KR20190092264A - Polishing apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 실시예는 연마 장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to a polishing apparatus.
최근 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 컴퓨터, 대형 TV와 같은 각종 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평면 디스플레이 장치에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평면 디스플레이 장치는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재 액정표시장치(LCD)가 가장 널리 사용되고 있으나, 최근에는 기술력의 발달로 인해 다양한 장치의 활용이 더욱 증가되고 있는 추세이다.Recently, with the development of various electronic devices such as mobile phones, PDAs, computers, and large TVs, the demand for flat display devices that can be applied thereto is gradually increasing. Such flat display devices are being actively researched on liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), field emission display (FED), vacuum fluorescent display (VFD), organic light emitting diodes (OLED), etc. Liquid crystal display (LCD) is the most widely used due to the ease of driving means and high quality, but recently, the use of various devices is increasing due to the development of technology.
이러한 평면 디스플레이 장치 등에 사용되는 기판은 일반적으로 각종 소자 등이 실장되는 하부 패널과, 이러한 하부 패널의 상부에 별도의 상부 패널이 결합되는 복합 기판의 형태로 구성된다. 복합 기판은 상부 패널보다 하부 패널이 그 크기가 더 크게 형성되어 하부 패널이 상부 패널의 일측면에 돌출되는 형태로 구성되며, 이와 같이 돌출된 하부 패널의 일측에 외부 기기와의 전기적 접속을 위한 별도의 연결 단자가 배치된다.A substrate used in such a flat panel display device is generally configured in the form of a lower panel on which various elements and the like are mounted, and a composite substrate in which a separate upper panel is coupled to an upper portion of the lower panel. The composite substrate has a shape in which the lower panel is larger in size than the upper panel so that the lower panel protrudes on one side of the upper panel, and separates for electrical connection with an external device on one side of the protruding lower panel. Connection terminals are arranged.
이와 같은 복합 기판은 일반적으로 강화 유리 재질로 제작되어 그 강도가 증가되도록 구성되는데, 그럼에도 불구하고 복합 기판의 절단 과정에서 휠(wheel)에 의한 기계적 커팅 공정으로 인해 가공면에서 미세 크랙 등이 발생하여 그 강도가 떨어지는 문제가 있었다. 특히, 이러한 미세 크랙 등은 복합 기판의 에지 라인을 따라 주로 발생하게 되는데, 이를 방지하기 위해 최근에는 복합 기판의 에지 라인 부위를 면취 가공하는 작업 등이 수행되고 있다.Such a composite substrate is generally made of tempered glass material is configured to increase the strength, nevertheless, due to the mechanical cutting process by the wheel (wheel) in the cutting process of the composite substrate, such as a crack occurs in the processing surface There was a problem of falling strength. In particular, such fine cracks are mainly generated along the edge lines of the composite substrate. In order to prevent this, recently, an operation of chamfering the edge line portion of the composite substrate is performed.
이러한 에지 라인의 면취 가공 작업은 일반적으로 그라인더를 이용하여 에지 라인을 그라인딩(grinding)하는 방식으로 진행되고 있는데, 종래에는 복합 기판을 연마 장치 상에 하나씩 로딩하여 연마한 후 다시 언로딩하는 방식으로 작업하였다. 그러나, 이러한 그라인딩 방식의 면취 작업은 복합 기판을 지속적으로 로딩/언로딩해야 하는 등 작업이 복잡하여 생산성이 저하되는 등의 문제가 있었다.Chamfering of the edge line is generally performed by grinding the edge line using a grinder. In the conventional art, a composite substrate is loaded on a polishing apparatus one by one, polished, and then unloaded. It was. However, the grinding method of the chamfering operation has a problem such that productivity is reduced because the operation is complicated, such as continuously loading / unloading the composite substrate.
본 발명의 실시예는 생산성을 향상시킬 수 있는 연마 장치를 제공하고자 한다. Embodiment of the present invention is to provide a polishing apparatus that can improve the productivity.
본 발명의 일 실시예는, 제1 방향을 따라 연장되는 제1 레일과, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 연장되는 제2 레일과, 상기 제1 레일과 제2 레일을 따라 연마대상체를 이송하는 제1 그리퍼(gripper)를 구비하는 제1 이송 유닛, 상기 제1 그리퍼에 의해 이송된 연마대상체가 안착되며 고정되어져 있는 제1 테이블 유닛 및 상기 제1 테이블 유닛에 대응되는 위치에 배치되고 적어도 하나의 제1 스핀들(spindle)을 포함하며 상기 연마대상체를 연마하기 위해 상기 제1 테이블 유닛으로 이동 가능한 제1 연마 유닛을 포함하는, 연마 장치를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, a first rail extending along a first direction, a second rail extending along a second direction crossing the first direction, and polishing along the first rail and the second rail A first conveying unit having a first gripper for conveying an object, a first table unit on which a polishing object conveyed by the first gripper is seated and fixed, and disposed at a position corresponding to the first table unit. And a first polishing unit including at least one first spindle and movable to the first table unit for polishing the polishing object.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 레일이 둘 이상 구비되는 경우, 제2 레일들은 상호 평행하게 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, when two or more second rails are provided, the second rails may be arranged in parallel to each other.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 그리퍼는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 상기 연마대상체를 들어올리거나 내릴 수 있다. In one embodiment of the present invention, the first gripper may lift or lower the polishing object in a third direction crossing the first direction and the second direction.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 레일에 인접하게 배치되며, 상기 제1 그리퍼에 의해 파지되는 상기 연마대상체의 정렬 상태를 감지하는 제1 카메라 유닛을 더 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, it may further include a first camera unit disposed adjacent to the first rail, the first camera unit for detecting the alignment state of the polishing object gripped by the first gripper.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 방향을 따라 연장되되 상기 제1 레일에 평행한 제3 레일과, 상기 제2 방향을 따라 연장되는 제4 레일과, 상기 제3 레일과 상기 제4 레일을 따라 연마대상체를 이송하는 제2 그리퍼를 구비하는 제2 이송 유닛, 상기 제2 그리퍼에 의해 이송된 연마대상체가 안착되며 고정되어져 있는 제2 테이블 유닛 및 상기 제2 테이블 유닛에 대응되는 위치에 배치되고 적어도 하나의 제2 스핀들(spindle)을 포함하며 상기 연마대상체를 연마하기 위해 상기 제2 테이블 유닛으로 이동 가능한 제2 연마 유닛을 더 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, a third rail extending along the first direction and parallel to the first rail, a fourth rail extending along the second direction, the third rail and the fourth A second conveying unit having a second gripper for conveying the object to be polished along the rail, a second table unit on which the object to be transported by the second gripper is seated and fixed, and a position corresponding to the second table unit The apparatus may further include a second polishing unit disposed and including at least one second spindle and movable to the second table unit to polish the polishing object.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 연마 유닛은 상기 제1 방향에 평행한 가상의 연장선을 기준으로 상기 제1 연마 유닛과 대칭적으로 배치될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the second polishing unit may be disposed symmetrically with the first polishing unit on the basis of an imaginary extension line parallel to the first direction.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 스핀들의 개수는 상기 제1 스핀들의 개수에 대응될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the number of the second spindle may correspond to the number of the first spindle.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제4 레일이 둘 이상 구비되는 경우, 제4 레일들은 상호 평행하게 배치될 수 있다. In one embodiment of the present invention, when two or more of the fourth rails are provided, the fourth rails may be arranged in parallel to each other.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 레일의 개수는 상기 제1 테이블 유닛의 개수와 다를 수 있다. In one embodiment of the present invention, the number of the second rail may be different from the number of the first table unit.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 그리퍼는 복수의 제1 테이블 유닛에 대응되도록 복수의 그리퍼부를 구비할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the first gripper may include a plurality of grippers to correspond to the plurality of first table units.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 연마대상체는 상기 제1 레일을 통해 상기 제1 방향으로 이송 후 상기 제2 레일을 통해 상기 제2 방향으로 이송되며, 상기 제3 방향으로 하강하여 상기 제1 테이블 유닛에 안착될 수 있다. . In one embodiment of the present invention, the object to be polished is transferred in the second direction through the second rail after the transfer in the first direction through the first rail, the first direction is lowered in the third direction Can be seated on the table unit. .
본 발명의 다른 실시예는, 적어도 하나의 제1 스핀들(spindle)을 포함하며, 제1 방향을 따라 배치되는 하나 이상의 제1 연마 유닛, 상기 제1 스핀들에 대응되는 위치에 배치되며, 연마대상체가 안착되는 하나 이상의 제1 테이블 유닛 및 상기 제1 방향을 따라 연장되는 제1 레일과, 상기 제1 레일을 따라 이동하며 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장되는 제2 레일과, 상기 제2 레일에 연결되어 상기 제1 방향과 상기 제2 방향을 따라 이동하여 상기 연마대상체를 상기 제1 테이블 유닛으로 반입 또는 반출하는 제1 그리퍼를 구비하는 제1 이송 유닛을 포함하는, 연마 장치를 제공한다.Another embodiment of the invention, at least one first spindle (spindle), at least one first polishing unit disposed along the first direction, disposed in a position corresponding to the first spindle, the polishing object is At least one first table unit seated and a first rail extending along the first direction, a second rail moving along the first rail and extending in a second direction crossing the first direction, and the first rail 2. A polishing apparatus comprising: a first conveying unit connected to a rail, the first conveying unit having a first gripper moving along the first direction and the second direction to carry or unload the object to be polished into the first table unit; do.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 그리퍼가 제1 방향으로 이동하는 경로 상에 배치되며, 상기 제1 그리퍼에 의해 파지되는 상기 연마대상체의 정렬 상태를 감지하고 상기 연마대상체의 정렬 데이터를 생성하는 제1 카메라 유닛을 더 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first gripper is disposed on a path moving in the first direction, and detects the alignment state of the polishing object held by the first gripper, and detects alignment data of the polishing object. It may further include a first camera unit for generating.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 카메라 유닛으로부터 상기 정렬 데이터를 제공받고, 상기 정렬 데이터에 근거하여 상기 연마대상체의 위치를 보정하는 제1 조정 유닛을 더 포함할 수 있다. 이때 상기 제1 그리퍼는 상기 제1 조정 유닛에 의해 위치가 보정된 상기 연마대상체를 상기 제1 테이블 유닛으로 안착시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the first camera unit is provided with the alignment data, and further comprising a first adjustment unit for correcting the position of the polishing object based on the alignment data. In this case, the first gripper may seat the polishing object whose position is corrected by the first adjusting unit, as the first table unit.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 카메라 유닛은 다양한 크기의 연마대상체의 정렬 상태를 감지하기 위하여 거리 조정이 가능할 수 있도록 구성할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first camera unit may be configured to be able to adjust the distance in order to detect the alignment of the polishing object of various sizes.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.
본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 제1 레일 및 제2 레일을 따라 그리퍼가 이동하는 것에 의해 복수의 고정된 테이블 유닛으로 연마대상체들을 효율적으로 이재할 수 있다. 이를 통해, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 연마대상체의 반입 및 반출을 위한 최적의 이동경로를 설정할 수 있어, 공정효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 하나의 연마 유닛에 복수의 스핀들을 배치시켜 동시에 가공할 수 있어, 대량 생산이 가능해질 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 연마대상체가 안착된 고정 테이블 유닛이 연마 유닛이 있는 쪽으로 이동할 필요가 없고, 따라서 이동 중 연마대상체의 위치가 변경될 위험이 없어 보다 안정적이고 정확한 연마가 가능해질 수 있다.In the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention, the grippers move along the first rail and the second rail to efficiently transfer the polishing objects to the plurality of fixed table units. Through this, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention can set the optimum movement path for the import and export of the polishing object, it is possible to improve the process efficiency. In addition, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention can be processed simultaneously by placing a plurality of spindles in one polishing unit, it is possible to mass production. In addition, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention does not need to move the fixed table unit on which the polishing object is seated toward the polishing unit, and thus there is no risk of changing the position of the polishing object during the movement, thereby making it more stable and accurate polishing. Can be enabled.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 제1 영역에서 연마 장치의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 1의 제2 영역에서 연마 장치의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 연마 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 연마 장치의 평면도이다.
도 8은 도 6의 제1 이송 유닛을 발췌하여 도시한 사시도이다.
도 9는 도 8의 제1 그리퍼 및 제1 조정 유닛을 발췌하여 도시한 도면이다.
도 10은 도 7의 제1 카메라 유닛을 발췌하여 도시한 도면이다.
도 11a 내지 도 11c는 제1 그리퍼가 제1 연마대상체와 제2 연마대상체를 제1 테이블 유닛으로 안착시키는 과정을 순서대로 도시한 도면이다.1 is a plan view schematically showing a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a conceptual diagram for describing an operation of the polishing apparatus in the first region of FIG. 1.
FIG. 3 is a conceptual diagram for describing an operation of the polishing apparatus in the second region of FIG. 1.
4 and 5 are plan views schematically showing a polishing apparatus according to another embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a polishing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
7 is a plan view of the polishing apparatus of FIG.
8 is a perspective view showing an extract of the first transfer unit of FIG.
9 is a diagram illustrating an extract of the first gripper and the first adjustment unit of FIG. 8.
FIG. 10 is a diagram illustrating an extract of the first camera unit of FIG. 7.
11A to 11C are diagrams sequentially illustrating a process in which the first gripper seats the first polishing object and the second polishing object with the first table unit.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 이하의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, the following embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and the same or corresponding components will be denoted by the same reference numerals, and redundant description thereof will be omitted.
본 실시예들은 다양한 변환을 가할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 실시예들의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 내용들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 실시예들은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. The embodiments are capable of various transformations, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. Effects and features of the embodiments and a method of achieving them will be apparent with reference to the following description in detail in conjunction with the drawings. However, the present embodiments are not limited to the embodiments disclosed below but may be implemented in various forms.
이하의 실시예에서 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, the terms "first" and "second" are used for the purpose of distinguishing one component from other components rather than a restrictive meaning.
이하의 실시예에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular forms “a”, “an” and “the” include plural forms unless the context clearly indicates otherwise.
이하의 실시예에서 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, the term "include" or "having" means that a feature or component described in the specification is present and does not preclude the possibility of adding one or more other features or components.
이하의 실시예에서 유닛, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 유닛, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part such as a unit, an area, a component, or the like is located on or on another part, as well as being directly above another part, other units, areas, components, etc. are interposed therebetween. It also includes the case.
이하의 실시예에서 연결하다 또는 결합하다 등의 용어는 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 반드시 두 부재의 직접적 및/또는 고정적 연결 또는 결합을 의미하는 것은 아니며, 두 부재 사이에 다른 부재가 개재된 것을 배제하는 것이 아니다.In the following embodiments, the terms connect or combine, and the like, do not necessarily mean direct and / or fixed connection or coupling of two members, unless the context clearly indicates otherwise. It is not excluded.
명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.It means that there is a feature or component described in the specification and does not preclude the possibility of adding one or more other features or components.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 이하의 실시예는 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, components may be exaggerated or reduced in size for convenience of description. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, and therefore the following embodiments are not necessarily limited to those shown.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 제1 위치(A1)에서 연마 장치(10)의 동작을 설명하기 위한 개념도이고, 도 3은 도 1의 제2 위치(A2)에서 연마 장치(10)의 동작을 설명하기 위한 개념도이다. FIG. 1 is a plan view schematically showing a polishing
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)는 제1 연마 유닛(110), 제1 테이블 유닛(120) 및 제1 이송 유닛(130)을 포함할 수 있다. 1 to 3, the polishing
제1 연마 유닛(110)은 적어도 하나의 제1 스핀들(spindle, 111)을 포함할 수 있다. 제1 스핀들(111)은 연마대상체(M)를 연마하는 기능을 수행하며, 회전축부재의 말단부에 연마대상체(M)를 연마하기 위한 연마툴이 장착될 수 있다. 제1 스핀들(111)은 상기한 연마툴을 회전시켜 연마대상체(M)를 연마할 수 있으며, 예를 들면, 연마대상체(M)의 측면을 연마할 수 있다. 또는 제1 스핀들(111)은 도 1에서 연마가공 후의 연마대상체(M')와 같이, 연마가공 전의 연마대상체(M)의 일 영역이 일정한 형상으로 형성되도록 연마대상체(M)를 연마할 수 있다. The
한편, 제1 연마 유닛(110)은 복수의 제1 스핀들(111)을 포함하되, 복수의 제1 스핀들(111)은 하나의 바디부(112)에 배치될 수 있다. 제1 연마 유닛(110)은 도 1에 도시된 바와 같이, 두 개의 제1 스핀들(111)을 포함할 수 있지만, 본 발명의 기술적 사상은 이에 제한되지 않으며, 이보다 더 많은 제1 스핀들(111)을 구비할 수 있음은 물론이다. 이때, 복수의 제1 스핀들(111)은 제1 방향에 대하여 상기한 제1 바디부(112)의 하부에 일렬로 배치될 수 있는데, 이는 제1 연마 유닛(110)이 배열되는 방향과 일치할 수 있다. Meanwhile, the
제1 연마 유닛(110)은 제1 바디부(112)를 제1 방향으로 이동시키는 제1 방향 이송부(미도시)와, 제1 바디부(112)를 제2 방향으로 이동시키는 제2 방향 이송부(미도시)와, 제1 바디부(112)를 제3 방향으로 이동시키는 제3 방향 이송부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 제1 방향 이송부(미도시), 제2 방향 이송부(미도시) 및 제3 방향 이송부(미도시)는 각각 제1 방향, 제2 방향 및 제3 방향에 대하여 제1 바디부(112)를 이동시킬 수 있는, 모터, 유압 실린더, 공압 실린더 또는 리니어 엑츄에이터 등을 이용하여 구성될 수 있다. 여기서, 제1 방향 내지 제3 방향은 서로 수직한 방향일 수 있다. 제1 연마 유닛(110)은 제2 방향으로 이동하는 것에 의해 제1 테이블 유닛(120)과 멀어지거나 가까워질 수 있다. 다시 말해, 제2 방향 이송부(미도시)에 의해 제1 바디부(112)는 제1 테이블 유닛(120)과의 수직거리가 조절될 수 있다. The
제1 연마 유닛(110)은 제1 방향 이송부(미도시) 및 제2 방향 이송부(미도시)를 이용하여 제1 바디부(112)를 이동시키는 것에 의해, 제1 바디부(112)의 하부에 일렬로 배치되는 하나 이상의 제1 스핀들(111)의 위치를 한번에 조절할 수 있다. 제1 연마 유닛(110)은 하나의 제1 바디부(112)에 복수의 제1 스핀들(111)을 구비하는 경우, 복수의 제1 스핀들(111)을 이용하여 복수의 제1 테이블 유닛(120)에 안착되는 복수의 연마대상체(M)를 동시에 연마할 수 있다. 또한, 제1 연마 유닛(110)은 하나의 제1 바디부(112)의 이동을 제어함으로써, 복수의 제1 스핀들(111)의 움직임을 한번에 제어할 수 있어 공정효율을 향상시킬 수 있다. The
다른 실시예로서, 제1 연마 유닛(110)은 복수의 제1 스핀들(111)의 각각의 위치를 조절할 수 있는 제1 위치조절수단(미도시)을 더 포함할 수 있다. 제1 위치조절수단(미도시)은 각각의 제1 스핀들(111)의 상하좌우 움직임을 독립적으로 조절할 수 있다. In another embodiment, the
한편, 제1 연마 유닛(110)은 복수 개 구비되는 경우, 제1 방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 이때, 복수의 제1 연마 유닛(110)은 각각의 제1 연마 유닛(110)에 구비되는 제1 스핀들(111)들이 동일한 방향을 바라보도록 배치될 수 있다. 또한, 복수의 제1 연마 유닛(110)은 제1 스핀들(111)들 각각의 영점 위치가 동일한 직선 상에 위치하도록 배치될 수 있다. Meanwhile, when a plurality of
제1 테이블 유닛(120)은 제1 스핀들(111)에 대응되는 위치에 배치되며, 상부에 연마대상체(M)가 안착될 수 있다. 제1 테이블 유닛(120)은 제1 스핀들(111)의 개수에 대응될 수 있으며, 각각에 연마대상체(M)가 안착될 수 있다. 그러나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 제한되지 않으며, 다른 실시예로서, 제1 테이블 유닛(120)은 제1 연마 유닛(110)의 개수에 대응되도록 구비되며, 제1 테이블 유닛(120) 상에 연마대상체(M)가 안착되는 안착 영역이 복수 개 구비될 수도 있다. 이때, 제1 테이블 유닛(120)에 구비되는 안착 영역의 개수는 하나의 제1 연마 유닛(110)에 구비되는 제1 스핀들(111)의 개수에 대응될 수 있다. The
제1 테이블 유닛(120)은 고정(fix) 유닛으로서, 연마대상체(M)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위하여 후술하는 제1 그리퍼(133)가 제1 테이블 유닛(120)으로 이동하거나, 연마대상체(M)를 연마하기 위하여 제1 스핀들(111)이 제1 테이블 유닛(120)으로 이동할 뿐, 제1 테이블 유닛(120)은 움직이지 않을 수 있다. The
한편, 제1 이송 유닛(130)은 제1 레일(131), 제2 레일(132) 및 제1 그리퍼(133)를 구비할 수 있다. Meanwhile, the
제1 레일(131)은 제1 방향을 따라 연장될 수 있다. 제1 레일(131)은 제1 연마 유닛(110)들을 따라 배치될 수 있으며, 구체적으로, 복수의 제1 스핀들(111)의 배열 방향을 따라 제1 스핀들(111)과 마주보도록 배치될 수 있다. The
제2 레일(132)은 제1 레일(131)과 제1 테이블 유닛(120) 사이에 설치될 수 있다. 제2 레일(132)은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장될 수 있으며, 도시된 바와 같이, 제2 레일(132)은 제1 레일(131)로부터 수직한 방향으로 연장될 수 있다. 제2 레일(132)의 개수는 제1 테이블 유닛(120)의 개수에 대응되며, 제2 레일(132)이 둘 이상 구비되는 경우, 제1 방향을 따라 평행하게 배치될 수 있다. The
상기한 구조는 제1 테이블 유닛(120)이 제1 스핀들(111)의 개수에 대응되는 경우의 실시형태이다. 다른 실시예로서, 전술한 바와 같이, 제1 테이블 유닛(120)이 제1 연마 유닛(110)의 개수에 대응되도록 구비되는 경우에는 제2 레일(132)의 개수는 제1 테이블 유닛(120)에 구비되는 안착 영역의 개수에 대응될 수 있다. 제2 레일(132)은 제1 레일(131)로부터 제1 테이블 유닛(120) 상에 연마대상체(M)를 안착시킬 수 있는 위치까지 연장될 수 있다. 제1 그리퍼(133)는 제1 레일(131) 및 제2 레일(132)을 따라 이동하여 연마대상체(M)를 제1 테이블 유닛(120)으로 반송하거나 반출할 수 있다. The above structure is an embodiment where the
제1 그리퍼(133)는 연마 장치(10)로 인입되는 연마대상체(M)를 파지한 후, 제1 레일(131) 및 제2 레일(132)을 따라 이동하여 상기 연마대상체(M)를 제1 테이블 유닛(120)으로 반송하거나, 연마가 완료된 연마대상체(M')를 파지한 후 제2 레일(132) 및 제1 레일(131)을 따라 이동하여 제1 테이블 유닛(120)으로부터 반출시킬 수 있다. 제1 그리퍼(133)는 하나로 구비되어 반송 및 반출 기능을 모두 수행할 수도 있고, 반송 그리퍼 및 반출 그리퍼의 2 개로 구비될 수도 있다. 또는 이보다 많은 개수의 그리퍼를 구비할 수도 있다. 다만, 둘 이상의 제1 그리퍼(133)가 구비되는 경우, 제1 그리퍼(133)는 서로의 이동에 간섭하지 않도록 미리 설정된 프로그램에 의해, 제1 레일(131) 및 제2 레일(132)을 따라 움직일 수 있다. The
또 다른 실시예로서, 제2 레일(132)은 제1 레일(131)로부터 제1 테이블 유닛(120)들 사이로 연장되도록 구비될 수 있다. 이때, 제2 레일(132)의 개수는 제1 테이블 유닛(120)의 개수나 안착영역의 개수에 대응되지 않을 수 있다. 예를 들면, 하나의 제2 레일(132)은 두 개의 제1 테이블 유닛(120)에 대응되도록 구비될 수 있다. 두 개의 제1 테이블 유닛(120) 사이에 하나의 제2 레일(132)이 설치되는 경우, 후술하는 제1 그리퍼(133)는 상기한 두 개의 제1 테이블 유닛(120)에 대응되도록 두 개의 그리퍼부(미도시)를 구비할 수 있다. 두 개의 그리퍼부(미도시)의 간격은 두 개의 제1 테이블 유닛(120) 간격에 대응될 수 있다. 이를 통해, 제1 그리퍼(133)는 두 개의 연마대상체(M)를 동시에 파지한 후 제2 레일(132)을 따라 이동하여 제1 테이블 유닛(120) 각각에 연마대상체(M)를 반송하거나 반출할 수 있다. In another embodiment, the
도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 그리퍼(133)는 제1 방향 및 제2 방향 모두에 교차하는 제3 방향으로 연마대상체(M)를 들어올리거나 내릴 수 있다. 다시 말해, 제1 그리퍼(133)는 연마대상체(M)를 파지하여 지면에 대한 높이 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1 그리퍼(133)는 높이조절유닛(135)을 더 구비할 수 있으며, 높이조절유닛(135)은 모터, 유압 실린더, 공압 실린더 또는 리니어 엑츄에이터 등을 이용하여 구성될 수 있다. 2 and 3, the
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)는 제1 카메라 유닛(140) 및 제1 컨베이어 유닛(C1)을 더 구비할 수 있다. Meanwhile, the polishing
제1 카메라 유닛(140)은 제1 레일(131)에 인접하게 배치되며, 제1 그리퍼(133)에 의해 파지되는 연마대상체(M)의 정렬 상태(align)를 감지할 수 있다. 구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 그리퍼(133)는 제1 위치(A1)에서 인입되는 연마대상체(M)를 파지할 수 있다. 연마대상체(M)는 제1 레일(131)이 아닌 다른 위치에서 인입될 수 있는데, 연마 장치(10)는 제1 컨베이어 유닛(C1)을 통해 인입되는 위치에서 제1 레일(131) 아래인 제1 위치(A1)로 연마대상체(M)를 이동시킬 수 있다. 따라서, 제1 위치(A1)는 제1 컨베이어 유닛(C1)과 제1 레일(131)이 교차하는 위치일 수 있다. The
제1 카메라 유닛(140)은 연마대상체(M)가 제1 그리퍼(133)에 의해 파지되는 제1 위치(A1)에 위치하여, 제1 그리퍼(133)에서의 연마대상체(M)의 정렬 상태를 확인할 수 있다. 제1 카메라 유닛(140)은 제1 레일(131)을 기준으로 대칭적으로 배치되어 제1 그리퍼(133)에 파지되는 연마대상체(M)를 촬상함으로써, 연마대상체(M)의 정렬 상태를 정확하게 감지할 수 있다. The
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)는 제2 연마 유닛(210), 제2 테이블 유닛(220) 및 제2 이송 유닛(230)을 더 포함할 수 있다. 여기서, 제2 연마 유닛(210), 제2 테이블 유닛(220) 및 제2 이송 유닛(230)은 각각 제1 연마 유닛(210), 제1 테이블 유닛(120) 및 제1 이송 유닛(130)과 동일한 구성으로서, 설명의 편의를 위하여 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Meanwhile, the polishing
제2 연마 유닛(210)은 제2 바디부(212) 및 제2 바디부(212)에 배치되는 적어도 하나의 제2 스핀들(211)을 포함하며, 제1 방향을 따라 일렬로 배치되되 제1 연마 유닛(110)과 평행하게 배치될 수 있다. 제2 연마 유닛(210)은 제1 연마 유닛(110)의 개수와 동일할 수 있으나, 반드시 그러할 필요는 없다. 일 실시예로서, 제2 연마 유닛(210)은 제1 방향에 평행한 가상의 연장선(L)을 기준으로 제1 연마 유닛(110)과 대칭적으로 배치될 수 있다. 따라서, 제2 연마 유닛(210)의 제2 스핀들(211)과 제1 연마 유닛(110)의 제1 스핀들(111)은 가상의 연장선(L)을 중심으로 외곽을 바라보도록 배치될 수 있다. 제2 스핀들(211)의 개수는 제1 스핀들(111)의 개수에 대응될 수 있다. The
제2 테이블 유닛(220)은 제2 스핀들(211)에 대응되는 위치에 배치되며, 연마대상체(M)가 안착될 수 있다. 제2 테이블 유닛(220)은 제1 테이블 유닛(120)과 마찬가지로, 제2 스핀들(211)의 개수에 대응되거나, 제2 연마 유닛(210)의 개수에 대응되도록 배치될 수 있다. The
제2 이송 유닛(230)은 제3 레일(231), 제4 레일(232) 및 제2 그리퍼(233)를 구비할 수 있다. The
제3 레일(231)은 제1 방향을 따라 연장되되 제1 레일(131)에 평행할 수 있다. 제3 레일(231)은 제2 연마 유닛(210)을 따라 배치될 수 있으며, 구체적으로 복수의 제2 스핀들(211)의 배열 방향을 따라 제2 스핀들(211)과 마주보도록 배치될 수 있다. The
제4 레일(232)은 제3 레일(231)과 제2 테이블 유닛(220) 사이에 설치될 수 있다. 제4 레일(232)은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장될 수 있으며, 도시된 바와 같이, 제4 레일(232)은 제3 레일(231)로부터 수직한 방향으로 연장될 수 있다. 제4 레일(232)의 개수는 제2 테이블 유닛(220)의 개수에 대응되며, 제4 레일(232)이 둘 이상 구비되는 경우, 제1 방향을 따라 평행하게 배치될 수 있다. The
제2 그리퍼(233)는 제3 레일(231) 및 제4 레일(232)을 따라 이동하여 연마대상체(M)를 제2 테이블 유닛(220)으로 반송하거나 반출할 수 있다. 제2 그리퍼(233)는 연마 장치(10)로 인입되는 연마대상체(M)를 파지한 후, 제3 레일(231) 및 제4 레일(232)을 따라 이동하여 연마대상체(M)를 제2 테이블 유닛(220)로 반송하거나, 연마가 완료된 연마대상체(M')를 파지한 후 제4 레일(232) 및 제3 레일(231)을 따라 이동하여 제2 테이블 유닛(220)으로부터 반출시킬 수 있다. 제2 그리퍼(233)는 제1 그리퍼(133)와 마찬가지로 제3 방향으로 연마대상체(M)를 들어올리거나 내릴 수 있다. The
다른 실시예로서, 제4 레일(232)은 제3 레일(231)로부터 제2 테이블 유닛(220)들 사이로 연장되도록 구비될 수 있다. 이때, 제4 레일(232)의 개수는 제2 테이블 유닛(220)의 개수나 안착영역의 개수에 대응되지 않을 수 있다. 예를 들면, 하나의 제4 레일(432)은 두 개의 제2 테이블 유닛(220)에 대응되도록 구비될 수 있다. 두 개의 제2 테이블 유닛(220) 사이에 하나의 제4 레일(232)이 설치되는 경우, 후술하는 제2 그리퍼(233)는 상기한 두 개의 제2 테이블 유닛(220)에 대응되도록 두 개의 그리퍼부(미도시)를 구비할 수 있다. 두 개의 그리퍼부(미도시)의 간격은 두 개의 제2 테이블 유닛(220) 간격에 대응될 수 있다. 이를 통해, 제2 그리퍼(233)는 두 개의 연마대상체(M)를 동시에 파지한 후 제4 레일(232)을 따라 이동하여 제2 테이블 유닛(220) 각각에 연마대상체(M)를 반송하거나 반출할 수 있다. In another embodiment, the
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)는 제2 카메라 유닛(240) 및 제2 컨베이어 유닛(C2)을 더 구비할 수 있다. In addition, the polishing
제2 카메라 유닛(240)은 제3 레일(231)에 인접하게 배치되며, 제2 그리퍼(233)에 의해 파지되는 연마대상체(M)의 정렬 상태를 감지할 수 있다. 제2 카메라 유닛(240)은 가상의 연장선(L)을 기준으로 제1 카메라 유닛(140)과 대칭적으로 배치될 수 있다. 따라서, 제2 카메라 유닛(240)이 배치되는 위치는 제2 컨베이어 유닛(C2)과 제3 레일(231)이 교차하는 위치일 수 있다. The
전술한 구조를 갖는 본 발명의 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)는 인입되는 연마대상체(M)를 제1 이송 유닛(130) 또는 제2 이송 유닛(230)을 이용하여 제1 테이블 유닛(120) 또는 제2 테이블 유닛(220)에 반송하거나 반출할 수 있다. 또한, 반출된 연마대상체(M')는 제3 컨베이어 유닛(C3) 또는 제4 컨베이어 유닛(C4)을 이용하여 일정 영역으로 옮겨진 후 외부(out)로 배출될 수 있다. In the polishing
전술한 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)는 가상의 연장선(L)을 중심으로 두 개의 연마 유닛(110, 210)이 있는 것으로 구성하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 하나의 연마 유닛(미도시)으로 구성할 수도 있다. 보다 구체적으로, 제1 테이블 유닛(120)과 제2 테이블 유닛(220) 사이에 하나의 연마 유닛을 위치시키고 상황에 따라 상기 하나의 연마 유닛이 각각 고정되어져 있는 제1 테이블 또는 제2 테이블 쪽으로 이동하여 연마대상체(M)를 연마함으로써 보다 효율적으로 연마 장치(10)를 운영할 수 있다.The polishing
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 연마 장치(10', 10'')를 개략적으로 도시한 평면도이다. 4 and 5 are plan views schematically showing a polishing
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 연마 장치(10')는 도 1의 연마 장치(10)와 동일한 구성요소를 구비하되, 도 1의 연마 장치(10)와 달리 제1 스핀들(111)과 제2 스핀들(211)은 가상의 연장선을 중심으로 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 레일(131)과 제3 레일(231)은 제1 연마 유닛(110)과 제2 연마 유닛(210) 사이를 지나가도록 평행하게 배치될 수 있다. Referring to FIG. 4, the polishing
도 5를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 연마 장치(10'')는 도 1의 연마 장치(10) 및 도 4의 연마 장치(10')와 달리 제1 연마 유닛(110)과 제2 연마 유닛(210)이 대칭적으로 배치되지 않으며, 서로 어긋나도록 배치될 수 있다. 이러한 구조를 통해, 도 5의 연마 장치(10'')는 제3 레일(231)을 구비하지 않고, 제1 방향으로 연장되는 제1 레일(131)만을 제1 연마 유닛(110)과 제2 연마 유닛(210) 사이에 구비할 수 있다. 이때, 제1 레일(131)은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 제2-1 레일(132-1) 및 제2-2 레일(132-2)과 연결될 수 있다. 제2-1 레일(132-1)과 제2-2 레일(132-2)은 각각 제1 스핀들(111) 및 제2 스핀들(211)을 향하여 제1 레일(131)로부터 연장되므로, 서로 반대방향으로 연장될 수 있다. 또한, 제2-1 레일(132-1)과 제2-2 레일(132-2)은 제1 레일(131)을 따라 교번적으로 배치될 수 있다. Referring to FIG. 5, the polishing
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 연마 장치(20)를 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 연마 장치(20)의 평면도이다. 도 8은 도 6의 제1 이송 유닛(130)을 발췌하여 도시한 사시도이다. 도 9는 도 8의 제1 그리퍼(133) 및 제1 조정 유닛(150)을 발췌하여 도시한 도면이고, 도 10은 도 7의 제1 카메라 유닛(140)을 발췌하여 도시한 도면이다. FIG. 6 is a perspective view showing a polishing
도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 연마 장치(20)는 제1 실시예에 따른 연마 장치(10)와 기술적 사상은 동일하며, 구체적 실시예로서 2개의 연마대상체(M1, M2)를 동시에 파지하여 반입하거나 반출하는 것을 특징으로 한다. 6 to 8, the polishing
본 발명의 제2 실시예에 따른 연마 장치(20)는 제1 연마 유닛(110), 제1 테이블 유닛(120, 도 11b 참조), 제1 이송 유닛(130), 제1 카메라 유닛(140) 및 제1 조정 유닛(150, 도 9 참조)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 실시예에 따른 연마 장치(20)는 제1 실시예와 마찬가지로, 상기한 구성들과 대칭적으로 배치되는 제2 연마 유닛(210), 제2 테이블 유닛(220), 제2 이송 유닛(230), 제2 카메라 유닛(240) 및 제2 조정 유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위하여, 동일 구성요소에 대해서는 동일 도면부호를 부여하고, 제1 이송 유닛(130)을 중심으로 설명하되 중복되는 설명은 생략하기로 한다. The polishing
제1 연마 유닛(110)은 적어도 2개의 제1 스핀들(spindle, 111)을 포함할 수 있다. 제1 스핀들(111)은 연마대상체(M)를 연마하는 기능을 수행하며, 회전축부재의 말단부에 연마대상체(M)를 연마하기 위한 연마툴이 장착될 수 있다. 제1 스핀들(111)은 상기한 연마툴을 회전시켜 연마대상체(M)를 연마할 수 있으며, 예를 들면, 연마대상체(M)의 측면을 연마할 수 있다. 또는 제1 스핀들(111)은 도 7에서 연마가공 후의 연마대상체(M')와 같이, 연마가공 전의 연마대상체(M)의 일 영역이 일정한 형상으로 형성되도록 연마대상체(M)를 연마할 수 있다. The
일 실시예로서, 제1 연마 유닛(110)은 2개의 제1 스핀들(111)을 포함하며, 하나의 바디부(112)에 배치될 수 있다. 제1 연마 유닛(110)은 제1 바디부(112)와 연결된 제1 방향 이송부(미도시)와 제2 방향 이송부(미도시)를 이용하여, 2개의 제1 스핀들(111)의 위치를 한번에 제어할 수 있다. 또한, 제1 연마 유닛(110)은 2개의 제1 스핀들(111) 각각의 위치를 조절할 수 있는 제1 위치조절수단(미도시)을 더 포함할 수 있다. 제1 위치조절수단(미도시)은 각각의 제1 스핀들(111)의 상하좌우 움직임을 독립적으로 조절할 수 있다.In one embodiment, the
제1 테이블 유닛(120, 11b 참조)은 제1 연마 유닛(110)의 제1 스핀들(111)의 개수에 대응되는 개수로 구비될 수 있다. 전술한 바와 같이, 제2 실시예에 따른 제1 연마 유닛(110)은 2개의 제1 스핀들(111)을 구비하므로, 제1 테이블 유닛(120)은 2개로 구비될 수 있다. 제1 테이블 유닛(120)은 제1 스핀들(111)에 대응되는 위치에 배치되며, 상부에 연마대상체(M)가 안착되며, 좀 더 구체적으로, 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)가 2개의 제1 테이블 유닛(120) 상부에 각각 안착될 수 있다. The
한편, 제1 이송 유닛(130)은 제1 레일(131), 제2 레일(132) 및 제1 그리퍼(133)를 구비할 수 있다. 제1 이송 유닛(130)은 제1 실시예의 연마 장치(10)와 같이, 제1 방향으로 연장되는 제1 레일(131)과 제1 레일(131)로부터 수직한 방향으로 연장되는 제2 레일(132)을 구비할 수 있다. 이때, 제1 실시예에서는 제2 레일(132)의 개수가 제1 테이블 유닛(120)의 개수에 대응되도록 제2 레일(132)을 구비하는 경우를 중심으로 설명하였으나, 제2 실시예에서는 제1 그리퍼(133)와 제1 레일(131) 사이에 하나의 제2 레일(132)이 연결되어, 제1 그리퍼(133)를 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키는 경우를 중심으로 설명하기로 한다. Meanwhile, the
제1 레일(131)은 제1 방향을 따라 연장될 수 있다. 제1 레일(131)은 제1 연마 유닛(110)들의 배치 방향을 따라 배치될 수 있으며, 구체적으로, 복수의 제1 스핀들(111)의 배열 방향을 따라 제1 스핀들(111)과 마주보도록 배치될 수 있다. The
제1 그리퍼(133)는 연마 장치(10)의 로딩부(300)를 통해 인입되는 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 동시에 파지한 후, 제1 레일(131)을 따라 이동하여 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 제1 테이블 유닛(120)으로 반송할 수 있다. 제1 그리퍼(133)는 제2 레일(132)을 기준으로 제1 방향으로 상호 대칭적으로 배치되는 제1 파지부(1331)와 제2 파지부(1332)를 구비하여, 각각 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 파지할 수 있다. 일 실시예로서, 제1 그리퍼(133)는 제2 레일(132)를 사이에 개재하여 제1 레일(131)과 연결될 수 있다. 이때, 제2 레일(132)은 제1 레일(131)이 연장되는 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장될 수 있다. The
구체적으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 레일(132)은 일측이 제1 레일(131)과 연결되어, 상기 제1 레일(131)에 의해 안내되는 제1 방향을 따라 이동할 수 있다. 이때, 제2 레일(132)은 상기 일측에 대향되는 타측에 제1 그리퍼(133)가 제2 방향으로 이동가능하도록 연결될 수 있다. 제1 그리퍼(133)는 제2 레일(132)이 제1 레일(131)을 따라 이동하는 것에 의해 제1 방향으로 함께 이동하며, 제2 레일(132)을 따라 제2 방향으로도 이동할 수 있다. In detail, as illustrated in FIG. 8, one side of the
한편, 배열된 복수의 제1 연마 유닛(110)들로 제1 그리퍼(133)가 연마대상체(M1, M2)들을 반송할 수 있도록, 제1 레일(131)은 제1 방향을 따라 제1 길이로 연장될 수 있다. 또한, 제2 레일(132)은 제1 레일(131)을 따라 이동한 제1 그리퍼(133)가 제1 테이블 유닛(120)으로 이동할 수 있도록 제2 방향을 따라 제2 길이로 연장될 수 있다. 일 실시예로서, 제1 이송유닛(130)은 상기한 제1 그리퍼(133)를 이용하여 연마대상체(M1, M2)들을 반송하는 기능뿐만 아니라, 연마가 완료된 연마대상체(M1, M2)들을 반출하는 기능을 수행할 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 다른 실시예로서, 제1 이송유닛(130)은 제1 반송 그리퍼(137)를 더 포함하여, 반입과 반출을 분리하여 수행할 수 있다. On the other hand, the
구체적으로, 제1 반송 그리퍼(137)는 제1 그리퍼(133)와 마찬가지로, 제1 레일(131)과 연결되어 제1 레일(131)을 따라 제1 방향으로 이동할 수 있다. 이때, 제1 반송 그리퍼(137)는 제6 레일(136)을 사이에 개재하여 제1 레일(131)과 연결될 수 있다. 제6 레일(136)은 제2 레일(132)과 마찬가지로, 제2 방향을 따라 제1 반송 그리퍼(137)가 이동할 수 있도록 안내하는 기능을 수행할 수 있다. In detail, like the
제1 반송 그리퍼(137)는 제6 레일(13)을 기준으로 제1 방향으로 상호 대칭적으로 배치되는 제1 반송파지부(1371)와 제2 반송파지부(1372)를 구비하여, 연마가 완료된 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 동시에 파지할 수 있다. 제1 반송 그리퍼(137)는 제1 테이블 유닛(120)으로 이동하여 연마가 완료된 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 파지한 후, 제6 레일(136)을 따라 제2 방향으로 이동한 후 제1 레일(131) 근방에서 멈춘다. 이후 제1 레일(131)을 따라 제1 방향으로 이동하여, 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 언로딩부(400)를 통해 외부로 반출한다. The first conveying
도 9를 참조하면, 제1 그리퍼(133)는 제2 레일(132)에 연결되되, 높이조절유닛(135)을 통해 제1 방향 및 제2 방향 모두에 교차하는 제3 방향으로 제1 연마대상체(M1) 및 제2 연마대상체(M2)를 들어올리거나 내릴 수 있다. 다시 말해, 제1 그리퍼(133)는 제1 연마대상체(M1) 및 제2 연마대상체(M2)를 파지하여 지면에 대한 높이 방향으로 이동시킬 수 있다. Referring to FIG. 9, the
이때, 제1 조정 유닛(150)은 제1 그리퍼(133)와 연결되며, 제3 방향과 평행한 제1 회전축(Ax1)에 대하여 제1 그리퍼(133)를 회전시킬 수 있다. 구체적으로, 제1 조정 유닛(150)은 제1 파지부(1331)와 제2 파지부(1332)의 사이에 배치되어, 제1 회전축(Ax1)에 대한 회전 운동에 의해 제1 파지부(1331)와 제2 파지부(1332)를 동시에 회전시킬 수 있다. In this case, the
다시 도 7 및 도 10을 참조하면, 제1 카메라 유닛(140)은 제1 그리퍼(133)가 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 파지한 후 이동하는 이동 경로 중에 배치될 수 있다. 제1 카메라 유닛(140)은 제1 그리퍼(133)에 의해 파지되는 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)의 정렬 상태(align)를 감지하고, 제1 정렬 데이터 및 제2 정렬 데이터를 생성할 수 있다. 또한, 제1 카메라 유닛(140)을 구성하는 한 쌍의 카메라는 연마대상체의 크기에 따라 위치 조정이 가능할 수 있도록 구성될 수 있다.Referring to FIGS. 7 and 10 again, the
구체적으로, 제1 카메라 유닛(140)은 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 방향에 대해 대칭적으로 구비되는 한 쌍으로 이루어져, 제1 연마대상체(M1) 와 제2 연마대상체(M2)가 각각 제1 방향과 제2 방향에 대해 틀어진 정도를 제1 정렬 데이터 및 제2 정렬 데이터로서 생성할 수 있다. 제1 카메라 유닛(140)은 이렇게 생성된 제1 정렬 데이터 및 제2 정렬 데이터를 제1 조정 유닛(150)으로 제공할 수 있다. 이후, 제1 조정 유닛(150)은 제공된 데이터를 통해 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)의 틀어짐을 보정하여 각 연마대상체를 제1 테이블 유닛(120) 상에 안착시킬 수 있다. Specifically, as shown in FIG. 10, the
이하에서는 도면을 참조하여 제1 카메라 유닛(140) 및 제1 조정 유닛(150)을 이용하여, 제1 그리퍼(133)가 제1 연마대상체(M1) 및 제2 연마대상체(M2)를 제1 테이블 유닛(120)에 정렬시키는 방법을 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the drawings, the
도 11a 내지 도 11c는 제1 그리퍼(133)가 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 제1 테이블 유닛(120)으로 안착시키는 과정을 순서대로 도시한 도면이다.11A to 11C are diagrams sequentially illustrating a process in which the
도 11a를 참조하면, 제1 그리퍼(133)는 제1 파지부(1331) 및 제2 파지부(1332)를 이용하여 각각 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)를 파지할 수 있다. 이때, 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)가 제1 테이블 유닛(120)으로 바로 안착될 수 있을 정도로 정렬된 상태로 파지하는 것이 가장 이상적이다. Referring to FIG. 11A, the
그러나, 실제 파지하는 과정에서 제1 연마대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)가 틀어져 파지될 수 있는데, 틀어진 상태로 제1 테이블 유닛(120)으로 바로 안착시키는 경우, 연마 과정에서 공정 오차가 발생하는 문제점이 있다. 따라서, 이러한 공정 오차를 최소화하기 위해, 연마 장치(20)는 제1 카메라 유닛(140)을 이용하여 제1 방향으로 이동하는 제1 연마 대상체(M1)와 제2 연마 대상체(M2)의 정렬 상태를 측정하게 된다. 제1 카메라 유닛(140)은 전술한 바와 같이 제1 방향에 대하여 대칭적으로 배치되어 제1 연마 대상체(M1)와 제2 연마대상체(M2)의 틀어짐 정도를 순차적으로 측정하고, 틀어짐 정도를 포함하는 제1 정렬데이터와 제2 정렬데이터를 생성할 수 있다. However, during the actual gripping process, the first polishing object M1 and the second polishing object M2 may be misaligned and gripped. In the case of directly mounting the first polishing object M1 and the second polishing object M2 in the misaligned state, a process error may occur during polishing. There is a problem that occurs. Therefore, in order to minimize such a process error, the polishing
도 11b를 참조하면, 제1 그리퍼(133)는 제1 레일(131) 및 제2 레일(132)을 통해 제1 테이블 유닛(120) 상으로 이동할 수 있다. 이때, 제1 조정 유닛(150)은 제1 카메라 유닛(140)으로부터 제1 정렬 데이터 및 제2 정렬 데이터를 미리 제공받고, 먼저 제1 정렬 데이터를 이용하여 제1 연마대상체(M1)의 위치를 보정할 수 있다(P1→P1'). 즉, 제1 연마대상체(M1)가 틀어진 초기 위치(P1)에서 정렬된 정렬 위치(P1')로 제1 테이블 유닛(120)에 안착될 수 있도록, 제1 조정유닛(150)은 제1 그리퍼(133)를 회전시킬 수 있다. 또한, 제1 그리퍼(133)는 상기한 과정에서 필요에 따라 제1 방향 또는 제2 방향으로 병진 운동하여 위치를 조정할 수도 있다. Referring to FIG. 11B, the
도 11c를 참조하면, 제1 그리퍼(133)는 제1 연마대상체(M1)를 제1 테이블 유닛(120)에 안착시킨 후, 동일한 정렬 과정을 통해 제2 연마대상체(M2)를 안착시킬 수 있다. 다시 말해, 제1 조정 유닛(150)은 제1 카메라 유닛(140)으로부터 제공받은 제2 정렬 데이터를 이용하여 제2 연마대상체(M2)의 위치를 보정할 수 있다(P2→P2'). 즉, 제2 연마대상체(M2)가 틀어진 초기 위치(P2)에서 정렬된 정렬 위치(P2')로 제1 테이블 유닛(120)에 안착될 수 있도록, 제1 조정 유닛(150)은 제1 그리퍼(133)를 회전시킬 수 있다. 또한, 제1 그리퍼(133)는 상기한 과정에서 필요에 따라 제1 방향 또는 제2 방향으로 병진 운동하여 위치를 조정할 수도 있다. Referring to FIG. 11C, the
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 제1 레일 및 제2 레일을 따라 그리퍼가 이동하는 것에 의해 복수의 고정된 테이블 유닛으로 연마대상체들을 효율적으로 이재할 수 있다. 이를 통해, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 연마대상체의 반입 및 반출을 위한 최적의 이동경로를 설정할 수 있어, 공정효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 하나의 연마 유닛에 복수의 스핀들을 배치시켜 동시에 가공할 수 있어, 대량 생산이 가능해질 수 있다.As described above, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention can efficiently transfer the polishing objects to the plurality of fixed table units by the gripper moving along the first rail and the second rail. Through this, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention can set the optimum movement path for the import and export of the polishing object, it is possible to improve the process efficiency. In addition, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention can be processed simultaneously by placing a plurality of spindles in one polishing unit, it is possible to mass production.
또한, 본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치는 그리퍼가 파지하는 과정에서 틀어진 연마대상체를 제1 조정 유닛을 통해 보정한 후 제1 테이블 유닛으로 안착시킬 수 있어, 정확한 연마 가공을 구현할 수 있다. 또한, 복수의 고정 테이블 마다 연마대상체의 틀어짐 정도를 측정하기 위한 카메라 유닛을 구성할 필요 없이 하나의 카메라 유닛을 구성하여 연마대상체의 틀어짐 정도를 측정하고 이를 보정할 수 있어 비용절감의 효과가 있다.In addition, the polishing apparatus according to the embodiments of the present invention may correct the twisted object to be gripped by the first adjusting unit in the process of holding the gripper, and then mount it to the first table unit, thereby implementing accurate polishing. In addition, there is no need to configure a camera unit for measuring the twisting degree of the polishing object for each of the plurality of fixed tables by configuring one camera unit to measure and correct the twisting degree of the polishing object, thereby reducing the cost.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, which is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and embodiments may be made therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
10: 연마 장치
110: 제1 연마 유닛
111: 스핀들
112: 바디부
120: 테이블 유닛
130: 제1 이송 유닛
131: 제1 레일
132: 제2 레일
133: 제1 그리퍼
140: 제1 카메라 유닛
150 : 제1 조정 유닛10: polishing device
110: first polishing unit
111: spindle
112: body part
120: table unit
130: first transfer unit
131: first rail
132: second rail
133: first gripper
140: first camera unit
150: first adjusting unit
Claims (14)
상기 제1 그리퍼에 의해 이송된 연마대상체가 안착되며 고정되어져 있는 제1 테이블 유닛; 및
상기 제1 테이블 유닛에 대응되는 위치에 배치되고 적어도 하나의 제1 스핀들(spindle)을 포함하며 상기 연마대상체를 연마하기 위해 상기 제1 테이블 유닛으로 이동 가능한 제1 연마 유닛;을 포함하는, 연마 장치.A first rail extending along a first direction, a second rail extending along a second direction crossing the first direction, and a first gripper for transporting an object to be polished along the first rail and the second rail ( a first transfer unit having a gripper;
A first table unit on which the polishing object conveyed by the first gripper is seated and fixed; And
And a first polishing unit disposed at a position corresponding to the first table unit and including at least one first spindle and movable to the first table unit to polish the polishing object. .
상기 제2 레일이 둘 이상 구비되는 경우, 제2 레일들은 상호 평행하게 배치되는, 연마 장치.According to claim 1,
If more than one second rail is provided, the second rails are disposed parallel to each other.
상기 제1 그리퍼는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 상기 연마대상체를 들어올리거나 내리는, 연마 장치.According to claim 1,
And the first gripper lifts or lowers the polishing object in a third direction intersecting the first direction and the second direction.
상기 제1 레일에 인접하게 배치되며, 상기 제1 그리퍼에 의해 파지되는 상기 연마대상체의 정렬 상태를 감지하는 제1 카메라 유닛;을 더 포함하는, 연마 장치.According to claim 1,
And a first camera unit disposed adjacent to the first rail and configured to detect an alignment state of the polishing object held by the first gripper.
상기 제1 방향을 따라 연장되되 상기 제1 레일에 평행한 제3 레일과, 상기 제2 방향을 따라 연장되는 제4 레일과, 상기 제3 레일과 상기 제4 레일을 따라 연마대상체를 이송하는 제2 그리퍼를 구비하는 제2 이송 유닛;
상기 제2 그리퍼에 의해 이송된 연마대상체가 안착되며 고정되어져 있는 제2 테이블 유닛; 및
상기 제2 테이블 유닛에 대응되는 위치에 배치되고 적어도 하나의 제2 스핀들(spindle)을 포함하며 상기 연마대상체를 연마하기 위해 상기 제2 테이블 유닛으로 이동 가능한 제2 연마 유닛;을 더 포함하는, 연마 장치.According to claim 1,
A third rail extending along the first direction and parallel to the first rail, a fourth rail extending along the second direction, and transferring the polishing object along the third rail and the fourth rail; A second transfer unit having two grippers;
A second table unit on which the polishing object conveyed by the second gripper is seated and fixed; And
And a second polishing unit disposed at a position corresponding to the second table unit and including at least one second spindle and movable to the second table unit to polish the object to be polished. Device.
상기 제2 연마 유닛은 상기 제1 방향에 평행한 가상의 연장선을 기준으로 상기 제1 연마 유닛과 대칭적으로 배치되는, 연마 장치.The method of claim 5,
And the second polishing unit is disposed symmetrically with the first polishing unit with respect to an imaginary extension line parallel to the first direction.
상기 제1 연마 유닛과 상기 제2 연마 유닛은 동일한 연마 유닛인, 연마 장치.The method of claim 5,
And the first polishing unit and the second polishing unit are the same polishing unit.
상기 제1 카메라 유닛은 연마대상체의 크기에 따라 위치조정이 가능한, 연마 장치.The method of claim 4, wherein
And the first camera unit can adjust the position according to the size of the polishing object.
상기 제2 레일의 개수는 상기 제1 테이블 유닛의 개수와 다른, 연마장치.According to claim 1,
And the number of the second rails is different from the number of the first table units.
상기 제1 그리퍼는 복수의 제1 테이블 유닛에 대응되도록 복수의 그리퍼부를 구비하는, 연마장치.The method of claim 9,
And the first gripper includes a plurality of grippers so as to correspond to the plurality of first table units.
상기 연마대상체는 상기 제1 레일을 통해 상기 제1 방향으로 이송 후 상기 제2 레일을 통해 상기 제2 방향으로 이송되며, 상기 제3 방향으로 하강하여 상기 제1 테이블 유닛에 안착되는, 연마장치.The method of claim 3, wherein
And the polishing object is conveyed in the first direction through the first rail and then conveyed in the second direction through the second rail, and lowered in the third direction to be seated on the first table unit.
상기 제1 연마 유닛에 대응되는 위치에 배치되며, 연마대상체가 안착되는 하나 이상의 제1 테이블 유닛; 및
상기 제1 방향을 따라 연장되는 제1 레일과, 상기 제1 레일을 따라 이동하며 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장되는 제2 레일과, 상기 제2 레일에 연결되어 상기 제2 레일의 이동에 의해 상기 제1 방향으로 이동하거나 상기 제2 레일을 따라 제2 방향으로 이동하여 상기 연마대상체를 상기 제1 테이블 유닛으로 반송하는 제1 그리퍼를 구비하는 제1 이송 유닛;을 포함하는, 연마 장치.At least one first polishing unit comprising at least one first spindle, the at least one first polishing unit disposed along a first direction;
At least one first table unit disposed at a position corresponding to the first polishing unit and on which the polishing object is seated; And
A first rail extending along the first direction, a second rail moving along the first rail and extending in a second direction crossing the first direction, and connected to the second rail; And a first conveying unit having a first gripper for moving the polishing object to the first table unit by moving in the first direction or by moving in the second direction along the second rail by the movement of. Polishing device.
상기 제1 그리퍼가 제1 방향으로 이동하는 경로 상에 배치되며, 상기 제1 그리퍼에 의해 파지되는 상기 연마대상체의 정렬 상태를 감지하고 상기 연마대상체의 정렬 데이터를 생성하는 제1 카메라 유닛;을 더 포함하는, 연마 장치.The method of claim 12,
A first camera unit disposed on a path along which the first gripper moves in a first direction, the first camera unit detecting an alignment state of the polishing object held by the first gripper and generating alignment data of the polishing object; Including, the polishing apparatus.
상기 제1 카메라 유닛으로부터 상기 정렬 데이터를 제공받고, 상기 정렬 데이터에 근거하여 상기 연마대상체의 위치를 보정하는 제1 조정 유닛;을 더 포함하고,
상기 제1 그리퍼는 상기 제1 조정 유닛에 의해 위치가 보정된 상기 연마대상체를 상기 제1 테이블 유닛으로 안착시키는, 연마 장치.The method of claim 13,
A first adjustment unit receiving the alignment data from the first camera unit and correcting the position of the polishing object based on the alignment data;
And the first gripper seats the polishing object whose position is corrected by the first adjustment unit in the first table unit.
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