KR102081461B1 - 증폭기 내장형 압력 센서 - Google Patents

Abstract

압력신호의 증폭 회로를 유체의 열로부터 보호하면서, 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 적절하게 검출하는 것을 가능하게 한 증폭기 내장형 압력 센서를 제공한다.
유체와 유체의 유로를 구비한 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출소자(3)과, 압력신호를 증폭하는 증폭 회로(5a)를 가지는 증폭 회로 기판(5)과, 압력검출소자(3)이 고정되는 하우징(2)과, 하우징(2)에 고정되고, 하우징(2)내의 공간을 압력검출소자(3)이 배치되는 제1 공간(R1)과 증폭 회로 기판(5)이 배치되는 제2 공간(R2)으로 격리하는 격리부(4)를 구비하고, 하우징(2)이, 증폭 회로 기판(5)을 냉각하기 위한 냉각 기체를 제2 공간(R2)로 유입되게 하는 유입구(7)과 냉각 기체를 제2 공간으로부터 배출하게 하는 배출구(8)을 가지는 증폭기 내장형 압력 센서(1)을 제공한다.

Description

증폭기 내장형 압력 센서{Amplifier-embedded pressure sensor}

본 발명은, 증폭기 내장형 압력 센서에 관한 것이다.

종래부터, 유로를 흐르는 유체 압력을 검출하기 위하여, 압력 센서가 사용되고 있다. 압력 센서로서는, 압력검출부가 검출하는 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 내장한 증폭기 내장형(예를 들면, 특허문헌 1참조.)과, 증폭 회로를 내장하지 않고 압력 센서 외부에 설치된 증폭 회로에 압력신호를 전달하는 세퍼레이트형이 알려져 있다.

증폭기 내장형 압력 센서는, 미소신호인 압력신호를 증폭 회로까지 전달하는 배선의 길이가 짧으므로, 압력신호가 노이즈 등의 영향을 받기 어렵다라고 하는 이점이 있다.

일본국 특허 공개 2007-78383호 공보

그러나, 증폭기 내장형의 압력 센서는, 압력검출부에 근접한 위치에 증폭 회로가 배치되므로, 검출 대상의 유체가 고온(예를 들면, 80도 이상 또한 200도 이하의 온도)일 경우, 증폭 회로에 열이 전달되어 증폭 회로의 동작에 악영향을 줄 가능성이 있다.

본 발명은, 이러한 사정에 감안해서 이루어진 것으로, 고온의 유체와 유체의 유로를 구비한 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출할 때에, 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 유체의 열로부터 보호하면서, 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 적절하게 검출하는 것을 가능하게 한 증폭기 내장형 압력 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해, 하기의 수단을 채용하였다.

본 발명에 따른 증폭기 내장형 압력 센서는, 유체의 유로를 구비한 배관에 접속되는 증폭기 내장형 압력 센서로서, 상기 배관으로부터 유입되는 유체에 접하는 수압면을 가지며, 상기 수압면에 접하는 유체와 상기 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출부와, 상기 압력검출부가 검출한 상기 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판과, 상기 압력검출부가 고정되는 하우징과, 상기 하우징에 고정되고, 상기 하우징내의 공간을 상기 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 상기 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리하는 격리부를 구비하고, 상기 하우징은, 상기 증폭 회로 기판을 냉각하기 위한 냉각 기체를 상기 제2 공간으로 유입시키는 유입구 및 상기 냉각 기체를 상기 제2 공간으로 배출시키는 배출구를 가지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 증폭기 내장형 압력 센서에서는, 격리부에 의해 압력검출부가 고정되는 하우징내의 공간이, 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 압력검출부가 검출한 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리되어 있다. 증폭 회로 기판은 유입구로부터 하우징의 제2 공간에 유입된 냉각 기체에 의해 냉각되고, 냉각 기체는 배출구로부터 하우징의 외부로 배출된다. 냉각 기체의 유입에 의해 하우징내의 제2 공간의 압력이 변동하지만, 제1 공간은 격리부에 의해 제2 공간으로부터 격리되어 있으므로 제1 공간의 압력은 변동하지 않는다. 따라서, 제2 공간의 압력 변동은 검출 대상의 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하는 압력검출부의 검출 결과에 영향을 미치지 않는다.

따라서 본 발명에 따른 증폭기 내장형 압력 센서에 의하면, 고온의 유체와 유체의 유로를 구비한 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출할 때에, 압력신호의 증폭 회로를 유체의 열로부터 보호하면서, 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 적절하게 검출하는 것을 가능하게 한 증폭기 내장형 압력 센서를 제공할 수 있다.

본 발명의 제1 형태의 증폭기 내장형 압력 센서는, 상기 증폭 회로 기판이, 상기 유입구와 상기 배출구의 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하는 것으로, 증폭 회로 기판의 표리 양면의 근방을 냉각 기체가 유통되어, 증폭 회로가 적절하게 냉각된다.

본 발명의 제2 형태의 증폭기 내장형 압력 센서는, 상기 격리부가, 상기 하우징의 내주면의 형상과 대략 일치하는 형상의 외주면을 가지는 격리 기판과, 상기 격리 기판의 외주면과 상기 하우징의 내주면과의 사이를 상기 냉각 기체가 유통 불가능하게 되도록 충진하는 충진재를 가지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제2 형태의 증폭기 내장형 압력 센서에 의하면, 하우징 내주면의 형상과 대략 일치하는 형상의 격리 기판의 외주면과 하우징의 내주면과의 사이의 공간이 충진재에 의해 충진되어, 제2 공간에서 제1 공간으로 냉각 기체가 유입되는 것이 방지된다.

이와 같이 하는 것으로, 충진재를 격리 기판의 외주면과 하우징의 내주면과의 사이에 충진한다고 하는 비교적 용이한 작업에 의해, 하우징내의 공간을 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리할 수 있다.

본 발명의 제3 형태의 증폭기 내장형 압력 센서는, 상기 증폭 회로에 의해 증폭된 상기 압력신호를 외부장치에 전달하는 외부배선이 연결되는 연결부를 구비하고, 상기 제1 공간은, 상기 외부배선을 피복하는 피복부와 상기 외부배선과의 사이의 제3 공간을 개재해서 상기 외부장치 근방의 공간과 연통되어 있어도 된다.

이와 같이 하는 것으로, 압력 센서로부터 외부배선의 거리만큼 떨어진 위치에 배치되어 있는 외부장치 근방 공간의 기체가 제3 공간을 개재해서 제1 공간에 공급된다. 압력 센서 근방의 공간은, 압력의 검출 대상 유체 등의 영향에 의해 제1 공간내의 압력검출부를 부식되게 할 가능성이 있으므로, 제1 공간내의 압력검출부의 부식을 방지할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 증폭기 내장형 압력 센서는, 상기 압력검출부의 상기 수압면과 상기 하우징의 상기 수압면과 대향하는 면에 유체실이 형성되어 있으며, 상기 하우징은, 외부유로와 연통된 제1 유로와, 제1 유로와 상기 유체실을 연결하는 제2 유로를 가지고, 상기 제2 유로의 유로직경은, 상기 제1 유로의 유로직경보다 작은 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하는 것으로, 제1 유로로부터 유입되는 고온의 유체가 유체실에 도달할 때까지, 제1 유로보다도 냉각 효율이 높은 제2 유로에서 유체를 충분히 냉각하여, 유체실에 도달하는 유체의 온도를 낮게 억제할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 증폭기 내장형 압력 센서에서는, 상기 제2 유로의 유로길이는, 상기 제1 유로의 유로길이보다 긴 구성이어도 된다.

이와 같이 하는 것으로, 제2 유로의 냉각 효율을 더욱 높게 하여, 유체실에 도달하는 유체의 온도를 충분히 낮게 억제할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 증폭기 내장형 압력 센서에서는, 상기 제2 유로의 외주면의 직경은 상기 제1 유로의 외주면의 직경보다 작고, 상기 제2 유로를 유로길이에 걸쳐 둘러싸도록 배치되고, 상기 제2 유로의 외주면에 근접한 공간이 외부공간과 연통된 상태에서 상기 제2 유로를 지지하는 지지 부재를 구비하는 구성이어도 된다.

이와 같이 하는 것으로, 유로직경이 작은 제2 유로에 가해지는 하중의 영향을 지지 부재에 의해 적절하게 지지하여, 제2 유로의 변형을 적절하게 방지할 수 있다.

본 발명의 제5 형태의 증폭기 내장형 압력 센서는, 상기 배출구의 상기 제2 공간에의 개구직경은, 상기 유입구의 상기 제2 공간에의 개구직경보다도 큰 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하는 것으로, 유입구에서 하우징의 제2 공간에 유입되는 냉각 기체가 배출구로부터 용이하게 배출되도록 하여, 제2 공간의 압력이 높아지는 것에 의한 문제를 방지할 수 있다.

본 발명의 제6 형태의 증폭기 내장형 압력 센서는, 상기 압력검출부에서 상기 격리부에 상기 압력신호를 전달하는 제1 배선과, 상기 격리부에서 상기 증폭 회로 기판으로 상기 압력신호를 전달하는 제2 배선과, 상기 증폭 회로 기판에서 상기 격리부로 상기 증폭 회로에 의해 증폭된 상기 압력신호를 전달하는 제3 배선을 구비하고, 상기 격리부가, 상기 제1 공간측의 면에 상기 제1 배선이 접속되는 제1 단자를 가지고, 상기 제2 공간측의 면에 상기 제2 배선이 접속되는 제2 단자를 가지고, 상기 제1 단자와 상기 제2 단자가 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하는 것으로, 격리부에 의해 제1 공간과 제2 공간을 격리하면서, 압력검출부에서 증폭 회로에의 압력신호의 전달과, 증폭 회로에서 격리부로의 증폭된 압력신호의 전달을 행할 수 있다.

본 발명에 의하면, 고온의 유체와 유체의 유로를 구비한 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출할 때에, 압력신호의 증폭 회로를 유체의 열로부터 보호하면서, 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 적절하게 검출하는 것을 가능하게 한 증폭기 내장형 압력 센서를 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예의 압력 센서를 나타내는 정면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 압력 센서의 내부구조를 나타내는 A-A단면도이다.
도 3은, 도 2에 나타내는 압력 센서의 내부구조를 나타내는 B-B단면도이다.
도 4는, 도 2에 나타내는 압력 센서의 횡단면도로, (a)가 C-C횡단면도이고, (b)가 D-D 횡단면도이고, (c)가 E-E 횡단면도이다.
도 5는, 도 1에 나타내는 압력 센서의 상면도이다.
도 6은, 외부배선 및 피복막의 단면도이다

<제1 실시예>

이하, 본 발명의 제1 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서를 도면에 의거하여 설명한다. 도 1은, 제1 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서의 정면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 압력 센서(1)의 내부구조를 나타내는 A-A단면도이다. 도 3은, 도 2에 나타내는 압력 센서의 내부구조를 나타내는 B-B단면도이다.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 압력 센서(1)은, 하우징 커버(2a)와 하우징 본체(2b)에 의해 구성되는 하우징(2)의 내부에, 압력검출소자(3)(압력검출부)이 고정된 센서이다.

도 5는, 도 1에 나타내는 압력 센서의 상면도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 압력 센서(1)은, 피복막(20)에 의해 피복된 외부배선(19)을 개재해서 외부장치에 압력신호를 전달할 수 있다. 외부배선(19)은, 후술하는 접속부(21)을 개재해서 압력 센서(1)에 연결되어 있다.

압력 센서(1)은, 유체의 유로를 구비한 배관(도시하지 않음)에 접속되는 센서로, 배관으로부터 유입되는 유체 압력과 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 것이다.

압력 센서(1)은, 유체에 접하여 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하기 위한 수압면(3a)를 가지고 있다. 압력 센서(1)의 수압면(3a)와, 하우징 본체(2b)의 수압면(3a)와 대향하는 면에, 유체실(23)이 형성된다. 압력 센서(1)이 압력을 검출하는 대상이 되는 유체는, 외부유로(18)과 연통된 제1 유로(15)로부터 유입되고, 제1 유로(15)와 유체실(23)을 연결하는 제2 유로(16)을 경유하여, 유체실(23)에 유입된다. 압력 센서(1)의 하우징 본체(2b)와 외부유로(18)는, 캡너트(17)에 의해 체결되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 유로(16)의 유로직경(D2)은 제1 유로(15)의 유로직경(D1)보다 작다. 또, 제2 유로(16)의 유로길이(L2)는, 제1 유로(15)의 유로길이(L1)보다 길다. 여기서, 제1 유로(15)의 유로길이(L1)은, 하우징 본체(2b)에 있어서 유로직경이 (D1)이며, 또한 내면이 유체와 접하고 있는 부분의 길이를 말한다. 또, 제2 유로(16)의 유로길이(L2)는, 하우징 본체(2b)에 있어서 유로직경이 (D2)이고, 또한 내면이 유체와 접하고 있는 부분의 길이를 말한다.

본 실시예의 압력 센서(1)은, 고온(예를 들면, 80도이상 또한 200도이하의 온도)의 유체 압력을 검출하는데 적당하도록 설계되어 있다. 다시 말해, 제2 유로(16)의 유로직경(D2)이 제1 유로(15)의 유로직경(D1)보다 작고, 제2 유로(16)의 유로길이(L2)가 제1 유로(15)의 유로길이(L1)보다 길고, 외부유로(18)로부터 유체실(23)에 유입되는 유체가 제2 유로(16)을 통과할 때에 냉각되도록 되어 있다. (D1)을 예를 들면 9.5mm로 하고, (D2)를 예를 들면 2.5mm로 할 수 있다.

압력검출소자(3)은, 수압면(3a)에 접하는 유체 압력과, 유체의 유로를 구비한 배관이 설치되는 공간과의 차(차압)을 검출하여 압력신호를 출력하는 소자이다. 본 실시예에 있어서, 압력검출소자(3)의 배면(3b)에는, 제1 공간(R1)과 연통된 흡기구(도시하지 않음)이 형성되어 있으며, 제1 공간(R1)의 압력이 기준압력이 된다. 본 실시예에 있어서, 제1 공간(R1)의 압력은 대기압인 것으로 하나, 다른 형태이어도 된다. 예를 들면, 공기와는 다른 기체가 충만한 방의 압력을 기준압력으로 하여도 된다. 이 경우 기체는, 압력 센서(1)의 동작에 영향을 미치지 않는 기체라면, 여러가지의 것을 채용하는 것이 가능하다.

압력검출소자(3)은 평면에서 보아 대략 원형의 원주형의 부재이다. 압력검출소자(3)의 외주면과, 압력검출소자(3) 배면(3b)의 외측 에지는, 단면에서 보아 원환형상의 센서 지지부재(9)의 내면에 접해있다. 센서 지지부재(9)는, 하우징 본체(2b)에 대하여 압력검출소자(3)을 지지하는 부재이다. 센서 지지부재(9)의 외주면에는 수나사가 형성되어 있으며, 하우징 본체(2b)의 내주면에 형성된 암나사와 맞물림으로써 체결된다.

수나사(12a), (12b)의 나사 머리와 센서 지지부재(9)의 사이에는, 지지 베이스부재(11)이 배치되어 있으며, 수나사(12a), (12b)에 의해 센서 지지부재(9)에 고정되어 있다.

지지 베이스부재(11)은, 격리부재(4)(격리부) 및 증폭 회로 기판(5)을 압력 센서(1)로부터 이간해서 배치하기 위한 스페이서(10)을 지지하는 부재이다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 격리부재(4)는, 스페이서(10b), (10d)에 의해, 지지 베이스부재(11)로부터 이간된 위치에 배치된다. 마찬가지로, 증폭 회로 기판(5)은, 스페이서(10a), (10c)에 의해, 격리부재(4)로부터 이간된 위치에 배치된다.

수나사(13a)는, 증폭 회로 기판(5), 스페이서(10a), 격리부재(4), 스페이서(10b)의 순서로 삽입되고, 그 선단이 지지 베이스부재(11)에 설치된 암나사부에 체결되어 있다. 또, 수나사(13b)는, 증폭 회로 기판(5), 스페이서(10c), 격리부재(4), 스페이서(10d)의 순서로 삽입되고, 그 선단이 지지 베이스부재(11)에 설치된 암나사부에 체결되어 있다. 이와 같이 하여, 격리부재(4) 및 증폭 회로 기판(5)은, 지지 베이스부재(11)로부터 이간된 위치에 각각 배치된다.

격리부재(4)는, 격리 기판(4a)와 충진재(4b)에 의해 구성되어 있다. 격리 기판(4a)는 전자회로에 사용되는 프린트 배선 기판과 같은 재질의 원판형상의 부재이다. 격리 기판(4a)는, 하우징 커버(2a) 내주면의 형상과 대략 일치하는 형상의 외주면을 가진다.

격리 기판(4a)의 제2 공간측의 면의 외측 에지에는, 충진재(4b)가 형성되어 있으며, 격리 기판(4a)의 외주면과 하우징 본체(2b)의 내주면과의 사이에서 냉각 기체가 유통 불가능하게 되도록 되어 있다. 하우징 본체(2b)에 고정된 격리부재(4)에 의해, 하우징(2)내의 공간은, 압력검출소자(3)이 배치되는 제1 공간(R1)과 증폭 회로 기판(5)이 배치되는 제2 공간(R2)으로 격리된다.

충진재(4b)는, 격리 기판(4a)를 스페이서(10)상에 배치한 상태로 도포되는 경화제를 포함하는 수지이며, 일정 시간을 경과함으로써 경화된다. 수지의 종류로서는 여러가지의 것을 이용 가능한데, 예를 들면, 실리콘 수지나 에폭시 수지가 이용 가능하다. 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 충진재(4b)는, 격리 기판(4a)의 외측 에지의 전체 둘레에 걸쳐 격리 기판(4a) 외주면과 하우징 본체(2b) 내주면과의 사이에 공간을 채우도록 충진되어 있다.

도 3 및 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 격리 기판(4a)의 제1 공간(R1)측의 면에는, 압력검출소자(3)로부터 출력되는 압력신호를 전달하는 제1 배선(24)의 압력신호선이 접속되는 단자(4c)가 설치되어 있다. 따라서, 압력검출소자(3)로부터 출력되는 압력신호가 제1 배선(24)을 개재해서 격리 기판(4a)의 단자(4c)에 전달된다. 제1 배선(24)은, 압력신호선과 전원선을 포함하는 것으로, 전원선은 도 4(c)에 나타내는 단자(4f)와 접속되어 있다. 압력검출소자(3)에는, 단자(4f)를 개재해서 외부장치로부터의 전원이 공급된다.

증폭 회로 기판(5)은, 증폭 회로(5a)가 설치된 기판으로, 전자회로에 사용되는 프린트 배선 기판과 같은 재질의 원판형상의 부재이다.

도 3 및 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 격리 기판(4a)의 제2 공간(R2)측의 면에는, 격리 기판(4a)에서 증폭 회로 기판(5)로 압력신호를 전달하는 제2 배선(25)이 접속되는 단자(4d)가 설치되어 있다. 단자(4c)와 단자(4d)와는 전기적으로 접속되어 있고, 격리 기판(4a)의 단자(4d)로부터 출력되는 압력신호가 제2 배선(25)에 포함되는 압력신호선을 개재해서 증폭 회로 기판(5)에 전달된다.

제2 배선(25)은 압력신호선과 전원선을 포함하는 것이다. 압력신호선은 단자(4d)에 접속되어 있고, 전원선은 단자(4g)와 접속되어 있다. 단자(4g)는 단자(4f)와 전기적으로 접속되어 있고, 단자(4g)를 개재해서 공급되는 전원이 단자(4f)에 전달되도록 되어 있다.

단자(4c), 단자(4d), 단자(4f), 단자(4g)는, 관통 홀에 의해 형성되어 있으며, 관통 홀에 배선의 선단을 삽입한 상태에서 솔더링함으로써 단자와 배선이 전기적으로 접속된다. 또한, 솔더링한 상태에 있어서, 관통 홀은 솔더로 채워져 있으며, 관통 홀을 경유해서 제1 공간(R1)과 제2 공간(R2)의 사이로 기체를 유통하게 할 수는 없다.

증폭 회로(5a)는, 제2 배선(25)의 압력신호선을 개재해서 전달되는 미소신호인 압력신호를 증폭하는 회로이다. 증폭 회로(5a)에 의해 증폭된 압력신호(이하, 증폭 신호)는, 제3 배선(26)의 압력신호선을 개재해서 격리 기판(4a)에 전달된다. 격리 기판(4a)에 전달된 증폭 신호는, 제 4 배선(27)을 개재해서 외부배선(19)에 전달된다.

제3 배선(26)은 압력신호선과 전원선과 제어신호선을 포함하는 것이다. 압력신호선은 격리 기판(4a)의 단자(4e)에 접속되어 있으며, 전원선은 단자(4h)에 접속되어 있고, 제어신호선은 단자(4i)에 접속되어 있다. 격리 기판(4a)의 단자(4e)는 외부배선(19)에 포함되는 압력신호선과 전기적으로 접속되어 있으며, 단자(4e)를 개재해서 입력되는 증폭 신호가 외부배선(19)을 개재해서 외부장치에 전달된다.

외부배선(19)에는 전원선이 포함되어 있고, 외부배선(19)의 전원선은 격리 기판(4a)의 단자(4h)와 전기적으로 접속되어 있다. 외부장치로부터 공급되는 전원은, 단자(4h)를 개재해서 증폭 회로 기판(5)에 전달된다.

외부배선(19)에는 제어신호선이 포함되어 있고, 제어신호선은 격리 기판(4a)의 단자(4i)와 전기적으로 접속되어 있다. 외부장치로부터 입력되는 제어신호는, 단자(4i)를 개재해서 증폭 회로 기판(5)에 전달된다.

외부장치로부터 입력되는 제어신호는 여러가지의 신호가 있는데, 압력검출소자(3)의 0점 조정을 실행하기 위한 0점 조정 신호를 포함하고 있다. 0점 조정이란, 압력검출소자(3)이 출력하는 압력신호를 조정하는 처리를 말한다. 유체실(23)내의 압력이 유체의 배관이 배치되는 공간과 같은 압력(본 실시예에서는 대기압)으로 되어 있는 상태에서, 외부장치로부터 0점 조정 신호가 송신되면, 증폭 회로(5a)는 0점 조정 처리를 행한다. 구체적으로, 증폭 회로(5a)는, 외부장치로부터 0점 조정 신호를 수신했을 때의 압력신호가 대기압을 나타내는 값이 되도록 압력검출소자(3)로부터 입력되는 압력신호를 보정한다.

표시 회로 기판(6)은, 표시 회로(6a)와 발광 소자(6b)로 구성되어 있고, 제5배선(28)에 의해 증폭 회로 기판(5)과 전기적으로 접속되어 있다. 표시 회로(6a)는, 발광 소자(6b)를 제어하는 회로이다. 표시 회로(6a)는, 예를 들면, 외부장치로부터 외부배선(19)을 개재해서 전원이 공급되어 있을 경우에 발광하도록 발광 소자(6b)를 제어한다. 또, 예를 들면, 외부장치로부터 0점 조정 신호가 송신되고, 증폭 회로(5a)가 0점 조정을 행하고 있을 때에 점멸하도록 발광 소자(6b)를 제어한다.

한편, 도 2에는, 1개의 발광 소자(6b)를 구비한 표시 회로 기판(6)을 나타내고 있으나, 다른 형태이어도 된다. 예를 들면, 표시 회로 기판(6)에 복수의 발광 소자를 설치하고, 이들의 발광 상태를 제어함으로써 증폭 신호에 따른 압력신호를 나타내는 수치를 표시하게 할 수도 있다. 이와 같이 하는 것으로, 압력 센서(1)자체에, 압력검출소자(3)이 검출하는 압력을 표시하는 기능을 갖추게 할 수 있다.

하우징 커버(2a)는, 하우징 본체(2b)에 장착되는 것으로, 서로 감합함으로써 제2 공간(R2)을 형성한다. 하우징 커버(2a)는, 증폭 회로 기판(5)을 냉각하기 위한 냉각 기체를 제2 공간(R2)로 유입하게 하는 유입구(7)과 냉각 기체를 제2 공간(R2)로부터 배출하게 하는 배출구(8)을 가진다.

유입구(7) 및 배출구(8)은, 외부의 냉각 기체의 공급원(도시하지 않음)과 접속되어 있고, 공급원으로부터 냉각 기체가 유입구(7)에 공급되고, 배출구(8)로부터 냉각 기체가 배출되도록 되어 있다. 냉각 기체로서는, 여러가지의 기체를 이용 가능한데, 본 실시예에서는 공기를 이용하는 것으로 한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 증폭 회로 기판(5)의 외주면과 하우징 커버(2a)의 내주면과는, 서로 접하지 않는 상태로, 일정 간격을 두고 배치되어 있다. 또, 증폭 회로 기판(5)은, 유입구(7)과 배출구(8)과의 사이에 배치되어 있다. 따라서, 유입구(7)로 유입된 냉각 기체(공기)는, 증폭 회로 기판(5)의 하면을 냉각하고, 증폭 회로 기판(5)과 하우징 커버(2a) 사이를 통과하고, 증폭 회로 기판(5)의 상면을 냉각하고, 그 후에 배출구(8)로 배출된다.

유입구(7) 및 배출구(8)의 제2 공간으로의 개구부의 형상은, 원형으로 되어 있다. 그리고, 배출구(8)의 제2 공간(R2)에의 개구직경은, 유입구(7)의 제2 공간(R2)에의 개구직경보다도 크다. 따라서, 유입구(7)에서 제2 공간(R2)로의 냉각 기체의 유입이 제한되는 한편, 제2 공간(R2)에서 배출구(8)로의 냉각 기체의 배출이 용이하게 행해지도록 되어 있다. 이와 같이 하는 것으로, 냉각 기체의 유입에 의해 제2 공간(R2)의 압력이 상승하는 것이 방지된다.

연결부(22)는 하우징 본체(2b)에 형성되어 있고, 증폭 신호를 외부장치에 전달하는 외부배선(19)이 연결되는 부재이다. 연결부(22)의 선단에는 암컷측 코넥터가 형성되어 있고, 외부배선(19) 선단의 접속부(21)에는 수컷측 코넥터가 설치되어 있다. 암컷측 코넥터와 수컷측 코넥터가 접속되는 것에 의해 제4 배선(27)과 외부배선(19)이 전기적으로 접속된 상태로 된다.

하우징 본체(2b)의 연결부(22)와, 외부장치에 접속된 외부배선(19) 선단의 접속부(21)이 연결되면, 연결부(22)에 설치된 O링과 접속부(21)의 내면이 접한 상태로 된다. 이에 따라, 하우징(2)의 제1 공간(R1)이 압력 센서(1) 근방의 공간으로부터 격리된다.

외부배선(19)은, 도 6의 단면도에 나타낸 바와 같이, 피복막(20)(피복부)에 의해 피복되어 있고, 외부배선(19)과 피복막(20)과의 사이에는 제3 공간(R3)이 설치되어 있다. 도 6에서는, 외부배선(19)과 피복막(20)이, 원주방향의 전체 둘레에 걸쳐 접하지 않은 상태가 도시되어 있는데, 외부배선(19)의 전체 길이에 걸쳐 이러한 상태로 되어 있는 것은 아니다. 외부배선(19)과 피복막(20)은, 일부분에서 접하고, 다른 부분에서 접하지 않는 상태로 된다.

외부배선(19)과 피복막(20)사이의 제3 공간(R3)은, 외부장치 근방의 공간과 연통되어 있는 동시에, 연결부(22)를 개재해서 하우징(2)내의 제1 공간(R1)과도 연통되어 있다. 따라서, 제1 공간(R1)은, 제3 공간(R3)을 개재해서 외부장치 근방의 공간과 연통되어 있고, 외부장치 근방 공간의 기체가 공급된다.

피복막(20)의 재료로는 여러 가지가 이용 가능한데, 예를 들면 테프론(등록상표) 등의 플루오르수지를 이용 가능하다. 또, 외부배선(19)의 길이로서는 여러가지의 것을 이용 가능한데, 예를 들면 2m정도의 길이로 할 수 있다.

다음에, 제2 유로(16)을 지지하는 지지 부재(14)에 대하여 설명한다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 유로(16) 외주면의 직경(D4)은, 제1 유로(15) 외주면의 직경(D3)보다도 작다. 또, 전술한 바와 같이, 제2 유로(16)의 유로길이(L2)는 제1 유로(15)의 유로길이(L1)보다도 길다. 따라서, 도 3과 같이 하우징(2)을 제1 유로(15) 및 제2 유로(16)이 연직방향 하방에 위치하도록 배치하면, 하우징(2) 상부의 하중이 제2 유로(16)에 집중되어, 제2 유로(16)이 변형될 우려가 있다. 또, 캡너트(17)을 개재해서 하우징(2)의 제1 유로(15)에 회전하는 힘(비틀린 힘)이 가해졌을 경우, 제2 유로(16)이 변형될 우려가 있다.

이러한 제2 유로(16)의 변형을 방지하기 위하여, 제2 유로(16)을 유로길이(L2)에 걸쳐 둘러싸도록, 지지 부재(14)이 배치된다. 지지 부재(14)는, 하우징(2)과는 독립된 부재로, 하우징 본체(2b)와 끼워 맞춰진 상태로 배치되는 부재이다. 지지 부재(14)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 외주면의 일부분에, 외부공간과 연통된 상태로 되는 개구부가 설치되어 있다.

도 4(a)에는, 도 2에 나타낸 압력 센서(1)의 C-C횡단면도가 도시되어 있다. 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(14) 내주면의 형상과 하우징 본체(2b) 외주면의 형상은 대략 일치한 형상으로, 서로 끼워 맞춰진 상태로 되어 있다. 지지 부재(14) 내주면의 형상과 하우징 본체(2b) 외주면의 형상은, 상하 2군데의 단면을 제외하고, 원형으로 되어 있다. 상하 2군데 단면의 존재에 의해, 지지 부재(14)에 제2 유로(16)의 중심축을 중심으로 한 원주 방향으로 회전하는 힘(비틀린 힘)이 가해졌을 경우, 지지 부재(14)에 가해진 힘이 하우징 본체(2b)에 전달되도록 되어 있다.

도 4(b)에는, 도 2에 나타낸 압력 센서(1)의 D-D횡단면도가 도시되어 있다. 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(14) 내주면의 일부와 하우징 본체(2b) 외주면의 일부가 4군데에서 접해있고, 서로 끼워 맞춰진 상태로 되어 있다. 4군데에서 지지 부재(14)의 내주면과 하우징 본체(2b)의 외주면이 접해있는 것에 의해, 하우징 본체(2b)에 제2 유로(16)의 중심축을 중심으로 한 원주 방향으로 회전하는 힘(비틀린 힘)이 가해졌을 경우, 하우징 본체(2b)에 가해진 힘이 지지 부재(14)에 전달되도록 되어 있다.

캡너트(17)을 개재해서 하우징 본체(2b)의 제1 유로(15)부분에 제1 유로(15)의 중심축을 중심으로 한 원주 방향으로 회전하는 힘(비틀린 힘)이 가해졌을 경우, 아래와 같이 가해진 힘이 전달된다. 먼저, 도 4(b)에서 나타낸 구조에 의해, 하우징 본체(2b)에 가해진 힘이 지지 부재(14)에 전달된다. 그리고, 도 4(a)에서 나타낸 구조에 의해, 지지 부재(14)에 가해진 힘이 하우징 본체(2b)에 전달된다.

즉, 캡너트(17)을 개재해서 가해진 힘은, 하우징 본체(2b)의 제2 유로(16)부분에만 집중해서 가해지는 것이 아니라, 지지 부재(14)를 개재해서 하우징 본체(2b)의 상부에도 가해진다. 따라서, 지지 부재(14)는, 제2 유로(16)이 변형하지 않도록, 제2 유로(16)을 적절하게 지지할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)에서는, 격리부재(4)에 의해 압력검출소자(3)이 고정되는 하우징(2)내의 공간이, 압력검출소자(3)이 배치되는 제1 공간(R1)과 압력검출소자(3)이 검출한 압력신호를 증폭하는 증폭 회로(5a)를 가지는 증폭 회로 기판(5)이 배치되는 제2 공간(R2)으로 격리되어 있다.

또, 증폭 회로 기판(5)은 유입구(7)에서 하우징(2)의 제2 공간(R2)으로 유입된 냉각 기체에 의해 냉각되고, 냉각 기체는 배출구(8)에서 하우징(2)의 외부로 배출된다. 냉각 기체의 유입에 의해 하우징(2)내의 제2 공간(R2)의 압력이 변동하는데, 제1 공간(R1)은 격리부재(4)에 의해 제2 공간(R2)로부터 격리되어 있으므로 제1 공간(R1)의 압력은 변동하지 않는다.

따라서, 제2 공간(R2)의 압력 변동은 검출 대상의 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하는 압력검출소자(3)의 검출 결과에 영향을 주지 않는다. 따라서 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)에 의하면, 고온의 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출할 때에, 압력신호의 증폭 회로(5a)를 유체의 열로부터 보호하면서, 유체와 배관이 설치되는 공간과의 차압을 적절하게 검출하는 것을 가능하게 한 증폭기 내장형 압력 센서(1)을 제공할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 증폭 회로 기판(5)이, 유입구(7)과 배출구(8)과의 사이에 배치되어 있다. 이와 같이 하는 것으로, 증폭 회로 기판(5)의 표리 양면의 근방을 냉각 기체가 유통되어, 증폭 회로(5a)가 적절하게 냉각된다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)에 의하면, 하우징(2)의 내주면의 형상과 대략 일치하는 형상의 격리 기판(4a)의 외주면과 하우징(2)의 내주면 사이의 공간이 충진재(4b)에 의해 충진되어, 제2 공간(R2)에서 제1 공간(R1)으로 냉각 기체가 유입되는 것이 방지된다.

이와 같이 하는 것으로, 충진재(4b)를 격리 기판(4a)의 외주면과 하우징(2)의 내주면 사이에 충진한다고 하는 비교적 용이한 작업에 의해, 하우징(2)내의 공간을 압력검출소자(3)이 배치되는 제1 공간(R1)과 증폭 회로 기판(5)이 배치되는 제2 공간(R2)으로 격리할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 증폭 회로(5a)에 의해 증폭된 압력신호를 외부장치에 전달하는 외부배선(19)이 연결되는 연결부(22)를 구비하고, 제1 공간(R1)은, 외부배선(19)을 피복하는 피복막(20)과 외부배선(19)과의 사이의 제3 공간(R3)을 개재해서 외부장치 근방의 공간과 연통되어 있어도 된다.

이와 같이 하는 것으로, 압력 센서(1)로부터 외부배선(19)의 거리만큼 떨어진 위치에 배치되어 있는 외부장치 근방 공간의 기체가 제3 공간(R3)을 개재해서 제1 공간(R1)에 공급된다. 압력 센서(1) 근방의 공간은, 압력의 검출 대상 유체 등의 영향에 의해 제1 공간(R1)내의 압력검출소자(3)을 부식되게 할 가능성이 있으므로, 제1 공간(R1)내의 압력검출소자(3)의 부식을 방지할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 압력검출소자(3)의 수압면(3a)와 하우징(2)의 수압면(3a)와 대향하는 면에 유체실(23)이 형성되어 있고, 하우징(2)은, 외부유로와 연통된 제1 유로(15)와, 제1 유로(15)와 유체실(23)을 연결하는 제2 유로(16)을 가지고, 제2 유로(16)의 유로직경(D2)은, 제1 유로(15)의 유로직경(D1)보다 작다.

이와 같이 하는 것으로, 제1 유로(15)로부터 유입되는 고온의 유체가 유체실(23)에 도달할 때까지, 제1 유로(15)보다도 냉각 효율이 높은 제2 유로(16)에서 유체를 충분히 냉각하여, 유체실(23)에 도달하는 유체의 온도를 낮게 억제할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 제2 유로(16)의 유로길이(L2)가 제1 유로(15)의 유로길이(L1)보다 길다. 이와 같이 하는 것으로, 제2 유로(16)의 냉각 효율을 더욱 높게 하여, 유체실(23)에 도달하는 유체의 온도를 충분히 낮게 억제할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 제2 유로(16)의 외주면의 직경(D4)은 제1 유로(15)의 외주면의 직경(D3)보다 작고, 제2 유로(16)을 유로길이(L2)에 걸쳐 둘러싸도록 배치되고, 제2 유로(16)의 외주면에 근접한 공간이 외부공간과 연통된 상태로 제2 유로(16)을 지지하는 지지 부재(14)를 구비하는 구성이어도 된다.

이와 같이 하는 것으로, 유로직경이 작은 제2 유로(16)에 가해지는 하중의 영향을 지지 부재(14)에 적절하게 지지하여, 제2 유로(16)의 변형을 적절하게 방지할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 배출구(8)의 제2 공간(R2)에의 개구직경이, 유입구(7)의 제2 공간(R2)에의 개구직경보다도 크다. 이와 같이 하는 것으로, 유입구(7)에서 하우징(2)의 제2 공간(R2)로 유입되는 냉각 기체가 배출구(8)로부터 용이하게 배출되도록 하여, 제2 공간(R2)의 압력이 높아지는 것에 의한 문제를 방지할 수 있다.

또, 본 실시예의 증폭기 내장형 압력 센서(1)은, 압력검출소자(3)에서 격리부재(4)로 압력신호를 전달하는 제1 배선(24)과, 격리부재(4)에서 증폭 회로 기판(5)로 압력신호를 전달하는 제2 배선(25)과, 증폭 회로 기판(5)에서 격리부재(4)로 증폭 회로(5a)에 의해 증폭된 압력신호를 전달하는 제3 배선(26)을 구비한다.

또, 격리부재(4)가, 제1 공간(R1)측의 면에 제1 배선(24)이 접속되는 제1 단자(4c)를 가지고, 제2 공간(R2)측의 면에 제2 배선(25)이 접속되는 제2 단자(4d)를 가지고, 제1 단자(4c)와 제2 단자(4d)가 전기적으로 접속되어 있다.

이와 같이 하는 것으로, 격리부재(4)에 의해 제1 공간(R1)과 제2 공간(R2)을 격리하면서, 압력검출소자(3)에서 증폭 회로(5a)에의 압력신호의 전달과, 증폭 회로(5a)에서 격리부재(4)에의 증폭된 압력신호의 전달을 행할 수 있다.

<다른 실시예>

제1 실시예에서는, 격리 기판(4a)에 설치되는 제1 단자(4c) 및 제2 단자(4d)는, 관통 홀에 의해 형성되어 있는 것으로 하였으나, 다른 형태이어도 된다. 제1 단자(4c)와 제2 단자(4d)가 전기적으로 접속되어 있는 구성이라면, 예를 들면, 격리 기판(4a)의 표면에 설치된 금속접점이어도 된다.

제1 실시예는, 표시 회로 기판(6)을 설치하는 것이지만, 표시 회로 기판(6)을 설치하지 않도록 구성할 수도 있다. 또, 표시 회로 기판(6) 대신, 다른 기능을 구비한 회로 기판을 설치할 수도 있다. 또한, 표시 회로 기판(6)외에, 다른 기능을 구비한 회로 기판을 설치할 수도 있다.

그 외, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위내에서 적당히 변경할 수 있다.

1 : 압력 센서 2 : 하우징
3 : 압력검출 소자(압력검출부) 4 : 격리 부재(격리부)
4a : 격리 기판 4b : 충진재
4c∼4i : 단자 5 : 증폭 회로 기판
7 : 유입구 8 : 배출구
14 : 지지 부재 15 : 제1 유로
16 : 제2 유로 19 : 외부배선
20 : 피복막(피복부) 24 : 제1 배선
25 : 제2 배선 26 : 제3 배선
D1, D2 : 유로직경 L1, L2 : 유로길이
R1 : 제1 공간 R2 : 제2 공간
R3 : 제3 공간

Claims (9)

1. 유체의 유로를 구비한 배관에 접속되는 증폭기 내장형 압력 센서로서,
   상기 배관으로부터 유입되는 유체에 접하는 수압면을 가지며, 상기 수압면에 접하는 유체와 상기 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출부와,
   상기 압력검출부가 검출한 상기 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판과,
   상기 압력검출부가 고정되는 하우징과,
   상기 하우징에 고정되고, 상기 하우징내의 공간을 상기 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 상기 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리하는 격리부를 구비하고,
   상기 하우징은, 상기 증폭 회로 기판을 냉각하기 위한 냉각 기체를 상기 제2 공간에 유입되게 하는 유입구와 상기 냉각 기체를 상기 제2 공간에서 배출하게 하는 배출구를 가지고,
   상기 증폭회로기판은 상기 유입구와 상기 배출구의 사이에 배치되어 있으며,
   상기 유입구로부터 유입된 냉각 기체는 상기 증폭 회로 기판의 한쪽 면을 냉각하고, 상기 증폭 회로 기판과 상기 하우징부와의 사이를 통해 상기 증폭 회로 기판의 다른쪽 면을 냉각하며, 그 후에 상기 배출구로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 격리부는, 상기 하우징 내주면의 형상과 일치하는 형상의 외주면을 가지는 격리 기판과, 상기 격리 기판의 외주면과 상기 하우징의 내주면 사이를 상기 냉각 기체가 유통 불가능하게 되도록 충진된 충진재를 가지는 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
3. 유체의 유로를 구비한 배관에 접속되는 증폭기 내장형 압력 센서로서,
   상기 배관으로부터 유입되는 유체에 접하는 수압면을 가지며, 상기 수압면에 접하는 유체와 상기 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출부와,
   상기 압력검출부가 검출한 상기 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판과,
   상기 압력검출부가 고정되는 하우징과,
   상기 하우징에 고정되고, 상기 하우징내의 공간을 상기 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 상기 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리하는 격리부를 구비하고,
   상기 하우징은, 상기 증폭 회로 기판을 냉각하기 위한 냉각 기체를 상기 제2 공간에 유입되게 하는 유입구와 상기 냉각 기체를 상기 제2 공간에서 배출하게 하는 배출구를 가지고,
   상기 증폭 회로에 의해 증폭된 상기 압력신호를 외부장치에 전달하는 외부배선이 연결되는 연결부를 구비하고,
   상기 제1 공간은, 상기 외부배선을 피복하는 피복부와 상기 외부배선 사이의 제3 공간을 개재해서 상기 외부장치 근방의 공간과 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 압력검출부의 상기 수압면과 상기 하우징의 상기 수압면과 대향하는 면에 유체실이 형성되어 있고,
   상기 하우징은, 외부유로와 연통된 제1 유로와, 제1 유로와 상기 유체실을 연결하는 제2 유로를 가지고,
   상기 제2 유로의 유로직경은, 상기 제1 유로의 유로직경보다 작은 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
5. 제 4항에 있어서,
   상기 제2 유로의 유로길이는, 상기 제1 유로의 유로길이보다 긴 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
6. 유체의 유로를 구비한 배관에 접속되는 증폭기 내장형 압력 센서로서,
   상기 배관으로부터 유입되는 유체에 접하는 수압면을 가지며, 상기 수압면에 접하는 유체와 상기 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출부와,
   상기 압력검출부가 검출한 상기 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판과,
   상기 압력검출부가 고정되는 하우징과,
   상기 하우징에 고정되고, 상기 하우징내의 공간을 상기 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 상기 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리하는 격리부를 구비하고,
   상기 하우징은, 상기 증폭 회로 기판을 냉각하기 위한 냉각 기체를 상기 제2 공간에 유입되게 하는 유입구와 상기 냉각 기체를 상기 제2 공간에서 배출하게 하는 배출구를 가지고,
   상기 압력검출부의 상기 수압면과 상기 하우징의 해당 수압면과 대향하는 면에 유체실이 형성되어 있으며,
   상기 하우징은 외부유로와 연통된 제1 유로와, 제1 유로와 상기 유체실을 연결하는 제2 유로를 가지고,
   상기 제2 유로의 유로직경은 상기 제1 유로의 유로직경보다 작으며,
   상기 제2 유로의 외주면의 직경은 상기 제1 유로의 외주면의 직경보다 작고,
   상기 제2 유로를 유로길이에 걸쳐 둘러싸도록 배치되고, 상기 제2 유로의 외주면에 근접한 공간이 외부공간과 연통된 상태로 상기 제2 유로를 지지하는 지지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
7. 유체의 유로를 구비한 배관에 접속되는 증폭기 내장형 압력 센서로서,
   상기 배관으로부터 유입되는 유체에 접하는 수압면을 가지며, 상기 수압면에 접하는 유체와 상기 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출부와,
   상기 압력검출부가 검출한 상기 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판과,
   상기 압력검출부가 고정되는 하우징과,
   상기 하우징에 고정되고, 상기 하우징내의 공간을 상기 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 상기 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리하는 격리부를 구비하고,
   상기 하우징은, 상기 증폭 회로 기판을 냉각하기 위한 냉각 기체를 상기 제2 공간에 유입되게 하는 유입구와 상기 냉각 기체를 상기 제2 공간에서 배출하게 하는 배출구를 가지고,
   상기 배출구의 상기 제2 공간에의 개구직경은, 상기 유입구의 상기 제2 공간에의 개구직경보다도 큰 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
8. 유체의 유로를 구비한 배관에 접속되는 증폭기 내장형 압력 센서로서,
   상기 배관으로부터 유입되는 유체에 접하는 수압면을 가지며, 상기 수압면에 접하는 유체와 상기 배관이 설치되는 공간과의 차압을 검출하여 압력신호를 출력하는 압력검출부와,
   상기 압력검출부가 검출한 상기 압력신호를 증폭하는 증폭 회로를 가지는 증폭 회로 기판과,
   상기 압력검출부가 고정되는 하우징과,
   상기 하우징에 고정되고, 상기 하우징내의 공간을 상기 압력검출부가 배치되는 제1 공간과 상기 증폭 회로 기판이 배치되는 제2 공간으로 격리하는 격리부를 구비하고,
   상기 하우징은, 상기 증폭 회로 기판을 냉각하기 위한 냉각 기체를 상기 제2 공간에 유입되게 하는 유입구와 상기 냉각 기체를 상기 제2 공간에서 배출하게 하는 배출구를 가지고,
   상기 압력검출부에서 상기 격리부로 상기 압력신호를 전달하는 제1 배선과,
   상기 격리부에서 상기 증폭 회로 기판으로 상기 압력신호를 전달하는 제2 배선과,
   상기 증폭 회로 기판에서 상기 격리부로 상기 증폭 회로에 의해 증폭된 상기 압력신호를 전달하는 제3 배선을 구비하고,
   상기 격리부가, 상기 제1 공간측의 면에 상기 제1 배선이 접속되는 제1 단자를 가지며, 상기 제2 공간측의 면에 상기 제2 배선이 접속되는 제2 단자를 가지고,
   상기 제1 단자와 상기 제2 단자가 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 증폭기 내장형 압력 센서.
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