經濟部中央標準局員工消費合作社印製 3〇79<3l a 7 E7五、發明説明（i) 〔發明背景〕 〔發明領域〕 本發明係關於劇增保護鼷_霉路連接到顯示部的平板 顯示裝置用陣列基板。 〔相關技術〕 近年來，以液晶顯示器（LCD )爲代衰的平板顯示 裝置已廣爲使用於個人電腦、文窨處理器、«視、錄影機 投射器（video projector)等機器。此植平板顯示裝置 —般具有薄、輕、省電的特徽。特別是主動遞矩障液晶顛 示器（active matvix LCD)的硏究闕發非常的多。因爲 此種主動型矩陣液晶顯示器具有用以分別驅勖複數的影點 電極的複數的薄膜電晶體，所以能夠得到在鄰接影點間沒 有相互交談（cross talk)的良好的顯示畫像。 一般而言，主動型矩陣液晶顯示器的構成却_下。此液 晶顛示器係：液晶組成物經遢鷗向膜而保持於陳列基板與 對向基板之閬，並藉由使光透過液晶組成物發顯示畫像。 配向基板則具有：在由銦錫氧化物（I nd i um Ti n Ox ide ; I TO)所構成的玻瑱基板上以矩陣狀配置的複數的影_m 極，沿著道些影點電極的行而形成的複數的掃描線，沿著 道些影點電極的列而形成的複數的信號線，及分別形成於 迸些掃描線及僧號線的交點附通的複數的影黏薄膜電晶體 。各影點薄膜電晶體依照來自掃描線的選擇僧號而供應來 自侰號線的映像侰號給對應的影點《極。而且，陣列基板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本ff ) 裝· Λ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2I0X 297公缝） 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 Λ 7 Β-7 五、發明説明（2〉 也具有：與複數的播描線幾乎成卒行的E置於玻瑭基板上 ，用以構成輔助m容c s並以總緣膜而與對應影鼬電極絕 緣的複數的輔助電容線。對向蘂板則具有：形成於玻璃基 板上的矩陣遮光膜及形成於覆1此遮光膜的絕緣膜上的共 用（CQ ram on) «極。在陣列基板上，遮光膜可遮住透過薄 膜電晶體及其影贴《極的周邊«域的癱透光。共用電極係 經過，將銀粒子等的導m粒子分敝於樹脂中的，轉換（ transfer)材而在《性上連接到設置於陣列基板的共用電 位線。此共用電位線，信號線1掃描線係經過，在聚亞醢 胺（polyimide)等柔軟（flex, ible)基材上具有金屬配 線的柔軟印刷電路（Flexible Print Circuit; FPC)配 線板或是在其上追加上驅動元件的腰帚自動黏接（Tape Automated Bonding; TAB)配嫌板，而電性上的連接到形 成於外部邂路的驅動電路。而且，瘅列基板具有：做爲接 受來自驅動電路並供應給信號線及掃描線的《颳的導電性 端點而使用的複數的接績片，及，做爲用以榆査影點薄膜 電晶髗及其配線而接受供應的徐寰《壓的導電性端點而使 用的複數的檢査片。因爲檢査片除了在檢查時之外並不被 使用，所以將其配置於接績片的外側並在陣列基板的製造 過程中在進行檢査之後便能夠將其除去。 譬如說，在特開平3-2 9 6 7 2 5號中，鬮示了在 陣列基板的製造中產生靜電時的保嫌影點薄膜《晶谶的技 術。此技術爲：使複數的劇增保護開鬮電路連接到形成於 沿著陣列基板的外周的短路線與信號線及掃描嫌之間。各 本紙張尺度適用中國國家標準（€阳）八4現格（210乂 297.公:釐） (請先閱讀背面之注意事項再填窍本S ) --8 經濟部中央標準局舅工消费合作社印袋 A7 B7 五、發明説明（3 ) 劇增保護開關«路係由二極體（diode )及薄騸電晶雠等 的非線性元件所構成，在信號線或掃描鐮的電位較小時可 做爲高電阻而在信號嫌或掃描線的電路鎌很大時則可做爲 低電阻。即是，掃描線或僧號線的其中之一在陣列基板的 製造中若是因產生了靜幫電荷而成爲高《位，則劇增保護 開關電路可使此電荷流到短路線。若是在各影點薄膜電晶 僵的閘極（gate)及源極（source)間的電位埜變成很大 時，則短路線會與連接到道些闌極及濂極的掃描線及信號 線做氰性上的連接，而降低此影點薄膜氰晶镰的閛極與源 極間的電位差。因此，能夠防止影點薄膜電晶髗因爲闞極 及源極間的電位差而被破壞。在做影點薄膜《晶嫌及其配 線的缺陷檢査時，短路嫌則在氰性上與印加了檢査用電Μ 的掃描線及信號線分開。因此*缺陷檢査不會受到劇增保 護開關電路的妨害。 但是，在以往曾有過複數的劇增保嫌霉路在_列基板 的製造中受到靜電破壞，而使鄰接的配線（僧號線或掃描 線）經由短路線而發生短路的情形。但是，在做缺陷檢査 時，很難將此種短路與將道些配線做接觸時所產生的短路 區別出來。 〔發明摘要〕 本發明的目的在於提供一娜掛的劇增保議闋關電路不 會同時的受到靜電破讓的平板臞示裝置用的陣列基板。 此目的係由：具有：絕緣基板，及，配列於行及列方 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項耳填寫本疗 • - -- - - I - - 1= I -fc rn ^11 ΛΙ— --- n ........^-衣-----In · ----- - —I- --1--- I -- I m - -1 —^l· IK - ----- 1 m· —l·— 11^1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 B7五、發明説明（4 ) 向的複數的影點電極，及，連捿獨道些影黏電極並分別控 制道些影點電極的«位的複數_影黏遍擇Μ騮元件，及， 包含連接到道些影點選揮開關元件並延伸到外部的除去可 能區域的複數的配線並形成於縴緣綦板上的願示部，及， 形成於此除去可能區域的短路線，及，在絕緣基板上分別 連接到短路線與配線之閜，在备個對應配綠的電位超過所 定値時使此對應配線«性的連接到短路線的複數的劇增保 護開關電路，及，分別與形成於除去可能厪域的複數的配 線相連接的複數的片：複數的檢査片及複數的劇增保護開 關電路係在行及列方向中的至少一方配置於顯示部的一方 側，而複數的檢査片中的鄰接的檢査片與絕緣基板的邊緣 的距離則是各不相同，平板顳示用陣列基板所達成。 本發明者檢證了上述的劇增用保護開鼸霉路在平板顯 示裝置用陣列基板的製造中被破壤的尿因。絕緣基板在各 種處理中重覆的裝卸於支撺台上，並由此Μ覆的裝卸而帶 電。在絕緣基板累稹大量的靜電電荷的狀態下，如果支撑 台接觸到位置決定栓（p i π )等外部部材，則在此外部部 材與形成於絕緣基板的除去可鎌區域的檢査片間會產生放 電。此放電比較容易同時的破壞掉，相對於鑕示部而霄， 接近檢査片附近的鄰接的劇增侮護開關電路。 在上述的平板顯示裝置用陳列基板中，複數的檢査片 中的鄰接片相互的距離與其與紲緣板的邊緣的距離相同。 在此場合，能夠保護對應於鄰據片的劇增保護開關m路之 一而使其不受靜《破壞。因此》在做缺陷檢査時，能夠將 (請先閱璜背面之注意爹‘項再填寫本瓦 裝' ，va 丄 本紙張尺度適用中國國家標準（C_NS ) Λ4规格（2IOX297公錄） 307 剛 A, 五、發明説明（5 ) 鄰接的配線的短路視爲因接觸所形成的狀態。 〔圖號之簡單說明〕 第1蹁係在本發明的一實施例的平板鎮示裝置用陣列 基板的平面園。 第2圖係概略的顯示形成於讕1所示的障列碁板的區 域S內的電路的構進的圖。 第3圖係顯示形成於圓1所示的陣列基板的舊域DA 內的各影點的構造的平面圖。 第4圓係願示沿著圈3所示的一線所切衡的陣列基板 的斷面的斷面圖。 第5圖係在圓1所示的ft列塞板的缺陷檢査中所印加 的電壓的波形圓。 第6圚係概略的顛示使用圈1所示的隊列基板的液晶 顯示裝置的構造的謝面醒。 第7圓係顯示如圖2所示的電路的變形例的_。 經濟部中央標李局員工消費合作社印製 (請先間讀背面之注意事項再填寫本S ) 〔較佳實施例之詳細脫明〕 以下，參照附圈來詳細的醮明本發明的一資施例的平 板顯示裝置用陣列基板。 圖1係此陣列基板1 0 0的平面構造。此陣列基板 1 0 0，謇如說，係做爲光穿纖型的主動矩讎式液晶顯示 器的組裝部品而使用。在主動矩陣式液晶顯示器腾具有對 角爲1 0 4英寸的螢慕尺寸（screen size)的場合，陣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210>':297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 * A 7 B7 五、發明説明（6 ) 列基板1 0 0係使用2 0 0咖X3 〇 〇_>的通明玻_基板 101而形成。如圓1所示，玻》基板101可分爲顯示 Μ域DA，連接片區域CP，及缺陷檢查區域CA°速接 片區域C P係配置於顯示面域D A的外側*而缺陷楡査區 域C A係配置於連接片班域C P的外側。 圖2顯示形成於圓1所示的Μ域S的電路的構遒。在 此顯示區域中，陣列基板1 0 0具有：以矩陣形式而配列 的480X1920個的影_霉極151 ，及1920條 的信號線 1 0 3 ( X i ( i 二 1，2，3，…，1 9 2 0 )，及，480 條的掃描線 111 ( Y 1 (j=l，2, 3，…，4 8 0 )):道些摊描線1 1 1分别沿著影點電 極1 5 1的行而形成，信號線1 〇 3則分別沿著影黏霣極 1 5 1的列而形成。因此，掃描線1 1 1與償號線1 〇 3 幾乎成垂直。僧號線1 〇 3的聞隔係設定爲].1 〇 ， 掃描線1 1 1的間隔則設定爲3 3 〇 μ m。陣列基板 1 0 0也具有形成於信號線1 〇 3與掃描線I 1 1的交點 附近並分別控制影點電極1 5 i的電位的4 8 0 X 1 9 2 0個的薄膜電晶體1 2 1 ° 詳細而言，如圈3及圖4所示，各薄膜氰晶體1 2 1 具有：在玻璃基板1〇1上由掃描嫌111的一部份所構 成的閘極氰極，及，藉由在此_極電極上堆積二氣化矽及 氮化矽所得的絕緣腆1 13，及，形成於此絕緣膜1 1 3 上的a — S i : Η的半導髗膜11 5。氮化较的通道（ channe丨）保護膜1 1 7則由與掃描線1 1 i做自我對齊 本紙張尺度適用中國國家標準（〔’灿）六4规格（2丨0\ 297公釐） (讀1閱讀背而之注意事項4填寫本頁) ^ΗΙΗΗν _ —訂--- Λ A7 B7 五、發明説明（7 ) (self alignment)而形成於 半導讎膜115上。半導籠 腆1 1 5除了經由η*型a — Si : Η的低電阻半導«[膜 1 1 9而與源極（source)電極1 3 1做氰性的連接之外 ，也經由η*型a — S ί : Η的低《阻半導體膜1 1 9而 與洩極（drain) «極1 〇 5做氰性的連接。灝極電極 1 3 1與影貼鬣極1 5 1相遽接而浅極電極1 0 5係由信 號線1 0 3的延伸部份所構成。陳列基板1 〇 0也具有股 定爲與掃描嫌1 1 1幾乎相平行的輔助霞容線1 6 1。此 輔助電容線1 6 1及影點電極1 5 1具有構成輔肋電容 Cs的重複部份。僧號線1 0 3、掃描線1 1 1及薄膜電 晶體1 2 1則全部由氮化矽的保護瞧1 7 1所覆董。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請尤閱讀背而之注意事項再填寫衣頁) 在連接片區域CP中，陣列基板1 0 〇具有4 8 0個 掃描線連接片CPYi (i=l ，2，3，…，480) 及信號線連接片CPXi ( i=l ，2，3，…， 1920)。如圖2所示，掃插線連接片CPYi與分別 從顯示區域DA而向著玻瑱基板〗〇 1的邊緣RE伸出的 掃描線Yj的部份分別連接，倌號線連接片CPX i則分 別從顯示W域DA向著玻璃基板1〇1的邊綠CE伸出的 信號X i的部份連接。掃描線迪接片CPY j及備號線連 接片cpx i係做爲用以連接到股於外部m路基板（_未 示）的驅動電路的導電性端點來使用。全掃描線連接片 CPYj係只配置於與對應玻壤基板1 0 i的邊緣RE的 掃描線Y j的同一側：信號線連接片C PX i則只配置於 對應玻瑪基板1 0 1的邊緣CE的信猇線X i的同一側。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2丨0> 297公釐）-川 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（8 ) 此連接片C PY i及C PX i的配置的邏定是爲了有 效的增加玻璃基板1 0 1的利用效率與增加顧示面域D A 對連接片面域C P的比率。 在缺陷檢査1[域中，陣列基板1 0 0會有嫌描線檢査 片C A Y j ( j = 1 ，2，3，…，4 8 0 )及信號鎳檢 査片 CAXi (i = l，2，3，…，1920)。掃描 線檢査片 CAXj (; = 1，2，3，.，，480)係分 別經由掃描線連接片C P Y〗（〗=1 ，2，3，…， 4 8 0 )而連接到向著玻瑱基板1 0 1的邊嫌RE伸出的 掃描線Y i ( i = 1，2，3，…，4 8 0 )的部份，信 號線檢査片 CAXi (ί = 1，2，3，…，1920) 則經由僧號連接片C Ρ X i ( i = 1 ，2，3，…， 1 9 2 0 )而分別遽接到向著玻璃基板1 〇 1的邊緣C E 伸出的信號線（X i ( i = 1 ，2 ，3 ，…，1 9 2 0 ) 的部份。與掃描線連接片C PY i及信號線連接片 C PX i同樣的，掃描線檢査片CAY j只配置於與對應 玻璃基板1 0 1的邊緣RE的掃描線Yi的同一側，而信 號線檢査片CAX i則只配置於輿對應玻璃基板1 〇 1的 邊緣CE的倌號線X i的同一側。此檢査片CAY i及 CAX ί的配置選定是爲了有效的增大玻瑰基板1 〇 1的 利用效率。
信號線檢査片C A X i (丨=1 ，2 * 3，…， 1920)中的奇數信號線檢査片CAXi (i=l，3 ，5，…，1 9 1 9)係距離玻璃基板1 0 1的邊緣CE 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規1格（210X 297公釐> _ u I " (請先閱讀背而之注意事項洱填.¾本K〕 裝' 、-° -丄 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 307981 a B? 五、發明説明（9 ) dl而偶數信號檢査片CAXi ( i = 2，4，6，…， 1 9 2 0 )係距繭玻璃基板1 0 1的邊緣CE d 2而成 千Λ狀配列。具髗而首，將d 1設定爲1晒而將d 2股定 爲3咖。因此，相較於奇數信醃榆査片CAX i ( ί =1 ，3，5，…，1 9 1 9 )，偶數倌號檢寰片C A X i ( i = 2，4，6，…，192 0)距離玻濤基板101的 邊緣較逮。另外，信號線檢査片CAX丨在與僭論線X i 的垂直的行方向上有9 5 的寬度；掃描線檢査片 CAYj在與掃描線Yj的垂直的列方向上有110#m 的宽度。 掃描線檢査片CAY】 （i = l ，2，3，…， 4 8 0 )係分別經由劇增保護_闥電路C T Y i (丨=1 ，2，3，…，480)而連接到短路線SRY。短路線 則是沿著玻璃基板101的邊緣RE而形成。再者，此短 路線SRY係至少與信號線Xi < i = l ，2，3，…， 1 9 2 0 )爲同一材料所構成*並如蹁4所示的露出於保 護膜171而使其與外部之闉的放電容易發生。各劇增保 護開關電路CTYj與影點薄膜《晶懺121是在同一過 程中形成，如園2所示的係由剛極、洩極互相連接的一對 的薄膜電晶谶所構成。此一對的薄膜電晶讎在加上2 0V 的電壓以做爲源極、洩極間壜壓時具有1 2 Ok Ω的電阻 値。 奇數信號線檢査片CAXi ( i = l ，3，5，…， 1 9 1 9)係經由劇增保護開顯電路CTXi ( i=l ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格_( 21〇Χ 297^^_ ) _ I- n ft Ml I n I n I n I ^ I n ΙΊ I 丄 i請先閱讀背而之洼意夢項再填艿本R } A..， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 10 ) 丨 I 3 9 5 9 … > 1 9 1 9 ) 而 連 擄 到短路 嫌 S R X 1 0 俱數 f 倌號線檢査 片 C A X » 1 ( 1 2 ，4 6 f * * 1 9 2 0 1 1 ) 則 經 由 劇 增 保 護 關 瀾 電 路 C T X i ( 1 ZZ 2 9 4 ♦ 6 f I 請 1 f 1 9 2 0 ) 而 速 接 到 短 路 線 SR X 2 Q 短 躇 線 閱 ! r 讀 1 S R X 1 及 S R X 2 BS m -hr* 奇 數 信 號線 檢 審 JHL LL, γΓ C A \r i ( i 背 1 1 之 1 — 1 * 3 ♦ 5 9 … * 1 9 1 Θ ) 及偶 數僧號練 撿 'ϋκί 重. 片 注 意 1 I C A X • 1 ( 1 二 2 9 4 6 9 * > 1 9 2 0 ) 之 間 幾 乎 與 ¥ 項 再 1 玻 璃 基 板 1 0 1 的 邊 緣 平 行 的 形 成0 再 者 * 短 路 雄 填 寫 本 装 S R X 1 及 S R X 2 係 至 少 與 偺 號鎳 X 1 ( 一 1 9 2 y I ν〆.. 1 1 3 > • * 9 1 9 2 0 ) 爲 同 — 材 料 所構 成 * 並 如 _ 4 所 示 的 1 1 霣 出 於 保 護 膜 1 7 1 使 其 與 外 部 之間 的 放 « 容 昜 發 生 0 比 1 I 起 短 路 線 S R X 2 9 短 路 線 S R XI 配 置 的 較 靠 近奇 數 僧 訂 I 號 線 檢 査 片 C A X * ( 1 rr 1 » 3， 5 9 …. 9 1 9 1 9 ) 1 | 〇 而 比 起 短 路 線 S R X 1 > 短 赂 線S R X 2 配 置 的 較 靠 近 1 | 偶 數 倌 號 檢 査 片 C A X i ( 1 = 2 » 4 Ϊ 6 … 9 I .丄 1 9 2 0 ) 0 短 路 線 S R Y 係 連摻到 短 路 線 S R X 2 而 短 路線 S R X 2 則 連接 到 短路 線 S R X 1 0 各 劇 增 保 嫌 m 關 ! « 路 C T X • 係 與 影 點 薄 膜 « 晶 鳒1 2 1 形 成 於 同 過 程 1 1· ， 如 圖 2 所 示 的 > 係 由 _ 極 洩 極互 相 Μ· 接 的 * 對 的 薄 膜 1 I 電 晶 體 所 構 成 0 此 — 對 的 薄 膜 % 晶讎 ζέιΐ 加 以 2 0 V 的 電 壓 1 I I 以 n.t. 做 源 •lac m 洩 極 閫 幫 壓 狩 fB 具 胥 12 0 k 0 的 氰 阻 値 0 1 1 1 短 路 線 S R X 1 及 短 路 她 m S R X % 也 接 到 輔 助 短 路 糠 1 S R X 3 0 輔 助 短 路 嫌 S R X 3 係至 少 與 信 號 嫌 X i ( ί 1 1 1 9 2 9 3 9 ， 1 9 2 0 ) 爲同 材料 所 構 成 » 並 在 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0> 297公t) — a * 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（η) 奇數倌號線檢査片CAXi (丨=1，3，5，…， 1919)與玻璃基板101的邊緣CE之閜幾乎與短路 線SRX1及短路嫌SRX2平行的形成。 在上述的實施例中，即使陣列基板1 0 〇在製造中琳 電，放電主要會經由靠逝玻璃基椴101的邊緣RE的短 路線SRY或是靠近玻滇基板101的邊緣CE的輔助短 路線S RX 3而發生，由此，可減輕對劇增保護開關電路 CTXi及CTYj的播害。 奇數倌號線檢査片CAXi ( i = l，3，5，…， 1919)及偶數信號線檢査片CAXi (ί=2，4, 6，…，1 9 2 0 )分別以不同的距離d 1及d 2而距離 玻璃基板101的邊緣OE。因此，對奇數信號嫌檢査片 CAXi (i = l，3，5，·’ ，1919)而言會經由 鄰接的檢査片或是對偶數信號線檢査片（CAX〗(i -2 ，4 ，6，…，1 9 2 0 )而言會經由鄰搪的檢査片而 發生强烈的放電。但是，此放電幾乎不會經由對應於鄰接 的信號線Xi (i=P)及Xi (丨=:P + 1〉的奇數倌 號線檢査片CAX i ( i = p )及偶數倌號線檢査片 CAXi (i=p+l)的對而發生。 短路線S RX 1及S RX 2係配置於奇數僧號線檢査 片CAXi (i=l，3，5，…，1919)及偶數倌 號線檢査片 CAXi (i=2，4，6，…，1920) 之間，並可做爲偶數信號線檢查片CAX i ( i = 2，4 ，6，…，1 9 2 0 )的氰氣遞蔽（shield)。此電氣遮 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨Ο X 297公犛）_ 14 - m nn vn i m In m mj^ in tn n^i n 一 / tn m nn - -ii -- - , ^ 0¾ *-βI. (请先閱讀背面之注意事項再填祥木頁) 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A：7 B·， 五、發明説明（12) 蔽能夠保護連接到偶數信號嫌楡查片CAX i ( i = 2， 4 ，6，…，1 9 2 Ο )的劇蟠保護電路C T X i使其不 受破壤連接到奇數倌號線檢査片CAT i ( i = 1，3， 5，…，1 9 1 9 )的劇增保贜Μ黼電路CTX ι·的正電 電荷的破壞。 劇增保護開關髦路C Τ X i《i = 1 ，3，5，…， 1919)係連接到短路線SRX1及奇數信號線檢査片 CAXi (i = l，3，5，…，1919)之聞：劇增 保護開關《路CTXi (ί=2，4，6，·，1920 )係連接到短路線S RX 2及偶數僧號嫌檢査片CAX i (i = 2，4，6，…，1920)之間，而道些短路線 SRX1及SRX2則在包園信號線檢査片CAXi (i =1 ，2 ，3，…，1 9 2 Ο )的框架（frame)的外側 而連接，因此，能夠更有效的防止鄰接的相同的舰增保護 電路CTX i同時受到靜《破壞。 檢査片CAY j及連接片遁域0 PY i係配置於對應 玻璃基板1 0 1的邊緣RE的信號線Yj的同一側，檢査 片CAX i及連接片區域CPX i則配置於對應玻璃基板 1 0 1的邊緣CE的信號線X i的同一側；因此，相較於 在道些電路權成要索（CQmponent)也配置於掃描線Y j 的他方側及信號線X i的他方側的場合，玻璃基板1 0 1 的利用效率較高。再者，此種16置也能夠降低連接片蓖域 C P對顯示區域DA的比率。 信號線檢査片CAXi (ί=1，2，3， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格('2Ι〇χ297^ΐ~) ~ —15 - _, I I_ ^-----(裝------訂----Ί — ^—{ (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A"? — B7五、發明説明（13 ) 1 9 2 Ο )雖然是配置於對應玻_基板1 Ο 1的邊緣CE 的傖號線X i的一方側，但是，因爲信號線檢奎片 C A X i (i = l，2，3，" ，1920)係配置成千 烏狀，所以能夠擴大各信號綠檢査片C ΑΧ丨的宽度P 1 到倌號嫌X i的相互距離的2傅。因此，能麴確實的降低 在用檢査用探針（probe)接觸信號嫌檢査片C A X i ( i = l ，2 * 3，…，1 92 0)時所發生的接觸不良。 此處，說明上述的陣列基板1 0 0的缺陷檢査。在此 缺陷檢査時，爲了將其電位做可變設定而使複數的檢査探 針分別接觸檢査片CAY j及CAX i及短路線S RX 1 、SRX2、SRX3 及 SRY。 配線之中，鄰接線的短路可以由以下的檢査（test ) 而發現。譬如脫，以鄰接信號線X 1及X 2聞的短路而言 ，可由在將短路線SRX1 、SRX2、SRX3及 SRY的電位設爲0V並將鄰擬的檢査片CAX 1及 CAX 2的電位分別設爲5 V及0 V的狀態下而測量檢査 片CAX 1及CAX 2間的電漉而得知。如果此電流的測 置値幾乎爲零，則可知信號線X 1並沒有接觸到僧猇線 X 2而且劇增保護闕關電路CTX 1爲在高電阻的正常狀 態。如果此電流的测量値比零大很多，則可知倌號線X 1 接觸到了信號線X 2或是劇增保議關關電路CTX 1爲在 導體的靜電破壞狀態。（再者*也可以測量由此«流所充 電的電容的《壓來取代測量電流。） 僧號線X 1與倌號線X 2的接觸可以從：由改變檢査 ---== £—- E- nn m emt ^^^^1 ^^^1· i 一OJ11^1 tm nt— mu nk^ (請先閲讀背面之注悫事項再填寫本f ) 本紙張疋度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297.公釐）__ A...? B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（U) 片CAX 2的電壓從Ο V變爲輿槍査片CAX 1相等的電 壓5V，而降低的檢査片CAX1及CAX2閱的魏流， 而偵測出。再者，劇增保嫌闋關電路CTX1的靜《破壞 可以從：由改變短路嫌SRX1、SRX2、SRX3、 及S RY的籩壓從〇 V變爲與榆査片C AX1相等的電Μ 5V，而降低的檢査片CAX1及短路線SRX1閜的镰 流，而偵測出。 另外，在組裝使用陣列基板1 0 0的液晶顯示裝置時 ，要除去形成劇增保護_關蕙路CTX 1及CTX 2的檢 査®域CA。因此，即使劇增保護闋關電路CTX 1及 CTX 2的兩者被靜電破壞也不會損害到陣列基板1 〇 0 的商品價値。另一方面，在倌號線X 1及X 2相接餳的場 合，因爲信號線X 1及X 2是必需要留在陣列基板1 0 0 上，所以只好將此陣列基板1 0 0視爲不良品。 上述的檢査方法是無法使用在必醫要判別：劇增保護 開關電路ctx1及ctx2的爾者均受到靜m破壞，及 ，倌號線X 1及X 2相接觸，的場合。但是，在本實施例 的陣列基板1 0 0因爲是做成劇增保嫌開覼《路C T X 1 及CTX 2不會同時受到靜電破壤，所以能夠使用此檢査 方法來判定陣列基板1 0 0是否爲信號線XI及X 2爲相 接觸的不良品。 配線的斷線及影點薄膜《晶嫌的不良及其它的缺陷則 以下述的方法來發現。在圖5中* VX i係表示备信號線 檢査片CAX i的電位而VY i則表示各摊描線檢査片
In immtl temfl nnl —^n« l tHl Km fem 1 fl^n —am ^^—^1 u ^nn I 兔-彡 、 (靖先閲績背面之注意事項再填寫本R ) 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS ) A4规格（2I0X 297公犛） 17 經濟部中央標準局舅工消費合作社印製 ^〇7S8i A7 B7 五、發明説明（is) C A Y j的氰位，V ( i j )則主要是表示各輔胁氬容 C s的電位。並一邊供應5 V的氰壓VX給備號線檢査片 CAXi ，一邊依序供應2 0V的第1繼禪脈銜（pulse 〉幫壓VY 1給掃描線檢査片CAY j °由此，所定的電 壓V s會保持於各輔助電容C §以做爲各影動電極1 5 1 及輔助電容嫌161間的竃位差。此電懕Vs則鼸著時間 而因漏電（leuk)而慢慢的衰滅。此處，在經過所定時間 t之後，再一次依序供應第2邏擇脈衡《重VY 2給掃描 線檢査片CAYj ，並從對應傯號檢査片CAXi讀出保 存於輔助電容C s的電壓。 在正常動作的陣列基板1 〇 g中*在親取時，輔助m 容會保持從電壓Vs僅衰滅所定悬的電臛Vs >。但是， 在陣列基板1 0 0內有缺陷的場合，會讀出如下述的電位 差 V s -。 譬如說，在掃描線Y 1在倌號線X 4及信號練X 5之 間斷線的場合，髦壓VX完全無法被加到對應於掃描線 Y 1及從信號線X 5到X 1 9 2 0的組合中的任一個影點 m極1 5 1。因此，與正常的陣列基板的不同的氰壓 V S ^會從對應於掃插線Υ 1及從僧號線X 5到 X 1 9 2 0的組合的影點電極1 5 1及輔肋電容線1 6工 之間的各輔助電容C s中被鏞出0其結果爲_夠確認掃播 線Y 1在僧號線X 4及倌號線X 5之間爲斷線。 在信號線X 1在掃描線Y 2及掃描線Y 3之閜謝路的 場合也是與上述的場合同樣的，電壓V X完全無法被加到 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格( 210X 297^) _ ^ (靖先閲讀背面之注意事項再填ΪΤ本頁 —ί 裝. 訂
經濟部中央標準局•負工消費合作社印製 五、發明説明（16) 對應於信號線X 1及從掃描線Y3到Y4 8 0的組合中的 任一個影點電極1 5 1，由此而能麴確E僭號線X 1的_ 線。 在缺陷係在位匿於儒號釀X 2及撵描線Y 2的交點的 薄膜電晶髖121的場合，會從對應於此薄臟電晶讎 1 2 1的影點電極1 5 1及__電容線16 1之閜的轤助 電容Cs讀出與正常的陣列基板不同的電鱅Vs/°但與 上述的斷線不同的，m壓v s “係反映出薄嫌電晶藿 121的狀態。因此能夠確認®置於倌猇線X2及嫌描嫌 Y2的交點的薄膜《晶髗1 2 1爲不良。 在對應於信號線X 1及掃插線Y 1的組合的影點電極 151及輔助電容線161短路的場合，可由輔肋氰容線 161的電位而檢偵出此短路。 當陣列基板1 0 0由上述的缺陷檢査而判定爲正常時 ，則使用此陣列基板1 0 〇而進行液晶顯示器的組裝。 在最初的處理時，將圖6所示的配向騰以凸版印刷有 機膜到圓2所示的顳示1E域D A全體上，並使其乾燥，再 將其以摩擦（rubb mg)處理而形成。其後，將障列基板 1 0 0以5 pm的間隙貼合到對向基板3 0 0，並將液晶 材料4 0 1經由基板1 0 0及3 1 0間的殘留開口注滿於 此間隙中，並將此開口封住。上述的對向基板3 0 0具有 :形成於透明的玻璃基板3 0 1上的矩陣遮光層3 1 1， 及，經由有機保護膜3 3 1而覆董住遮光膜的銦餳氣化物 的共用電極3 4 1 ，及，形成於此共用tt極3 4 1上的配 (請先閱讀圩面之注悉事項再填(·:?本f ) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格UlO〆297.公釐） 19 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 __B:7____ 五、發明説明（17) 向腆3 5 1 °遮光膜3 1 1係幽氧化鉻膜及堆稹於其上的 鉻膜所構成，在陣列基板上翠住< »ask )播繊線及備號線 所形成的薄膜電晶體及影點《極的屬邊窗域，並遮住寥透 光。彩色濾光片（c 0丨G r f i丨t e I· ) 3 2 1則對應著不爲此 遮光層311所覃住的影點電極151而形成，並使由影 點電極1 5 1選揮性的分爲紅R、緣G、蓮B的3厭色的 光穿透。 在貼合上述的陣列基板1 0 0及對向基板3 0 0之後 ，如圆2所示的將缺陷檢査逝域CA以観械的除去、高能 束（energy beam )切除，或是以取面而從陣列基板 1 0 0中除去，並如圖6所示的將偏光板1 9 1及3 9 1 分別貼到陣列基板1 0 0及對肉基板3 0 0上，並由此而 形成液晶顯示板1。並將留在液晶顯示板1的遑接片 c px i及c py j分別電性的連接到外部碁板的_動m 路（圖未示）。其後，將液晶順示板1與面照明光瀕一齊 裝入外殼中。此時，係使液晶臛示板1的顧示區域DA露 出於外殻之外並使面照明光瀬置於液晶顯示板1的背後。 如此，在固定了液晶顯示板之後便完成了液晶顳示器。 在本實施例中，即使陣列基板1 0 0在製造過程中帶 m，也能夠有效的由劇增保護闕關電路ctx i及 CTY j而保護形成於顯示逝域DA內的影點薄膜髦晶髗 121使其不受靜電破壞。再者，因爲鄰接的信號檢査片 CAX i與邊緣CE的距離互棚不同，所以能夠防止鄰接 的劇增保護_關竃路CTX i _時受到破壞。因此，不需 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4规格（210X 297公趫 (請先閱讀背面之注意事項"填寫本頁) ---{裝-
、1T 20 A 7 B? 經濟部中央標準局員工消費合作杜印褽 五、 發明説明 ( 18 ) 要 將 此 種 劇 增 保 mat « 關 關 電 路 C T X » 的 鬨 時 破 缠 m 2 信 號 線 1 0 3 的 短路 原 因 而 能 _ 艙短缺 陷 ΠΕ3 檢 査的 ηΦι 時 聞 也 能 夠 提 高 其 良 率 0 ΉΗΓ 丹 者 9 奇 數 信 號 線 檢 査 片 C A X ί ( 1 1 $ 3 « 5 9 … 1 9 1 9 ) 與 俱 數 倌 猇 線检 査 片 C A X i ( 1 — 2 9 4 > 6 > … * 1 9 2 0 ) 之 鬮 % 猫 riH «Μρ* 署 短 胳線 S R X 1 及 S R X 2 0 因 此 9 即 使 偺 號線 X i 的 間 隔 非 Λ tf.. rfa 小 也 能 夠 將 各 僧 號 線 檢 査 片 C A X * 的 寬 度 P 1 設 的 較 .l..r 大 由 此 而 能 夠 使 各 1B 號 線 檢 査 片 C A X ί 與· 檢 亦 aJBnti m 用 探 針 做 確 資 的 電 性 的 連 接 0 因 此 > 不 會 導 致 jue ( 對 位 的 不 * an* 而 能 夠 更 確 實 的 進 行 檢 査 0 本 明 並 不 僅 限 於 上 述 的 寶 施例 9 在 不 脫 離 其 要 kmiiiit m 的 範 園 內 可 以 有 各 種 的 變 形 0 譬 如 說 > 掃 描 線 檢 査 片 C A Y j 也 可 以 與 上 述 的 信 號 線 檢 査 片 C A X 1 同 樣 的 配 置 成 千 烏 狀 〇 即 是 9 如 圈 7 所 示 的 在 鄰 接 的 掃描線 檢 査 片 C A Y • J 與 玻瓖基 板 1 0 1 的 邊 緣 R E 的 距 離 係 互 相 不 同 的 場 合 » 也 能 夠 防 止 鄰 m wc 的 2 刺 增 保 mtts 腰 開 關 電 路 C T Y i 同 時 受 到 靜 電 破 壤 0 在 _ 7 中 9 奇 數 掃 彌 線 檢 JBBU 片 C A Y j ( j — 1 $ 3 9 5 ， > 4 7 9 ) 係 鄉 ffOE» 由 劇 增 保 護 開 關 電 路 C Τ Y j ( j 二 1 9 3 > 5 $ … ， 4 7 9 ) 而 電 性 的 連接 到 短 路 線 S R Y 2 9 偶 數掃描線 檢査 片 C A Υ » J ( j = 2 9 4 9 6 9 … ♦ 4 8 0 ) 則 經 由 劇 增 保 護 闋 Η m 路 C T Y j ( j = 2 4 » 6 ) … 9 4 8 0 ) 而 電 性 的 連 接 到 短 路 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2丨0 X 297公嫠） - ?1 請先閲漬背面之注意事項辱填寫本f V mwaammmmm nn · —f.装·
-,1T A 7 B7 3〇79sx 五、發明説明（19) SRY1。但是，也可以是全部的掃描線橡査片CAYj (j =1，2 » 3，…，4 8 0_>均與上述的實施例同樣 i.請先閱讀背面之注意事項再4{馬衣s ) 的接到短路線S RY ° 再者，在上述的實施例的陣列基板1 〇 〇中*短路線 SRX1係經由劇增保護關覼霄路CTXi (i = l ，3 ，5，…，1 9 1 9 )而電性雜連接到奇數信諕嫌X i ( i = 1 , 3，5，…，1 9 1 9 )，短路嫌 S R X 2 則經 由劇增保護開關m路c T X i ( i = 2，4 ，6，…， 1920)而《性的連接到偶數僧號線Xi (i=2，4 ，6 ，…，1 9 2 〇 )。但是，也可以使用3條以上的短 路線。短路線譬如說如果是3條的話，則第1 、第2、及 第3條短路線分別經由劇增保護開關電路CTX i ( i = 1 , 4，7，…，1 9 1 8 )、劇增保護開關電路 CTXi (i=2，5，8，.. ，1919)、劇增保護 開關電路 CTXi (i=3，6，9，…，1920)而 電性的連接到信號線X丨（i = 1，4，7，…， 1918) 、信號線Xi (i=2，5，8，…， 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 1919) 、及信號嫌Xi (i=3，6，9，…， 1 9 2 0 ) ° 在上述的實施例中，雖然各個劇增保護闋關氰路 CTX i及CTY系由一對的薄臃電晶儺所構成，但是 ，爲了使道一對薄膜幫晶髗有所希望的低電阻，也能夠使 用2個以上的薄膜m晶讎或是二極髗來取代。 再者，爲了確資的排除不良品，陣列基板1 〇 〇的缺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21〇Χ 297公t ) . 22 S079S1 λ? 五、發明説明（2〇) 陷檢査不僅是在陣列基板1 0 0的製造中，在除去缺陷面 域C A之前也可以再進行一次。而且，缺陷槍査Μ域C A 也可以是在使用，完成後的障列基板1 〇 〇而組裝液晶顯 示器之前再將其從陣列基板100中除去。 在上述的資施例中也可以是使：_助短路線與，將倌 號線X i及掃描線Y j分別與此輔助短路線做電性的速接 的，複數的劇增保護開關m路一起形成於連接片II域c p 內。在此場合，譬如說，即使是在如貼上偏光板過程般的 在除去缺陷檢査區域c a之後所進行的過程中使陣列基板 帶《，也能夠有效的保護影點薄膜電晶體121使其不受 靜電破壞。
(請先閲讀背面之注意事項再填Ή本I —C 裝-- 訂 _____f 經濟部中央標牟局員工消費合作社印製 23 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨Ο X 297公釐·丨