KR100966638B1 - Capacitor embedded printed circuit board and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
커패시터 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법이 개시된다. 코어기판; 코어기판의 일면에 적층되는 절연수지층; 절연수지층에 매립되는 제1 전극 및 제1 회로패턴; 절연수지층의 일면에 적층되는 유전층; 유전층에 적층되는 제1 접착수지층; 및 제1 전극에 상응하여 제1 접착수지층의 일면에 형성되는 제2 전극 및 제2 회로패턴을 포함하는 커패시터 내장형 인쇄회로기판은, 제조공정을 간소화할 수 있으며, 커패시턴스(C)의 편차를 줄여 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.Disclosed are a capacitor-embedded printed circuit board and a method of manufacturing the same. A core substrate; An insulating resin layer laminated on one surface of the core substrate; A first electrode and a first circuit pattern embedded in the insulating resin layer; A dielectric layer laminated on one surface of the insulating resin layer; A first adhesive resin layer laminated on the dielectric layer; And a capacitor embedded printed circuit board including a second electrode and a second circuit pattern formed on one surface of the first adhesive resin layer corresponding to the first electrode, which may simplify the manufacturing process and reduce the variation in capacitance (C). Can reduce the reliability of the product.
커패시터, 인쇄회로기판, 접착, 조도 Capacitors, Printed Circuit Boards, Bonding, Roughness
Description
본 발명은 커패시터 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board with a capacitor and a method of manufacturing the same.
최근의 휴대용 전자기기를 포함한 전자제품에 있어서 소비자의 다양한 욕구가 증대하고 있다. 특히 다기능화, 소형 경량화, 고속화, 저가화, 이동 편의성의 증가, 무선을 이용한 인터넷과의 실시간 접촉, 세련된 디자인 등에 대한 소비자의 욕구는 디자이너와 제조업체들에게 우수한 제품을 만드는데 큰 부담을 갖게 하고 있다. 이렇게 심화된 경쟁의 결과, 경쟁사들의 신속한 신모델 출시가 이루어지게 되었고, 그것은 다시 디자이너와 제조업체에게 부담을 가중시키고 있다.BACKGROUND In recent years, various needs of consumers are increasing in electronic products including portable electronic devices. In particular, consumers' desire for multi-functionality, small size, light weight, low price, increased mobility, real-time contact with the Internet using wireless, and sleek design has placed a heavy burden on designers and manufacturers to make excellent products. As a result of this fierce competition, competitors are quickly releasing new models, which in turn adds to the burden on designers and manufacturers.
이렇듯 제품의 기능이 다양화됨에 따라 IC 수의 증가에 대비, 수동소자(passive component)도 상대적으로 늘어나게 되어 휴대용 단말기의 부피도 커지 게 된다. 일반적으로 전자기기에는 다수의 능동부품 및 수동부품들이 회로기판에 실장되며, 수동부품들은 칩저항(discrete chip capacitor)의 형태로 능동부품들 간의 신호 전달을 원활히 하기 위하여 많은 수가 회로기판의 표면에 실장된다.As the product's functions diversify, passive components also increase relative to the number of ICs, increasing the volume of portable terminals. In general, a large number of active and passive components are mounted on a circuit board in an electronic device, and a large number of passive components are mounted on a surface of a circuit board to facilitate signal transmission between active components in the form of discrete chip capacitors. do.
소자 내장형 인쇄회로기판(Embedded PCB)은 전자 시스템의 고밀도 실장을 위하여 많은 관련 기업에서 개발이 진행되고 있다. 기판 안에 내장되는 수동부품의 종류에는 L, R, C가 있는데, 별개의 칩 형태의 수동부품으로는 제품의 경박단소화 추세에 부응하는데 한계가 있었고, 공간활용 측면에서도 문제가 있었으며, 비용이 상승하는 단점을 가지고 있다.Embedded PCBs are being developed by many related companies for the high-density packaging of electronic systems. The passive components embedded in the board include L, R, and C. The separate chip-type passive components had limitations in meeting the trend of thin and short products, and there was a problem in terms of space utilization. It has a disadvantage.
내장형 커패시터(embedded capacitor)를 구현하는데 있어서는 여러 가지 공법이 있다. 최근 두께조절이 비교적 양호한 RCC 형태의 자재를 이용하여 내장형 커패시터를 구현하는 공법에 대하여 관심이 높아지고 있으나, RCC 형태의 자재의 적층성이 매우 나빠, 본질적으로 RCC 형태의 자재가 적층되는 면을 평탄하게 해야 하는 추가적인 공정이 필요하다.There are several methods for implementing an embedded capacitor. Recently, there has been increasing interest in a method of implementing an embedded capacitor using a RCC type material having a relatively good thickness control, but the lamination of the RCC type material is very poor, thereby essentially flattening the surface on which the RCC type material is stacked. There is an additional process that must be done.
이러한 RCC 형태의 자재의 구조적 문제는 적층면을 평탄하게 해주는 추가적인 공정에도 불구하고 적층면의 회로패턴 두께 혹은 수지(resin)의 두께에 대하여 자재의 유전체 두께 편차가 크게 발생하며, 심지어는 적층면에서의 디라미네이션(delamination)과 같은 신뢰성 불량으로 연결되고 있다.Structural problem of RCC type material is that despite the additional process of flattening the laminated surface, the dielectric thickness variation of the material greatly occurs with respect to the circuit pattern thickness or resin thickness of the laminated surface, and even in the laminated surface This leads to poor reliability such as delamination.
본 발명은 제조공정을 간소화할 수 있으며, 커패시턴스(C)의 편차를 줄여 제 품의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 커패시터 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재, 커패시터 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.The present invention provides a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board, a capacitor-embedded printed circuit board, and a manufacturing method thereof, which can simplify the manufacturing process and improve the reliability of the product by reducing the variation in capacitance (C).
본 발명의 일 측면에 따르면, 유전층; 및 유전층의 일면에 적층되는 제1 접착수지층을 포함하되, 제1 접착수지층은 조도 형성이 가능한 것을 특징으로 하는 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재를 제공할 수 있다.According to an aspect of the invention, the dielectric layer; And a first adhesive resin layer laminated on one surface of the dielectric layer, and the first adhesive resin layer may provide a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board, wherein roughness may be formed.
유전층의 타면에는 제2 접착수지층이 적층될 수 있으며, 제2 접착수지층은 조도 형성이 가능한 재질일 수 있다. 이 때, 제1 접착수지층에는 제1 금속층이 적층될 수도 있다. 또한, 제2 접착수지층에는 제2 금속층이 적층될 수도 있다.The second adhesive resin layer may be stacked on the other surface of the dielectric layer, and the second adhesive resin layer may be formed of a material capable of forming roughness. In this case, a first metal layer may be stacked on the first adhesive resin layer. In addition, a second metal layer may be stacked on the second adhesive resin layer.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 코어기판; 코어기판의 일면에 적층되는 절연수지층; 절연수지층에 매립되는 제1 전극 및 제1 회로패턴; 절연수지층의 일면에 적층되는 유전층; 유전층에 적층되는 제1 접착수지층; 및 제1 전극에 상응하여 제1 접착수지층의 일면에 형성되는 제2 전극 및 제2 회로패턴을 포함하는 커패시터 내장형 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.According to another aspect of the invention, the core substrate; An insulating resin layer laminated on one surface of the core substrate; A first electrode and a first circuit pattern embedded in the insulating resin layer; A dielectric layer laminated on one surface of the insulating resin layer; A first adhesive resin layer laminated on the dielectric layer; And a second electrode and a second circuit pattern formed on one surface of the first adhesive resin layer corresponding to the first electrode.
제1 접착수지층은 조면화(desmear) 처리가 수행된 것일 수 있으며, 절연수지층과 유전층 사이에는 제2 접착수지층이 개재될 수 있다. 이 때, 제2 접착수지층은 조면화(desmear) 처리가 수행된 것일 수 있다.The first adhesive resin layer may be a roughening process, and a second adhesive resin layer may be interposed between the insulating resin layer and the dielectric layer. In this case, the second adhesive resin layer may be a roughening treatment.
또한, 제1 접착수지층에는 제2 전극을 커버하도록 절연기판이 적층될 수 있 고, 절연기판의 일면에는 제3 회로패턴이 형성될 수 있으며, 절연기판을 관통하는 비아를 또한 형성될 수 있다.In addition, an insulating substrate may be stacked on the first adhesive resin layer to cover the second electrode, a third circuit pattern may be formed on one surface of the insulating substrate, and a via penetrating the insulating substrate may also be formed. .
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 금속층과, 유전층과, 접착수지층이 차례로 적층된 기재를 제공하는 단계; 제1 금속층의 일부를 식각하여 제1 전극 및 제1 회로패턴을 형성하는 단계; 절연수지층을 개재하여, 제1 전극이 형성된 기재의 일면을 코어기판에 압착하는 단계; 접착수지층 상에 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계; 제2 전극 및 제2 회로패턴을 커버하도록 기재에 절연기판을 적층하는 단계; 및 절연기판에 제3 회로패턴을 형성하는 단계를 포함하는 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법을 제공할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a substrate comprising a first metal layer, a dielectric layer, and an adhesive resin layer sequentially stacked; Etching a portion of the first metal layer to form a first electrode and a first circuit pattern; Pressing one surface of the substrate on which the first electrode is formed to the core substrate through the insulating resin layer; Forming a second electrode and a second circuit pattern on the adhesive resin layer; Stacking an insulating substrate on the substrate to cover the second electrode and the second circuit pattern; And it may provide a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board comprising the step of forming a third circuit pattern on the insulating substrate.
접착수지층에는 제2 금속층이 적층될 수 있으며, 이 때, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는 제2 금속층의 일부를 식각하여 수행될 수 있다.A second metal layer may be stacked on the adhesive resin layer, and the forming of the second electrode and the second circuit pattern may be performed by etching a portion of the second metal layer.
또한, 절연기판을 적층하는 단계 이전에, 접착수지층에 조면화(desmear) 처리를 수행하는 단계를 수행할 수도 있다. 이 때, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는, 조면화 처리된 접착수지층에 시드층을 형성하는 단계; 시드층 상에 도금레지스트를 형성하는 단계; 전해도금을 통하여 제2 전극 및 제2 회로패턴에 상응하는 도금층을 형성하는 단계; 도금레지스트를 제거하는 단계; 및 시드층의 일부가 제거되도록 플래시 에칭을 수행하는 단계를 통하여 수행될 수 있다.In addition, before the lamination of the insulating substrate, a step of performing a roughening process on the adhesive resin layer may be performed. In this case, the forming of the second electrode and the second circuit pattern may include forming a seed layer on the roughened adhesive resin layer; Forming a plating resist on the seed layer; Forming a plating layer corresponding to the second electrode and the second circuit pattern through electroplating; Removing the plating resist; And performing a flash etch so that a portion of the seed layer is removed.
한편, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계를 압착하는 단계 이전에 수행할 수도 있다.Meanwhile, the forming of the second electrode and the second circuit pattern may be performed before the compressing step.
또한, 2개의 기재를 이용하여, 코어기판의 양면에 각각 기재를 압착할 수도 있다.In addition, two substrates may be used to compress the substrates on both sides of the core substrate.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 금속층과, 제1 접착수지층과, 유전층과, 제2 접착수지층이 차례로 적층된 기재를 제공하는 단계; 제1 금속층의 일부를 식각하여 제1 전극 및 제1 회로패턴을 형성하는 단계; 제1 접착수지층에 조면화(desmear) 처리를 수행하는 단계; 절연수지층을 개재하여, 제1 전극이 형성된 기재의 일면을 코어기판에 압착하는 단계; 제2 접착수지층 상에 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계; 제2 전극 및 제2 회로패턴을 커버하도록 기재에 절연기판을 적층하는 단계; 및 절연기판에 제3 회로패턴을 형성하는 단계를 포함하는 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법을 제공할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a substrate comprising a first metal layer, a first adhesive resin layer, a dielectric layer, and a second adhesive resin layer sequentially stacked; Etching a portion of the first metal layer to form a first electrode and a first circuit pattern; Performing a roughening treatment on the first adhesive resin layer; Pressing one surface of the substrate on which the first electrode is formed to the core substrate through the insulating resin layer; Forming a second electrode and a second circuit pattern on the second adhesive resin layer; Stacking an insulating substrate on the substrate to cover the second electrode and the second circuit pattern; And it may provide a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board comprising the step of forming a third circuit pattern on the insulating substrate.
제2 접착수지층에는 제2 금속층이 적층될 수 있으며, 이 때, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는 제2 금속층의 일부를 식각하여 수행될 수 있다.A second metal layer may be stacked on the second adhesive resin layer, and the forming of the second electrode and the second circuit pattern may be performed by etching a portion of the second metal layer.
절연기판을 적층하는 단계 이전에, 제2 접착수지층에 조면화(desmear) 처리를 수행할 수 있으며, 이 때, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는, 조면화 처리된 제2 접착수지층에 시드층을 형성하는 단계; 시드층 상에 도금레지스트를 형성하는 단계; 전해도금을 통하여 제2 전극 및 제2 회로패턴에 상응하는 도금층을 형성하는 단계; 도금레지스트를 제거하는 단계; 및 시드층의 일부가 제거되도록 플래시 에칭을 수행하는 단계를 통하여 수행될 수 있다.Before the stacking of the insulating substrate, a roughening process may be performed on the second adhesive resin layer. In this case, the forming of the second electrode and the second circuit pattern may include forming the roughened second layer. Forming a seed layer on the adhesive resin layer; Forming a plating resist on the seed layer; Forming a plating layer corresponding to the second electrode and the second circuit pattern through electroplating; Removing the plating resist; And performing a flash etch so that a portion of the seed layer is removed.
제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는 압착하는 단계 이전에 수행할 수도 있다. 또한, 2개의 기재를 이용하여, 코어기판의 양면에 각각 기재를 압착할 수도 있다.The forming of the second electrode and the second circuit pattern may be performed before the compressing step. In addition, two substrates may be used to compress the substrates on both sides of the core substrate.
본 발명이 또 다른 측면에 따르면, 제1 접착수지층과, 유전층과, 제2 접착수지층이 차례로 적층된 기재를 제공하는 단계; 제1 접착수지층에 조면화(desmear) 처리를 수행하는 단계; 도금 공정을 통하여 조면화 처리된 제1 접착수지층 제1 전극 및 제1 회로패턴을 형성하는 단계; 절연수지층을 개재하여, 제1 전극이 형성된 기재의 일면을 코어기판에 압착하는 단계; 제2 접착수지층에 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계; 제2 전극 및 제2 회로패턴을 커버하도록 기재에 절연기판을 적층하는 단계; 및 절연기판에 제3 회로패턴을 형성하는 단계를 포함하는 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법을 제공할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a substrate comprising a first adhesive resin layer, a dielectric layer, and a second adhesive resin layer sequentially stacked; Performing a roughening treatment on the first adhesive resin layer; Forming a roughened first adhesive resin layer first electrode and a first circuit pattern through a plating process; Pressing one surface of the substrate on which the first electrode is formed to the core substrate through the insulating resin layer; Forming a second electrode and a second circuit pattern on the second adhesive resin layer; Stacking an insulating substrate on the substrate to cover the second electrode and the second circuit pattern; And it may provide a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board comprising the step of forming a third circuit pattern on the insulating substrate.
절연기판을 적층하는 단계 이전에 제2 접착수지층에 조면화(desmear) 처리를 수행할 수 있으며, 이 때, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는 도금 공정을 통해 수행될 수 있다.Before the stacking of the insulating substrate, a roughening process may be performed on the second adhesive resin layer, wherein the forming of the second electrode and the second circuit pattern may be performed through a plating process. .
또한, 제2 전극 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계는 압착하는 단계 이전에 수행될 수도 있으며, 2개의 기재를 이용하여 코어기판의 양면에 각각 기재를 압착할 수도 있다.In addition, the forming of the second electrode and the second circuit pattern may be performed before the pressing step, or the substrate may be pressed onto both surfaces of the core substrate using two substrates.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유전층의 일면 또는 양면에 박막의 접 착수지층을 형성하고, 필요에 따라 조도를 형성함으로써, 제조공정을 간소화할 수 있으며, 커패시턴스(C)의 편차를 줄여 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법을 제공할 수 있다.According to a preferred embodiment of the present invention, by forming the adhesive resin layer of the thin film on one or both sides of the dielectric layer, and forming the roughness as necessary, it is possible to simplify the manufacturing process, reducing the variation of capacitance (C) of the product It is possible to provide a method for manufacturing a printed circuit board with a capacitor that can improve reliability.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징 들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.
이하, 본 발명에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a capacitor-embedded printed circuit board and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are the same reference numerals. And duplicate description thereof will be omitted.
먼저, 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재에 대해 설명하도록 한다.First, to describe the substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제1 실시예를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제2 실시예를 나타내는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제3 실시예를 나타내는 단면도이며, 도 4는 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제4 실시예를 나타내는 단면도이다. 도 1 내지 도 4를 참조하면, 유전층(11), 접착수지층(12, 12a, 12b), 금속층(13, 14)이 도시되어 있다.1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention, and FIG. 2 is a second embodiment of a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention. 3 is a cross-sectional view showing a third embodiment of a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view of a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention. It is sectional drawing which shows 4 Example. 1 to 4,
제1 실시예에 따른 기재는 유전층(11)의 일면에 접착수지층(12)이 적층되어 있는 구조를 가지되, 접착수지층(12)이 조도 형성 가능한 재질로 이루어지는 점에 특징이 있다. 이 때, 유전층(11)은 반경화 상태(B-stage)일 수도 있고, 경화된 상태(C-stage)일 수도 있다.The substrate according to the first embodiment has a structure in which the
이 때, 유전층(11)에 적층되는 접착수지층(12)은 수 um 정도의 두께를 가질 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 실시예에서 제시하는 접착수지층(12)은 조면화 처리를 통해 조도 형성이 가능한 재질로 이루어질 수 있는데, 그 예로 한국특허공개 10-2007-0078086(출원인: 미쯔비시 가스 케미칼 컴퍼니)의 특허에 언급된 접착제를 들 수 있다. 이 외에도, 조도 형성이 가능한 재질이라면 어느 것이든 적용될 수 있음은 물론이다.In this case, the
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 접착수지층(12a, 12b)은 유전층의 양면에 모두 형성될 수도 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 일면에 금속층(13)이 형성되어 있을 수도 있다. 금속층(13)이 형성되는 경우, 인쇄회로기판에 내장되는 커패시터의 하부전극 또는 상부전극을 형성하기 위해 별도의 금속층 적층 공정 등을 수행할 필요가 없게 되며, 해당 금속층을 식각하는 공정 등을 통해 커패시터의 전극을 용이하게 형성할 수 있게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the
이러한 금속층은 도 3에 도시된 바와 같이 한쪽 면에만 형성되어 있을 수도 있지만, 도 4에 도시된 바와 같이 유전층(11)의 양쪽에 모두 금속층(13, 14)이 형성되어 있을 수도 있다.Although the metal layer may be formed on only one surface as shown in FIG. 3, the metal layers 13 and 14 may be formed on both sides of the
다음으로, 본 발명의 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판에 대해 설명하도록 한다.Next, a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention will be described.
도 5는 본 발명의 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판의 제1 실시예를 나타내는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판의 제2 실시예를 나타내는 단면도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 유전층(11), 접착수지층(12'), 제1 접착수지층(12a'), 제2 접착수지층(12b'), 제1 전극(13a), 제2 전극(14a), 제1 회로패턴(13b), 제2 회로패턴(14b), 코어기판(20), 절연수지층(21), 절연기판(31), 비아(32, 33), 제3 회로패턴(34), 및 솔더레지스트(35)가 도시되어 있다.5 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention. 5 and 6, the
도 5에 도시된 바와 같은 인쇄회로기판의 경우에는, 제1 전극(13a), 유전층(11), 접착수지층(12'), 및 제2 전극(14a)이 패턴화 된 커패시터를 구현할 수 있게 된다.In the case of the printed circuit board as shown in FIG. 5, the
이러한 구조의 커패시터 내장형 인쇄회로기판은, 조도가 형성된 접착수지층(12')에 의하여 절연기판(31)이 적층되는 부분에서 발생할 수 있는 층간분리(delamination)의 가능성을 최소화할 수 있게 되어 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.Capacitor-embedded printed circuit board having such a structure can minimize the possibility of delamination that may occur at the part where the insulating
또한, 접착수지층(12')을 박막화하여(수 um 범위 내), 접착수지층(12')이 커패시터의 성능에 미칠 수 있는 영향을 최소화 할 수도 있다.Further, the adhesive resin layer 12 'may be thinned (within a few um) to minimize the influence that the adhesive resin layer 12' may have on the performance of the capacitor.
도 5에는 접착수지층(12')이 유전층(11)의 한쪽 면에만 형성된 모습이 도시되어 있으나, 도 6에 도시된 바와 같이 유전층(11)의 양면에 모두 접착수지층(12a', 12b')을 형성할 수도 있음은 물론이다.Although the adhesive resin layer 12 'is formed on only one side of the
이하에서는 상술한 구조를 갖는 인쇄회로기판을 제조하는 방법에 대해 보다 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a printed circuit board having the above-described structure will be described in more detail.
도 7은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제1 실시예를 나타내는 순서도이고, 도 8 내지 도 19는 도 7의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도이다. 도 8 내지 도 19를 참조하면, 유전층(11), 접착수지층(12, 12'), 금속층(13), 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 제2 회로패턴(14b), 시드층(16), 도금레지스트(17), 코어층(20), 절연수지층(21), 절연기판(31), 비아(32, 33), 제3 회로패턴(34), 에칭레지스트(35)가 도시되어 있다.7 is a flow chart showing a first embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention, and FIGS. 8 to 19 are cross-sectional views illustrating respective processes of the manufacturing method of FIG. 7. 8 to 19, the
먼저, 도 8에 도시된 바와 같이, 금속층(13)과, 유전층(11)과, 접착수지층(12)이 차례로 적층된 기재를 제공한다(S110). 접착수지층(12)은 유전층(11)과 금속층(13) 사이의 결합력을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 추후 설명할 절연기판(31)과의 결합력 또한 향상시킬 수 있어 제품의 신뢰도를 향상시키는 기능을 수행할 수 있다.First, as shown in FIG. 8, a substrate in which a
이 때, 기판에 내장되는 커패시터의 커패시턴스에 영향을 최소화할 수 있도록 접착수지층(12)은 박막의 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 접착수지층(12)의 두께는 10um이하일 수 있다.In this case, the
다음으로, 도 9에 도시된 바와 같이, 금속층(13)의 일부를 식각하여 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성한다(S120). 제1 전극(13a)은 본 실시예에 따른 인쇄회로기판에 내장되는 커패시터의 상부전극 또는 하부전극으로서의 기능을 수행하게 되는 것으로서, 형성되는 위치, 크기 등은 설계자의 의도에 따라 다양하게 변경될 수 있다.Next, as shown in FIG. 9, a portion of the
그리고 나서, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 절연수지층(21)을 개재하여, 제1 전극(13a)이 형성된 기재의 일면을 코어기판(20)에 압착한다(S130). 이 때, 기재를 2개 준비한 다음, 코어기판(20)의 양면에 대해 각각 압착할 수도 있다. 이러한 공정을 통해 다층구조를 구현할 수 있게 된다.10 and 11, one surface of the substrate on which the
그 다음, 도 12에 도시된 바와 같이, 접착수지층(12)에 조면화(desmear) 처리를 수행할 수 있다(S140). 조면화 처리를 통해 접착수지층(12)에 조도를 형성함으로써, 추후에 설명할 시드층(16)이 접착수지층(12) 상에 보다 견고하게 형성될 수 있게 된다. 도 12의 참조번호 12'는 조도가 형성된 접착수지층을 나타낸다.Next, as shown in FIG. 12, a roughening process may be performed on the adhesive resin layer 12 (S140). By forming roughness in the
이렇게 조면화 처리를 수행한 다음, 접착수지층(12') 상에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성한다(S150). 제2 전극(14a)은 앞서 설명한 제1 전극(13a)과 더불어 인쇄회로기판에 내장되는 커패시터를 구현할 수 있으며, 제1 전극(13a)이 하부전극인 경우 제2 전극(14a)은 상부전극일 수 있다. 때문에, 제2 전극(14a)은 제1 전극(13a)의 위치 및 크기 등을 고려하여 형성될 수 있다. 이러한 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법에 대해 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.After the roughening treatment is performed, the
먼저, 도 13에 도시된 바와 같이, 조면화 처리된 접착수지층(12')에 시드층(16)을 형성한다(S151). 시드층(16)을 형성하는 방법으로는, 스퍼터링 방식을 이용할 수도 있으며, 그 밖의 무전해 도금 방식을 이용할 수도 있다.First, as illustrated in FIG. 13, the
그리고 나서, 도 14에 도시된 바와 같이, 시드층(16) 상에 도금레지스트(17)를 형성한다(S152). 도금레지스트(17)를 형성하기 위하여, 시드층(16) 위에 드라이 필름(미도시)을 적층한 다음, 노광/현상하는 방법을 이용할 수 있다. 이 밖에도, 다양한 방법을 통해 도금레지스트(17)를 형성할 수 있음은 물론이다.Then, as shown in FIG. 14, the plating resist 17 is formed on the seed layer 16 (S152). In order to form the plating resist 17, a method of stacking a dry film (not shown) on the
그 다음, 도 15에 도시된 바와 같이, 전해도금을 통하여 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)에 상응하는 도금층을 형성하고(S153), 도 16에 도시된 바와 같이, 도금레지스트(17)를 제거한 다음(S154), 도 17에 도시된 바와 같이, 시드층(16)의 일부가 제거되도록 플래시 에칭을 수행함으로써, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)의 패턴화를 마무리할 수 있게 된다(S155).Next, as shown in FIG. 15, a plating layer corresponding to the
이처럼, 도금 방식을 이용하여 제2 전극(14a)을 형성하게 되면, 보다 정확한 크기의 전극을 형성할 수 있어, 커패시터의 용량을 보다 정확히 조절할 수 있는 장점이 있다.As such, when the
이상의 공정을 통해 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성한 다음, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 커버하도록 기재에 절연기판(31)을 적층하고(S160), 절연기판(31)에 제3 회로패턴(34)을 형성할 수 있다(S170).After forming the
제3 회로패턴(34)과 아울러 층간 도통을 위한 비아(32, 33)를 형성할 수도 있으며, 최외곽에는 제3 회로패턴(34)을 보호하기 위한 솔더레지스트(35)를 형성할 수 있다.In addition to the
한편, 본 실시예에서는 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)이 형성된 기재를 코어기판(20)에 적층한 다음에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법을 제시하였으나, 도 19에 도시된 바와 같이, 기재에 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 및 제2 회로패턴(14b)을 모두 형성한 다음, 이를 코어 기판(20)에 적층할 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the substrate on which the
다음으로 제2 실시예에 대해 설명하도록 한다.Next, a second embodiment will be described.
도 20은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제2 실시예를 나타내는 순서도이고, 도 21 내지 도 28은 도 20의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도이다. 도 21 내지 도 28을 참조하면, 유전층(11), 접착수지층(12, 12'), 제1 금속층(13), 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 금속층(14), 제2 전극(14a), 제2 회로패턴(14b), 코어층(20), 절연수지층(21), 절연기판(31), 비아(32, 33), 제3 회로패턴(34), 에칭레지스트(35)가 도시되어 있다.20 is a flow chart showing a second embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention, and FIGS. 21 to 28 are cross-sectional views illustrating respective processes of the manufacturing method of FIG. 20. 21 to 28, the
본 실시예는 앞서 설명한 제1 실시예와 비교하여, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)이 도금 방식이 아닌 식각 방식에 의해 형성되는 점에 차이가 있다. 이하에서는 이러한 차이점을 중심으로 본 실시예에 대해 설명하도록 하며, 동일하게 대응되는 부분에 대한 설명은 생략하도록 한다.This embodiment differs from the first embodiment described above in that the
먼저, 도 21에 도시된 바와 같이, 제1 금속층(13)과, 유전층(11)과, 접착수지층(12)과 제2 금속층(14)이 차례로 적층된 기재를 제공한다(S210). 전술한 바와 같이, 본 실시예에서는 제2 전극(14a)과 제2 회로패턴(14b)을 식각 방식에 의해 형성하게 되므로, 접착수지층(12)에 제2 금속층(14)이 적층된 기재를 이용하는 것이다.First, as shown in FIG. 21, a substrate in which the
그리고 나서, 도 22에 도시된 바와 같이, 제1 금속층(13)의 일부를 식각하여 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성한 다음(S220), 도 23 및 도 24에 도시 된 바와 같이, 절연수지층(21)을 개재하여, 제1 전극(13a)이 형성된 기재의 일면을 코어기판(20)에 압착한다(S230).Then, as shown in FIG. 22, a portion of the
그 다음, 도 25에 도시된 바와 같이, 제2 금속층(14)의 일부를 식각하여 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성한다(S240). 제2 전극(14a)은 앞서 설명한 제1 전극(13a)과 더불어 커패시터를 구현할 수 있으며, 제1 전극(13a)이 하부전극인 경우 제2 전극(14a)은 상부전극일 수 있다. 때문에, 제2 전극(14a)은 제1 전극(13a)의 위치 및 크기 등을 고려하여 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 25, a portion of the
그리고 나서, 도 26에 도시된 바와 같이, 접착수지층(12)에 조면화(desmear) 처리를 수행할 수 있다(S250). 접착수지층(12)에 적층되어 있던 제2 금속층(14)의 일부를 식각함으로써, 접착수지층(12)의 일부가 외부에 노출될 수 있게 되는데, 이렇게 노출된 면에 대해 조도를 형성하는 것이다. 접착수지층(12)에 조도를 형성함으로써, 이후 적층되는 절연기판(31)과의 결합력을 향상시킬 수 있게 되며, 그 결과 층간분리(delamination)가 발생할 염려를 줄일 수 있게 되어 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다. 도 26의 참조번호 12'는 조도가 형성된 접착수지층을 나타낸다.Then, as shown in FIG. 26, a desmear treatment may be performed on the adhesive resin layer 12 (S250). By etching a part of the
그 다음, 도 27에 도시된 바와 같이, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 커버하도록 기재에 절연기판(31)을 적층하고(S260), 절연기판(31)에 제3 회로패턴(34)을 형성할 수 있다(S270). 제3 회로패턴(34)과 아울러 층간 도통을 위한 비아(32, 33)를 형성할 수도 있으며, 최외곽에는 제3 회로패턴(34)을 보호하기 위한 솔더레지스트(35)를 형성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 27, an insulating
한편, 본 실시예에서는 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)이 형성된 기재를 코어기판(20)에 적층한 다음에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법을 제시하였으나, 도 28에 도시된 바와 같이, 기재에 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 및 제2 회로패턴(14b)을 모두 형성한 다음, 이를 코어기판(20)에 적층할 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the substrate on which the
다음으로, 제3 실시예에 대해 설명하도록 한다.Next, a third embodiment will be described.
도 29는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제3 실시예를 나타내는 순서도이고, 도 30 내지 도 42는 도 29의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도이다. 도 30 내지 도 42를 참조하면, 유전층(11), 제1 접착수지층(12a, 12a'), 제2 접착수지층(12b, 12b'), 금속층(13), 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 제2 회로패턴(14b), 시드층(16), 도금레지스트(17), 코어층(20), 절연수지층(21), 절연기판(31), 비아(32, 33), 제3 회로패턴(34), 에칭레지스트(35)가 도시되어 있다.29 is a flowchart illustrating a third embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 30 to 42 are cross-sectional views illustrating respective processes of the manufacturing method of FIG. 29. 30 to 42, the
본 실시예에 따른 제조방법은, 전술한 제1 실시예와 비교하여, 유전층(11)의 양면 모두에 접착수지층(12a, 12b)이 형성되는 점에 차이가 있다. 이하에서는 이러한 차이점을 중심으로 본 실시예에 대해 설명하도록 하며, 동일하거나 대응되는 부분에 대해서는 구체적인 설명을 생략하도록 한다.The manufacturing method according to the present embodiment has a difference in that
먼저, 도 30에 도시된 바와 같이, 제1 금속층(13)과, 제1 접착수지층(12a)과, 유전층(11)과, 제2 접착수지층(12b)이 차례로 적층된 기재를 제공한다(S310).First, as shown in FIG. 30, a substrate in which the
그리고 나서, 도 31에 도시된 바와 같이, 제1 금속층(13)의 일부를 식각하여 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성한 다음(S320), 도 32에 도시된 바와 같이, 제1 접착수지층(12a)에 조면화(desmear) 처리를 수행한다(S330).Then, as shown in FIG. 31, a portion of the
제1 접착수지층(12a)에 적층되어 있던 제1 금속층(13)의 일부를 식각함으로써, 제1 접착수지층(12a)의 일부가 외부에 노출될 수 있게 되는데, 이렇게 노출된 면에 대해 조도를 형성하는 것이다. 제1 접착수지층(12a)에 조도를 형성함으로써, 이후 적층되는 절연기판(31)과의 결합력을 향상시킬 수 있게 되며, 그 결과 층간분리(delamination)가 발생할 염려를 줄일 수 있게 되어 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다.By etching a part of the
그리고 나서, 도 33 및 도 34에 도시된 바와 같이, 절연수지층(21)을 개재하여, 제1 전극(13a)이 형성된 기재의 일면을 코어기판(20)에 압착한다(S340). 이 때, 기재를 2개 준비한 다음, 코어기판(20)의 양면에 대해 각각 압착할 수도 있다. 이러한 공정을 통해 다층구조를 구현할 수 있게 된다.Then, as illustrated in FIGS. 33 and 34, one surface of the substrate on which the
그 다음, 도 35에 도시된 바와 같이, 제2 접착수지층(12b)에 조면화(desmear) 처리를 수행한다(S350). 조면화 처리를 통해 제2 접착수지층(12b)에 조도를 형성함으로써, 추후에 설명할 시드층(16)이 제2 접착수지층 상에 보다 견고하게 형성될 수 있게 된다. 도 35의 참조번호 12b'는 조도가 형성된 제2 접착수지층을 나타낸다.Next, as shown in FIG. 35, a roughening process is performed on the second
이렇게 조면화 처리를 수행한 다음, 제2 접착수지층(12b) 상에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성한다(S360). 이를 위하여, 도 36에 도시된 바 와 같이, 조면화 처리된 제2 접착수지층(12b')에 시드층(16)을 형성하고(S361), 도 37에 도시된 바와 같이, 시드층(16) 상에 도금레지스트(17)를 형성한 다음(S362), 도 38에 도시된 바와 같이, 전해도금을 통하여 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)에 상응하는 도금층을 형성하고(S363), 도 39에 도시된 바와 같이, 도금레지스트(17)를 제거한 후(S364), 도 40에 도시된 바와 같이, 시드층(16)의 일부가 제거되도록 플래시 에칭을 수행할 수 있음은 전술한 제1 실시예의 경우와 같다(S365).After the roughening treatment is performed, the
그 다음, 도 41에 도시된 바와 같이, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 커버하도록 기재에 절연기판(31)을 적층하고(S370), 절연기판(31)에 제3 회로패턴(34)을 형성할 수 있다(S380).Next, as shown in FIG. 41, an insulating
한편, 본 실시예에서는 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)이 형성된 기재를 코어기판(20)에 적층한 다음에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법을 제시하였으나, 도 42에 도시된 바와 같이, 기재에 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 및 제2 회로패턴(14b)을 모두 형성한 다음, 이를 코어기판(20)에 적층할 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the substrate on which the
다음으로, 제4 실시예에 대해 설명하도록 한다.Next, a fourth embodiment will be described.
도 43은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제4 실시예를 나타내는 순서도이고, 도 44 내지 도 52는 도 43의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도이다. 도 44 내지 도 52를 참조하면, 유전층(11), 제 1 접착수지층(12a, 12a'), 제2 접착수지층(12b, 12b'), 제1 금속층(13), 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 금속층(14), 제2 전극(14a), 제2 회로패턴(14b), 코어층(20), 절연수지층(21), 절연기판(31), 비아(32, 33), 제3 회로패턴(34), 에칭레지스트(35)가 도시되어 있다.43 is a flowchart illustrating a fourth embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 44 to 52 are cross-sectional views illustrating respective processes of the manufacturing method of FIG. 43. 44 to 52, the
본 실시예는 앞서 설명한 제3 실시예와 비교하여, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)이 도금 방식이 아닌 식각 방식에 의해 형성되는 점에 차이가 있다. 이하에서는 이러한 차이점을 중심으로 본 실시예에 대해 설명하도록 하며, 동일하게 대응되는 부분에 대한 설명은 생략하도록 한다.This embodiment differs from the third embodiment in that the
먼저, 도 44에 도시된 바와 같이, 제1 금속층(13)과, 제1 접착수지층(12a)과, 유전층(11)과, 제2 접착수지층(12b)과, 제2 금속층(14)이 차례로 적층된 기재를 제공한다(S410). 전술한 바와 같이, 본 실시예에서는 제2 전극(14a)과 제2 회로패턴(14b)을 식각 방식에 의해 형성하게 되므로, 제2 접착수지층(12b)에 제2 금속층(14)이 적층된 기재를 이용하는 것이다.First, as shown in FIG. 44, the
그리고 나서, 도 45에 도시된 바와 같이, 제1 금속층(13)의 일부를 식각하여 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성한 다음(S420), 도 46에 도시된 바와 같이, 제1 접착수지층(12a)에 조면화(desmear) 처리를 수행한다(S430).Then, as shown in FIG. 45, a portion of the
제1 접착수지층(12a)에 적층되어 있던 제1 금속층(13)의 일부를 식각하면, 제1 접착수지층(12a)의 일부가 외부에 노출될 수 있게 되는데, 이렇게 노출된 면에 대해 조도를 형성하는 것이다. 제1 접착수지층(12a)에 조도를 형성함으로써, 이후 적층되는 절연기판(31)과의 결합력을 향상시킬 수 있게 되며, 그 결과 층간분 리(delamination)가 발생할 염려를 줄일 수 있게 되어 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다. 도 46의 참조번호 12a'는 조도가 형성된 제1 접착수지층을 나타낸다.When a part of the
그 다음, 도 47 및 도 48에 도시된 바와 같이, 절연수지층(21)을 개재하여 제1 전극(13a)이 형성된 기재의 일면을 코어기판(20)에 압착하고(S440), 도 49에 도시된 바와 같이, 제2 금속층(14)의 일부를 식각하여 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성한 후(S450), 도 50에 도시된 바와 같이, 제2 접착수지층(12b)에도 조면화(desmear) 처리를 수행한다(S460). 도 50의 참조번호 12b'는 조도가 형성된 제2 접착수지층을 나타낸다.47 and 48, one surface of the substrate on which the
그리고 나서, 도 51에 도시된 바와 같이, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 커버하도록 기재에 절연기판(31)을 적층하고(S470), 절연기판(31)에 제3 회로패턴(34)을 형성할 수 있다(S480). 제3 회로패턴(34)과 아울러 층간 도통을 위한 비아(32, 33)를 형성할 수도 있으며, 최외곽에는 제3 회로패턴(34)을 보호하기 위한 솔더레지스트(35)를 형성할 수 있다.Then, as illustrated in FIG. 51, an insulating
한편, 본 실시예에서는 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)이 형성된 기재를 코어기판(20)에 적층한 다음에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법을 제시하였으나, 도 52에 도시된 바와 같이, 기재에 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 및 제2 회로패턴(14b)을 모두 형성한 다음, 이를 코어기판(20)에 적층할 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the substrate on which the
다음으로 제5 실시예에 대해 설명하도록 한다.Next, a fifth embodiment will be described.
도 53은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제5 실시예를 나타내는 순서도이고, 도 54 내지 도 66은 도 53의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도이다. 도 54 내지 도 66을 참조하면, 유전층(11), 제1 접착수지층(12a, 12a'), 제2 접착수지층(12b, 12b'), 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 제2 회로패턴(14b), 시드층(16), 도금레지스트(17), 코어층(20), 절연수지층(21), 절연기판(31), 비아(32, 33), 제3 회로패턴(34), 에칭레지스트(35)가 도시되어 있다.53 is a flowchart illustrating a fifth embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention, and FIGS. 54 to 66 are cross-sectional views illustrating respective processes of the manufacturing method of FIG. 53. 54 to 66, the
본 실시예는 앞서 설명한 실시예들과 달리, 제1 전극(13a)과 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a)과 제2 회로패턴(14b) 모두를 도금 방식으로 형성하는 점에 차이가 있다. 이하에서는 이러한 차이점을 중심으로 본 실시예에 대해 설명하도록 하며, 동일하게 대응되는 부분에 대한 설명은 생략하도록 한다.Unlike the above-described embodiments, the present embodiment forms the
먼저, 도 54에 도시된 바와 같이, 제1 접착수지층(12a)과, 유전층(11)과, 제2 접착수지층(12b)이 차례로 적층된 기재를 제공한다(S510).First, as shown in FIG. 54, a substrate in which the first
그리고 나서, 도 55에 도시된 바와 같이, 제1 접착수지층(12a)에 조면화(desmear) 처리를 수행하고(S520), 도금 공정을 통하여 조면화 처리된 제1 접착수지층(12a')에 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성한다(S530). 즉, 전술한 실시예를 통하여 제시한 바와 같이, 시드층(16) 및 도금레지스트(17) 등을 이용하여 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성할 수 있는 것이다. 이러한 공정이 도 56 내지 도 60에 도시되어 있다.Then, as illustrated in FIG. 55, the first
다음으로, 도 61 및 도 62에 도시된 바와 같이, 절연수지층(21)을 개재하여, 제1 전극(13a)이 형성된 기재의 일면을 코어기판(20)에 압착한다(S540).61 and 62, one surface of the substrate on which the
그리고 나서, 도 63에 도시된 바와 같이, 제2 접착수지층(12b)에 조면화(desmear) 처리를 수행하고(S550), 도금 공정을 통하여 조면화 처리된 제2 접착수지층(12b') 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성한다(S560). 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법은 전술한 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)을 형성하는 방법과 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하도록 한다. 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)이 형성된 모습이 도 64에 도시되어 있다.Then, as shown in FIG. 63, the second
이 후, 도 65에 도시된 바와 같이, 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 커버하도록 기재에 절연기판(31)을 적층하고(S570), 절연기판(31)에 제3 회로패턴(34)을 형성할 수 있음은 앞서 설명한 실시예들의 경우와 같다(S580).After that, as shown in FIG. 65, the insulating
한편, 본 실시예에서는 제1 전극(13a) 및 제1 회로패턴(13b)이 형성된 기재를 코어기판(20)에 적층한 다음에 제2 전극(14a) 및 제2 회로패턴(14b)을 형성하는 방법을 제시하였으나, 도 66에 도시된 바와 같이, 기재에 제1 전극(13a), 제1 회로패턴(13b), 제2 전극(14a), 및 제2 회로패턴(14b)을 모두 형성한 다음, 이를 코어기판(20)에 적층할 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the substrate on which the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below It will be appreciated that modifications and variations can be made.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제1 실시예를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a substrate for a printed circuit board with a capacitor according to an aspect of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제2 실시예를 나타내는 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제3 실시예를 나타내는 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing a third embodiment of a substrate for a printed circuit board with a capacitor according to an aspect of the present invention.
도 4는 본 발명의 일 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판용 기재의 제4 실시예를 나타내는 단면도.Figure 4 is a cross-sectional view showing a fourth embodiment of a substrate for a capacitor-embedded printed circuit board according to an aspect of the present invention.
도 5는 본 발명의 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판의 제1 실시예를 나타내는 단면도.5 is a sectional view showing a first embodiment of a printed circuit board with a capacitor according to another aspect of the present invention.
도 6은 본 발명의 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판의 제2 실시예를 나타내는 단면도.Figure 6 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a printed circuit board with a capacitor according to another aspect of the present invention.
도 7은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제1 실시예를 나타내는 순서도.Figure 7 is a flow chart showing a first embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention.
도 8 내지 도 19는 도 7의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도.8-19 is sectional drawing which shows each process of the manufacturing method of FIG.
도 20은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제2 실시예를 나타내는 순서도.20 is a flow chart illustrating a second embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention.
도 21 내지 도 28은 도 20의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도.21 to 28 are sectional views showing respective steps of the manufacturing method of FIG. 20.
도 29는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조 방법의 제3 실시예를 나타내는 순서도.29 is a flow chart showing a third embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention.
도 30 내지 도 42는 도 29의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도.30-42 is sectional drawing which shows each process of the manufacturing method of FIG.
도 43은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제4 실시예를 나타내는 순서도.43 is a flowchart illustrating a fourth embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention.
도 44 내지 도 52는 도 43의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도.44 to 52 are cross-sectional views illustrating each step of the manufacturing method of FIG. 43.
도 53은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 커패시터 내장형 인쇄회로기판 제조방법의 제5 실시예를 나타내는 순서도.53 is a flow chart showing a fifth embodiment of a method for manufacturing a capacitor-embedded printed circuit board according to another aspect of the present invention.
도 54 내지 도 66은 도 53의 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도.54 to 66 are cross-sectional views illustrating respective steps of the manufacturing method of FIG. 53.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
11: 유전층11: dielectric layer
12, 12', 12a, 12a', 12b, 12b': 접착수지층12, 12 ', 12a, 12a', 12b, 12b ': adhesive resin layer
13, 14: 금속층 13a, 14a: 전극13, 14
13b, 14b: 회로패턴 16: 시드층13b and 14b: Circuit pattern 16: seed layer
17: 도금레지스트 20: 코어기판17: plating resist 20: core substrate
21: 절연수지층 31: 절연기판21: insulating resin layer 31: insulating substrate
32, 33: 비아 34: 회로패턴32, 33: Via 34: Circuit pattern
35: 솔더레지스트 35: solder resist
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