[go: up one dir, main page]

JPS60207018A - モノクロメ−タ - Google Patents

モノクロメ−タ

Info

Publication number
JPS60207018A
JPS60207018A JP59064771A JP6477184A JPS60207018A JP S60207018 A JPS60207018 A JP S60207018A JP 59064771 A JP59064771 A JP 59064771A JP 6477184 A JP6477184 A JP 6477184A JP S60207018 A JPS60207018 A JP S60207018A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffraction grating
monochromator
spectrometer
rotary table
concave diffraction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59064771A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Akiyama
修 秋山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp, Shimazu Seisakusho KK filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP59064771A priority Critical patent/JPS60207018A/ja
Priority to US06/718,124 priority patent/US4697924A/en
Priority to DE19853511676 priority patent/DE3511676A1/de
Publication of JPS60207018A publication Critical patent/JPS60207018A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0235—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using means for replacing an element by another, for replacing a filter or a grating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J2003/1814—Double monochromator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は分光光度計などで用いられるモノクロメータに
関するものである。
（従来技術） モノクロメータとしては、光路に１個の分散素子を配置
したシングルモノクロメータと、２個の分散素子を光路
に直列に配置したダブルモノクロメータとがある。シン
グルモノクロメータは構造が簡単であるが迷光が多く、
一方ダプルモノクロメータは迷光は極めて少ないが、感
度、すなわち取り出される光強度、が低いというように
、いずれも一長一短があり、両者は測定目的に応じて使
い分けられている。
また、シングルモノクロメータにおいてもダブルモノク
ロメータにおいても、分散素子としての回折格子を選択
し、切り替えて使用するようなモノクロメータも知られ
ている。しかし、その場合も、シングルモノクロメータ
ではシングルモノクロメータとしての１個の回折格子を
切り替えるのであり、また、ダブルモノクロメータでは
ダブルモノクロメータとしての１対の回折格子のいずれ
か又は双方を切り替えるものであって、シングルモノク
ロメータはやはりシングルモノクロメータとして、ダブ
ルモノクロメータはやはりダブルモノクロメータとして
使用されるにすぎない。
したがって種々の測定を行なおうとする場合には、シン
グルモノクロメータとダブルモノクロメータの両方を用
意しておかなければならないという不便さがある。
（目的） 本発明は、１個のモノクロメータで、測定目的などに応
じてシングルモノクロメータ又はダブルモノクロメータ
に切り替えて使用することのできるモノクロメータを提
供することを目的とするものである。
（構成） 本発明のモノクロメータは、１個又は複数個の分散素子
を有する分光器を光路に直列に２個備え、その分光器の
一方又は双方において、分散素子と等価な位置にミラー
を配置し、このミラーと分散素子とを切り替えるように
したものである。
分散素子としてはスフエリカル凹面回折格子、エリプソ
イダル凹面回折格子もしくはトロイダル凹面回折格子の
如き凹面回折格子、又はエシエレット回折格子、ニジエ
ル回折格子もしくはラミナー回折格子の如き平面回折格
子が用いられる。また、ミラーとしては平面鏡又は曲面
鏡が用いられる。
以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
（実施例） 第１図は第１の実施例を表わし、光路に沿って直列に第
１の分光器１と第２の分光器２が配置されている。Ｓｌ
、Ｓ２及びＳ３はそれぞれ入口スリット、中間スリット
及び出口スリットである。
第１の分光器１は回転台３上の等価な位置に凹面回折格
子Ｇ１と曲面鏡Ｍ１とを有し、回転台３の回転により凹
面回折格子Ｇ１又は曲面鏡Ｍ１のいずれかが選択されて
光路に向うようになっている。そして、凹面回折格子Ｇ
１が選択されたときには回転台３は波長駆動とともに回
転し、曲面鏡Ｍ１が選択されたときには回転台３はその
曲面鏡Ｍｌが入口スリットＳＬの像を中間スリットＳ２
に結像する位置に固定されるようになっている。
第２の分光器２は回転台４上の等価な位置に互いに格子
間隔の異なる凹面回折格子Ｇ２と６３とを有し、回転台
４の回転により凹面回折格子Ｇ２又はＧ３のいずれかが
選択されて光路に向うようになっている。そして、回転
台４は波長駆動とともに回転するようになっている。
回転台４のように複数の回折格子を有する回転台の回転
機構としては、種々のものが知られており、本発明でも
そのような既知の回転機構を選択して使用することがで
きる。回転台３では、凹面回折格子Ｇ１と曲線鏡Ｍ１の
選択切替時の回転機構としては回転台４と同様に既知の
ものを使用することができるが、曲面鏡Ｍ１が選択され
た場合に一定方向に固定する機構を付加する必要がある
。
そのような回転台３の回転機構の一例を第２図に示す。
凹面回折格子Ｇ１と曲面鏡Ｍ１を有する回転台３がパル
スモータ５の回転軸に固定されている。
凹面回折格子Ｇ１と曲面鏡Ｍ１が設けられている位置の
回転台３の周縁にはロバ６，７が設けられており、この
ロバ６又は７をホトカプラー８の如きセンサで検出し、
その検出信号でパルスモータ５の駆動を制御するように
なっている。
回転台３とパルスモータ５はまた、ベアリング機構９の
回転軸に固定され、サインバー機構が設けられている。
１０はサインパー、１１は凹面回折格子Ｇ１が選択され
たときには抜かれ、曲面鏡Ｍｌが選択されたときには差
し込まれる当りである。
すなわち、凹面回折格子Ｇ１が選択されて光路に向って
いるときは波長駆動が行なわれてサインバー１０が回転
し、凹面回折格子Ｇ１がパルスモータ５とともに回転す
る。一方、曲面鏡Ｍ１が選択されて光路に向っていると
きは当り１１があるためサインパー１０は回転せず、曲
面鏡Ｍ１の方向が固定されるのである。
第１図に戻って、第２の分光器２の回転台４の回転機構
は、例えば第２図の回転機構から当り１１を省略したも
のとしてもよい。
本実施例をシングルモノクロメータとして使用する場合
には、第１の分光器１で曲面鏡Ｍ１を選択し、ダブルモ
ノクロメータとして使用する場合には、第１の分光器１
で凹面回折格子Ｇ１を選択すればよい。いずれの場合も
第２分光器２ではいずれかの凹面回折格子Ｇ２又はＧ３
が選択される。
第３図は第２の実施例を表わし、光路に直列に配置され
た第１、及び第２の分光器２１及び２２において、第１
の分光器２１は１個の曲面鏡Ｍ２と、互いに格子間隔の
異なる２個の凹面回折格子Ｇ４と６５とを備え、第２の
分光器２２は１個の曲面鏡Ｍ３と、互いに格子間隔の異
なる２個の凹面回折格子Ｇ６と６７とを備えている。
本実施例をシングルモノクロメータとして使用する場合
には、第１の分光器２１で曲面鏡Ｍ２、第２の分光器２
２で凹面回折格子Ｇ６もしくはＧ７を選択するか、又は
第１の分光器２１で凹面回折格子Ｇ４もしくはＧ５を選
択し、第２の分光器２２で曲面鏡Ｍ３を選択すればよい
。
また、本実施例をダブルモノクロメータとして使用する
場合には、第１の分光器２１では凹面回折格子Ｇ４又は
Ｇ５を選択し、第２の分光器２２でも凹面回折格子Ｇ６
又はＧ７を選択すればよい。
以上の例は分光器に凹面回折格子と曲面鏡を備えた例で
あるが、平面回折格子と平面鏡を組み合せてツエルニタ
ーナ形やりドロー形にマウンティングして構成すること
もできる。
第４図は分光器に平面回折格子と平面鏡を備えツエルニ
ターナ形のマウンティングを施した例を示す。
第１の分光器３１は平面回折格子Ｇ８と平面鏡Ｍ４を備
え、その光路の前後に集光用の凹面鏡ＭＲＩとＭＲ２が
設けられている。第２の分光器３２は３個の互いに格子
間隔の異なる平面回折格子Ｇ９〜Ｇｌｌを備え、そΦ光
路の前後にも集光用の凹面鏡ＭＲ３とＭＲ４が設けられ
ている。
本実施例では、第１の分光器３１で平面回折格子Ｇ８を
選択すればダブルモノクロメータとなり、平面鏡Ｍ４を
選択すればシングルモノクロメータとなる。
なお、第３図及び第４図の実施例において、各分光器の
回転機構としては第１図の実施例と同様のものを使用す
ればよい。
（効果） 本発明によれば、１個のモノクロメータをダブルモノク
ロメータとして、又はシングルモノクロメータとして、
選択して使用することができる。
すなわち、例えば、積分球を使う場合や光束を小さく絞
る場合など、高感度な測定が要求される場合はシングル
モノクロメータとして使い、また、高吸収度・低透過率
の透明試料を精度よく測定する場合や、高純度の単色性
が要求される場合はダブルモノクロメータとして使えば
よい。
このように、本発明のモノクロメータは、１個のモノク
ロメータを用意するだけで、測定目的や対象に応じて最
適のモノクロメータとして使用できるのである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す概略平面図、第２図は
同実施例における回転機構を示す断面図、第３図及び第
４図はそれぞれ本発明の他の実施例を示す概略平面図で
ある。 １．２，２１，２２，３１，３２・・・・・・分光器、
３．４．・・・・・・回転台。 ６１〜Ｇｌｌ・・・・・・分散素子としての回折格子、
Ｍ１〜Ｍ４・・・・・・ミラー。 代理人　弁理士　野口繁雄

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）１個又は複数個の分散素子を有する分光器を光路
    に直列に２個備えたダブルモノクロメータにおいて、 前記分光器の一方又は双方に、分散素子と等価な位置に
    ミラーを配置し、このミラーと分散素子とを切り替える
    ようにしたことを特徴とするモノクロメータ。
JP59064771A 1984-03-30 1984-03-30 モノクロメ−タ Pending JPS60207018A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59064771A JPS60207018A (ja) 1984-03-30 1984-03-30 モノクロメ−タ
US06/718,124 US4697924A (en) 1984-03-30 1985-03-29 Monochromator
DE19853511676 DE3511676A1 (de) 1984-03-30 1985-03-29 Monochromator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59064771A JPS60207018A (ja) 1984-03-30 1984-03-30 モノクロメ−タ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60207018A true JPS60207018A (ja) 1985-10-18

Family

ID=13267794

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59064771A Pending JPS60207018A (ja) 1984-03-30 1984-03-30 モノクロメ−タ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4697924A (ja)
JP (1) JPS60207018A (ja)
DE (1) DE3511676A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100442828B1 (ko) * 1997-09-12 2004-09-18 삼성전자주식회사 모노크로메이터

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4988196A (en) * 1989-04-17 1991-01-29 Sperry Marine Inc. Time domain Fraunhofer line discriminator
DE3937599C2 (de) * 1989-11-11 2002-01-24 Perkin Elmer Bodenseewerk Zwei Doppelmonochromator
US5192981A (en) * 1990-04-30 1993-03-09 Spex Industries, Inc. Czerny-Turner monochromator
JPH0563909A (ja) * 1991-08-28 1993-03-12 Canon Inc カラー画像読取装置
EP0558216A1 (en) * 1992-02-24 1993-09-01 Thermo Jarrell Ash Corporation Spectrometry
US5455674A (en) * 1992-06-26 1995-10-03 Instruments Sa, Inc. Method and apparatus for forensic examination of surfaces
FR2711426B1 (fr) * 1993-10-20 1995-12-01 Snecma Procédé et dispositif pour caractériser, optimiser et contrôler automatiquement une méthode d'analyse par ressuage.
US5521703A (en) * 1994-10-17 1996-05-28 Albion Instruments, Inc. Diode laser pumped Raman gas analysis system with reflective hollow tube gas cell
US5767965A (en) * 1996-05-31 1998-06-16 Instruments S.A., Inc. Apparatus and method for driving diffraction gratings
US6151112A (en) * 1997-11-17 2000-11-21 Innovative Lasers Corp. High-resolution, compact intracavity laser spectrometer
DE19853754B4 (de) 1998-11-21 2009-06-10 Spectro Analytical Instruments Gmbh Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern
US6195891B1 (en) * 1999-04-26 2001-03-06 Ge Aviation Service Operation Method for identification and repair of indications in hardware
US6583873B1 (en) * 2000-09-25 2003-06-24 The Carnegie Institution Of Washington Optical devices having a wavelength-tunable dispersion assembly that has a volume dispersive diffraction grating
DE10205142B4 (de) * 2002-02-07 2004-01-15 Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. Anordnung und Verfahren zur Wellenlängenkalibration bei einem Echelle-Spektrometer
DE10212554A1 (de) * 2002-03-16 2003-10-30 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung und Verfahren für ein bildgebendes Spektrometer
AU2003900563A0 (en) * 2003-02-10 2003-02-20 Varian Australia Pty Ltd Monochromator and spectrophotometer
US6969130B2 (en) * 2003-05-12 2005-11-29 Bellsouth Intellectual Property Corporation Enclosure for electronic devices
DE102004001219A1 (de) * 2004-01-02 2005-08-04 S & I Spectroscopy & Imaging Gmbh Doppelmonochromator
US7209230B2 (en) 2004-06-18 2007-04-24 Luckoff Display Corporation Hand-held spectra-reflectometer
DE102004053584B4 (de) 2004-11-05 2006-08-31 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Materialprüfung und/oder Dickenmessung an einem wenigstens elektrisch leitende und ferromagnetische Materialanteile aufweisenden Prüfobjekt
US7233394B2 (en) 2005-06-20 2007-06-19 Luckoff Display Corporation Compact spectrometer
DE102007028505A1 (de) * 2007-06-18 2008-12-24 Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. Spektrometeranordnung
US20090040614A1 (en) * 2007-08-07 2009-02-12 Hammond Michael J Dispersive Filter
US7817274B2 (en) 2007-10-05 2010-10-19 Jingyun Zhang Compact spectrometer
US8345226B2 (en) 2007-11-30 2013-01-01 Jingyun Zhang Spectrometers miniaturized for working with cellular phones and other portable electronic devices
WO2019207467A1 (en) * 2018-04-24 2019-10-31 Agilent Technologies, Inc. An optical apparatus having independent drives
EP3788329B1 (en) 2018-04-25 2024-07-31 National Research Council of Canada High resolution and high throughput spectrometer
WO2024189376A1 (en) * 2023-03-16 2024-09-19 Renishaw Plc Spectroscopy apparatus and methods
US20240385460A1 (en) * 2023-05-19 2024-11-21 Thermo Electron Scientific Instruments Llc Holographic grism as dispersive element in raman spectrographs

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5039693Y1 (ja) * 1970-02-25 1975-11-14
JPS4842749A (ja) * 1971-09-28 1973-06-21
US3775620A (en) * 1972-08-24 1973-11-27 Mc Donnell Douglas Corp Radiation source simulation means
DE2730613C3 (de) * 1977-07-07 1980-04-03 Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co Gmbh, 7770 Ueberlingen Doppelmonochromator
US4305660A (en) * 1980-06-27 1981-12-15 Farrand Optical Co., Inc. Recording transmission and emission spectra
DE3113984C2 (de) * 1981-04-07 1983-12-01 Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co GmbH, 7770 Überlingen Doppelmonochromator
US4464051A (en) * 1982-03-02 1984-08-07 The Perkin-Elmer Corporation Spectrophotometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100442828B1 (ko) * 1997-09-12 2004-09-18 삼성전자주식회사 모노크로메이터

Also Published As

Publication number Publication date
DE3511676A1 (de) 1985-10-03
US4697924A (en) 1987-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60207018A (ja) モノクロメ−タ
US3306158A (en) Grating spectroscopes
USRE32598E (en) Feature extraction system for extracting a predetermined feature from a signal
US4487477A (en) Optical beam splitter
JP2005024403A (ja) ダブルモノクロ形分光装置
JPH03239928A (ja) マルチチャネル蛍光分光装置
JPH07103823A (ja) 多重分光器及びその分光器を用いた測定方法
US3472596A (en) Double monochromator
JPH01126519A (ja) 高速走査分光器
US4560276A (en) Diffraction grating mounting device for scanning monochromator
JP2002168694A (ja) 分光器
JPH02108928A (ja) 分光光度計
JPH0486534A (ja) 多波長同時測光光度計
JPS60231123A (ja) 分光光度計
JPH05149787A (ja) 分光器
JPH04286Y2 (ja)
JPS62819A (ja) 分光測定装置
JP2602475Y2 (ja) 分光光度計
WO2004070330A1 (en) Monochromator and spectrophotometer
JPS58190731A (ja) パツシエンルンゲ形分光器
JPS6366424A (ja) ルミネセンス分光測定装置
JPS6316704B2 (ja)
JPS62178208A (ja) 光チヨツパ装置
JPH0518686Y2 (ja)
JPS59120826A (ja) グレ−テイングホルダ