JPS6360159A - 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents
高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6360159A JPS6360159A JP61204831A JP20483186A JPS6360159A JP S6360159 A JPS6360159 A JP S6360159A JP 61204831 A JP61204831 A JP 61204831A JP 20483186 A JP20483186 A JP 20483186A JP S6360159 A JPS6360159 A JP S6360159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- silicon carbide
- sintered body
- density
- boron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
- C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野）
本発明は炭化ケイ素焼結体の製造方法に関し、更に詳細
には炭化ケイ素粉末に焼結助剤として特定の炭素含有物
質とホウ素化合物を特定量範囲で存在せしめた後成形し
、真空中で加熱後更に不活性雰囲気中にて焼結すること
により、焼結体中に特定量のホウ素を含有する高密度炭
化ケイ素焼結体の製造方法に関するものである。
には炭化ケイ素粉末に焼結助剤として特定の炭素含有物
質とホウ素化合物を特定量範囲で存在せしめた後成形し
、真空中で加熱後更に不活性雰囲気中にて焼結すること
により、焼結体中に特定量のホウ素を含有する高密度炭
化ケイ素焼結体の製造方法に関するものである。
〈従来の技術）
炭化ケイ素は物理的及び化学的性質に優れており、特に
高硬度でかつ化学的安定性を有し、１０００℃を越える
高温においても室温と変わらない機械的性質を有するた
め、耐摩耗、耐食及び高温構造材料として有望視されて
いる。
高硬度でかつ化学的安定性を有し、１０００℃を越える
高温においても室温と変わらない機械的性質を有するた
め、耐摩耗、耐食及び高温構造材料として有望視されて
いる。
しかし難焼結性のため高密度に焼結することが通常の方
法では困難であるため、ホットプレス法による焼結、焼
結助剤添加による焼結等が提案されている。
法では困難であるため、ホットプレス法による焼結、焼
結助剤添加による焼結等が提案されている。
例えば、特開昭５１−１４８７１２号公報には１〜１０
０ｒｄ／ｇの比表面積を有する少くとも５重量％以上の
α型炭化ケイ素９１〜９９．３５重量部に２５〜７５重
量％の炭化率を有する炭化可能な有機溶剤可溶性の有機
材料０．６７〜２０重量部、０．１５〜３．０重量部の
ホウ素を含有するホウ素源及び−時的結合剤５〜１５重
量部を混合し焼結することにより高密度の炭化ケイ素焼
結体が得られることが教示されている。
０ｒｄ／ｇの比表面積を有する少くとも５重量％以上の
α型炭化ケイ素９１〜９９．３５重量部に２５〜７５重
量％の炭化率を有する炭化可能な有機溶剤可溶性の有機
材料０．６７〜２０重量部、０．１５〜３．０重量部の
ホウ素を含有するホウ素源及び−時的結合剤５〜１５重
量部を混合し焼結することにより高密度の炭化ケイ素焼
結体が得られることが教示されている。
しかしながら該方法によれば、高密度の炭化ケイ素焼結
体は得られるものの機械的強度においては満足し得るも
のではなく、例えば抗折力で５０ｋｔ／ｗｍ”を越える
ものは見られない。
体は得られるものの機械的強度においては満足し得るも
のではなく、例えば抗折力で５０ｋｔ／ｗｍ”を越える
ものは見られない。
そのため本発明者等は、従来−触に炭化ケイ素の場合そ
の焼結密度を上げるために必要とされているホウ素量よ
りも少ない添加量範囲に特定の炭素含有物質を特定量範
囲で添加併用する場合には焼結密度の低下を招くことな
く機械的強度に優れた焼結体が得られることを見出し、
特願昭５９−５７５８４号（特開昭６０−２００８６１
号公報）として先に出願した。
の焼結密度を上げるために必要とされているホウ素量よ
りも少ない添加量範囲に特定の炭素含有物質を特定量範
囲で添加併用する場合には焼結密度の低下を招くことな
く機械的強度に優れた焼結体が得られることを見出し、
特願昭５９−５７５８４号（特開昭６０−２００８６１
号公報）として先に出願した。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、該方法においても特定の炭素含有物質を
用いなければならないとの問題を有するため、本発明者
らは更に検討を続けた結果、得られた成形体の焼成なら
びに焼結条件を特定化する場合には何ら炭素含有物質を
特定化する事なく高密度、高強度でかつ高硬度な物性を
有する炭化ケイ素焼結体が得られる事を見出し、本発明
を完成するに至った。
用いなければならないとの問題を有するため、本発明者
らは更に検討を続けた結果、得られた成形体の焼成なら
びに焼結条件を特定化する場合には何ら炭素含有物質を
特定化する事なく高密度、高強度でかつ高硬度な物性を
有する炭化ケイ素焼結体が得られる事を見出し、本発明
を完成するに至った。
すなわち、本発明はα型を主体とする炭化ケイ素粉末に
ホウ素換算で０．０５重積置を越え、０．１５重置％未
満のホウ素化合物と炭化ケイ素中に含有される炭素との
総量が４重量％を越え８重置％未満の炭素となる如く炭
化可能な有機物（但し、タールピッチは除く）を添加混
合し成型した成形体を、真空中１ｏｏｏ〜２０００℃の
温度に加熱しついで不活性雰囲気中２３００℃以下の温
度で焼結させ、ホウ素含を量が０．０３重量％を越え０
．１５重量％未満で、かつ該焼結体が理論密度の９５％
以上の密度を存する炭化ケイ素焼結体を得ることを特徴
とする高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供するに
ある。
ホウ素換算で０．０５重積置を越え、０．１５重置％未
満のホウ素化合物と炭化ケイ素中に含有される炭素との
総量が４重量％を越え８重置％未満の炭素となる如く炭
化可能な有機物（但し、タールピッチは除く）を添加混
合し成型した成形体を、真空中１ｏｏｏ〜２０００℃の
温度に加熱しついで不活性雰囲気中２３００℃以下の温
度で焼結させ、ホウ素含を量が０．０３重量％を越え０
．１５重量％未満で、かつ該焼結体が理論密度の９５％
以上の密度を存する炭化ケイ素焼結体を得ることを特徴
とする高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供するに
ある。
く問題を解決するための手段〉
以下、本発明方法を更に詳細に説明する。
本発明方法で使用する炭化ケイ素粉末としては、平均粒
径１μ以下の主としてαあるいは非等輪島系の結晶形態
を有する炭化ケイ素からなる炭化ケイ素粉末が好適であ
るが、α型の代わりに約３０重量％までのβ型炭化ケイ
素粉末を混合して用いることも可能である。
径１μ以下の主としてαあるいは非等輪島系の結晶形態
を有する炭化ケイ素からなる炭化ケイ素粉末が好適であ
るが、α型の代わりに約３０重量％までのβ型炭化ケイ
素粉末を混合して用いることも可能である。
これら炭化ケイ素中には、約０．２〜約２゜０重量％の
付加的炭素が包含されているのが一般的であり、本発明
に適用する炭化ケイ素粉末も例外ではない。
付加的炭素が包含されているのが一般的であり、本発明
に適用する炭化ケイ素粉末も例外ではない。
本発明においては炭化ケイ素粉末に対しホウ素換算で約
０．０５重量％を越え約０．１５重量％未満、より好ま
しくは約０．０８重重看〜０．１３重量％のホウ素化合
物と炭化ケイ素粉末中に含有される付加的炭素をも含め
て総量で約４重量％を越え約８重量％未満、より好まし
くは約４．５重量％〜約６重量％の炭素となる炭化可能
な有機物を存在せしめるが、炭化ケイ素粉末に対するホ
ウ素化合物の添加量がホウ素に換算して約０．０５重量
％以下の場合には高密度焼結体が得られ難く、他方約０
．１５重型置以上の場合には、焼結温度や時間により、
焼結体に粗大粒成長を生じ易く、焼結体の機械的強度が
低下する。
０．０５重量％を越え約０．１５重量％未満、より好ま
しくは約０．０８重重看〜０．１３重量％のホウ素化合
物と炭化ケイ素粉末中に含有される付加的炭素をも含め
て総量で約４重量％を越え約８重量％未満、より好まし
くは約４．５重量％〜約６重量％の炭素となる炭化可能
な有機物を存在せしめるが、炭化ケイ素粉末に対するホ
ウ素化合物の添加量がホウ素に換算して約０．０５重量
％以下の場合には高密度焼結体が得られ難く、他方約０
．１５重型置以上の場合には、焼結温度や時間により、
焼結体に粗大粒成長を生じ易く、焼結体の機械的強度が
低下する。
また、炭化ケイ素粉末に対する炭化可能な有機物量が炭
化ケイ素粉末中に含有される付加的炭素をも加えて炭素
としての総量が約４重量％以下の場合には、高密度焼結
体を得ることができず、他方約８重量％を越える添加は
、焼結体の機械的強度が低下するので好ましくない。
化ケイ素粉末中に含有される付加的炭素をも加えて炭素
としての総量が約４重量％以下の場合には、高密度焼結
体を得ることができず、他方約８重量％を越える添加は
、焼結体の機械的強度が低下するので好ましくない。
本発明方法の実施において使用し得るホウ素化合物とし
ては特に制限されないが、一般には対象とする焼結体の
焼結温度まで安定に存在し、かつホウ素含有量の高い化
合物が望ましく、具体的にはホウ素、炭化ホウ素等が挙
げられる。
ては特に制限されないが、一般には対象とする焼結体の
焼結温度まで安定に存在し、かつホウ素含有量の高い化
合物が望ましく、具体的にはホウ素、炭化ホウ素等が挙
げられる。
炭化可能な有機物としては、３０重量％以上の炭化率を
有する有ｊａｉ’ｊｌ剤可溶性の高分子材料（但し、ク
ールピッチは除く）であればよく、例えばフェノール樹
脂、フラン樹脂、レゾルシン樹脂、アニリン樹脂、クレ
ゾール樹脂あるいはポリイミド系またはポリアクリロニ
トリル系樹脂等が挙げられる。
有する有ｊａｉ’ｊｌ剤可溶性の高分子材料（但し、ク
ールピッチは除く）であればよく、例えばフェノール樹
脂、フラン樹脂、レゾルシン樹脂、アニリン樹脂、クレ
ゾール樹脂あるいはポリイミド系またはポリアクリロニ
トリル系樹脂等が挙げられる。
本発明において、上記組成配合となる如く構成した炭化
ケイ素粉末とホウ素化合物と炭化可能な有機物はベンゼ
ン、キノリン、アセトン等の有機溶媒及び／または水を
用いて均一に混合した後スリップキャスティング成形す
るか、あるいはスプレードライ法により造粒しプレス成
形法により加圧成形するか、あるいは有機バインダーを
混合し、押出成形や射出成形等により一成形体を得れば
よい。
ケイ素粉末とホウ素化合物と炭化可能な有機物はベンゼ
ン、キノリン、アセトン等の有機溶媒及び／または水を
用いて均一に混合した後スリップキャスティング成形す
るか、あるいはスプレードライ法により造粒しプレス成
形法により加圧成形するか、あるいは有機バインダーを
混合し、押出成形や射出成形等により一成形体を得れば
よい。
このようにして得た成形体は必要に応じて機械加工や脱
バインダー処理を行った後、真空中で約１０００℃以上
、好ましくは１５００℃以上の温度に昇温し、更にアル
ゴン、ヘリウム、窒素等の不活性雰囲気中で約２３００
℃以下の温度で焼結を行う。
バインダー処理を行った後、真空中で約１０００℃以上
、好ましくは１５００℃以上の温度に昇温し、更にアル
ゴン、ヘリウム、窒素等の不活性雰囲気中で約２３００
℃以下の温度で焼結を行う。
真空度は、炭化可能な有機物が均一かつ十分に熱分解す
る条件を満足すればよく、通常約ＩＱｔｏｒｒ以上好ま
しくは約１０−’ｔｏｒｒ以上、より好ましくは１０−
’〜１０−”ｔ ｏ ｒ ｒである。
る条件を満足すればよく、通常約ＩＱｔｏｒｒ以上好ま
しくは約１０−’ｔｏｒｒ以上、より好ましくは１０−
’〜１０−”ｔ ｏ ｒ ｒである。
本発明方法において真空中での加熱温度が約１ｏｏｏ℃
未満の場合、炭化可能な有機物の熱分解が十分でない。
未満の場合、炭化可能な有機物の熱分解が十分でない。
一方、約２０００℃を超える温度では、通常工業的に使
用される黒鉛発熱体を用いた焼結炉では、発熱体炉材の
耐久性に問題があるため好ましくない。
用される黒鉛発熱体を用いた焼結炉では、発熱体炉材の
耐久性に問題があるため好ましくない。
焼結温度は、約２３００℃以下であり、２３００℃以上
を越える温度では、高密度化に利点を見い出せず、また
炭化ケイ素の熱分解も生じ好ましくない。
を越える温度では、高密度化に利点を見い出せず、また
炭化ケイ素の熱分解も生じ好ましくない。
一方、約２０００℃以下の温度では高密度焼結体が得ら
れない場合もあり、約２０５０〜２２５０℃が好ましい
焼結温度である。
れない場合もあり、約２０５０〜２２５０℃が好ましい
焼結温度である。
真空から不活性雰囲気に切変える温度及び時間は成形体
中に含有される炭素量や使用する真空度等により一義的
でないが通常真空度、ＩＯ−”１０−’ｔ ｏ ｒ ｒ
で温度１５００〜２０００℃、１〜１０時間加熱した後
、不活性雰囲気中で焼結する方法が挙げられる。
中に含有される炭素量や使用する真空度等により一義的
でないが通常真空度、ＩＯ−”１０−’ｔ ｏ ｒ ｒ
で温度１５００〜２０００℃、１〜１０時間加熱した後
、不活性雰囲気中で焼結する方法が挙げられる。
本発明において、何故に高密度炭化ケイ素焼結体が得ら
れるか明らかでないが、炭化可能な有機物が熱分解する
ｔｏｏｏ℃以下の温度で雰囲気を真空にすることにより
、熱分解後の炭素が焼結を促進する構造になると考えら
れる。
れるか明らかでないが、炭化可能な有機物が熱分解する
ｔｏｏｏ℃以下の温度で雰囲気を真空にすることにより
、熱分解後の炭素が焼結を促進する構造になると考えら
れる。
さらに１０００℃以上では真空雰囲気が炭化ケイ素粉末
表面の酸化層の除去に好ましい働きをすると考えられる
。
表面の酸化層の除去に好ましい働きをすると考えられる
。
この効果は焼結が進行し始める約１８００℃の温度まで
は高温になるほど有効に作用する。
は高温になるほど有効に作用する。
以上詳述した本発明方法によれば、炭化ケイ素粉末に炭
素含有物質とホウ素化合物を特定量範囲で焼結助剤とし
て添加存在せしめて成形体を形成し、次いで真空中で特
定温度以上に加熱し、引続き不活性雰囲気中で加熱焼結
せしめるという二段階加熱方式を採用することにより、
ホウ素含有量が０．０３重量％を越え０．１５重量％未
満で炭素含有量が２．０重量％以下でありかつ、理論密
度の９５％以上の密度を有する機械的強度、硬度にも優
れた高密度炭化珪素焼結体を得ることを可能ならしめた
もので、タービン翼、ポンプ部品、抄紙機械部品等の工
業材料の製造方法としてその工業的価値は頻る大なるも
のである。
素含有物質とホウ素化合物を特定量範囲で焼結助剤とし
て添加存在せしめて成形体を形成し、次いで真空中で特
定温度以上に加熱し、引続き不活性雰囲気中で加熱焼結
せしめるという二段階加熱方式を採用することにより、
ホウ素含有量が０．０３重量％を越え０．１５重量％未
満で炭素含有量が２．０重量％以下でありかつ、理論密
度の９５％以上の密度を有する機械的強度、硬度にも優
れた高密度炭化珪素焼結体を得ることを可能ならしめた
もので、タービン翼、ポンプ部品、抄紙機械部品等の工
業材料の製造方法としてその工業的価値は頻る大なるも
のである。
以下実施例により本発明を更に詳細に説明する。
実施例１
液状ノボラック型フェノール樹脂（スミライトレジンＰ
Ｒ−９４０Ｃ：住友ベークライト製、炭素収率４１％）
ｌ１ｇ、ポリビニルアルコール１０重量％水溶液（タラ
レボバール２０５：■クラレ製）１０ｇ、水１９０ｃｃ
と炭素０．３４重量％を含有する炭化ケイ素含有量９８
％、ＢＥＴ比表面積１０ｒ＋？／ｇのα型炭化珪索（Ｕ
Ｆ−１（ｌロンザ社製）１００ｇと１２００メツシユパ
スの炭化ホウ素（デンカボロン：１！気化学製）０．１
５ｇを加え、プラスチックボールミルを用い３時間分散
混合した。
Ｒ−９４０Ｃ：住友ベークライト製、炭素収率４１％）
ｌ１ｇ、ポリビニルアルコール１０重量％水溶液（タラ
レボバール２０５：■クラレ製）１０ｇ、水１９０ｃｃ
と炭素０．３４重量％を含有する炭化ケイ素含有量９８
％、ＢＥＴ比表面積１０ｒ＋？／ｇのα型炭化珪索（Ｕ
Ｆ−１（ｌロンザ社製）１００ｇと１２００メツシユパ
スの炭化ホウ素（デンカボロン：１！気化学製）０．１
５ｇを加え、プラスチックボールミルを用い３時間分散
混合した。
窒素ガスを流しながら６０℃で乾燥し、解砕した後１８
０メツシユの篩を通し、得られた混合粉末を冷間ブレス
後ゴム型に装入し、１．５トン／ｃｄの成形圧で静水圧
プレス成形を行い、５０Ｘ３５Ｘ５鶴の成形体を作製し
た。
０メツシユの篩を通し、得られた混合粉末を冷間ブレス
後ゴム型に装入し、１．５トン／ｃｄの成形圧で静水圧
プレス成形を行い、５０Ｘ３５Ｘ５鶴の成形体を作製し
た。
この成形体を１０−” 〜ｌ Ｏ−”ｔ ｏ ｒ ｒの
真空下で常温より１００℃／ ｈ ｒの昇温速度で６０
０℃まで加熱し、さらに４００℃／ ｈ ｒの昇温速度
でｔｓｏｏ℃まで４温し、３０分間保持しつつアルゴン
ガスを導入した。
真空下で常温より１００℃／ ｈ ｒの昇温速度で６０
０℃まで加熱し、さらに４００℃／ ｈ ｒの昇温速度
でｔｓｏｏ℃まで４温し、３０分間保持しつつアルゴン
ガスを導入した。
７５Ｑｔｏｒｒに達した後アルゴンガス雰囲気下５０℃
／ ｈ ｒの昇温速度で２１２５℃に加熱し、２１２５
℃の温度条件で２時間焼結した。
／ ｈ ｒの昇温速度で２１２５℃に加熱し、２１２５
℃の温度条件で２時間焼結した。
得られた焼結体の焼結密度は３．１７ｇ／ｄ、３点曲げ
試験（試料寸法４Ｘ３Ｘ４Ｑｗｍ、スパン３０ｆｌ）に
よる曲げ強度は５ Ｑ ｋｇ／ｍ” 、マイクロビッカ
ース硬度（荷重１ ｂＸ １５ｓｅｃ）は２４６０ｋｇ
／鶴寡であり焼結体中の残存ホウ素量は０゜０８重重景
、残存炭素量は０．４重量％であった。尚、顕微鏡観察
による焼結体の組織は均一であった。
試験（試料寸法４Ｘ３Ｘ４Ｑｗｍ、スパン３０ｆｌ）に
よる曲げ強度は５ Ｑ ｋｇ／ｍ” 、マイクロビッカ
ース硬度（荷重１ ｂＸ １５ｓｅｃ）は２４６０ｋｇ
／鶴寡であり焼結体中の残存ホウ素量は０゜０８重重景
、残存炭素量は０．４重量％であった。尚、顕微鏡観察
による焼結体の組織は均一であった。
実施例２
原料炭化ケイ素粉末としてα型炭化ケイ素粉末を７５重
量部に減らし、２５重量部を炭素０．５９重重景を含を
する炭化ケイ素含有１！９８％、ＢＥＴ比表面積２０ｒ
ｄ／ｇのβ型炭化ケイ素粉末（ベータランダムウルトラ
ファイン：■イビデン！りを用いた他は、実施例１と同
一条件で成形体を作成、焼成及び焼結した。
量部に減らし、２５重量部を炭素０．５９重重景を含を
する炭化ケイ素含有１！９８％、ＢＥＴ比表面積２０ｒ
ｄ／ｇのβ型炭化ケイ素粉末（ベータランダムウルトラ
ファイン：■イビデン！りを用いた他は、実施例１と同
一条件で成形体を作成、焼成及び焼結した。
得られた焼結体の焼結密度は３．１４ｇ／ｃｄ。
曲げ強度は５５ｋｇ／箇８、硬度２３８０ｋｇ／鶴８で
あり、焼結体中の残存ホウ素は０．０８重重景、残存炭
素は０．８重１％であった。
あり、焼結体中の残存ホウ素は０．０８重重景、残存炭
素は０．８重１％であった。
比較例１
実施例１と同じ条件で作成した成形体を真空下で焼成せ
ず、直接アルゴンガスを流しながら６００℃の温度で３
時間の焼成を行った後アルゴンガス雰囲気下２１２５℃
の温度条件で２時間焼結した。
ず、直接アルゴンガスを流しながら６００℃の温度で３
時間の焼成を行った後アルゴンガス雰囲気下２１２５℃
の温度条件で２時間焼結した。
得られた焼結体の焼結密度は２．８５ｇ／ｃｄ、曲げ強
度は２７ｋｇ／ｍ”硬度１９００ｋｇ／１ｍ”であり、
焼結体中の残存ホウ素量は０．０８重量％、残存炭素量
は２．４重量％であった。
度は２７ｋｇ／ｍ”硬度１９００ｋｇ／１ｍ”であり、
焼結体中の残存ホウ素量は０．０８重量％、残存炭素量
は２．４重量％であった。
実施例３〜８
第１表に記載の条件で成形体を形成、焼結し、得られた
焼結体の物性を測定した。
焼結体の物性を測定した。
その結果を第１表に示す。
比較例２〜７
第２表に記載の条件で成形体を形成、焼結し、得られた
焼結体の物性を測定した。
焼結体の物性を測定した。
その結果を第２表に示す。
Claims (1)
- （１）α型を主体とする炭化ケイ素粉末にホウ素換算で
０．０５重量％を越え、０．１５重量％未満のホウ素化
合物と炭化ケイ素中に含有される炭素との総量が４重量
％を越え８重量％未満の炭素となる如く炭化可能な有機
物（但し、タールピッチは除く）を添加混合し成型した
成形体を、真空中１０００〜２０００℃の温度に加熱し
ついで不活性雰囲気中２３００℃以下の温度で焼結させ
、ホウ素含有量が０．０３重量％を越え０．１５重量％
未満で、かつ該焼結体が理論密度の９５％以上の密度を
有する炭化ケイ素焼結体を得ることを特徴とする高密度
炭化ケイ素焼結体の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204831A JPH089504B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| US06/925,919 US4788018A (en) | 1986-08-29 | 1986-11-03 | Method for producing high-density sintered silicon carbide articles |
| AU64821/86A AU585404B2 (en) | 1986-08-29 | 1986-11-03 | A method for producing high-density sintered silicon carbide articles |
| EP86115461A EP0257134B1 (en) | 1986-08-29 | 1986-11-07 | A method for producing high-density sintered silicon carbide articles |
| CA000522454A CA1281173C (en) | 1986-08-29 | 1986-11-07 | Method for producting high-density sintered silicon carbide articles |
| DE8686115461T DE3679672D1 (de) | 1986-08-29 | 1986-11-07 | Verfahren zur herstellung gesinterter siliziumcarbidartikel hoher dichte. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61204831A JPH089504B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360159A true JPS6360159A (ja) | 1988-03-16 |
| JPH089504B2 JPH089504B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=16497106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61204831A Expired - Lifetime JPH089504B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4788018A (ja) |
| EP (1) | EP0257134B1 (ja) |
| JP (1) | JPH089504B2 (ja) |
| AU (1) | AU585404B2 (ja) |
| CA (1) | CA1281173C (ja) |
| DE (1) | DE3679672D1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01242465A (ja) * | 1988-03-23 | 1989-09-27 | Showa Denko Kk | 炭化珪素焼結体およびその摺動部材の製造方法 |
| US5354527A (en) * | 1992-02-21 | 1994-10-11 | The Carborundum Company | Process for making silicon carbide ceramic fibers |
| FR2715398B1 (fr) * | 1994-01-27 | 1996-04-12 | Ceramiques Composites | Procédé de fabrication de matériaux céramiques de carbure de silicium, essentiellement de forme alpha et matériaux céramiques obtenus notamment par ledit procédé. |
| JP4086936B2 (ja) * | 1996-10-03 | 2008-05-14 | 株式会社ブリヂストン | ダミーウェハ |
| JP3929140B2 (ja) * | 1997-10-27 | 2007-06-13 | 日本碍子株式会社 | 耐蝕性部材およびその製造方法 |
| US6555031B2 (en) * | 2000-06-19 | 2003-04-29 | Corning Incorporated | Process for producing silicon carbide bodies |
| CN101579734A (zh) * | 2009-06-22 | 2009-11-18 | 上海兴罗特种密封件有限公司 | 一种耐压且致密性优越的粉末冶金材料及用途 |
| JP2013500226A (ja) * | 2009-07-24 | 2013-01-07 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 高靱性セラミック複合材料 |
| CN106238682A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-12-21 | 马文清 | 无机非金属固体永久铸型铸造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6317258A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-25 | 株式会社東芝 | 炭化珪素焼結体及びその製造方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4312954A (en) * | 1975-06-05 | 1982-01-26 | Kennecott Corporation | Sintered silicon carbide ceramic body |
| US4455385A (en) * | 1975-06-30 | 1984-06-19 | General Electric Company | Silicon carbide sintered body |
| US4237085A (en) * | 1979-03-19 | 1980-12-02 | The Carborundum Company | Method of producing a high density silicon carbide product |
| JPS55167177A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-26 | Ngk Spark Plug Co | Manufacture of silicon carbide heating body |
| US4318876A (en) * | 1979-10-19 | 1982-03-09 | Societe Anonyme Dite: Compagnie Generale D'electricite | Method of manufacturing a dense silicon carbide ceramic |
| US4668452A (en) * | 1980-02-26 | 1987-05-26 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Process for producing silicon carbide heating elements |
| JPS59184769A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | 日立化成工業株式会社 | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| US4579704A (en) * | 1983-04-14 | 1986-04-01 | National Institute For Research In Inorganic Materials | Process for sintering cubic system silicon carbide powder |
| JPS60155573A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-15 | イビデン株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
| JPS60186467A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-21 | イビデン株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
| AU570309B2 (en) * | 1984-03-26 | 1988-03-10 | Unisearch Limited | Buried contact solar cell |
| JPS60200861A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | 住友化学工業株式会社 | 高強度炭化珪素焼結体の製造方法 |
| JPS60221365A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-06 | 住友化学工業株式会社 | 高強度炭化珪素焼結体の製造法 |
| ZA854003B (en) * | 1984-08-29 | 1986-01-29 | Kennecott Corp | Sintered silicon carbide/carbon composite ceramic body having ultrafine grain microstructure |
| JPH0625038B2 (ja) * | 1985-05-22 | 1994-04-06 | 住友化学工業株式会社 | 耐摩耗性炭化珪素焼結体の製造方法 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61204831A patent/JPH089504B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-03 US US06/925,919 patent/US4788018A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-03 AU AU64821/86A patent/AU585404B2/en not_active Ceased
- 1986-11-07 EP EP86115461A patent/EP0257134B1/en not_active Expired
- 1986-11-07 CA CA000522454A patent/CA1281173C/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-07 DE DE8686115461T patent/DE3679672D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6317258A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-25 | 株式会社東芝 | 炭化珪素焼結体及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA1281173C (en) | 1991-03-12 |
| JPH089504B2 (ja) | 1996-01-31 |
| EP0257134B1 (en) | 1991-06-05 |
| AU6482186A (en) | 1988-03-03 |
| DE3679672D1 (de) | 1991-07-11 |
| AU585404B2 (en) | 1989-06-15 |
| US4788018A (en) | 1988-11-29 |
| EP0257134A1 (en) | 1988-03-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4692418A (en) | Sintered silicon carbide/carbon composite ceramic body having fine microstructure | |
| US7723247B2 (en) | Method for pressurelessly sintering zirconium diboride/silicon carbide composite bodies to high densities | |
| JPS6228109B2 (ja) | ||
| US20090048087A1 (en) | High-density pressurelessly sintered zirconium diboride/silicon carbide composite bodies and a method for producing the same | |
| US4135937A (en) | High density hot pressed thermal shock resistant silicon carbide | |
| US20110227259A1 (en) | Methods of forming sintered boron carbide | |
| JPH0251863B2 (ja) | ||
| JPS6360159A (ja) | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| EP0178753B1 (en) | Process for producing a sintered silicon carbide/carbon composite ceramic body having ultrafine grain microstructure | |
| JPS60200861A (ja) | 高強度炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| KR100299099B1 (ko) | 액상 반응소결에 의한 탄화규소 세라믹 밀봉재의 제조방법 | |
| JPS5891065A (ja) | 炭化珪素質セラミツクス焼結体の製造法 | |
| US4770829A (en) | Method for producing sintered silicon carbide product | |
| JPS6034515B2 (ja) | 炭化珪素質セラミックス焼結体の製造法 | |
| JPS61256976A (ja) | 高密度炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH0481542B2 (ja) | ||
| JPS63117962A (ja) | 炭化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPS61242959A (ja) | 高強度炭化珪素焼結体の製造法 | |
| JPS5817146B2 (ja) | 高密度炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS6227030B2 (ja) | ||
| JPH0818886B2 (ja) | 多孔質炭化ケイ素質材料の製造法 | |
| JPS6321252A (ja) | 炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS61122165A (ja) | 炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS62108770A (ja) | 炭化珪素焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0733285B2 (ja) | 炭化珪素焼結体の製造方法 |