NL174304C - Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld. - Google Patents
Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld.Info
- Publication number
- NL174304C NL174304C NLAANVRAGE7709870,A NL7709870A NL174304C NL 174304 C NL174304 C NL 174304C NL 7709870 A NL7709870 A NL 7709870A NL 174304 C NL174304 C NL 174304C
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- manufacturing
- field effect
- control electrode
- effect transistors
- semiconductor circuit
- Prior art date
Links
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 title 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 title 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 title 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/80—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs
- H10D84/82—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components
- H10D84/83—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components of only insulated-gate FETs [IGFET]
- H10D84/85—Complementary IGFETs, e.g. CMOS
- H10D84/858—Complementary IGFETs, e.g. CMOS comprising a P-type well but not an N-type well
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/01—Manufacture or treatment
- H10D84/0123—Integrating together multiple components covered by H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integrating multiple IGBTs
- H10D84/0126—Integrating together multiple components covered by H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integrating multiple IGBTs the components including insulated gates, e.g. IGFETs
- H10D84/0165—Integrating together multiple components covered by H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integrating multiple IGBTs the components including insulated gates, e.g. IGFETs the components including complementary IGFETs, e.g. CMOS devices
- H10D84/0167—Manufacturing their channels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/01—Manufacture or treatment
- H10D84/02—Manufacture or treatment characterised by using material-based technologies
- H10D84/03—Manufacture or treatment characterised by using material-based technologies using Group IV technology, e.g. silicon technology or silicon-carbide [SiC] technology
- H10D84/038—Manufacture or treatment characterised by using material-based technologies using Group IV technology, e.g. silicon technology or silicon-carbide [SiC] technology using silicon technology, e.g. SiGe
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10860276A JPS5333074A (en) | 1976-09-08 | 1976-09-08 | Production of complementary type insulated gate field effect semiconductor device |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7709870A NL7709870A (nl) | 1978-03-10 |
NL174304B NL174304B (nl) | 1983-12-16 |
NL174304C true NL174304C (nl) | 1984-05-16 |
Family
ID=14488949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NLAANVRAGE7709870,A NL174304C (nl) | 1976-09-08 | 1977-09-08 | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld. |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5333074A (nl) |
DE (1) | DE2740549C2 (nl) |
NL (1) | NL174304C (nl) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56118372A (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-17 | Nec Corp | Semiconductor device |
DE3133841A1 (de) * | 1981-08-27 | 1983-03-17 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum herstellen von hochintegrierten komplementaeren mos-feldeffekttransistorschaltungen |
US4462151A (en) * | 1982-12-03 | 1984-07-31 | International Business Machines Corporation | Method of making high density complementary transistors |
EP0123384A1 (en) * | 1983-02-25 | 1984-10-31 | Western Digital Corporation | Complementary insulated gate field effect integrated circuit structure and process for fabricating the structure |
DE3314450A1 (de) * | 1983-04-21 | 1984-10-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum herstellen von hochintegrierten komplementaeren mos-feldeffekttransistorschaltungen |
DE3318213A1 (de) * | 1983-05-19 | 1984-11-22 | Deutsche Itt Industries Gmbh, 7800 Freiburg | Verfahren zum herstellen eines integrierten isolierschicht-feldeffekttransistors mit zur gateelektrode selbstausgerichteten kontakten |
DE3330851A1 (de) * | 1983-08-26 | 1985-03-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum herstellen von hochintegrierten komplementaeren mos-feldeffekttransistorschaltungen |
DE3340560A1 (de) * | 1983-11-09 | 1985-05-15 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum gleichzeitigen herstellen von schnellen kurzkanal- und spannungsfesten mos-transistoren in vlsi-schaltungen |
JPS6187375A (ja) * | 1985-10-18 | 1986-05-02 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH03101264A (ja) * | 1990-05-07 | 1991-04-26 | Nec Corp | 相補型電界効果トランジスタの製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7017066A (nl) * | 1970-11-21 | 1972-05-24 | ||
JPS51147184A (en) * | 1975-06-11 | 1976-12-17 | Toshiba Corp | Method of mawufacturing of mosic circuit device |
-
1976
- 1976-09-08 JP JP10860276A patent/JPS5333074A/ja active Pending
-
1977
- 1977-09-08 NL NLAANVRAGE7709870,A patent/NL174304C/nl not_active IP Right Cessation
- 1977-09-08 DE DE2740549A patent/DE2740549C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5333074A (en) | 1978-03-28 |
DE2740549A1 (de) | 1978-03-09 |
NL174304B (nl) | 1983-12-16 |
NL7709870A (nl) | 1978-03-10 |
DE2740549C2 (de) | 1986-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL182604C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met ten minste een paar complementaire veldeffecttransistoren met een stuurelektrode van polykristallijn of amorf silicium en een met de werkwijze vervaardigde geintegreerde halfgeleiderschakeling. | |
NL186355C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffekttransistor met gesoleerde poort van een paar complementaire transistors. | |
NL159534B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met van een geisoleerde stuurelektrode voorziene veldeffecttransistoren. | |
NL7613464A (nl) | Halfgeleiderinrichting, bestand tegen hoge spanningen, en werkwijze voor het vervaardigen daarvan. | |
NL159815B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een van een geisoleer- de stuurelektrode voorziene veldeffecttransistor met n-type kanaal. | |
NL7713724A (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een elektri- sche inrichting en elektrische inrichting ver- vaardigd volgens deze werkwijze. | |
NL187508C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen. | |
NL173113B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffecttransistor met een geisoleerde stuurelektrode van polykristallijn silicium. | |
NL185483C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleidereenheid met veldeffecttransistors met geisoleerde poort van de verarmingssoort en de verrijkingssoort. | |
NL141750B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een, uit dunne lagen opgebouwde, geintegreerde schakeling, alsmede geintegreerde schakeling verkregen door toepassing van de werkwijze. | |
NL189327C (nl) | Halfgeleiderinrichting met veldeffekt, geisoleerd stuurgebied en geheugenwerking en werkwijze voor de vervaardiging hiervan. | |
NL7609186A (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van uit meer- dere lagen bestaande microbedradingen. | |
NL190210C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling van veldeffecttransistoren met een geisoleerde stuurelektrode en van condensatoren met een dunne dielektrische laag tussen een eerste en een tweede elektrode. | |
NL158026B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling. | |
NL180264C (nl) | Bipolaire transistor voor een geintegreerde halfgeleiderschakeling en werkwijzen voor het vervaardigen daarvan. | |
NL174304C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld. | |
NL180894C (nl) | Geintegreerde halfgeleiderschakeling, omvattende tenminste een statische inductietransistor van het verticale type met een niet-verzadigde stroom-spanningskarakteristiek, die is verbonden met een andere transistor. | |
NL7701519A (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een elek- trische verbindingsinrichting en elektrische verbindingsinrichting vervaardigd volgens deze werkwijze. | |
NL7713947A (nl) | Vermogenstransistor en werkwijze voor het vervaardigen ervan. | |
NL185431C (nl) | Geintegreerde halfgeleiderschakeling, omvattende een halfgeleiderlichaam met ten minste twee basisschakelingen van complementaire veldeffekttransistoren met geisoleerde stuurelektrode. | |
NL154060B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met elektrische isolatie. | |
NL7704994A (nl) | Elektrische omzetter en werkwijze voor het ver- vaardigen daarvan. | |
NL160988C (nl) | Halfgeleiderinrichting met een halfgeleiderlichaam, be- vattende ten minste een eerste veldeffecttransistor met geisoleerde stuurelektrode en werkwijze voor de vervaar- diging van de halfgeleiderinrichting. | |
NL164157C (nl) | Geintegreerde halfgeleiderschakeling van het ladings- gekoppelde type en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke halfgeleiderschakeling. | |
NL7604708A (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een geinte- greerde schakeling. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
SNR | Assignments of patents or rights arising from examined patent applications |
Owner name: SANYO ELECTRIC CO., LTD. |
|
V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |