JPH10190071A - 多段電子冷却装置 - Google Patents
多段電子冷却装置Info
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- JPH10190071A JPH10190071A JP8341139A JP34113996A JPH10190071A JP H10190071 A JPH10190071 A JP H10190071A JP 8341139 A JP8341139 A JP 8341139A JP 34113996 A JP34113996 A JP 34113996A JP H10190071 A JPH10190071 A JP H10190071A
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- Japan
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- insulating substrate
- cooling device
- electronic cooling
- conductive film
- hole
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one thermoelectric or thermomagnetic element covered by groups H10N10/00 - H10N15/00
- H10N19/101—Multiple thermocouples connected in a cascade arrangement
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクト化が可能であり、かつ信頼性、作
業性の向上した多段電子冷却装置とすること。 【解決手段】 絶縁基板3と、ペルチェ効果を有し絶縁
基板3の一方面及び他方面に配設された熱電素子6a〜
6f,7a〜7eと、絶縁基板3に形成された貫通孔1
0と、貫通孔10の内部に形成され絶縁基板3の一方面
に配設された熱電素子6dと絶縁基板3の他方面に配設
された熱電素子7dとを電気的に接続する導電性被膜1
1とを備えた多段電子冷却装置1としたこと。
業性の向上した多段電子冷却装置とすること。 【解決手段】 絶縁基板3と、ペルチェ効果を有し絶縁
基板3の一方面及び他方面に配設された熱電素子6a〜
6f,7a〜7eと、絶縁基板3に形成された貫通孔1
0と、貫通孔10の内部に形成され絶縁基板3の一方面
に配設された熱電素子6dと絶縁基板3の他方面に配設
された熱電素子7dとを電気的に接続する導電性被膜1
1とを備えた多段電子冷却装置1としたこと。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペルチェ効果によ
り発生する低温を利用した電子冷却装置に関するもので
あり、特に、ペルチェ効果を有する熱電素子を多段に配
列した多段電子冷却装置に係るものである。
り発生する低温を利用した電子冷却装置に関するもので
あり、特に、ペルチェ効果を有する熱電素子を多段に配
列した多段電子冷却装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】2段以上の段数を有する多段電子冷却装
置は、特開平2−10781号公報に示される如きもの
がある。これは、図9に示されるように、6段になって
おり、各段にはN型半導体21とP型半導体22とを対
とする熱電素子対Aがそれぞれ交互に、かつ基板23に
接合された電極24にて直列に接続されている。そし
て、各段の熱電素子対Aに通電することにより、各段の
上側の基板側が吸熱され、最上段の基板23aが最大到
達温度で冷却されるものである。
置は、特開平2−10781号公報に示される如きもの
がある。これは、図9に示されるように、6段になって
おり、各段にはN型半導体21とP型半導体22とを対
とする熱電素子対Aがそれぞれ交互に、かつ基板23に
接合された電極24にて直列に接続されている。そし
て、各段の熱電素子対Aに通電することにより、各段の
上側の基板側が吸熱され、最上段の基板23aが最大到
達温度で冷却されるものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の多段電子冷
却装置において、各段の電極どうしを電気的に接続する
必要があり、この接続方法について具体的に示したもの
はないが、一般的には、図10及び図11に示す如き接
続方法が考えられる。図10に示す接続方法は、各段の
端部電極をリード線により接続し、リード線と各電極と
を半田づけする方法である。また、図11に示す接続方
法は、各段の端部電極を良導体である銅板で接続し、銅
板と各電極とを半田づけする方法である。
却装置において、各段の電極どうしを電気的に接続する
必要があり、この接続方法について具体的に示したもの
はないが、一般的には、図10及び図11に示す如き接
続方法が考えられる。図10に示す接続方法は、各段の
端部電極をリード線により接続し、リード線と各電極と
を半田づけする方法である。また、図11に示す接続方
法は、各段の端部電極を良導体である銅板で接続し、銅
板と各電極とを半田づけする方法である。
【0004】しかしながら、図10に示す接続方法であ
ると、リード線が電子冷却装置の側部(図10において
図示右側部)に大きくはみ出し、全体的なサイズが大き
くなってしまうという問題がある。これは、コンパクト
化が要求される冷却装置からみて大きな欠点である。ま
た、図11に示す接続方法であると、銅板を曲げる部分
でクラックが発生する。このようなクラックが発生する
と、電子冷却装置に安定して電流を流すことができず、
製品としての信頼性を低下させる要因となる。また、図
10、図11に示すいずれの接続方法においても、熱電
半導体のチップ高さが小さくなると、リード線や銅板等
の接続部品と基板との間の隙間が非常に小さくなり、半
田づけができない、又は、半田づけをするときの作業が
非常に煩雑になる等の問題がある。
ると、リード線が電子冷却装置の側部(図10において
図示右側部)に大きくはみ出し、全体的なサイズが大き
くなってしまうという問題がある。これは、コンパクト
化が要求される冷却装置からみて大きな欠点である。ま
た、図11に示す接続方法であると、銅板を曲げる部分
でクラックが発生する。このようなクラックが発生する
と、電子冷却装置に安定して電流を流すことができず、
製品としての信頼性を低下させる要因となる。また、図
10、図11に示すいずれの接続方法においても、熱電
半導体のチップ高さが小さくなると、リード線や銅板等
の接続部品と基板との間の隙間が非常に小さくなり、半
田づけができない、又は、半田づけをするときの作業が
非常に煩雑になる等の問題がある。
【0005】故に、本発明は、上記問題を解決すべくな
されたものであり、多段電子冷却装置において、コンパ
クトであり、信頼性も向上し、さらに作業性も良好な構
造とすることを技術的課題とするものである。
されたものであり、多段電子冷却装置において、コンパ
クトであり、信頼性も向上し、さらに作業性も良好な構
造とすることを技術的課題とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために、請求項1において講じた発明は、絶縁基板
と、ペルチェ効果を有し前記絶縁基板の一方面及び他方
面に配設された熱電素子と、前記絶縁基板に形成された
貫通孔と、前記貫通孔の内部に形成され前記絶縁基板の
一方面に配設された熱電素子と前記絶縁基板の他方面に
配設された熱電素子とを電気的に接続する導電性被膜と
を備えた多段電子冷却装置としたことである。
るために、請求項1において講じた発明は、絶縁基板
と、ペルチェ効果を有し前記絶縁基板の一方面及び他方
面に配設された熱電素子と、前記絶縁基板に形成された
貫通孔と、前記貫通孔の内部に形成され前記絶縁基板の
一方面に配設された熱電素子と前記絶縁基板の他方面に
配設された熱電素子とを電気的に接続する導電性被膜と
を備えた多段電子冷却装置としたことである。
【0007】上記発明における作用は以下のようであ
る。即ち、多段電子冷却装置に通電すると、例えば、ま
ず絶縁基板の一方面に配設された熱電素子に電流が流れ
る。熱電素子はペルチェ効果を有しているので、該ペル
チェ効果により一面で発熱し、他面で吸熱する。さらに
電流は、絶縁基板の一方面に配設された熱電素子から、
絶縁基板に形成された貫通孔の内部の導電性被膜を伝わ
り、絶縁基板の他方面に配設された熱電素子に流れる。
そして、この熱電素子も、ペルチェ効果により一面で発
熱し、他面で吸熱するものである。
る。即ち、多段電子冷却装置に通電すると、例えば、ま
ず絶縁基板の一方面に配設された熱電素子に電流が流れ
る。熱電素子はペルチェ効果を有しているので、該ペル
チェ効果により一面で発熱し、他面で吸熱する。さらに
電流は、絶縁基板の一方面に配設された熱電素子から、
絶縁基板に形成された貫通孔の内部の導電性被膜を伝わ
り、絶縁基板の他方面に配設された熱電素子に流れる。
そして、この熱電素子も、ペルチェ効果により一面で発
熱し、他面で吸熱するものである。
【0008】本発明で注目すべき点は、絶縁基板に形成
された貫通孔の内部に、絶縁基板の一方面に配設された
熱電素子と他方面に配設された熱電素子とを電気的に接
続する導電性被膜を形成したことである。このように構
成することにより、多段電子冷却装置において異なった
段に電流を流す際に、その接続部材として、従来のよう
なスペース的に不利なリード線、クラックの発生により
信頼性が低下する銅板等を使用せずに電流を流すことが
できる。
された貫通孔の内部に、絶縁基板の一方面に配設された
熱電素子と他方面に配設された熱電素子とを電気的に接
続する導電性被膜を形成したことである。このように構
成することにより、多段電子冷却装置において異なった
段に電流を流す際に、その接続部材として、従来のよう
なスペース的に不利なリード線、クラックの発生により
信頼性が低下する銅板等を使用せずに電流を流すことが
できる。
【0009】また、請求項2の発明のように、前記導電
性被膜は、導電性を有するメッキ被膜であることが好ま
しい。このように構成することにより、電極パターンを
メッキ処理により作製する際に、同時に貫通孔に導電性
被膜を形成することができる。このようなメッキ被膜と
して、銅メッキ被膜、ニッケルメッキ被膜、錫メッキ被
膜、金メッキ被膜等が挙げられる。
性被膜は、導電性を有するメッキ被膜であることが好ま
しい。このように構成することにより、電極パターンを
メッキ処理により作製する際に、同時に貫通孔に導電性
被膜を形成することができる。このようなメッキ被膜と
して、銅メッキ被膜、ニッケルメッキ被膜、錫メッキ被
膜、金メッキ被膜等が挙げられる。
【0010】また、請求項3の発明のように、前記導電
性被膜は、高温焼付け型導電性塗料であることが好まし
い。このように構成することにより、メッキのつかない
基板の貫通孔に導電性被膜を形成することができる。こ
のような高温焼付け型導電性塗料として、銀及び白金が
主成分の高温焼付け型塗料、銀及びパラジウムが主成分
の高温焼付け型塗料等が挙げられる。
性被膜は、高温焼付け型導電性塗料であることが好まし
い。このように構成することにより、メッキのつかない
基板の貫通孔に導電性被膜を形成することができる。こ
のような高温焼付け型導電性塗料として、銀及び白金が
主成分の高温焼付け型塗料、銀及びパラジウムが主成分
の高温焼付け型塗料等が挙げられる。
【0011】また、請求項4の発明のように、前記導電
性被膜は、低温焼付け型導電性塗料であることが好まし
い。このように構成することにより、メッキがつかず、
かつ耐熱性のない基板の貫通孔に導電性被膜を形成する
ことができる。このような低温焼付け型塗料として、銀
及び樹脂が主成分の低温焼付け型塗料、銅及び樹脂が主
成分の低温焼付け型塗料が挙げられる。
性被膜は、低温焼付け型導電性塗料であることが好まし
い。このように構成することにより、メッキがつかず、
かつ耐熱性のない基板の貫通孔に導電性被膜を形成する
ことができる。このような低温焼付け型塗料として、銀
及び樹脂が主成分の低温焼付け型塗料、銅及び樹脂が主
成分の低温焼付け型塗料が挙げられる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【0013】(第1実施形態例)図4は、本例における
2段電子冷却装置の要部構成を示す図である。また、図
1〜図3は、図4に示す2段電子冷却装置を製造するま
での手順である。
2段電子冷却装置の要部構成を示す図である。また、図
1〜図3は、図4に示す2段電子冷却装置を製造するま
での手順である。
【0014】まず、図4に基づいて、本例の2段電子冷
却装置の構成について説明する。
却装置の構成について説明する。
【0015】図4において、2段電子冷却装置1は、ア
ルミナセラミックスを原料とした第1絶縁基板2、第2
絶縁基板3、及び第3絶縁基板4を備える。第1絶縁基
板2には、その図示上面にパターン化された銅電極5
a,5c,5e,5gが固着されている。第2絶縁基板
3には、その図示下面にパターン化された銅電極5b,
5d,5f,5hが、その図示上面にもパターン化され
た銅電極5i,5k,5mが固着されている。第3絶縁
基板4には、その図示下面にパターン化された銅電極5
j,5lが固着されている。第1絶縁基板2と第2絶縁
基板3との間には、N型熱電素子6a,6b,6c,6
d及びP型熱電素子7a,7b,7cが、それぞれ交互
に配置されている。同様に、第2絶縁基板3と第3絶縁
基板4との間にも、N型熱電素子6e,6f及びP型熱
電素子7d,7eが、それぞれ交互に配置されている。
各熱電素子は、それと隣接する熱電素子と電極で電気的
に接続されている。具体的には、電極5a−N型熱電素
子6a−電極5b−P型熱電素子7a−電極5c−N型
熱電素子6b−電極5d−P型熱電素子7b・・・、と
いうように、N型熱電素子とP型熱電素子との間に電極
を介在させて直列に電気接続していく。第1絶縁基板2
と第2絶縁基板3との間に配置された、これらの接続部
材(電極5a〜5h、N型熱電素子6a〜6d、P型熱
電素子7a〜7c)で、1段目熱電変換部8を構成す
る。同様に、第2絶縁基板3と第3絶縁基板4との間に
配置された、これらの接続部材(電極5i〜5m、N型
熱電素子6e〜6f、P型熱電素子7d〜7e)で、2
段目熱電変換部9を構成する。
ルミナセラミックスを原料とした第1絶縁基板2、第2
絶縁基板3、及び第3絶縁基板4を備える。第1絶縁基
板2には、その図示上面にパターン化された銅電極5
a,5c,5e,5gが固着されている。第2絶縁基板
3には、その図示下面にパターン化された銅電極5b,
5d,5f,5hが、その図示上面にもパターン化され
た銅電極5i,5k,5mが固着されている。第3絶縁
基板4には、その図示下面にパターン化された銅電極5
j,5lが固着されている。第1絶縁基板2と第2絶縁
基板3との間には、N型熱電素子6a,6b,6c,6
d及びP型熱電素子7a,7b,7cが、それぞれ交互
に配置されている。同様に、第2絶縁基板3と第3絶縁
基板4との間にも、N型熱電素子6e,6f及びP型熱
電素子7d,7eが、それぞれ交互に配置されている。
各熱電素子は、それと隣接する熱電素子と電極で電気的
に接続されている。具体的には、電極5a−N型熱電素
子6a−電極5b−P型熱電素子7a−電極5c−N型
熱電素子6b−電極5d−P型熱電素子7b・・・、と
いうように、N型熱電素子とP型熱電素子との間に電極
を介在させて直列に電気接続していく。第1絶縁基板2
と第2絶縁基板3との間に配置された、これらの接続部
材(電極5a〜5h、N型熱電素子6a〜6d、P型熱
電素子7a〜7c)で、1段目熱電変換部8を構成す
る。同様に、第2絶縁基板3と第3絶縁基板4との間に
配置された、これらの接続部材(電極5i〜5m、N型
熱電素子6e〜6f、P型熱電素子7d〜7e)で、2
段目熱電変換部9を構成する。
【0016】また、第2絶縁基板3の一部分には、貫通
孔10が形成されている。この貫通孔10の内周壁に
は、導電性被膜11が塗布されている。この導電性被膜
11は本例においては、電極と同じ銅で形成される。ま
た、導電性被膜11は、1段目熱電変換部8におけるN
型熱電素子6dに直接連結された図示右端の電極5h及
び、2段目熱電変換部9におけるN型熱電素子6eに直
接連結した図示右端の電極5iの両者とも電気的に接続
されている。
孔10が形成されている。この貫通孔10の内周壁に
は、導電性被膜11が塗布されている。この導電性被膜
11は本例においては、電極と同じ銅で形成される。ま
た、導電性被膜11は、1段目熱電変換部8におけるN
型熱電素子6dに直接連結された図示右端の電極5h及
び、2段目熱電変換部9におけるN型熱電素子6eに直
接連結した図示右端の電極5iの両者とも電気的に接続
されている。
【0017】本例における2段電子冷却装置1は、上記
構成のため、第2絶縁基板3と、ペルチェ効果を有し第
2絶縁基板3の両面(一方面及び他方面)に配設された
熱電素子6a〜6f、7a〜7eと、第2絶縁基板3に
形成された貫通孔10と、貫通孔10の内部に形成され
第2絶縁基板3の一方面に配設された熱電素子(図4に
おけるN型熱電素子6d)と第2絶縁基板3の他方面に
配設された熱電素子(図4におけるN型熱電素子6e)
とを電気的に接続する導電性被膜11とを備えたもので
ある。
構成のため、第2絶縁基板3と、ペルチェ効果を有し第
2絶縁基板3の両面(一方面及び他方面)に配設された
熱電素子6a〜6f、7a〜7eと、第2絶縁基板3に
形成された貫通孔10と、貫通孔10の内部に形成され
第2絶縁基板3の一方面に配設された熱電素子(図4に
おけるN型熱電素子6d)と第2絶縁基板3の他方面に
配設された熱電素子(図4におけるN型熱電素子6e)
とを電気的に接続する導電性被膜11とを備えたもので
ある。
【0018】上記構成の多段電子冷却装置1において、
以下にその作動について説明する。
以下にその作動について説明する。
【0019】まず、1段目熱電変換部8の図示左端の電
極5aより電流を流す。すると、電流は、1段目熱電変
換部8のN型熱電素子6a、電極5b、P型熱電素子7
a、電極5c、N型熱電素子6b、・・・というよう
に、電極を挟んでN型熱電素子及びP型熱電素子に交互
に流れる。すると、ペルチェ効果により、第1絶縁基板
2に固着された電極(電極5a,5c,5e,5g)側
において放熱する。一方、第2絶縁基板3に固着された
電極(電極5b,5d,5f,5h)側において吸熱す
る。1段目熱電変換部の図示右端の電極5hまで流れた
電流は、貫通孔10の内周壁に固着された銅製の導電性
被膜11を伝わり、2段目熱電変換部9の図示右端の電
極5iに流れる。そして、2段目熱電変換部9のN型熱
電素子6e、電極5j、P型熱電素子7d、電極5k、
N型熱電素子6f、・・・というように、電極を挟んで
N型熱電素子及びP型熱電素子に交互に流れる。する
と、ペルチェ効果により、第2絶縁基板2に固着された
電極(電極5i,5k,5m)において発熱する。一
方、第3絶縁基板4に固着された電極(電極5j,5
l)において吸熱する。
極5aより電流を流す。すると、電流は、1段目熱電変
換部8のN型熱電素子6a、電極5b、P型熱電素子7
a、電極5c、N型熱電素子6b、・・・というよう
に、電極を挟んでN型熱電素子及びP型熱電素子に交互
に流れる。すると、ペルチェ効果により、第1絶縁基板
2に固着された電極(電極5a,5c,5e,5g)側
において放熱する。一方、第2絶縁基板3に固着された
電極(電極5b,5d,5f,5h)側において吸熱す
る。1段目熱電変換部の図示右端の電極5hまで流れた
電流は、貫通孔10の内周壁に固着された銅製の導電性
被膜11を伝わり、2段目熱電変換部9の図示右端の電
極5iに流れる。そして、2段目熱電変換部9のN型熱
電素子6e、電極5j、P型熱電素子7d、電極5k、
N型熱電素子6f、・・・というように、電極を挟んで
N型熱電素子及びP型熱電素子に交互に流れる。する
と、ペルチェ効果により、第2絶縁基板2に固着された
電極(電極5i,5k,5m)において発熱する。一
方、第3絶縁基板4に固着された電極(電極5j,5
l)において吸熱する。
【0020】上記説明した本例における2段電子冷却装
置によれば、1段目熱電変換部8から2段目熱電変換部
9への電流の伝達は、第2絶縁基板4に形成された貫通
孔10の内周壁に被覆された導電性被膜11により伝達
される。従って、従来のように、リード線、銅板等を使
用することなく、各段が電気的に接続される。故に、従
来の欠点、即ち、リード線のはみ出し等によるサイズア
ップ、信頼性の低下、作業性の悪化を解消できるもので
ある。
置によれば、1段目熱電変換部8から2段目熱電変換部
9への電流の伝達は、第2絶縁基板4に形成された貫通
孔10の内周壁に被覆された導電性被膜11により伝達
される。従って、従来のように、リード線、銅板等を使
用することなく、各段が電気的に接続される。故に、従
来の欠点、即ち、リード線のはみ出し等によるサイズア
ップ、信頼性の低下、作業性の悪化を解消できるもので
ある。
【0021】図1〜図3は、本例における電極及び導電
性被膜が固着された絶縁基板の製造方法を示す図であ
る。以下、順を追ってその製造方法から説明する。
性被膜が固着された絶縁基板の製造方法を示す図であ
る。以下、順を追ってその製造方法から説明する。
【0022】まず、図1に示すように、アルミナセラミ
ックスを材料とした絶縁基板3に貫通孔10を形成す
る。
ックスを材料とした絶縁基板3に貫通孔10を形成す
る。
【0023】次に、図2に示すように、電極が形成され
る部分以外のところにメッキレジスト12を塗布する。
この場合において、貫通孔10の近傍及び内周面には、
メッキレジスト12は塗布しない。
る部分以外のところにメッキレジスト12を塗布する。
この場合において、貫通孔10の近傍及び内周面には、
メッキレジスト12は塗布しない。
【0024】そして、周知の方法により、メッキレジス
ト12が塗布された絶縁基板3にメッキ処理を施し、図
3に示すように電極5を形成する。この場合、貫通孔1
0の近傍及び内周面にメッキレジスト12を塗布してい
ないので、この部分にも銅が付着し、貫通孔10の内周
面に導電性被膜11を形成する。図3より明らかなよう
に、絶縁基板3の一方面3a側に形成された電極5A
と、絶縁基板3の他方面3bに形成された電極5Bと
は、貫通孔10の内周に付着した導電性被膜11により
電気的に接続されている。
ト12が塗布された絶縁基板3にメッキ処理を施し、図
3に示すように電極5を形成する。この場合、貫通孔1
0の近傍及び内周面にメッキレジスト12を塗布してい
ないので、この部分にも銅が付着し、貫通孔10の内周
面に導電性被膜11を形成する。図3より明らかなよう
に、絶縁基板3の一方面3a側に形成された電極5A
と、絶縁基板3の他方面3bに形成された電極5Bと
は、貫通孔10の内周に付着した導電性被膜11により
電気的に接続されている。
【0025】このようにして製造された電極及び導電性
被膜が固着された絶縁基板上に、N型及びP型熱電素子
を所定位置に配置し、これらを積層することにより、多
段電子冷却装置が製造できるものである。
被膜が固着された絶縁基板上に、N型及びP型熱電素子
を所定位置に配置し、これらを積層することにより、多
段電子冷却装置が製造できるものである。
【0026】本例においては、電極5と導電性被膜11
とを同一材質で、かつ同一工法(メッキ処理)により作
製するため、電極の製造工程と導電性被膜の製造工程と
を共通化することができ、製造コストも低減できるもの
である。
とを同一材質で、かつ同一工法(メッキ処理)により作
製するため、電極の製造工程と導電性被膜の製造工程と
を共通化することができ、製造コストも低減できるもの
である。
【0027】尚、本例において、銅メッキを使用した多
段電子冷却装置及びその製造方法について説明したが、
導電性の材料をメッキするものであれば、本例における
効果を有することは明らかである。このようなものは、
銅メッキの他に、ニッケルメッキ、錫メッキ、銀メッ
キ、金メッキ等が挙げられる。
段電子冷却装置及びその製造方法について説明したが、
導電性の材料をメッキするものであれば、本例における
効果を有することは明らかである。このようなものは、
銅メッキの他に、ニッケルメッキ、錫メッキ、銀メッ
キ、金メッキ等が挙げられる。
【0028】(第2実施形態例)次に、本発明の第2実
施形態例について説明するが、第2実施形態例は、第1
実施形態例における導電性被膜11の部分が異なるのみ
である。即ち、第1実施形態例においては導電性被膜1
1は電極と同じ銅であったが、本例においては、銀とパ
ラジウムが主成分の高温焼付け型塗料とした。従って、
多段電子冷却装置全体の構成は、図4とほぼ同じなので
説明を省略し、絶縁基板に導電性被膜を塗布するときの
製造工程についてのみ説明する。
施形態例について説明するが、第2実施形態例は、第1
実施形態例における導電性被膜11の部分が異なるのみ
である。即ち、第1実施形態例においては導電性被膜1
1は電極と同じ銅であったが、本例においては、銀とパ
ラジウムが主成分の高温焼付け型塗料とした。従って、
多段電子冷却装置全体の構成は、図4とほぼ同じなので
説明を省略し、絶縁基板に導電性被膜を塗布するときの
製造工程についてのみ説明する。
【0029】図5〜図7は、本例における絶縁基板に導
電性被膜(高温焼付け塗料)を塗布するときの製造工程
を示す図である。
電性被膜(高温焼付け塗料)を塗布するときの製造工程
を示す図である。
【0030】まず、図5に示すように、チタン酸バリウ
ム製の絶縁基板3上に、銀とパラジウムが主成分の高温
焼付け型塗料をスクリーン印刷により塗布し、焼付けを
行って絶縁基板3の両面に電極13を形成する。この場
合において、後述する貫通孔10を形成するべき位置の
両面にも、高温焼付け塗料を塗布し、焼付けを行ってお
く。
ム製の絶縁基板3上に、銀とパラジウムが主成分の高温
焼付け型塗料をスクリーン印刷により塗布し、焼付けを
行って絶縁基板3の両面に電極13を形成する。この場
合において、後述する貫通孔10を形成するべき位置の
両面にも、高温焼付け塗料を塗布し、焼付けを行ってお
く。
【0031】次に、前述したように、スクリーン印刷に
より両面に高温焼付け塗料が塗布された所定位置に、レ
ーザーにより貫通孔10を形成する(図6)。
より両面に高温焼付け塗料が塗布された所定位置に、レ
ーザーにより貫通孔10を形成する(図6)。
【0032】その後、この貫通孔の内周面に、銀及びパ
ラジウムを主成分とする高温焼付け型塗料を吐出機によ
り塗布し、焼付けを行って導電性被膜14を形成した
(図7)。これにより、図7における電極13A及び電
極13Bが、導電性被膜14により電気的に接続され
た。
ラジウムを主成分とする高温焼付け型塗料を吐出機によ
り塗布し、焼付けを行って導電性被膜14を形成した
(図7)。これにより、図7における電極13A及び電
極13Bが、導電性被膜14により電気的に接続され
た。
【0033】また、詳細に説明しないが、図4における
第1絶縁基板2、第3絶縁基板4も、上記説明した方法
(貫通孔の形成工程は除く。)と同様に作製して、各基
板に電極パターンを形成し、各基板間にN型及びP型熱
電素子を交互に配置して、2段電子冷却装置とした。
第1絶縁基板2、第3絶縁基板4も、上記説明した方法
(貫通孔の形成工程は除く。)と同様に作製して、各基
板に電極パターンを形成し、各基板間にN型及びP型熱
電素子を交互に配置して、2段電子冷却装置とした。
【0034】本例においては、絶縁基板に形成された貫
通孔の内周壁に、高温焼付け型塗料を使用して導電性被
膜を形成したため、本例で示したチタン酸バリウム等の
メッキを施すことができない基板の貫通孔にも導電性被
膜を形成することができるという効果がある。もちろ
ん、第1実施形態例で示したような、メッキを施すこと
ができる基板にも、本例は適用可能であるということ
は、いうまでもない。
通孔の内周壁に、高温焼付け型塗料を使用して導電性被
膜を形成したため、本例で示したチタン酸バリウム等の
メッキを施すことができない基板の貫通孔にも導電性被
膜を形成することができるという効果がある。もちろ
ん、第1実施形態例で示したような、メッキを施すこと
ができる基板にも、本例は適用可能であるということ
は、いうまでもない。
【0035】尚、本例では、高温焼付け型塗料として、
銀及びパラジウムが主成分のものを使用したので、導電
性が非常に良好であるという効果も合わせもつ。このよ
うな効果を有するものとして、他に、銀及び白金が主成
分の高温焼付け型塗料が挙げられる。
銀及びパラジウムが主成分のものを使用したので、導電
性が非常に良好であるという効果も合わせもつ。このよ
うな効果を有するものとして、他に、銀及び白金が主成
分の高温焼付け型塗料が挙げられる。
【0036】(第3実施形態例)次に、本発明の第3実
施形態例について説明するが、第3実施形態例も第2実
施形態例と同様、第1実施形態例における導電性被膜1
1の部分が異なるのみである。即ち、第1実施形態例に
おいては導電性被膜11は電極と同じ銅であったが、本
例においては、銀とエポキシ樹脂が主成分の低温焼付け
型塗料とした。従って、多段電子冷却装置全体の構成
は、図4とほぼ同じなので説明を省略し、電極及び導電
性被膜が塗布された絶縁基板を図8に示すに止める。
施形態例について説明するが、第3実施形態例も第2実
施形態例と同様、第1実施形態例における導電性被膜1
1の部分が異なるのみである。即ち、第1実施形態例に
おいては導電性被膜11は電極と同じ銅であったが、本
例においては、銀とエポキシ樹脂が主成分の低温焼付け
型塗料とした。従って、多段電子冷却装置全体の構成
は、図4とほぼ同じなので説明を省略し、電極及び導電
性被膜が塗布された絶縁基板を図8に示すに止める。
【0037】図8は、本例における絶縁基板に導電性被
膜(低温焼付け塗料)及び電極が塗布されたものであ
る。これは、貫通孔10が形成されたアルミナセラミッ
クスの絶縁基板3の表面に、銀とエポキシ樹脂が主成分
の低温焼付け型塗料を使用して、スクリーン印刷にて電
極15を形成したものである。スクリーン印刷により電
極15を形成する際、貫通孔10にも塗料が侵入し、貫
通孔の内壁面に低温焼付け型塗料が塗布され、導電性被
膜16を形成した。これにより絶縁基板3の図示下面の
電極15Aと図示上面の電極15Bとが電気的に接続さ
れた。
膜(低温焼付け塗料)及び電極が塗布されたものであ
る。これは、貫通孔10が形成されたアルミナセラミッ
クスの絶縁基板3の表面に、銀とエポキシ樹脂が主成分
の低温焼付け型塗料を使用して、スクリーン印刷にて電
極15を形成したものである。スクリーン印刷により電
極15を形成する際、貫通孔10にも塗料が侵入し、貫
通孔の内壁面に低温焼付け型塗料が塗布され、導電性被
膜16を形成した。これにより絶縁基板3の図示下面の
電極15Aと図示上面の電極15Bとが電気的に接続さ
れた。
【0038】また、詳細に説明しないが、図4における
第1絶縁基板2、第3絶縁基板4も、上記説明した方法
と同様に作製(この場合は、貫通孔の形成されていない
基板を使用する。)して、各基板に電極パターンを形成
し、各基板間にN型及びP型熱電素子を交互に配置し
て、2段電子冷却装置とした。
第1絶縁基板2、第3絶縁基板4も、上記説明した方法
と同様に作製(この場合は、貫通孔の形成されていない
基板を使用する。)して、各基板に電極パターンを形成
し、各基板間にN型及びP型熱電素子を交互に配置し
て、2段電子冷却装置とした。
【0039】本例においては、絶縁基板に形成された貫
通孔の内周壁に、低温焼付け塗料を使用して導電性被膜
を形成したため、例えばプラスチック等のメッキがつか
ず、かつ耐熱性の悪い基板の貫通孔にも導電性被膜を形
成することができるという効果がある。
通孔の内周壁に、低温焼付け塗料を使用して導電性被膜
を形成したため、例えばプラスチック等のメッキがつか
ず、かつ耐熱性の悪い基板の貫通孔にも導電性被膜を形
成することができるという効果がある。
【0040】尚、本例では、銀及びエポキシ樹脂が主成
分の低温焼付け型塗料を電極及び導電性膜の形成に使用
した例を説明したが、エポキシ樹脂以外にも、液状であ
り、温度により硬化する樹脂であれば、適用可能である
ことはいうまでもない。
分の低温焼付け型塗料を電極及び導電性膜の形成に使用
した例を説明したが、エポキシ樹脂以外にも、液状であ
り、温度により硬化する樹脂であれば、適用可能である
ことはいうまでもない。
【0041】
【発明の効果】請求項1の発明は、以下の如く効果を有
する。
する。
【0042】絶縁基板に形成された貫通孔の内部に、絶
縁基板の一方面に配設された熱電素子と他方面に配設さ
れた熱電素子とを電気的に接続する導電性被膜を形成し
た。これにより、多段電子冷却装置において異なった段
に電流を流す際に、その接続部材として、従来のような
スペース的に不利なリード線、クラックの発生により信
頼性が低下する銅板等を使用せずに電流を流すことが達
成される。故に、多段電子冷却装置のコンパクト化、製
品の信頼性向上、製造時の作業性向上を達成することが
できる。
縁基板の一方面に配設された熱電素子と他方面に配設さ
れた熱電素子とを電気的に接続する導電性被膜を形成し
た。これにより、多段電子冷却装置において異なった段
に電流を流す際に、その接続部材として、従来のような
スペース的に不利なリード線、クラックの発生により信
頼性が低下する銅板等を使用せずに電流を流すことが達
成される。故に、多段電子冷却装置のコンパクト化、製
品の信頼性向上、製造時の作業性向上を達成することが
できる。
【0043】請求項2の発明は、以下の如く効果を有す
る。
る。
【0044】貫通孔の内部に形成する導電性被膜を、導
電性を有するメッキ被膜としたので、電極パターンをメ
ッキ処理により作製する際に同時に貫通孔にメッキ被膜
を形成することができ、工程の短縮、ひいては製造コス
トの低減につながる。また、電気伝導度が良好となるた
め、大きな電流を流すことができ、多段電子冷却装置の
冷凍能力を向上させることができる。
電性を有するメッキ被膜としたので、電極パターンをメ
ッキ処理により作製する際に同時に貫通孔にメッキ被膜
を形成することができ、工程の短縮、ひいては製造コス
トの低減につながる。また、電気伝導度が良好となるた
め、大きな電流を流すことができ、多段電子冷却装置の
冷凍能力を向上させることができる。
【0045】請求項3の発明は、以下の如く効果を有す
る。
る。
【0046】貫通孔の内部に形成する導電性被膜とし
て、高温焼付け型導電性塗料を使用した。これにより、
メッキのつかない基板の貫通孔に導電性被膜を形成する
ことができるという効果がある。
て、高温焼付け型導電性塗料を使用した。これにより、
メッキのつかない基板の貫通孔に導電性被膜を形成する
ことができるという効果がある。
【0047】請求項4の発明は、以下の如く効果を有す
る。
る。
【0048】貫通孔の内部に形成する導電性被膜とし
て、低温焼付け型導電性塗料を使用した。これにより、
メッキがつかず、かつ耐熱性の悪い基板の貫通孔に導電
性被膜を形成することができるという効果がある。
て、低温焼付け型導電性塗料を使用した。これにより、
メッキがつかず、かつ耐熱性の悪い基板の貫通孔に導電
性被膜を形成することができるという効果がある。
【図1】本発明の第1実施形態における、2段電子冷却
装置の製造工程を示す図である。
装置の製造工程を示す図である。
【図2】本発明の第1実施形態例における、2段電子冷
却装置の製造工程を示す図である。
却装置の製造工程を示す図である。
【図3】本発明の第1実施形態例における、2段電子冷
却装置の製造工程を示す図である。
却装置の製造工程を示す図である。
【図4】本発明の第1実施形態例における、2段電子冷
却装置の要部を示す図である。
却装置の要部を示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態例における、2段電子冷
却装置の製造工程を示す図である。
却装置の製造工程を示す図である。
【図6】本発明の第2実施形態例における、2段電子冷
却装置の製造工程を示す図である。
却装置の製造工程を示す図である。
【図7】本発明の第2実施形態例における、2段電子冷
却装置の製造工程を示す図である。
却装置の製造工程を示す図である。
【図8】本発明の第3実施形態例における、2段電子冷
却装置の製造工程の一部を示す図である。
却装置の製造工程の一部を示す図である。
【図9】従来技術における、多段電子冷却装置を示す図
である。
である。
【図10】従来の多段電子冷却装置の問題点を示す図で
ある。
ある。
【図11】従来の多段電子冷却装置の問題点を示す図で
ある。
ある。
1・・・2段電子冷却装置 2・・・第1絶縁基板 3・・・第2絶縁基板(絶縁基板) 4・・・第3絶縁基板 5a,5b,5c,5d,5e,5f,5g,5h,5
i,5j,5k,5l,5m・・・電極(銅メッキ) 6a,6b,6c,6d,6,e,6f・・・N型熱電
素子(熱電素子) 7a,7b,7c,7d,7e・・・P型熱電素子(熱
電素子) 8・・・1段目熱電変換部 9・・・2段目熱電変換部 10・・・貫通孔 11・・・導電性被膜 12・・・メッキレジスト 13・・・電極(高温焼付け型塗料) 14・・・導電性被膜 15・・・電極(低温焼付け型塗料) 16・・・導電性被膜
i,5j,5k,5l,5m・・・電極(銅メッキ) 6a,6b,6c,6d,6,e,6f・・・N型熱電
素子(熱電素子) 7a,7b,7c,7d,7e・・・P型熱電素子(熱
電素子) 8・・・1段目熱電変換部 9・・・2段目熱電変換部 10・・・貫通孔 11・・・導電性被膜 12・・・メッキレジスト 13・・・電極(高温焼付け型塗料) 14・・・導電性被膜 15・・・電極(低温焼付け型塗料) 16・・・導電性被膜
Claims (4)
- 【請求項1】 絶縁基板と、ペルチェ効果を有し前記絶
縁基板の一方面及び他方面に配設された熱電素子と、前
記絶縁基板に形成された貫通孔と、前記貫通孔の内部に
形成され前記絶縁基板の一方面に配設された熱電素子と
前記絶縁基板の他方面に配設された熱電素子とを電気的
に接続する導電性被膜とを備えた多段電子冷却装置。 - 【請求項2】 請求項1において、 前記導電性被膜は、導電性を有するメッキ被膜であるこ
とを特徴とする多段電子冷却装置。 - 【請求項3】 請求項1において、 前記導電性被膜は、高温焼付け型導電性塗料であること
を特徴とする多段電子冷却装置。 - 【請求項4】 請求項1において、 前記導電性被膜は、低温焼付け型導電性塗料であること
を特徴とする多段電子冷却装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8341139A JPH10190071A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 多段電子冷却装置 |
US08/992,096 US5936192A (en) | 1996-12-20 | 1997-12-17 | Multi-stage electronic cooling device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8341139A JPH10190071A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 多段電子冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10190071A true JPH10190071A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=37307297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8341139A Pending JPH10190071A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 多段電子冷却装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5936192A (ja) |
JP (1) | JPH10190071A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109417120A (zh) * | 2016-06-23 | 2019-03-01 | 3M创新有限公司 | 柔性热电模块 |
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