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JPS59173333U - ウエハキヤリア - Google Patents

ウエハキヤリア

Info

Publication number
JPS59173333U
JPS59173333U JP6755083U JP6755083U JPS59173333U JP S59173333 U JPS59173333 U JP S59173333U JP 6755083 U JP6755083 U JP 6755083U JP 6755083 U JP6755083 U JP 6755083U JP S59173333 U JPS59173333 U JP S59173333U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer carrier
wafer
holding
parts
wafers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6755083U
Other languages
English (en)
Inventor
山下　善三
Original Assignee
株式会社東芝
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP6755083U priority Critical patent/JPS59173333U/ja
Publication of JPS59173333U publication Critical patent/JPS59173333U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェハキャリアの構成を示す斜視図、第
２図は第１図の部分的平面図、第３図Ａ乃至Ｅは従来の
ウェハ処理工程の一例を説明するための図、第４図Ａ、
　Ｂは本考案の一実施例に係るウェハキャリアの構成を
示すもので、同図Ａは側面断面図、同図Ｂは斜視図、第
５図Ａ、　Ｂおよび第６図Ａ、　Ｂはそれぞれ第４図Ａ
、　Ｂのウェハキャリアの動作を説明するための図で、
第５図Ａおよび第６図Ａは側面断面図、第５図Ｂおよび
第６図Ｂは平面図である。 １１・・・ウェハ、２０・・・キャリア本体、２１・・
・収納部、２２・・・保持部、２３・・・ストッパ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数のウェハをそれだれ一定間隔で離して収納する複数
    の収納部と、この各収納部に設けられてウェハーをその
    一方の表面周辺部で保持する溝状、　　　　の保持部と
    、この各保持部においてウエノ１をその他方の表面周辺
    部で保持する側に設けられて各ウェハが上記収納部から
    抜は出ることを停止させるストッパとを具備したことを
    特徴とするウェハキャリア。
JP6755083U 1983-05-06 1983-05-06 ウエハキヤリア Pending JPS59173333U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6755083U JPS59173333U (ja) 1983-05-06 1983-05-06 ウエハキヤリア

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6755083U JPS59173333U (ja) 1983-05-06 1983-05-06 ウエハキヤリア

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59173333U true JPS59173333U (ja) 1984-11-19

Family

ID=30197739

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6755083U Pending JPS59173333U (ja) 1983-05-06 1983-05-06 ウエハキヤリア

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59173333U (ja)

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