JPH03278579A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH03278579A JPH03278579A JP2079222A JP7922290A JPH03278579A JP H03278579 A JPH03278579 A JP H03278579A JP 2079222 A JP2079222 A JP 2079222A JP 7922290 A JP7922290 A JP 7922290A JP H03278579 A JPH03278579 A JP H03278579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drains
- sources
- gates
- layout
- gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D64/00—Electrodes of devices having potential barriers
- H10D64/20—Electrodes characterised by their shapes, relative sizes or dispositions
- H10D64/23—Electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched, e.g. sources, drains, anodes or cathodes
- H10D64/251—Source or drain electrodes for field-effect devices
- H10D64/257—Source or drain electrodes for field-effect devices for lateral devices wherein the source or drain electrodes are characterised by top-view geometrical layouts, e.g. interdigitated, semi-circular, annular or L-shaped electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D64/00—Electrodes of devices having potential barriers
- H10D64/20—Electrodes characterised by their shapes, relative sizes or dispositions
- H10D64/27—Electrodes not carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched, e.g. gates
- H10D64/311—Gate electrodes for field-effect devices
- H10D64/411—Gate electrodes for field-effect devices for FETs
- H10D64/511—Gate electrodes for field-effect devices for FETs for IGFETs
- H10D64/517—Gate electrodes for field-effect devices for FETs for IGFETs characterised by the conducting layers
- H10D64/519—Gate electrodes for field-effect devices for FETs for IGFETs characterised by the conducting layers characterised by their top-view geometrical layouts
Landscapes
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置に関し、特にMOSトランジスタの
レイアウトパターンに関する。
レイアウトパターンに関する。
従来のMOS)ランジスタのレイアウトパターンの基本
構成は第3図に示すようにゲートが直線状に配置され、
その両側にソースとドレインがそれぞれ形成されていた
。
構成は第3図に示すようにゲートが直線状に配置され、
その両側にソースとドレインがそれぞれ形成されていた
。
上述した従来のMOS)ランジスタのレイアウト構成で
は、1本以上のゲートが直線状に直交することなく形成
されているため、ソースとドレインはそのゲートの両側
の2方向にしか形成できないという欠点がある。
は、1本以上のゲートが直線状に直交することなく形成
されているため、ソースとドレインはそのゲートの両側
の2方向にしか形成できないという欠点がある。
上述した従来のMOS)ランジスタのレイアウト構成に
対し、本発明はゲートが直交して形成されているため、
ソースとドレインがそのゲートの周囲の4方向に交互に
配置できるという相違点を有する。
対し、本発明はゲートが直交して形成されているため、
ソースとドレインがそのゲートの周囲の4方向に交互に
配置できるという相違点を有する。
本発明の半導体装置は、直交して形成されるゲートとそ
の周囲に交互に配置されたソースとドレインを有してい
る。
の周囲に交互に配置されたソースとドレインを有してい
る。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例のレイアウトの平面図である
。ゲート1は拡散層2の上に直交して配ωされ、その周
囲にソース3とドレイン4が交互tz影形成れ、それぞ
れ同電位の配線5,6で接続ばれている。
。ゲート1は拡散層2の上に直交して配ωされ、その周
囲にソース3とドレイン4が交互tz影形成れ、それぞ
れ同電位の配線5,6で接続ばれている。
第2図は本発明の実施例2のレイアウト構成(平面図で
ある。単一のゲー)1は直交して網目上に形成されてお
り、その間にソース3とドレイ〉4が交互に配置されそ
れぞれ同電位の配線5,6で接続されている。この実施
例ではゲート1が押目状に形成されているため、比較的
ゲート幅のメきいトランジスタでは効率よくレイアウト
上の角積を小さくできる。
ある。単一のゲー)1は直交して網目上に形成されてお
り、その間にソース3とドレイ〉4が交互に配置されそ
れぞれ同電位の配線5,6で接続されている。この実施
例ではゲート1が押目状に形成されているため、比較的
ゲート幅のメきいトランジスタでは効率よくレイアウト
上の角積を小さくできる。
以上説明したように本発明は、MOS)ランジスタの1
つのゲートが直交して構成されその直交したゲートの周
囲にトランジスタのソースとドレインが交互に配置され
、そのすべてのソースとドレインをそれぞれ同電位の配
線で接続することにより4MDRAMの設計基準を用い
てW=10μmのトランジスタ作る際に、従来のレイア
ウトでの拡散層の面積54μdを本発明のレイアウトを
用いることにより約38μボで作ることができる効果が
ある。
つのゲートが直交して構成されその直交したゲートの周
囲にトランジスタのソースとドレインが交互に配置され
、そのすべてのソースとドレインをそれぞれ同電位の配
線で接続することにより4MDRAMの設計基準を用い
てW=10μmのトランジスタ作る際に、従来のレイア
ウトでの拡散層の面積54μdを本発明のレイアウトを
用いることにより約38μボで作ることができる効果が
ある。
第1図は本発明の一実旅例のレイアウトパターンの平面
図、第2図は本発明の第二の実施例のレイアウトパター
ンの平面図、第3図は従来のレイアウトパターンでその
トランジスタのゲート幅は第1図のゲート幅と同一であ
る。 1・・・・・・ゲート、2・・・・・・拡散層、3・・
・・・・ソース、4・・・・・・ドレイン、5・・・・
・・ソース側の配線、6・・・・・・ドレイン側の配線
、7・・・・・・コンタクト。
図、第2図は本発明の第二の実施例のレイアウトパター
ンの平面図、第3図は従来のレイアウトパターンでその
トランジスタのゲート幅は第1図のゲート幅と同一であ
る。 1・・・・・・ゲート、2・・・・・・拡散層、3・・
・・・・ソース、4・・・・・・ドレイン、5・・・・
・・ソース側の配線、6・・・・・・ドレイン側の配線
、7・・・・・・コンタクト。
Claims (1)
- 少なくとも1個以上のMOSトランジスタの同一のゲ
ートが直交して構成され、その直交したゲートの周囲に
トランジスタのソースとドレインが交互に配置されその
すべてのソースとドレインがそれぞれ同電位の配線で接
続されている半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2079222A JPH03278579A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2079222A JPH03278579A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03278579A true JPH03278579A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13683890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2079222A Pending JPH03278579A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03278579A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255911A (ja) * | 1994-12-30 | 1996-10-01 | Siliconix Inc | 分布抵抗を低減する厚い金属レイヤを有する縦形パワーmosfet及びその製作方法 |
JPH08264785A (ja) * | 1994-12-30 | 1996-10-11 | Siliconix Inc | 集積回路ダイ及びその製造方法 |
US6684378B2 (en) | 1998-04-23 | 2004-01-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for designing power supply circuit and semiconductor chip |
JP2012028782A (ja) * | 1997-09-11 | 2012-02-09 | Telefon Ab L M Ericsson | 電気デバイス |
EP3062349A1 (en) * | 2015-02-25 | 2016-08-31 | Nxp B.V. | Semiconductor device comprising a switch |
CN109390396A (zh) * | 2013-08-21 | 2019-02-26 | 晶元光电股份有限公司 | 高电子迁移率晶体管 |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP2079222A patent/JPH03278579A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255911A (ja) * | 1994-12-30 | 1996-10-01 | Siliconix Inc | 分布抵抗を低減する厚い金属レイヤを有する縦形パワーmosfet及びその製作方法 |
JPH08264785A (ja) * | 1994-12-30 | 1996-10-11 | Siliconix Inc | 集積回路ダイ及びその製造方法 |
JP2012028782A (ja) * | 1997-09-11 | 2012-02-09 | Telefon Ab L M Ericsson | 電気デバイス |
US6684378B2 (en) | 1998-04-23 | 2004-01-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for designing power supply circuit and semiconductor chip |
CN109390396A (zh) * | 2013-08-21 | 2019-02-26 | 晶元光电股份有限公司 | 高电子迁移率晶体管 |
EP3062349A1 (en) * | 2015-02-25 | 2016-08-31 | Nxp B.V. | Semiconductor device comprising a switch |
US9721844B2 (en) | 2015-02-25 | 2017-08-01 | Nxp B.V. | Semiconductor device comprising a switch |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS61100947A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP2000299385A5 (ja) | ||
JPH03278579A (ja) | 半導体装置 | |
JPH04164371A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH11135647A (ja) | 半導体装置 | |
JP2991147B2 (ja) | スタンダードセルのレイアウト方式 | |
JP2693920B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JPH02168673A (ja) | Misトランジスタ | |
JPH04130667A (ja) | 半導体素子 | |
JPH02248049A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH0154861B2 (ja) | ||
JPS61260668A (ja) | 半導体装置 | |
JPH03108760A (ja) | Cmosゲートアレイ | |
JPH01274450A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH02126670A (ja) | M□uos型半導体装置 | |
JPS6350851Y2 (ja) | ||
JPS6320440U (ja) | ||
JPH02146849U (ja) | ||
JPS6226853A (ja) | 相補mos形半導体集積回路装置 | |
KR19990019498A (ko) | 반도체 소자 | |
JPH03274763A (ja) | スタティックram | |
JPH0397245A (ja) | ゲートアレイ装置 | |
JPH021952A (ja) | スタンダードセル方式の半導体集積回路 | |
JPH0131307B2 (ja) | ||
JPH01220844A (ja) | 集積回路の製造方法 |