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KR101030029B1 - 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDF

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KR101030029B1
KR101030029B1 KR1020100000929A KR20100000929A KR101030029B1 KR 101030029 B1 KR101030029 B1 KR 101030029B1 KR 1020100000929 A KR1020100000929 A KR 1020100000929A KR 20100000929 A KR20100000929 A KR 20100000929A KR 101030029 B1 KR101030029 B1 KR 101030029B1
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KR
South Korea
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light emitting
layer
organic light
organic
emitting display
Prior art date
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Active
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KR1020100000929A
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English (en)
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권도현
이일정
임충열
김영대
윤주원
여종모
유철호
Original Assignee
삼성모바일디스플레이주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 터치 스크린 기능을 가지는 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 지지체 위에 유기층을 형성하는 단계와, 유기층 위에 터치 전극 패턴 및 편광층을 포함하는 터치 센싱부를 형성하는 단계와, 유기층을 제거하여 지지체로부터 터치 센싱부를 분리하는 단계와, 터치 센싱부를 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계를 포함한다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND　METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 터치 스크린 기능을 가지는 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)는 자발광 특성을 가져 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소형화 및 경량화에 유리하다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 지니므로 휴대용 전자 기기의 차세대 표시 장치로 주목받고 있다.
유기 발광 표시 장치는, 양극, 유기 발광층, 음극을 구비한 유기 발광 소자(organic light emitting diode)와, 이 유기 발광 소자를 구동하는 박막 트랜지스터를 구비한다. 양극으로부터 주입된 정공과 음극으로부터 주입된 전자가 유기 발광층 내에서 결합하여 생성된 여기자(exciton)가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발생하는 에너지에 의해 발광이 이루어진다. 이를 이용하여 유기 발광 표시 장치에서 표시가 이루어진다.
이러한 유기 발광 표시 장치에 터치 스크린(touch screen) 기능을 도입하여 여러 가지 화면 동작 기능(User Interface, UI)를 수행하도록 한다. 이러한 터치 스크린 기능을 실현하기 위한 방법으로는 펜 또는 손가락과 같은 입력 수단을 인식하는 터치 패널을 유기 발광 표시 패널에 외장 또는 내장하는 방법이 있다. 그러나 터치 패널을 외장하는 방법은 유기 발광 표시 장치의 단가가 상승되며 유기 발광 표시 장치의 박형화에 제약이 있고, 터치 패널을 내장하는 방법은 터치 센서의 감도가 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단순한 공정에 의해 터치 스크린 기능을 내장하면서도 박형화가 가능한 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 지지체 위에 유기층을 형성하는 단계와, 유기층 위에 터치 전극 패턴 및 편광층을 포함하는 터치 센싱부를 형성하는 단계와, 유기층을 제거하여 지지체로부터 터치 센싱부를 분리하는 단계와, 터치 센싱부를 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계를 포함한다.
터치 센싱부를 분리하는 단계에서는, 지지체 쪽에서 레이저를 조사하여 유기층을 제거할 수 있다.
터치 센싱부를 형성하는 단계는, 유기층 위에 터치 전극 패턴을 형성하는 단계 및 터치 전극 패턴 위에 편광층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
터치 센싱부를 상기 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계에서는, 터치 센싱부의 터치 전극 패턴이 형성된 면을 유기 발광 표시 패널에 부착할 수 있다.
이때, 터치 전극 패턴을 형성하는 단계와 편광층을 형성하는 단계 사이에, 터치 전극 패턴 위에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 패시베이션층은, 무기물을 포함하는 단일막, 유기물을 포함하는 단일막, 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막일 수 있다. 무기물은 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드이고, 유기물은 폴리이미드 또는 아크릴일 수 있다.
또는, 터치 센싱부를 형성하는 단계가, 유기층 위에 보호층을 형성하는 단계와, 보호층 위에 터치 전극 패턴을 형성하는 단계와, 터치 전극 패턴 위에 편광층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
터치 센싱부를 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계에서는, 터치 센싱부의 편광층을 유기 발광 표시 패널에 부착할 수 있다.
이때, 터치 전극 패턴을 형성하는 단계와 편광층을 형성하는 단계 사이에, 상기 터치 전극 패턴 위에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
패시베이션층은, 무기물을 포함하는 단일막, 유기물을 포함하는 단일막, 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막일 수 있다. 무기물은 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드이고, 유기물은 폴리이미드 또는 아크릴일 수 있다.
터치 전극 패턴은, 투명 도전층을 사진 식각 공정 또는 레이저 공정에 의해 패터닝하여 형성될 수 있다.
지지체는 유리를 포함할 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 유기 발광 표시 패널, 및 이 유기 발광 표시 패널에 부착되며 터치 전극 패턴 및 편광층을 포함하는 터치 센싱부를 포함한다.
터치 센싱부는 터치 전극 패턴이 형성된 면이 유기 발광 표시 패널에 부착될 수 있다. 또는 터치 센싱부는 터치 전극 패턴이 형성되지 않은 편광층의 일면이 유기 발광 표시 패널에 부착될 수 있으며, 이때에는 터치 전극 패턴을 덮는 보호층이 더 형성될 수 있다.
터치 전극 패턴과 편광층 사이에 패시베이션층이 더 형성될 수 있다. 패시베이션층은, 무기물을 포함하는 단일막, 유기물을 포함하는 단일막, 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막 구조일 수 있다. 무기물은 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드이고, 유기물은 폴리이미드 또는 아크릴일 수 있다.
본 실시예의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 편광판에 의해 시인성이 우수하며 터치 스크린 기능을 구비한 유기 발광 표시 장치를 간단한 공정에 의하여 제조할 수 있다.
또한, 이에 의해 제조된 유기 발광 표시 장치는 얇은 터치 센싱부를 유기 발광 표시 패널에 부착하여 형성되므로 박형화가 가능하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 흐름도이다.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 패널의 배치도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선에 따른 단면도이다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계 없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용한다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 각 구성의 크기 및 두께를 임의로 나타냈으므로, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다.
층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이하, 도 1 및 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 흐름도이고, 도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 지지체를 준비하는 단계(ST10), 유기층을 형성하는 단계(ST20), 터치 센싱부를 형성하는 단계(ST30), 터치 센싱부를 형성하는 단계(ST40) 및 터치 센싱부를 표시 패널에 부착하는 단계(ST50)를 포함한다. 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 각 단계를 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 2a에 도시한 바와 같이, 지지체를 준비하는 단계(ST10)에서 지지체(200)를 준비한다. 지지체(200)는, 레이저에 의해 변형되지 않으면서 이후에 형성될 유기층(도 2b 참조부호 300)이 형성되기에 적합한 물질로 이루어질 수 있다. 본 실시예에서는 일례로 지지체(200)가 유리로 이루어진다.
이어서, 도 2b에 도시한 바와 같이, 유기층을 형성하는 단계(ST20)에서 준비된 지지체(200) 위에 유기층(300)을 형성한다. 이러한 유기층(300)은 레이저 공정(laser ablation process)에 의해 제거될 수 있는 다양한 유기물로 이루어질 수 있다. 일례로 유기층(300)은 폴리이미드(polyimide, PI), 아크릴 등으로 이루어질 수 있다.
이어서, 도 2c에 도시한 바와 같이, 터치 센싱부를 형성하는 단계(ST30)에서는 유기층(300) 위에 터치 센싱부(400)를 형성한다. 본 실시예에서 터치 센싱부(400)는, 유기층(300) 위에 터치 전극 패턴(402)을 형성하고, 이 터치 전극 패턴(402) 위에 패시베이션층(404)을 형성하고, 이 패시베이션층(404) 위에 편광층(406)을 형성하여 제조될 수 있다.
여기서, 터치 전극 패턴(402)은 펜 또는 손가락과 같은 입력 수단을 인식할 수 있는 다양한 패턴을 가질 수 있다. 그리고 유기 발광 표시 패널의 표시를 방해하지 않도록 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 일례로, 터치 전극 패턴(402)은 인듐틴옥사이드(indium tin oxide, ITO) 등이 사용될 수 있다.
이러한 터치 전극 패턴(402)은, 투명 도전성 물질로 이루어진 투명 도전층(도시하지 않음)을 유기층(300) 위에 형성한 후 이 투명 도전층을 사진 식각 공정 또는 레이저 공정에 의해 패터닝하여 형성할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 방법으로 터치 전극 패턴(402)을 형성할 수 있음은 물론이다.
패시베이션층(404)은, 무기물을 포함하는 단일막으로 이루어지거나, 유기물을 포함하는 단일막으로 이루어질 수 있다. 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막으로 이루어질 수도 있다. 유기물 및 무기물로는 이웃한 터치 전극 패턴(402)을 서로 절연시키면서 터치 전극 패턴(402)을 보호하면서 이후에 편광층(406)이 부착될 면을 평탄화할 수 있는 다양한 물질이 적용될 수 있다. 일례로, 무기물로는 실리콘옥사이드(silicon oxide) 또는 실리콘나이트라이드(silicon nitride)가 사용될 수 있고, 유기물로는 폴리이미드 또는 아크릴을 사용할 수 있다.
편광층(406)은 편광 특성을 가져 유기 발광 표시 장치(100)의 시인성을 향상시키는 역할을 한다.
이어서, 도 2d 및 도 2e에 도시한 바와 같이, 터치 센싱부를 분리하는 단계(ST40)에서 유기층(300)을 제거하여 지지체(200)로부터 터치 센싱부(400)를 분리한다. 본 실시예에서는 지지체(200)가 형성된 쪽에서 레이저(500)를 조사하는 레이저 공정(laser ablation)에 의해 유기층(300)의 일부 또는 전부를 녹이게 된다. 레이저(500)에 의해 유기층(300)의 일부만을 제거한 경우에는 화학 물질 등을 사용하는 별도의 공정에 의해 남은 유기층(300)을 제거한다. 이는 유기 발광 표시 패널(도 2f 참조부호 101, 이하 동일)에 부착될 면을 매끄럽게 하여 유기 발광 표시 패널(101)과의 접착 특성을 향상하기 위함이다.
이어서, 도 2f에 도시한 바와 같이, 터치 센싱부를 표시 패널에 부착하는 단계(ST50)에서 접착제 등을 이용하여 터치 센싱부(400)를 유기 발광 표시 패널(101)에 부착한다.
본 실시예에서는 터치 센싱부(400)에서 터치 전극 패턴(402)이 형성된 면을 유기 발광 표시 패널(101)에 부착한다. 이에 의해 터치 전극 패턴(402)을 보호하기 위한 별도의 층을 구비하지 않아도 되므로 제조 공정을 단순화하고 제조 비용을 절감할 수 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 레이저 공정으로 유기층을 제거하는 공정에 의해 편광판(406)과 터치 전극 패턴(402)을 함께 구비하는 터치 센싱부를 형성할 수 있다. 따라서 간단한 공정에 의하여 터치 센싱부(40)를 제조할 수 있다. 또한, 이 터치 센싱부(40)를 유기 발광 표시 패널에 부착하는 간단한 공정에 의해 터치 스크린 기능을 구비한 유기 발광 표시 장치(100)를 제조할 수 있다. 즉, 본 실시예에 의하면 편광판에 의해 시인성이 우수하며 터치 스크린 기능을 구비한 유기 발광 표시 장치(100)를 간단한 공정에 의하여 제조할 수 있다.
또한, 박형화된 터치 센싱부(40)를 유기 발광 표시 패널에 부착하는 것이므로 유기 발광 표시 장치(101)의 박형화에 기여할 수 있다.
상술한 바와 같은 실시예에 의해 제조된 유기 발광 표시 장치는, 도 2f에 도시한 바와 같이, 유기 발광 표시 패널(101)과, 이 유기 발광 표시 패널(101)에 부착되는 터치 센싱부(400)를 포함한다. 이 때, 터치 센싱부(400)는 터치 전극 패턴(402), 패시베이션층(404) 및 편광층(406)을 포함하고, 터치 전극 패턴(402)이 형성된 면이 유기 발광 표시 패널(101)에 부착된다.
이때, 터치 전극 패턴(402)은 동일 평면 상에 형성되는 제1 패턴과 제2 패턴을 포함하여, 손가락 등의 입력 수단이 접근하면 이웃한 제1 패턴과 제2 패턴 사이의 정전 용량 값이 변화하게 되어 터치 여부를 판단할 수 있다. 터치 전극 패턴(402)으로는 공지된 다양한 구조가 적용될 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
유기 발광 표시 패널(101)로는 다양한 구조가 적용될 수 있는데, 도 3 및 도 4를 참조하여 유기 발광 표시 패널(101)의 일례를 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 패널의 배치도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선에 따른 단면도이다. 도 3 및 도 4에서는, 각 화소에 두 개의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)(10, 20)와 하나의 축전 소자(capacitor)(80)를 구비하는 2Tr-1Cap 구조의 능동 구동(active matrix, AM)형 유기 발광 표시 패널(101)을 도시하고 있으나, 본 발명 및 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 유기 발광 표시 패널(101)은 하나의 화소에 셋 이상의 트랜지스터와 둘 이상의 축전 소자를 구비할 수 있으며, 별도의 배선이 더 형성되어 다양한 구조를 가질 수 있다. 여기서, 화소는 화상을 표시하는 최소 단위를 말하며, 유기 발광 표시 패널(101)은 복수의 화소들을 통해 화상을 표시한다.
도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 패널(101)은, 기판(111)에 정의된 복수의 화소 각각에 형성된, 스위칭 박막 트랜지스터(10), 구동 박막 트랜지스터(20), 축전 소자(80), 그리고 유기 발광 소자(organic light emitting diode, OLED)(70)를 포함한다. 그리고, 유기 발광 표시 패널(101)은, 일 방향을 따라 배치되는 게이트 라인(151)과, 이 게이트 라인(151)과 절연 교차되는 데이터 라인(171) 및 공통 전원 라인(172)을 더 포함한다.
여기서, 각 화소는 게이트 라인(151), 데이터 라인(171) 및 공통 전원 라인(172)을 경계로 정의될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 기판 본체(111)와 스위칭 박막 트랜지스터(10) 및 유기 발광 소자(70) 등의 사이에는 버퍼층(120)이 더 형성될 수 있다. 버퍼층(120)은 불순 원소 또는 수분과 같이 불필요한 성분의 침투를 방지하면서 동시에 표면을 평탄화하는 역할을 한다. 하지만, 버퍼층(120)은 반드시 필요한 구성은 아니며, 기판 본체(111)의 종류 및 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다.
유기 발광 소자(70)는, 화소 전극(710)과, 이 화소 전극(710) 상에 형성된 유기 발광층(720)과, 이 유기 발광층(720) 상에 형성된 공통 전극(730)을 포함한다. 여기서, 화소 전극(710)은 각 화소마다 하나 이상씩 형성되므로 유기 발광 표시 패널(101)는 서로 이격된 복수의 화소 전극들(710)을 가진다.
여기서 화소 전극(710)이 정공 주입 전극인 양극이며, 공통 전극(730)이 전자 주입 전극인 음극이 된다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 발광 표시 패널(101)의 구동 방법에 따라 화소 전극(710)이 음극이 되고, 공통 전극(730)이 양극이 될 수도 있다.
유기 발광층(720)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 생성된 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광이 이루어진다.
축전 소자(80)는 층간 절연막(160)을 사이에 두고 배치된 한 쌍의 축전판(158, 178)을 포함한다. 여기서, 층간 절연막(160)은 유전체가 된다. 축전 소자(80)에 축적된 전하와 한 쌍의 축전판(158, 178) 사이의 전압에 의해 축전 용량이 결정된다.
스위칭 박막 트랜지스터(10)는, 스위칭 반도체층(131), 스위칭 게이트 전극(152), 스위칭 소스 전극(173), 및 스위칭 드레인 전극(174)을 포함한다. 구동 박막 트랜지스터(20)는 구동 반도체층(132), 구동 게이트 전극(155), 구동 소스 전극(176) 및 구동 드레인 전극(177)을 포함한다. 본 실시예에서는 스위칭 및 구동 반도체층(131, 132)과 스위칭 및 구동 게이트 전극(152, 155)이 게이트 절연막(140)을 사이에 두고 형성되고, 스위칭 및 구동 반도체층(131, 132)과 스위칭 및 구동 소스 전극(173, 176) 및 스위칭 및 구동 드레인 전극(174, 177)이 게이트 절연막(140) 및 층간 절연막(160)에 형성된 컨택 홀에 의해 연결된 구성이 개시되어 있으나, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.
스위칭 박막 트랜지스터(10)는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로 사용된다. 스위칭 게이트 전극(152)은 게이트 라인(151)에 연결되고, 스위칭 소스 전극(173)은 데이터 라인(171)에 연결된다. 스위칭 드레인 전극(174)는 스위칭 소스 전극(173)으로부터 이격 배치되며 어느 한 축전판(158)과 연결된다.
구동 박막 트랜지스터(20)는 선택된 화소 내의 유기 발광 소자(70)의 유기 발광층(720)을 발광시키기 위한 구동 전원을 화소 전극(710)에 인가한다. 구동 게이트 전극(155)은 스위칭 드레인 전극(174)과 연결된 축전판(158)에 연결된다. 구동 소스 전극(176) 및 다른 한 축전판(178)은 각각 공통 전원 라인(172)에 연결된다. 구동 드레인 전극(177)이 평탄화막(180)의 컨택 홀(contact hole)을 통해 유기 발광 소자(70)의 화소 전극(710)에 연결된다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 평탄화막(180)이 형성되지 않고 드레인 전극(177)과 화소 전극(710)이 동일한 층에 형성되는 것도 가능하다. 화소 전극(710)은 평탄화막(180) 상에 형성된 화소 정의막(190)에 의해 서로 절연된 상태를 유지한다.
이와 같은 구조에 의하여, 스위칭 박막 트랜지스터(10)는 게이트 라인(151)에 인가되는 게이트 전압에 의해 작동하여 데이터 라인(171)에 인가되는 데이터 전압을 구동 박막 트랜지스터(20)로 전달하는 역할을 한다. 공통 전원 라인(172)으로부터 구동 박막 트랜지스터(20)에 인가되는 공통 전압과 스윙칭 박막 트랜지스터(10)로부터 전달된 데이터 전압의 차에 해당하는 전압이 축전 소자(80)에 저장되고, 축전 소자(80)에 저장된 전압에 대응하는 전류가 구동 박막 트랜지스터(20)를 통해 유기 발광 소자(70)로 흘러 유기 발광 소자(70)가 발광한다.
이하에서는, 도 5a 내지 도 5f를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유기 발광 표시 장치를 설명한다. 명확한 설명을 위하여 제1 실시예와 동일 또는 극히 유사한 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
먼저, 도 5a에 도시한 바와 같이, 지지체를 준비하는 단계(ST10)에서 지지체(200)를 준비한다.
이어서, 도 5b에 도시한 바와 같이, 유기층을 형성하는 단계(ST20)에서는 준비된 지지체(200) 위에 유기층(300)을 형성한다.
이어서, 도 5c에 도시한 바와 같이, 터치 센싱부를 형성하는 단계(ST30)에서는 유기층(300) 위에 터치 센싱부(410)를 형성한다. 본 실시예에서 터치 센싱부(410)는, 유기층(300) 위에 보호층(418)을 형성하는 단계, 이 보호층(418) 위에 터치 전극 패턴(412)을 형성하는 단계, 이 터치 전극 패턴(412) 위에 패시베이션층(414)을 형성하는 단계, 및 이 패시베이션층(414) 위에 편광층(416)을 형성하는 단계를 수행하여 제조될 수 있다.
여기서, 패시베이션층(414)은, 무기물을 포함하는 단일막으로 이루어지거나, 유기물을 포함하는 단일막으로 이루어질 수 있다. 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막으로 이루어질 수도 있다. 일례로, 무기물로는 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드가 사용될 수 있고, 유기물로는 폴리이미드 또는 아크릴이 사용될 수 있다.
보호층(418)은 터치 전극 패턴(412)이 외부로 노출되는 것을 방지하면서 터치 전극 패턴(412)을 보호하는 역할을 할 수 있는 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 보호층(418)은 무기물을 포함하는 단일막으로 이루어지거나, 유기물을 포함하는 단일막으로 이루어질 수 있다. 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막으로 이루어질 수도 있다. 일례로, 무기물로는 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드가 사용될 수 있고, 유기물로는 폴리이미드 또는 아크릴이 사용될 수 있다.
이어서, 도 5d 및 도 5e에 도시한 바와 같이, 터치 센싱부를 분리하는 단계(ST40)에서 레이저(500)를 조사하는 레이저 공정에 의해 유기층(300)을 제거하여 지지체(200)로부터 터치 센싱부(410)를 분리한다.
이어서, 도 5f에 도시한 바와 같이, 터치 센싱부를 표시 패널에 부착하는 단계(ST50)에서 접착제 등을 이용하여 터치 센싱부(410)를 유기 발광 표시 패널(101)에 부착한다. 본 실시예에서는 터치 센싱부(410)에서 편광층(416)이 형성된 면을 유기 발광 표시 패널(101)에 부착한다.
이에 의해 제조된 유기 발광 표시 장치는, 터치 센싱부(410)의 편광층(416)이 유기 발광 표시 패널(101)에 부착되고, 터치 센싱부(410)의 터치 전극 패턴(412)은 보호층(418)에 의해 덮이게 된다.
본 실시예에서는 접착 특성이 우수한 편광층(416)을 유기 발광 표시 패널(101)에 부착하여 터치 센싱부(410)와 유기 발광 표시 패널(101)이 좀더 견고하게 접착될 수 있도록 한다. 그리고 터치 전극 패턴(412) 위에 형성된 보호층(418)은 터치 전극 패턴(412)을 보호하여 유기 발광 표시 장치의 신뢰성을 향상할 수 있다.
이하에서는 도 6을 참조하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유기 발광 표시 장치를 설명한다. 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
본 실시예는, 터치 센싱부를 형성하는 단계에서 패시베이션층(도 5f의 참조부호 414, 이하 동일)을 형성하지 않았다는 점만을 제외하면 상술한 제2 실시예와 동일하다. 명확한 설명을 위하여 제2 실시예와 동일 또는 극히 유사한 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.
본 실시예에서는 터치 센싱부(420)의 터치 전극 패턴(422) 위에 별도로 패시베이션층(414)을 형성하지 않고 편광층(426)을 터치 전극 패턴(422) 바로 위에 형성하여, 편광층(426)이 패시베이션 역할과 편광의 역할을 모두 수행하도록 한다. 이에 의해 공정을 단순화하고 제조 원가를 절감할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100: 유기 발광 표시 장치
200: 지지체
300: 유기층
400, 410, 420: 터치 센싱부
402, 412, 422: 터치 전극 패턴
404, 414: 패시베이션층
406, 416, 426: 편광층
418, 428: 보호층
500: 레이저

Claims (20)

  1. 지지체 위에 유기층을 형성하는 단계;
    상기 유기층 위에 터치 전극 패턴 및 편광층을 포함하는 터치 센싱부를 형성하는 단계;
    상기 유기층을 제거하여 상기 지지체로부터 상기 터치 센싱부를 분리하는 단계; 및
    상기 터치 센싱부를 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계
    를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 터치 센싱부를 분리하는 단계에서는, 상기 지지체 쪽에서 레이저를 조사하여 상기 유기층을 제거하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 터치 센싱부를 형성하는 단계는,
    상기 유기층 위에 상기 터치 전극 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 터치 전극 패턴 위에 상기 편광층을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 터치 센싱부를 상기 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계에서는,
    상기 터치 센싱부의 상기 터치 전극 패턴이 형성된 면을 상기 유기 발광 표시 패널에 부착하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 터치 전극 패턴을 형성하는 단계와 상기 편광층을 형성하는 단계 사이에,
    상기 터치 전극 패턴 위에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 표지 장치의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 패시베이션층은, 무기물을 포함하는 단일막, 유기물을 포함하는 단일막, 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 무기물은 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드이고, 상기 유기물은 폴리이미드 또는 아크릴인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 터치 센싱부를 형성하는 단계는,
    상기 유기층 위에 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층 위에 상기 터치 전극 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 터치 전극 패턴 위에 상기 편광층을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 터치 센싱부를 상기 유기 발광 표시 패널에 부착하는 단계에서는,
    상기 터치 센싱부의 상기 편광층을 상기 유기 발광 표시 패널에 부착하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 터치 전극 패턴을 형성하는 단계와 상기 편광층을 형성하는 단계 사이에,
    상기 터치 전극 패턴 위에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 표지 장치의 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 패시베이션층은, 무기물을 포함하는 단일막, 유기물을 포함하는 단일막, 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 무기물은 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드이고, 상기 유기물은 폴리이미드 또는 아크릴인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 터치 전극 패턴은, 투명 도전층을 사진 식각 공정 또는 레이저 공정에 의해 패터닝하여 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 지지체는 유리를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  15. 유기 발광 표시 패널; 및
    상기 유기 발광 표시 패널에 부착되며, 터치 전극 패턴 및 편광층을 포함하는 터치 센싱부를 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 터치 센싱부는 상기 터치 전극 패턴이 형성된 면이 상기 유기 발광 표시 패널에 부착된 유기 발광 표시 장치.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 터치 센싱부는 상기 터치 전극 패턴이 형성되지 않은 상기 편광층의 일면이 상기 유기 발광 표시 패널에 부착되며,
    상기 터치 센싱부가 상기 터치 전극 패턴을 덮는 보호층을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 터치 전극 패턴과 상기 편광층 사이에 패시베이션층이 더 형성되는 유기 발광 표시 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 패시베이션층은, 무기물을 포함하는 단일막, 유기물을 포함하는 단일막, 또는 무기물을 포함하는 무기막과 유기물을 포함하는 유기막이 적층된 다중막 구조인 유기 발광 표시 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 무기물은 실리콘옥사이드 또는 실리콘나이트라이드이고, 상기 유기물은 폴리이미드 또는 아크릴인 유기 발광 표시 장치.
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