JPS60110135A - ペレットピックアップ装置 - Google Patents
ペレットピックアップ装置Info
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- JPS60110135A JPS60110135A JP58217581A JP21758183A JPS60110135A JP S60110135 A JPS60110135 A JP S60110135A JP 58217581 A JP58217581 A JP 58217581A JP 21758183 A JP21758183 A JP 21758183A JP S60110135 A JPS60110135 A JP S60110135A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 60
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- SGTNSNPWRIOYBX-UHFFFAOYSA-N 2-(3,4-dimethoxyphenyl)-5-{[2-(3,4-dimethoxyphenyl)ethyl](methyl)amino}-2-(propan-2-yl)pentanenitrile Chemical compound C1=C(OC)C(OC)=CC=C1CCN(C)CCCC(C#N)(C(C)C)C1=CC=C(OC)C(OC)=C1 SGTNSNPWRIOYBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
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- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
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- H01L2221/68322—Auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［全１９１の利用分野］
未発ＩＪ＋はダイシング済みのウェハーが貼付けられた
ウェハーシートの延伸機構に関する。
ウェハーシートの延伸機構に関する。
〔発明の前置］
一般に、回路パターン形成が終ったウェハーは、検査締
了後、グイボンダーに供給されるまでに次の工程を経て
行われる。まず第１」−程で個々のペレットに分割すべ
く粘着シートに貼られ、ウェハー引伸のｌ／２〜ｌ／３
位残して溝が入れられダイシングされる（ダイシング上
程）。次に第２工程で粘着力のほとんどないシートにウ
ェハーを移し換え、ウェハーのパターンを傷付けること
なくローラを押し付け１個々のペレットに分割する（ブ
レーキング工程）、その後、第３工程でペレットの裏面
よりシートを暖めながら引伸す（ウェハー引伸し工程）
。次に第４工程でウェハーリングにシートを取付ける（
ウェハーシート取付上程）。最後に第５工程でウェハー
リンクをダイボンダーのベレット供給治具に取付ける（
ペレット供給冶其取付工程）作業が行われている。この
ように、非宮に多くのｒ程を経なければならない。
了後、グイボンダーに供給されるまでに次の工程を経て
行われる。まず第１」−程で個々のペレットに分割すべ
く粘着シートに貼られ、ウェハー引伸のｌ／２〜ｌ／３
位残して溝が入れられダイシングされる（ダイシング上
程）。次に第２工程で粘着力のほとんどないシートにウ
ェハーを移し換え、ウェハーのパターンを傷付けること
なくローラを押し付け１個々のペレットに分割する（ブ
レーキング工程）、その後、第３工程でペレットの裏面
よりシートを暖めながら引伸す（ウェハー引伸し工程）
。次に第４工程でウェハーリングにシートを取付ける（
ウェハーシート取付上程）。最後に第５工程でウェハー
リンクをダイボンダーのベレット供給治具に取付ける（
ペレット供給冶其取付工程）作業が行われている。この
ように、非宮に多くのｒ程を経なければならない。
そこで最近、前記多くの工程を・減らすべく、次のよう
な方法がとられている。粘着シートに貼付けられた回路
パターン検査済ウニ／＼−を個々のペレットに分割する
際、ペレット厚全部切断し、それを直接グイボンダーの
ペレット供給治具に取＋１ける。この方法は前記第２．
３．４工程がなくなり合理化できる。しかしながら、こ
の方法１よ、ペレットを突」二げ針で突りげて粘着シー
トよりＣ出力１すｌｌｌト 粘着シートが持ち１げられ
なし１ようにシート吸ｒ１を強くしなければならない。
な方法がとられている。粘着シートに貼付けられた回路
パターン検査済ウニ／＼−を個々のペレットに分割する
際、ペレット厚全部切断し、それを直接グイボンダーの
ペレット供給治具に取＋１ける。この方法は前記第２．
３．４工程がなくなり合理化できる。しかしながら、こ
の方法１よ、ペレットを突」二げ針で突りげて粘着シー
トよりＣ出力１すｌｌｌト 粘着シートが持ち１げられ
なし１ようにシート吸ｒ１を強くしなければならない。
またペレット間隔が狭いため、ペレットを突」二げると
、突上１ｆられたペレットが傾き、隣りのベレットに接
触し、隣りのペレットが割れ、欠けを起す。
、突上１ｆられたペレットが傾き、隣りのベレットに接
触し、隣りのペレットが割れ、欠けを起す。
このような欠点は、例えば特公昭５８−４６８５９号〜
公報に示すように、粘着シー）ｉこ貼り付（すられた回
路パターン検査済つエノ＼−をペレット厚全部切断して
個々のペレットに分割し、それをつｘ バー ン−ｌ・
の延伸機構に取付けてウェハシートを引伸し、その後ウ
ェハ−シートをグイポンターのペレット供給冶具に取付
ける方法によって解消される。即ち、ウニ／Ｘ−シート
が・引伸され張力力く増すため、ウェハ−シート吸着が
不用になる。またウェハーシートを引伸すことによりペ
レット間隔が広がり、ペレットの割れ、欠けがなくなる
。
公報に示すように、粘着シー）ｉこ貼り付（すられた回
路パターン検査済つエノ＼−をペレット厚全部切断して
個々のペレットに分割し、それをつｘ バー ン−ｌ・
の延伸機構に取付けてウェハシートを引伸し、その後ウ
ェハ−シートをグイポンターのペレット供給冶具に取付
ける方法によって解消される。即ち、ウニ／Ｘ−シート
が・引伸され張力力く増すため、ウェハ−シート吸着が
不用になる。またウェハーシートを引伸すことによりペ
レット間隔が広がり、ペレットの割れ、欠けがなくなる
。
しかしながら、このウェハ−シートの延伸機構はペレッ
トの裏面側に上下動可能に円筒状のピストンが配設され
ており、このピストンの上下動によってウェハーシート
が引伸されるので、ウェハーシートの延伸機構よりウェ
ハシートを取外し、その後ウェハーシートをグイボンダ
ー又はグイ詰装置のペレット供給治具に取付けなければ
ならない。
トの裏面側に上下動可能に円筒状のピストンが配設され
ており、このピストンの上下動によってウェハーシート
が引伸されるので、ウェハーシートの延伸機構よりウェ
ハシートを取外し、その後ウェハーシートをグイボンダ
ー又はグイ詰装置のペレット供給治具に取付けなければ
ならない。
［発明の目的］
本発明の目的は、ウニ／Ｘ−シートを引伸した後、その
ままの状態でペレットをダイボンダーに供給することが
できるウェハーシートの延伸４１橋を提供することにあ
る。
ままの状態でペレットをダイボンダーに供給することが
できるウェハーシートの延伸４１橋を提供することにあ
る。
［発明の実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ウェ
ハーフレームｌに外周部が固定されたウェハーシート２
には切断済のペレット３，３・・・か貼伺けられている
。前記ウェハーシート２を固定するウェハーシート固定
台４はＸＹ方向に駆動される１図示しないＸＹテーブル
に固定されている。またウェハーシート固定台４には穴
４ａが形成されており、この穴４ａの１．端外周部分は
上方に突出して円環部４ｂが形成されている。ウェハー
シート固定台４には複動型エアーシリンダ５が固定され
ており、このエアーシリンダ５のシリンダシャフト５ａ
はウェハーシート固定台４の」二面より突出している。
ハーフレームｌに外周部が固定されたウェハーシート２
には切断済のペレット３，３・・・か貼伺けられている
。前記ウェハーシート２を固定するウェハーシート固定
台４はＸＹ方向に駆動される１図示しないＸＹテーブル
に固定されている。またウェハーシート固定台４には穴
４ａが形成されており、この穴４ａの１．端外周部分は
上方に突出して円環部４ｂが形成されている。ウェハー
シート固定台４には複動型エアーシリンダ５が固定され
ており、このエアーシリンダ５のシリンダシャフト５ａ
はウェハーシート固定台４の」二面より突出している。
エアーシリンダ５のエアー接続１１５ｂ、５ｃにはバイ
ブロ、７の一端が接続されており、バイブロ、７の他端
は図示しない電磁ν［ブｔを介してエアーコンプレッサ
に接続されていル、前記シリンダシャフト５ａの」二鎖
には、引伸し板８が丙寅されており、この引伸し板８に
は前記ウェハーシート固定台４の円環部４ｂにほぼウェ
ハーシート２の厚さの隙間を有する穴８ａが形成されて
いる。引伸し板８の穴８ａの下端外周部分は下方に突出
して円環８１！、８ｂが形成されている。
ブロ、７の一端が接続されており、バイブロ、７の他端
は図示しない電磁ν［ブｔを介してエアーコンプレッサ
に接続されていル、前記シリンダシャフト５ａの」二鎖
には、引伸し板８が丙寅されており、この引伸し板８に
は前記ウェハーシート固定台４の円環部４ｂにほぼウェ
ハーシート２の厚さの隙間を有する穴８ａが形成されて
いる。引伸し板８の穴８ａの下端外周部分は下方に突出
して円環８１！、８ｂが形成されている。
なお１図中、１０はｉす記つェハーソート固に台４の穴
４ａに配設されてペレット３を下方より突上げる突上げ
針で１図示しない上下駆動１段で」。
４ａに配設されてペレット３を下方より突上げる突上げ
針で１図示しない上下駆動１段で」。
下動させられる。１ｌｔｆ、ペレット３のＬ力に配設さ
れペレット３を真空吸着するコレットで１図示しない上
下駆動手段及びＸＹ方向駆動手段で移動させられ、ペレ
ット３を吸着してグイポンターのホンディング位置又は
グイ位置決め部に移送する。
れペレット３を真空吸着するコレットで１図示しない上
下駆動手段及びＸＹ方向駆動手段で移動させられ、ペレ
ット３を吸着してグイポンターのホンディング位置又は
グイ位置決め部に移送する。
次に作用について説明する。まず第１図（ａ）に示すよ
うに、ウェハーシート固定台４の円環部４ｂ上にウェハ
ーシート２を＆置する０次にエアー接続［１５ｂよりエ
アーがエアーシリンダ５に供給されると、シリンダシャ
フト５ａは引込む、これにより、同図（ｂ）に示すよう
に引伸し板８の円環部８ｂがウェハーシート２を押しな
がらウェハーシート２がウェハーシート固定台４に当る
まで引伸し板８は下降する。この時、ウェハーシート２
は引伸され、ペレット３間の間隔は広げられる。その後
は突上げ針ｌＯが上昇してペレット３を突Ｉこげ、コレ
ット１１か下降して突上げられたペレット３を吸着して
」二昇する。そして、グイポングーのホンディング位置
又はダイ位置決め位置にグイ３を移送する。
うに、ウェハーシート固定台４の円環部４ｂ上にウェハ
ーシート２を＆置する０次にエアー接続［１５ｂよりエ
アーがエアーシリンダ５に供給されると、シリンダシャ
フト５ａは引込む、これにより、同図（ｂ）に示すよう
に引伸し板８の円環部８ｂがウェハーシート２を押しな
がらウェハーシート２がウェハーシート固定台４に当る
まで引伸し板８は下降する。この時、ウェハーシート２
は引伸され、ペレット３間の間隔は広げられる。その後
は突上げ針ｌＯが上昇してペレット３を突Ｉこげ、コレ
ット１１か下降して突上げられたペレット３を吸着して
」二昇する。そして、グイポングーのホンディング位置
又はダイ位置決め位置にグイ３を移送する。
このように、ウェハーシート２の上下から円環部４ｂと
円環部８ｂとでウェハ−シート２を引伸すので、ウニ／
＼−シートの延伸機構はグイボンダー装置又はダイ冶其
詰め装置の中に組込むことができる。従って、ウェハ−
シートの延伸機構よりウェハーシート２を取外してグイ
ポンターのペレット供給治具に取付ける作業が不用とな
り、工程は引伸し板８を手で押し下げ、ねじ２０をウェ
ハ−シート固定台４に螺合させ、引伸し板８をウニバー
シート固定台４に固定してなる。このように構成しても
前記実施例と同様の効果が１１）られ施例はウェハーシ
ート固定台４の穴４Ｃを前記実施例の穴４ａより大きく
形成し、前記実施例の円環部４ｂを別部材よりなる円環
部材２１によって構成してなる。また前記実施例の引伸
し板８も前記実施例の円環部８ｂを別部材よりなる円環
部材２２によって構成してなる。
円環部８ｂとでウェハ−シート２を引伸すので、ウニ／
＼−シートの延伸機構はグイボンダー装置又はダイ冶其
詰め装置の中に組込むことができる。従って、ウェハ−
シートの延伸機構よりウェハーシート２を取外してグイ
ポンターのペレット供給治具に取付ける作業が不用とな
り、工程は引伸し板８を手で押し下げ、ねじ２０をウェ
ハ−シート固定台４に螺合させ、引伸し板８をウニバー
シート固定台４に固定してなる。このように構成しても
前記実施例と同様の効果が１１）られ施例はウェハーシ
ート固定台４の穴４Ｃを前記実施例の穴４ａより大きく
形成し、前記実施例の円環部４ｂを別部材よりなる円環
部材２１によって構成してなる。また前記実施例の引伸
し板８も前記実施例の円環部８ｂを別部材よりなる円環
部材２２によって構成してなる。
そこで、ウェハーシート２の引伸しは、まずウェハーシ
ート２をウェハシート固定台４に・載置し、ねじ２３で
ウェハーフレームｌをウェハーシート固定台４に固定す
る。次に円環部材２２をウェハーシート２の上面に当て
、ウェハーシート２の下面より円環部材２１を押上げ、
円環部材２１を円環部材２２に遊合させる。これにより
、ウェハーシート２は引伸され、ペレット３間の間隔は
広げられる。
ート２をウェハシート固定台４に・載置し、ねじ２３で
ウェハーフレームｌをウェハーシート固定台４に固定す
る。次に円環部材２２をウェハーシート２の上面に当て
、ウェハーシート２の下面より円環部材２１を押上げ、
円環部材２１を円環部材２２に遊合させる。これにより
、ウェハーシート２は引伸され、ペレット３間の間隔は
広げられる。
第４図は本発明の第４実施例を示す。本実施例は前記第
１実施例（第１図）、第２実施例（第２図）の変形例を
示す。即ち、第１、第２実施例は引伸し板８に円環部８
ｂを設けたが、本実施例は引伸し板８に円環部８ｂを設
けてない。このように構成しても前記実施例と同様の効
果が得られる。
１実施例（第１図）、第２実施例（第２図）の変形例を
示す。即ち、第１、第２実施例は引伸し板８に円環部８
ｂを設けたが、本実施例は引伸し板８に円環部８ｂを設
けてない。このように構成しても前記実施例と同様の効
果が得られる。
第５図は本発明の第５実施例を示す。本実施例！±ウェ
ハーシート固定台４に前記第１実施例、第２実施例に示
す円環部４ｂを設けてなく、かつ穴４ａを引伸し板８に
円環部８ｂより大きく形成してなる。このように構成し
ても前記実施例と同様の効果が得られる。
ハーシート固定台４に前記第１実施例、第２実施例に示
す円環部４ｂを設けてなく、かつ穴４ａを引伸し板８に
円環部８ｂより大きく形成してなる。このように構成し
ても前記実施例と同様の効果が得られる。
なお、第１図の実施例においては、引伸し板８をド降さ
せたが、引伸し板８は固定で、ウニ／＼−シーＩ・固定
台４を七シＩさせてもよい。
せたが、引伸し板８は固定で、ウニ／＼−シーＩ・固定
台４を七シＩさせてもよい。
［発明の効果］
以１．の説明から明らかな如く、本発明になるつ、エバ
ーシー１・の延伸機構によれば、ウニ／＼−シートを載
置又は固定する穴が形成されたウェハ−シート固定台と
、このウェハ−シート固定台に形成され前記穴の外周上
面が突出した円環部又は前記ウェハーシート固定台の穴
を通して配設される円環部材と、前記円環部又は円環部
材の上方に配設され１１１ｊ記円環部又は円環部材と協
同して前記ウェハーシートを引伸すように前記円環部又
は円環部材に遊嵌される円環部を有する引伸し板とを備
えているので、グイボンダー装置又はダイ冶具詰装；δ
の中に組込むことができ、ウェハーシートの延伸機構よ
りウェハーシートを取外してタイボンダーのペレット供
給治具に取付ける作業が不用となり、工程の簡素化によ
る合理化が計れる。
ーシー１・の延伸機構によれば、ウニ／＼−シートを載
置又は固定する穴が形成されたウェハ−シート固定台と
、このウェハ−シート固定台に形成され前記穴の外周上
面が突出した円環部又は前記ウェハーシート固定台の穴
を通して配設される円環部材と、前記円環部又は円環部
材の上方に配設され１１１ｊ記円環部又は円環部材と協
同して前記ウェハーシートを引伸すように前記円環部又
は円環部材に遊嵌される円環部を有する引伸し板とを備
えているので、グイボンダー装置又はダイ冶具詰装；δ
の中に組込むことができ、ウェハーシートの延伸機構よ
りウェハーシートを取外してタイボンダーのペレット供
給治具に取付ける作業が不用となり、工程の簡素化によ
る合理化が計れる。
第１図は本発明の第１実施例を示し、（ａ）はウェハー
シート引伸し前の断面図、（ｂ）はウェハーシート引伸
し後の断面図、第２図、第３図。 第４図、第５図は本発明の第２、第３、第４、第５実施
例を示す断面図である。 ２１１ａ・ウェハーシート、３・拳−ペレット、４・−
・ウェハーシート固定台、４ａ＊−・穴、４ｂφ・拳固
環部、 ８・・・引伸し板、８ａ−φ・穴、 ８ｂ・争
赤円環部、 ２１．２２・・・円環部材。 第２図 第３図 第４図 第５因
シート引伸し前の断面図、（ｂ）はウェハーシート引伸
し後の断面図、第２図、第３図。 第４図、第５図は本発明の第２、第３、第４、第５実施
例を示す断面図である。 ２１１ａ・ウェハーシート、３・拳−ペレット、４・−
・ウェハーシート固定台、４ａ＊−・穴、４ｂφ・拳固
環部、 ８・・・引伸し板、８ａ−φ・穴、 ８ｂ・争
赤円環部、 ２１．２２・・・円環部材。 第２図 第３図 第４図 第５因
Claims (1)
- ウェハー切断後のペレットが貼付けられたウェハーシー
トを引伸すウェハーシートの延伸４１４％ｉにおいて、
ウェハーシートを載置又は固定する穴が形成されたウェ
ハーシート固定台と、このウエハーンートｊａｉｌ定台
に形成され前記穴の外周上面が突出した円環部×は前記
ウェハーシート固定台の穴を通して配設される円環部材
と、前記円環部又は１’ｌ ｌ；部材のｌ力に配設され
前記円環部又は円環部材と協同して＋ｉｉｊ記ウェハー
シートを引伸すように＋ｉｉ＋記円環部又は円環部材に
遊嵌される円環部を看する引伸し板とを備えたことを特
徴とするウェハーシートの延伸機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58217581A JPS60110135A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | ペレットピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58217581A JPS60110135A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | ペレットピックアップ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60110135A true JPS60110135A (ja) | 1985-06-15 |
| JPH0144018B2 JPH0144018B2 (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=16706519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58217581A Granted JPS60110135A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | ペレットピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60110135A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179751U (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-10 | ||
| JPS63102237U (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | ||
| JPH01173737A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Shinkawa Ltd | ウエハー供給装置 |
| JP2004327714A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Nec Machinery Corp | ウェーハシートのエキスパンド装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504543A (ja) * | 1973-05-16 | 1975-01-17 | ||
| JPS544062A (en) * | 1977-06-13 | 1979-01-12 | Hitachi Ltd | Wafer extender |
| JPS5728949A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-16 | Saburo Kano | Finishing hot water or shower apparatus annexed to external furnace type bathtub |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP58217581A patent/JPS60110135A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504543A (ja) * | 1973-05-16 | 1975-01-17 | ||
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0144018B2 (ja) | 1989-09-25 |
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