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KR960042134A - 박막트랜지스터 매트릭스장치 및 그 제조방법 - Google Patents

박막트랜지스터 매트릭스장치 및 그 제조방법 Download PDF

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KR960042134A
KR960042134A KR1019960012889A KR19960012889A KR960042134A KR 960042134 A KR960042134 A KR 960042134A KR 1019960012889 A KR1019960012889 A KR 1019960012889A KR 19960012889 A KR19960012889 A KR 19960012889A KR 960042134 A KR960042134 A KR 960042134A
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히데아끼 타끼자와
쇼우고 하야시
타께시 낀조
마꼬토 타찌바나끼
껜지 오까모토
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세끼자와 다다시
후지쓰 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 제조공정 중에서 정전차지등의 전기적 스트레스가 가해져도 단락결함이 발생하지 않아 특성변동이 적고, 고수율로 제조할 수 있는 박막 트랜지스터 매트릭스장치 및 그 제조방법을 제공한다.
투명절연기판(10)위에 박막 트랜지스터의 게이트를 공통 접속하는 게이트 버스라인(14)와 박막 트랜지스터의 드레인을 공통 접속하는 드레인 버스라인(16)이 뻗어 존재하고, 투명절연기판(10)의 연부에 게이트 버스라인(14)의 단부에 상대하여 외부단자(20)가 형성되고, 드레인 버스라인(16)의 단부에 상대하여 외부단자(30)가 형성되어 있다.
외부단자(20,30)보다 내측의 영역에 게이트 버스라인(14)을 공통 접속하는 게이트용 접속배선(24)과 드레인 버스라인(16)을 공통 접속한 드레인용 접속배선(34)이 형성되어 있다.

Description

박막트랜지스터 매트릭스장치 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 박막 트랜지스터 매트릭스 장치의 평면도, 제2도는 제1도에 나타낸 트랜지스터 매트릭스 장치의 확대 평면도, 제3도는 제1도에 나타낸 박막 트랜지스터 매트릭스장치의 화상표시영역을 확대한 평면도.

Claims (18)

  1. 투명절연기판과, 상기 투명절연기판위에 매트릭스 상으로 배치된 복수의 박막 트랜지스터와, 상기 투명절연기판위에 매트릭스 상으로 배치되고, 상기 박막 트랜지스터의 소스에 접속된 복수의 화소전극과, 상기 박막 트랜지스터의 게이트 또는 드레인을 공통접속하는 복수의 버스라인과, 상기 투명절연기판의 연부이고, 상기 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 외부단자와, 상기 외부단자 보다 내측이 영역에 형성되고, 상기 복수의 버스라인을 공통접속하기 위한 접속배선을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접속배선이 상기 복수의 버스라인 중의 서로 인접하는 버스라인을 별개의 공통접속하기 위한 복수의 접속배선을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복수의 접속배선을 접속하고, 상기 접속배선 보다도 저항값이 높은 저항배선을 더 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 버스라인이 상기 접속배선으로부터 전기적으로 분리되어 있는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  5. 투명절연기판과, 상기 투명절연기판위에 매트릭스 상으로 배치된 복수의 박막 트랜지스터와, 상기 투명절연기판위에 매트릭스 상으로 배치되고, 상기 박막 트랜지스터의 소스에 접속된 복수의 화소전극과, 상기 박막 트랜지스터의 게이트를 공통접속하는 복수의 게이트 버스라인과, 상기 박막 트랜지스터의 드레인을 공통접속하는 복수의 드레인 버스라인과, 상기 투명절연기판의 연부이고, 상기 게이트 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제1외부단자와, 상기 투명절연기판의 연부이고, 상기 드레인 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제2외부단자와, 상기 제1외부단자 보다도 내측의 영역에 형성되고, 상기 복수의 게이트 버스라인을 공통접속하기 위한 게이트용 접속배선과, 상기 제2외부단자 보다도 내측의 영역에 형성되고, 상기 복수의 드레인 버스라인을 공통 접속하기 위한 드레인용 접속배선을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 게이트용 접속배선과 상기 드레인용 접속배선을 접속하고, 상기 게이트용 접속배선 및 드레인용 접속배선보다도 저항값이 높은 저항배선을 더 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 게이트용 접속배선이 상기 복수의 게이트 버스라인 중의 서로 인접하는 게이트 버스라인을 별개로 공통 접속하기 위한 제1 및 제2게이트용 접속배선을 갖고, 상기 드레인용 접속배선이 상기 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는 드레인 버스라인을 별개로 공통접속하기 위한 제1 및 제2드레인용 접속배선을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2게이트용 접속배선과, 상기 제1 및 제2드레인용 접속배선을 접속하고, 상기 복수의 접속배선보다 저항값이 높은 저항배선을 더 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  9. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 게이트 버스라인이 상기 게이트용 접속배선으로부터 전기적으로 분리되어 있고, 상기 복수의 드레인 버스라인이 상기 드레인용 접속배선으로부터 전기적으로 분리되어 있는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항 기재의 박막 트랜지스터 매트릭스 장치와 상기 박막 트랜지스터 매트릭스 장치에 대향하여 배치된 대향기판과 상기 박막 트랜지스터 매트릭스와 상기 대향 기판 사이에 끼워진 액정을 갖는 것이 특징인 액정판넬.
  11. 제10항 기재의 액정판넬과 상기 액정판넬을 구동하기 위한 회로가 형성된 회로기판과, 상기 액정판넬과 상기 회로기판을 접속하는 접속배선을 갖는 것이 특징인 액정표시유니트.
  12. 투명절연기판위에 박막 트랜지스터 게이트를 공통접속하는 복수의 게이트 버스라인과 상기 게이트 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제1외부단자와, 상기 제1외부단다보다도 내측의 영역에 형성되고, 상기 복수의 게이트 버스라인을 공통접속하는 게이트용 접속배선을 형성하는 제1공정과, 전면에 제1절연막을 형성하는 제2공정과, 상기 제1절연막위에 상기 박막 트랜지스터의 드레인을 공통접속하는 복수의 드레인 버스라인과, 상기 드레인 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제2외부단자와, 상기 제2외부단자 보다도 내측의 영역에 형성되고, 상기 복수의 드레인 버스라인은 공통접속하는 드레인용 접속배선을 형성하는 제3공정을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스 장치의 제조방법.
  13. 투명절연기판위에 박막 트랜지스터의 게이트를 공통접속하는 복수의 게이트 버스라인과, 상기 게이트 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제1외부단자와, 상기 복수의 게이트 버스라인 중의 서로 인접하는 게이트 버스라인의 한쪽 세트를 공통접속하는 제1게이트용 접속배선을 형성하는 제1공정과, 전면에 제1절연막을 형성하는 제2공정과, 상기 제1절연막위에 상기 박막 매트릭스의 드레인을 공통접속하는 복수의 드레인 버스라인과, 상기 드레인 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제2외부단자와, 상기 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는 한쪽 세트를 공통접속하는 제1드레인용 접속배선을 형성하는 제3공정과, 전면에 제2절연막을 형성하는 제4공정과, 상기 제2절연막위에 화소전극과, 상기 복수의 게이트 버스라인 중의 서로 인접하는 게이트 버스라인의 다른쪽 세트를 공통접속하는 제2드레인용 접속배선과, 상기 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는다른쪽 세트를 공통접속하는 제2드레인용 접속배선을 형성하는 제5공정을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스장치의 제조방법.
  14. 투명절연기판 위에 박막 트랜지스터의 게이트를 공통접속하는 복수의 게이트 버스라인과, 상기 게이트 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제1외부단자와 상기 복수의 게이트 버스라인 중의 서로 인접하는 게이트 버스라인의 한쪽 세트를 공통접속하는 제1게이트용 접속배선과, 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는 한쪽 세트를 공통접속하는 제1드레인용 접속배선을 형성하는 제1공정과, 전면에 제1절연판을 형성하는 제2공정과, 상기 제1절연막위에 상기 박막 트랜지스터의 드레인을 공통접속하는 상기 복수의 드레인 버스라인과, 상기 드레인 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제2외부단자와 상기 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는 다른쪽 세트를 공통접속하는 제2드레인용 접속배선과, 상기 복수의 게이트 버스라인 중의 서로 인접하는 게이트 버스라인의 다른쪽 세트를 공통접속하는 제2게이트용 접속배선을 형성하는 제3공정을 갖는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 매트릭스장치의 제조방법.
  15. 투명절연기판위에 박막 트랜지스터의 게이트를 공통접속하는 복수의 게이트 버스라인과, 상기 게이트 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제1외부단자와, 상기 복수의 게이트 버스라인중의 서로 인접하는 게이트 버스라인의 한쪽 세트를 공통접속하는 제1게이트용 접속배선과, 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는 한쪽 세트를 공통접속하는 제1드레인용 접속배선을 형성하는 제1공정과, 전면에 제1절연막을 형성하는 제2공정과, 상기 제1절연막위에 상기 박막 트랜지스터의 드레인을 공통접속하는 상기 복수의 드레인 버스라인과, 상기 드레인 버스라인의 단부에 상대하여 형성된 제2외부단자와 제2드레인용 접속배선과, 제2게이트용 접속배선을 형성하는 제3공정과, 전면에 제2절연막을 형성하는 제4공정과, 상기 제2절연막위에 화소전극과 상기 복수의 드레인 버스라인 중의 서로 인접하는 다른쪽 세트와 상기 제2드레인용 접속배선을 접속하는 제1접속배선과, 상기 복수의 게이트 버스라인 중의 서로 인접하는 게이트 버스라인의 다른쪽 세트와, 상기 제2게이트용 접속배선을 접속하는 제2접속배선을 형성하는 제5공정을 갖는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스 장치의 제조방법.
  16. 제12항 또는 제14항에 있어서, 상기 제3공정 후 전면에 제2절연막을 형성하는 제4공정과, 상기 제2절연막위에 화소전극과 상기 게이트용 접속배선과 상기 드레인용 접속배선을 접속하는 저항배선을 형성하는 제5공정을 더 구비한 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스 장치의 제조방법.
  17. 제13항 또는 제15항에 있어서, 상기 제5공정에서 상기 제1 및 제2게이트용 접속배선과 상기 제1 및 제2드레인용 접속배선을 접속하는 저항배선을 형성하는 것이 특징인 박막 트랜지스터 매트릭스 장치의 제조방법.
  18. 제12항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 소정 제조공정의 종류후에는 상기 게이트 버스라인을 상기 게이트용 접속배선으로부터 전기적으로 분리하고, 상기 드레인 버스라인을 상기 드레인용 접속배선으로부터 전기적으로 분리하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 매트릭스 장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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