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JPH0430125A - アクティブマトリクス型液晶表示装置 - Google Patents

アクティブマトリクス型液晶表示装置

Info

Publication number
JPH0430125A
JPH0430125A JP2135371A JP13537190A JPH0430125A JP H0430125 A JPH0430125 A JP H0430125A JP 2135371 A JP2135371 A JP 2135371A JP 13537190 A JP13537190 A JP 13537190A JP H0430125 A JPH0430125 A JP H0430125A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal
wiring
liquid crystal
electrode
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2135371A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Shibusawa
誠 渋沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2135371A priority Critical patent/JPH0430125A/ja
Publication of JPH0430125A publication Critical patent/JPH0430125A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的〕 (産業上の利用分野) この発明は、金属−絶縁膜−金属構造からなる非線形素
子(以下、MIM素子と称す)等のスイッチング素子を
用いて表示画素電極アレイを構成したアクティブマトリ
クス型液晶表示装置に関する。
(従来の技術) 液晶を用いた表示装置は、テレビ表示やグラフィックデ
イスプレィ等を指向した大容量、高密度のアクティブマ
トリックス型液晶表示装置の開発及び実用化が盛んであ
る。このような表示装置では、クロストークのない高コ
ントラスト表示が行えるように、各画素の駆動と制御を
行う手段として半導体スイッチが用いられる。その半導
体スイッチとしては、透過型表示が可能であり大面積化
も容易である等の理由から、透明絶縁基板上に形成され
たMIM素子等が用いられている。
第3図はMIMを用いた従来のアクティブマトリクス型
液晶表示装置における一画素パタンの表示画素電極アレ
イ基板上への投影図である。第3図において、アレイ基
板上には、信号配線1と一体の第1金属電極2に重なる
ように第2金属電極3が形成され、第1及び第2金属電
極2,3の間隙に絶縁膜が介在し、MIM素子としての
スイッチング素子4が構成されている。そして、第2金
属電極3は表示画素電極5に接続されている。
方、対向基板上には、信号配線1と直交する方向に走査
電極6が形成され、表示画素電極5との間隙に存在する
液晶を駆動する構造となっている。
第4図は第3図に平面構造を示したMIM型液晶表示装
置における一画素の等価回路図である。
第4図において、MIM素子は非線形抵抗RHIMと容
量CMIMの並列接続として表現され、MIM素子の第
1金属電極2と信号配線1、及び第2金属電極3と表示
画素電極5が接続されている。
そして、表示画素電極5、走査電極6及び液晶層10に
より液晶容量CLCが形成されている。
次に、この種の液晶表示装置の駆動方法について説明す
る。即ち、走査電極6に選択電圧(voN)が印加され
ている期間(スイッチング期間)に、表示画素電極5が
信号配線電位に対応した電位に設定され、走査電極6に
非選択電圧(Vo、P)が印加されている期間(保持期
間)は、表示画素電極5がこの電位を保持する。この結
果、表示画素電極5と走査電極6の間に挟持されている
液晶層10に、映像信号電圧に応じた電位差がかかる。
そして、この電位差に応じて液晶層10の配列状態が変
化することにより、この部分の光透過率も変化し、画像
表示が行われる。
ところで、CLcとCMIMの容量比は、MIM型液晶
表示装置の画質を左右する設計要素である。
CMIM/CLcの値が大きいと、スイッチング期間に
MIM素子に印加される電圧の容量分割に伴う低下によ
り、非線形抵抗RHIHの高抵抗領域が動作領域となる
。その結果、信号電位の表示画素電極への書き込み能力
が低下し、コントラスト比の低下につながる。また、保
持期間においては、CMIMを介した信号配線と表示画
素電極との容量結合による、信号電位の変化に対応する
表示画素電極電位の変動が大きくなり、これはクロスト
ークの増加につながる。しかし” HIMの値を小さく
且つ均一にすることには、製造プロセス、特に最小加工
寸法精度上の制限があり、容易には対応できない。
また、液晶は通常正負対称な交流電圧によって駆動する
ため、MIM素子にも極性が相異なる電圧が周期的に印
加される。一方、RHIHの非線形抵抗性は第1及び第
2電極材料の相違、或いは絶縁膜と第1及び第2電極と
の界面状態の相違等により、正負対称にならない場合が
ある。その場合、入力した電圧が正負対称でも液晶に印
加される電圧は正負非対称になり、フリッカや焼き付き
が発生する。
(発明が解決しようとする課題) これらの問題を回避する手段として、例えば特開昭57
−144584号公報に記載されているように、2個の
MIM素子を逆極性に直列接続し、スイッチング期間と
して用いる方法が提案されている。
第5図はこのようなMIM型液晶表示装置における、一
画素パタンの表示画素電極アレイ基板上への投影図であ
る。第5図において、アレイ基板上には、孤立した第1
金属電極2に重なるように、信号配線1と一体の第2金
属電極20、及びこれとは分離された表示画素電極5に
接続されるもう一方の第2金属電極21が形成されてい
る。また、第1金属電極2と二つの第2金属電極20.
21の間隙には絶縁膜が介在し、第1金属電極2により
逆極性に直列接続された2個のMIM素子22゜23か
らなるスイッチング素子4が構成されている。一方、対
向基板上には、信号配線1と直交する方向に走査電極6
が形成され、表示画素電極5との間隙に存在する液晶を
駆動する構造となっている。
第6図は第5図に平面構造を示したMIM型液晶表示装
置における一画素の等価回路図である。
第6図において、スイッチング素子4の構造以外は第4
図と同一の構成になっている。ただしこの構造の場合に
は、2個のMIM素子22.23を直列接続する第1金
属電極2と走査電極6との容量Cxを考慮する必要があ
る。
ここで、走査電極6と信号配線1との電位差がV8.で
あるとき、第2金属電極20が信号配線1に接続されて
いるMIM素子22に印加されている電圧をvMo、第
2金属電極21が表示画素電極5に接続されているMI
M素子23に印加されている電圧をvM2とすると、各
々次に示す値となる。
V  −(C*C+(C+C)ICx)MI     
LCHIM     LCHIM* V sp/ (C
LC* CMIN ” (e tc + CMIM )
*(CMIN + CX ) l・・・・・・■vM2
″″CLC*CMIM*vSP/(CLC*CMIM1
(C+C)* (C,、M+Cx)I LCHIM ・・・・・・■ 従って、MIM素子22にはMIM素子23より高い電
圧が常に印加されることになる。CMIM/CLoの値
を小さくする、或いは特性非対称性を相殺するために2
個のMIM素子22.23を逆極性に直列接続した場合
には、Cxの効果による特性非対称性が生じ、これに起
因するフリッカ、焼き付き等が問題となる。
この発明はこのような従来の事情に鑑みてなされたもの
である。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) この発明は、MIM素子の容量CMINを小さくする、
或いは単一のMIM素子の特性非対称性を相殺するため
に、逆極性に直列接続した2個のMIM素子をスイッチ
ング素子として用いるアクティブマトリクス型液晶表示
装置についてのものである。そして、2個のMIM素子
を直列に接続する電極と走査電極とが液晶層を挾んで対
向しないように構成し、この電極と走査電極との寄生容
量を低減している。
(作 用) MIMを用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置に
おいて、コントラスト比の低下、クロストークの要因と
なるC MIMを小さくするため、或いはフリッカ、焼
き付きの要因となる単一M 1M素子特性の非対称を相
殺するために、2個のMIM素子を逆極性に直列接続し
たものをスイッチング素子として用いることがある。そ
してこの場合、2個のMIM素子を直列に接続する電極
と走査電極との間の寄生容量の存在による特性非対称性
が生じ、これに起因したフリッカ、焼き付きが発生する
ことがある。この発明では、これを防ぐために、この直
列接続に用いる電極と走査電極との寄生容量を低減して
いる。
(実施例) 以下、図面を参照してこの発明の詳細な説明する。
第1図はこの発明の一実施例を示す投影図及び断面図で
あり、第1図(a)は一画素バタンの表示画素電極アレ
イ基板上への投影図、第1図(b)は第1図(a)のA
−A−断面に相当する薪面図を表している。第1図にお
いて製造工程に従って説明すると、まず、例えばガラス
からなる絶縁基板30の一生面上にTa膜を所定形状に
形成した後、Ta膜に陽極酸化を施して陽極酸化膜を形
成する。そして、Ta膜を更にパターニングすることに
より、Taからなる第1金属31、及びTa205から
なる絶縁膜32を形成している。
続いて、絶縁基板30の一生面上にITO膜を形成した
後、ITO膜をパターニングすることにより、表示画素
電極33を形成する。次に、絶縁基板30の一生面上に
Cr膜を形成した後、Cr膜をパターニングすることに
より、第1配線34、これと一体の第2金属35、及び
表示画素電極33に接続される第2金属電極36を形成
する。
こうして、第1金属31−絶縁膜32−第2金属35構
造を有する第1非線形抵抗素子37と、第1金属31−
絶縁膜32−第2金属36構造を有する第2非線形抵抗
素子38が互いの第1金属32により直列接続されてな
るスイッチング素子39が得られる。そして、スイッチ
ング素子39、表示画素電極33及び第1配線34が絶
縁基板30の一生面上に形成されてなる第1基板40が
得られる。一方、例えばガラスからなる絶縁基板41の
一生面上に、第1配線34に概略直交する方向に第2配
線42を形成することにより、第2基板43が得られる
。そして、第1基板40と第2基板43の一生面側が互
いに対向するように組み合わせて得られる間隙には、液
晶44が挟持されている。
この実施例では、第1基板40の一生面上への投影図で
第2配線42のない部分例えば隣接する第2配線42間
に、第1及び第2非線形抵抗素子37.38を直列接続
する第1金属31が存在している。この結果、第1金属
31と第2配線42との容量に相当する0式におけるC
Xの値が減少し、第1及び第2非線形抵抗素子37.3
8の特性非対称性が従来に比べ低減されるため、これに
起因するフリッカや焼き付き等が生じにくくなる。
112図はこの発明の他の実施例を示す図であり、一画
素パタンの表示画素電極アレイ基板上べの投影図を表し
ている。この実施例は第1図に示した実施例に比べ、ス
イッチング素子39の位置及び第2配線42の形状が異
なっている。即ち、第1及び第2非線形抵抗素子37.
38を直列接続する第1金属31は、第1基板40の一
生面上への投影図で第2配線42のない部分例えば第2
配線42に設けられたスリット部50に存在している。
従って、この実施例も′!s1図に示した実施例と同様
の効果を有することは言うまでもない。
[発明の効果] この発明は、2個のMIM素子を逆極性に直列接続した
ものをスイッチング素子として用いる構成の液晶表示装
置において、直列接続を行う電極と対向基板上の電極と
のバタン的な重なりを避け、この部分での寄生容量を低
減することにより、この寄生容量に起因するスイッチン
グ素子特性の非対称を低減することができ、その結果、
フリッカや焼き付きの少ないアクティブマトリクス型液
晶表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例である一画素パタンの表示
画素電極アレイ基板上への投影図及び断面図、第2図は
この発明の他の実施例である一画素パタンの表示画素電
極アレイ基板上への投影図、第3図は単一MIM素子を
スイッチング素子として用いる従来の液晶表示装置にお
ける一画素パタンの表示画素電極アレイ基板上への投影
図、第4図は第3図に示した液晶表示装置における一画
素の等価回路図、第5図は2個のMIM素子を逆極性に
直列接続したものをスイッチング素子として用いる従来
の液晶表示装置における一画素パタンの表示画素電極ア
レイ基板上への投影図、第6図は第5図に示した液晶表
示装置における一画素の等価回路図である。 31・・・第1金属、     32・・・絶縁膜33
・・・表示画素電極。 34・・・第1配線 35.36・・・第2金属 37・・・第1非線形抵抗素子 38・・・第2非線形抵抗素子 39・・・スイッチング素子 40・・・第1基板、    42・・・第2配線43
・・・第2基板、     44・・・液晶(d) 第 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 第1金属−絶縁膜−第2金属構造を有する第1及び第2
    非線形抵抗素子が互いの前記第1金属により直列接続さ
    れてなるスイッチング素子と、前記第1非線形抵抗素子
    の前記第2電極に接続された第1配線と、前記第2非線
    形抵抗素子の前記第2電極に接続された表示画素電極と
    が一主面上に形成されてなる第1基板と、 前記第1配線に概略直交する方向に第2配線が一主面上
    に形成されてなる第2基板と、 前記第1及び第2基板の前記一主面側が互いに対向する
    ように組み合わせて得られる間隙に挟持された液晶とを
    備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置において、 前記第1基板の前記一主面上への投影図で前記第2配線
    のない部分に、前記第1及び第2非線形抵抗素子を直列
    接続する前記第1金属が存在することを特徴とするアク
    ティブマトリクス型液晶表示装置。
JP2135371A 1990-05-28 1990-05-28 アクティブマトリクス型液晶表示装置 Pending JPH0430125A (ja)

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JP2135371A JPH0430125A (ja) 1990-05-28 1990-05-28 アクティブマトリクス型液晶表示装置

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Publications (1)

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JPH0430125A true JPH0430125A (ja) 1992-02-03

Family

ID=15150157

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2135371A Pending JPH0430125A (ja) 1990-05-28 1990-05-28 アクティブマトリクス型液晶表示装置

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JP (1) JPH0430125A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08240816A (ja) * 1992-04-28 1996-09-17 Semiconductor Energy Lab Co Ltd アクティブマトリクス表示装置
US5852488A (en) * 1992-04-28 1998-12-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electro-optical device and method of driving the same
US6512556B1 (en) * 1994-07-14 2003-01-28 Citizen Watch Co., Ltd. Liquid crystal display and method of manufacturing the same
DE102009003296A1 (de) 2008-05-22 2009-12-03 Ngk Insulators, Ltd., Nagoya N-leitender Gruppe III Nitrid-basierter Verbindungshalbleiter und Herstellungsverfahren dafür

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DE102009003296A1 (de) 2008-05-22 2009-12-03 Ngk Insulators, Ltd., Nagoya N-leitender Gruppe III Nitrid-basierter Verbindungshalbleiter und Herstellungsverfahren dafür

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