KR20140146535A

KR20140146535A - 기판검사장치

Info

Publication number: KR20140146535A
Application number: KR1020140070473A
Authority: KR
Inventors: 무네히로 야마시타
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2013-06-17
Filing date: 2014-06-11
Publication date: 2014-12-26
Also published as: TW201500743A; CN104237669A; JP2015001470A

Abstract

(과제)
본 발명은, 절연검사 시에 있어서 발생하는 배선패턴 사이의 스파크 현상을 정확하게 검출하는 기판검사장치를 제공한다.
(해결수단)
기판에 형성되는 복수의 배선패턴 사이의 절연검사를 하는 기판검사장치로서, 제1검사부와 제2검사부의 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여 제2검사부에 접속됨과 아울러 상기 제2검사부에 전압을 인가하는 전원수단과, 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단과, 검출수단이 검출하는 전압에 전압강하가 발생한 경우에 제1검사부와 제2검사부에 불량이 존재한다고 판정하는 판정수단을 구비하고, 선출수단은, 도통상태를 ON/OFF로 하는 절체부와, 절체부와 직렬로 접속되는 전압강하부를 구비하여 이루어지고, 검출수단은 일방단이 제1검사부와 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판검사장치{CIRCUIT BOARD INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 기판에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern) 상호간의 절연검사(絶緣檢査)에 관한 것으로서, 특히 절연검사 시에 있어서 발생하는 배선패턴 사이의 스파크 현상(spark 現象)을 정확하게 검출하는 기판검사장치(基板檢査裝置)에 관한 것이다.

기판 상에 형성되는 배선패턴은, 이 기판에 재치(載置)되는 IC나 반도체 부품 또는 기타의 전자부품에 전기신호를 송수신하기 위하여 이용된다. 이러한 배선패턴은 그 기판의 용도에 따라 다양하게 형성되어 있다. 이 때문에 배선패턴이 정확하고 또한 양호한 상태로 형성되는 것을 확인하는 전기적 검사가 실시되고 있다.

이러한 배선패턴의 검사에는, 도통검사(導通檢査)와 절연검사가 보통 실시된다. 도통검사는 배선패턴이 소정의 2점 사이를 전기적으로 접속하고 있는 것을 확인하는 검사이며, 절연검사는 배선패턴 상호간이 단락(短絡)하지 않고 있는 상태를 확인하는 검사이다.

특히 절연검사에서는, 배선패턴 상호간의 절연성을 검사하기 위하여 배선패턴 사이에 소정의 전압을 인가하여 배선패턴 사이의 저항값을 산출함으로써 배선패턴 사이의 절연성을 검사한다.

이러한 절연검사에서는, 상기와 같은 배선패턴 사이의 저항값을 산출하기 위하여 배선패턴 사이에 전위차를 발생시키도록 전력을 공급하게 되지만, 배선패턴 자체의 얇음이나 두터움 또는 구리가루 등의 이물질(異物質)이 존재하는 경우에는, 배선패턴 사이의 저항값을 측정하기 전에 일방(一方)의 배선패턴으로부터 타방(他方)의 배선패턴으로 전하의 방전(스파크 현상)이 발생하는 경우가 있다. 이러한 스파크 현상은 배선패턴 사이의 불량으로서 알려져 있다.

이러한 스파크 현상 불량을 검출하기 위하여 예를 들면 특허문헌1의 기술이 알려져 있다. 이 특허문헌1에 개시되어 있는 기술에서는, 배선패턴 사이의 전압을 전압인가시작으로부터 검사측정을 실시하는 소정의 타이밍까지 검출함과 아울러, 스파크 현상에 기인하는 전압강하의 발생의 유무를 검출함으로써 스파크 현상을 파악하려고 하는 것이다.

한편 지금의 기판은 매우 작고 또한 복잡하게 제조되도록 되어 있다. 이 때문에 배선패턴 자체도 복잡하고 또한 미세하게 형성됨과 아울러 그 피치도 좁게 형성된다. 또한 이와 같이 배선패턴이 복잡하고 또한 미세하게 형성됨으로써 배선패턴 상에 설정되는 검사점도 증대하게 된다. 이 때문에 기판검사장치는, 검사점의 증가에 따라 기판과 기판검사장치를 전기적으로 접속하는 기판검사치구 등의 부유용량(浮遊容量)이 커지게 되는 문제를 가지고 있었다.

상기와 같이 기판의 배선패턴의 복잡화와 미세화가 진행함에 따라 이 기판의 절연검사의 정밀도 향상도 요구된다. 이러한 경우에도 배선패턴 사이의 절연검사를 하기 위해서는 배선패턴 사이의 스파크 현상이 문제가 된다.

그러나 특허문헌1에 개시되어 있는 기술에서는, 배선패턴 사이의 전압이 소정의 전압이 될 때까지의 전압인가시작으로부터 검사전압에 도달하기까지 사이의 스파크 검사는 문제없이 검출할 수 있지만, 배선패턴 사이의 전압이 검사전압에 도달한 후에 소정의 검사 타이밍이 되기까지 사이(전압이 정상상태(定常狀態)인 경우)의 배선패턴 사이의 스파크 현상을 확실하고 또한 정확하게 파악할 수 없는 경우가 있었다.

이것은, 기판의 배선패턴의 복잡화 또한 미세화에 따라 스파크 현상의 전압강하가 작은 경우에 발생하고 있으며, 이러한 작은 전압강하에서는 스파크 현상에 의한 전압강하인지 다른 요인에 의한 전압강하인지를 정확하게 판정할 수 없다는 문제가 발생하고 있다.

（특허문헌1）일본국 공개특허 특개2003-172757호 공보

본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 미세화 및 복잡화된 기판의 배선패턴의 절연검사를 실시하는 경우이더라도 배선패턴 사이의 스파크 현상을 정확하게 검출할 수 있는 기판검사장치를 제공한다.

청구항1에 기재된 발명은, 기판에 형성되는 복수의 배선패턴 사이의 절연검사를 하는 기판검사장치로서, 상기 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 하나의 배선패턴을 제1검사부로서 선출함과 아울러 상기 제1검사부 이외의 검사대상이 되는 모든 배선패턴을 제2검사부로서 선출하는 선출수단과, 상기 제1검사부와 상기 제2검사부의 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여 상기 제2검사부에 접속됨과 아울러 상기 제2검사부에 전압을 인가하는 전원수단과, 상기 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단과, 상기 검출수단이 검출하는 전압에 전압강하가 발생한 경우에 상기 제1검사부와 제2검사부에 불량이 존재한다고 판정하는 판정수단을 구비하고, 상기 선출수단은, 도통상태를 ON/OFF로 하는 절체부와, 상기 절체부와 직렬로 접속되는 전압강하부를 구비하여 이루어지고, 상기 검출수단은, 일방단이 상기 제1검사부와 상기 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치를 제공한다.

청구항1에 기재된 발명에 의하면, 제1검사부와 제2검사부의 사이(검사대상 사이)에 소정의 전위차를 설정하고, 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단을 설치함으로써, 검출수단이 검출하는 전압강하가 발생한 경우에 검사대상 사이에 스파크 현상이 발생한 것을 검출할 수 있다. 특히 이 검출수단의 일방단이 제1검사부와 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되어 있기 때문에, 스파크 현상이 발생하였을 경우에 흐르는 전류는 이 전압강하부를 통하여 검사대상 사이를 흐르게 된다. 즉 이 전압강하부의 양단에 전압강하가 발생하게 됨과 아울러, 검출수단은 이 전압강하를 확실하게 검출할 수 있다. 따라서 검사시간을 길게 할 필요도 없이 스파크 현상을 확실하게 파악할 수 있다.

도1은 본 발명에 관한 기판검사장치의 개략적인 구성도로서, 기판과의 관계를 나타내고 있다.
도2는, 본 발명에 관한 기판검사장치의 동작을 나타내는 개략도이다.
도3은, 본 발명에 관한 기판검사장치가 검출하는 전압의 변화를 시계열로 나타내는 도면이다.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.

본 발명은, 기판 상에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern)의 절연검사(絶緣檢査)를 하는 경우에 발생하는 스파크 현상(spark現象)을 검출하기 위한 기판검사장치(基板檢査裝置) 및 그 방법에 관한 것이다. 도1은, 본 발명에 관한 기판검사장치의 1실시형태의 개략적인 구성도이다. 본 발명에 관한 실시형태의 기판검사장치(1)는, 전력공급수단(電力供給手段)(2), 전압검출수단(電壓檢出手段)(3), 전류검출수단(電流檢出手段)(4), 제어수단(制御手段)(6), 절체수단(切替手段)(7), 전류공급단자(電流供給端子), 전압검출단자(電壓檢出端子), 표시수단(表示手段)(10)을 구비하여 이루어진다. 도1에 나타내는 1실시형태에서는, 본 발명의 기판검사장치(1)와, 검사대상이 되는 기판(CB)과, 기판검사장치(1)와 기판(CB)을 전기적으로 접속하는 콘택트 프로브(contact probe)(CP)가 나타나 있다.

본 발명의 기판검사장치(1)에서는, 후술하는 전류 저항부(R1∼R4)(도면부호R1∼R4는, 도1 및 도2에서는 도면부호5로 기재되어 있음)를 사용함으로써 전압검출수단(3)이 검출하는 전압정보가 기판검사장치(1)의 내부 부유용량(浮遊容量)이나 내부 부품 등의 영향을 받지 않고 검사대상 사이의 전압변화를 확실하게 파악할 수 있다.

도1에 나타내는 기판(CB)은 4개의 배선패턴(P1∼P4)을 구비하고 있다. 이 기판(CB)이 구비하는 배선패턴은, 설계되는 기판(CB)에 따라 그 수 및 형상이 적절하게 설정된다. 도1의 기판(CB)에서는, 일자(一字) 모양의 배선패턴(P1)과, T자 모양의 배선패턴(P2)과, 십자(十字) 모양의 배선패턴(P3과 P4)이 나타나 있다.

도1에서는, 각 배선패턴(P1∼P4)에 전기적으로 접촉하는 4개의 콘택트 프로브(CP)가 나타나 있다. 이 콘택트 프로브(CP)는, 기판검사장치(1)와 기판(CB)을 전기적으로 도통(導通)할 수 있도록 접속한다. 또한 이 콘택트 프로브(CP)의 배치위치나 배치개수는 기판(CB)에 형성되는 배선패턴에 따라 적절하게 설정된다. 한편 도1의 실시형태에서는, 후술하는 상류측 및 하류측 전류공급단자와 상류측 및 하류측 전압검출단자를 1개의 콘택트 프로브(CP)에 의하여 배선패턴 상에 형성되는 소정의 검사위치에 도통할 수 있도록 접촉시키고 있지만, 전류공급단자와 전압검출단자의 각각을 별개의 2개의 콘택트 프로브(CP)에 의하여 소정의 검사위치에 도통할 수 있도록 접촉시켜도 좋다.

전력공급수단(2)은, 검사대상이 되는 배선패턴과 다른 배선패턴의 사이(이하, 검사대상 사이)에 절연검사를 하기 위한 소정의 전압을 인가시킨다.

이 전력공급수단(2)은 직류전원 또는 교류전원을 사용할 수 있으며, 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사대상 사이에 소정의 전압을 인가시킬 수 있는 것이면 모두 사용할 수 있다. 또한 전력공급수단(2)은 예를 들면 커런트·컨트롤러(Current·Controller)를 이용할 수도 있다. 커런트·컨트롤러를 이용하는 경우에는, 커런트·컨트롤러에 의하여 소정의 배선패턴에 전류를 공급하여 검사대상 사이에 소정의 전압을 인가하게 된다. 이 전력공급수단(2)이 인가하게 되는 전압은, 상기의 설명과 같이 200∼250V로 설정된다.

전압검출수단(3)은 검사대상 사이의 전압을 검출한다. 이 전압검출수단(3)은 예를 들면 전압계를 사용할 수 있지만, 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사대상 사이의 전압을 검출할 수 있는 것이면 된다. 이 전압검출수단(3)은, 검사대상 사이에 전력공급수단(2)에 의하여 소정의 전위차가 발생하도록 전력이 인가되기 시작한 후부터, 검사대상 사이가 소정의 전위차에 도달한 후인 소정의 시간 경과 후(소정의 타이밍)까지의 사이, 검사대상 사이의 전위를 검출할 수 있다. 이 전압검출수단(3)이 파악하는 전압의 변화량에 의하여 검사대상 사이의 스파크 현상의 유무를 판정할 수 있게 된다.

전류검출수단(4)은 검사대상 사이의 전류를 검출한다. 이 전류검출수단(4)은 예를 들면 전류계를 사용할 수 있지만, 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사대상 사이에 흐르는 전류값을 검출할 수 있으면 된다. 이 전류검출수단(4)의 전류값과 검사대상 사이의 전압값에 의하여 검사대상 사이의 저항값을 산출할 수 있다. 또한 이 저항값에 의하여 검사대상 사이의 절연상태의 양부를 판정하게 된다.

전류공급단자는, 검사대상 사이의 전류를 공급하기 위하여 각 배선패턴과 콘택트 프로브(CP)를 통하여 접속된다. 이 전류공급단자는, 전력공급수단(2)의 상류측(정극측(正極側))과 배선패턴을 접속하는 상류측 전류공급단자(81)와, 전력공급수단(2)의 하류측(부극측(負極側)) 또는 전류검출수단(4)과 배선패턴을 접속하는 하류측 전류공급단자(82)를 구비하고 있다.

도1에 나타내는 바와 같이 이 전류공급단자의 상류측 전류공급단자(81) 및 하류측 전류공급단자(82)는 각각의 배선패턴에 설치되어 있다. 이들의 상류측 전류공급단자(81)와 하류측 전류공급단자(82)는, 각각에 절체수단(7)의 스위치 소자를 구비하고 있고, 이 절체수단(7)의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 의하여 접속상태/미접속상태가 설정된다.

이 전류공급단자는, 스위치 소자와 직렬로 접속되는 저항부(R1) 또는 저항부(R4)를 구비하고 있다. 특히 상류측 전류공급단자(81)에 저항부(R1)를 구비함으로써 스파크 현상이 발생하였을 경우의 과전류(過電流)가 반드시 이 저항부(R1)를 경유하여 검사대상 사이를 흐르게 되어, 이 때에 발생하는 전압강하를 전압검출수단(3)이 확실하게 검출할 수 있게 된다. 이 저항부(R1)는 예를 들면 10∼100Ω 정도의 저항값을 구비하는 저항을 채용할 수 있다.

전압검출단자는 검사대상 사이의 전압을 검출하기 위하여 각 배선패턴과 콘택트 프로브(CP)를 통하여 접속된다. 이 전압검출단자는, 전압검출수단(3)의 상류측(정극측)과 배선패턴을 접속하는 상류측 전압검출단자(91)와, 전압검출수단(3)의 하류측(부극측)과 배선패턴을 접속하는 하류측 전압검출단자(92)를 구비하여 이루어진다. 도1에 나타내는 바와 같이 이 전압검출단자의 상류측 전압검출단자(91) 및 하류측 전압검출단자(92)는 각각의 배선패턴에 설치되어 있다. 이들의 상류측 전압검출단자(91)와 하류측 전압검출단자(92)는, 전류공급단자와 같이 각각에 절체수단(7)의 스위치 소자를 구비하고 있고, 이 절체수단(7)의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 의하여 접속상태/미접속상태가 설정된다. 전압검출단자에는, 스위치 소자와 직렬로 접속되는 저항부(R2) 또는 저항부(R3)를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이 저항부(R2) 또는 저항부(R3)는, 상기의 저항부(R1) 또는 저항부(R4)와 동일한 구성을 채용할 수 있다.

전류공급단자와 전압검출단자는, 도1에 나타내는 바와 같이 배선패턴에 도통하도록 접촉하는 1개의 콘택트 프로브(CP)에 대하여, 4개의 단자가 배치됨과 아울러 각 단자의 ON/OFF 제어를 하는 4개의 스위치 소자가 구비되어 이루어진다.

한편 도1에서는, 상류측 전류공급단자(81)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW1이라고 하고, 상류측 전압검출단자(91)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW2라고 하고, 하류측 전압검출단자(92)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW3이라고 하고, 하류측 전류공급단자(82)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW4로 하여 나타내고 있다.

절체수단(7)은, 상기한 각 콘택트 프로브(CP)에 도통하도록 접속되는 복수의 스위치 소자로 구성되어 있다. 이 절체수단(7)은, 후술하는 제어수단(6)으로부터의 동작신호에 의하여 ON/OFF의 동작이 제어된다.

전압검출수단(3)과 전류검출수단(4)이 검출하는 전압값이나 전류값은, 후술하는 제어수단(6)으로 경과시간정보가 부여되어(시계열(時系列)적인 정보로서) 송신된다.

제어수단(6)은, 검사대상이 되는 배선패턴을 선출하거나 전압검출수단(3)으로부터의 전압값을 기초로 스파크 현상을 검출하거나 절체수단(7)의 동작의 지시신호를 송신한다. 이 제어수단(6)은, 도1에 나타내는 바와 같이 선출수단(選出手段)(61), 판정수단(判定手段)(62), 기억수단(記憶手段)(63)을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

기억수단(63)은, 기판(CB)의 배선패턴에 관한 정보, 이 배선패턴의 검사점에 관한 정보, 검출되는 검출값의 정보가 기억된다. 이 기억수단(63)에 절연검사에 필요한 정보가 저장되고, 이들의 정보를 사용함으로써 절연검사가 이루어짐과 아울러 검출되는 각 검출값이 저장된다.

선출수단(61)은, 기판(CB)의 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 배선패턴을 선출하여 검사대상의 배선패턴을 특정한다. 이 선출수단(61)이 검사대상의 배선패턴을 특정함으로써 순차적으로 절연검사가 이루어지는 배선패턴이 선출된다. 이 선출수단(61)이 하는 검사대상의 배선패턴의 선택방법은, 미리 기억수단(63)에 검사대상이 되는 배선패턴의 순서가 설정되고, 이 순서에 따라 검사대상의 배선패턴이 선출되는 방법을 예시할 수 있다. 이 선택방법은 상기와 같은 방법을 채용할 수도 있지만, 검사대상이 되는 배선패턴이 순서대로 선출되는 방법이면 특별하게 한정되지 않는다.

이 선출수단(61)이 하는 구체적인 배선패턴의 선출은 절체수단(7)을 사용함으로써 실시된다. 예를 들면 절체수단(7)의 각 스위치 소자의 ON/OFF 제어를 함으로써 검사대상이 되는 배선패턴을 선출할 수 있다. 이 실시형태의 기판검사장치(1)에서는, 검사대상이 되는 배선패턴이 전력공급수단(2)과 접속되기 위한 상류측 전류공급단자(81)와 접속되도록 스위치 소자가 ON 된다. 또한 동시에 상류측 전압검출단자(91)와 이 배선패턴이 접속되도록 스위치 소자가 ON 된다.

예를 들면 도1에 나타내는 실시형태에서는, 배선패턴(P1)을 검사대상으로 하는 경우에 선출수단(61)이 배선패턴(P1)에 접속하는 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)를 선출하고, 이들 단자(81, 91)의 스위치 소자(SW1)와 스위치 소자(SW2)를 ON 시키도록 촉진하는 신호를 송신한다. 이 신호를 절체수단(7)이 수신함으로써 스위치 소자(SW1)와 스위치 소자(SW2)가 동작하게 된다. 또한 이 경우에 검사대상의 배선패턴 이외의 배선패턴(나머지의 배선패턴)에 대응하는 스위치 소자(SW3)와 스위치 소자(SW4)가 ON 되도록 촉진하는 신호가 송신된다.

상기의 설명과 같이 선출수단(61)에 의하여 기판(CB)의 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 배선패턴이 선택된다. 이 제1실시형태에 나타내는 기판검사장치(1)의 선출수단(61)이 선출하는 배선패턴은, 기판(CB) 상에 형성된 복수의 배선패턴으로부터 1개의 배선패턴이 선출된다. 즉 선출수단(61)에 의하여 선출된 1개의 배선패턴과, 나머지 모든 배선패턴과의 사이에서 절연검사가 실시된다. 이와 같이 배선패턴이 선출됨으로써 절연검사를 효율적으로 처리할 수 있다.

판정수단(62)은, 전압검출수단(3)으로부터의 전압값을 기초로 하여 스파크 현상의 발생을 판정한다. 이 판정수단(62)이 하는 판정은, 시계열적으로 기억되는 전압값이 전압강하(전압값이 시계열에 대하여 마이너스의 변화)를 파악한 경우에 스파크 현상이 발생하고 있다고 판정하도록 설정되어 있다. 즉 이 판정수단(62)은, 전압값의 시간적 변화량이 마이너스가 된 경우에 스파크 현상이 발생한다고 인식하도록 설정된다. 한편 스파크 현상이 검출되면, 후술하는 표시수단(10)으로 그 취지가 연락된다.

본 발명의 전압검출수단(3)은, 저항부(R1)보다 배선패턴에 가까운 위치에서 일방단(一方端)이 도통하도록 접속되어 있다. 종래의 절연검사 중에 스파크 현상을 검출하는 경우에 비하여, 저항부(R1)의 양단에 스파크 현상에 기인하는 전압강하가 나타나게 된다. 이 때문에 검사대상 사이의 전위차가 소정의 전위차에 도달한 후부터 실제의 절연검사를 하기 위하여 전류값을 검출하는 소정의 타이밍까지, 확실하게 전압의 변화를 검출할 수 있게 된다.

표시수단(10)은 절연검사의 상태를 표시한다. 이 표시수단(10)은 스파크 현상의 발견이 표시된다.

이상이 본 발명에 관한 제1실시형태의 기판검사장치(1)의 구성에 대한 설명이다.

본 제1실시형태의 기판검사장치(1)의 동작을 설명한다.

우선 검사대상이 되는 기판(CB)의 배선패턴의 정보 등이 기억수단(63)에 저장된다. 또 기판(CB)이 소정의 검사위치에 배치되고, 기판(CB) 상에 형성되는 배선패턴 상의 검사점에 콘택트 프로브(CP)가 배치된다.

기판(CB)이 준비되면 절연검사가 시작된다. 우선 선출수단(61)이, 검사대상이 되는 배선패턴을 선출한다. 선출수단(61)이 검사대상이 되는 배선패턴을 선출하면, 이 선출수단(61)은 절체수단(7)에 의하여, 이 검사대상으로서 선출된 배선패턴의 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)를 특정한다. 그리고 이 특정된 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)를 접속상태로 하기 위한 스위치 소자(SW1, SW2)가 ON 되도록 선출수단(61)으로부터 동작신호가 절체수단(7)으로 송신된다.

절체수단(7)은 선출수단(61)으로부터의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 관한 신호를 수신하면, 이 신호에 따라 스위치 소자의 ON/OFF 제어가 이루어진다.

예를 들면 배선패턴(P1)이 검사대상의 배선패턴으로 되는 경우에, 배선패턴(P1)에 대응하는 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)에 접속되는 스위치 소자(SW1, SW2)가 ON으로 된다. 또한 이와 동시에 이 배선패턴(P1) 이외의 배선패턴(P2) 내지 배선패턴(P4)에 접촉되는 콘택트 프로브(CP)가 각각 하류측 전류공급단자(82)와 접속상태로 되기 때문에, 각각의 하류측 전류공급단자(82)의 스위치 소자(SW4)가 각각 ON으로 되도록 제어된다.

도2는, 본 발명에 관한 기판검사장치의 동작상태를 나타내는 1실시형태이다. 이 도2에 나타내는 동작상태에서는, 상기의 설명과 같이 배선패턴(P1)이 검사대상으로서 선출되어 있다. 이 때문에 배선패턴(P1)은, 스위치 소자(SW1)와 스위치 소자(SW2)가 ON 되어 있어, 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)에 접속되어 있다. 이 때에 검사대상 이외의 배선패턴(P2) 내지 배선패턴(P4)은, 스위치 소자(SW4)가 ON 되어 하류측 전류공급단자(82)가 각각 접속되어 있다. 한편 스위치 소자(SW3)는 OFF 상태 그대로이다.

상기와 같은 스위치 소자가 ON 또는 OFF 제어되면, 검사대상 사이의 전위차가 소정의 전위차가 되도록 검사대상의 배선패턴(P1)에 전류가 인가된다.

이 때에 전압검출수단(3)은, 전력공급수단(2)으로부터 전력이 공급되고 있는 사이에 검출하는 전압값을 제어수단(6)으로 송신하고 있다. 제어수단(6)은 전압값을 받으면, 판정수단(62)에 있어서 전압강하가 발생하고 있는가 아닌가를 판정한다. 이 때에 전압값이 시계열적으로 감소하고 있으면, 판정수단(62)은 스파크 현상이 발생하였다고 판정을 하고, 그 취지가 표시수단(10)으로 보내져서 표시된다.

도3에서는 스파크 현상이 발생하였을 경우의 예를 나타내고 있으며, 전압강하가 발생한 장소(A)에 있어서 스파크 현상이 발생하고 있다. 도3에서는, 시간(t0)에 있어서, 본 발명의 기판검사장치(1)의 전력공급수단(2)이 검사대상 사이에 소정의 전위차를 인가하기 위한 전력을 공급한다. 더 구체적으로는 예를 들면 전력공급수단(2)이 전류를 공급함으로써 검사대상 사이의 전위차를 크게 할 수 있다. 또 도3에서는, 전압검출수단(3)이 검출하는 전압값을 부호(Vp)로 나타내고 있고, 전력공급수단(2)이 공급하는 전압값을 부호(Vs)로서 참고로 기재하고 있다.

이 때에 전압인가시작 시간(t0)에서부터 시간(t1)까지는 검사대상 사이의 전압이 소정의 전압에 도달할 때까지의 기간이며, 시간(t3)에서 절연검사가 실시된다. 이 시간(t1)에서부터 시간(t3)까지는, 검사대상 사이의 전압이 소정의 전압에 도달되고 나서 소정의 시간이 경과한 후에 절연검사가 실시되도록 설정되어 있다. 이 기간에 있어서, 본 발명은 정확하게 스파크 현상을 검출할 수 있다. 이 기간에 있어서 예를 들면 커런트 리미트 회로(current limit 回路)에 의하여 전류값이 제한되고 있는 경우에는, 이 회로의 존재에 의하여 종래에는 검출할 수 없었던 작은 과전류의 스파크 현상이 발생하였을 경우이더라도 전압강하부(5)를 작은 과전류가 통과함으로써 확실하게 검출할 수 있기 때문이다.

1 : 기판검사장치
2 : 전력공급수단
3 : 전압검출수단
5(R1∼R4) : 전압강하부(저항부)
6 : 제어수단
7 : 절체수단
CB : 단위기판

Claims

기판에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern) 사이의 절연검사를 하는 기판검사장치(基板檢査裝置)로서,
상기 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 하나의 배선패턴을 제1검사부로서 선출함과 아울러, 상기 제1검사부 이외의 검사대상이 되는 모든 배선패턴을 제2검사부로서 선출하는 선출수단(選出手段)과,
상기 제1검사부와 상기 제2검사부의 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여 상기 제2검사부에 접속됨과 아울러 상기 제2검사부에 전압을 인가하는 전원수단(電源手段)과,
상기 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단(檢出手段)과,
상기 검출수단이 검출하는 전압에 전압강하가 발생한 경우에, 상기 제1검사부와 제2검사부에 불량이 존재한다고 판정하는 판정수단(判定手段)을
구비하고,
상기 선출수단은, 도통상태(導通狀態)를 ON/OFF로 하는 절체부(切替部)와, 상기 절체부와 직렬로 접속되는 전압강하부(電壓降下部)를 구비하여 이루어지고,
상기 검출수단은, 일방단(一方端)이 상기 제1검사부와 상기 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.