[go: up one dir, main page]

JPS5965536U - ウエハ搬出装置 - Google Patents

ウエハ搬出装置

Info

Publication number
JPS5965536U
JPS5965536U JP16036082U JP16036082U JPS5965536U JP S5965536 U JPS5965536 U JP S5965536U JP 16036082 U JP16036082 U JP 16036082U JP 16036082 U JP16036082 U JP 16036082U JP S5965536 U JPS5965536 U JP S5965536U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unloading device
wafer
wafer unloading
cassette
unloading
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16036082U
Other languages
English (en)
Inventor
勝義 工藤
金井　謙雄
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP16036082U priority Critical patent/JPS5965536U/ja
Publication of JPS5965536U publication Critical patent/JPS5965536U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のウェハ搬出装置の正面構成図、第２図
は、第１図のＡ−Ａ規制面図、茅３図は、第１図のＢ−
Ｂ規制面図、第４図は、本考案によるウェハ搬出装置の
一実施例を示す正面構成図、第５図は、第４図のＣ−Ｃ
規制面図、第６図は、第４図のＤ−Ｄ規制面図である。 １０・・・・・・カセット台、１２・・・・・・ベルト
、１３・・・・・・ベルトコンベア、１４・・・・・・
ガイドローラ、２０・・・・・・カセツト、２１・・・
・・・カセット溝、３０・・・・・・ウエノ１゜

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. カセットに装填されたウェハをベルトコンベアで前記カ
    セットから搬出する装置において前記カセットからの搬
    出時に前記ベルトコンベアのベルトと同一レベルに前記
    ウェハを支持可能なガイドローラを設けたことを特徴と
    するウェハ搬出装置。
JP16036082U 1982-10-25 1982-10-25 ウエハ搬出装置 Pending JPS5965536U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16036082U JPS5965536U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 ウエハ搬出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16036082U JPS5965536U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 ウエハ搬出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5965536U true JPS5965536U (ja) 1984-05-01

Family

ID=30352730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16036082U Pending JPS5965536U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 ウエハ搬出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5965536U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005045920A1 (ja) * 2003-11-06 2005-05-19 Shinko Electric Co., Ltd. 基板搬入出装置、基板搬送方法及びその装置
CN100426484C (zh) * 2003-11-06 2008-10-15 神钢电机株式会社 基板搬入搬出装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54114176A (en) * 1978-02-27 1979-09-06 Kokusai Electric Co Ltd Semiconductor wafer storage buffer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54114176A (en) * 1978-02-27 1979-09-06 Kokusai Electric Co Ltd Semiconductor wafer storage buffer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005045920A1 (ja) * 2003-11-06 2005-05-19 Shinko Electric Co., Ltd. 基板搬入出装置、基板搬送方法及びその装置
CN100426484C (zh) * 2003-11-06 2008-10-15 神钢电机株式会社 基板搬入搬出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5965536U (ja) ウエハ搬出装置
IT1090187B (it) Perfezionamento nei dispositivi di registrazione di informazione su un supporto di informazione
JPS5966247U (ja) 画像記録装置
JPS6127878U (ja) ウエハ−の収納キヤリア
JPS6117742U (ja) 半導体製造装置
JPS6132077U (ja) 半導体ウエハ−の運搬用トレイ
JPS5837136U (ja) 半導体ウエハ−処理装置
JPS60118238U (ja) フアセツトアライナ微調装置
JPS528806A (en) Magnetic recording tape
JPS60100320U (ja) 反転コンベア
JPS5989275U (ja) 表面線量率測定装置
JPS592200U (ja) 電子部品搬送装置
JPS59149813U (ja) 荷役装置
JPS5954441U (ja) カセツトよりの薄片取出装置
JPS5354005A (en) Magnetic tape transport device
JPS5910185U (ja) カセツトテ−プ
JPS602830U (ja) 半導体ウエハのエツチング槽
JPS58159667U (ja) カセツトガイド装置
JPS522507A (en) Device for loading recorder with tape cassette
JPS60123727U (ja) カセツトケ−スの再生面表示装置
JPS6049646U (ja) リ−ドフレ−ムロ−ダ
JPS58173866U (ja) ベルト支持装置
JPS58114207U (ja) 自動搬送機械の位置検出機構
JPS59111042U (ja) 半導体製造装置
JPS6052821U (ja) 男性用ナプキン袋