JPS5887530A - 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 - Google Patents
規則性パタ−ンの欠陥検査装置Info
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- JPS5887530A JPS5887530A JP56186738A JP18673881A JPS5887530A JP S5887530 A JPS5887530 A JP S5887530A JP 56186738 A JP56186738 A JP 56186738A JP 18673881 A JP18673881 A JP 18673881A JP S5887530 A JPS5887530 A JP S5887530A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95623—Inspecting patterns on the surface of objects using a spatial filtering method
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- Pathology (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発嘴は、レーザー党回折パターン空間周波数フィルタ
リング方式を用いて単位開口の規則性パターン中の形状
欠陥を検出する装置において、形状欠陥を縁部と区別し
て検出する却、削性パターンの欠陥検査装置に関する。
リング方式を用いて単位開口の規則性パターン中の形状
欠陥を検出する装置において、形状欠陥を縁部と区別し
て検出する却、削性パターンの欠陥検査装置に関する。
メタルメツシュ等の単位開口の規則性１列パターンから
なる工業製品は、一般に縁部は粗線によりて開口が途中
から切られているため不規則な形状の単位開口でつなが
っている。したがって、レーザー光回折パターン９間周
波数フィルタリング方式な用いた場合は、縁部は丁ぺて
欠陥形状として検出されるため、通常の欠陥と区別しな
ければならない。
なる工業製品は、一般に縁部は粗線によりて開口が途中
から切られているため不規則な形状の単位開口でつなが
っている。したがって、レーザー光回折パターン９間周
波数フィルタリング方式な用いた場合は、縁部は丁ぺて
欠陥形状として検出されるため、通常の欠陥と区別しな
ければならない。
ここにおいて、本発明は、それら通常の欠陥と縁部とな
謙別する装置Ｖ提供ｊ石ことを、その目的とする。
謙別する装置Ｖ提供ｊ石ことを、その目的とする。
先ず、レーザー光回折パターン９間周波数フィルタリン
グ方式の基本構成Ｖ第１図により説明する。
グ方式の基本構成Ｖ第１図により説明する。
レーザ発振器／Ｙ：出たレーザピームコは、コリメー／
ＪＫよって拡大された平行党参となりて皺検査物ｊＫＱ
射される。＠検査物３はフーリエ変換レンズ７の前焦廃
面に曾かれてあり、後焦点面上には被検査物ｊＶ通過す
る時に回折した光１によりて、被検査物Ｉのフーリエ変
換スペクトルが現われる。しかして、フーリエ変換レン
ズクの後焦点面上には、被検査物！の正常パターン（フ
ーリエ変換レンズγによる）のフーリエ変換スペクトル
強度分布ＹＬ録したイ・力再真フィルム、つまり空Ｉ％
ｉ族訴数フィルタｇが置かれており、＠検査物ｊのフー
リエ＆換スペクトルのうち、正常パターンに相当するス
ペクトルのみがｑ間＃ｉ波数フィルタｔによって吸収さ
れ、欠陥パターンに相当するスペクトルは透過する。
ＪＫよって拡大された平行党参となりて皺検査物ｊＫＱ
射される。＠検査物３はフーリエ変換レンズ７の前焦廃
面に曾かれてあり、後焦点面上には被検査物ｊＶ通過す
る時に回折した光１によりて、被検査物Ｉのフーリエ変
換スペクトルが現われる。しかして、フーリエ変換レン
ズクの後焦点面上には、被検査物！の正常パターン（フ
ーリエ変換レンズγによる）のフーリエ変換スペクトル
強度分布ＹＬ録したイ・力再真フィルム、つまり空Ｉ％
ｉ族訴数フィルタｇが置かれており、＠検査物ｊのフー
リエ＆換スペクトルのうち、正常パターンに相当するス
ペクトルのみがｑ間＃ｉ波数フィルタｔによって吸収さ
れ、欠陥パターンに相当するスペクトルは透過する。
ところで、この空ｒ＆ｉ１周波数フィルタ５は逆フーリ
エ変換レンズ／θの前焦点面上に設けられているため、
空間蜘汲数フィルタｊを透過した光デは逆フーリエ変換
レンズ１０によって逆フーリエ変換さ１＋、逆フーリエ
変換レンズの後焦点面（逆フーリエ貿換面）上に置かれ
たスクリーン／／に、９！間フィルタリングされた逆フ
ーリエ変排偉１丁なわち被検査物！の欠陥部分だけσノ
儂となって埃われる。以上が９〜１フィルタリング方式
の基本桝成である。
エ変換レンズ／θの前焦点面上に設けられているため、
空間蜘汲数フィルタｊを透過した光デは逆フーリエ変換
レンズ１０によって逆フーリエ変換さ１＋、逆フーリエ
変換レンズの後焦点面（逆フーリエ貿換面）上に置かれ
たスクリーン／／に、９！間フィルタリングされた逆フ
ーリエ変排偉１丁なわち被検査物！の欠陥部分だけσノ
儂となって埃われる。以上が９〜１フィルタリング方式
の基本桝成である。
一力、第λ図は矩形状の単位開口の規則的配列で砂るパ
ターンσノー例を丞１も０ノであり、かかるパターンの
欠陥はそり大＠さか予め決められた一定（至）以上のも
のと定義される・しかして・第１図で述べた空間フィル
タリング方式を利用した欠陥検査装置では、第３図（４
）〜φ）の欠陥部分Ｄ／−ＤＩだけが、その欠陥面積に
対応した明るさの点となって再回折像面上に現われる。
ターンσノー例を丞１も０ノであり、かかるパターンの
欠陥はそり大＠さか予め決められた一定（至）以上のも
のと定義される・しかして・第１図で述べた空間フィル
タリング方式を利用した欠陥検査装置では、第３図（４
）〜φ）の欠陥部分Ｄ／−ＤＩだけが、その欠陥面積に
対応した明るさの点となって再回折像面上に現われる。
なお、第３図（Ｋ）は正常なパターンケ示して〜する。
矛フーリエ変排面に現われゐ被検査パターン３の逆儂の
欠陥部分だけの儂は、第ダ図に示１ように、フォトディ
テクタアレイ／／によって検出される。つまり、欠陥部
分／Ｓだけ明るい点となって現われ、フォトディテクタ
アレイ／ｌｌＩｃよって検出される。
欠陥部分だけの儂は、第ダ図に示１ように、フォトディ
テクタアレイ／／によって検出される。つまり、欠陥部
分／Ｓだけ明るい点となって現われ、フォトディテクタ
アレイ／ｌｌＩｃよって検出される。
ここにおいて、被検査パターンｔＶ平行光亭内で光軸ｌ
コに直角に平行移動してもフーリエ変換の移行剤により
、フーリエ変換レンズクの後焦点面上に現われるフーリ
エ変換パターンに変化はない、したがって、被検査パタ
ーン！を平行移動してもＰｌｓＫ、被検前パターンＳの
フーリエ変換スペクトルのうち正常パターンに相当する
スペクトルｆノみが空間フィルタｇによって吸収され、
欠陥パターンに相当てるスペクトルは透過する。かくし
て、Ｖ検査パターンｊの平行移１１−により逆フーリエ
変換像は光軸対称σノ逆方向に移動、つまり被検査パタ
ーン３の逆儂の欠陥部分だけの像が、光軸／コを挾んで
被検査パターンＳの移！ｌ１１方向と反対の方向に逆フ
ーリエ葡排面上を移動する。
コに直角に平行移動してもフーリエ変換の移行剤により
、フーリエ変換レンズクの後焦点面上に現われるフーリ
エ変換パターンに変化はない、したがって、被検査パタ
ーン！を平行移動してもＰｌｓＫ、被検前パターンＳの
フーリエ変換スペクトルのうち正常パターンに相当する
スペクトルｆノみが空間フィルタｇによって吸収され、
欠陥パターンに相当てるスペクトルは透過する。かくし
て、Ｖ検査パターンｊの平行移１１−により逆フーリエ
変換像は光軸対称σノ逆方向に移動、つまり被検査パタ
ーン３の逆儂の欠陥部分だけの像が、光軸／コを挾んで
被検査パターンＳの移！ｌ１１方向と反対の方向に逆フ
ーリエ葡排面上を移動する。
第１図において、被検査パターンｊの移璽１・方回ケ紙
面に直角な方向とし、逆フーリエ変換面上のフォトディ
テクタアレイ／／の配列方向を紙面に平行な方向とすれ
ば、逆フーリエ変換面上ｖ＄Ｌｖる欠陥像はフォトディ
テクタアレイ／／’ｌｋＷ角に横切ることになり、欠陥
像の出力信号として検出される。
面に直角な方向とし、逆フーリエ変換面上のフォトディ
テクタアレイ／／の配列方向を紙面に平行な方向とすれ
ば、逆フーリエ変換面上ｖ＄Ｌｖる欠陥像はフォトディ
テクタアレイ／／’ｌｋＷ角に横切ることになり、欠陥
像の出力信号として検出される。
また、被検査パターンｊの移動に伴ない、その移動距離
に関する情ＩＮケ出力する装置＃を本欠陥検査装ｆｊｌ
［設置することにより、被検査パターン中において検出
された欠陥の位會を知ることができる０例を挙げて説明
すると、今、被検査パターンの移動方向に直角な方向な
Ｘ方向、平行な方向ＶＹ方向とすれば、Ｘ方向の欠陥位
置成分は、逆フーリエ変換面上において欠陥部が横切る
単位フォトディテクタの７オトデイテクタアレイ方向の
位置によって検出でき、Ｘ方向のそれは、被検査パター
ンの固定台及び本体に位置スケール、さらに高精度が要
求される場合には回折格子のモアレ縞１に：利用した位
ｔｒ位検比装置等Ｖ設ける、あるいは被検査パターンな
移動させるためのモータ斡の駆動軸部分にロータリエン
コーダＶ設ける１等の手段によって検出可能である。こ
わら以外にも、Ｙ方向の欠陥位置成分は、被検査パター
ンが等速移動するため移動開始時を起点として時間を計
数することＫよりても求めることができる。
に関する情ＩＮケ出力する装置＃を本欠陥検査装ｆｊｌ
［設置することにより、被検査パターン中において検出
された欠陥の位會を知ることができる０例を挙げて説明
すると、今、被検査パターンの移動方向に直角な方向な
Ｘ方向、平行な方向ＶＹ方向とすれば、Ｘ方向の欠陥位
置成分は、逆フーリエ変換面上において欠陥部が横切る
単位フォトディテクタの７オトデイテクタアレイ方向の
位置によって検出でき、Ｘ方向のそれは、被検査パター
ンの固定台及び本体に位置スケール、さらに高精度が要
求される場合には回折格子のモアレ縞１に：利用した位
ｔｒ位検比装置等Ｖ設ける、あるいは被検査パターンな
移動させるためのモータ斡の駆動軸部分にロータリエン
コーダＶ設ける１等の手段によって検出可能である。こ
わら以外にも、Ｙ方向の欠陥位置成分は、被検査パター
ンが等速移動するため移動開始時を起点として時間を計
数することＫよりても求めることができる。
フートディテクタアレイ／／は仲形開口を持つ複数の単
位フォトディテクタ／３の配列で構成さｔ′１．被検査
パターンの移動により得られる出力信号は欠陥の最大許
容面積に相当したスレッシ宵ルドを持つコンパレータに
より１館什され。
位フォトディテクタ／３の配列で構成さｔ′１．被検査
パターンの移動により得られる出力信号は欠陥の最大許
容面積に相当したスレッシ宵ルドを持つコンパレータに
より１館什され。
これＫより欠陥検出か竹なわｔ↑る。
以上（ｈ如くして、靭検査パターンにおける欠陥部分に
対応する信号か祷られる。
対応する信号か祷られる。
ところが、上ｉｖのような信号には、第ｊし１に示す知
則性パターンｇｏ’σ）外に鯉内部７６における縦方向
縁部ｊＹと、伊方向縁部ＳＸ力通常欠陥と混在するので
１本発明はこわを識別しようとするもＱノである。
則性パターンｇｏ’σ）外に鯉内部７６における縦方向
縁部ｊＹと、伊方向縁部ＳＸ力通常欠陥と混在するので
１本発明はこわを識別しようとするもＱノである。
第６図は、本発明で適用される欠陥積置装置をフォトデ
ィテクタ７レイ／／側から見た平面図である。ト明をわ
かりや１〈するためにフーリエ費換レンズと空間Ｉｔｄ
波数フィルタは省略しである。
ィテクタ７レイ／／側から見た平面図である。ト明をわ
かりや１〈するためにフーリエ費換レンズと空間Ｉｔｄ
波数フィルタは省略しである。
フォトディテクタアレイｌ／は固定され、ハターンＳＯ
ケ移動させるパターン移ヤｌｋ負６コは、駆動装置６７
によりＹ軸力向、Ｘ軸力向に移動され、それぞれのＹ位
置、Ｘ昏黄は、Ｙ位置信号に失装置６３．ｘ位置信七発
生装置６１により求められる。
ケ移動させるパターン移ヤｌｋ負６コは、駆動装置６７
によりＹ軸力向、Ｘ軸力向に移動され、それぞれのＹ位
置、Ｘ昏黄は、Ｙ位置信号に失装置６３．ｘ位置信七発
生装置６１により求められる。
そしてパターン移１装ケ６２は加りレ１に汀、１ように
、７０からりｌまで叫速移動してＹ＠ｙｘ移動させ、７
ノから７−までフォトディテクタアレイ／ｌの伸長方向
の長さだけＸ ＩＩ＋Ｖ１１λ（ピッチ送り）させ、７
コから７３はＹ軸を逆に尋連移動ルて、これを繰返し、
パターン！θの全面をカッ（−する。
、７０からりｌまで叫速移動してＹ＠ｙｘ移動させ、７
ノから７−までフォトディテクタアレイ／ｌの伸長方向
の長さだけＸ ＩＩ＋Ｖ１１λ（ピッチ送り）させ、７
コから７３はＹ軸を逆に尋連移動ルて、これを繰返し、
パターン！θの全面をカッ（−する。
第１図ないし第１コ図は本発明の一実施例である。
本発明は、逆フーリエ変換面上の規則）（ターンの縦方
向縁部と横方向縁部が、単位フォトディテクタｖｌ数個
−列に配列してなるフォトディテクタアレイで検出する
とき、縦方向および横方向の欠陥が連続して検出される
ことＶ利用し、縁部でない通常欠陥とト別する装置であ
る。
向縁部と横方向縁部が、単位フォトディテクタｖｌ数個
−列に配列してなるフォトディテクタアレイで検出する
とき、縦方向および横方向の欠陥が連続して検出される
ことＶ利用し、縁部でない通常欠陥とト別する装置であ
る。
そこで、規則性パターン！Ｏを、′ｊｔ＠に直角な面内
で、フォトディテクタアレイｌ／と直角（Ｙ軸）ｙ１向
への等速移動と、平行（Ｘ軸）方向へのフォトディテク
タアレイの長さ分のピッチ送りＶＩＩＩ返１゜ フォトディテクタアレイｌｌＫ入射する形状欠陥部光は
並列積用するマルチ検出回路ｔ／で検出され次に縁部判
別回□路ｔ−へ与えられる。
で、フォトディテクタアレイｌ／と直角（Ｙ軸）ｙ１向
への等速移動と、平行（Ｘ軸）方向へのフォトディテク
タアレイの長さ分のピッチ送りＶＩＩＩ返１゜ フォトディテクタアレイｌｌＫ入射する形状欠陥部光は
並列積用するマルチ検出回路ｔ／で検出され次に縁部判
別回□路ｔ−へ与えられる。
同時に、前記叫速移１・と！Ｔｌｌ ｉｉ［′ピッチ送
りに従って、知則性パターン５０の移動距蝙情報がＹ（
ｒｔ置信ちが・生装置６３とＸ位置信号発生装置６りか
らＩ１１部判ｙｊＩ：回路ｔコヘ与えらねる。
りに従って、知則性パターン５０の移動距蝙情報がＹ（
ｒｔ置信ちが・生装置６３とＸ位置信号発生装置６りか
らＩ１１部判ｙｊＩ：回路ｔコヘ与えらねる。
フォトディテクタアレイ／／に入射する形状欠陥部光は
、各々増幅器−によって増幅され、コ値化回路コ／によ
って形状欠陥の有無馨表わＴ信号に変排される。この信
号は、前記雛速移Ｔｈと前記ピッチ送りに従ってＹ位置
信号発生装置ｌ１６３とＸ位置信号発生４１ダから発生
される荀ｔ１ｉ信号と一１期したクロックパルスＯＫに
よってサンプリング回路ココにおいてサンプルされ、第
１３Ｔｌ＋に示１タイミングチャートσ〕Ｄ ８ ／と
なる。
、各々増幅器−によって増幅され、コ値化回路コ／によ
って形状欠陥の有無馨表わＴ信号に変排される。この信
号は、前記雛速移Ｔｈと前記ピッチ送りに従ってＹ位置
信号発生装置ｌ１６３とＸ位置信号発生４１ダから発生
される荀ｔ１ｉ信号と一１期したクロックパルスＯＫに
よってサンプリング回路ココにおいてサンプルされ、第
１３Ｔｌ＋に示１タイミングチャートσ〕Ｄ ８ ／と
なる。
Ｄ８１からＤＢ２へ至る間のアンドケート２３は、Ｘ方
向の１■・時発生欠陥ヲＸ７−回の縁部として無視する
ためのものであり、ＤＢ／と供にアンドケートｎＫ島λ
らねる信号Ｇは、第１θ図に示す同時信号発生回路によ
って作らｈる。
向の１■・時発生欠陥ヲＸ７−回の縁部として無視する
ためのものであり、ＤＢ／と供にアンドケートｎＫ島λ
らねる信号Ｇは、第１θ図に示す同時信号発生回路によ
って作らｈる。
本実施例はＸ、Ｙ両刃向において連紗３併以上欠陥が埃
われた場合にそれらｖｘ７７向縁部。
われた場合にそれらｖｘ７７向縁部。
１方向縁部として無視てるものであるため、第１０１１
に示す回路では互いＫＩｌｌり合う３個の欠陥信号ＩＩ
！ＤＢｌが同一のアントゲ−ドータに接続され、さらＫ
それらは３個以上同時発生した欠陥信号Ｄ８１ｊべてＹ
：消去するためノアゲートコを経て第を図のアントゲ−
）ＪＪへ与えらする。
に示す回路では互いＫＩｌｌり合う３個の欠陥信号ＩＩ
！ＤＢｌが同一のアントゲ−ドータに接続され、さらＫ
それらは３個以上同時発生した欠陥信号Ｄ８１ｊべてＹ
：消去するためノアゲートコを経て第を図のアントゲ−
）ＪＪへ与えらする。
この効果によりタイミングチャート（第１３図）ｋ示し
た通り、Ｄ８／はＪ個以上同時に発生した瞬間にゲート
信号Ｇによってブロックされ、Ｄ８コとなる。
た通り、Ｄ８／はＪ個以上同時に発生した瞬間にゲート
信号Ｇによってブロックされ、Ｄ８コとなる。
次ＫＹ方向に傳続して発生した欠陥ＶＹ力内縁部として
無視する回路Ｃ１１！／／夕１）ｖ欽明する。
無視する回路Ｃ１１！／／夕１）ｖ欽明する。
本回路の動作については謝１３図に各引の詳細なタイに
ンダチャー）Ｖ示しであるので概要だけを述べる０本回
路はシ薄トレジスタな構成するフリップフロップ、２６
と、連続３個の欠陥信号馨検邑した場合にそ＃６）＆−
クリアするた給のゲートコク及びフリップフロップコと
、連続した３個の欠陥に続く欠陥Ｙも無視するための、
フリッグフロッ７コタと、連続欠陥が途νＩｆ、た時に
本回路Ｙリセントするためのフリラフフロップ３０等に
よって構成され、タイミングチャートσノＤ８コ（１）
Ｋおけるｊ伽達続した欠陥信号が、＃終出力Ｑ！におい
て無曲さｔｌている。
ンダチャー）Ｖ示しであるので概要だけを述べる０本回
路はシ薄トレジスタな構成するフリップフロップ、２６
と、連続３個の欠陥信号馨検邑した場合にそ＃６）＆−
クリアするた給のゲートコク及びフリップフロップコと
、連続した３個の欠陥に続く欠陥Ｙも無視するための、
フリッグフロッ７コタと、連続欠陥が途νＩｆ、た時に
本回路Ｙリセントするためのフリラフフロップ３０等に
よって構成され、タイミングチャートσノＤ８コ（１）
Ｋおけるｊ伽達続した欠陥信号が、＃終出力Ｑ！におい
て無曲さｔｌている。
以上説明した捗・作によって、Ｘ、Ｙ両方回縁部が無視
された信号Ｑｊに従って、真の欠陥位置を記憶する８１
分か第１コレ・である。
された信号Ｑｊに従って、真の欠陥位置を記憶する８１
分か第１コレ・である。
クロックパルスｃｘＫｒＨＩＭしたパルスＷＯＫは、ｑ
３に欠陥信号が埃わわている時のみケー）Ｊ／を通過し
、記憶装置３コへの書き込みイに号ＷＲとなる。θ己惜
＆＠３−のデータラインにはＸ位置信号発生装機６ｑ及
びＹ荀＃信号発生装置６３からの信号が＋Ｉｊ！５ｒさ
ｒｌ、アドレスラインにはアト壓。
３に欠陥信号が埃わわている時のみケー）Ｊ／を通過し
、記憶装置３コへの書き込みイに号ＷＲとなる。θ己惜
＆＠３−のデータラインにはＸ位置信号発生装機６ｑ及
びＹ荀＃信号発生装置６３からの信号が＋Ｉｊ！５ｒさ
ｒｌ、アドレスラインにはアト壓。
レス微生装置３３かものアドレス信号が与えられている
。アドレス祈生装置＃３３は、クロックパルスＯＫＫド
１期しており、ＷＲ信号が発生した厘稜にアドレス信号
ケカウントアッフＴるようになっている。
。アドレス祈生装置＃３３は、クロックパルスＯＫＫド
１期しており、ＷＲ信号が発生した厘稜にアドレス信号
ケカウントアッフＴるようになっている。
かくして、本社間によれは、メタルメツシュ轡の開口規
則性１列パターンの縁部か通常の欠陥と児全に篩別さね
るため、却１則性パターンの欠陥Ｓ萱装置としてσノ信
転付の向上と、検量能率の格段の飛躍がＶめられる。
則性１列パターンの縁部か通常の欠陥と児全に篩別さね
るため、却１則性パターンの欠陥Ｓ萱装置としてσノ信
転付の向上と、検量能率の格段の飛躍がＶめられる。
第１し１は空間フィルタリング方式の基本桐欣図、第１
図は短形状の単位開口の規則的配列で成るパターンσ・
−＠を示す図、第３図（４）〜（蜀はパターンの欠陥、
正常を表わす図、＠＊図は逆フーリエ変換面に現われる
被検量パターンの逆俸の欠陥部分り）像の説明図、１ｍ
！図は被検査パターンの規則性パターンの外Ｋｍ肉部と
の間に介在する縦・横方向細部の紗明図、第６しは本発
明で適用される欠陥蜂出装働゛のパターンの欠陥検出部
の平面タ：、５１１７図はそのｓ！！装置の移動方向の
訪明ト、＃Ｌ１し・ないし第１−図は本発明の一実ＩＩ
ｂｆｌｌのブロック図、＠ｔ３図は一実施伊：のタイミ
ングチャートである。 ｌ・・レーザ発振器、コ・・レーザビーム、３・・・コ
リメータ、ｌＩ・・平ｈ＊、Ｓ・・被検Ｉｉ物、ト・・
回折した光、７・・・フーリエ変換レンズ、ｇ・・壁間
ｍｍｅフィルタ、？・・・そσノフィルタｇをｘ１！過
した光、１０・・・逆フーリエ賞便レンズ、／／・・フ
ォトディテクタアレイ（スクリーン）、／コ・・・光軸
。 ／３・・・単位フォトディテクタ、／ｌ・−ヌロント、
７．５・・・通常の欠陥、／６・線内部、７戸・増幅器
、２／・・・−値化回路、２コ・・サンプリング回路、
３コ・・・記憶装量、３３・・・アドレス発生装置、５
ｏ・・・規則性パターン、ｊＹ・・縦力向ｌ＃部、ｊＸ
・・・横方向細部、４ノ・・・駆動装置、６ノ・・パタ
ーン移動装墳、６３・・Ｙ位量信号臂住装饋、ｔｌ・・
・Ｘ位置信号発生装置。 りｌへ７ｔＩ・ パターン和動装置６ノの移１“経路、
ｇノ・・マルチ欠陥検出ρ路、ｇノ・・・ｌｌ＃剖・判
別装置、ｆｆ、７・・・欠陥位ｆ炭力。 比願人戦理人 格 股 清壓５図 １Δ 帛６図 馬９医 壓１３図
図は短形状の単位開口の規則的配列で成るパターンσ・
−＠を示す図、第３図（４）〜（蜀はパターンの欠陥、
正常を表わす図、＠＊図は逆フーリエ変換面に現われる
被検量パターンの逆俸の欠陥部分り）像の説明図、１ｍ
！図は被検査パターンの規則性パターンの外Ｋｍ肉部と
の間に介在する縦・横方向細部の紗明図、第６しは本発
明で適用される欠陥蜂出装働゛のパターンの欠陥検出部
の平面タ：、５１１７図はそのｓ！！装置の移動方向の
訪明ト、＃Ｌ１し・ないし第１−図は本発明の一実ＩＩ
ｂｆｌｌのブロック図、＠ｔ３図は一実施伊：のタイミ
ングチャートである。 ｌ・・レーザ発振器、コ・・レーザビーム、３・・・コ
リメータ、ｌＩ・・平ｈ＊、Ｓ・・被検Ｉｉ物、ト・・
回折した光、７・・・フーリエ変換レンズ、ｇ・・壁間
ｍｍｅフィルタ、？・・・そσノフィルタｇをｘ１！過
した光、１０・・・逆フーリエ賞便レンズ、／／・・フ
ォトディテクタアレイ（スクリーン）、／コ・・・光軸
。 ／３・・・単位フォトディテクタ、／ｌ・−ヌロント、
７．５・・・通常の欠陥、／６・線内部、７戸・増幅器
、２／・・・−値化回路、２コ・・サンプリング回路、
３コ・・・記憶装量、３３・・・アドレス発生装置、５
ｏ・・・規則性パターン、ｊＹ・・縦力向ｌ＃部、ｊＸ
・・・横方向細部、４ノ・・・駆動装置、６ノ・・パタ
ーン移動装墳、６３・・Ｙ位量信号臂住装饋、ｔｌ・・
・Ｘ位置信号発生装置。 りｌへ７ｔＩ・ パターン和動装置６ノの移１“経路、
ｇノ・・マルチ欠陥検出ρ路、ｇノ・・・ｌｌ＃剖・判
別装置、ｆｆ、７・・・欠陥位ｆ炭力。 比願人戦理人 格 股 清壓５図 １Δ 帛６図 馬９医 壓１３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザー光回折パターン９間周波数フィルタリング方式
７ｋＪｆｌいて単位開口の規則性配列でなぷ規則性パタ
ーン中の形状欠陥を検出する装置にお（１て。 ａ、逆フーリエ変換面上に、単位フォトディテクタＶｍ
数個−列に配列してなるフォトディテクタアレイと。 ｂ、前記知、則性パターンな、光軸ＫＴｊｉ角な面内で
、前記フォトディテクタアレイと直角方向への弊速移動
と、平行方向へのフォトディテクタアレイの長さ分のピ
ッチ送りを一返して移動させる装置と。 Ｃ，前１ｅフオトデイテクタアレイに入射する形状欠陥
信号を並列検出てるマルチ検出回路と、ｄ、前記等速移
動とピッチ送りに従って、前記規則性パターンの移動距
離情報を出ｊ装置と・、前記単位フォトディテクタの前
記等速移動方向に普数連続して発生する形状欠陥信号を
。 前記規則性パターンの縦方向Ｉｊ＆部と判別し。 前配醇達移動方向と直角に鍾絖した検数の単位フォトデ
ィテクタに同時に発生する形状欠陥信号Ｙ＃力向Ｉ＃部
と判別して形状欠陥部と区別する回路と、 を具えゐことを％書とする規則性パターンの欠陥検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56186738A JPS5887530A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56186738A JPS5887530A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5887530A true JPS5887530A (ja) | 1983-05-25 |
| JPS6410043B2 JPS6410043B2 (ja) | 1989-02-21 |
Family
ID=16193779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56186738A Granted JPS5887530A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5887530A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179040U (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-08 | ||
| JPH01158308A (ja) * | 1987-06-08 | 1989-06-21 | Insyst Inc | 欠陥検査方法及び装置 |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP56186738A patent/JPS5887530A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179040U (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-08 | ||
| JPH01158308A (ja) * | 1987-06-08 | 1989-06-21 | Insyst Inc | 欠陥検査方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6410043B2 (ja) | 1989-02-21 |
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