[go: up one dir, main page]

NL174304C - Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld.

Info

Publication number
NL174304C
NL174304C NLAANVRAGE7709870,A NL7709870A NL174304C NL 174304 C NL174304 C NL 174304C NL 7709870 A NL7709870 A NL 7709870A NL 174304 C NL174304 C NL 174304C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
manufacturing
field effect
control electrode
effect transistors
semiconductor circuit
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7709870,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL174304B (nl
NL7709870A (nl
Original Assignee
Sanyo Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co filed Critical Sanyo Electric Co
Publication of NL7709870A publication Critical patent/NL7709870A/nl
Publication of NL174304B publication Critical patent/NL174304B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL174304C publication Critical patent/NL174304C/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D84/00Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/80Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs
    • H10D84/82Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components
    • H10D84/83Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components of only insulated-gate FETs [IGFET]
    • H10D84/85Complementary IGFETs, e.g. CMOS
    • H10D84/858Complementary IGFETs, e.g. CMOS comprising a P-type well but not an N-type well
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D84/00Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/01Manufacture or treatment
    • H10D84/0123Integrating together multiple components covered by H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integrating multiple IGBTs
    • H10D84/0126Integrating together multiple components covered by H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integrating multiple IGBTs the components including insulated gates, e.g. IGFETs
    • H10D84/0165Integrating together multiple components covered by H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integrating multiple IGBTs the components including insulated gates, e.g. IGFETs the components including complementary IGFETs, e.g. CMOS devices
    • H10D84/0167Manufacturing their channels
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D84/00Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/01Manufacture or treatment
    • H10D84/02Manufacture or treatment characterised by using material-based technologies
    • H10D84/03Manufacture or treatment characterised by using material-based technologies using Group IV technology, e.g. silicon technology or silicon-carbide [SiC] technology
    • H10D84/038Manufacture or treatment characterised by using material-based technologies using Group IV technology, e.g. silicon technology or silicon-carbide [SiC] technology using silicon technology, e.g. SiGe
NLAANVRAGE7709870,A 1976-09-08 1977-09-08 Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld. NL174304C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10860276A JPS5333074A (en) 1976-09-08 1976-09-08 Production of complementary type insulated gate field effect semiconductor device

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7709870A NL7709870A (nl) 1978-03-10
NL174304B NL174304B (nl) 1983-12-16
NL174304C true NL174304C (nl) 1984-05-16

Family

ID=14488949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7709870,A NL174304C (nl) 1976-09-08 1977-09-08 Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld.

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS5333074A (nl)
DE (1) DE2740549C2 (nl)
NL (1) NL174304C (nl)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56118372A (en) * 1980-02-22 1981-09-17 Nec Corp Semiconductor device
DE3133841A1 (de) * 1981-08-27 1983-03-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum herstellen von hochintegrierten komplementaeren mos-feldeffekttransistorschaltungen
US4462151A (en) * 1982-12-03 1984-07-31 International Business Machines Corporation Method of making high density complementary transistors
EP0123384A1 (en) * 1983-02-25 1984-10-31 Western Digital Corporation Complementary insulated gate field effect integrated circuit structure and process for fabricating the structure
DE3314450A1 (de) * 1983-04-21 1984-10-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum herstellen von hochintegrierten komplementaeren mos-feldeffekttransistorschaltungen
DE3318213A1 (de) * 1983-05-19 1984-11-22 Deutsche Itt Industries Gmbh, 7800 Freiburg Verfahren zum herstellen eines integrierten isolierschicht-feldeffekttransistors mit zur gateelektrode selbstausgerichteten kontakten
DE3330851A1 (de) * 1983-08-26 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum herstellen von hochintegrierten komplementaeren mos-feldeffekttransistorschaltungen
DE3340560A1 (de) * 1983-11-09 1985-05-15 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum gleichzeitigen herstellen von schnellen kurzkanal- und spannungsfesten mos-transistoren in vlsi-schaltungen
JPS6187375A (ja) * 1985-10-18 1986-05-02 Nec Corp 半導体装置の製造方法
JPH03101264A (ja) * 1990-05-07 1991-04-26 Nec Corp 相補型電界効果トランジスタの製造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7017066A (nl) * 1970-11-21 1972-05-24
JPS51147184A (en) * 1975-06-11 1976-12-17 Toshiba Corp Method of mawufacturing of mosic circuit device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5333074A (en) 1978-03-28
DE2740549A1 (de) 1978-03-09
NL174304B (nl) 1983-12-16
NL7709870A (nl) 1978-03-10
DE2740549C2 (de) 1986-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL182604C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met ten minste een paar complementaire veldeffecttransistoren met een stuurelektrode van polykristallijn of amorf silicium en een met de werkwijze vervaardigde geintegreerde halfgeleiderschakeling.
NL186355C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffekttransistor met geŸsoleerde poort van een paar complementaire transistors.
NL159534B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met van een geisoleerde stuurelektrode voorziene veldeffecttransistoren.
NL7613464A (nl) Halfgeleiderinrichting, bestand tegen hoge spanningen, en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL159815B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een van een geisoleer- de stuurelektrode voorziene veldeffecttransistor met n-type kanaal.
NL7713724A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektri- sche inrichting en elektrische inrichting ver- vaardigd volgens deze werkwijze.
NL187508C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen.
NL173113B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffecttransistor met een geisoleerde stuurelektrode van polykristallijn silicium.
NL185483C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleidereenheid met veldeffecttransistors met geisoleerde poort van de verarmingssoort en de verrijkingssoort.
NL141750B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een, uit dunne lagen opgebouwde, geintegreerde schakeling, alsmede geintegreerde schakeling verkregen door toepassing van de werkwijze.
NL189327C (nl) Halfgeleiderinrichting met veldeffekt, geisoleerd stuurgebied en geheugenwerking en werkwijze voor de vervaardiging hiervan.
NL7609186A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van uit meer- dere lagen bestaande microbedradingen.
NL190210C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling van veldeffecttransistoren met een geisoleerde stuurelektrode en van condensatoren met een dunne dielektrische laag tussen een eerste en een tweede elektrode.
NL158026B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling.
NL180264C (nl) Bipolaire transistor voor een geintegreerde halfgeleiderschakeling en werkwijzen voor het vervaardigen daarvan.
NL174304C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld.
NL180894C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling, omvattende tenminste een statische inductietransistor van het verticale type met een niet-verzadigde stroom-spanningskarakteristiek, die is verbonden met een andere transistor.
NL7701519A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elek- trische verbindingsinrichting en elektrische verbindingsinrichting vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL7713947A (nl) Vermogenstransistor en werkwijze voor het vervaardigen ervan.
NL185431C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling, omvattende een halfgeleiderlichaam met ten minste twee basisschakelingen van complementaire veldeffekttransistoren met geisoleerde stuurelektrode.
NL154060B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met elektrische isolatie.
NL7704994A (nl) Elektrische omzetter en werkwijze voor het ver- vaardigen daarvan.
NL160988C (nl) Halfgeleiderinrichting met een halfgeleiderlichaam, be- vattende ten minste een eerste veldeffecttransistor met geisoleerde stuurelektrode en werkwijze voor de vervaar- diging van de halfgeleiderinrichting.
NL164157C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling van het ladings- gekoppelde type en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke halfgeleiderschakeling.
NL7604708A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geinte- greerde schakeling.

Legal Events

Date Code Title Description
SNR Assignments of patents or rights arising from examined patent applications

Owner name: SANYO ELECTRIC CO., LTD.

V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee