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JPS6132077U - 半導体ウエハ−の運搬用トレイ - Google Patents

半導体ウエハ−の運搬用トレイ

Info

Publication number
JPS6132077U
JPS6132077U JP11731184U JP11731184U JPS6132077U JP S6132077 U JPS6132077 U JP S6132077U JP 11731184 U JP11731184 U JP 11731184U JP 11731184 U JP11731184 U JP 11731184U JP S6132077 U JPS6132077 U JP S6132077U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
semiconductor wafers
transporting semiconductor
transporting
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11731184U
Other languages
English (en)
Inventor
圭一郎 東内
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP11731184U priority Critical patent/JPS6132077U/ja
Publication of JPS6132077U publication Critical patent/JPS6132077U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例によるトレイ及びこのトレイ
に載せられたキャリアを示す断面側面図、第２図はウエ
ハーを保持したキャリアの姿勢を示す図、第３図は従来
のトレイ上に乗せられたキャリアを示す断面側面図であ
る。 １・・・トレイ、２・・・キャリア、３・・・トレイ用
キャリアホルター、４・・・ウエハー保持用キャリア湾
、５・・・ウェハー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウエハー運搬用トレイの底部に、キャリアを傾斜
    姿勢に保持するキャリアホルダーを設けたことを特徴と
    する半導体ウエハーの運搬用トレイ。
JP11731184U 1984-07-31 1984-07-31 半導体ウエハ−の運搬用トレイ Pending JPS6132077U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11731184U JPS6132077U (ja) 1984-07-31 1984-07-31 半導体ウエハ−の運搬用トレイ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11731184U JPS6132077U (ja) 1984-07-31 1984-07-31 半導体ウエハ−の運搬用トレイ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6132077U true JPS6132077U (ja) 1986-02-26

Family

ID=30676225

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11731184U Pending JPS6132077U (ja) 1984-07-31 1984-07-31 半導体ウエハ−の運搬用トレイ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6132077U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0650344U (ja) * 1991-02-07 1994-07-08 コマツ電子金属株式会社 ウェーハ容器傾け台

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0650344U (ja) * 1991-02-07 1994-07-08 コマツ電子金属株式会社 ウェーハ容器傾け台

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