JP2005106796A - 圧力センサ - Google Patents
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- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 42
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 23
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- OFLYIWITHZJFLS-UHFFFAOYSA-N [Si].[Au] Chemical compound [Si].[Au] OFLYIWITHZJFLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000544 Gore-Tex Polymers 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009408 flooring Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0636—Protection against aggressive medium in general using particle filters
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- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0654—Protection against aggressive medium in general against moisture or humidity
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- G01L19/14—Housings
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- H—ELECTRICITY
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- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/62—Means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts or for holding them in engagement
- H01R13/629—Additional means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts, e.g. aligning or guiding means, levers, gas pressure electrical locking indicators, manufacturing tolerances
- H01R13/631—Additional means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts, e.g. aligning or guiding means, levers, gas pressure electrical locking indicators, manufacturing tolerances for engagement only
- H01R13/6315—Additional means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts, e.g. aligning or guiding means, levers, gas pressure electrical locking indicators, manufacturing tolerances for engagement only allowing relative movement between coupling parts, e.g. floating connection
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Abstract
【課題】圧力センサ本体とコネクタとを接続する部分の気密性の一層の向上を図る。
【解決手段】圧力導入孔１２を有するハウジング１０と、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子２２と、圧力検出素子２２を固着するホルダ３０と、コネクタケース７０とを有し、圧力検出素子２２とホルダ３０とを気密に接合して内部空間７２を形成した圧力センサ本体からなる。ホルダ３０上に電極パッドを有する回路基板４０を設け、コネクタケース７０に設けたコネクタ８０と電極パッドとを弾力性・電気導電性を有するばね状体５０によって接続する。ホルダ３０は、ガイド枠９０及びＯリング９５を介してハウジング１０に支持させる。
【選択図】図１
【解決手段】圧力導入孔１２を有するハウジング１０と、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子２２と、圧力検出素子２２を固着するホルダ３０と、コネクタケース７０とを有し、圧力検出素子２２とホルダ３０とを気密に接合して内部空間７２を形成した圧力センサ本体からなる。ホルダ３０上に電極パッドを有する回路基板４０を設け、コネクタケース７０に設けたコネクタ８０と電極パッドとを弾力性・電気導電性を有するばね状体５０によって接続する。ホルダ３０は、ガイド枠９０及びＯリング９５を介してハウジング１０に支持させる。
【選択図】図１
Description
本発明は、圧力センサに関し、特に圧力検出素子を収容したハウジングとコネクタケースとを具備した圧力センサにおいて、気密性を向上させた圧力センサの構造に関する。
従来の圧力センサとして種々のものが提案されており、例えば特許文献１に示すような圧力センサがある。この圧力センサを図９に示す断面図を用いて説明すれば、該圧力センサ１０１は、ハウジング１１０と、センサエレメント１２０と、ホルダ１３０と、回路基板１４０と、ばね状体１５０と、コネクタケース１７０と、コネクタ１８０とから構成されており、圧力センサ１０１は、上記ハウジング１１０とコネクタケース１７０からなる容器内に、センサエレメント１２０、ホルダ１３０からなる圧力センサ本体が収納されている。
上記ハウジング１１０は、下部に流体を導入する流体導入孔１１２を有しており、該流体導入孔１１２の上部に円形のハウジング底部１１３が形成され、環状の 溝１１４と、該溝１１４の外周から立ち上がる周壁１１６と、周壁１１６の上端部に肉薄に設けたかしめ部１１７と、本体の内側にハウジング底部１１３と周壁１１６とによって形成されたハウジング内部空間１１８とを有して構成され、ハウジング１１０の流体導入孔１１２とハウジング内部空間１１８とは連通している。
また、上記センサエレメント１２０は、圧力を検出する機能を有しており、ヘッダ１２１と、半導体基板の上面に複数のピエゾ抵抗効果を有する抵抗をブリッ ジを形成するように設けた半導体素子からなる圧力検出素子１２２と、ヘッダ１２１の上面に気密に固定された台座１２３とから構成され、ヘッダ１２１と台座１２３の中央部には、圧力検出素子１２２の底部に達するセンサエレメント開口１２４が設けられている。
圧力検出素子１２２は、半導体基板の平面形状が矩形に形成されるとともに、中央部が肉薄状に構成され、圧力によって変形するダイヤフラム部が形成されており、上記ダイヤフラム部の上面には、複数のピエゾ抵抗素子をブリッジ状に形成することによって歪ゲージである圧力検知部が形成されるとともに、周辺部の肉厚部上に集積回路製造技術を用いて製造した増幅回路や演算処理回路などの電気回路を設けている。ホルダ１３０は、中心部にホルダ開口１３２が設けられ、ホルダ１３０の上面１３４には、回路基板１４０が接着剤などを用いて固定される。また、回路基板１４０には、円盤形状に構成され中央にセンサエレメント１２０の圧力検出素子１２２が位置する回路基板開口１４１が設けられる。
また、ばね状体１５０は、その一端１５１がコネクタ１８０の下端１８１に固定され、他端側が下方に折り曲げられ湾曲部１５３が形成されている。コネクタケース１７０は、コネクタ１８０を差し込み固定する樹脂製ケースであり、上部にソケット部１７１が形成されている。そして、Ｏリング１９５は、Ｏリング受け用溝である溝１１４に挿入され、外部からの水や湿気等がコネクタケース１７０の内部空間１７２へ浸入することを防ぐ。Ｏリング１９６は、ハウジングのねじ部１１９の上部にはめられ、配管との間の気密を保持する。
上記公知技術によれば、圧力センサ本体とコネクタとを接続する部分の構成が簡単で組立工数が少なくなり、製造コストが引き下げられるが、圧力センサの耐久性と感度の維持のために気密性の一層の向上が求められている。
特開２００２−３３３３７７号公報
したがって、本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、圧力センサ本体とコネクタとを接続する部分の気密性の一層の向上を図ることにある。
前記目的を達成すべく、本発明は、下記の手段を採用した。即ち、
請求項１記載の圧力センサは、圧力導入孔１２を有するハウジング１０と、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子２２と、前記圧力検出素子２２を固着するホルダ３０と、コネクタケース７０とを有し、前記圧力検出素子２２と前記ホルダ３０とを気密に接合して内部空間を形成した圧力センサ本体からなる圧力センサであって、該圧力センサ本体の前記ホルダ３０上に電極パッドを有する回路基板４０を設け、前記コネクタケース７０に設けたコネクタ８０と前記電極パッドとを弾力性を有する電気導電性を有するばね状体５０によって接続した圧力センサにおいて、上記ホルダ３０は、ガイド枠９０及びＯリング９５を介して上記ハウジング１０に支持させることを特徴とする。
請求項１記載の圧力センサは、圧力導入孔１２を有するハウジング１０と、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子２２と、前記圧力検出素子２２を固着するホルダ３０と、コネクタケース７０とを有し、前記圧力検出素子２２と前記ホルダ３０とを気密に接合して内部空間を形成した圧力センサ本体からなる圧力センサであって、該圧力センサ本体の前記ホルダ３０上に電極パッドを有する回路基板４０を設け、前記コネクタケース７０に設けたコネクタ８０と前記電極パッドとを弾力性を有する電気導電性を有するばね状体５０によって接続した圧力センサにおいて、上記ホルダ３０は、ガイド枠９０及びＯリング９５を介して上記ハウジング１０に支持させることを特徴とする。
請求項２記載の圧力センサは、請求項１記載の圧力センサにおいて、上記ホルダ３０は、その側面において、Ｏリング９７を介して上記コネクタケース７０内に配置させることを特徴とする。
請求項３記載の圧力センサは、請求項１又は請求項２記載の圧力センサにおいて、上記ガイド枠９０は、断面形状が立上り部９０ａ及び水平部９０ｂからなるＬ形に形成され、前記立上り部９０ａは、圧力センサ本体とコネクタケースとの間に介装され、前記水平部９０ｂは、ホルダに当接して支持させることを特徴とする。
請求項４記載の圧力センサは、請求項１又は請求項２記載の圧力センサにおいて、上記ガイド枠９０は、断面形状が方形状に形成され、その上面において、上記ホルダ３０に当接して支持させることを特徴とする。
請求項５記載の圧力センサは、請求項４記載の圧力センサにおいて、上記ホルダ３０のガイド枠９０への当接部には、外周側に延設して下支持部３５ａを形成させたことを特徴とする。
請求項６記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項５記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記コネクタケース７０から、上記コネクタ８０を突出させるに当って、該突出部に防水充填材９１を配置させたことを特徴とする。
請求項７記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項６記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記コネクタケース７０の内面の隙間を通って上記内部空間７２に至るよりも、上記コネクタケース７０の外側に流体が浸出する構成とすることを特徴とする。
請求項８記載の圧力センサは、請求項７記載の圧力センサにおいて、上記ガイド枠９０"は、その底面の一部に所定深さの逃し溝９０"ｃが内外に貫通するように形成されていることを特徴とする。
請求項９記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項８記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記コネクタケースは、その内部に形成された外気導入孔を有すると共に上記外気導入孔はその端部に厚み方向が連続多孔質構造の空孔を有するシート部材が装着されていることを特徴とする。
請求項１０記載の圧力センサは、請求項９記載の圧力センサにおいて、上記シート部材は、円形でシート状に形成されていることを特徴とする。
請求項１１記載の圧力センサは、請求項９又は請求項１０記載の圧力センサにおいて、上記シート部材は、上記外気導入孔の入口側に設けられていることを特徴とする。
請求項１２記載の圧力センサは、請求項９又は請求項１０記載の圧力センサにおいて、上記シート部材は、上記外気導入孔の出口側に設けられていることを特徴とする。
請求項１３記載の圧力センサは、請求項１０乃至請求項１２記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記シート部材は、ポリテトラフロロエチレン樹脂を素材とすることを特徴とする。
請求項６記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項５記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記コネクタケース７０から、上記コネクタ８０を突出させるに当って、該突出部に防水充填材９１を配置させたことを特徴とする。
請求項７記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項６記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記コネクタケース７０の内面の隙間を通って上記内部空間７２に至るよりも、上記コネクタケース７０の外側に流体が浸出する構成とすることを特徴とする。
請求項８記載の圧力センサは、請求項７記載の圧力センサにおいて、上記ガイド枠９０"は、その底面の一部に所定深さの逃し溝９０"ｃが内外に貫通するように形成されていることを特徴とする。
請求項９記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項８記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記コネクタケースは、その内部に形成された外気導入孔を有すると共に上記外気導入孔はその端部に厚み方向が連続多孔質構造の空孔を有するシート部材が装着されていることを特徴とする。
請求項１０記載の圧力センサは、請求項９記載の圧力センサにおいて、上記シート部材は、円形でシート状に形成されていることを特徴とする。
請求項１１記載の圧力センサは、請求項９又は請求項１０記載の圧力センサにおいて、上記シート部材は、上記外気導入孔の入口側に設けられていることを特徴とする。
請求項１２記載の圧力センサは、請求項９又は請求項１０記載の圧力センサにおいて、上記シート部材は、上記外気導入孔の出口側に設けられていることを特徴とする。
請求項１３記載の圧力センサは、請求項１０乃至請求項１２記載のいずれかの圧力センサにおいて、上記シート部材は、ポリテトラフロロエチレン樹脂を素材とすることを特徴とする。
本発明は、上記構成により下記の効果を奏する。即ち、
請求項１記載の発明によれば、ホルダは、ガイド枠及びＯリングを介してハウジングに支持させることで、圧力センサにおける圧力センサ本体内の気密性が向上するばかりでなく、圧力センサ全体の構成は安定的となる。
請求項１記載の発明によれば、ホルダは、ガイド枠及びＯリングを介してハウジングに支持させることで、圧力センサにおける圧力センサ本体内の気密性が向上するばかりでなく、圧力センサ全体の構成は安定的となる。
また、請求項２記載の発明によれば、上記効果に加えて、ホルダは、その側面において、Ｏリングを介して上記コネクタケース内に配置されることで、一層の気密効果が期待できる。
また、請求項３記載の発明によれば、上記効果に加えて、ガイド枠は、断面形状が立上り部及び水平部からなるＬ形に形成され、立上り部は、圧力センサ本体とコネクタケースとの間に介装され、前記水平部はホルダに当接して支持させることで、更なる気密効果とハウジング・コネクタケース間の接合状態の安定化が期待できる。
また、請求項４記載の発明によれば、請求項１又は請求項２記載の圧力センサの効果に加えて、ガイド枠は、断面形状が方形状に形成され、その上面において、上記ホルダに当接して支持させることで、ガイド枠形状の簡略化を図り、全体形状をシンプルとすることができる。
また、請求項５記載の発明によれば 請求項４記載の圧力センサの効果に加えて、ホルダのガイド枠への当接部には、外周側に延設して下支持部を形成させたことで、ガイド枠によるホルダ支持の姿勢の安定化が図れる。
また、請求項６記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項５記載のいずれかの圧力センサの効果に加えて、コネクタケースから、コネクタを突出させるに当って、該突出部に防水充填材を配置させたことで、この部分の止水性（防水性）が向上する。
更に、請求項７及び請求項８記載の発明によれば、請求項１乃至請求項６記載のいずれかの圧力センサの効果に加えて、内部空間に流体が至る可能性がきわめて低くなり、内部空間が一層安定的に且つ高気密状態が永続的に保持できる。
更に、請求項９乃至及び請求項１３記載の発明によれば、請求項１乃至請求項８記載のいずれかの圧力センサの効果に加えて、内部空間に大気を導入することが可能であると共に、防水性に優れた圧力センサを実現できる。
また、請求項６記載の圧力センサは、請求項１乃至請求項５記載のいずれかの圧力センサの効果に加えて、コネクタケースから、コネクタを突出させるに当って、該突出部に防水充填材を配置させたことで、この部分の止水性（防水性）が向上する。
更に、請求項７及び請求項８記載の発明によれば、請求項１乃至請求項６記載のいずれかの圧力センサの効果に加えて、内部空間に流体が至る可能性がきわめて低くなり、内部空間が一層安定的に且つ高気密状態が永続的に保持できる。
更に、請求項９乃至及び請求項１３記載の発明によれば、請求項１乃至請求項８記載のいずれかの圧力センサの効果に加えて、内部空間に大気を導入することが可能であると共に、防水性に優れた圧力センサを実現できる。
以下、本発明の実施形態１乃至実施形態３について図面を用いて説明するが、該説明中において、上・下・左・右という表現を用いることがあるが、実際の実施形態においては、必ずしもこの位置関係にあるとは限らないことを付言しておく。
図１は、本発明に係るの実施形態１の縦断面図であり、この図に基づいて説明する。
本発明の実施形態１に係る圧力センサ１は、ハウジング１０と、センサエレメント２０と、ホルダ３０と、回路基板４０と、ばね状体５０と、コネクタケース７０と、コネクタ８０とから構成され、この圧力センサ１は、ハウジング１０と、コネクタケース７０からなる容器内に、センサエレメント２０、ホルダ３０からなる圧力センサ本体が収納されている。
本発明の実施形態１に係る圧力センサ１は、ハウジング１０と、センサエレメント２０と、ホルダ３０と、回路基板４０と、ばね状体５０と、コネクタケース７０と、コネクタ８０とから構成され、この圧力センサ１は、ハウジング１０と、コネクタケース７０からなる容器内に、センサエレメント２０、ホルダ３０からなる圧力センサ本体が収納されている。
ハウジング１０は、例えば、アルミニウムを用いて略円筒形状に構成されている。該ハウジング１０は、下部に流体を導入する流体導入孔１２を有しており、該流体導入孔の上部に円形のハウジング底部１３が形成され、該ハウジング底部１３の周辺部によって形成される環状凹部からなる溝１４と、該溝１４の外周から立ち上がる周壁１６と、該周壁１６の上端部に肉薄に形成されたかしめ部１７と、ハウジング１０の内側にハウジング底部１３と周壁１６とによって形成されたハウジング内部空間１８と、を有して構成される。
なお、上記環状の溝１４は、後述のＯリング９５およびガイド枠９０の受け部（挿入部）として機能する。なお、ハウジング１０の流体導入孔口１２とハウジング内部空間１８とは連通している。また、ハウジング１０の流体導入孔１２の外周にはネジ部１９が形成され、該ネジ部１９に測定圧力側の配管（図示せず）を捩じ込んでハウジング１０を気密に配管に固定する。
なお、上記環状の溝１４は、後述のＯリング９５およびガイド枠９０の受け部（挿入部）として機能する。なお、ハウジング１０の流体導入孔口１２とハウジング内部空間１８とは連通している。また、ハウジング１０の流体導入孔１２の外周にはネジ部１９が形成され、該ネジ部１９に測定圧力側の配管（図示せず）を捩じ込んでハウジング１０を気密に配管に固定する。
センサエレメント２０は、圧力を検出する機能を有しており、金属製のヘッダ２１と、半導体基板の上面に複数のピエゾ抵抗効果を有する抵抗をブリッジを形成するように設けた半導体素子からなる圧力検出素子２２と、ヘッダ２１の上面に気密に固定されたシリコン製の台座２３とから構成され、ヘッダ２１と台座２３の中央部には、圧力検出素子２２の底部に達するセンサエレメント開口２４が設けられている。上記ヘッダ２１の上面２１ａに、前記台座２３が気密に載置・固定され、抵抗が配置された面が上面となるように圧力検出素子２２が台座２３の上面に載置固定されている。上記ヘッダ２１の下部周囲には、つば部２１ｂが設けられている。
上記圧力検出素子２２は、平面視矩形に形成される半導体基板上で、その中央部が肉薄状に構成され、圧力によって変形するダイヤフラム部が形成されており、上記ダイヤフラム部の上面には、複数のピエゾ抵抗素子をブリッジ状に形成することによって歪ゲージである圧力検知部が形成されるとともに、周辺部の肉厚部上に集積回路製造技術を用いて製造した増幅回路や演算処理回路などの電気回路を設けている。また、圧力検出素子２２の上面に設けたランド部（符号なし）と回路基板４０の上面に設けたランド部とがボンディングワイヤ２５によって接続されている。例えば、台座２３はその平面形状が矩形であり、中心にセンサエレメント開口２４を設けた形状に形成される。そして、シリコン製台座２３のヘッダ２１との接合面には金スパッタリング等によって金メッキ層（符号なし）が設けられている。
上記ヘッダ２１は、例えば、４２アロイ等の鉄−ニッケル系合金を用いて構成され、その平面形状が円形であり、中心にセンサエレメント開口２４を設けた形状に形成される。ヘッダ２１の台座２３との接合面には金メッキ層が設けられている。台座２３およびヘッダ２１のセンサエレメント開口２４は、それぞれ同軸上に配置され、ハウジング１０の流体導入孔１２に連通し、内部空間７２に圧力流体を導くように構成されている。また、圧力検出素子２２の下面は、台座２３の上面に気密に溶着固定され、台座２３の下面とヘッダ２１の上面は金−シリコンのロー材を介在させて加熱圧着（スクラブ）することによって、金−シリコン合金が形成されて気密に溶着固定される。
ホルダ３０は、コネクタケース７０とともに内部空間７２を形成する。ホルダ３０は、例えばステンレススチールを用いて形成され、中心部にホルダ開口３２が設けられ、周辺の一部にコネクタケースの位置を決める位置決め用切欠き部３３が設けられている。また、ホルダ３０のホルダ開口３２下部には径大開口部３２ａが形成され、該径大開口部３２ａの上面には下方に突出した突条部３６がリング状に形成される。また、ホルダ３０の外周側の下面３１には、切欠き部３０ａが形成されると共に、該切欠き部３０ａにはＯリング９７が嵌合・配置される。なお、前記切欠き部３０ａと位置決め用切欠き部３３との間には所定角度に亘って、被押圧部３５が形成されることになる。
上記ホルダ３０の上面３４には、回路基板４０が接着剤などを用いて固定される。該回路基板４０は、たとえばアルミナ基板から構成される絶縁性のプリント配線基板からなり、略々円盤形状に構成され中央にセンサエレメント２０の圧力検出素子２２が位置する回路基板開口４１が設けられるとともに、その表面には、信号を外部に取り出す金パッドからなる電極パッド（符号なし）、圧力検出素子２２からのボンディングワイヤ２５が接続される金パッドからなるランド部（符号なし）、圧力検出素子２２からの電気信号を増幅・演算処理して出力する回路を構成するプリント配線および回路素子が設けられている。
回路基板４０に設けられた入出力端子として働く電極パッドは、ばね状体５０が接してコネクタ８０と接続され、信号線や電源供給線や接地線に対応して設けられる。前記ばね状体５０は、例えばリン青銅などの電気伝導性弾性体から構成され、一端５１がコネクタ８０の下部８１にスポット溶接などによって固定され、他端側が下方に折り曲げられて折り曲げ部５２が形成されるとともに、その先端部には湾曲部５３が形成されている。湾曲部５３の電極パッドと接する面には部分的に金メッキが施されている。ねじ状体５０は、端部５１から折り曲げ部５２までがコネクタケース７０の下面７４に支持されており、コネクタケース７０をハウジング１０にかしめ付けたときに湾曲部５３を電極パッド上に押し付けるように働く。
コネクタケース７０は、コネクタ８０を差し込み固定する樹脂製ケースであり、上部に設けたソケット部７１と、該ソケット部７１の下方に設けた参照用空間として働くコネクタケースの内部空間７２と、下方に垂れ下がった上部周壁７３と、該上部周壁７３の下面７４と、上部周壁７３の下方に垂れ下がった下部周壁７５と、下部周壁７５の外側上方に設けたかしめ受け部７６と、下部周壁７５の内面に設けた位置決め部７７と、下部周壁７５の下部の薄肉部分からなるガイド枠当接部７８と、コネクタ８０を挿通保持するためのコネクタ挿入孔７９を有し、該コネクタ挿入孔７９には、コネクタ８０が下方から挿入されて固定されている。
なお、上記コネクタケース７０は、その形状を変更することによって、種々の異なる形状のコネクタに対応することができる。なお、コネクタ８０は、電源線と接地線が電気回路への電力供給に使用され、接地線と信号線は、センサエレメント２０の出力信号を外部へ取り出すために使用されている。
なお、上記コネクタケース７０は、その形状を変更することによって、種々の異なる形状のコネクタに対応することができる。なお、コネクタ８０は、電源線と接地線が電気回路への電力供給に使用され、接地線と信号線は、センサエレメント２０の出力信号を外部へ取り出すために使用されている。
また、下部周壁７５の下部にはガイド枠当接部７８が形成され、その外周は外周小径部７０ａとして形成され、該外周小径部７０ａには後述のガイド枠９０の立上り部９０ａが嵌装されることになる。そして、ガイド枠当接部７８の下部は上記ガイド枠９０の水平部９０ｂの上面に当接される。また、コネクタ挿入孔７９の上部外周を構成するコネクタケース７０には、所定深さに亘って充填用凹部７９ａが形成され、コネクタ８０の配置後において、接着剤からなる防水用の防水充填材（例えば、シリコン）９１が充填され、雨水等の侵入を防ぐ効果がある。
上記環状溝１４内には、上記周壁１６の内壁に内接するようにリング状で断面Ｌ形のガイド枠９０が嵌装され、該ガイド枠９０の立上り部９０ａが前記外周小径部７０ａの外面に配置され、また、前記ガイド枠９０の水平部９０ｂの上面で切欠部３０ａ内には、Ｏリング９７が配置され、また、水平部９０ｂの内周部で環状溝１４内にはＯリング９５が配置される。該Ｏリング９５は外部からの水や湿気等がコネクタケース７０の内部空間７２に浸入するのを防ぐ。また、Ｏリング９６はハウジング１０のねじ部１９の上部にはめられ、配管との間の気密を保持する。
これらの構成部品を用いて圧力センサ１を組み立てる手順を説明する。
（ステップ１）
先ず、圧力検出素子２２と台座２３との積層体をヘッダ２１上に固着して組み立てたセンサエレメント２０を、ホルダ３０のホルダ開口３２に下から挿入して、ヘッダ２１のつば部２１ａの上面をホルダ下面３１の突条部３６に当接した後、環状のプロジェクション電極を押し当て、ホルダ下面３１の突条部３６にヘッダ２１を気密に溶接し固着する。また、ホルダ３０の外周部下部の切欠き部３０ａにＯリング９７を嵌合・装着する。
（ステップ１）
先ず、圧力検出素子２２と台座２３との積層体をヘッダ２１上に固着して組み立てたセンサエレメント２０を、ホルダ３０のホルダ開口３２に下から挿入して、ヘッダ２１のつば部２１ａの上面をホルダ下面３１の突条部３６に当接した後、環状のプロジェクション電極を押し当て、ホルダ下面３１の突条部３６にヘッダ２１を気密に溶接し固着する。また、ホルダ３０の外周部下部の切欠き部３０ａにＯリング９７を嵌合・装着する。
（ステップ２）
次いで、ホルダ３０の上面３４に回路基板４０を接着剤を用いて固定した後、圧力検出素子２２のランド部と回路基板４０のランド部とを金線からなるボンディングワイヤ２５を用いて接続する。ハウジング１０のハウジング内部空間１８の環状溝１４内にガイド枠９０及びＯリング９５を載置した上、センサエレメント２０とホルダ３０と回路基板４０からなる圧力センサ組立体を載置する。
次いで、ホルダ３０の上面３４に回路基板４０を接着剤を用いて固定した後、圧力検出素子２２のランド部と回路基板４０のランド部とを金線からなるボンディングワイヤ２５を用いて接続する。ハウジング１０のハウジング内部空間１８の環状溝１４内にガイド枠９０及びＯリング９５を載置した上、センサエレメント２０とホルダ３０と回路基板４０からなる圧力センサ組立体を載置する。
（ステップ３）
次に、コネクタケース７０のコネクタ挿入孔７９に下端部８１にばね状体５０を固定したコネクタ８０を挿入し、その後、コネクタケース７０の上部に設けられている充填用凹部７９ａにシリコン等の防水充填材９１を充填し密封した上、コネクタケース７０を組み立てる。
次に、コネクタケース７０のコネクタ挿入孔７９に下端部８１にばね状体５０を固定したコネクタ８０を挿入し、その後、コネクタケース７０の上部に設けられている充填用凹部７９ａにシリコン等の防水充填材９１を充填し密封した上、コネクタケース７０を組み立てる。
（ステップ４）
次いで、コネクタケース７０に固定されたターミナルに、コネクタ８０に固定されたばね状体５０の湾曲部５３を、回路基板４０の電極パッドの上に位置するように位置決めした後、上記コネクタケース７０をハウジング１０の内部空間１８に挿入する。このとき、ガイド枠当接部７８は、内側の被押圧部３５の端縁及びＯリング９７と、外側の立上り部９０ａと、の間に挿嵌され、ガイド枠当接部７８が水平部９０ｂに当接するまで挿入され、挿入が終了した段階で、コネクタケース７０のかしめ受け部７６上に、ハウジング１０の立上部（周壁）１６の上端のかしめ部１７をかしめて、ハウジング１０にコネクタケース７０を固定する。
次いで、コネクタケース７０に固定されたターミナルに、コネクタ８０に固定されたばね状体５０の湾曲部５３を、回路基板４０の電極パッドの上に位置するように位置決めした後、上記コネクタケース７０をハウジング１０の内部空間１８に挿入する。このとき、ガイド枠当接部７８は、内側の被押圧部３５の端縁及びＯリング９７と、外側の立上り部９０ａと、の間に挿嵌され、ガイド枠当接部７８が水平部９０ｂに当接するまで挿入され、挿入が終了した段階で、コネクタケース７０のかしめ受け部７６上に、ハウジング１０の立上部（周壁）１６の上端のかしめ部１７をかしめて、ハウジング１０にコネクタケース７０を固定する。
以上の工程によって、コネクタ８０と電極パッドが電気的に接続された圧力センサ１が組み立てられる。
この発明によれば、圧力センサ組立体をハウジング１０内に位置させた後、コネクタケース７０を上部からかぶせて、ハウジングのかしめ部１７をかしめることによって、流体導入空間が気密に構成されたゲージ圧の圧力センサを、容易に製造することができる。特に、ホルダ３０は下方からは水平部９０ｂ及びＯリング９５により安定的に支持・シールされ、上方からは被押圧部３５が下部周壁７５の段部により押し圧されて支持され、更に、両サイドからは位置決め部７７及びガイド枠当接部７８の内周面から支持されるから、ホルダ３０のフローリングを抑制することができるばかりでなく、Ｏリング９５、ガイド枠９０、Ｏリング９７等により相乗的にシールされることで、安定的に且つ高気密状態が保持され、内部空間７２内の高気密が永続的に保持できる。
次に、本発明に係る実施形態２について説明する。図２は、実施形態２の縦断面図である。以下、本発明の実施形態２を説明するに当って、図２において図１に示す実施形態１と同じ構成部分には、同一符号を付すことで説明を省略する。
実施形態２においては、ガイド枠９０'は、断面方形状に形成される（したがって、実施形態１のように、立上り部９０ａはない。）。そして、上記ガイド枠９０'の外周部は、コネクタケース７０の下部周壁７５の内壁に当接・支持される。また、ガイド枠９０'の上面は、ホルダ３０の下面３１に当接して支持されることになる。
実施形態２は上記構成により、実施形態１の効果に加えて、ガイド枠９０'の構成が簡単になるという効果がある。
実施形態２においては、ガイド枠９０'は、断面方形状に形成される（したがって、実施形態１のように、立上り部９０ａはない。）。そして、上記ガイド枠９０'の外周部は、コネクタケース７０の下部周壁７５の内壁に当接・支持される。また、ガイド枠９０'の上面は、ホルダ３０の下面３１に当接して支持されることになる。
実施形態２は上記構成により、実施形態１の効果に加えて、ガイド枠９０'の構成が簡単になるという効果がある。
次に、本発明に係る実施形態３について説明する。図３は、実施形態３の縦断面図である。以下、本発明の実施形態３を説明するに当って、図３において図１に示す実施形態１又は図２に示す実施形態２と同じ構成部分には、同一符号を付すことで説明を省略する。
実施形態３においては、ガイド枠９０'は、実施形態２の形状と同じで断面方形状に形成され、そして、上記ガイド枠９０'の外周部は、実施形態２と同様にコネクタケース７０の下部周壁７５の内壁に当接・支持される。また、ガイド枠９０'の上面は、ホルダ３０'の下面３１に広く当接してホルダ３０を支持している。
実施形態３においては、ガイド枠９０'は、実施形態２の形状と同じで断面方形状に形成され、そして、上記ガイド枠９０'の外周部は、実施形態２と同様にコネクタケース７０の下部周壁７５の内壁に当接・支持される。また、ガイド枠９０'の上面は、ホルダ３０'の下面３１に広く当接してホルダ３０を支持している。
したがって、実施形態３では、上記構成により実施形態２の効果に加えて、ホルダ３０の支持が一層安定化する。
次に、本発明に係る実施形態４について説明する。図４は、実施形態４の縦断面図、図５は同実施形態４の要部底面図（A）及び部分側面図（B）である。以下、本発明の実施形態４を説明するに当って、図４において図１に示す実施形態１又は図２に示す実施形態２と同じ構成部分には、同一符号を付すことで説明を省略する。
実施形態４においては、ガイド枠９０"のリング状の底面の一部に、図５（A）及び図５（B）に示すように、所定深さの逃し溝９０"ｃが放線方向に内外に貫通するように形成されていることが特徴である。この構成により、仮に流体導入孔（圧力導入孔）１２側の高圧の流体がガイド枠９０"の周部を通過してコネクタケース７０の下部周壁７５に至るようなことがあるとしても、流体は下部周壁７５の内面の隙間を通って内部空間７２に至るよりも、上記流動抵抗が少ない逃し溝９０"ｃを介してコネクタケース７０の外側に浸出するから、内部空間７２に流体が至る可能性がなくなる。
実施形態４では、逃し溝９０"ｃとして一本の溝を形成したが、重要なことは、流体が、下部周壁７５の内面の隙間を通って内部空間７２に至るよりも、コネクタケース７０の外側に浸出する手段があればよく、したがって、溝に代えて、他の構成を採用してもよいことは言うまでもない。
また、実施形態４は、実施形態１のガイド枠９０に適用した場合について説明したが、実施形態２又は実施形態３の場合のガイド枠９０'に適用してもよい。
また、実施形態４は、実施形態１のガイド枠９０に適用した場合について説明したが、実施形態２又は実施形態３の場合のガイド枠９０'に適用してもよい。
さらに、本発明に係る圧力センサにおいては、上記各実施形態において、その内部空間７２に大気を導入する構成とすることができる。図６は、その大気を導入する構成の実施形態に係る圧力センサ１の縦断面図であり、図１に示す実施形態１に大気を導入する大気導入孔２００を有する構成を示している。図６において、図１とは大気導入孔２００をコネクタケース７０に形成した構成が異なる。また、実施形態５の構成において、図１に示す構成と同一又は均等部分には、図６に同一符号を付すことでその説明を省略している。
図６において、大気導入孔２００はコネクタケース７０に外部から内部空間７２に向かって形成され、その一端（図６において上端）は入口側２０１となり、外部に連通し、他端の出口側２０２は内部空間７２に連通している。そして、入口側２０１の端部には、厚み方向に連続多孔質構造を有する円形に形成されたシート状のシート部材２０３が大気側つまり外側に装着されている。
このシート部材２０３は、例えばジャパンゴアテックス株式会社の登録商標名ＧＯＲＥ−ＴＥＸＲの材料を用いて形成されており、その材質はポリテトラフロロエチレン（PTFE）を用いている。
このシート部材２０３は、例えばジャパンゴアテックス株式会社の登録商標名ＧＯＲＥ−ＴＥＸＲの材料を用いて形成されており、その材質はポリテトラフロロエチレン（PTFE）を用いている。
図７は、その装着状態を示す部分拡大図であり、コネクタケース７０の表面に凹所２０４を形成し、凹所２０４にシート部材２０３を装着している。かかる装着によりシート部材２０３の外気導入孔２００に対応する部分（径φ１）が外気導入部２０３Ａとなり、この部分を経て外気が内部空間７２に導入され、上記外気導入部２０３Ａの周辺部分２０３Ｂ（径の長さφ２）がコネクタケース７０に熱溶着されてコネクタケース７０に固定されている。なお、シート部材２０３の装着は外側に限らずコネクタケース７０内つまり内側に凹所を形成して行ってもよいのは勿論である。しかも、上記シート部材２０３はスムーズに通気すると共に、水をはじく性質（撥水性）が強く且つ防水性を有しており、大気中よりその表面に水分が付着してもセンサの内部空間７２には水分は侵入しないのである。
かかる実施形態５によれば、通気性を確保して内部空間７２に大気を導入することが可能となり、かつ、防水性を有する圧力センサを実現できる。
次に、図８に示す実施形態６を説明する。図８は、上記シート部材２０３を大気導入孔２００の他端となる出口側２０２、つまり、内部空間７２内に装着した構成の実施形態６を示す縦断面図である。実施形態６において、図１に示す構成と同一又は均等部分には、図８に同一符号を付すことでその説明を省略している。
この実施形態では、コネクタケース７０の内部空間７２側の表面に凹所２０５を形成し、該凹所２０５内に円形のシート部材２０３を装着している。かかる装着は、図６，７に示す実施形態と同じく、外気導入部２０３Ａの周辺部分２０３Ｂが熱圧着されて固定される。
この実施形態では、コネクタケース７０の内部空間７２側の表面に凹所２０５を形成し、該凹所２０５内に円形のシート部材２０３を装着している。かかる装着は、図６，７に示す実施形態と同じく、外気導入部２０３Ａの周辺部分２０３Ｂが熱圧着されて固定される。
かかる実施形態により、図６，７に示す実施形態と同じく、シート部材２０３において通気性を確保して内部空間７２にスムーズに大気を導入することが可能となり、かつ防水を施した圧力センサを実現できる。なお、実施形態５，６における上記シート部材２０３の熱圧着は、ジュール熱により発熱させ、溶圧着して接合させる。
１・・圧力センサ １０・・ ハウジング １２・・ 流体導入孔（圧力導入孔）
１３ ・・ハウジング底部 １４・・ 環状溝 １６・・ 周壁
１７・・かしめ部 １８・・ ハウジング内部空間 １９・・ ねじ部
２０・・センサエレメント ２１・・ヘッダ ２１ａ・・ つば部
２１ｂ・・ヘッダ上面 ２２・・圧力検出素子 ２３・・台座
２４・・センサエレメント開口 ２５・・ ボンディングワイヤ
１３ ・・ハウジング底部 １４・・ 環状溝 １６・・ 周壁
１７・・かしめ部 １８・・ ハウジング内部空間 １９・・ ねじ部
２０・・センサエレメント ２１・・ヘッダ ２１ａ・・ つば部
２１ｂ・・ヘッダ上面 ２２・・圧力検出素子 ２３・・台座
２４・・センサエレメント開口 ２５・・ ボンディングワイヤ
３０・・ホルダ ３０'・・ホルダ（実施形態３） ３０ａ・・切欠部
３１・・ ホルダ下面 ３２・・ホルダ開口 ３２ａ・・径大開口部
３３・・位置決め用切欠き部 ３４・・ホルダ上面
３５・・被押圧部 ３５ａ・・下支持部（実施形態３） ３６・・突条部
４０・・回路基板 ４１・・回路基板開口
３１・・ ホルダ下面 ３２・・ホルダ開口 ３２ａ・・径大開口部
３３・・位置決め用切欠き部 ３４・・ホルダ上面
３５・・被押圧部 ３５ａ・・下支持部（実施形態３） ３６・・突条部
４０・・回路基板 ４１・・回路基板開口
５０・・ばね状体 ５１・・端部 ５２・・折り曲げ部 ５３・・湾曲部
７０・・コネクタケース ７０ａ・・外周小径部
７１・・ソケット部 ７２・・内部空間 ７３・・上部周壁
７４・・（上部周壁の）下面 ７５・・下部周壁
７５'・・下部周壁（実施形態２，３） ７６・・かしめ受け部
７７・・位置決め部 ７８・・ガイド枠当接部
７９・・コネクタ挿入孔 ７９ａ・・充填用凹部
８０・・コネクタ ８１・・コネクタ下端部
９０・・ガイド枠 ９０'・・ガイド枠（実施形態２，３）
９０"・・ガイド枠（実施形態４）
９０ａ・・立上り部 ９０ｂ・・水平部
９０"ｃ・・逃し溝 ９０"ｄ・・突出ピン ９１・・防水充填材
９５・・Ｏリング ９６・・Ｏリング ９７・・Ｏリング
７０・・コネクタケース ７０ａ・・外周小径部
７１・・ソケット部 ７２・・内部空間 ７３・・上部周壁
７４・・（上部周壁の）下面 ７５・・下部周壁
７５'・・下部周壁（実施形態２，３） ７６・・かしめ受け部
７７・・位置決め部 ７８・・ガイド枠当接部
７９・・コネクタ挿入孔 ７９ａ・・充填用凹部
８０・・コネクタ ８１・・コネクタ下端部
９０・・ガイド枠 ９０'・・ガイド枠（実施形態２，３）
９０"・・ガイド枠（実施形態４）
９０ａ・・立上り部 ９０ｂ・・水平部
９０"ｃ・・逃し溝 ９０"ｄ・・突出ピン ９１・・防水充填材
９５・・Ｏリング ９６・・Ｏリング ９７・・Ｏリング
１０１・・圧力センサ（公知例）１１０・・ハウジング １１２・・流体導入孔
１１３・・ハウジング底部 １１４・・環状の溝 １１６・・周壁
１１７・・かしめ部 １１８・・ハウジング内部空間 １１９・・ねじ部
１２０・・センサエレメント １２１・・ヘッダ １２２・・圧力検出素子
１２３・・台座 １２４・・センサエレメント開口 １３０・・ホルダ
１３２・・ホルダ開口 １３４・・上面 １４０・・回路基板
１４１・・回路基板開口 １５０・・ばね状体 １５１・・一端
１５３・・湾曲部 １７０・・コネクタケース １７１・・ソケット部
１７２・・内部空間 １８０・・コネクタ １８１・・下端
１９５・・Ｏリング １９６・・Ｏリング
１１３・・ハウジング底部 １１４・・環状の溝 １１６・・周壁
１１７・・かしめ部 １１８・・ハウジング内部空間 １１９・・ねじ部
１２０・・センサエレメント １２１・・ヘッダ １２２・・圧力検出素子
１２３・・台座 １２４・・センサエレメント開口 １３０・・ホルダ
１３２・・ホルダ開口 １３４・・上面 １４０・・回路基板
１４１・・回路基板開口 １５０・・ばね状体 １５１・・一端
１５３・・湾曲部 １７０・・コネクタケース １７１・・ソケット部
１７２・・内部空間 １８０・・コネクタ １８１・・下端
１９５・・Ｏリング １９６・・Ｏリング
２００・・大気導入孔 ２０１・・入口側 ２０２・・出口側
２０３・・シート部材 ２０３Ａ・・外気導入部
２０３Ｂ・・周辺部分 ２０４・・凹所 ２０５・・凹所
２０３・・シート部材 ２０３Ａ・・外気導入部
２０３Ｂ・・周辺部分 ２０４・・凹所 ２０５・・凹所
Claims (13)
- 圧力導入孔を有するハウジングと、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子と、前記圧力検出素子を固着するホルダと、コネクタケースとを有し、前記圧力検出素子と前記ホルダとを気密に接合して内部空間を形成した圧力センサ本体からなる圧力センサであって、前記圧力センサ本体の前記ホルダ上に電極パッドを有する回路基板を設け、前記コネクタケースに設けたコネクタと前記電極パッドとを弾力性を有する電気導電性を有するばね状体によって接続した圧力センサにおいて、上記ホルダは、ガイド枠及びＯリングを介して上記ハウジングに支持させることを特徴とする圧力センサ。
- 上記ホルダは、その側面において、Ｏリングを介して上記コネクタケース内に配置させることを特徴とする請求項１記載の圧力センサ。
- 上記ガイド枠は、断面形状が立上り部及び水平部からなるＬ形に形成され、前記立上り部は、圧力センサ本体とコネクタケースとの間に介装され、前記水平部は、ホルダに当接して支持させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧力センサ。
- 上記ガイド枠は、断面形状が方形状に形成され、その上面において、上記ホルダに当接して支持させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧力センサ。
- 上記ホルダのガイド枠への当接部には、外周側に延設して下支持部を形成させたことを特徴とする請求項４記載の圧力センサ。
- 上記コネクタケースから、上記コネクタを突出させるに当って、該突出部に防水充填材を配置させたことを特徴とする請求項１乃至請求項５記載のいずれかの圧力センサ。
- 上記コネクタケースの内面の隙間を通って上記内部空間に至るよりも、上記コネクタケースの外側に流体が浸出する構成とすることを特徴とする請求項１乃至請求項６記載のいずれかの圧力センサ。
- 上記ガイド枠は、その底面の一部に所定深さの逃し溝が内外に貫通するように形成されている請求項７記載の圧力センサ。
- 上記コネクタケースは、その内部に形成された外気導入孔を有すると共に上記外気導入孔はその端部に厚み方向が連続多孔質構造の空孔を有するシート部材が装着されていることを特徴とする請求項１乃至請求項８記載のいずれかの圧力センサ。
- 上記シート部材は、円形でシート状に形成されていることを特徴とする請求項９記載の圧力センサ。
- 上記シート部材は、上記外気導入孔の入口側に設けられていることを特徴とする請求項９又は請求項１０記載の圧力センサ。
- 上記シート部材は、上記外気導入孔の出口側に設けられていることを特徴とする請求項９又は請求項１０記載の圧力センサ。
- 上記シート部材は、ポリテトラフロロエチレン樹脂を素材とすることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２記載のいずれかの圧力センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003378446A JP2005106796A (ja) | 2003-08-05 | 2003-11-07 | 圧力センサ |
| KR1020040055175A KR20050018590A (ko) | 2003-08-05 | 2004-07-15 | 압력 센서 |
| EP04017867A EP1505380A3 (en) | 2003-08-05 | 2004-07-28 | Pressure sensor |
| US10/910,600 US7143651B2 (en) | 2003-08-05 | 2004-08-04 | Pressure sensor |
| CNB2004100885656A CN1311227C (zh) | 2003-11-07 | 2004-11-05 | 压力传感器 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003287084 | 2003-08-05 | ||
| JP2003317015 | 2003-09-09 | ||
| JP2003378446A JP2005106796A (ja) | 2003-08-05 | 2003-11-07 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005106796A true JP2005106796A (ja) | 2005-04-21 |
| JP2005106796A5 JP2005106796A5 (ja) | 2006-12-21 |
Family
ID=33556170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003378446A Pending JP2005106796A (ja) | 2003-08-05 | 2003-11-07 | 圧力センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7143651B2 (ja) |
| EP (1) | EP1505380A3 (ja) |
| JP (1) | JP2005106796A (ja) |
| KR (1) | KR20050018590A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007057461A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Denso Corp | 圧力センサ |
| CN101922988A (zh) * | 2010-07-27 | 2010-12-22 | 浙江欧德利科技有限公司 | 具有一体化灌封式传感器的压力变送器 |
| KR20140042206A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 타이코에이엠피(유) | 압력센서 |
| KR20140042209A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 타이코에이엠피(유) | 압력센서 |
| KR20140042304A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 타이코에이엠피(유) | 압력센서 |
| JP2014194388A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| JP2018516369A (ja) * | 2015-05-28 | 2018-06-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 流体媒体の圧力を検出する装置および該装置を製造する方法 |
| JP2018173278A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 日本電産トーソク株式会社 | 圧力センサ装置、油圧制御装置 |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4774678B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2011-09-14 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置 |
| JP4839648B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2011-12-21 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置 |
| US7600433B2 (en) * | 2007-02-23 | 2009-10-13 | Silicon Micro Sensors Gmbh | Pressure sensor with roughened and treated surface for improving adhesive strength and method of manufacturing the sensor |
| JP5010395B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2012-08-29 | パナソニック株式会社 | 圧力センサ |
| US20090152933A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Seat belt tension sensor assembly |
| ITTO20080484A1 (it) * | 2008-06-19 | 2009-12-20 | Eltek Spa | Dispositivo sensore di pressione |
| US8023269B2 (en) * | 2008-08-15 | 2011-09-20 | Siemens Energy, Inc. | Wireless telemetry electronic circuit board for high temperature environments |
| CN102374920A (zh) * | 2010-08-13 | 2012-03-14 | 浙江三花股份有限公司 | 一种热交换设备及其压力传感器 |
| DE102012201416A1 (de) * | 2012-02-01 | 2013-08-01 | Robert Bosch Gmbh | Sensorsystem und Verfahren zum Herstellen eines Sensorsystems |
| EP2639894B1 (de) * | 2012-03-12 | 2014-01-15 | Coninvers GmbH | Elektrischer Steckverbinder mit Toleranzausgleich |
| US9279406B2 (en) | 2012-06-22 | 2016-03-08 | Illinois Tool Works, Inc. | System and method for analyzing carbon build up in an engine |
| DE102012222089A1 (de) | 2012-12-03 | 2014-06-05 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensormodul |
| JP6063240B2 (ja) * | 2012-12-13 | 2017-01-18 | サーパス工業株式会社 | アンプ内蔵型圧力センサ |
| TWI633289B (zh) * | 2013-03-13 | 2018-08-21 | 不二工機股份有限公司 | 壓力感測器 |
| JP5949672B2 (ja) * | 2013-06-10 | 2016-07-13 | 日立金属株式会社 | 検出装置、及び検出装置の製造方法 |
| US9581468B2 (en) * | 2014-01-31 | 2017-02-28 | DunAn Sensing, LLC | Methods for fabricating apparatus having a hermetic seal |
| WO2016088756A1 (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | 北陸電気工業株式会社 | 半導体圧力センサ装置 |
| US10720534B2 (en) * | 2014-12-24 | 2020-07-21 | Fujikura Ltd. | Pressure sensor and pressure sensor module |
| DE102015221801A1 (de) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Steckerverbinder für ein Sensorelement |
| US10197465B2 (en) * | 2017-01-12 | 2019-02-05 | Honeywell International Inc. | O-ring internal seal for pressure sensor |
| FR3075358B1 (fr) * | 2017-12-14 | 2020-10-09 | Coutier Moulage Gen Ind | Dispositif de mesure d'un parametre physique d'un fluide d'un circuit de vehicule automobile |
| EP3640612B1 (en) * | 2018-10-16 | 2023-06-07 | Airbus Helicopters | An apparatus for sensing an elastic deformation of a hollow element |
| DE102018131795A1 (de) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Drucksensoranordnung zum Bestimmen eines Drucks eines Mediums in einem hygienischen Prozess |
| KR20250052699A (ko) * | 2023-10-12 | 2025-04-21 | 한온시스템 주식회사 | 압력 센서 및 이를 포함하는 공조 장치 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0232027U (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | ||
| JP2000277232A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサ内蔵スパークプラグ |
| JP2001133345A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| JP2002333377A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-22 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| JP2003074741A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-03-12 | Denso Corp | 圧力検出機能を有する膨張弁 |
| JP2003172665A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-20 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4843454A (en) * | 1985-11-26 | 1989-06-27 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor pressure transducer |
| US4888662A (en) * | 1988-12-08 | 1989-12-19 | Texas Instruments Incorporated | High pressure package for pressure transducers |
| JP2503290B2 (ja) * | 1990-05-21 | 1996-06-05 | 株式会社日立製作所 | 半導体圧力・差圧測定ダイヤフラム |
| US5174158A (en) * | 1991-06-07 | 1992-12-29 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
| JPH08105808A (ja) * | 1994-10-05 | 1996-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力センサ |
| US6148673A (en) * | 1994-10-07 | 2000-11-21 | Motorola, Inc. | Differential pressure sensor and method thereof |
| JPH11166874A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-06-22 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 静電容量型圧力センサユニット |
| JPH11351990A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-12-24 | Fujikoki Corp | 圧力センサ |
| AT5616U1 (de) * | 1999-02-01 | 2002-09-25 | Franz Haimer Maschb Kg | Spannvorrichtung zur einspannung eines rotierenden maschinenelements sowie auswuchtmaschine mit einer solchen spannvorrichtung |
| JP2001165798A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-06-22 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 静電容量型圧力センサユニット |
| US6484589B1 (en) * | 2001-05-30 | 2002-11-26 | Senx Technology | Piezoelectric transducer assemblies and methods for their use |
-
2003
- 2003-11-07 JP JP2003378446A patent/JP2005106796A/ja active Pending
-
2004
- 2004-07-15 KR KR1020040055175A patent/KR20050018590A/ko not_active Withdrawn
- 2004-07-28 EP EP04017867A patent/EP1505380A3/en not_active Withdrawn
- 2004-08-04 US US10/910,600 patent/US7143651B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0232027U (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | ||
| JP2000277232A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサ内蔵スパークプラグ |
| JP2001133345A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| JP2002333377A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-22 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| JP2003074741A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-03-12 | Denso Corp | 圧力検出機能を有する膨張弁 |
| JP2003172665A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-20 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007057461A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Denso Corp | 圧力センサ |
| CN101922988A (zh) * | 2010-07-27 | 2010-12-22 | 浙江欧德利科技有限公司 | 具有一体化灌封式传感器的压力变送器 |
| JP2015532418A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-11-09 | タイコ エレクトロニクス アンプ コリア カンパニーＴｙｃｏ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ＡＭＰ Ｋｏｒｅａ Ｃｏ．，Ｌｔｄ | 圧力センサ |
| KR20140042209A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 타이코에이엠피(유) | 압력센서 |
| KR20140042304A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 타이코에이엠피(유) | 압력센서 |
| KR20140042206A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 타이코에이엠피(유) | 압력센서 |
| JP2015534066A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-11-26 | タイコ エレクトロニクス アンプ コリア カンパニー リミテッドＴｙｃｏ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ＡＭＰ Ｋｏｒｅａ Ｃｏ．，Ｌｔｄ | 圧力センサ |
| KR101897293B1 (ko) | 2012-09-28 | 2018-09-11 | 타이코에이엠피 주식회사 | 압력센서 |
| KR102000293B1 (ko) | 2012-09-28 | 2019-07-15 | 타이코에이엠피 주식회사 | 압력센서 |
| KR102000294B1 (ko) * | 2012-09-28 | 2019-07-15 | 타이코에이엠피 주식회사 | 압력센서 |
| JP2014194388A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| JP2018516369A (ja) * | 2015-05-28 | 2018-06-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 流体媒体の圧力を検出する装置および該装置を製造する方法 |
| JP2018173278A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 日本電産トーソク株式会社 | 圧力センサ装置、油圧制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20050018590A (ko) | 2005-02-23 |
| EP1505380A2 (en) | 2005-02-09 |
| EP1505380A3 (en) | 2006-09-06 |
| US20050061080A1 (en) | 2005-03-24 |
| US7143651B2 (en) | 2006-12-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061101 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061101 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090212 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091104 |