銃/對-甲笨磺酸鹽 0.1克 二環己基甲胺 0.1克 丙一畔早乙基鱗乙酸醋 28.7克 比較例3 6 聚（對-1-乙氧基乙氣基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.85 ;生產範例3之聚合物] 6.0克 二苯基iodonium六氟磷酸鹽[可購得之產物] 0.2克 二環己基甲胺 〇.1克 -一乙^一醇二甲基驗 147克 丙二醇卓甲基驗乙酸醋 14〇克 比較例37 聚（對·1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.90 ;生產範例！之聚人 物] 〇 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 二環己基甲胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例38 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙嫦/對-經基苯乙埽/對_第— 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll ;生姦 # ^ 丁氧 座乾例4之聚合 --------------·--------tr---------爷,——！------------------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1277830 A7 五、發明說明（H7) 物] 4.0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,5〇〇 ；Mw/Mn=1.18] 二（二氣甲基）_s-三氮雜苯 乙醯胺 三乙醇胺 丙'一醇早乙基驗乙酸g旨 比較例3 9 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基本乙稀）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.90] 4 5克 聚（對·1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 9,200 ; Mw/Mn=l_30 ;生產範例21之聚合 2.0克 1.1克 0.5克 0.1克 27.5 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 物] 1·5克 0.3克 0.2克 28.5 克 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 二苯基-對-甲苯基銃/對-曱苯基石黃酸鹽 口比唆 丙《一 早乙基驗乙酸酉旨 比較例40 水（對-1-乙氧基乙氧基本乙婦/對-經基苯乙婦/對-第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=1.90] 4 5克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙埽/對·第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 9,200 ; Mw/Mn=l.30] 雙（U-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 雙（對曱苯磺醯基）二偶氮甲烷 三正丁基胺 1.5克 〇_2克 0.1克 〇·1克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 150
丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例41 28.5 克 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-經基苯乙婦/對_四氫u比味 基氧基苯乙烯）[Mw 18,500 ; Mw/Mn=l.l8 ;生產範例$之 聚合物] 6〇克之 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇 2克 1，2,3-三（甲烧石黃醯基氧）苯 三正丁基胺 丙一醉早乙基鍵乙酸酉旨 比較例42 對-1_乙氧基乙氧基苯乙婦/對_經基苯乙烯）[Mw ΐ7,5〇〇 > Mw/Mn=1.18] 3 5克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.18 ;生產範例17之聚合物]2.5克 0-1克 〇·1克 28.7 克 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 二環己基曱基胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例43 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對_經基苯乙烯/對_第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 9,200 ; Mw/Mn=1.30 ;生產範例21之聚合 物] 5.5克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基羰基氧苯乙烯）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=1.12] 2·0克 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 0.2克 0.1克 28.5 克 訂---------線--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 151 1277830 A7 B7 〇·3克 〇15克 〇·1克 28.0 克 五、發明說明（149) 18,500 ; Mw/Mn=1.18 ;生產範例16之聚合物]1·5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/全氟辛烷磺酸鹽 二環己基甲基胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例44 聚（對-1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基苯乙稀）[Mw 18,200 ; Mw/Mn= 1 · 11 ] 2·5克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基幾基氧苯乙稀）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=1.12] 2.0 克 聚（對-1-乙氧基正丙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Μ^ --------------·11 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 18,000 ; Mw/Mn=1.18] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 -一本基-對-甲本基銳/全氣辛烧續酸鹽 二壞己基甲基胺 丙《一醉早乙基謎乙酸酉旨 比較例45 聚（對-1·乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁 基苯乙稀）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=l .90] 4 5克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙稀/對-第三丁 基苯乙烯）[Mw 9,200 ; Mw/Mn=1.30J 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/三氟甲烧續酸鹽 三正辛基胺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 1.5克 〇·3克 0.06 克 〇·1克 28.6 克 氧 氧 1.5克 0.3克 〇·1克 〇·1克 _ » 一：0、· ^1 ϋ «I ϋ ·ϋ I I ϋ 1 ϋ ϋ I I ·.1 ϋ ϋ I I ϋ ϋ 1 ϋ ϋ - 152 1277830 Α7 Β7 五、發明說明（ISO) 丙一酵早乙基_1乙酸S旨 286克 比較例46 聚（對-1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_第三丁氧 基本乙稀）[Mw 18,200 ; Mw/Mn= 1 · 11 ] 4 0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）[Mw 17,5〇〇 ;Mw/Mn=1.18] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對'甲苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 二環己基甲基胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例47 聚（對·1_乙氧基乙氧基苯乙婦/對·經基苯乙烯/對·第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l.ll] 4.0克 來（對·1·乙氧基乙乳基本乙炸/對-經基苯乙婦）[Mw 17,500 2.0克 0.3克 0.05 克 〇·1克 27.5 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ；Mw/Mn=1.18] 雙（環己基續醯基）二偶氮甲烧 雙（對-甲苯磺醯基）二偶氮甲烷 三正辛基胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例48 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Μ\ν/Μη=1·11] 4·0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙婦/對·經基苯乙稀）[Mw 17,5〇〇 ；Mw/Mn=1.18] 2.0克 2.0克 〇·3克 〇·1克 0.1克 27.5 克 * _ 一：口、I ϋ 1 ϋ ϋ ϋ I I ϋ 1 ·1 ·ϋ ·ϋ n -1 n n n 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 153 1277830 A7 B7
五、發明說明（151) 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 二環己基甲基胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例49 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙稀/對-經基苯乙烯/對_第三丁氧 基戴基氧苯乙稀）[Mw 20,000 ; Mw/Mn=l · 12 ;生產範例9 0.3克 〇·1克 〇·1克 28·6 克 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之聚合物] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 三笨基銃/三氟甲烷磺酸鹽 三乙基胺 丙二醇單乙基醚乙酸酯 比較例50 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ;Mw/Mn=1.18] 4·5克 聚（對-第三丁氧基羰基苯乙烯/對·羥基苯乙烯）[Mw 17,5〇〇 ;Mw/Mn=1.20] 1.5克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 〇.3克 三正丁基胺 0.1克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28.7克 比較例51 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-第三丁氧 基苯乙烯）[Mw 18,200 ; Mw/Mn=l ·11] 6.0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 0.3克 6.0克 〇·2克 〇·〇5 克 〇·1克 28.6 克 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) · )OJ ·1 ϋ n ϋ ϋ I ϋ ·1 1_1 _1 ^1 ^1 ^1 ϋ -ϋ ^1 ϋ ϋ ^1 ϋ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 154 1277830 A7 B7 五、發明說明（152) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 雙（1，1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 四甲基銨氫氧化物 丙，一酵早乙基謎乙酸酉旨 比較例52 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對·羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ；Mw/Mn=1.18] 4.5克 聚（對-第三丁氧基羰基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）17,500 ；Mw/Mn=1.20] i 5克 雙（對-第三丁基苯基）i〇d〇nium^氟甲烷磺酸鹽〇·3克 一壤己基甲基胺 0.1克 丙一醇早乙基驗乙酸g旨 28.6克 比較例5 3 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ；Mw/Mn=1.18] 6 〇克 對·二苯基二諷 03克 雙（環己基續酿基）二偶氮甲院 0.3克 三正丁基胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產品] 〇. 1克 丙二醇単乙基_乙酸醋 28.6克 比較例5 4 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯酸環己酯） [Mw 17,500 ; Mw/Mn=1.50 ;生產範例26之聚合物]6.0克 雙（¾己基石黃醯基）二偶氮甲烧 0.3克 二環己基甲基胺 0.1克 0.2克 0.1克 28.6 克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .· 訂------- ——線1·---------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 155 I277830
五、 發明說明（l53) 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產品]〇 ^克 丙一醇皁乙基喊乙酸酯 28.6 克 比較例5 5 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對，基苯乙烤/丙婦酸環己 酯）[Mw 17,500 ; Mw/Mn=1.50] 4·〇克 聚（對小乙氧基乙氧基苯乙烯/對邊基苯乙稀）一 Ο，· ；Mw/Mn=1.181 ’ 2_〇克 雙（1，1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 〇3克 二環己基甲基胺 ^ 〇·1 克 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產品]〇工克 丙二醇單乙基驗乙酸酉旨 0 Z8.6 克 比較例5 6 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/丙烯酸環己 酯）[Mw 17,500 ; Mw/Mn=l.50] 4 0克 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）[Mw丨7 %〇 ；Mw/Mn=1.18] 0 Λ . 雙（1，1-二甲基乙基石黃醯基）二偶氮甲烧 0.3克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 〇·3克 一％己基甲基胺 〇1克 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產品] J克 丙一醇早乙基醚乙酸|旨 286克 比較例5 7 Κ對-1·乙氧基乙氧基苯乙婦/對_經基苯乙烯/丙埽酸環己 酉旨）[Mw 17,500 ; Mw/Mn=l·50] 4·〇克 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 -« n ϋ^ϋ I l n I ϋ ϋ ϋ an ϋ .^1 ϋ n i^i - 1277830 A7 B7 五、發明說明（l54) 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 17,500 ；Mw/Mn=1.18] 2·0克 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 0.2克 三苯基銃/三氟甲烷磺酸鹽 0.1克 二環己基甲基胺 0.1克 含氟之非離子性界面活性劑[可購得之產品] 〇. 1克 丙二醇單乙基醚乙酸酯 28.6克 第39表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第39表 比較例 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力 DOF (0..18 //m L&S) 圖案形狀 側壁粗糙 33 53 0.24 β m L&S —— 浮渣 良好 34 48 0.18βπι L&S ±0.1 /z m 浮渣 不佳 35 33 0.18 /ζ m L&S ±0.1 /zm 無好的形狀 不佳 36 25 0.20 β m L&S 無好的形狀 不佳 37 28 0.18μτη L&S ±0/zm 無好的形狀 不佳 38 26 0.20 μτη L&S — 無好的形狀 不佳 39 22 0.18βχη L&S ±0·2 // m 無好的形狀 不佳 40 33 0.18μτη L&S ±0.2 // m 錐形 不佳 41 25 0.18//mL&S ±0#m 錐形 不佳 42 21 0.18/zm L&S ±0.2//m 無好的形狀 不佳 43 31 0.16am L&S ±0.3 // m 無好的形狀 不佳 44 32 0.16/zm L&S ±0.3 //m 無好的形狀 不佳 45 28 0.16/zm L&S ±0.3 # m 無好的形狀 不佳 46 24 0.18/zm L&S ±0·2 // m 無好的形狀 不佳 47 28 0.18/zm L&S ±0.2//m 錐形 不佳 48 21 0.18 //m L&S ±0.2 // m 無好的形狀 不佳 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 157 1277830 A7 B7 五、發明說明（l55) 第40表 比較例 曝露劑量 mJ/cm2 解析能力 DOF (0..18 /zmL&S) 圖案形狀 側壁粗糙 49 32 0.18 β m L&S ±0.2/zm 錐形 良好 50 38 0.18 β m L&S ±0.2//m 浮渣 不佳 51 27 0.16 β m L&S ±0.3//m 浮渣 不佳 52 28 0.18 β m L&S ±0.1 //m 無好的形狀 不佳 53 14 0.18 β m L&S ±0.1 //m 無好的形狀 不佳 54 32 0.16 β m L&S ±0·1 // m 浮渣 良好 55 29 0.16 β m L&S ±0.3 // m 浮渣 不佳 56 25 0.16 β m L&S ±0.2// m 錐形 不佳 57 27 0.16 β m L&S ±0.3 /z m 錐形 不佳 第41表 比較例 曝露劑量 mJ/cm2 自曝露至熱處理之隨時間消逝之線寬變化 (//mL&S) 〇分鐘 30分鐘後 4小時後 43 31 0.18 0.16 0.15 44 32 0.18 0.16 0.15 45 28 0.18 0.16 0.15 46 24 0.18 0.16 0.15 47 28 0.18 0.16 0.15 48 21 0.18 0.16 0.15 54 32 0.18 0.16 0.15 56 25 0.18 0.16 0.15 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _· 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 比較例29至31、40至41、47、49及56至57之錐形係 如第2圖所示，比較例32至34、50至51及54至55之浮渣係 如第3圖所示，比較例35、37、39及42之不佳形狀係如第4 圖所示，且比較例36、38、43至46、48及52至53之不佳形 狀係如第5圖所示。 由第39及40表及第2至5圖，於此等比較例中，解析能 ^1 ϋ I ϋ I I ϋ ϋ ϋ ίβ ϋ ·ϋ ϋ ^1 «^1 -ϋ ^1 ϋ ^1 ^1 ^1 1ϋ - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 158 1277830 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 氧基本乙稀）[Mw 18,500 ; Μλν/Μη^Ι.Ιδ] 雙（1，1-二甲基乙基磺醯基）二偶氮甲烷 對-弟二丁基苯基二苯基銳/對-甲苯石黃酸鹽 丙二醇 二環己基甲基胺 五、發明說明（l56) 力係差的’圖案形狀不佳且於〇·18//ιη L&S之DOF—般係 較小（相較於本發明之光阻組成物）。 比較例53之組成之光阻組成物被製備，且其後48小時 後’圖案形成方法以相似於比較例29之方式施行，即使是 未被曝露之部份被溶解於顯影溶液，而無法形成圖案。此 係指具有比較例53之組成物之光阻組成物於溶液態時係不 穩定。 再者，於比較例43至46及48中，觀察到圖案尺寸之隨 從曝鉻至熱處理之時間消逝而變化，其表示延遲時間之影 響。 / 再者，由比較例49及比較例46及48可清楚看出解析能 力、DOF、圖案形狀及延遲時間之易受影響性係依所用光 酸產生劑之混合而顯著不同，因此，此清楚地指示本發明 之組成物之優點。 範例5 5 下述組成之光阻組成物被製備。 水（對-1乙氧基乙氧基苯乙稀/對_經基苯乙婦）I? 5⑼ » Mw/Mn=1.18] ^ Λ , 聚（對-1_乙基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_四氫σ比喃基 1.0克 0.3克 0.05 克 〇.1克 0·1克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I ϋ I I ϋ ϋ ϋ I I I ϋ n ^ I ϋ -I ϋ n .1 -I ϋ ϋ ϋ ^ 159 1277830 A7 五、發明說明（l57) 7 -丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 使用上述光阻組成物，接觸孔洞（c & 〇·5克 28.5 克 Η)之圖案形成 以範例1所述之相同方式進行，但使用用於接觸孔洞之罩 ，其造成於50mJ/cm2曝露下之〇18/zm C&H之解析。圖 案形狀係矩形。於0.22/z m C&H時之DOF係±0.5// m。 範例5 6 下述組成之光阻組成物被製備。 聚（對-1乙氧基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）17,5〇〇 ;Mw/Mn=1.18] 5 〇克 χκ (對-1-乙基乙氧基苯乙烯/對_經基苯乙烯/對-異丙氧基苯 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 乙烯）[Mw 18,000 ; Mw/Mn=1.12] 雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 二苯基-對-甲苯基銃/對-甲苯磺酸鹽 含鼠之非離子性界面活性劑 二環己基甲基胺 7 -丁内酯 丙二醇單甲基醚乙酸酯 使用上述光阻組成物，接觸孔洞之圖案 所述之相同方式進行，其造成於52mJ/cm2曝露下之〇18# m C&H之解析。圖案形狀係矩形。於〇 22#m c&h時之 DOF係 ±〇.5 # m。 比較例58 下述組成之光阻組成物被製備。 1.0克 〇·3克 〇·〇5 克 〇·ΐ克 〇·1克 1.0克 28.5 克 形成以範例55
-«^-------------------------------- 1277830
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（I58) 聚（對乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙婦）[Mw 18,500 ;Mw/Mn=1.18] 5.0克 聚（對-1-乙基乙氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯/對 -四氫σ比喃基 氧基苯乙烯）[Mw 18,500 ; Mw/Mn=1.18；| 1·〇克 雙（1，1-一甲基乙基石黃酿基）二偶氮甲烧 〇·2克 雙（2,4-二甲基苯磺醯基）二偶氮甲烷 〇·1克 含氟之非離子性界面活性劑 〇·1克 二環己基甲基胺 0.1克 7 - 丁内酯 ΐ·〇克 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5 克 使用上述光阻組成物，接觸孔洞之圖案形成以範例55 所述之相同方式進行，其造成於66mJ/cm2曝露 下之0.20 // m C&H之解析。光阻膜之表面具有圓錐形之形狀。於〇 22 // m C&H時之DOF係差至 ±〇. 1 # m。 比較例59 下述組成之光阻組成物被製備。 聚（對-四氫吡喃基氧苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[Mw 18,〇〇〇 ; Mw/Mn=l. 14] 6.0克 雙（1，1- 一甲基乙基石黃酿基）二偶氮甲烧 0.3克 雙（2,4·二甲基苯磺醯基）二偶氮甲烷 〇·1克 二本基統/對-甲苯石黃酸鹽 0.05 克 含氣之非離子性界面活性劑 0.1克 二環己基甲基胺 0.1克 7 -丁内酯 〇·5克 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一 I ·ϋ >ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ I ^1 ^1 ϋ ϋ ϋ II ϋ ^1 H ϋ ^1 —11 ϋ ^1 ϋ ϋ -ϋ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 161 1277830
五、發明說明（159) 丙二醇單甲基醚乙酸酯 28.5 克 使用上述光阻組成物，接觸孔洞之圖案形成以範例^ 所述之相同方式進行，其造成於78mJ/cm2曝露劑量下之 0.20//m C&H之解析。光阻膜之表面具有圓錐形之形狀。 於 0·22 // m C&H 時之 DOF 係差至 ±〇.l//m。 由範例55及56和比較例58及59之結果，可知於接觸孔 洞圖案之形成時，使用二或多種含有乙醯基之聚合物及二 或多種具有特殊結構之光酸產生劑之混合物以解析能力、 DOF及圖案形狀而言係有利的。 範例55及56獲得之矩形接觸孔洞之圖案之截面係如第 6圖所示，且比較例58及59獲得之光阻膜表面之具缺失之 圓錐形之接觸孔洞圖案之截面係顯示於第7圖。 範例57 範例11之光阻組成物及無T - 丁内酯之相同組成物於 23 C被儲存且具有0·2/ζ m或更大之尺寸之細微顆粒隨時 間消逝被計算。結果如第42表所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂-------- 線-· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第42表 細微顆粒之數目（顆3 也/英呎3) 儲存前 儲存1個月後 儲存2個涵 儲存3個月後 儲存糾固月後 範例11之光 阻組成物 2 2 3 3 5 除7-丁内酯 外之範例11 之光阻組成 物 3 10 20 45 480 需瞭解使用7 - 丁内酯加入本發明光阻組成物中對於 其儲存期間抑制組成物中之細微顆粒增加係有效的。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 162 1277830 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（16〇) 由上述可清楚瞭解，當光阻組成物（其間二氮二颯化 合物與含有芳族或脂族之多環磺酸離子（作為相對陰離子） 之最高正價鹽（作為光酸產生劑）共同使用且二或多種之乙 醯基型聚合物被一起使用）被作為光阻組成物，以藉由具 有300mn或更小波長之光源（諸如深紫外線及KrF激元雷射 光線（248.4nm))於抗反射膜或Ti3N4基材上曝露，以用於最 近期望之需要0.20至0.13# m線及間隔之超細微處理中， 相較於至今之已知光阻組成物，顯著較高之解析及具有良 好側壁粗糙性之良好之矩形形狀可被獲得，且更穩定之圖 案尺寸可自曝露至熱處理（後烘焙）期間之隨時間消逝被保 持，再者，具有大DOF之良好形狀之細微圖案可被獲得。 再者，可確認的是本發明之光阻組成物顯現優異之能力， 即使於應用於其它種基材上，因此於已知光阻組成物之嚴 重之基材依賴性之問題可被克服。因此，本發明對於半導 體工業等之超細微圖案形成具有重大之價值。 此外，本發明之光阻組成物可顯現特別是於使用深紫 外線及KrF激元雷射光之圖案形成時之有效性，且其亦可 被用於使用電子束及軟性X-射線時之圖案形成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------II-----------It----I----^ I ---------------------- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 163

Claims (1)

1277830 六、申請專利範圍 第89101076號專利申請案申請專利範圍修正本93·〇8·27 1· 一種化學放大型光阻組成物，其包含： (a)二種或多種聚合物，其藉由酸的作用變成鹼可 溶且以下述化學式表示：
[1] 其中，R1及R2係氫原子；R3係一氫原子或一甲基；R4 係一甲基或乙基；R5係具有1至6個碳原子之直鏈、分枝 或環狀之烷基；R6係氫原子、具有1至4個碳原子之直鏈 或分枝之烷基、具有1至4個碳原子之直鏈或分枝之烷氧 基、飽和之雜環氧基，或下述化學式之基： —0 — (CHsh一 c ——X ——R7 [2] II 〇 其中R7係具有1至8個碳原子之直鏈或分枝之烷基，或者 一芳基；X係一直接鍵結；，係〇 ; k係0或整數，但〇2〇 < (m+k)/(m+n+k) ^ 0.50及 0 $ k/(m+n+k) $0.25， (b)—選自於由下述化學式之化合物所構成之組群 中之化合物： 0 〇 [3] R8—S —C — I—R9 1 II I 〇 n2 〇 164 1277830 申請專利範圍 其中RN系具有3至8個碳原子之分枝或環狀之烧基；且 ^糸具有⑴個碳原子之直鏈、分枝或環狀之㈣；或 方烧基，及 一選自由下述化學式之化合物所構成之組群中之 化合物：
[4]
鹵素原子、具有1至6個碳 其中Rl〇、Rl1及R12係個別為 原子之直鍵77枝或環狀之烧基、具有1至6個碳原子之 直鏈、分枝或環狀之烷氧基或苯基硫基；R13係1·萘基、 2-萘基、10-樟腦基、吡啶基或下述化學式之基：
其中Rl4及Rl5係個別為氫原子或鹵素原子；且R16係氫 原子、鹵素原子、具有1至12個碳原子之直鏈、分枝或 %狀之烷基、或一具有1至4個碳原子之直鏈或分枝之烷 氧基， 及一下述化學式之化合物：
R19 SOa0 [6] 165 六、申請專利範圍 其中R及R係個別為氫原子、具有1至4個碳原子之直 鏈或分枝之烷基、具有1至4個碳原子之直鏈或分枝之烷 氧基；且R19係1-萘基、2-萘基、10-樟腦基、苯基，或 以一或多者之相同或相異之具有個碳原子之直鏈 、分枝或環狀之烷基取代之苯基，及 (c)一溶解該組份（a)及（b)之溶劑， 其中（b)/(a)之比例係（ι·2〇)ι〇〇。 2·如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中該組份（3)包 含二種如下化學式之聚合物··
其中於第一聚合物中，r1、R2、R3、r4、R5、r6、m n及k係如申請專利範圍第工項所界定者；且於第二聚入 物中，k係為〇;Rl、R2、R3、R4、R5、mh_^ 聚合物相同，且該第一聚合物對該第二聚合物的比例係 為95 : 5至5 ·· 95之重量比。 3.如申請專利範圍第2項之光阻組成物，其中於該第一聚 合物中’ Rl、R2及R3係氫原子；R4及R5係如申請專利範 圍第1項中所界定u係具有3至4個碳原子之分枝炫 =基、四氫t南基氧基、四氫料氧基、乙醯基氧基或 苯醯基氧基；m、„及k係個別為整數，但〇 2〇 ‘ 1277830
六、申請專利範圍 (m+k)/(m+n+k) $0.50及〇$k/(m+n+k) $〇·25,及於該 第二化合物中，k係0 ; R1、r2、r 3、r4、r5、瓜及η係 與該第一聚合物中相同。 4·如申請專利範圍第2項之光阻組成物，其中於該第一聚 合物中，R1、R2及R3係氫原子；R4及R5係如申請專利範 圍第1項中所界定者；=R6係異丙氧基、第三丁氧基、 四氫吡喃基氧基、四氫呋喃氧基、乙醯基氧基或苯醯基 氧基；m及η係個別為整數；k係整數但〇 2〇 ‘ (m+k)/(m+n+k) $〇.5〇及〇gk/(m+n+k) M M ,及於該 第二化合物中’ k係〇 ; Rl、r2、R 3、r4、r5、爪心係 與該第一聚合物中相同。 ” 其中該組份（a)包 少一下述化學式 如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中 含至少一下述化學式[1]之聚合物及至少— [25]之聚合物； 該化學式[1]具有下述結構:
原子；R4及R5係如中請專利範圍第 ;R6係具有3至4個碳原子之直鏈、分枝
基氧基；1X1、 其中I^、R2及R3係氫原子； 1項中所界定者；R6係具 或環狀之烷氧基、 酿基氧基或苯醯基氧基； 二W火你卞之直鏈、分枝 基氧基、四氫呋喃氧基、乙 n及k係個別為整數，但0.20 1277830 六、申請專利範圍 $(m+k)/(m+n+k) $0.50且 0<k/(m+n+k) $0.25, 該化學式[1]具有下述結構：
其中，R1、R2及R3係氫原子；R4及R5係如申請專利範圍 第1項中所界定者；R23係具有1至6個碳原子之直鏈、分 枝或環狀之烷基或具有7至9個碳原子之含橋鍵之脂環 您基；m，η及h係個別為整數，但〇.i〇$ (m+hwm+n+h) $0.90且〇$h/(m+n+h) S0.25，且該化學式[1]聚合物 對該化學式[25]聚合物的比例係為95 : 5至5 : 95之重量 比。 127783〇 六、申請專利範圍 9·如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中於化學式[4] 中’ RlG，Rll&Rl2係個別為氫原子，或具有1至6個碳原 子之直鏈、分枝或環狀之烷基；R13係10-樟腦基、曱苯 基、第三丁基苯基，或十二烷基苯基。 1〇·如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中於化學式[6] 中’ R17及R18係個別為氫原子，或具有1至4個碳原子之 直鏈或分枝之烷基；係1〇_樟腦基、甲苯基、第三丁 基苯基，或十二烷基苯基。 Π·如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中該組份（b) 包含至少一化學式[3]之化合物及至少一化學式[4]之化 合物。 12·如申請專利範圍第1；[項之光阻組成物，其中化學式[3] 之化合物對化學式[4]之化合物之比例以重量計係1〇 : 1 至 1 : 1。 13·如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中該組份（b) 包含至少一化學式[3]之化合物及至少一化學式[6]之化 合物。 14·如申請專利範圍第13項之光阻組成物，其中化學式[3] 之化合物對化學式[6]之化合物之比例以重量計係1〇 : 1 至1 : 1。 15·如申請專利範圍第1項之光阻組成物，其中該組份（c)係 含有具内酯環之化合物之混合溶劑。 16·如申請專利範圍第15項之光阻組成物，其中該具有内酯 環之化合物係T - 丁内酯或γ -丙内酯。
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