JPH05275580A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
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- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 有機基板にハイパワー系のICチップを搭載
する場合の耐熱性,放熱性の向上を実現する。 【構成】 有機基板5に薄型にするためのザグリ部5a
を設け、そこに半田バンプ3を有するICチップ2をフ
リップチップ方式で搭載し、そのICチップ2の裏面に
放熱板1を取付け、ICチップ周辺を樹脂封止したもの
である。
する場合の耐熱性,放熱性の向上を実現する。 【構成】 有機基板5に薄型にするためのザグリ部5a
を設け、そこに半田バンプ3を有するICチップ2をフ
リップチップ方式で搭載し、そのICチップ2の裏面に
放熱板1を取付け、ICチップ周辺を樹脂封止したもの
である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、図3に示すようにリードレスチッ
プ(以下、ICチップという)2を有機基板5に実装す
るにあたっては、図3に示すように、有機基板5のザグ
リ部5aにICチップ2をマウントし、配線パターン6
との電気的接続をボンディングワイヤ8を用いたワイヤ
ボンディング方式で行い、樹脂枠7に囲まれた部分をエ
ポキシ系樹脂4で封止していた。
プ(以下、ICチップという)2を有機基板5に実装す
るにあたっては、図3に示すように、有機基板5のザグ
リ部5aにICチップ2をマウントし、配線パターン6
との電気的接続をボンディングワイヤ8を用いたワイヤ
ボンディング方式で行い、樹脂枠7に囲まれた部分をエ
ポキシ系樹脂4で封止していた。
【0003】ICチップ2をマウントするためのザグリ
部5aは、全体の厚みをできるだけ薄くするためのもの
である。また外部との電気的接続は、有機基板5の表面
の配線パターンから側面の端面スルーホールを通り、裏
面の電極ランドに接続されている。
部5aは、全体の厚みをできるだけ薄くするためのもの
である。また外部との電気的接続は、有機基板5の表面
の配線パターンから側面の端面スルーホールを通り、裏
面の電極ランドに接続されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この従来の有機基板へ
の実装構造では、ハイパワー系のICチップを搭載した
場合、耐熱性に劣るという問題があった。
の実装構造では、ハイパワー系のICチップを搭載した
場合、耐熱性に劣るという問題があった。
【0005】有機基板自体がセラミック基板,金属基板
等に比較して放熱性が悪く、ICチップの周囲をエポキ
シ系樹脂で封止することにより、さらに放熱性が悪くな
るという問題点があった。
等に比較して放熱性が悪く、ICチップの周囲をエポキ
シ系樹脂で封止することにより、さらに放熱性が悪くな
るという問題点があった。
【0006】本発明の目的は、耐熱性及び放熱性を向上
させた半導体装置を提供することにある。
させた半導体装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体装置は、ICチップと、基板
と、放熱板とを有する半導体装置であって、ICチップ
は、バンプを用いて基板の配線パターンにフェースダウ
ンでボンディングされて実装され、周囲が樹脂で被覆さ
れたものであり、基板は、有機基板からなるものであ
り、放熱板は、ICチップの裏面に取付けられたもので
ある。
め、本発明に係る半導体装置は、ICチップと、基板
と、放熱板とを有する半導体装置であって、ICチップ
は、バンプを用いて基板の配線パターンにフェースダウ
ンでボンディングされて実装され、周囲が樹脂で被覆さ
れたものであり、基板は、有機基板からなるものであ
り、放熱板は、ICチップの裏面に取付けられたもので
ある。
【0008】
【作用】放熱板による放熱作用を利用することにより、
フリップチップ方式で有機基板に実装する利点を活かし
てICチップのハイパワー化に対処する。
フリップチップ方式で有機基板に実装する利点を活かし
てICチップのハイパワー化に対処する。
【0009】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0010】(実施例1)図1は、本発明の実施例1を
示す断面図である。
示す断面図である。
【0011】図1において、全体の厚さを薄くするため
に有機基板5のICチップ2を搭載する部分にはザグリ
部5aを有している。有機基板5には配線パターン6が
形成され、ICチップ2は半田バンプ3を用いて有機基
板5の配線パターン6にフェースダウンでボンディング
されて実装され(フリップチップ方式)、外部との電気
的接続は側面の端面スルーホールを通り裏面のAu電極
ランドにより半田接続される。
に有機基板5のICチップ2を搭載する部分にはザグリ
部5aを有している。有機基板5には配線パターン6が
形成され、ICチップ2は半田バンプ3を用いて有機基
板5の配線パターン6にフェースダウンでボンディング
されて実装され(フリップチップ方式)、外部との電気
的接続は側面の端面スルーホールを通り裏面のAu電極
ランドにより半田接続される。
【0012】ICチップ2の裏面に放熱性を向上するた
めの金属性放熱板1を銀ペースト,半田ペースト、ある
いは樹脂ペーストで接着し、ICチップ20の周囲をエ
ポキシ系の封止樹脂4で封止してある。封止樹脂4は有
機基板5のザグリ部5aに充填し、特に樹脂流れを防止
するための樹脂枠は不要な構造となっている。
めの金属性放熱板1を銀ペースト,半田ペースト、ある
いは樹脂ペーストで接着し、ICチップ20の周囲をエ
ポキシ系の封止樹脂4で封止してある。封止樹脂4は有
機基板5のザグリ部5aに充填し、特に樹脂流れを防止
するための樹脂枠は不要な構造となっている。
【0013】(実施例2)図2は、本発明の実施例2を
示す断面図である。
示す断面図である。
【0014】構造的には実施例1とほとんど同じで、有
機基板5にザグリ部を有さず、有機基板の製造を容易に
している。また樹脂流れ防止のための樹脂枠7を有して
いる。
機基板5にザグリ部を有さず、有機基板の製造を容易に
している。また樹脂流れ防止のための樹脂枠7を有して
いる。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ICチッ
プをフリップチップ方式により搭載し、ICチップの裏
面に金属放熱板を取付けたため、ICチップの発熱を金
属放熱板を介して外部に放熱できる。
プをフリップチップ方式により搭載し、ICチップの裏
面に金属放熱板を取付けたため、ICチップの発熱を金
属放熱板を介して外部に放熱できる。
【0016】したがって、ハイパワー系のICチップの
搭載が可能になり、薄型の半導体デバイスを実現するこ
とができる。
搭載が可能になり、薄型の半導体デバイスを実現するこ
とができる。
【0017】従来の有機基板LCCの場合、例えば1
2.5mm□52ピンパッケージの場合、消費電力とし
て約500mWMAXであるが、本発明の金属放熱板を
取付けた場合、数倍の性能向上を図ることができる。
2.5mm□52ピンパッケージの場合、消費電力とし
て約500mWMAXであるが、本発明の金属放熱板を
取付けた場合、数倍の性能向上を図ることができる。
【図1】本発明の実施例1を示す断面図である。
【図2】本発明の実施例2を示す断面図である。
【図3】従来例を示す断面図である。
1 放熱板 2 ICチップ 3 半田バンプ 4 封止樹脂 5 有機基板 6 配線パターン 7 樹脂枠
Claims (1)
- 【請求項1】 ICチップと、基板と、放熱板とを有す
る半導体装置であって、 ICチップは、バンプを用いて基板の配線パターンにフ
ェースダウンでボンディングされて実装され、周囲が樹
脂で被覆されたものであり、 基板は、有機基板からなるものであり、 放熱板は、ICチップの裏面に取付けられたものである
ことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4098842A JPH05275580A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4098842A JPH05275580A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05275580A true JPH05275580A (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=14230513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4098842A Pending JPH05275580A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05275580A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100230920B1 (ko) * | 1996-10-18 | 1999-11-15 | 황인길 | 반도체 패키지 |
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US7948767B2 (en) | 2005-05-06 | 2011-05-24 | Neobulb Technologies, LLP. | Integrated circuit packaging structure and method of making the same |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62281434A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-07 | Hitachi Ltd | チツプキヤリアパツケ−ジ |
JPS63169749A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP4098842A patent/JPH05275580A/ja active Pending
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