JPH0650344U - ウェーハ容器傾け台 - Google Patents
ウェーハ容器傾け台Info
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- JPH0650344U JPH0650344U JP1078491U JP1078491U JPH0650344U JP H0650344 U JPH0650344 U JP H0650344U JP 1078491 U JP1078491 U JP 1078491U JP 1078491 U JP1078491 U JP 1078491U JP H0650344 U JPH0650344 U JP H0650344U
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- Japan
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- wafer
- container
- tilting table
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】半導体ウェーハの検査工程におけるウェーハの
出し入れをスムーズに行なう為の、ウェーハ容器傾け台
を提供する。 【構成】手前側と右方又は、左方に同時に傾斜して成る
斜面と、斜面の辺部に設けた側面とで構成された載置部
を有し、さらに載置部下にはこれを支える支持部を設け
て成る。
出し入れをスムーズに行なう為の、ウェーハ容器傾け台
を提供する。 【構成】手前側と右方又は、左方に同時に傾斜して成る
斜面と、斜面の辺部に設けた側面とで構成された載置部
を有し、さらに載置部下にはこれを支える支持部を設け
て成る。
Description
【０００１】
本考案は、半導体ウェーハ特に鏡面研磨されたウェーハを外観検査する工程 において、検査に供するウェーハを装填取り出しする容器を載置するための治具 に関する。
【０００２】
半導体ウェーハは、半導体デバイスの始発材料になることから、その品質に は極めて厳しいものが要求される。物性のみならず表面の僅かなキズや曇りもデ バイス性能に影響を与えることから、出荷前に１枚毎その表面状態を集光ランプ に照らし、目視で検査する。
【０００３】
容器内に数mm間隔で並ぶウェーハをピンセットで素早く取り出し検査後再び納 めていく作業が暗室に近い雰囲気で行なわれるため、ピンセット操作のミスで当 り傷が発生することがある。また、検査を行なうときは、検査前のウェ−ハを入 れた容器と、検査後のウェ−ハを入れる容器とを用意しておき、前者よりウェ− ハを取り出し、後者へと納めていくが、容器内のウェーハを納める溝は当然ウェ ーハとの間に遊びを持たせるように構成しているため、必ずしもウェーハ同士は 平行にならない。一枚の検査が終わると、作業者は先に並んだウェーハに平行に
整理番号＝Ｕ９１０２０６００１ ページ（ ２／ ４） 入れようとするが、先のウェーハが溝との遊びのため傾いていると、これに引き づられて、溝違いに入れてしまうようなことが起こる。溝違いに入ったウェーハ は動きづらく、ピンセットにより擦り傷が発生する。また、そのまま容器を机に 水平に置いた状態では、ウェ−ハの出し入れ方向が直上であることから、作業性 は必ずしも良くない。
整理番号＝Ｕ９１０２０６００１ ページ（ ２／ ４） 入れようとするが、先のウェーハが溝との遊びのため傾いていると、これに引き づられて、溝違いに入れてしまうようなことが起こる。溝違いに入ったウェーハ は動きづらく、ピンセットにより擦り傷が発生する。また、そのまま容器を机に 水平に置いた状態では、ウェ−ハの出し入れ方向が直上であることから、作業性 は必ずしも良くない。
【０００４】 ウェーハを一方向に寄せ、出し入れ方向を作業者側に向ける工夫として、容器 の一方の底にスペーサを入れて傾ける等の手段も採用されるが、ふたを閉める時 の押えでハネてキズを与えたりすることもある。
【０００５】
本考案は上記のような問題点を解決すべくなされたもので、互いに直交する ２方向に傾斜した斜面と、斜面下の２辺より斜面に対し垂直に設けた側面とから 構成された載置部と、この載置部に固定され容器を載せた際の転倒を防ぐ支持部 とから成るウェーハ容器の傾け台を提供する。 さらに詳しく述べれば、本考案のウェーハ容器傾け台は、作業者の方向であって 、ウェーハ面に平行な方向には大きく傾き、ウェーハ面に垂直の方向には多少傾 くよう構成される。
【０００６】
本考案のウェーハ容器傾け台は、３つを一組として用いる。 すなわち、検査前のウェーハ容器傾け台、検査後の良品ウェーハ容器傾け台、検 査後の不良品ウェーハ容器傾け台の３箇である。 使用の際は、ウェーハ面に平行な方向がより大きく傾斜するように容器を載置す る。こうすれば、ウェーハ面に垂直な方向は、緩い傾きをもった斜面側に向くか ら全てのウェーハは容器内の溝の一壁面側へと寄る。
【０００７】
【実施例】整理番号＝Ｕ９１０２０６００１ ページ（ ３／ ４） 以下、本考案の実施例について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【０００８】 実施例１ 第１図は、本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の斜視図である。 符号１は斜面、２は側面ａ、３は側面ｂで斜面と各側面とで載置部10を構成する 。斜面１の傾きは、互いに直交する方向にそれぞれ45°及び５°であり、傾斜角 の大きい面を作業者側へ向け、ウェーハ面に平行な方向をこの斜面に対応させる 。さらに載置部の下には、これに固定され、載置部に容器が置かれた際にその重 みにより転倒することを防ぐ、支持部４が設けられている。載置部10はチリやゴ ミが付着しないように帯電防止塩ビ板が用いられ、支持部４はバランス用にステ ンレス角材を採用している。
【０００９】 第１図の本考案によるウェーハ容器傾け台を用いた結果、ウェーハのキズ不良 は半減し、作業性が良くなるため従来 100枚のウェーハを検査するのに35分程度 要していたものが、29分に短縮された。1000枚／人・日検査を行なうので、１時 間／日の検査作業の短縮が図れる。
【００１０】
本考案のウェーハ容器傾け台によれば、容器開口部を作業者側へ大きく向けて 安定させることができ、さらにウェーハ面に垂直な方向への傾きから、ウェーハ 同士が容器内の溝壁の一方側へ片寄り、平行に等間隔に整列する。 このため、 ・ウェーハの出し入れ操作がやり易くピンセットによる当り傷を生じさせない。 ・溝違いに納めるミスも起こらないから、擦り傷が発生しない。 ・操作スピードが上がり作業効率が向上する。 ・作業が行ない易いため、作業者の疲労も低減する。 等の効果がある。
【００１１】整理番号＝Ｕ９１０２０６００１ ページ（ ４／ ４） なお、通常ウェーハの出荷容器には、ふたとの係合部分にユーザ側のウェーハ 受けに対応してピンが差されるが、時として作業者がこのピンの差し忘れをする ことがある。したがって、検査後の良品ウェーハ容器傾け台にセンサーを取付け これを、容器を載せたときや降したときにピンの差し忘れがないかどうかの注意 を促す機構、たとえば音声機構に連動させれば、出荷に際するピンの差し忘れミ スも防ぐことができる。
【００１２】
【提出日】平成５年１１月１０日
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【０００１】
本考案は、半導体ウェーハ特に鏡面研磨されたウェーハを外観検査する工程 において、検査に供するウェーハを装填取り出しする容器を載置するための治具 に関する。
【０００２】
半導体ウェーハは、半導体デバイスの始発材料になることから、その品質に は極めて厳しいものが要求される。物性のみならず表面の僅かなキズや曇りもデ バイス性能に影響を与えることから、出荷前に１枚毎その表面状態を集光ランプ に照らし、目視で検査する。
【０００３】
容器内に数mm間隔で並ぶウェーハをピンセットで素早く取り出し検査後再び納 めていく作業が暗室に近い雰囲気で行なわれるため、ピンセット操作のミスで当 り傷が発生することがある。また、検査を行なうときは、検査前のウェ−ハを入 れた容器と、検査後のウェ−ハを入れる容器とを用意しておき、前者よりウェハ を取り出し、後者へと納めていくが、容器内のウェーハを納める溝は当然ウェー ハとの間に遊びを持たせるように構成しているため、必ずしもウェーハ同士は平 行にならない。一枚の検査が終わると、作業者は先に並んだウェーハに平行に入 れようとするが、先のウェーハが溝との遊びのため傾いていると、これに引きづ られて、溝違いに入れてしまうようなことが起こる。溝違いに入ったウェーハは 動きづらく、ピンセットにより擦り傷が発生する。また、そのまま容器を机に水 平に置いた状態では、ウェ−ハの出し入れ方向が直上であることから、作業性は 必ずしも良くない。
【０００４】 ウェーハを一方向に寄せ、出し入れ方向を作業者側に向ける工夫として、容器 の一方の底にスペーサを入れて傾ける等の手段も採用されるが、ふたを閉める時 の押えでハネてキズを与えたりすることもある。
【０００５】
本考案は上記のような問題点を解決すべくなされたもので、互いに直交する２ 方向に傾斜した斜面と、斜面下の２辺より斜面に対し垂直に設けた側面とから構 成された載置部と、この載置部に固定され容器を載せた際の転倒を防ぐ支持部と から成るウェーハ容器の傾け台を提供する。 さらに詳しく述べれば、本考案のウェーハ容器傾け台は、作業者の方向であって 、ウェーハ面に平行な方向には大きく傾き、ウェーハ面に垂直の方向には多少傾 くよう構成される。
【０００６】
本考案のウェーハ容器傾け台は、３つを一組として用いる。 すなわち、検査前のウェーハ容器傾け台、検査後の良品ウェーハ容器傾け台、検 査後の不良品ウェーハ容器傾け台の３箇である。 使用の際は、ウェーハ面に平行な方向がより大きく傾斜するように容器を載置す る。こうすれば、ウェーハ面に垂直な方向は、緩い傾きをもった斜面側に向くか ら全てのウェーハは容器内の溝の一壁面側へと寄る。
【０００７】
以下、本考案の実施例について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【０００８】 実施例１ 第１図は、本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の斜視図である。 符号１は斜面、２は側面ａ、３は側面ｂで斜面と各側面とで載置部10を構成する 。斜面１の傾きは、互いに直交する方向にそれぞれ45°及び５°であり、傾斜角 の大きい面を作業者側へ向け、ウェーハ面に平行な方向をこの斜面に対応させる 。さらに載置部の下には、これに固定され、載置部に容器が置かれた際にその重 みにより転倒することを防ぐ、支持部４が設けられている。載置部10はチリやゴ ミが付着しないように帯電防止塩ビ板が用いられ、支持部４はバランス用にステ ンレス角材を採用している。
【０００９】 第１図の本考案によるウェーハ容器傾け台を用いた結果、ウェーハのキズ不良 は半減し、作業性が良くなるため従来 100枚のウェーハを検査するのに35分程度 要していたものが、29分に短縮された。1000枚／人・日検査を行なうので、１時 間／日の検査作業の短縮が図れる。
【００１０】
本考案のウェーハ容器傾け台によれば、容器開口部を作業者側へ大きく向けて 安定させることができ、さらにウェーハ面に垂直な方向への傾きから、ウェーハ 同士が容器内の溝壁の一方側へ片寄り、平行に等間隔に整列する。 このため、 ・ウェーハの出し入れ操作がやり易くピンセットによる当り傷を生じさせない。 ・溝違いに納めるミスも起こらないから、擦り傷が発生しない。 ・操作スピードが上がり作業効率が向上する。 ・作業が行ない易いため、作業者の疲労も低減する。 等の効果がある。
【００１１】 なお、通常ウェーハの出荷容器には、ふたとの係合部分にユーザ側のウェーハ 受けに対応してピンが差されるが、時として作業者がこのピンの差し忘れをする ことがある。したがって、検査後の良品ウェーハ容器傾け台にセンサーを取付け これを、容器を載せたときや降したときにピンの差し忘れがないかどうかの注意 を促す機構、たとえば音声機構に連動させれば、出荷に際するピンの差し忘れミ スも防ぐことができる。
【００１２】
【図１】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の斜視
図。
図。
【図２】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の正面
図。
図。
【図３】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の平面
図。
図。
１ 斜面 ２ 側面ａ ３ 側面ｂ ４ 指示部 10 載置部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１１月１０日
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】明細書
【考案の名称】ウェーハ容器傾け台
【実用新案登録請求の範囲】
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の斜視
図。
図。
【図２】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の正面
図。
図。
【図３】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の平面
図。
図。
【符号の説明】 １ 斜面 ２ 側面ａ ３ 側面ｂ ４ 指示部 10 載置部
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに直交する２方向に向けて傾斜した
斜面と、この斜面下の互いに直交する各辺より、前記斜
面に対し垂直に設けた側面とから構成された載置部と、
載置部に固定された転倒防止用の支持部とから成るウェ
ーハ容器傾け台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991010784U JPH073639Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | ウェーハ容器傾け台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991010784U JPH073639Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | ウェーハ容器傾け台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0650344U true JPH0650344U (ja) | 1994-07-08 |
| JPH073639Y2 JPH073639Y2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=11759965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991010784U Expired - Lifetime JPH073639Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | ウェーハ容器傾け台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073639Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132077U (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | 日本電気株式会社 | 半導体ウエハ−の運搬用トレイ |
| JPS6176959U (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | ||
| JPS62114444U (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-21 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53116175A (en) * | 1977-03-19 | 1978-10-11 | Uni Charm Corp | Concentrating machine for products |
-
1991
- 1991-02-07 JP JP1991010784U patent/JPH073639Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132077U (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | 日本電気株式会社 | 半導体ウエハ−の運搬用トレイ |
| JPS6176959U (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | ||
| JPS62114444U (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH073639Y2 (ja) | 1995-01-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |