[go: up one dir, main page]

JPH11354828A - 光半導体装置 - Google Patents

光半導体装置

Info

Publication number
JPH11354828A
JPH11354828A JP15893798A JP15893798A JPH11354828A JP H11354828 A JPH11354828 A JP H11354828A JP 15893798 A JP15893798 A JP 15893798A JP 15893798 A JP15893798 A JP 15893798A JP H11354828 A JPH11354828 A JP H11354828A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
semiconductor chip
sealing body
semiconductor device
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15893798A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3762545B2 (ja
Inventor
Hideo Kunii
秀雄 国井
Toshiyuki Take
俊之 武
Hiroshi Inoguchi
浩 井野口
Tsutomu Ishikawa
勉 石川
Satoshi Sekiguchi
智 関口
Hiroshi Kobori
浩 小堀
Hiroki Seyama
浩樹 瀬山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP15893798A priority Critical patent/JP3762545B2/ja
Priority to TW88105375A priority patent/TW406439B/zh
Priority to US09/291,202 priority patent/US6252252B1/en
Priority to KR10-1999-0013419A priority patent/KR100459347B1/ko
Priority to CNB991048911A priority patent/CN1175497C/zh
Publication of JPH11354828A publication Critical patent/JPH11354828A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3762545B2 publication Critical patent/JP3762545B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3025Electromagnetic shielding

Landscapes

  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光素子や受光素子の外形をできる限り薄く
し、これを組み込んだモジュールやセットに於いても小
型化を可能とする。 【解決手段】 発光素子、受光素子として半導体チップ
23,24があり、これらを封止する樹脂封止体25
は、光に対して透明となる材料で成る。また光が素子か
ら発光される領域上、光が素子に入射される領域上に
は、溝27が形成され、ここに反射面26を構成する。
その結果光は側面Eを介して、射出・入射が可能とな
る。また素子を支持基板21と実装基板30でサンドウ
ィッチし、光ノイズの抑制を実現している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光半導体装置およ
びこれを実装した光半導体モジュールに関するもので、
特に光半導体装置の構造を薄くし、この薄い側面から光
を射出(または入射)させるものであり、これらを用い
た機器の小型化・薄型化を実現するものである。
【0002】
【従来の技術】最近、サブノートパソコン、携帯情報端
末、電子スチルカメラ等のマルチメディア機器がめざま
しい発展を遂げている。
【0003】しかも携帯機器は、年間700万台も販売
され、約8割がIrDA(InfraredData Association)規
格の赤外線方式を採用している。つまり外部機器と本体
との赤外線信号を介した送受信が必要で、そこには、赤
外線を発光する発光素子、赤外線を受光する受光素子が
必要となってくる。
【0004】またMDやCD等の光学式記録再生装置で
用いられる光学ヘッドは、光学記録媒体へビームを照射
して光学記録媒体からの変調されたビームを検出するこ
とにより、情報の記録や再生を行う。やはりここでも発
光素子、受光素子が必要となってくる。
【0005】しかしこれら発光素子、受光素子は、小型
化が実現されていない。例えば、図4は、特公平7−2
8085号公報の技術を説明するもので、半導体レーザ
1が半導体基板2に直接配置され、断面形状が台形のプ
リズム3が半導体基板2に固定されている。なお図番4
は、光学記録媒体である。半導体レーザ1と対向してい
るプリズム3の傾斜面5は半透過反射面で、半導体基板
2と対接しているプリズム面6は、光検出器(受光素
子)7以外の部分が、また面6と対向しているプリズム
面8は、共に反射面となっている。
【0006】半導体レーザ1から発光され、傾斜面5か
らプリズム3に入射したビーム9は、反射面6と8で反
射されてから、光検出器7で検出される。
【0007】一方、図5は、赤外線データ通信モジュー
ル11で、赤外線LED、LEDドライバ、PINフォ
トダイオード、アンプ等が内蔵されている。例えば基板
に前記LEDが実装され、ここから射出される光は、レ
ンズ12を介して外部へ放出される。また前記基板に実
装されたフォトダイオードには、レンズ13を介してモ
ールド11内に入射される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前述のモジュールに於
いて、半導体基板上に光学機器が実装され、また半導体
基板のモールド体の上に更にレンズが実装されたりする
ため、これらを組み込んだセットは、小型化が実現でき
ない問題があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題に鑑
みて成され、第1および第2の手段とも、樹脂モールド
体である透明封止体に反射面を有する溝を形成すれば、
光は、封止体の厚みの薄い側面から入射(または発射)
させることができ、プリズム等の光学機器を省略でき
る。しかも支持基板が上になるようにリードを曲げる
と、半導体チップは、実装基板と支持基板でサンドウィ
ッチされるため、透明な樹脂への光浸入を防止できる。
【0010】更には前記支持基板は、リードフレームの
一要素であるアイランドから成り、アイランドから外部
へ導出されるリードは、前記光が入射される(または射
出される)側面との対向面から導出され、リードや金属
細線を介した反射により生ずる光のノイズを防止でき
る。
【0011】更には、封止体の側面から光を出し入れで
きるため、封止体の厚みを例えば1mm程度に薄くでき
る事から、これを組み込んだセットに対しても薄型化が
可能となる。
【0012】
【発明の実施の形態】まず、本発明のポイントは、本光
半導体装置を例えばプリント基板等の実装基板に設置す
る際に非常な効果を有するが、その前に、透明な封止体
に溝を形成する事の説明を図2を参照しながら説明す
る。
【0013】図は理解のために、三つの図を一体にした
もので、左上が光半導体装置の平面図、左下が前記平面
図のA−A線に於ける断面図、右上が前記平面図のB−
B線に於ける断面図である。
【0014】まずリードフレームがある。このリードフ
レームは、2点鎖線で示すアイランド21とリード22
により構成され、ここではCuより成り、この上(図面
では下になる)に発光部となる一点鎖線で示す半導体チ
ップ23、受光部となる一点鎖線で示す半導体チップ2
4が半田等の固着手段を介して固定されている。また半
導体チップ23は、例えば赤外LEDレーザ等の発光素
子であり、駆動回路が一体になっていても良い。また半
導体チップ24は、フォトセンサであり、PINダイオ
ード等であり、やはり駆動回路が一体のものでよい。こ
れらの半導体チップの周囲には、ボンディングパッドが
形成され、これに対応して、チップの周囲から外部へ複
数のリード22が延在され、この間を金属細線で接続し
ている。
【0015】そしてリードの先端および半導体チップ
は、光に対して透明な封止体25で封止されている。こ
こで封止材25としては光に対して透明であれば良く、
材料は特に選ばない。そしてこの封止体25には、反射
面26を持つ溝27が設けられている。
【0016】ここのポイントは、前記反射面26にあ
り、この反射面は封止体25に溝を形成することで構成
され、これにより点線矢印で示すように封止体25の側
面Eから光の射出、側面Eへの入射が可能となる。
【0017】一般には、発光部や受光部を構成する半導
体チップは、この上に、プリズムやレンズを構成して半
導体装置となるため、これを使用したモジュールやセッ
トは、セット自身の厚みが厚くなり、しかもこの上や周
辺に光学機器が配置されるため、薄型・小型が難しかっ
た。しかし溝の一部分である反射面26により、封止体
の側面Eで光の出し入れが可能となるため、プリズムは
不要であるし、レンズが必要で有れば、この側面Eに形
成することになる。つまり透明封止体の側面に凸状のレ
ンズを一体成型することも可能であるし、ここに別途レ
ンズを取り付けても良い。従って装置自身の厚みを薄く
することができる。前記リードフレームはCuより成
り、厚さは、約0.125mmで、半導体チップの厚み
は、例えば250〜300μm程度である。また封止体
25は、透明なエポキシ材料で、例えばトランスファー
モールドにより成され、全体の厚みは、約1mm〜1.
5mmである。当然チップの厚みが薄くなれば、更に薄
くできる事は言うまでもない。また金型にも溝を形成す
る部分が設けられており、透明の樹脂封止体で半導体チ
ップをトランスファーモールドした際に、溝が同時に形
成される。
【0018】ここで溝27は、半導体チップを露出する
ことなく、反射面が構成されればよく、例えば厚みの半
分程度、ここでは750μm程度の深さを有し、少なく
とも反射面26を構成する部分は45°に成っている。
ここの反射面は、界面の両側の空気と透明樹脂の屈折率
の違いにより、反射面となる。しかし全ての光が反射さ
れないので、反射面に金属被膜を形成しても良い。
【0019】この被膜方法としては、半導体技術で使用
される蒸着、スパッタ成膜が考えられ、またその他に
は、メッキが考えられる。ここで注意を要する所は、封
止体25に形成された被膜材料との短絡である。前者の
二つの被膜方法では、マスクを必要とする。また例えば
無電解メッキで、溶液の中に全体をディップする場合
は、導出する部分のリード22その導出部周囲の封止体
25の部分に樹脂を塗り、その後でメッキし、この樹脂
を取り除けばよい。またディップ以外では、この溶液を
溝の部分のみに滴下してメッキさせても良い。金属材料
としては、金、Al、ニッケル等が考えられる。
【0020】本実施例では、光の出し入れ(射出や入
射)が行われる側面Eを除いた側面F、G、Hにリード
を配置できる。しかし金属細線やリードによる反射を考
えると、側面Hが好ましい。平面図に於いて、受光部で
ある半導体チップは、実質右側に受光素子領域(第1の
領域)が形成され、左側にこれを駆動する駆動素子領域
(第2の領域)が形成される。つまり第2の半導体領域
は、光の経路とは成らないため、この領域をリードが導
出される領域、金属細線の領域として活用でき、光の反
射等によるノイズが第1の領域に浸入することを防止し
ている。また第1の領域が右側にずれているので、当然
溝27も右側にずれ、溝から左側の領域は、ワイヤを延
在させる領域として確保できる。もし左側や中央に第1
の領域があれば、ワイヤは、溝から露出する可能性があ
る。
【0021】以上述べた光半導体装置を、例えばプリン
ト基板、セラミック基板、絶縁性金属基板、TAB等の
樹脂フィルムに実装する場合、図2の左下断面図の如
く、水平に配置されるので、薄型のモジュールや機器が
形成可能である。
【0022】例えばICカード等に実装すれば、カード
自身の厚みを薄く且つ側辺方向で光信号のやりとりがで
きる。
【0023】一方、アイランド21は、2点鎖線で示す
ように二つで成っているが、一体で構成しても良い。既
に公知である半導体チップのマルチチップモジュール技
術を使うことで実現できる。また樹脂封止体25は、二
つの半導体チップを一体でモールドしているが、それぞ
れを分離して個別にモールドしても良い。
【0024】またアイランドは共通で、樹脂封止体のみ
分離されていても良い。この場合、封止体が連続でない
ため、受光部と発光部の光の相互干渉が無くなる。しか
しアイランドが共通であるため、アイランドを介した電
気信号の相互干渉が発生する可能性がある。この場合、
例えば混成集積回路装置に応用すると便利である。つま
り絶縁処理されたプリント基板、セラミック基板、金属
基板等の支持基板に前記アイランドに相当するパターン
を形成し、ここに受光素子、発光素子を固着すれば良
い。このパターンは、絶縁物質上に被着されているので
それぞれが電気的に分離されている。またリードは、こ
の支持基板の端部に延在されたリード固着用のパッドと
電気的に接続される。またそれぞれの半導体チップは、
支持基板に被着された導電パターンと金属細線を介して
接続される。混成集積回路装置の場合、他の半導体素子
やディスクリートが実装できるため、よりシステムに近
い機能を持たせることが出来る。
【0025】また封止方法は、リードフレーム型、混成
集積回路装置型の両者ともに、トランスファーモール
ド、インジェクションモールド等で実現できる。
【0026】なお点線で囲んだ最小の矩形は、光の照射
される、または光が射出される部分を示している。
【0027】一方、図3は、溝27の一方の反射面30
を垂直にしたものである。この場合図2と比較し溝から
左の領域を確保でき、第1の領域や金属細線を図1より
も左側に配置できる。
【0028】では、図1を参照して説明する。本発明
は、透明樹脂の周りから浸入する光ノイズに着目したも
のであり、リードを通常の方法とは逆に曲げ、半導体チ
ップの支持基板、ここではリードフレームのアイランド
21を上向きにしたものである。
【0029】つまり光半導体装置をセットする実装基板
30、例えば混成集積回路装置に一般的に採用されるプ
リント基板、セラミック基板、金属基板は、光に対して
遮蔽効果を持つ。また支持基板も同様である。従って支
持基板を上向きに配置すれば、受光素子や発光素子は、
上下で遮蔽板によりサンドウィッチされる。従って→の
如く、光のノイズの侵入を抑制することができる。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、第1に、受光素子また
は/および発光素子の上面に位置する封止体に溝を形成
し、ここの溝を反射面とすることで、光はこの反射面で
反射し、チップに対して水平な方向に延在されることに
なる。
【0031】つまり封止体の側面Eから光を入射させる
ことができ、また側面Eから光を射出させることができ
る。そのためプリズムを不要とすることができる。また
レンズを用いる場合は、側面に形成すればよい。結局厚
みを薄くでき、これを用いてモジュール、セット等を形
成する場合、光学機器は、側面に沿って形成され、これ
らの大きさも小さくできる。
【0032】また、前記半導体チップを、リードフレー
ムの一要素であるアイランドに載置し、アイランドから
外部へ導出されるリードを、光が入射される(または射
出される)側面との対向面から導出する事で、更には半
導体チップを、光を受光(または発光)する第1の半導
体領域と、これを駆動する第2の半導体領域とに分け、
前記第2の半導体領域を前記リードと近接する側に配置
する事で、第2の半導体領域が、光の経路とは成らない
ため、この領域をリードが導出される領域、金属細線の
領域として活用でき、光の反射等によるノイズの影響を
抑制できる。また第1の半導体領域が右側にずれている
ので、当然溝27も右側にずれ、溝から左側の領域は、
ワイヤを延在させる領域として活用できる。
【0033】更に支持基板が上になる構成であり、これ
を実装基板にセットすれば、透明封止体を光遮蔽板でサ
ンドウィッチしたことになる。従って外部雰囲気からの
光侵入を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態である光半導体装置を実装
基板にセットした際の断面図である。
【図2】図1の光半導体装置を説明する図である。
【図3】図2の溝の変形を説明する図である。
【図4】従来の光半導体装置と光学機器を組んだ概略図
である。
【図5】従来の光半導体装置と光学機器を組んだ概略図
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 勉 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 関口 智 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 小堀 浩 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 瀬山 浩樹 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上面を受光面とする半導体チップと、前
    記半導体チップを固着する支持基板と、前記半導体チッ
    プと電気的に接続されるリードと、前記半導体チップの
    受光面上を少なくとも封止する透明な樹脂封止体と、前
    記受光面の垂線と所定の角度で交差する反射面が前記樹
    脂封止体上面に設けられて成る溝とを有する光半導体装
    置であり、 前記光半導体装置を実装する実装基板と前記溝は面対向
    し、光は、前記樹脂封止体の上面と垂直な側面より入射
    し、前記反射面を介して前記受光面に入射される事を特
    徴とした光半導体装置。
  2. 【請求項2】 上面を発光面とする半導体チップと、前
    記半導体チップを固着する支持基板と、前記半導体チッ
    プと電気的に接続されるリードと、前記半導体チップの
    発光面上を少なくとも封止する透明な樹脂封止体と、前
    記発光面の垂線と所定の角度で交差する反射面が前記樹
    脂封止体上面に設けられて成る溝とを有する光半導体装
    置であり、 前記光半導体装置を実装する実装基板と前記溝は面対向
    し、光は、前記反射面を介して前記樹脂封止体の上面と
    垂直な側面から射出される事を特徴とした光半導体装
    置。
  3. 【請求項3】 前記支持基板は、リードフレームの一要
    素であるアイランドから成り、アイランドから外部へ導
    出されるリードは、光が入射される(または射出され
    る)側面との対向面から導出される請求項1または請求
    項2記載の光半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記半導体チップは、光を受光する機能
    と光を受光する機能から成り、1チップまたは2チップ
    から成る請求項1または2記載の光半導体装置。
JP15893798A 1998-04-16 1998-06-08 光半導体装置 Expired - Fee Related JP3762545B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15893798A JP3762545B2 (ja) 1998-06-08 1998-06-08 光半導体装置
TW88105375A TW406439B (en) 1998-04-16 1999-04-03 Photo semiconductor device and a semiconductor module having such photo semiconductor device
US09/291,202 US6252252B1 (en) 1998-04-16 1999-04-14 Optical semiconductor device and optical semiconductor module equipped with the same
KR10-1999-0013419A KR100459347B1 (ko) 1998-04-16 1999-04-15 광 반도체 장치 및 이것을 실장한 광 반도체 모듈
CNB991048911A CN1175497C (zh) 1998-04-16 1999-04-16 光半导体装置及其装配的光半导体模块

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15893798A JP3762545B2 (ja) 1998-06-08 1998-06-08 光半導体装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11354828A true JPH11354828A (ja) 1999-12-24
JP3762545B2 JP3762545B2 (ja) 2006-04-05

Family

ID=15682612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15893798A Expired - Fee Related JP3762545B2 (ja) 1998-04-16 1998-06-08 光半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3762545B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017126214A1 (ja) * 2016-01-21 2017-07-27 浜松ホトニクス株式会社 受光モジュール及び光学モジュールの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017126214A1 (ja) * 2016-01-21 2017-07-27 浜松ホトニクス株式会社 受光モジュール及び光学モジュールの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3762545B2 (ja) 2006-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100459347B1 (ko) 광 반도체 장치 및 이것을 실장한 광 반도체 모듈
US5539767A (en) Semiconductor laser device
JP3109885B2 (ja) 光半導体装置
JP3440679B2 (ja) 半導体装置
JP3762545B2 (ja) 光半導体装置
JPH08330635A (ja) 発光装置
JP3976421B2 (ja) 光半導体装置のモジュール
JP3469776B2 (ja) 光半導体装置
JP2006040933A (ja) 半導体レーザ装置
JP2000004067A (ja) 光半導体装置およびこれを実装した光半導体モジュール
JP2000133822A (ja) 光半導体装置
JP2000077689A (ja) 光半導体装置および光半導体モジュール
JP2000124480A (ja) 光半導体装置のモジュール
JP2000036642A (ja) 光半導体装置
JP2000058967A (ja) 光半導体装置および光半導体セット
JP2000058968A (ja) 光半導体装置およびこれを実装した光半導体モジュール
JP3976420B2 (ja) 光半導体装置
EP1115112B1 (en) Hybrid optical module
JP2000077688A (ja) 光半導体装置
JP2000077687A (ja) 光半導体装置
JP4073094B2 (ja) 光半導体装置
JP2000077707A (ja) 光半導体装置
JP2000077683A (ja) 光半導体装置およびその製造方法
JP3976419B2 (ja) 光半導体装置
JP2001014720A (ja) 光ピックアップ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051226

TRDD Decision of grant or rejection written
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20051227

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100120

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100120

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110120

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110120

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120120

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130120

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees