JPS60196535A - 天井移動型局所空気高清浄装置 - Google Patents
天井移動型局所空気高清浄装置Info
- Publication number
- JPS60196535A JPS60196535A JP5316384A JP5316384A JPS60196535A JP S60196535 A JPS60196535 A JP S60196535A JP 5316384 A JP5316384 A JP 5316384A JP 5316384 A JP5316384 A JP 5316384A JP S60196535 A JPS60196535 A JP S60196535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- support frame
- plenum
- cleaning unit
- mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title abstract description 11
- 238000004887 air purification Methods 0.000 claims description 30
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- OIQXFRANQVWXJF-LIQNAMIISA-N (1s,2z,4r)-2-benzylidene-4,7,7-trimethylbicyclo[2.2.1]heptan-3-one Chemical compound O=C([C@]1(C)CC[C@H]2C1(C)C)\C2=C/C1=CC=CC=C1 OIQXFRANQVWXJF-LIQNAMIISA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、半導体製造及び検査作業室において用いられ
る空気清浄装置に関するものである。
る空気清浄装置に関するものである。
特に、生産プロセス上、塵埃が問題となる部分に設置す
る局部空気高清浄装置には、局所的高清浄度雰囲気が確
保でき、又レイアウト変更等に伴う高清浄度範囲の移動
が簡単に出来ることが要求される。
る局部空気高清浄装置には、局所的高清浄度雰囲気が確
保でき、又レイアウト変更等に伴う高清浄度範囲の移動
が簡単に出来ることが要求される。
従来、局所空気高清浄装置に相当するものに、床置＾立
型局所全気高浄化装置（クリーン・ベンチ）がある。こ
のものは搬送することができるから、レイアウト変更等
に伴なう高清浄度範囲の移動は簡単に行なうことができ
るが、物理的に空気高清浄範囲が制限され、又、自立型
の為装置設置スペースをとるという欠点があった。
型局所全気高浄化装置（クリーン・ベンチ）がある。こ
のものは搬送することができるから、レイアウト変更等
に伴なう高清浄度範囲の移動は簡単に行なうことができ
るが、物理的に空気高清浄範囲が制限され、又、自立型
の為装置設置スペースをとるという欠点があった。
又、天井固定型局所空気浄化装置（クリーン・トンネル
）がある。このものは天井吊型の為、装置設置スペース
の点に問題はないが、従来のものは建物の天井スラブへ
の固定型の為、空気高清浄域の変更が簡単に出来ないし
、又、物理的に空気高清浄範囲が限定されるという欠点
があった。
）がある。このものは天井吊型の為、装置設置スペース
の点に問題はないが、従来のものは建物の天井スラブへ
の固定型の為、空気高清浄域の変更が簡単に出来ないし
、又、物理的に空気高清浄範囲が限定されるという欠点
があった。
本発明は前記問題点を解消するもので、天井部分の空気
吹出し部の一部に空気浄化ユニットを網目状支持枠によ
りセットすることにより、空気吹出し位置変更を容易に
行なうことができ、ま／ζ空気高清浄範囲を拡大できる
装置を提供することにある。
吹出し部の一部に空気浄化ユニットを網目状支持枠によ
りセットすることにより、空気吹出し位置変更を容易に
行なうことができ、ま／ζ空気高清浄範囲を拡大できる
装置を提供することにある。
本発明ｙ−を空気吹出用開口を有するプレナムと、送風
１幾及びエアフィルターを備え該プレナムの空気吹田相
開「−１の一部に設置する空気浄化ユニットとからなり
、空気吹出用開口を下に向けて前記プレナムを空気〃ｊ
′浄室の内装天井部に設置し７、プレナムの空気吹出用
開口部分にチャンネルセールを格子状に配列し２てなる
網目状支持枠を取利け、該支持枠の任意の網目部分に空
気浄化ユニットを設置するとともに、他の網目部分を盲
板て閉塞したことを特徴とする天井移動型局所空気高清
浄装置である。
１幾及びエアフィルターを備え該プレナムの空気吹田相
開「−１の一部に設置する空気浄化ユニットとからなり
、空気吹出用開口を下に向けて前記プレナムを空気〃ｊ
′浄室の内装天井部に設置し７、プレナムの空気吹出用
開口部分にチャンネルセールを格子状に配列し２てなる
網目状支持枠を取利け、該支持枠の任意の網目部分に空
気浄化ユニットを設置するとともに、他の網目部分を盲
板て閉塞したことを特徴とする天井移動型局所空気高清
浄装置である。
以上に本発明の一実施例を図により説明する。
本発明における空気清浄室（クリーン・ルーム）は、第
１図の様な構成となる。すなわち、空気調和機１ば、空
気清浄室２の温度及び湿度を制御するための冷房・暖房
コイルを内蔵し７ており、又、ダクト圧力損失とコイル
圧力損失に必要な、全圧を持った送風機を有し７ている
。寸だ、空気清浄室２における清浄空気吹出し部分の天
井全面には、空気浄化ユニット３を設置する機能と、空
気供給ダクトとを兼ね備えたプレナム４を設置する。
１図の様な構成となる。すなわち、空気調和機１ば、空
気清浄室２の温度及び湿度を制御するための冷房・暖房
コイルを内蔵し７ており、又、ダクト圧力損失とコイル
圧力損失に必要な、全圧を持った送風機を有し７ている
。寸だ、空気清浄室２における清浄空気吹出し部分の天
井全面には、空気浄化ユニット３を設置する機能と、空
気供給ダクトとを兼ね備えたプレナム４を設置する。
空似清／ｆ）室内での汚れた空気の戻りは抽気「］５で
行い、空気調和機への空気の供給及び吸込はダクｌ−６
て行う。
行い、空気調和機への空気の供給及び吸込はダクｌ−６
て行う。
空気浄化ユニット３の構成は第２図、第３図に示す。す
なわち、空気浄化ユニット３は箱型の本体３ａＶＣ電動
機伺送風機８及びエアフィルター９を内蔵しており、空
気調和機からプレナムに送られた空気は、空気浄化ユニ
ット３の上部空気吸込ロアから電動機材送）′＠、機８
によって吸込まれて下部のエアーフィルター９へ圧送さ
れ、空気はエアーフィルター９で濾過されて高清浄化空
気が空気清浄室２へ吹出される。また、空気浄化ユニッ
ト本゛体３ａの下部周縁にはプレナムへの実装用矩形支
持枠３ｂが下方に突き出し７て取付けられている。
なわち、空気浄化ユニット３は箱型の本体３ａＶＣ電動
機伺送風機８及びエアフィルター９を内蔵しており、空
気調和機からプレナムに送られた空気は、空気浄化ユニ
ット３の上部空気吸込ロアから電動機材送）′＠、機８
によって吸込まれて下部のエアーフィルター９へ圧送さ
れ、空気はエアーフィルター９で濾過されて高清浄化空
気が空気清浄室２へ吹出される。また、空気浄化ユニッ
ト本゛体３ａの下部周縁にはプレナムへの実装用矩形支
持枠３ｂが下方に突き出し７て取付けられている。
空気浄化ユニット３をプレナム４に実装する構成を第４
図、第５図に示す。プレナム４の内側と外側で１７１１
、内側が数ｍｍＡｑ程度空気圧が高いものであるから、
空気浄化ユニット３をプレナム４に実装するにあたって
はその両者間の隙間を通して、プレナム４内の未浄化空
気が空気清浄室２へ扁洩し７ない様に気密にする必要が
ある。そこて、空気浄化ユニソｌ−３の支持枠３ｂを受
け入れる溝を有するチャンネルセール１０ａ、を格子状
に配列し２て網目状支持枠１０を構成し、該網目状支持
枠１０をプレナム４の下部開口４ａの部分に装着する。
図、第５図に示す。プレナム４の内側と外側で１７１１
、内側が数ｍｍＡｑ程度空気圧が高いものであるから、
空気浄化ユニット３をプレナム４に実装するにあたって
はその両者間の隙間を通して、プレナム４内の未浄化空
気が空気清浄室２へ扁洩し７ない様に気密にする必要が
ある。そこて、空気浄化ユニソｌ−３の支持枠３ｂを受
け入れる溝を有するチャンネルセール１０ａ、を格子状
に配列し２て網目状支持枠１０を構成し、該網目状支持
枠１０をプレナム４の下部開口４ａの部分に装着する。
そして、網目状支持枠１０の任意の網目部分を選定し７
、この網目部分を構成するチャンネルセール１０αの溝
に空気浄化ユニット３の支持枠３ｂを嵌合してエアシー
ルを行なうとともに、空気浄化ユニット３をそのチャン
ネルセール１０ａにより支えてこれを支持枠１０の選定
した網目部分に設置する。又、局所高清浄雰囲気を必要
としない部分、すなわち空気浄化ユニットを設置１．な
い支持枠１０の網目部分は盲板１１で閉塞する。
、この網目部分を構成するチャンネルセール１０αの溝
に空気浄化ユニット３の支持枠３ｂを嵌合してエアシー
ルを行なうとともに、空気浄化ユニット３をそのチャン
ネルセール１０ａにより支えてこれを支持枠１０の選定
した網目部分に設置する。又、局所高清浄雰囲気を必要
としない部分、すなわち空気浄化ユニットを設置１．な
い支持枠１０の網目部分は盲板１１で閉塞する。
また、空気高清浄域を変更するには、網目状支持枠１０
から盲板１１を取外し、その空気高清浄域の真上に位置
する支持枠１０の網目部分を選定し、その網目部分に空
気浄化ユニット３を設置し７、それ以外の網［１部分は
前記同様に盲板１１で閉塞すればよい。
から盲板１１を取外し、その空気高清浄域の真上に位置
する支持枠１０の網目部分を選定し、その網目部分に空
気浄化ユニット３を設置し７、それ以外の網［１部分は
前記同様に盲板１１で閉塞すればよい。
以上説明したように本発明はプレナムの空気吹出用開口
の一部に網目状支持枠を用いて空気浄化ユニットを設置
するようにＬまたノこめ、空気浄化ユニットの取付は位
置の変更並びに所望の局所空気高清浄範囲の設定を自由
に行うことができ、また空気浄化ユニットを空気清浄室
の内装天井部（／ｌｚ ｆｌｉ’ｉ単だ構造で取付ける
ことができる。
の一部に網目状支持枠を用いて空気浄化ユニットを設置
するようにＬまたノこめ、空気浄化ユニットの取付は位
置の変更並びに所望の局所空気高清浄範囲の設定を自由
に行うことができ、また空気浄化ユニットを空気清浄室
の内装天井部（／ｌｚ ｆｌｉ’ｉ単だ構造で取付ける
ことができる。
又、空気浄化ユニットが送風機を内蔵Ｌ２ている為、空
気循環機能をもっており、新たに空気イ盾工ｉ送風機を
増設する事なし７に、風量増強、１−なわち空気高清浄
範囲を拡げる事ができる効果を有するものである。
気循環機能をもっており、新たに空気イ盾工ｉ送風機を
増設する事なし７に、風量増強、１−なわち空気高清浄
範囲を拡げる事ができる効果を有するものである。
第２区
Ｊ
箔３図
第４図
１
Claims (1)
- （１）空気吹出用開口を有するプレナムと、送風機及び
エアフィルタを備え該プレナムの空気吹出用開口の一部
に設置する空気浄化ユニットとからな９、空気吹出用開
口を下に向けて前記プレナムを空気’Ｒ４浄室０内装天
井部に設置し、プレナムの空気吹出用間［］部分にチャ
ンネルセールを格子状に配列１７てなる網目状支持枠を
取付け、該支持枠の任意の網目部分に空気浄化ユニット
を設置するとともに、他の網目部分を盲板で閉塞したこ
とを特徴とする天井移動型局所空気高清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5316384A JPS60196535A (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 天井移動型局所空気高清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5316384A JPS60196535A (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 天井移動型局所空気高清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60196535A true JPS60196535A (ja) | 1985-10-05 |
Family
ID=12935181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5316384A Pending JPS60196535A (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 天井移動型局所空気高清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60196535A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62182540A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-10 | Nitta Kk | 空気清浄装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157432A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |
-
1984
- 1984-03-19 JP JP5316384A patent/JPS60196535A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157432A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62182540A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-10 | Nitta Kk | 空気清浄装置 |
| JPH0315104B2 (ja) * | 1986-02-04 | 1991-02-28 | Nitta Kk |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3911904B2 (ja) | クリーンルーム構造 | |
| JP2012087997A (ja) | 循環型集塵装置 | |
| JPS60196535A (ja) | 天井移動型局所空気高清浄装置 | |
| JPS61202028A (ja) | 除塵装置内蔵の壁部材 | |
| JPH11211164A (ja) | 空気清浄化用送風機ユニット | |
| CN112665012A (zh) | 空调室内机和空调 | |
| JP4486727B2 (ja) | 循環型クリーンルーム | |
| JP2551923Y2 (ja) | クリーンルーム | |
| CN206683080U (zh) | 一种基站空调 | |
| JP2597853B2 (ja) | クリーンルーム | |
| CN109573792B (zh) | 一种具有空调净化装置的电梯 | |
| JPH0611064Y2 (ja) | クリーンルーム用ファンフィルタユニット | |
| JPH0535326B2 (ja) | ||
| JP3420722B2 (ja) | 局所空気清浄装置 | |
| KR102214711B1 (ko) | 에어컨 장착용 미세먼지 저감 필터 | |
| KR200211988Y1 (ko) | 천장형 항온 항습기 | |
| JP3521764B2 (ja) | クリーンルームの天井構造 | |
| KR102276412B1 (ko) | 미세먼지제거기능을 포함한 공기조화장치 | |
| JPH0515933B2 (ja) | ||
| JPH0632169Y2 (ja) | 空気清浄機 | |
| JPH0225065Y2 (ja) | ||
| JPH04236024A (ja) | 空気調和機の室内ユニット | |
| JPH0678833B2 (ja) | 半導体製造用空気調和方法 | |
| JP2904011B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JPH0533856Y2 (ja) |