JPS5837136U - 半導体ウエハ−処理装置 - Google Patents
半導体ウエハ−処理装置Info
- Publication number
- JPS5837136U JPS5837136U JP13171381U JP13171381U JPS5837136U JP S5837136 U JPS5837136 U JP S5837136U JP 13171381 U JP13171381 U JP 13171381U JP 13171381 U JP13171381 U JP 13171381U JP S5837136 U JPS5837136 U JP S5837136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer processing
- processing equipment
- semiconductor wafer
- loft
- detects
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例を示す構成図である。
図において、１は供給カセット、２は供給ウェハーセン
サー、３はウェハース処理設備、４はリミットスイッチ
、５は収納ウェハーセンサー、６は収納カセット、７は
ウェハー処理装置。
サー、３はウェハース処理設備、４はリミットスイッチ
、５は収納ウェハーセンサー、６は収納カセット、７は
ウェハー処理装置。
Claims (1)
- 半導体ウェハーを一枚ずつ処理する工程におけるウェハ
ース処理設備に、ウェハーの供給、収納を検出するセン
サーを有し、さらに供給時のロフトの区切りを検出して
、収納時にはロフトの区切り毎に信号を出すモニタシス
テムを備えたことを特徴とする半導体ウェハー処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13171381U JPS5837136U (ja) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | 半導体ウエハ−処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13171381U JPS5837136U (ja) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | 半導体ウエハ−処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837136U true JPS5837136U (ja) | 1983-03-10 |
Family
ID=29925282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13171381U Pending JPS5837136U (ja) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | 半導体ウエハ−処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837136U (ja) |
-
1981
- 1981-09-04 JP JP13171381U patent/JPS5837136U/ja active Pending
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