JPS59210715A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS59210715A JPS59210715A JP7486684A JP7486684A JPS59210715A JP S59210715 A JPS59210715 A JP S59210715A JP 7486684 A JP7486684 A JP 7486684A JP 7486684 A JP7486684 A JP 7486684A JP S59210715 A JPS59210715 A JP S59210715A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absorber
- surface acoustic
- surface wave
- elastic surface
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は弾性表面波装置に関する。
〔発明の技術的背景とその間；＝′Ｑ点〕圧４１ｉ体上
に入力インターデジタル電極を形成して電気信号を弾性
表面波に変換し、この弾性表面ｒ皮の伝播１洛に出力イ
ンターデジタル電極を形成して弾性表面波”Ｉｒ：ｊＪ
）Ｉ気信号に変換する構成の弾性表面波装置は公升であ
る。このような弾性表面波装置では表面波伝搬基板の不
連喘部あるいけ端部において表面波の反射が起こる。
に入力インターデジタル電極を形成して電気信号を弾性
表面波に変換し、この弾性表面ｒ皮の伝播１洛に出力イ
ンターデジタル電極を形成して弾性表面波”Ｉｒ：ｊＪ
）Ｉ気信号に変換する構成の弾性表面波装置は公升であ
る。このような弾性表面波装置では表面波伝搬基板の不
連喘部あるいけ端部において表面波の反射が起こる。
この反射表面波が、入・出カドランスデューサに入射す
ると雑音となる。そこで、一般に不快な弾性表面波を除
去するために吸収体全形成することが行なわれている。
ると雑音となる。そこで、一般に不快な弾性表面波を除
去するために吸収体全形成することが行なわれている。
しかしながら、従来においてはこの吸収体＋′Ｊ：。
インターディジタル電極を形成した圧電体をパッケージ
に組込んだ後で、１箇所ずつ、千所９あるいは定量吐出
器を用いて形成されていた。このため吸収体の厚みや塗
布幅が不均一となり、不要反射波全吻−に抑圧すること
ができず、所望のスプリアス特性が得られないという間
：磯かぁ−）だ。
に組込んだ後で、１箇所ずつ、千所９あるいは定量吐出
器を用いて形成されていた。このため吸収体の厚みや塗
布幅が不均一となり、不要反射波全吻−に抑圧すること
ができず、所望のスプリアス特性が得られないという間
：磯かぁ−）だ。
本発明は上記点に鑑みなされたものでスプリアス特性の
改善された弾性表面波装＠、 ＊提供するものである。
改善された弾性表面波装＠、 ＊提供するものである。
本発明は弾性表面波伝播路に表面波吸収体全スクリーン
印刷法を用いて形成するようにしたもの第１図Ｅは本゛
ｊ＾明の一実施例による弾性表面波装置ｒｆ、 ｋ示す
ものである。まず第１図Ａに示すように基板例えば圧電
体であるＬ １ＮｂＯａ板１を表面研摩加工したのち、
・Ｆ １１ｆｆｉ Ｂに示すようにこの基板１−ヒに多
数の入力電極２および出力インターディジタル電（夕３
を互いに１催隔して形成する。
印刷法を用いて形成するようにしたもの第１図Ｅは本゛
ｊ＾明の一実施例による弾性表面波装置ｒｆ、 ｋ示す
ものである。まず第１図Ａに示すように基板例えば圧電
体であるＬ １ＮｂＯａ板１を表面研摩加工したのち、
・Ｆ １１ｆｆｉ Ｂに示すようにこの基板１−ヒに多
数の入力電極２および出力インターディジタル電（夕３
を互いに１催隔して形成する。
次にこのように多数の入・出力インターディジタル電啄
２，３を形成した基板１上に第１図Ｃに示すようにスク
リーン印刷用マスク４例えばステンレスメツシュを固定
配設する。
２，３を形成した基板１上に第１図Ｃに示すようにスク
リーン印刷用マスク４例えばステンレスメツシュを固定
配設する。
そしてこのマスク４上から周知のスクリーン印刷技術に
よす、１収手の先端に弾力性体例えばゴムを取着して成
るスキージに弾性表面波吸収体材料をつけて、前記マス
ク４上からこする。
よす、１収手の先端に弾力性体例えばゴムを取着して成
るスキージに弾性表面波吸収体材料をつけて、前記マス
ク４上からこする。
このようｒＣシてスクリーン印刷を行う。
その後マスク４を除去する。このとき基板１上には第１
図りに示すように弾性表面波吸収体５゜６が形成されて
いる、その後、基板１を各弾性表面波装置毎にダイヤモ
ンドカッタ等によりスクライビングして第１図Ｅに示す
ような弾性辰面波装４を得る。
図りに示すように弾性表面波吸収体５゜６が形成されて
いる、その後、基板１を各弾性表面波装置毎にダイヤモ
ンドカッタ等によりスクライビングして第１図Ｅに示す
ような弾性辰面波装４を得る。
弾性表面波吸収体ｌは、弾性表面波入射端の少くとも一
部が弾性表面波の入射方向に対して斜交するよう形成さ
れている。材料はスクリーン印部１ｊ用インクとして一
般に用いられている）・イキノト（長瀬社商品名）やマ
ーケムインク（マーケムエシアティック社商品名）など
である。
部が弾性表面波の入射方向に対して斜交するよう形成さ
れている。材料はスクリーン印部１ｊ用インクとして一
般に用いられている）・イキノト（長瀬社商品名）やマ
ーケムインク（マーケムエシアティック社商品名）など
である。
このようｉ／ｆｆ Ｌで、スクリーン印刷によシ吸耳又
体を形成した結果、厚さ±５μ程度のノくラツキで、か
々シ精度よく一度に多数の部分に吸収体を１［裟成する
ことができたつ 〔発明の効果〕 スプリアス特性を調べた結果、吸収体として従来のエポ
キシ樹脂としてセメダインスーツく（セメダイン社商品
名）を用いて弾性表面波装置のｊ聞波数特性は第２図の
特性であったのに対し＊ｍＮｅマ毛＝＝倫１休グ狗１層 このよう１（本発明によりスプリアス特性が改善される
址山は、吸収体が従来のような手塗りの場合に比べて一
様な厚さおよび鴨で形成することができ、不要反射仮装
インターディジタル電すの開口幅Ｖこわたって賄−に抑
圧することかできるためである。また吸収体が、その弾
性表面波入射端部が５（ド性表面汲入躬方向に対して斜
変するよう形成されているので、弾性表面波が吸収体の
弾性表面波入射端部で反射されても効果的に散乱され、
さらに不要反４：Ｊ波の影臀が除去されるためである。
体を形成した結果、厚さ±５μ程度のノくラツキで、か
々シ精度よく一度に多数の部分に吸収体を１［裟成する
ことができたつ 〔発明の効果〕 スプリアス特性を調べた結果、吸収体として従来のエポ
キシ樹脂としてセメダインスーツく（セメダイン社商品
名）を用いて弾性表面波装置のｊ聞波数特性は第２図の
特性であったのに対し＊ｍＮｅマ毛＝＝倫１休グ狗１層 このよう１（本発明によりスプリアス特性が改善される
址山は、吸収体が従来のような手塗りの場合に比べて一
様な厚さおよび鴨で形成することができ、不要反射仮装
インターディジタル電すの開口幅Ｖこわたって賄−に抑
圧することかできるためである。また吸収体が、その弾
性表面波入射端部が５（ド性表面汲入躬方向に対して斜
変するよう形成されているので、弾性表面波が吸収体の
弾性表面波入射端部で反射されても効果的に散乱され、
さらに不要反４：Ｊ波の影臀が除去されるためである。
さらに本糺明によると伝搬損失の少ない弾性表面波装置
を提供することができる。すなわち弾性表面波装置は’
ｊ’ｎ性的工坏ルギーが圧電体基板表面に集中すＺ・と
いう特有な現数を呈する。このため基籾表曲上の状態の
影瞥を受りやすい。特に基也表囲上に南古なカスかめる
と、ガスロープインク゛によるか性表面波の伝搬損失が
増加する。一般に吸収体内には有舌なガスが存在するた
め予め加熱することによりガス抜きをすることが行われ
ている。しかし吸収体を＋塗りした場合、吸収体は馬く
形成されがちであｐ１カス抜きを行で）ても吸収体内部
のガスは除去されにくく、触時的に外部に知れ出し、弾
性表面ｒＢｃ装置に上記のような范飯＞ ＦＮＮｔ与え
る。しかるに本願発明によると、吸上（イ」・はれ′！
＜絢−に形成されるため夕・法的ｒ（カスσ〕ｈ；ゼ一
〃）ｈ」能であり、従って伝搬損失の少い弾性表面波装
置が得られる。
を提供することができる。すなわち弾性表面波装置は’
ｊ’ｎ性的工坏ルギーが圧電体基板表面に集中すＺ・と
いう特有な現数を呈する。このため基籾表曲上の状態の
影瞥を受りやすい。特に基也表囲上に南古なカスかめる
と、ガスロープインク゛によるか性表面波の伝搬損失が
増加する。一般に吸収体内には有舌なガスが存在するた
め予め加熱することによりガス抜きをすることが行われ
ている。しかし吸収体を＋塗りした場合、吸収体は馬く
形成されがちであｐ１カス抜きを行で）ても吸収体内部
のガスは除去されにくく、触時的に外部に知れ出し、弾
性表面ｒＢｃ装置に上記のような范飯＞ ＦＮＮｔ与え
る。しかるに本願発明によると、吸上（イ」・はれ′！
＜絢−に形成されるため夕・法的ｒ（カスσ〕ｈ；ゼ一
〃）ｈ」能であり、従って伝搬損失の少い弾性表面波装
置が得られる。
工斌丁赤色 ｉ
ｓ−−１°゛−一 またスクリーン印刷法金用いるとマスクパターンの形状
を任：ｕｒに１゛ψ定することにより、吸収体を所望の
形状で形成することができる。第４図にこうして形［１
（、ζ式れた吸収体の具体的形状例＊ ｆｒｓ ４図に
示す。
ｓ−−１°゛−一 またスクリーン印刷法金用いるとマスクパターンの形状
を任：ｕｒに１゛ψ定することにより、吸収体を所望の
形状で形成することができる。第４図にこうして形［１
（、ζ式れた吸収体の具体的形状例＊ ｆｒｓ ４図に
示す。
；ル４ ｉ閾Ａは弾性表面波入射側端部を凹凸にしたも
のであり、弓’ｔ ４ ｊＺＩ Ｂ 、 ］） 、 Ｆ
は多数の島状領域で吸収体５，６を借成しアとものであ
る。さらに第４図Ｃは吸収体５，６の入射面にテーパを
つけて、−都城対さ社、こ子ｔをさらに吸収体を設けて
吸収するように（７たものである。さらにまた第４図Ｅ
は１ｖｋ収木５，６の四１性表面波入射側端部を凹状に
形成しｔものである。さらてまた、寓４図Ｇは吸収体５
，６をすだれ状に形成したものである。その他ｔ、１！
々の変形が考えられる。
のであり、弓’ｔ ４ ｊＺＩ Ｂ 、 ］） 、 Ｆ
は多数の島状領域で吸収体５，６を借成しアとものであ
る。さらに第４図Ｃは吸収体５，６の入射面にテーパを
つけて、−都城対さ社、こ子ｔをさらに吸収体を設けて
吸収するように（７たものである。さらにまた第４図Ｅ
は１ｖｋ収木５，６の四１性表面波入射側端部を凹状に
形成しｔものである。さらてまた、寓４図Ｇは吸収体５
，６をすだれ状に形成したものである。その他ｔ、１！
々の変形が考えられる。
第１図Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅは本発明の一実施例を１ｖ′
！造工程！ｌｌ’ｊ ｈこ説明するための図、第２図は
吸収体としてセメダインスーパ（セメダイン社商品名）
を用いた場合の弾性表面波装置のリップル特性曲線図、
第３図は吸収体としてマーケムインク（商品名）を用い
た場合の弾性表面波装置のリップル特性面８ｐ図、第４
図はＡ 、 Ｂ 、 Ｃ、Ｄ 、 Ｅ 、 Ｆ 。 Ｇは本発明の方法によシ形成された吸収体の具体的構造
形状全庁す図である。 １・・・・・・基板、２・・・入力トランスデー−サ、
３・・・出力トランスデー−サ、４・・スクリーン印刷
用マスク、５，６・・・吸収体、 −４−゛ユ′代
理人 弁理士 則近憲佑（ほか１名）第１図 同表数（ｈ４Ｈ７１） ｆ ＬＭｐｔｔ）
！造工程！ｌｌ’ｊ ｈこ説明するための図、第２図は
吸収体としてセメダインスーパ（セメダイン社商品名）
を用いた場合の弾性表面波装置のリップル特性曲線図、
第３図は吸収体としてマーケムインク（商品名）を用い
た場合の弾性表面波装置のリップル特性面８ｐ図、第４
図はＡ 、 Ｂ 、 Ｃ、Ｄ 、 Ｅ 、 Ｆ 。 Ｇは本発明の方法によシ形成された吸収体の具体的構造
形状全庁す図である。 １・・・・・・基板、２・・・入力トランスデー−サ、
３・・・出力トランスデー−サ、４・・スクリーン印刷
用マスク、５，６・・・吸収体、 −４−゛ユ′代
理人 弁理士 則近憲佑（ほか１名）第１図 同表数（ｈ４Ｈ７１） ｆ ＬＭｐｔｔ）
Claims (1)
- 圧を屍体基板と、この圧電体基板上に％けられた電気信
号を弾性表面波に変換する電Ｑと、この電極により励４
辰され／こ弾性表面波全吸収するよう前記圧電体基イガ
上にスクリーン印刷によシ形成された吸収体と全備え、
前記吸収体はその弾性表面波入射端の少なくとも一部が
弾性表面波の入射方向に対して斜交するよう形成されて
いることを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7486684A JPS59210715A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7486684A JPS59210715A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | 弾性表面波装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13618175A Division JPS5831766B2 (ja) | 1975-11-14 | 1975-11-14 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59210715A true JPS59210715A (ja) | 1984-11-29 |
Family
ID=13559677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7486684A Pending JPS59210715A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59210715A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06334466A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US5900286A (en) * | 1994-12-09 | 1999-05-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of producing an attenuating structure on a surface wave component |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4998550A (ja) * | 1973-01-20 | 1974-09-18 |
-
1984
- 1984-04-16 JP JP7486684A patent/JPS59210715A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4998550A (ja) * | 1973-01-20 | 1974-09-18 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06334466A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US5900286A (en) * | 1994-12-09 | 1999-05-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of producing an attenuating structure on a surface wave component |
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