[go: up one dir, main page]

JPS6117742U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

Info

Publication number
JPS6117742U
JPS6117742U JP10339784U JP10339784U JPS6117742U JP S6117742 U JPS6117742 U JP S6117742U JP 10339784 U JP10339784 U JP 10339784U JP 10339784 U JP10339784 U JP 10339784U JP S6117742 U JPS6117742 U JP S6117742U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
semiconductor manufacturing
held
manufacturing equipment
arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10339784U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH019162Y2 (ja
Inventor
幹生 毛利
Original Assignee
関西日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 関西日本電気株式会社 filed Critical 関西日本電気株式会社
Priority to JP10339784U priority Critical patent/JPS6117742U/ja
Publication of JPS6117742U publication Critical patent/JPS6117742U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH019162Y2 publication Critical patent/JPH019162Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の半導体製造装置（ＣＶＤ装
置）を示す側面図、第２図は第１図の装置の要部概略斜
視図、第３図乃至第６図は第１図の装置の動作を説明す
るための各動作時の部分拡大側断面図、第７図及び第８
図は第５図のＡ−Ａ線及び第６図のＢ−Ｂ線からの平面
図である。 第９図及び第１０図は半導体製造装置（ＣＶＤ装置）の
一例を示す概略側面図及びＣ−ｄ線に沿う断面図、第１
１図は第９図の装置のトレー拡大斜視図、第１２図は従
来のウエーハ取出し装置の側断面図である。 １・・・・・・搬送体、３′・・・・・・トレー、１３
・・・・・・半導体ウエーハ、１７・・・・・・ピン、
１８・・・・・・ピン駆動機構、１９・・・・・・アー
ム、２０・・・・・・アーム駆動機構、２１・・・・・
・貫通穴。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 搬送体にて一方向に連続送りされるトレー上に載置され
    た半導体ウエーハをトレーから取出す装置であって、ト
    レー下方に配置されてトレーが定ポジションにくるとト
    レーの貫通穴に下から挿入されてトレー上の半導体ウエ
    ーハをトレーより定距離だけ突き上げ保持してトレーと
    共に定区間移動してからトレーより外れる複数のピン及
    びこのピンの駆動機構と、前記ピンにて突き上げ保持さ
    れた半導体ウエーハをピンに代わり保持して外部へ取出
    すアーム及びこのアームの駆動機構とを具備したことを
    特徴とする半導体製造装置。
JP10339784U 1984-07-09 1984-07-09 半導体製造装置 Granted JPS6117742U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10339784U JPS6117742U (ja) 1984-07-09 1984-07-09 半導体製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10339784U JPS6117742U (ja) 1984-07-09 1984-07-09 半導体製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6117742U true JPS6117742U (ja) 1986-02-01
JPH019162Y2 JPH019162Y2 (ja) 1989-03-13

Family

ID=30662792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10339784U Granted JPS6117742U (ja) 1984-07-09 1984-07-09 半導体製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6117742U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63132443A (ja) * 1986-11-22 1988-06-04 Tokuda Seisakusho Ltd ウエハ搬送装置
JP2009059741A (ja) * 2007-08-30 2009-03-19 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置、基板搬送方法
JP2012025504A (ja) * 2010-07-21 2012-02-09 Otsuka Denshi Co Ltd 被搬送物回転装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63132443A (ja) * 1986-11-22 1988-06-04 Tokuda Seisakusho Ltd ウエハ搬送装置
JP2009059741A (ja) * 2007-08-30 2009-03-19 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置、基板搬送方法
JP2012025504A (ja) * 2010-07-21 2012-02-09 Otsuka Denshi Co Ltd 被搬送物回転装置
US8327997B2 (en) 2010-07-21 2012-12-11 Otsuka Electronics Co., Ltd. Transferred object rotating device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH019162Y2 (ja) 1989-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6117742U (ja) 半導体製造装置
JPS58138340U (ja) ウエハの洗浄・エツチング用キヤリア
JPS5991735U (ja) 半導体ウエ−ハ移し替え装置
JPS5984843U (ja) 半導体製造用キヤリアハンガ
JPS6132077U (ja) 半導体ウエハ−の運搬用トレイ
JPS6094894U (ja) 電子部品装填装置
JPS602830U (ja) 半導体ウエハのエツチング槽
JPS592736U (ja) ２次元移動コンベヤ
JPS6027436U (ja) 半導体ウエ−ハ移送装置
JPS58168139U (ja) 半導体ウエハの吸着保持装置
JPS5853149U (ja) ウエハ搬送装置
JPS59158329U (ja) 半導体ウエハ水平移し替え装置
JPS58184841U (ja) ウエ−ハ搬送装置
JPS6068635U (ja) 半導体製造装置
JPS587730U (ja) 微小パ−ツ整列装置
JPS593541U (ja) 半導体基板の搬送機構
JPS5965536U (ja) ウエハ搬出装置
JPS59178090U (ja) 稲荷寿司の揚げ皮折りたたみ装置
JPS6013739U (ja) ウエハ保持装置
JPS5954930U (ja) 半導体ウエ−ハ移し替え機
JPS5910882U (ja) 選果機における果実供給装置
JPS603734U (ja) 半導体基板の搬送装置
JPS58475U (ja) 基板位置決め用キヤリア
JPS5995637U (ja) ウエハ−移し替え装置
JPS60158736U (ja) 半導体製造装置