JPS62258722A

JPS62258722A - 空気清浄装置

Info

Publication number: JPS62258722A
Application number: JP8306786A
Authority: JP
Inventors: Riyouji Metoku; 目徳　良治; Hisato Uragami; 浦上　久人; Toshitaka Tamaoki; 玉置　稔隆; Keiji Yoshimura; 芳村　恵司
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1986-04-10
Filing date: 1986-04-10
Publication date: 1987-11-11
Also published as: JPH0228370B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、空気を浄化する空気清浄装置に関し。

特に軽量・薄型であって、塵埃の捕集効率に優れ。

さらには浄化された空気が層流となって排出される空気
清浄装置に関する。

（従来の技術）半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオテクノロ
ジー、製薬工業などの分野においては。

超高度の清浄空間が必要とされる。清浄空間には。

作業環境全域を清浄化するクリーンルーム、作業環境を
局部的に清浄化するクリーンベンチやクリーンブースな
どがある。このような清浄空間を形成するために、ファ
ンとエアーフィルターとを組合わせた空気清浄装置が用
いられる。

従来の空気清浄装置では、ファンから送出される空気流
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると。

エアーフィルターから排出される空気は乱流となる。該
乱流が１例えばクリーンルーム内に吹出されると、塵埃
が対流するので高度の清浄度が得られない。特に広域に
わたって空気を浄化すべく複数のファンが並設されてい
る場合には、各ファンから送出される気流が干渉し合い
、乱流が発生する。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、その
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ１例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも広範囲に
わたっての空気の清浄化が可能である空気清浄装置を提
供することにある。

（問題点を解決するための手段）本発明の空気清浄装置は、ケーシング内を二つの浄化室
に分割する仕切板と、各浄化室内を、気流流入側のファ
ン室と気流排出側のフィルター室とに分割すると共に、
各浄化室内のファン室とフィルター室を連通ずる連通口
をそれぞれ有する盲仮と、各浄化室内のファン室内にそ
れぞれ対向して配設されたファンと、各浄化室内のフィ
ルター室内にそれぞれ配設されたエアーフィルターと。

前記各連通口に配設され、各浄化室内のそれぞれのファ
ンから送出された気流をエアーフィルターに導く気流案
内具と、を具備してなり、そのことにより上記目的が達
成される。

また１本発明の空気清浄装置は、ケーシング内を二つの
浄化室内に分割する仕切板と、各浄化室内を気流流入側
のファン室と気流排出側のフィルター室とに分割すると
共に、各浄化室内のファン室とフィルター室を連通ずる
連通口をそれぞれ有する盲板と、各浄化室内のファン室
内にそれぞれ対向して配設されたファンと、各浄化室内
のフィルター室内に配設されたエアーフィルターと、前
記各連通口のファン室側の一部を閉塞する遮蔽板と、を
具備してなり、そのことにより上記目的が達成される。

さらに１本発明の空気清浄装置は、ケーシング内を二つ
の浄化室に分割する仕切板と、各浄化室内を気流流入側
のファン室と気流排出側のフィルター室とに分割すると
共に、各浄化室内のファン室とフィルター室を連通ずる
連通口をそれぞれ有する盲板と、各浄化室内のファン室
内にそれぞれ対向して配設されたファンと、各浄化室内
のフィルター室内に配設されたエアーフィルターと、前
記各連通口に配設され、各浄化室内のファンから送出さ
れた気流をエアーフィルターに辺く気流案内具と、前記
各連通口のファン室側の一部を閉塞する遮蔽板と、を具
備してなり、そのことにより上記目的が達成される。

（実施例）以下に本発明の実施例について説明する。

本発明の空気清浄装置は、第１図および第２図に示すよ
うに、ケーシング１内を２つの浄化室１０゜１０に分割
する仕切板７と、浄化室１０．１０内にそれぞれ配設さ
れたファン２．２およびエアーフィルター３．３とを有
する。

ケーシング１は薄型直方体状をしている。該ケーシング
１内は仕切板７により、２つの浄化室１０゜１０に分割
されている。各浄化室１０．１０内を空気が通流する間
に、該空気は浄化される。各浄化室１０は、盲板４によ
り気流流入側のファン室１１と、気流排出側のフィルタ
ー室１２とに分割される。各盲板４の４つの周側面のう
ち３側面は、浄化室１０の３つの周側面に当接している
が、他の１つの側面は、該浄化室１０の他の側面から離
隔しており、この離隔した部分にて、ファン室１１とフ
ィルター室１２とを連通ずる連通口１３を形成している
。

各浄化室１０内のファン室１１にはファン２が配設され
ている。各ファン２は、その軸心に沿って空気を吸引し
、その吸引方向とは略直交する面に沿って空気を送出す
る。各ファン２の送出口２１は。

ケーシングｌの中央に配設された仕切板７に対向してい
る。各浄化室１０の盲板４に形成された連通口１３には
、各浄化室１０内のファン２から送出される気流が導入
される。各盲板４には、連通口１３のファン室１１側の
一部を閉塞する遮蔽板６がそれぞれ取付けられている。

該遮蔽板６は、連通口１３のファン室１１内における気
流移動方向下流側を閉塞している。該遮蔽板６はファン
２とは気！に接しており、ファン２から送出される気流
は、ファン室１１内を周回することなく連通口１３内に
導入される。

各浄化室１０のフィルター室１２内には、盲板４とは所
定間隔をあけてエアーフィルター３がそれぞれ設けられ
ている。該エアーフィルター３は、ケーシングｌの四周
面に対し気密状に取付けられている。

各浄化室ｌＯにおけるファン室１１とフィルター室１２
とを連通ずる連通口Ｉ３には、気流案内具５がそれぞれ
配設されている。該気流案内具５は１例えば孤状に屈曲
した２枚のガイドベーン５１．５２ト。

両ガイドベーン５１．５２の両端部に取付けられ１両ガ
イドベーン５１．５２を所定長離隔させて略平行状態に
固定する固定Ｆｉ、５３とを有する。内側に位置するガ
イドベーン５１には、透孔が形成されている。

該透孔は１例えばパンチングメタル状；マルチスリット
状、格子状、綱状等に形成されている。外側に位置する
ガイドベーン５２は２例えば金属板にて（る５成される
。該気流案内具５は、連通口１３の全域にわたって嵌合
されている。内側のガイドベーン５１のファン室１１内
に延出する側部は各浄化室１０の気流流入側面に達して
おり、他方の側部は盲板４に当接している。外（ｉＱｌ
のガイドベーン５２は内側のガイドベーン５Ｉに対して
フィルター室１２側にずれて配置されており、ファン室
１１内に延出した側部は、各浄化室１０の気流流入側面
とは若干離隔し。

他方の側部はフィルター室１２のエアーフィルター３の
近傍に位置している。

なお、気流案内具のガイドベーンは、孤状である必要は
なく１例えば平板であってもよい。また。

ガイドベーンは２枚を配設する構成に限定されず。

１枚あるいは複数枚を配設し得る。

（作用）このような構成の空気清浄装置は、各浄化室１０内のフ
ァン２により、その軸方向に沿って空気をファン２内に
吸引し、該ファン２は、その送出口２１から、吸引力向
とは略直交する面に沿って気流をファン室１１内に送出
する。ファン２の送出口２１から送出される気流は、各
浄化室１０の側面に沿ってファン室１１内を移動し、遮
蔽板６にて閉塞された部分以外の部分を通って連通口１
３内に導入される。導入された気流は、気流案内具５の
内側のガイドベーン５１を通過して、外側のガイドベー
ン５２に案内され、フィルター室１２内に導入される。

各浄化室１０内のファン２の送出口２１から送出される
回転気流は、ファン室１１の内側が遅く、外側が速いた
め、該気流の動圧は不均一になっている。

このような不均一な動圧を有する気流は、ファン室１１
内でその動圧が平均化される。そして、動圧が平均化さ
れた気流は、気流案内具５の内側に位置するガイドベー
ン５１に衝突しその面上に拡散する。そしてそのガイド
ベーン５１を通過する間に。

その動圧がさらに均一化されると共に整流化され。

外側のガイドベーン５２に案内されて、フィルター室Ｉ
２内に導入される。フィルター室１２内に導入された気
流はエアーフィルター３を通って各浄化室外へ排出され
る。排出される気流は、各フィルター室１２内にその動
圧が均一化されて導入されているため層流となり、エア
ーフィルター３を通過する間に浄化される。

（発明の効果）本発明の空気清浄装置は、このように、ファンから送出
される気流の流路が長く、また該気流は気流案内具に案
内されてエアーフィルターに導入されるため、エアーフ
ィルターに導入される気流は、その動圧が均一化された
整流となる。従って。

該気流は均一な風速分布をもってゆるやかにエアーフィ
ルター内に導入され、エアーフィルターからは、浄化さ
れた気流が乱流を発生することなく。

均一な動圧を有する層流として排出される。ファンが並
設されているために広範囲にわたって空気を浄化し得る
。エアーフィルターから排出される気流が層流であるた
め、各ファンからの気流は干渉することがなく、クリー
ンルーム内の塵埃の対流を防止し、高い清浄度が確実に
得られる。

また２本発明の空気清浄装置は、各浄化室内の遮蔽板に
より各ファン室から送出される気流が。

該ファン室内を周回することなく、連通口にそれぞれ導
入されるため、気流は確実に整流される。

遮蔽板と気！案内具とを組合わせることにより。

さらに一層整流された層流が得られ、クリーンルーム内
の塵埃の対流が確実に防止される。

４、ヌ面の簡単な号゛Ｕ第１図は本発明の空気清浄装置の一例を示す一部破断斜
視図、第２図はその一部破断平面図、第３図はその一部
破断側面図、第４図は第２図の■−■線の断面図である
。

１・・・ケーシング、２・・・ファン、３・・・エアー
フィルター、４・・・盲板、５・・・気流案内具、６・
・・遮蔽板。

７・・・仕切板、　１１・・・ファン室、１２・・・フ
ィルター室。

１３・・・連通口、　５１．５２・・・ガイドベーン。

以上

Claims

【特許請求の範囲】１、ケーシング内を二つの浄化室に分割する仕切板と、各浄化室内を、気流流入側のファン室と気流排出側のフ
ィルター室とに分割すると共に、各浄化室内のファン室
とフィルター室を連通する連通口をそれぞれ有する盲板
と、各浄化室内のファン室内にそれぞれ対向して配設された
ファンと、各浄化室内のフィルター室内にそれぞれ配設されたエア
ーフィルターと、前記各連通口に配設され、各浄化室内のそれぞれのファ
ンから送出された気流をエアーフィルターに導く気流案
内具と、を具備する空気清浄装置。２、前記各ファンは、空気吸引方向とは略直交する面に
沿って気流を送出する特許請求の範囲第１項に記載の空
気清浄装置。３、前記各気流案内具は、１または複数のガイドベーン
を有する特許請求の範囲第１項に記載の空気清浄装置。４、前記各気流案内具は、孤状の２枚のガイドベーンを
有し、各ガイドベーンは、相互に略平行に配設されてい
る特許請求の範囲第１項に記載の空気清浄装置。５、前記各気流案内具の内側に位置するガイドベーンに
は透孔が形成されている特許請求の範囲第４項に記載の
空気清浄装置。６、ケーシング内を二つの浄化室内に分割する仕切板と
、各浄化室内を気流流入側のファン室と気流排出側のフィ
ルター室とに分割すると共に、各浄化室内のファン室と
フィルター室を連通する連通口をそれぞれ有する盲板と
、各浄化室内のファン室内にそれぞれ対向して配設された
ファンと、各浄化室内のフィルター室内に配設されたエアーフィル
ターと、前記各連通口のファン室側の一部を閉塞する遮蔽板と、を具備する空気清浄装置。７、前記各遮蔽板は、前記各盲板に立設されている特許
請求の範囲第６項に記載の空気清浄装置。８、前記各遮蔽板は、前記各ファンから送出される気流
のファン室内の周回を禁じるべく配設されている特許請
求の範囲第７項に記載の空気清浄装置。９、ケーシング内を二つの浄化室に分割する仕切板と、各浄化室内を気流流入側のファン室と気流排出側のフィ
ルター室とに分割すると共に、各浄化室内のファン室と
フィルター室を連通する連通口をそれぞれ有する盲板と
、各浄化室内のファン室内にそれぞれ対向して配設された
ファンと、各浄化室内のフィルター室内に配設されたエアーフィル
ターと、前記各連通口に配設され、各浄化室内のファンから送出
された気流をエアーフィルターに導く気流案内具と、前記各連通口のファン室側の一部を閉塞する遮蔽板と、を具備する空気清浄装置。１０、前記各ファンは、空気吸引方向とは直交する面に
沿って気流を送出する特許請求の範囲第９項に記載の空
気清浄装置。１１、前記各遮蔽板は、前記各ファンから送出される気
流のファン室内の周回を禁じるべく配設されている特許
請求の範囲第１０項に記載の空気清浄装置。１２、前記各気流案内具は、孤状の２枚のガイドベーン
を略平行に配設した特許請求の範囲第９項に記載の空気
清浄装置。１３、前記各気流案内具の内側に位置するガイドベーン
には透孔が形成されている特許請求の範囲第１２項に記
載の空気清浄装置。