JPH10229227A - モノリシックの積層型アクチュエータ - Google Patents
モノリシックの積層型アクチュエータInfo
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- JPH10229227A JPH10229227A JP9323223A JP32322397A JPH10229227A JP H10229227 A JPH10229227 A JP H10229227A JP 9323223 A JP9323223 A JP 9323223A JP 32322397 A JP32322397 A JP 32322397A JP H10229227 A JPH10229227 A JP H10229227A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
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- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 層間に介在している金属内部電極を有する、
圧電セラミックスからなる薄板の焼結された積層体から
なり、この場合、該内部電極が交互に積層体から導出さ
れておりかつ外部電極によって電気的に並列接続されて
おり、この場合、外部電極は積層体の、施与された基礎
金属被覆からなる接触側面に存在しており、この基礎金
属被覆は電気接続用素子と結合しているモノリシックの
積層型アクチュエータにおいて、高い動荷重の場合にも
積層型アクチュエータの破壊が生じない程度のものの提
供。 【解決手段】 基礎金属被覆（４）と接続用素子（５）
の間に三次元構造化された電極（６）が配置されてお
り、この場合、該電極が部分的な接触箇所（７）を介し
て基礎金属被覆と結合しておりかつこれら接触箇所の間
で伸長可能な状態で形成されている。
圧電セラミックスからなる薄板の焼結された積層体から
なり、この場合、該内部電極が交互に積層体から導出さ
れておりかつ外部電極によって電気的に並列接続されて
おり、この場合、外部電極は積層体の、施与された基礎
金属被覆からなる接触側面に存在しており、この基礎金
属被覆は電気接続用素子と結合しているモノリシックの
積層型アクチュエータにおいて、高い動荷重の場合にも
積層型アクチュエータの破壊が生じない程度のものの提
供。 【解決手段】 基礎金属被覆（４）と接続用素子（５）
の間に三次元構造化された電極（６）が配置されてお
り、この場合、該電極が部分的な接触箇所（７）を介し
て基礎金属被覆と結合しておりかつこれら接触箇所の間
で伸長可能な状態で形成されている。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】層間に介在している金属内部
電極を有する、圧電セラミックスからなる薄板の焼結さ
れた積層体からなるモノリシックの積層型アクチュエー
タ(Vielschichtaktor)であって、該内部電極が交互に積
層体から導出されておりかつ外部電極によって電気的に
並列接続されており、この場合、外部電極は積層体の、
施与された基礎金属被覆からなる接触側面に存在してお
り、この基礎金属被覆が電気接続用素子と有利にロウ付
けによって結合しているモノリシックの積層型アクチュ
エータに関する。
電極を有する、圧電セラミックスからなる薄板の焼結さ
れた積層体からなるモノリシックの積層型アクチュエー
タ(Vielschichtaktor)であって、該内部電極が交互に積
層体から導出されておりかつ外部電極によって電気的に
並列接続されており、この場合、外部電極は積層体の、
施与された基礎金属被覆からなる接触側面に存在してお
り、この基礎金属被覆が電気接続用素子と有利にロウ付
けによって結合しているモノリシックの積層型アクチュ
エータに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミックスの場合には、該圧電セ
ラミックスが機械的な圧縮下ないしは引張下に帯電さ
れ、かつ他方で帯電の場合には伸長ないしは収縮する効
果が利用される。この効果を増強するために、層間に介
在している金属内部電極を有する圧電セラミックス（例
えばジルコン酸チタン酸鉛）からなる薄板の焼結された
積層体からなるモノリシックの積層型アクチュエータ
は、使用される。該内部電極は、交互に積層体から導出
されかつ外部電極によって電気的に並列接続される。積
層体の接触側面には、このために基礎金属被覆(Grundme
tatallisierung)が施与されており、この基礎金属被覆
は、各内部電極と結合している。ロウによる基礎金属被
覆の全面的ないしは部分的な被覆によって該基礎金属被
覆は、補強される。一方で、積層型アクチュエータの動
作の際に発生する高い電流量（約２０〜８０アンペア）
に耐えるために、この補強によって必要な材料断面が形
成される。他方では電気リード線のロウ付けが可能とな
る。
ラミックスが機械的な圧縮下ないしは引張下に帯電さ
れ、かつ他方で帯電の場合には伸長ないしは収縮する効
果が利用される。この効果を増強するために、層間に介
在している金属内部電極を有する圧電セラミックス（例
えばジルコン酸チタン酸鉛）からなる薄板の焼結された
積層体からなるモノリシックの積層型アクチュエータ
は、使用される。該内部電極は、交互に積層体から導出
されかつ外部電極によって電気的に並列接続される。積
層体の接触側面には、このために基礎金属被覆(Grundme
tatallisierung)が施与されており、この基礎金属被覆
は、各内部電極と結合している。ロウによる基礎金属被
覆の全面的ないしは部分的な被覆によって該基礎金属被
覆は、補強される。一方で、積層型アクチュエータの動
作の際に発生する高い電流量（約２０〜８０アンペア）
に耐えるために、この補強によって必要な材料断面が形
成される。他方では電気リード線のロウ付けが可能とな
る。
【０００３】外部電極に電圧が印加される場合には、こ
の圧電性薄板は、電界の方向に伸長する。各圧電性薄板
の機械的な直列連結によって、圧電セラミックス全体の
公称伸長は、既に低い電圧で達成される。
の圧電性薄板は、電界の方向に伸長する。各圧電性薄板
の機械的な直列連結によって、圧電セラミックス全体の
公称伸長は、既に低い電圧で達成される。
【０００４】上記のモノリシックの積層型アクチュエー
タは、ドイツ国特許出願公開第４０３６２８７号明細書
に詳細に記載されている。このドイツ国特許出願公開明
細書の場合にも流量−調整弁における使用が記載されて
いる。
タは、ドイツ国特許出願公開第４０３６２８７号明細書
に詳細に記載されている。このドイツ国特許出願公開明
細書の場合にも流量−調整弁における使用が記載されて
いる。
【０００５】圧電セラミックスは、本来脆性であり、か
つ僅かな引張強さ（約８０×１０6Ｐａ）を有するのみ
である。この引張強さは、モノリシックの積層型アクチ
ュエータの場合には、内部電極の積層配置によって、及
び分極の際に生じる強さの異方性によってさらに減少さ
れる。最大許容引張応力は、しばしば既に分極の際に越
えられ、その結果、絶対的な亀裂形成が生じる。
つ僅かな引張強さ（約８０×１０6Ｐａ）を有するのみ
である。この引張強さは、モノリシックの積層型アクチ
ュエータの場合には、内部電極の積層配置によって、及
び分極の際に生じる強さの異方性によってさらに減少さ
れる。最大許容引張応力は、しばしば既に分極の際に越
えられ、その結果、絶対的な亀裂形成が生じる。
【０００６】しかしながら、この種の亀裂形成が通常の
動作条件下でアクチュエータ(Aktor)の破壊に至ること
についての示唆はない。
動作条件下でアクチュエータ(Aktor)の破壊に至ること
についての示唆はない。
【０００７】その上、セラミックス内部の亀裂の成長
は、粒度、粒界の組成及び気孔率によって良好に影響が
与えられることができる。有利に調整された条件下で、
亀裂は、結晶を横断して進行せず、かつエネルギー低下
によって粒界及び気孔のところで急速に停止される。既
に約１０００回の帯電サイクルで亀裂の成長は、十分に
完結しており、かつ長い動作時間（１０9サイクル）の
後にもきわめて僅かに増加する。
は、粒度、粒界の組成及び気孔率によって良好に影響が
与えられることができる。有利に調整された条件下で、
亀裂は、結晶を横断して進行せず、かつエネルギー低下
によって粒界及び気孔のところで急速に停止される。既
に約１０００回の帯電サイクルで亀裂の成長は、十分に
完結しており、かつ長い動作時間（１０9サイクル）の
後にもきわめて僅かに増加する。
【０００８】しかしながら、積層型アクチュエータの高
い動荷重の場合に、即ちセラミックス内の亀裂が基礎金
属被覆及び施与されたロウ層を切断する場合には、この
亀裂は、危険である可能性がある。この場合には、最も
有利な場合には各圧電性薄板のみが分離されている。し
かしながら、本質的によりしばしば亀裂縁部において積
層型アクチュエータの破壊に至る電圧のフラッシュオー
バーが生じ、それというのも、この箇所を流れる全ての
動作電流が切断されるからである。
い動荷重の場合に、即ちセラミックス内の亀裂が基礎金
属被覆及び施与されたロウ層を切断する場合には、この
亀裂は、危険である可能性がある。この場合には、最も
有利な場合には各圧電性薄板のみが分離されている。し
かしながら、本質的によりしばしば亀裂縁部において積
層型アクチュエータの破壊に至る電圧のフラッシュオー
バーが生じ、それというのも、この箇所を流れる全ての
動作電流が切断されるからである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、層間に介在している金属内部電極を有する、圧電セ
ラミックスからなる薄板の焼結された積層体からなるモ
ノリシックの積層型アクチュエータ(Vielschichtaktor)
であって、該内部電極が交互に積層体から導出されてお
りかつ外部電極によって電気的に並列接続されており、
この場合、外部電極は積層体の、施与された基礎金属被
覆からなる接触側面に存在しており、この基礎金属被覆
が電気接続用素子と有利にロウ付けによって結合してい
るモノリシックの積層型アクチュエータを、高い動荷重
の場合にも積層型アクチュエータの破壊が生じない程度
に改善することである。
は、層間に介在している金属内部電極を有する、圧電セ
ラミックスからなる薄板の焼結された積層体からなるモ
ノリシックの積層型アクチュエータ(Vielschichtaktor)
であって、該内部電極が交互に積層体から導出されてお
りかつ外部電極によって電気的に並列接続されており、
この場合、外部電極は積層体の、施与された基礎金属被
覆からなる接触側面に存在しており、この基礎金属被覆
が電気接続用素子と有利にロウ付けによって結合してい
るモノリシックの積層型アクチュエータを、高い動荷重
の場合にも積層型アクチュエータの破壊が生じない程度
に改善することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば上記課題
は、基礎金属被覆と接続用素子の間に三次元構造化され
た導電性の電極が配置されており、この場合、該電極が
部分的な接触箇所を介して基礎金属被覆と結合しており
かつこれら接触箇所の間で伸長可能な状態で形成されて
いることによって解決される。この装置によってアクチ
ュエータの動作電流は、二次電流に分配される。二次電
流は、接触箇所から基礎金属被覆を介して金属内部電極
へと流れ、かつ典型的に０．５アンペアである。この電
流に対して基礎金属被覆の補強は、必要ない。
は、基礎金属被覆と接続用素子の間に三次元構造化され
た導電性の電極が配置されており、この場合、該電極が
部分的な接触箇所を介して基礎金属被覆と結合しており
かつこれら接触箇所の間で伸長可能な状態で形成されて
いることによって解決される。この装置によってアクチ
ュエータの動作電流は、二次電流に分配される。二次電
流は、接触箇所から基礎金属被覆を介して金属内部電極
へと流れ、かつ典型的に０．５アンペアである。この電
流に対して基礎金属被覆の補強は、必要ない。
【００１１】この本発明による上記形成によって、積層
型アクチュエータの動的運転中に基礎金属被覆に亀裂が
生じうることは許容される。しかしながらこの亀裂は、
三次元構造化された電極中に伝わらず、それというのも
該電極が部分的な接触箇所を介して基礎金属被覆と結合
しておりかつこれら接触箇所の間で伸長可能な状態で形
成されているからである。このことによって電気的接続
は、常に維持され、それというのも三次元電極中に流れ
る動作電流がまったく中断されないからである。基礎金
属被覆中に生じる亀裂は、三次元電極を介した二次電流
の方向転換を生じさせるのみである。
型アクチュエータの動的運転中に基礎金属被覆に亀裂が
生じうることは許容される。しかしながらこの亀裂は、
三次元構造化された電極中に伝わらず、それというのも
該電極が部分的な接触箇所を介して基礎金属被覆と結合
しておりかつこれら接触箇所の間で伸長可能な状態で形
成されているからである。このことによって電気的接続
は、常に維持され、それというのも三次元電極中に流れ
る動作電流がまったく中断されないからである。基礎金
属被覆中に生じる亀裂は、三次元電極を介した二次電流
の方向転換を生じさせるのみである。
【００１２】動荷重とは、交流電圧の印加のことであ
る。動荷重の強度は、各インパルス及び周波数の立ち上
がりの険しさ(Flankensteilheit)に依存している。高い
動荷重の場合には、典型的に１０〜５００μｓであり、
周波数は、典型的に１０〜１０００Ｈｚである。試験に
よって、長時間の試験によっても、上記の動荷重の場合
に本発明による積層型アクチュエータの破壊が記録され
えなかったという結果が得られた。
る。動荷重の強度は、各インパルス及び周波数の立ち上
がりの険しさ(Flankensteilheit)に依存している。高い
動荷重の場合には、典型的に１０〜５００μｓであり、
周波数は、典型的に１０〜１０００Ｈｚである。試験に
よって、長時間の試験によっても、上記の動荷重の場合
に本発明による積層型アクチュエータの破壊が記録され
えなかったという結果が得られた。
【００１３】有利な実施態様の場合には電極は、接触箇
所の間で基礎金属被覆から引き離されており、かつ有利
に、構造化された金属箔である。約５０μｍの厚さを有
する該箔は、伸長可能でありかつ本発明による電極に特
に適当である。
所の間で基礎金属被覆から引き離されており、かつ有利
に、構造化された金属箔である。約５０μｍの厚さを有
する該箔は、伸長可能でありかつ本発明による電極に特
に適当である。
【００１４】電極が波形の断面を有している場合には、
基礎金属被覆からの引き離しは、簡単に達成することが
できる。上から見て、ヘリンボーン模様もまた特に適当
である。
基礎金属被覆からの引き離しは、簡単に達成することが
できる。上から見て、ヘリンボーン模様もまた特に適当
である。
【００１５】電極が基礎金属被覆から若干離れているた
めに、有利に電極は、接触箇所に突起部(Noppen)を有し
ている。同様に、電極が基礎金属被覆の洗浄過程のため
の開口部を有していることは、有利である。該洗浄過程
によって、使用された融剤は、問題なく除去することが
できる。
めに、有利に電極は、接触箇所に突起部(Noppen)を有し
ている。同様に、電極が基礎金属被覆の洗浄過程のため
の開口部を有していることは、有利である。該洗浄過程
によって、使用された融剤は、問題なく除去することが
できる。
【００１６】有利な実施態様の場合には電極は、ヒート
シンクとして形成されている。このことによって積層型
アクチュエータの熱負荷は、回避される。
シンクとして形成されている。このことによって積層型
アクチュエータの熱負荷は、回避される。
【００１７】電極は、有利にニッテッド・ワイヤ(Draht
gewirk)、金網(Drahtgegeflecht)又は連続気泡のスポン
ジ金属(Metallschaum)であることもできる。
gewirk)、金網(Drahtgegeflecht)又は連続気泡のスポン
ジ金属(Metallschaum)であることもできる。
【００１８】有利に電極は、接触箇所でロウ付け、導電
接着剤を用いた接着又は溶接、例えばレーザ溶接によっ
て基礎金属被覆と結合される。
接着剤を用いた接着又は溶接、例えばレーザ溶接によっ
て基礎金属被覆と結合される。
【００１９】電極のための材料として青銅又は黄銅は、
特に有利であることが判明している。
特に有利であることが判明している。
【００２０】本発明の更なる特徴は、以下に記載されて
いる図に明らかである。
いる図に明らかである。
【００２１】
【実施例】図１は、公知技術水準による積層型アクチュ
エータを概略的に示している。積層体２は、層間に介在
している金属内部電極３を有する圧電セラミックスから
なる焼結された薄板からなる。電極３は、交互に積層体
から導出されておりかつ外部電極によって電気的に並列
接続されている。
エータを概略的に示している。積層体２は、層間に介在
している金属内部電極３を有する圧電セラミックスから
なる焼結された薄板からなる。電極３は、交互に積層体
から導出されておりかつ外部電極によって電気的に並列
接続されている。
【００２２】図２は、積層型アクチュエータの断面図で
示している。並列接続のために積層体２の接触側面に基
礎金属被覆４が施与されている。基礎金属被覆４上にロ
ウ付け即ちロウ１２によって接続用素子５が固定されて
いる。接続用素子５への電圧の印加の場合には、積層体
２は、矢印１３の方向に伸長する。相応する電力の交流
電圧が印加される場合には、積層体２は、交番周波数の
周期で伸長−及び収縮運動を行なう。
示している。並列接続のために積層体２の接触側面に基
礎金属被覆４が施与されている。基礎金属被覆４上にロ
ウ付け即ちロウ１２によって接続用素子５が固定されて
いる。接続用素子５への電圧の印加の場合には、積層体
２は、矢印１３の方向に伸長する。相応する電力の交流
電圧が印加される場合には、積層体２は、交番周波数の
周期で伸長−及び収縮運動を行なう。
【００２３】この動荷重によってセラミックスに、最悪
の場合には基礎金属被覆４及び施与されたロウ層１２が
切断する浅い亀裂１４が生じる。
の場合には基礎金属被覆４及び施与されたロウ層１２が
切断する浅い亀裂１４が生じる。
【００２４】図３は、本発明による、基礎金属被覆４と
結合した波形の三次元電極６を有する積層型アクチュエ
ータの、図２と同様の断面図を示している。図６は、平
行に配置された波の谷及び波の山からなる電極６の上面
図を示している。該電極６は、接触箇所７において基礎
金属被覆４と、例えばレーザ溶接によって導電的に結合
している。基礎金属被覆４の清浄化のために、電極６中
に開口部９が配置されている。図３の場合には例示的に
これら開口部９のいくつかが示されている。電極６は、
有利に、例えば青銅又は黄銅からなる金属箔からなる。
この場合には、接触箇所７の間の領域が伸長可能である
ことが重要であり、その結果、セラミックスの亀裂１４
が原因で破断が電極６に生じることはありえない。大き
な表面積によって電極６は、積層型アクチュエータため
のヒートシンクとして使用することができる。接続用素
子５は、任意の箇所で電極６と結合させることができ
る。
結合した波形の三次元電極６を有する積層型アクチュエ
ータの、図２と同様の断面図を示している。図６は、平
行に配置された波の谷及び波の山からなる電極６の上面
図を示している。該電極６は、接触箇所７において基礎
金属被覆４と、例えばレーザ溶接によって導電的に結合
している。基礎金属被覆４の清浄化のために、電極６中
に開口部９が配置されている。図３の場合には例示的に
これら開口部９のいくつかが示されている。電極６は、
有利に、例えば青銅又は黄銅からなる金属箔からなる。
この場合には、接触箇所７の間の領域が伸長可能である
ことが重要であり、その結果、セラミックスの亀裂１４
が原因で破断が電極６に生じることはありえない。大き
な表面積によって電極６は、積層型アクチュエータため
のヒートシンクとして使用することができる。接続用素
子５は、任意の箇所で電極６と結合させることができ
る。
【００２５】図４は、電極６としてニッテッド・ワイヤ
(Drahtgewirk)１０を有するアクチュエータを示してい
る。基礎金属被覆とのニッテッド・ワイヤ１０の個々の
接触箇所ないしはロウ付けは、参照番号７で示されてい
る。亀裂１４によって電極６の切断がもたらされず、そ
れというのも該亀裂１４が電気的に電極６によって架橋
されるからである。
(Drahtgewirk)１０を有するアクチュエータを示してい
る。基礎金属被覆とのニッテッド・ワイヤ１０の個々の
接触箇所ないしはロウ付けは、参照番号７で示されてい
る。亀裂１４によって電極６の切断がもたらされず、そ
れというのも該亀裂１４が電気的に電極６によって架橋
されるからである。
【００２６】図５は、電極６としてスポンジ金属１１を
有するアクチュエータを示している。スポンジ金属１１
は、有利に連続気泡の形で形成されている。接触箇所な
いしは個々のロウ付け位置は、ここでは簡易化のため示
されていない。他の点については同じ参照番号は、同じ
対象を示している。
有するアクチュエータを示している。スポンジ金属１１
は、有利に連続気泡の形で形成されている。接触箇所な
いしは個々のロウ付け位置は、ここでは簡易化のため示
されていない。他の点については同じ参照番号は、同じ
対象を示している。
【００２７】図６は、既述のとおり、波形の電極６を上
面図で示している。波列は、この場合には直線に進みか
つ平行に配置されている。
面図で示している。波列は、この場合には直線に進みか
つ平行に配置されている。
【００２８】図７にはヘリンボーン模様を有する電極６
が上面図で示されている。この場合にもそれぞれ１つの
波の谷は、１つの波の山に隣接して配置されている。
が上面図で示されている。この場合にもそれぞれ１つの
波の谷は、１つの波の山に隣接して配置されている。
【００２９】図８は、図６の波の谷の線分Ａ−Ａに沿っ
た断面図を示している。電極６は、この場合には突起部
８で基礎金属被覆に接触している。
た断面図を示している。電極６は、この場合には突起部
８で基礎金属被覆に接触している。
【００３０】当業者にとって種々の他の電極の形状を考
えることは可能であり、この場合、電極が多数の接触箇
所によってのみ、即ち全面においてではなく基礎金属被
覆に接触しておりかつ２つの接触箇所間の中間領域が積
層体の伸長及び収縮に関係して一定の伸長を実施するこ
とができ、その結果、電極６がこの領域内で、セラミッ
クスで生じた亀裂によって切断されないことが常に保証
されなければならない。
えることは可能であり、この場合、電極が多数の接触箇
所によってのみ、即ち全面においてではなく基礎金属被
覆に接触しておりかつ２つの接触箇所間の中間領域が積
層体の伸長及び収縮に関係して一定の伸長を実施するこ
とができ、その結果、電極６がこの領域内で、セラミッ
クスで生じた亀裂によって切断されないことが常に保証
されなければならない。
【図１】公知技術水準による積層型アクチュエータの概
略図である。
略図である。
【図２】亀裂によって使用不可能になった公知技術水準
による積層型アクチュエータの断面図である。
による積層型アクチュエータの断面図である。
【図３】本発明による、構造化された波形の電極を有す
る積層型アクチュエータの断面図である。
る積層型アクチュエータの断面図である。
【図４】電極としてニッテッド・ワイヤを有する積層型
アクチュエータの断面図である。
アクチュエータの断面図である。
【図５】電極としてスポンジ金属を有する積層型アクチ
ュエータの断面図である。
ュエータの断面図である。
【図６】図３の場合に類似の、断面が波形の電極の上面
図である。
図である。
【図７】ヘリンボーン模様を有する電極の上面図であ
る。
る。
【図８】図６の波の谷の線分Ａ−Ａに沿った断面図であ
る。
る。
１ 積層型アクチュエータ、 ２ 積層体、 ３ 内部
電極、 ４ 基礎金属被覆、 ５ 接続用素子、 ６
電極、 ７ 接触箇所、 ８ 突起部、 ９開口部、
１０ ニッテッド・ワイヤ／金網、 １１ スポンジ金
属
電極、 ４ 基礎金属被覆、 ５ 接続用素子、 ６
電極、 ７ 接触箇所、 ８ 突起部、 ９開口部、
１０ ニッテッド・ワイヤ／金網、 １１ スポンジ金
属
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギュンター ヘルケ ドイツ連邦共和国 ラウフ ブライテ シ ュトラーセ 29 (72)発明者 ユルゲン シュミーダー ドイツ連邦共和国 ラウフ ヴィラッハー シュトラーセ ４
Claims (10)
- 【請求項１】 層間に介在している金属内部電極（３）
を有する、圧電セラミックスからなる薄板の焼結された
積層体（２）からなるモノリシックの積層型アクチュエ
ータ（１）であって、該内部電極が交互に積層体（２）
から導出されておりかつ外部電極によって電気的に並列
接続されており、この場合、外部電極は積層体（２）
の、施与された基礎金属被覆（４）からなる接触側面に
存在しており、この基礎金属被覆（４）が電気接続用素
子（５）と結合しているモノリシックの積層型アクチュ
エータ（１）において、基礎金属被覆（４）と接続用素
子（５）の間に三次元構造化された導電性の電極（６）
が配置されており、この場合、該電極（６）が部分的な
接触箇所（７）を介して基礎金属被覆と結合しておりか
つこれら接触箇所（７）の間で伸長可能な状態で形成さ
れていることを特徴とする、モノリシックの積層型アク
チュエータ（１）。 - 【請求項２】 電極（６）が接触箇所（７）の間で基礎
金属被覆（４）から引き離されている、請求項１記載の
モノリシックの積層型アクチュエータ。 - 【請求項３】 電極（６）が構造化された金属箔であ
る、請求項１又は２記載のモノリシックの積層型アクチ
ュエータ。 - 【請求項４】 電極（６）が波形の断面を有している、
請求項１から３までのいずれか１項に記載のモノリシッ
クの積層型アクチュエータ。 - 【請求項５】 電極（６）が基礎金属被覆（４）との接
触箇所（７）に突起部（８）を有している、請求項１か
ら４までのいずれか１項に記載のモノリシックの積層型
アクチュエータ。 - 【請求項６】 電極（６）が基礎金属被覆（４）の洗浄
過程のための開口部（９）を有している、請求項１から
５までのいずれか１項に記載のモノリシックの積層型ア
クチュエータ。 - 【請求項７】 電極（６）がヒートシンクとして形成さ
れている、請求項１から６までのいずれか１項に記載の
モノリシックの積層型アクチュエータ。 - 【請求項８】 電極（６）がニッテッド・ワイヤ／金網
（１０）又は連続気泡のスポンジ金属（１１）である、
請求項１から７までのいずれか１項に記載のモノリシッ
クの積層型アクチュエータ。 - 【請求項９】 電極（６）が接触箇所（７）でロウ付
け、導電接着剤を用いた接着又は溶接によって基礎金属
被覆（４）と結合している、請求項１から８までのいず
れか１項に記載のモノリシックの積層型アクチュエー
タ。 - 【請求項１０】 電極（６）が青銅又は黄銅から製造さ
れている、請求項１から９までのいずれか１項に記載の
モノリシックの積層型アクチュエータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19648545.2 | 1996-11-25 | ||
| DE19648545A DE19648545B4 (de) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=7812562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32322397A Expired - Lifetime JP4112054B2 (ja) | 1996-11-25 | 1997-11-25 | モノリシックの積層型アクチュエータ |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6208026B1 (ja) |
| EP (1) | EP0844678B9 (ja) |
| JP (1) | JP4112054B2 (ja) |
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| DK (1) | DK0844678T4 (ja) |
| ES (1) | ES2177881T5 (ja) |
| PT (1) | PT844678E (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1162671A2 (en) | 2000-06-06 | 2001-12-12 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| US6483227B2 (en) | 2000-05-31 | 2002-11-19 | Denso Corporation | Piezoelectric element for injector |
| JP2002542630A (ja) * | 1999-04-20 | 2002-12-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| JP2003502869A (ja) * | 1999-06-19 | 2003-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| JP2003502870A (ja) * | 1999-06-19 | 2003-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| US6522052B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-02-18 | Denso Corporation | Multilayer-type piezoelectric actuator |
| JP2004508695A (ja) * | 2000-04-11 | 2004-03-18 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式多層アクチュエータ |
| US6787975B2 (en) | 2000-05-31 | 2004-09-07 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| JP2005529495A (ja) * | 2002-06-07 | 2005-09-29 | ピーアイ セラミック ゲーエムベーハー ケラミッシェ テクノロジー ウント バウエレメント | モノリシック多層アクチュエータの製造方法、圧電セラミック又は電歪材料から作られたモノリシック多層アクチュエータ、及びモノリシック多層アクチュエータのための外部電気接点 |
| JP2006013437A (ja) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびその製造方法ならびにこれを用いた噴射装置 |
| JP2006517729A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-07-27 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 目標破損個所を備えた圧電素子及び圧電素子を製造する方法並びに圧電素子の使用 |
| JP2008529288A (ja) * | 2005-01-26 | 2008-07-31 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電多層素子 |
| US7538475B2 (en) | 2006-01-13 | 2009-05-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Multilayer piezoelectric devices and method of producing same |
| WO2009082006A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
| WO2009125553A1 (ja) | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
| WO2009130863A1 (ja) | 2008-04-21 | 2009-10-29 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
| WO2010024199A1 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
Families Citing this family (60)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19740570C2 (de) * | 1997-09-15 | 2000-01-13 | Siemens Ag | Piezoelektrischer Aktor mit einem elektrischen Anschluß |
| DE19930585B4 (de) * | 1998-08-06 | 2017-11-09 | Epcos Ag | Piezoaktor mit verbesserter elektrischer Kontaktierung und Verwendung eines derartigen Piezoaktors |
| DE19856185A1 (de) * | 1998-12-05 | 2000-06-15 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Antrieb |
| DE19928178A1 (de) * | 1999-06-19 | 2000-08-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| DE19928187C1 (de) * | 1999-06-19 | 2000-12-28 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| DE19928188B4 (de) * | 1999-06-19 | 2004-04-15 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelement mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE19928181A1 (de) | 1999-06-19 | 2001-01-11 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelement mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE19928191A1 (de) * | 1999-06-19 | 2000-10-26 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| EP1110252A1 (en) * | 1999-06-23 | 2001-06-27 | Robert Bosch Gmbh | Piezo-multilayer actuator with improved electrode contact |
| DE50014127D1 (de) | 1999-06-29 | 2007-04-19 | Siemens Ag | Piezoaktor mit einer elektrisch leitenden Mehrschichtfolie |
| DE19936713C2 (de) | 1999-08-06 | 2001-08-23 | Bosch Gmbh Robert | Piezokeramischer Aktor sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE19945267C1 (de) * | 1999-09-21 | 2001-04-19 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Anbringung von flächigen Außenelektroden auf einem piezokeramischen Vielschichtaktor |
| DE10026005B4 (de) * | 2000-05-25 | 2004-07-08 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
| DE10017334C2 (de) * | 2000-04-07 | 2002-04-18 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrische Betätigungseinrichtung |
| DE10017331C1 (de) * | 2000-04-07 | 2001-06-07 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrischer Vielschichtaktuator und Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE10017332C2 (de) * | 2000-04-07 | 2002-04-18 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrische Betätigungseinrichtung zur Klappensteuerung am Rotorblatt eines Hubschraubers |
| EP1179860A1 (de) * | 2000-08-09 | 2002-02-13 | Piezomechanik GmbH | Piezoaktorkontaktierung |
| DE10046657A1 (de) * | 2000-09-20 | 2002-04-04 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelement und ein Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE10048928A1 (de) * | 2000-10-04 | 2002-04-25 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelement |
| DE10051784C1 (de) * | 2000-10-19 | 2002-08-14 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Elektromechanisches Funktionsmodul |
| DE10152490A1 (de) * | 2000-11-06 | 2002-05-08 | Ceramtec Ag | Außenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren |
| DE10055241A1 (de) * | 2000-11-08 | 2002-05-29 | Epcos Ag | Piezoaktor |
| DE10206115A1 (de) * | 2001-03-06 | 2002-09-19 | Ceramtec Ag | Piezokeramische Vielschichtaktoren sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung |
| WO2002089226A2 (de) | 2001-04-30 | 2002-11-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Weiterkontaktierung für ein elektrisches bauteil sowie piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise |
| DE10211107A1 (de) * | 2001-07-12 | 2003-02-13 | Ceramtec Ag | Monolithischer Vielschichtaktor in einem Gehäuse |
| DE10207530A1 (de) | 2002-02-22 | 2003-09-11 | Epcos Ag | Piezoaktor mit strukturierter Außenelektrode |
| DE10327902A1 (de) * | 2002-07-19 | 2004-06-24 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor |
| DE10241992B4 (de) * | 2002-09-11 | 2005-05-04 | Siemens Ag | Piezoelektrischer Aktor |
| DE10307825A1 (de) | 2003-02-24 | 2004-09-09 | Epcos Ag | Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel |
| DE10341333B4 (de) | 2003-09-08 | 2006-06-08 | Siemens Ag | Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors |
| WO2005029603A1 (ja) * | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| DE102004005227A1 (de) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit mindestens einem Paar Innenelektroden |
| US7385337B2 (en) * | 2004-06-18 | 2008-06-10 | Tdk Corporation | Multilayer piezoelectric element |
| DE102004031404B4 (de) * | 2004-06-29 | 2010-04-08 | Siemens Ag | Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle und elektrischem Anschlusselement, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils |
| DE102004050880B4 (de) * | 2004-10-19 | 2010-11-25 | Continental Automotive Gmbh | Kraftstoffinjektor mit Wärmetauscheinrichtung |
| DE102004057795B4 (de) * | 2004-11-30 | 2006-12-28 | Siemens Ag | Kontaktierung von Vielschicht-Piezoaktoren bzw. -sensoren |
| DE102005015405B3 (de) * | 2005-02-08 | 2006-07-20 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente | Anordnung zur elektrischen Kontaktierung von piezoelektrischen Vielschicht-Stapelaktoren |
| DE102005014163B4 (de) * | 2005-03-29 | 2015-09-17 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrische Aktoreinheit mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit sowie Kraftstoffinjektor |
| US20070147008A1 (en) * | 2005-12-28 | 2007-06-28 | Intel Corporation | Use of porous materials to cool the surfaces of a computing device |
| DE102006004284A1 (de) * | 2006-01-31 | 2007-08-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben |
| DE102006018056A1 (de) * | 2006-04-19 | 2007-10-31 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit außen kontaktierten Innenelektroden eines Piezoelements |
| US7679273B2 (en) * | 2006-07-31 | 2010-03-16 | Delphi Technologies, Inc. | Strain tolerant metal electrode design |
| DE102006040316B4 (de) * | 2006-08-29 | 2012-07-05 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Piezokeramischer Flächenaktuator und Verfahren zur Herstellung eines solchen |
| DE102007011652B4 (de) | 2007-02-23 | 2008-12-11 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente | Anordnung zur elektrischen Kontaktierung von piezoelektrischen Vielschichtaktoren |
| US7855490B2 (en) * | 2007-11-14 | 2010-12-21 | Interplex Nas, Inc. | Planar spring assembly with attached solder strip and method for making same |
| DE102008031641B4 (de) | 2008-07-04 | 2017-11-09 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise |
| DE102008062021A1 (de) | 2008-08-18 | 2010-03-04 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise |
| DE102008050539A1 (de) * | 2008-10-06 | 2010-04-08 | Epcos Ag | Piezoaktor mit Außenelektrode |
| DE102008056746A1 (de) | 2008-11-11 | 2010-05-12 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor |
| US8823244B2 (en) | 2008-11-20 | 2014-09-02 | Ceramtec Gmbh | Monolithic multi-layered actuator with external electrodes made of a metallic, porous, expandable conductive layer |
| DE102008055131A1 (de) * | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor, Kraftstoff-Injektor mit Piezoaktor sowie Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors |
| DE102009013125A1 (de) | 2009-03-13 | 2010-09-23 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zum Befestigen einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor |
| DE102009020238B4 (de) | 2009-05-07 | 2017-10-19 | Epcos Ag | Piezoaktor mit elektrischen Kontaktierungsstiften und Verfahren zum Kontaktieren eines Piezoaktors |
| DE102009054068A1 (de) | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Epcos Ag | Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement und piezoelektrisches Bauelement mit einem Lotmaterial |
| WO2013104710A1 (de) | 2012-01-11 | 2013-07-18 | Ceramtec Gmbh | Aktormodul mit einem in einem gehäuse angeordneten vielschichtaktor und konstant extrem niedrigen leckstrom an der aktoroberfläche |
| DE102012109250B4 (de) | 2012-09-28 | 2020-07-16 | Tdk Electronics Ag | Elektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung einer Kontaktierung eines Elektrischen Bauelements |
| DE102014110163A1 (de) * | 2014-07-18 | 2016-01-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer physikalischen oder chemischen Prozessgröße eines Mediums |
| US11296272B2 (en) * | 2017-07-20 | 2022-04-05 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Multilayer piezoelectric element, piezoelectric vibration apparatus, and electronic device |
| DE102018104459A1 (de) * | 2018-02-27 | 2019-08-29 | Tdk Electronics Ag | Vielschichtbauelement mit externer Kontaktierung |
| DE102018108360A1 (de) | 2018-04-09 | 2019-10-10 | Vermes Microdispensing GmbH | Dosiersystem mit piezokeramischem Aktor |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4012588A (en) * | 1975-08-29 | 1977-03-15 | Science Accessories Corporation | Position determining apparatus and transducer therefor |
| JPS601877A (ja) † | 1983-06-20 | 1985-01-08 | Nippon Soken Inc | 積層型圧電体 |
| DE3330538A1 (de) * | 1983-08-24 | 1985-03-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Piezoelektrisches stellglied |
| US4917484A (en) * | 1984-05-15 | 1990-04-17 | Rockwell International Corporation | High-performance dynamic mount for laser-beam steering mirror and actuating motor therefor |
| US4803763A (en) * | 1986-08-28 | 1989-02-14 | Nippon Soken, Inc. | Method of making a laminated piezoelectric transducer |
| JP2567046B2 (ja) † | 1987-09-25 | 1996-12-25 | 日立金属株式会社 | 積層型変位素子 |
| JPH0258384A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Fuji Electric Co Ltd | 積層型圧電素子 |
| US5281885A (en) * | 1989-11-14 | 1994-01-25 | Hitachi Metals, Ltd. | High-temperature stacked-type displacement device |
| DE68926166T2 (de) * | 1989-11-14 | 1996-12-12 | Battelle Memorial Institute | Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen Stapelantriebsvorrichtung |
| US4967166A (en) * | 1989-12-07 | 1990-10-30 | Schlumberger Technology Corporation | Crystal oscillator and method for mounting the same |
| EP0471552B1 (en) * | 1990-08-14 | 1997-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Heat transfer module for ultra high density and silicon on silicon packaging applications |
| JPH04214686A (ja) † | 1990-10-05 | 1992-08-05 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| GB2266806B (en) * | 1992-05-06 | 1996-01-24 | Dowty Maritime Ltd | Piezoelectric device |
| JP3270527B2 (ja) † | 1992-07-08 | 2002-04-02 | 呉羽化学工業株式会社 | 筒状ないし曲面化圧電素子 |
| US5597494A (en) * | 1993-03-26 | 1997-01-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing multilayer ceramic electronic component |
| US5406164A (en) * | 1993-06-10 | 1995-04-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Multilayer piezoelectric element |
| US5438477A (en) * | 1993-08-12 | 1995-08-01 | Lsi Logic Corporation | Die-attach technique for flip-chip style mounting of semiconductor dies |
| JPH07106653A (ja) † | 1993-10-06 | 1995-04-21 | Hitachi Metals Ltd | 積層圧電素子 |
| JP2570605B2 (ja) * | 1993-11-15 | 1997-01-08 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
| JPH07169998A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-07-04 | Toyota Motor Corp | 圧電アクチュエータ |
| JPH07226541A (ja) * | 1994-02-09 | 1995-08-22 | Brother Ind Ltd | 積層型圧電素子 |
| JPH07283453A (ja) † | 1994-04-12 | 1995-10-27 | Brother Ind Ltd | 積層型圧電素子 |
| US5557501A (en) * | 1994-11-18 | 1996-09-17 | Tessera, Inc. | Compliant thermal connectors and assemblies incorporating the same |
| JPH08250777A (ja) † | 1995-03-10 | 1996-09-27 | Chichibu Onoda Cement Corp | 連結積層型圧電アクチュエータ素子 |
| US6596763B1 (en) † | 1996-11-14 | 2003-07-22 | Lipomedica Ehf. | Topical formulations containing as a therapeutic active agent fatty acids or fatty alcohols or monoglyceride derivatives thereof for treating of mucosa infections |
-
1996
- 1996-11-25 DE DE19648545A patent/DE19648545B4/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-11-13 DE DE59707960T patent/DE59707960D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-13 DK DK97119858.5T patent/DK0844678T4/da active
- 1997-11-13 AT AT97119858T patent/ATE222404T1/de active
- 1997-11-13 ES ES97119858T patent/ES2177881T5/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-13 EP EP97119858A patent/EP0844678B9/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-13 PT PT97119858T patent/PT844678E/pt unknown
- 1997-11-25 JP JP32322397A patent/JP4112054B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-25 US US08/977,892 patent/US6208026B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4843143B2 (ja) * | 1999-04-20 | 2011-12-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| JP2002542630A (ja) * | 1999-04-20 | 2002-12-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| KR100728511B1 (ko) * | 1999-04-20 | 2007-06-15 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 압전 액추에이터 |
| JP2003502869A (ja) * | 1999-06-19 | 2003-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| JP2003502870A (ja) * | 1999-06-19 | 2003-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| JP4996026B2 (ja) * | 1999-06-19 | 2012-08-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電アクチュエータ |
| JP2004508695A (ja) * | 2000-04-11 | 2004-03-18 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式多層アクチュエータ |
| US6873089B2 (en) | 2000-05-31 | 2005-03-29 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| US6787975B2 (en) | 2000-05-31 | 2004-09-07 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| US6888290B2 (en) | 2000-05-31 | 2005-05-03 | Denso Corporation | Piezoelectric element for injector |
| US6483227B2 (en) | 2000-05-31 | 2002-11-19 | Denso Corporation | Piezoelectric element for injector |
| US7067960B2 (en) | 2000-05-31 | 2006-06-27 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| US6663015B2 (en) | 2000-06-06 | 2003-12-16 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| EP1162671A2 (en) | 2000-06-06 | 2001-12-12 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| DE10163358B4 (de) * | 2000-12-28 | 2010-02-18 | DENSO CORPORATION, Kariya-shi | Vielschichtiger piezoelektrischer Aktuator |
| US6522052B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-02-18 | Denso Corporation | Multilayer-type piezoelectric actuator |
| JP4667863B2 (ja) * | 2002-06-07 | 2011-04-13 | ピーアイ セラミック ゲーエムベーハー ケラミッシェ テクノロジー ウント バウエレメント | 圧電セラミック又は電歪材料から作られたモノリシック多層アクチュエータ |
| JP2005529495A (ja) * | 2002-06-07 | 2005-09-29 | ピーアイ セラミック ゲーエムベーハー ケラミッシェ テクノロジー ウント バウエレメント | モノリシック多層アクチュエータの製造方法、圧電セラミック又は電歪材料から作られたモノリシック多層アクチュエータ、及びモノリシック多層アクチュエータのための外部電気接点 |
| JP2006013437A (ja) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびその製造方法ならびにこれを用いた噴射装置 |
| JP2006517729A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-07-27 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 目標破損個所を備えた圧電素子及び圧電素子を製造する方法並びに圧電素子の使用 |
| JP2008529288A (ja) * | 2005-01-26 | 2008-07-31 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電多層素子 |
| US7538475B2 (en) | 2006-01-13 | 2009-05-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Multilayer piezoelectric devices and method of producing same |
| WO2009082006A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
| US8276567B2 (en) | 2007-12-26 | 2012-10-02 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element, and injection apparatus and fuel injection system that employ the same |
| JP5139448B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-02-06 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
| US7969066B2 (en) | 2008-04-11 | 2011-06-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer peiezoelectric actuator having a stress-absorbing external-electrode member with portions thereof not bonded to a base electrode |
| WO2009125553A1 (ja) | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
| WO2009130863A1 (ja) | 2008-04-21 | 2009-10-29 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
| WO2010024199A1 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| JPWO2010024199A1 (ja) * | 2008-08-26 | 2012-01-26 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
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| Publication number | Publication date |
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