JPS59232436A - 多数個の半導体素子を載せた伸縮性シートのウェハリングへのセッティング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体装置の製造過程において、多数１！ｌ
ｉｔの半導体素子（ベレット）を載せた伸縮性シートを
、一定量伸張させた状態においてリングにセツティング
する方法に関する。

ＩＣやＬＳＩあるいはＬＥＤなどの半導体装置は、一枚
のウェハーに多数個の半導体素子を一括形成し、これを
各単位半導体素子に分割したもの（ペレット）を−（固
−（固ピンクアップして、リードフレーム等の数例り基
体に対してポンディングするという製造過程を経る。

上記のように多数個の半導体素子を一括して作り込まれ
たウェハーは、その各素子の境界をスクライブしたのち
、伸縮性およびｔｉＩ＋’４性を有するシートに仮接着
され、ついでクランキングにより前記ウェハーを各半導
体素子毎に分；−リし、さらにこのシートを加熱しつつ
ほぼ１．５倍に伸張させるなどして、タラソキング時に
は互いに密接していた各ペレット間の間隔を、各ペレッ
トが整然と配列した状態を維持したまま一定量開りられ
る。このように伸張された伸縮性シー１−は、たとえば
ウェハリングと称される枠に貼着するなどしてその伸張
状態で固定される。このようにして伸縮性シートを張り
つけられた枠は、ペレソ１−ボンディング装置における
ペレノトビソクアソプ部のＸＹテーブル上に支持され、
そして、前記伸縮性シート上に整然と配列されている前
記ベレットは、ピックアップｇＢとボンディング位置間
を往復するベレット吸着コレットにより一個−個ビツク
アンプされ、かつ、所定のボンディング位置に運ばれて
ボンディングされる。

前記の伸縮性シー１−を一定量伸張させ、かつ、これを
伸張させた状態で固定するために用いる装置たるエキス
パンダーおよびその装置を用いての手法は、たとえば、
特公昭５７−２８９４９号公報に示されている。すなわ
ち、伸縮性シートの外縁部を固定リングにより保持して
おき、この固定リングの内側の可動リングを上動させる
ことにより、前記シートを伸張させ、次いで、前記可動
リングの外周に、保持リングを嵌着して前記シートを伸
張させた状態で固定したのち、前記伸縮性シートの保持
リングの外側の部位ををカットし、前記可動リングを保
持リングとともに取り出すのである。この場合、前記シ
ートは、可動リングの外周と保持リングの内周との間に
挟み込まれることにより、その伸張状態で固定される。

ところで、上記のような手法を採用する場合、可動リン
グを、これを上動させるための機構に対して着脱可能に
構成するとともに、この可動リングと前記保持リングを
多数個用意しておく必要があるなど、エキスパンダーの
構造が複雑になり、かつ、コスト的に不利である。また
、上記の手法においては、可動リングの外側にはめこん
だ保持リングと前記固定リングとの１１′ｌＴ間が狭く
、この部に位置する前記シートをカットするのが厄介で
あるなど、作業が困難であるという問題もある。

また、上記とは別の手法として、従来、前記公報Ｇこお
ける可動リングに相当するリングを上動させて、シート
を伸張させたのち、このリングの外側に輪ゴム゛をかけ
て前記シートが縮まないように保持しておいて前記リン
グないしシートを取り外し、上記リングの上面に、ポン
ディング桟用の枠を接着するとともにこの枠の周囲のシ
ートをカットするという手法も採られていた。しかしな
がら、この手法によれば、上記リングの周囲に輪ゴムを
掛けるときに相当引張力の強い輪ゴムを用いないとシー
トが縮む虞れがあるため、その作業が非常に厄介である
という問題があった。

本発明は、上記の事情に鑑がみ考え出されたもので、そ
の目的は、きわめて容易かつ確実に、ベレットを載せた
伸縮性シートをこれを伸張させた状態でボンディング桟
用ウェハリングに固定するための方法を提供することで
ある。

この目的を達成するため、本発明では、次の手法を採用
することとした。

すなわち、環状のクランプに多数個のベレットを載せた
伸縮性シートの外縁部を保持させるとともに、その内側
に位置する可動リングを上動させて前記シートを伸張さ
せたのぢ、前記シートの上面にウェハリングを載置し、
その状態においてこのウェハリングの外側において前記
シートを力・７トし、次いでカットされた前記シートの
縁をもちあげ、シートがその自身の収縮により、前記ウ
ェハリングの外縁に巻き付き、これにより、前記シート
が一定量伸張された状態において前記ウェハリングに固
定されるようにしたこと、である。

本発明方法の最も特徴的な点は、伸張された伸縮性シー
トがその伸張のための力を解放したときに収縮するとい
う性質を巧みに利用し、シート自体がみずからウェハリ
ングに巻付くようにしたごとにある。この伸縮性シート
の表面ば、通常、その上面にウェハをクラッキングして
各半導体素子毎に分割した多数個のベレットを仮接着す
るため、多少の粘着性を有するようにしである。したが
って、伸張後、その上面に、ウェハリングを載置する場
合においても、たとえば、特別に接着剤を塗布するなど
という必要はなく、単にある程度の力でウェハリングを
押し伺けておくだりでよい。シートの外縁がウェハリン
グに巻付いてこれがその伸張状態で固定されると、ウェ
ハリングを前記可動リングから取り外し、所定のボンデ
ィング装置斤にセントすればよい。

前に紹介した実公昭５７−２８９４９号公報に示されて
いる伸縮性シートの固定のための手法に比して、本発明
は、次のような利点がある。

上記公報の手法においては、可動リングとこれの外周に
嵌着した保持リングとの間に伸張したシートの外縁を挟
み込むことにより、このシートを伸張した状態において
固定しており、したがって、可動リングと保持リングが
相当の重量を占め、ウェハリングとしてボンディング装
置にセットずべきものがかなり重たく、取扱いが厄介で
あるのに対し、本発明方法によれば、ウェハリングとし
て薄状で軽い単一のものを用いることができるので、取
扱が非常に楽になる。また、伸縮性シートのカットも、
可動リング上における水平な部分をカットすることにな
るので、固定リングと可動リングとの僅かな隙間に位置
する円錐状に伸びたシートを側方からカットせさるをえ
ない上記公報に示された手法に比して、その作業は非常
に楽である。

また、シーＩ・を伸張させたのち、可動リングの外周に
輪ゴムをはめ、その後シートの上面にウェハリングを接
着するという、従来のもう一つの手法と比軸しても、本
発明方法は、上記のような輪ゴムにより仮どめするとい
う過程を含まないため、輪ゴムをはめる際にシートが不
規則に縮んでペレットの規則的な配列が壊れるといった
不都合も起こりえない。

以）、本発明の実施例を図面を参照しつつ、具体的に説
明する。

第１図は、タラソキング後のウェハ１を仮接着した伸縮
性シート２の外縁部を上下一対の環状のクランプ３，４
の間に挟着固定した状態を示す。

このシート２の中央部上面には、多数個のベレット５・
・・が互いに密接した状態で仮接着されている。

前記シート２の上面は、ある程度の粘着性を有して返り
、前記ベレット５・・・ば、この粘着性により、シート
２の上面に付着した状態にある。前記クランプ３，４の
内側であって、このクランプに周縁を保持されたシート
２の下方に位置する部位に４よ、上下運動する治具６が
配設されており、かつこの治具６には、環状の可動リン
グ７がはめこまれている。すなわち、前記冶具６は、全
体として、下方に外向鍔８を有する筒状を呈しており、
その節部の外側に前記可動リング７が、前記外向鍔８に
載るようにしてはめこまれている。なお、可動リング７
は、治具６の外周を上下方向に摺動可能となっており、
かつ、前記外向鍔８との間に圧縮コイルスプリング９等
のハネを介装することにより、常時、上方に弾力的に付
勢されている。また、この可動リング７の」二面には、
環状ｌｉ１′１１０を設けである。

上記のようにセットされた伸縮性シート２は、前記冶具
６を第２図に示すように一定量上動させることにより、
伸張させられる。図から明らかなように、第１図に示す
状態においては、互いに密接した状態にあったペレット
５・・・は、シート２の伸張後においては、その互いの
間隔が広げられている。また、上記のように、可動リン
グ７は、常時上方に向は弾カイ］勢されているのである
が、第２図に示ず状態においては、シート２の張力によ
り、前記外向鍔８に押さえ（＝Ｊけられている。

第３図に示すように、次に、ウェハリング１１を保持し
たカッタ一部＋Ａ’１２が降下して来、ウェハリング１
１を前記治具６の」−面に位置するシート２上に押し付
げる。このカック一部材１２は、全体として、前記治具
６と同一軸心を有する略筒状の部材で、その下面にウェ
ハリンク１１をはめこみ状に保持する保持部１３を有す
るとともに、その外周には、可動リング７の上面に形成
した環状溝１０の上方に位置し、かつ周方向に回動しう
る複数個のカッター１４が取イ］りられている。

なお、このカッター１４は、第３図のようにその下端部
が前記シート２の上面より上に位置する不作用状態と、
第４図のようにその下端部が可動リング７の環状溝１０
内に突入している作用状態とを選択できるようになって
いる。

すなわち、前記カッタ一部＋Ａ１２の小径の筒ｇＨ１２
ａの下部を大径部１５としてこの人１条部に」二面に段
部１６を形成し、大径部１５に上−ト方向および周方向
に摺動自由に環状￥ｆＩＳ材１７を嵌合するとともに、
この環状部材１７のよ１■ｉに、内径が小径の筒部１２
ａと略同寸の環状プレー（・１８を固着する一方、前記
筒部１２ａにおける前記段部１６より若干−Ｌ方に係止
ピン１９を突設するとともに前記環状プレーｈ　１８の
内周に、第７図に示すように、前記係止ピン１９が上下
方向に通過しうる切り欠き２０を形成する。かくして、
第３図に示すように、環状プレート１８をもちあげてそ
の切り欠き２０に前記係止ピン１９を通したのちこれを
周方向に回転させると、この環状プレート１８は前記係
止ピン１９の上に係止され、カッター１４は不作用状態
に選択される。一方、前記環状プレートを適当に回して
前記切り欠き２０と前記係止ピン１９の位置に一致させ
、前記係止ピン１９が前記切り欠き２０を通るようにし
て環状プレー　ｌ−１８ないし環状部＋Ａ’　１７を下
げると、第４図に示すようにカッター１４は、作用状態
に選択される。このとき、環状プレート１８の下面が前
記段部１６の上面に当接するので、カッター１４は、一
定高さにおいて周方向に回転しうる。なお、カッター１
４としては、第６図に示すように、市販のカッターを適
当数前記環状部材１７の外周に螺子２１を用いる等して
固定しておけばよい。

上記のように、カッタ一部材１２を使用状態にしたのち
、第７図に示されているハンドル２２を把持してこれを
矢印方向に回転させると、前記伸縮性シート２は、円形
にカットされる。たとえば、前記カッター１４を等間隔
に４箇所設けておくと、前記ハンドル２２を略９０度回
転させるだけでシートを完全にカットすることができる
。

シート２がカットされると、可動リング７を一ト方に押
さえ付けていたシート２の張力が解放されるので、第５
図に示すように、圧縮コイルスプリング９の弾力により
、前記可動リング７は上動し、これにより、伸縮性シー
ト２の外縁部が持ぢ上げられる。シート２は、伸張状態
から弛緩することとなるので、上記のように持ち上げら
れた部分は、第５図仮想線で示すように、その収縮作用
によりウェハリング１１の外周から」二面に巻きつくよ
うにして密着する。前にも説明したが、伸縮性シート２
は、ある程度の粘着性を有しているので、上記のように
、その外縁部が収縮により巻きつくだけで、しっかりと
ウェハリング１１に付着し、この結果、シート２は、そ
の伸−張状態を維持したままウェハリング１１に対して
固定される。

シート２の外縁がウェハリング１１に固定されると、前
記カッター１４Ｅ１２を上動させ、ウェハリング１１に
張り伺いた伸縮性シート２を前記治具６より取り外し、
ホンディング装置にセントすればよい。

なお、本発明の範囲、とくに、本発明方法を実施するだ
めの装置としては、図面に示した実施例のものに限定さ
れないことは勿論である。すなわら、シートのカットは
、マニュアルにより行なってもよいし、また、シートを
カットした後可動リングを−Ｆ動させる動作も、図示例
のようにハネにより行なうほか、マニュアルにより行な
ってもよい。

要するに、本発明は、伸縮性シートのカット後の自然収
縮作用を利用してこれをウェハリングにセツティングす
るという点を要旨とするものである。

以上のように本発明にかがるる伸縮性シートのセツティ
ング方法は、きわめて容易かつ確実に、多数個のペレッ
トを載せた伸縮性シートを一定量伸張させた状態でウェ
ハリングに固定することができるという特有の効果を自
している。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明の実施例を示し、第１図は、伸縮性シー
トの伸張前の状態を示すｗｉ面図、第２図は、伸縮性シ
ートを伸張した状態を示す断面図、第３図は、ウェハリ
ングを伸張したシート上に押しつけた状態を示す拡大断
面図、第４図は、シートのウェハリングの外側をカット
している状態を示す拡大断面図、第５図は、カソトシた
シートの外縁を持も上げている状態を示す拡大断面図、
第６図は、第３図の■方向矢視図、第７図は、第３図の
■方向矢視図である。 ２・・・・・・伸縮性シート、３．４・・・・・・クラ
ンプ、５・・・・・・ペレット、７・・・・・・可動リ
ング、１１・・・・・・ウェハ１１ング Ａ３目 ■ 第４１冊

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （］）環状のクランプに多数個のベレットを載せた伸縮
   性シートの外縁部を保持させるとともに、その内側に位
   置する可動リングを上動させて前記シートを伸張させた
   のち、前記シートの上面にウェハリングを＃！置し、そ
   の状態においてこのウェハリングの外側において前記シ
   ートをカットし、次いでカットされた前記シートの縁を
   もぢあげ、シートがそれ自身の収縮により、前記ウェハ
   リングの外縁に巻き付き、これにより、前記シートが一
   定量伸張された状態において前記ウェハリングに固定さ
   れるようにしたことを特徴とする、伸縮性シートのセツ
   ティング方法。