JPS62182540A - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
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- JPS62182540A JPS62182540A JP61022395A JP2239586A JPS62182540A JP S62182540 A JPS62182540 A JP S62182540A JP 61022395 A JP61022395 A JP 61022395A JP 2239586 A JP2239586 A JP 2239586A JP S62182540 A JPS62182540 A JP S62182540A
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- Japan
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- air
- fan
- chamber
- casing
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 8
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
−３−発」奥詳−＠卒１−
（産業上の利用分野）
本発明は、空気を浄化する空気清浄装置に関し。
特に軽量・薄型であって、塵埃の捕集効率に優れ。
さらには浄化された空気が層流となって排出される空気
清浄装置に関する。
清浄装置に関する。
（従来の技術）
半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオテクノロ
ジー、製薬工業などの分野においては。
ジー、製薬工業などの分野においては。
超高度の清浄空間が必要とされる。清浄空間には。
作業環境全域を清浄化するクリーンルーム、作業環境を
局部的に清浄化するクリーンベンチやクリーンブースな
どがある。このような清浄空間を形成するために、ファ
ンとエアーフィルターとを組合わせた空気清浄装置が用
いられる。
局部的に清浄化するクリーンベンチやクリーンブースな
どがある。このような清浄空間を形成するために、ファ
ンとエアーフィルターとを組合わせた空気清浄装置が用
いられる。
従来の空気清浄装置では、ファンから送出される空気流
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると５エアーフイルターから
排出される空気は乱流となる。該乱流が１例えばクリー
ンルーム内に吹出されると、塵埃が対流するので高度の
清浄度が得られない。
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると５エアーフイルターから
排出される空気は乱流となる。該乱流が１例えばクリー
ンルーム内に吹出されると、塵埃が対流するので高度の
清浄度が得られない。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、その
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ１例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも低騒音で
ある空気清浄装置を提供することにある。
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ１例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも低騒音で
ある空気清浄装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の空気清浄装置は５ケーシング内を、気流流入側
と気流排出側との二室に分割すると共に。
と気流排出側との二室に分割すると共に。
両室を連通ずる連通口を有する盲板と、ケーシング内の
気流流入側の室内に配設されたファンと。
気流流入側の室内に配設されたファンと。
ケーシング内の気流排出側の室内に配設されたエアーフ
ィルターと、前記連通口に配設され、気流流入側のファ
ン室に配設されたファンから送出された気流を、フィル
ター室に配設されたエアーフィルターに導く気流案内具
と、を具備してなりそのことにより上記目的が達成され
る。
ィルターと、前記連通口に配設され、気流流入側のファ
ン室に配設されたファンから送出された気流を、フィル
ター室に配設されたエアーフィルターに導く気流案内具
と、を具備してなりそのことにより上記目的が達成され
る。
また１本発明の空気清浄装置は、ケーシング内を、気流
流入側と気流排出側との二室に分割すると共に１画室を
連通ずる連通口を有する盲板と。
流入側と気流排出側との二室に分割すると共に１画室を
連通ずる連通口を有する盲板と。
ケーシング内の気流流入側の室内に配設されたファンと
、ケーシング内の気流排出側の室内に配設されたエアー
フィルターと、前記盲板に立設され、前記連通口と気流
流入側のファン室との連通部の一部を閉塞する遮蔽板と
、を具備してなり。
、ケーシング内の気流排出側の室内に配設されたエアー
フィルターと、前記盲板に立設され、前記連通口と気流
流入側のファン室との連通部の一部を閉塞する遮蔽板と
、を具備してなり。
そのことにより上記目的が達成される。
さらに本発明の空気清浄装置はケーシング内を。
気流流入側と気流排出側との王室に分割すると共に、両
室を連通ずる連通口を有する盲板と、ケーシング内の気
流流入側の室内に配設されたファンと、ケーシング内の
気流排出側の室内に配設されたエアーフィルターと、前
記連通口に配設され。
室を連通ずる連通口を有する盲板と、ケーシング内の気
流流入側の室内に配設されたファンと、ケーシング内の
気流排出側の室内に配設されたエアーフィルターと、前
記連通口に配設され。
気流流入側のファン室に配設されたファンから送出され
た気流を、フィルター室に配設されたエアーフィルター
に導く気流案内具と、前記盲板に立設され、前記連通口
とファン室との連通部の一部を閉塞する遮蔽板と、を具
備してなり、そのことにより上記目的が達成される。
た気流を、フィルター室に配設されたエアーフィルター
に導く気流案内具と、前記盲板に立設され、前記連通口
とファン室との連通部の一部を閉塞する遮蔽板と、を具
備してなり、そのことにより上記目的が達成される。
（実施例）
以下に本発明の実施例について説明する。
本発明の空気清浄装置は、ケーシングＩ内に配設された
ファン２と、エアーフィルター３と、盲板４と、気流案
内具５と１遮蔽板６とを有する。
ファン２と、エアーフィルター３と、盲板４と、気流案
内具５と１遮蔽板６とを有する。
ケーシング１は薄型直方体状をしており、ファンの軸心
に沿って気流が通過し、該ケーシング内を通過する間に
空気は浄化される。該ケーシング１内は、盲板４により
１気流流入側のファン室１１と気流排出側のフィルター
室１２との王室に分割されている。盲板４の４つの周側
面のうち３側面は。
に沿って気流が通過し、該ケーシング内を通過する間に
空気は浄化される。該ケーシング１内は、盲板４により
１気流流入側のファン室１１と気流排出側のフィルター
室１２との王室に分割されている。盲板４の４つの周側
面のうち３側面は。
ケーシング１の３つの側面に当接しているが、他の１つ
の側面は、ケーシングＩの側面から離隔してファン室１
１とフィルター室１２とを連通ずる連通口１３を形成し
ている。
の側面は、ケーシングＩの側面から離隔してファン室１
１とフィルター室１２とを連通ずる連通口１３を形成し
ている。
ケーシング１内のファン室１１内には、ファン２が配設
されている。該ファン２は、その軸心に沿って空気を吸
引し、その吸引方向とは直交する面に沿って空気を送出
する。該ファン２の送出口２１は、送出される気流が該
ファン室１１を盲板４の平面に沿って略１／４周して連
通口１３内に導入されるように配設されている。
されている。該ファン２は、その軸心に沿って空気を吸
引し、その吸引方向とは直交する面に沿って空気を送出
する。該ファン２の送出口２１は、送出される気流が該
ファン室１１を盲板４の平面に沿って略１／４周して連
通口１３内に導入されるように配設されている。
連通口１３の周縁部を形成する盲板４の側縁部には遮蔽
板６が立設されている。該遮蔽板６は、連通口の一側部
、すなわちファン２から送出される気流の移動方向下流
側部分に立設されており、この部分のファン室１１と連
通口１３との連通部を閉塞している。該遮蔽板６はファ
ン２とは気密に接しでおり、ファン２から送出される気
流は、ファン室内を略１ノ４周して連通口１３内に導入
され、ファン２を周回することはない。
板６が立設されている。該遮蔽板６は、連通口の一側部
、すなわちファン２から送出される気流の移動方向下流
側部分に立設されており、この部分のファン室１１と連
通口１３との連通部を閉塞している。該遮蔽板６はファ
ン２とは気密に接しでおり、ファン２から送出される気
流は、ファン室内を略１ノ４周して連通口１３内に導入
され、ファン２を周回することはない。
ケーシング−のフィルター室１２内には、盲板４とは所
定間隔をあけてエアーフィルター３が設けられている。
定間隔をあけてエアーフィルター３が設けられている。
該エアーフィルター３は、ケーシング−の四周面に対し
気密状に取付けられている。
気密状に取付けられている。
ファン室１１とフィルター室１２とを連通ずる連通口１
３には、気流案内具５が配設されている。該気流案内具
５は、弧状に屈曲した２枚のガイドベーン５１．５２と
１両ガイドベーン５１．５２の両端部に取付けられ２両
ガイドベーン５１．５２を所定長離隔させて略平行状態
に固定する固定板５３とを有する。
３には、気流案内具５が配設されている。該気流案内具
５は、弧状に屈曲した２枚のガイドベーン５１．５２と
１両ガイドベーン５１．５２の両端部に取付けられ２両
ガイドベーン５１．５２を所定長離隔させて略平行状態
に固定する固定板５３とを有する。
内側に位置するガイドベーン５１は１例えばパンチング
メタルを用いた編状に形成されており、外側に位置する
ガイドベーン５２は１例えば金属板にて構成される。該
気流案内具５は、連通口１３の全域にわたって嵌合され
ており、内側のガイドベーン５１のファン室１１内に延
出する側部はケーシング１の気流流入側面に達しており
、他方の側部は盲板４に当接している。外側のガイドベ
ーン５２は内側のガイドベーン５１に対してフィルター
室１２側にずれて配置されており、ファン室１１内に延
出した側部は、ケーシング１の気流流入側面とは若干離
隔り、他方の側部はフィルター室１２のエアーフィルタ
ー３の近傍に位置している。
メタルを用いた編状に形成されており、外側に位置する
ガイドベーン５２は１例えば金属板にて構成される。該
気流案内具５は、連通口１３の全域にわたって嵌合され
ており、内側のガイドベーン５１のファン室１１内に延
出する側部はケーシング１の気流流入側面に達しており
、他方の側部は盲板４に当接している。外側のガイドベ
ーン５２は内側のガイドベーン５１に対してフィルター
室１２側にずれて配置されており、ファン室１１内に延
出した側部は、ケーシング１の気流流入側面とは若干離
隔り、他方の側部はフィルター室１２のエアーフィルタ
ー３の近傍に位置している。
このような構成の空気清浄装置は、ファン２により、そ
の軸方向に沿って空気をファン２内に吸引し、該ファン
２は、その送出口２１から、吸引方向とは直交する面に
沿って気流をファン室１１内に送出する。ファン２の送
出口２１から送出される気流は、ケーシング１の側面に
沿ってファン室１１内を略１／４周し、遮蔽板６にて閉
塞された部分以外の連通口１３とファン室１１の連通部
を通って連通口１３内に導入され、気流案内具５の内側
の網状のガイドベーン５１を通過して、外側のガイドベ
ーン５２に案内され、フィルター室１２内に導入される
。
の軸方向に沿って空気をファン２内に吸引し、該ファン
２は、その送出口２１から、吸引方向とは直交する面に
沿って気流をファン室１１内に送出する。ファン２の送
出口２１から送出される気流は、ケーシング１の側面に
沿ってファン室１１内を略１／４周し、遮蔽板６にて閉
塞された部分以外の連通口１３とファン室１１の連通部
を通って連通口１３内に導入され、気流案内具５の内側
の網状のガイドベーン５１を通過して、外側のガイドベ
ーン５２に案内され、フィルター室１２内に導入される
。
ファン２の送出口２１から送出される回転気流は。
ファン室１１の内側が遅く、外側が速いため、該気流の
動圧は不均一になっている。このような不均一な動圧を
有する気流は、ファン室１１を略１／４周する間にその
動圧が平均化される。そして、動圧が平均化された気流
は、気流案内具５の内側に位置する網状のガイドベーン
５１を通過する間に、その動圧がさらに均一化されると
共に整流化され。
動圧は不均一になっている。このような不均一な動圧を
有する気流は、ファン室１１を略１／４周する間にその
動圧が平均化される。そして、動圧が平均化された気流
は、気流案内具５の内側に位置する網状のガイドベーン
５１を通過する間に、その動圧がさらに均一化されると
共に整流化され。
外側のガイドベーン５２に案内されて、フィルター室Ｉ
２内に導入される。フィルター室１２内に導入された気
流はエアーフィルター３を通ってケーシング１外へ排出
される。排出される気流は、フィルター室１２内にその
動圧が均一化されて導入されているため層流となり、エ
アーフィルター３を通過する間に浄化される。
２内に導入される。フィルター室１２内に導入された気
流はエアーフィルター３を通ってケーシング１外へ排出
される。排出される気流は、フィルター室１２内にその
動圧が均一化されて導入されているため層流となり、エ
アーフィルター３を通過する間に浄化される。
（発明の効果）
本発明の空気清浄装置は、このように、ファンから送出
される気流の流路が長く、また該気流は気流案内具に案
内されてエアーフィルターに導入されるため、エアーフ
ィルターに導入される気流は、その動圧が均一化された
整流となる。従って。
される気流の流路が長く、また該気流は気流案内具に案
内されてエアーフィルターに導入されるため、エアーフ
ィルターに導入される気流は、その動圧が均一化された
整流となる。従って。
該気流は均一な風速分布をもってゆるやかにエアーフィ
ルター内に導入され、エアーフィルターからは、浄化さ
れた気流が乱流を発生ずることなく。
ルター内に導入され、エアーフィルターからは、浄化さ
れた気流が乱流を発生ずることなく。
均一な動圧を有する層流として排出される。エアーフィ
ルターから排出される気流が層流であるため、クリーン
ルーム内の塵埃の滞留を防止し、高い清浄度が確実に得
られる。
ルターから排出される気流が層流であるため、クリーン
ルーム内の塵埃の滞留を防止し、高い清浄度が確実に得
られる。
また３本発明の空気清浄装置は、遮蔽板によりファン室
から送出される気流が、ファンを周回することなく、フ
ァン室内を略１ノ４周して連通口に導入されるため、気
流は確実に整流される。
から送出される気流が、ファンを周回することなく、フ
ァン室内を略１ノ４周して連通口に導入されるため、気
流は確実に整流される。
さらに、遮蔽板と気流案内具とを組合わせるごとにより
、さらに一層整流された層流が得られ。
、さらに一層整流された層流が得られ。
クリーンルーム内の塵埃の滞留が確実に防止される。
」−」性飢ｐ星屑象延班
第１図は本発明の空気清浄装置の一例を示す一部破断斜
視図、第２図はその横断面図である。
視図、第２図はその横断面図である。
１・・・ケーシング、２・・・ファン、３・・・エアー
フィルター、４・・・盲板、５・・・気流案内具、６・
・・遮蔽板。
フィルター、４・・・盲板、５・・・気流案内具、６・
・・遮蔽板。
１１・・・ファン室、１２・・・フィルター室、１３・
・・連通口。
・・連通口。
５１、５２・・・ガイドベーン。
以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ケーシング内を、気流流入側と気流排出側との二室
に分割すると共に、両室を連通する連通口を有する盲板
と、 ケーシング内の気流流入側の室内に配設されたファンと
、 ケーシング内の気流排出側の室内に配設されたエアーフ
ィルターと、 前記連通口に配設され、気流流入側のファン室に配設さ
れたファンから送出された気流を、フィルター室に配設
されたエアーフィルターに導く気流案内具と、 を具備する空気清浄装置。 ２、前記ファンは、空気吸引方向とは直交する面に沿っ
て気流を送出する特許請求の範囲第１項に記載の空気清
浄装置。 ３、前記気流案内具は、弧状の２枚のガイドベーンを略
平行に配設した特許請求の範囲第１項に記載の空気清浄
装置。 ４、前記案内具は、内側に位置するガイドベーンが網状
になっている特許請求の範囲第３項に記載の空気清浄装
置。 ５、ケーシング内を、気流流入側と気流排出側との二室
に分割すると共に、両室を連通する連通口を有する盲板
と、 ケーシング内の気流流入側の室内に配設されたファンと
、 ケーシング内の気流排出側の室内に配設されたエアーフ
ィルターと、 前記盲板に立設され、前記連通口と気流流入側のファン
室との連通部の一部を閉塞する遮蔽板と、を具備する空
気清浄装置。 ６、前記遮蔽板は、前記連通部におけるファン室の気流
の移動方向下流側に配設されている特許請求の範囲第５
項に記載の空気清浄装置。 ７、前記遮蔽板は、前記ファンから送出される気流が、
該ファンを周回しないように配設されている特許請求の
範囲第６項に記載の空気清浄装置。 ８、前記ファンから送出される気流はケーシング内の気
流流入側の室内を略１／４周して前記連通口を経て前記
気流案内具に導入される特許請求の範囲第７項に記載の
空気清浄装置。 ９、ケーシング内を、気流流入側と気流排出側との二室
に分割すると共に、両室を連通する連通口を有する盲板
と、 ケーシング内の気流流入側の室内に配設されたファンと
、 ケーシング内の気流排出側の室内に配設されたエアーフ
ィルターと、 前記連通口に配設され、気流流入側のファン室に配設さ
れたファンから送出された気流を、フィルター室に配設
されたエアーフィルターに導く気流案内具と、 前記盲板に立設され、前記連通口とファン室との連通部
の一部を閉塞する遮蔽板と、 を具備する空気清浄装置。 １０、前記ファンは、空気吸引方向とは直交する面に沿
って気流を送出する特許請求の範囲第９項に記載の空気
清浄装置。 １１、前記遮蔽板は、前記ファンから送出される気流が
該ファンを周回しないように配設されている特許請求の
範囲第１０項に記載の空気清浄装置。 １２、前記ファンから送出される気流はケーシング内の
気流流入側の室内を略１／４周して前記連通口を経て前
記気流案内具に導入される特許請求の範囲第１１項に記
載の空気清浄装置。 １３、前記気流案内具は、弧状の２枚のガイドベーンを
略平行に配設した特許請求の範囲第９項に記載の空気清
浄装置。 １４、前記案内具は、内側に位置するガイドベーンが網
状になっている特許請求の範囲第１３項に記載の空気清
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61022395A JPS62182540A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61022395A JPS62182540A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 空気清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182540A true JPS62182540A (ja) | 1987-08-10 |
| JPH0315104B2 JPH0315104B2 (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=12081467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61022395A Granted JPS62182540A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62182540A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01236911A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-09-21 | Hitachi Ltd | 空気清浄装置 |
| EP0340433A2 (de) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | BABCOCK-BSH AKTIENGESELLSCHAFT vormals Büttner-Schilde-Haas AG | Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik |
| JPH04916U (ja) * | 1990-04-17 | 1992-01-07 | ||
| JPH0427409A (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-30 | Nitta Ind Corp | 空気清浄装置 |
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-
1986
- 1986-02-04 JP JP61022395A patent/JPS62182540A/ja active Granted
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|---|---|
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