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JPS58124952U - 半導体ウエハ用収納治具 - Google Patents

半導体ウエハ用収納治具

Info

Publication number
JPS58124952U
JPS58124952U JP2263282U JP2263282U JPS58124952U JP S58124952 U JPS58124952 U JP S58124952U JP 2263282 U JP2263282 U JP 2263282U JP 2263282 U JP2263282 U JP 2263282U JP S58124952 U JPS58124952 U JP S58124952U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
storage jig
semiconductor wafers
semiconductor
jig
abstract
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2263282U
Other languages
English (en)
Inventor
関口　大祐
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP2263282U priority Critical patent/JPS58124952U/ja
Publication of JPS58124952U publication Critical patent/JPS58124952U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１区は、従来の半導体ウェハ収納治具の正面図、第２
図は本考案の第１の実施例の正面図、第３図はミ第２の
実施例の正面図、第４図は、第３の実施例の正面図であ
る。 尚、図において、１．　２．　４．　５．　６．　７．
　８．　　　　　　−９・・・・・・収納治具の側壁底
面、３・・・・・・処理槽底面である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体・ウェハ収納治具の側壁底面を鋭利三角状もしく
    は凸状も（、＜は凹状とすることを特徴とする半導体ウ
    ェハ用収納治具。
JP2263282U 1982-02-18 1982-02-18 半導体ウエハ用収納治具 Pending JPS58124952U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2263282U JPS58124952U (ja) 1982-02-18 1982-02-18 半導体ウエハ用収納治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2263282U JPS58124952U (ja) 1982-02-18 1982-02-18 半導体ウエハ用収納治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58124952U true JPS58124952U (ja) 1983-08-25

Family

ID=30034704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2263282U Pending JPS58124952U (ja) 1982-02-18 1982-02-18 半導体ウエハ用収納治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58124952U (ja)

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