JP7217440B2 - フィルム構造体の製造方法および製造装置 - Google Patents

Description

本開示は、インプリント技術を用いたフィルム構造体の製造方法及び製造装置に関する。

近年、ディスプレイ、照明などの商品に用いられる光学部品において、光の反射、回折を制御した従来にない新機能を有するデバイスを実現することが望まれている。当該デバイスは、例えば、特殊光学特性を発揮するナノメートル（ｎｍ）オーダーからミクロン（μｍ）オーダーの微細なパターンを形成することによって実現される。また、システムＬＳＩなどの半導体において、高集積化に伴った配線の微細化も望まれている。このような微細な構造を形成する方法としては、フォトリソグラフィー技術や電子線描画技術に加えて、近年ではインプリント技術が注目されている。

インプリント技術とは、微細形状が予め表面に加工された型（モールド）を、基材表面に塗布された樹脂に押し付けることで、微細形状が転写された硬化膜を形成する技術である。

インプリント方法として、例えば、熱インプリント法と、ＵＶインプリント法等がある。

熱インプリント法は、基材表面に塗布された熱可塑性樹脂に、ガラス転移温度以上に加熱した型を押し当てることにより、微細形状が転写された硬化膜を得る方法である。ＵＶインプリント法は、基材表面に塗布された紫外線硬化樹脂に常温の型を押し当てた状態でＵＶ光を照射することにより、微細形状が転写された硬化膜を得る方法である。

対象とする基材がＰＥＴ等のフィルムである場合には、表面に微細形状が形成されたロール状の型を用いて、フィルムの送りと同時にフィルム上に微細形状を転写する方式が一般的である。前記方式はスループットが高いことで知られており、ロールトゥロールインプリント方式と呼ばれる。

ＵＶインプリント法によるロールトゥロールインプリント方式によって微細形状を形成する一般的な工法は、例えば特許文献１に開示されている。

一般的なＵＶインプリント法によるロールトゥロールインプリント方式（ロールトゥロールＵＶインプリント方式）としては、連続的に走行するフィルム（フィルム基材）上に、塗布部から転写材料を押し出し塗布する。次に、フィルムは、表面に転写形状（微細形状）が形成された転写ロールと、転写ロールに所定の加圧力で押付けられた加圧ロールとの間を通過する。これにより、転写ロールの表面の転写形状（微細な凹凸）内に、転写材料が充填される。

次に、転写ロールに対してＵＶ光源からＵＶ光を照射させることで、転写材料は転写形状に充填された状態で硬化する。最後に、フィルムは、離型ロールと転写ロールとの間を通過し、離型ロールに沿って走行する。これにより、フィルムが転写ロールから離れ、フィルム上に転写形状が転写された硬化膜が形成される。

この方式は、フィルム基材の片側の面に硬化膜を形成する方式であり、フィルム基材両面に硬化膜を形成する必要がある場合、フィルム基材の他方の面にも同様の工程を行う必要がある。

特許第４９７６８６８号公報

しかしながら、フィルム両面に硬化膜を形成する場合、フィルムの両面の硬化膜同士の相対位置精度を向上させることが求められる。

前記装置構成では、フィルム両面の硬化膜の位置ズレに対応するためには、転写後に位置ズレを認識し、フィードバックする構成となり、歩留まりが生じる。

従って、本開示は、フィルム両面の硬化膜の相対位置精度を確保しつつ歩留まりを向上させるフィルム構造体の製造方法及び装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本開示のフィルム構造体の製造方法は、連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する方法であって、フィルムの表面に紫外線硬化樹脂を含む転写材料を塗布する塗布工程と、フィルムの表面を加圧ロールによって転写ロールに加圧しながら、フィルムの表面に塗布された転写材料を紫外線により硬化させて第１硬化膜を形成する第１硬化工程と、第１硬化膜が形成されたフィルムの表面を吸着して仮止めする仮止め工程と、仮止め工程による吸着部分よりも搬送方向上流側において、ダンサーロールによって、走行中のフィルムの送りを保持する送り保持工程と、第１硬化工程により形成された第１硬化膜と、仮止め工程により仮止めされたフィルムの裏面側において転写材料が充填されるモールドとの位置ズレ量を検出する位置ズレ量検出工程と、位置ズレ量検出工程により検出された位置ズレ量を減少させるように、補正機構によって、フィルムの位置又はモールドの位置を補正する補正工程と、補正工程の後、モールドに充填された転写材料をフィルムの裏面上に硬化させて第２硬化膜を形成する第２硬化工程とを含む。

本開示のフィルム構造体の製造装置は、連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する装置であって、フィルムの表面に紫外線硬化樹脂を含む転写材料を塗布する塗布部と、表面に転写形状を有する転写ロールと、フィルムの表面に塗布された転写材料を転写ロールに加圧する加圧ロールと、加圧ロールによって加圧された転写材料をフィルムの表面上に硬化させて第１硬化膜を形成する第１硬化手段と、第１硬化膜が形成されたフィルムの表面を吸着して仮止めする仮止め機構と、ダンサーロールを含み、仮止め機構による吸着部分よりも搬送方向上流側において走行中のフィルムの送りを保持する送り保持機構と、表面に転写形状を有するモールドと、モールドに充填された転写材料をフィルムの裏面上に硬化させて、第２硬化膜を形成する第２硬化手段と、フィルムの表面に形成された第１硬化膜とモールドとの位置ズレ量を検出する位置ズレ量検出機構と、位置ズレ量検出機構により検出された位置ズレ量を補正する補正機構と、第２硬化手段によって第２硬化膜を形成する前に、位置ズレ量検出機構によって検出された位置ズレ量を減少させるように補正機構を制御する制御部と、を備える。

本開示に係るフィルム構造体の製造方法及び製造装置によれば、フィルム両面の硬化膜の相対位置精度を確保しつつ歩留まりを向上させることができる。

本発明の実施の形態１におけるフィルム構造体の製造装置の概略図 本発明の実施の形態１におけるフィルム構造体の製造装置の概略図 本発明の実施の形態１におけるフィルム構造体の製造装置の概略図 本発明の実施の形態１におけるフィルム構造体の製造装置の概略図 本発明の実施の形態１におけるフィルム構造体の製造装置の概略図 本発明の実施の形態１における位置ズレ量の認識を示す概略模式図 本発明の実施の形態１におけるフィルム構造体の製造方法を示すフローチャート 本発明の実施の形態１におけるフィルムの補正動作を示す概略模式図 本発明の実施の形態１における補正動作前のフィルムを示す概略模式図 本発明の実施の形態１における補正動作後のフィルムを示す概略模式図 本発明の実施の形態２におけるフィルム構造体の製造装置の概略模式図 本発明の実施の形態２におけるモールドの補正動作を示す概略模式図 本発明の実施の形態２における補正動作前のフィルムを示す概略模式図 本発明の実施の形態２における補正動作後のフィルムを示す概略模式図

本発明の第１態様によれば、連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する方法であって、フィルムの表面に紫外線硬化樹脂を含む転写材料を塗布する塗布工程と、フィルムの表面を加圧ロールによって転写ロールに加圧しながら、フィルムの表面に塗布された転写材料を紫外線により硬化させて第１硬化膜を形成する第１硬化工程と、第１硬化膜が形成されたフィルムの表面を吸着して仮止めする仮止め工程と、仮止め工程による吸着部分よりも搬送方向上流側において、ダンサーロールによって、走行中のフィルムの送りを保持する送り保持工程と、第１硬化工程により形成された第１硬化膜と、仮止め工程により仮止めされたフィルムの裏面側において転写材料が充填されるモールドとの位置ズレ量を検出する位置ズレ量検出工程と、位置ズレ量検出工程により検出された位置ズレ量を減少させるように、補正機構によって、フィルムの位置又はモールドの位置を補正する補正工程と、補正工程の後、モールドに充填された転写材料をフィルムの裏面上に硬化させて第２硬化膜を形成する第２硬化工程とを含む、フィルム構造体の製造方法を提供する。

本発明の第２態様によれば、位置ズレ量検出工程において、第１硬化膜に形成された硬化膜アライメントマークと、モールドに形成されたモールドアライメントマークとを検出し、補正工程において、硬化膜アライメントマーク及びモールドアライメントマークを互いに近づけるように補正する、第１態様に記載のフィルム構造体の製造方法を提供する。

本発明の第３態様によれば、補正工程において、補正機構が有する一対の補正ロールでフィルムを挟んで、一対の補正ロールの回転に伴ってフィルムを搬送方向に移動させるか又は一対の補正ロールをフィルムと共に移動させることで、位置ズレ量を減少させる、第１態様又は第２態様に記載のフィルム構造体の製造方法を提供する。

本発明の第４態様によれば、補正工程において、補正機構によって、モールドを移動させることで、位置ズレ量を減少させる、第１態様から第３態様のいずれか１つに記載のフィルム構造体の製造方法を提供する。

本発明の第５態様によれば、仮止め工程では、フィルムの走行経路においてフィルムが直線的に走行する直進部でフィルムを仮止めし、位置ズレ量検出工程では、フィルムの直進部において位置ズレ量を検出する、第１態様から第４態様のいずれか１つに記載のフィルム構造体の製造方法を提供する。

本発明の第６態様によれば、仮止め工程において、モールドに対向する位置でフィルムの表面を吸着して仮止めする、第１態様から第５態様のいずれか１つに記載のフィルム構造体の製造方法を提供する。

本発明の第７態様によれば、連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する装置であって、フィルムの表面に紫外線硬化樹脂を含む転写材料を塗布する塗布部と、表面に転写形状を有する転写ロールと、フィルムの表面に塗布された転写材料を転写ロールに加圧する加圧ロールと、加圧ロールによって加圧された転写材料をフィルムの表面上に硬化させて第１硬化膜を形成する第１硬化手段と、第１硬化膜が形成されたフィルムの表面を吸着して仮止めする仮止め機構と、ダンサーロールを含み、仮止め機構による吸着部分よりも搬送方向上流側において走行中のフィルムの送りを保持する送り保持機構と、表面に転写形状を有するモールドと、モールドに充填された転写材料をフィルムの裏面上に硬化させて、第２硬化膜を形成する第２硬化手段と、フィルムの表面に形成された第１硬化膜とモールドとの位置ズレ量を検出する位置ズレ量検出機構と、位置ズレ量検出機構により検出された位置ズレ量を補正する補正機構と、第２硬化手段によって第２硬化膜を形成する前に、位置ズレ量検出機構によって検出された位置ズレ量を減少させるように補正機構を制御する制御部と、を備える、フィルム構造体の製造装置を提供する。

本発明の第８態様によれば、転写ロールは、第１硬化膜に硬化膜アライメントマークを形成するアライメントマークを有し、モールドは、モールドアライメントマークを有し、位置ズレ量検出機構は、第１硬化膜に形成された硬化膜アライメントマークとモールドのモールドアライメントマークとの位置ズレ量を検出する、第７態様に記載のフィルム構造体の製造装置を提供する。

本発明の第９態様によれば、補正機構は、フィルムを挟むように配置されて、フィルムの位置を補正する一対の補正ロールを有し、一対の補正ロールを回転させるか又は一対の補正ロールを移動させることによって、位置ズレ量を補正する、第７態様又は第８態様に記載のフィルム構造体の製造装置を提供する。

本発明の第１０態様によれば、補正機構は、位置ズレ量検出機構によって検出された位置ズレ量に基づいて、モールドの位置を補正するモールド位置補正機構を有する、第７態様から第９態様のいずれか１つに記載のフィルム構造体の製造装置を提供する。

本発明の第１１態様によれば、仮止め機構は、フィルムの走行経路においてフィルムが直線的に走行する直進部でフィルムを仮止めし、位置ズレ量検出機構は、フィルムの直進部において位置ズレ量を検出する、第７態様から第１０態様のいずれか１つに記載のフィルム構造体の製造装置を提供する。

本発明の第１２態様によれば、仮止め機構は、モールドに対向する位置で、フィルムの表面を吸着して仮止めする吸着穴を有する、第７態様から第１１態様のいずれか１つに記載のフィルム構造体の製造装置を提供する。

（実施の形態１）
以下、本開示に係る実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。なお本開示は、以下の実施の形態１に限定されるものではない。

まず、図１Ａ～図１Ｅを用いて本実施の形態１のフィルム構造体の製造装置Ｄ１の構成を説明する。図１Ａ～図１Ｅは、それぞれフィルム構造体の製造装置Ｄ１の工程別模式図である。なお、以下の図において、Ｘ軸方向はフィルム１の幅方向、Ｙ軸方向はＸ軸方向に直交する水平方向、Ｚ軸方向はＸ軸およびＹ軸に直交する上下方向を示す。

製造装置Ｄ１は、連続走行するフィルム１の両面に転写材料１２１ａ，１２１ｂを転写して硬化させることでフィルム構造体を製造する装置である。フィルム１の両面には硬化膜１４１ａ，１４１ｂ（図１Ｅ）が形成される。転写材料１２１ａ，１２１ｂは、硬化膜１４１ａ、１４１ｂの原材料である。本実施の形態１では、転写材料１２１ａ，１２１ｂは、紫外線硬化樹脂を含む材料である。転写材料１２１ａ，１２１ｂは、例えば、硬化前は流動性を有し硬化後は固化する材料である。フィルム１の表面の第１硬化膜１４１ａはフィルム１の走行中に（連続走行で）形成され、フィルム１の裏面の第２硬化膜１４１ｂはフィルム１の走行停止中に（間歇的に）形成される。

製造装置Ｄ１は、第１塗布部２１と、加圧ロール３１と、転写ロール４１と、第１硬化手段５１と、離型ロール６１とを備える。さらに、製造装置Ｄ１は、送り保持機構７１ａ，７１ｂと、搬送ステージ８１と、第２塗布部２２と、モールド１０１と、転写材料充填機構３２（図１Ｂ）と、第２硬化手段５２（図１Ｃ）とを備える。さらに、製造装置Ｄ１は、位置ズレ量検出機構９１，９２と、補正機構１１１と、制御部Ｃ１とを備える。

フィルム１は、装置上流側から搬送方向（Ａ１方向）に送り出される。フィルム１の搬送速度は例えば、毎分０．１ｍ以上５ｍ以下である。フィルム１の厚みは、例えば、２０μｍ以上３００μｍ以下である。フィルム１の幅は、例えば、１００ｍｍ以上１ｍ以下である。また、以下便宜上、フィルム１の表裏に関しては、図１Ａ～図１Ｅにおいて下（－Ｚ方向）側を表、上（＋Ｚ方向）側を裏とする。

塗布部２１，２２は、それぞれ、転写材料１２１ａ，１２１ｂをフィルム１に塗布するユニットである。第１塗布部２１は転写材料１２１ａをフィルム１の表面に塗布し、第２塗布部２２は転写材料１２１ｂをフィルム１の裏面に塗布する。

第２塗布部２２は、間歇塗布が可能なユニットである。第２塗布部２２は、フィルム１の裏面の所望の箇所のみに転写材料１２１ｂを塗布する。具体的には、第２塗布部２２は、フィルム１の裏面において、フィルム１の表面の第１硬化膜１４１ａに対向する部分に転写材料１２１ｂを塗布する。第２塗布部２２の間歇動作は、例えば、後述の送り保持機構７１ａ，７１ｂの駆動と同期して、転写材料１２１ｂを間歇的に塗布する。転写材料１２１ａ，１２１ｂを塗布する方法は問わないが、例えばダイコーターである。

加圧ロール３１は、転写材料１２１ａが塗布されたフィルム１を転写ロール４１に加圧するローラである。具体的には、加圧ロール３１は、フィルム１の裏面と接触して、フィルム１の表面を転写ロール４１に加圧する。加圧ロール３１は、転写ロール４１に対して外周面が対向するように設けられる。本実施の形態では、加圧ロール３１は転写ロール４１に対して水平方向に並べて設けられる。加圧ロール３１の直径は、例えば、１００ｍｍ以上３００ｍｍ以下である。

転写ロール４１は、表面（円筒外周面）において転写形状（微細形状）１３１ａが形成されるローラ（ロール型）である。本実施の形態１の転写形状１３１ａは、転写ロール４１の外周面の一部に形成される。転写ロール４１は、転写材料１２１ａに転写形状１３１ａを転写する。転写ロール４１の直径は、例えば、１００ｍｍ以上３００ｍｍ以下である。

第１硬化手段５１は、転写材料１２１ａを硬化させる手段である。第１硬化手段５１は、加圧ロール３１によって加圧されている転写材料１２１ａを紫外線によって硬化させて第１硬化膜１４１ａを形成する。本実施の形態１では、第１硬化手段５１は、転写材料１２１ａに対して紫外線を照射する紫外線照射部（紫外線光源）である。また、第１硬化膜１４１ａの膜厚は、例えば、０．５μｍ以上１０μｍ以下である。

離型ロール６１は、転写ロール４１から第１硬化膜１４１ａを剥離するローラである。

送り保持機構７１ａ，７１ｂは、第２硬化膜１４１ｂを間歇的に形成する際（フィルム１において第２硬化膜１４１ｂを形成する部分を停止させる際）に生じるフィルム１の弛みを吸収する機構である。すなわち、送り保持機構７１ａ，７１ｂは、搬送方向上流側で走行中のフィルム１の弛みを吸収することにより、搬送方向上流側のフィルム１の搬送を継続させるための機構である。送り保持機構７１ａ，７１ｂは、例えば、少なくとも一方がダンサーロールである１対のロールである。本実施の形態１では、送り保持機構７１ｂがダンサーロールである。送り保持機構７１ａ，７１ｂは、それぞれ、フィルム１の表面側および裏面側に設けられる。

搬送ステージ８１は、フィルム１を保持するステージである。搬送ステージ８１は、第２塗布部２２による転写材料１２１ｂの塗布、後述のモールド１０１への転写材料１２１ｂへの充填、および第２硬化膜１４１ｂの形成の際にフィルム１を保持する。搬送ステージ８１は、フィルム１の表面を吸着保持してフィルム１を仮止めする仮止め機構１５１を有する。

仮止め機構１５１は、モールド１０１に対向する位置に設けられる。本実施の形態１の仮止め機構１５１は、吸着穴１５１ａを有する。仮止め機構１５１は、吸着穴１５１ａを通じてフィルム１を吸着することにより、フィルム１を仮止めする。仮止め機構１５１において吸着穴１５１ａが設けられる面は、平面状に形成される。仮止め機構１５１は、フィルム１の走行経路において、フィルム１が直線的に走行する直進部１ａでフィルム１を仮止めする。

モールド１０１は、表面（フィルム１の裏面に対向する位置）に転写形状１３１ｂが形成された型である。モールド１０１は、例えばシート状である。モールド１０１は、フィルム１の裏面に塗布された転写材料１２１ｂに転写形状１３１ｂを転写する。本実施の形態１では、モールド１０１は透過性のあるモールドである。モールド１０１を透過性のあるモールドにすることで、フィルム１の上方（裏面側）から第１硬化膜１４１ａに対するモールド１０１の位置をより容易に検出することができる。なお、透過性のないモールドを使用してもよい。

転写材料充填機構３２（図１Ｂ）は、モールド１０１の転写形状１３１ｂに、フィルム１の裏面に塗布された転写材料１２１ｂを充填させるユニットである。転写形状１３１ｂに転写材料１２１ｂを充填させる方法は問わないが、本実施の形態では、例えばローラによる加圧である。

第２硬化手段５２（図１Ｃ）は、転写材料１２１ｂを硬化させる手段である。第２硬化手段５２は、モールド１０１の転写形状１３１ｂに充填された転写材料１２１ｂを紫外線によって硬化させて第２硬化膜１４１ｂを形成する。本実施の形態では、第２硬化手段５２は、転写材料１２１ｂに対して紫外線を照射する紫外線照射部（紫外線光源）である。また、第２硬化膜１４１ｂの膜厚は、例えば、０．５μｍ以上１０μｍ以下である。

位置ズレ量検出機構９１，９２（図１Ａ）は、フィルム１の表面に形成された第１硬化膜１４１ａとモールド１０１（フィルム１の裏面に形成される第２硬化膜１４１ｂ）との位置ズレ量ΔＸ，ΔＸ’，ΔＹ，ΔＹ’（図２）を検出する。位置ズレ量検出機構９１，９２は、例えば、カメラである。位置ズレ量検出機構９１，９２は、それぞれ、搬送方向上流側および搬送方向下流側において、互いに幅方向にずれて設けられる。

補正機構１１１は、位置ズレ量検出機構９１，９２により検出された位置ズレ量（ΔＸ，ΔＸ’，ΔＹ，ΔＹ’）を補正する機構である。本実施の形態１では、補正機構１１１は、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＸ’，ΔＹ，ΔＹ’）に基づいてフィルム１の位置を補正する機構を有する。補正機構１１１は、例えば一対の補正ロール１１１ａを有する。

一対の補正ロール１１１ａは、フィルム１を挟むように配置される。一対の補正ロール１１１ａは、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＸ’，ΔＹ，ΔＹ’）を減少させるために、第１硬化膜１４１ａの位置、つまり、フィルム１の位置を調整可能に設けられる。一対の補正ロール１１１ａは、フィルム１を搬送方向（Ａ１方向）に位置調整できるように、フィルム１を挟んで回転可能に設けられる。一対の補正ロール１１１ａは、フィルム１を幅方向（Ｘ方向）に位置調整できるように、軸方向に移動可能に設けられる。

制御部Ｃ１は、製造装置Ｄ１の各構成部材の運転を制御する部材である。制御部Ｃ１は、例えば、マイクロコンピュータ等である。制御部Ｃ１は、位置ズレ量検出機構９１，９２によって検出された位置ズレ量を減少させるように製造装置Ｄ１を制御する。具体的には、制御部Ｃ１は、搬送ステージ８１の仮止め機構１５１の制御、及び、補正機構１１１の位置又は回転角を補正する制御などを行う。

次に、図１Ａ～図１Ｅ、図２、及び図３を用いて、フィルム構造体の製造方法について詳細に説明する。図２は、位置ズレ量の認識を示す概略模式図である。図３は、フィルム構造体の製造方法を示すフローチャートである。

まず、図３における第１塗布工程ＳＴ１０を行う。具体的には、図１Ａに示す第１塗布部２１が、連続走行するフィルム１の表面に、転写材料１２１ａを塗布する。

次に、図３における第１転写工程ＳＴ２０を行う。具体的には、図１Ａに示す加圧ロール３１が、フィルム１の表面に塗布された転写材料１２１ａを転写ロール４１に加圧することで、転写形状１３１ａに転写材料１２１ａを充填する。

次に、図３における第１硬化工程ＳＴ３０を行う。具体的には、図１Ａに示す第１硬化手段５１が、フィルム１の表面に塗布された転写材料１２１ａを、加圧ロール３１によって転写ロール４１に加圧しながら硬化させる。言い換えると、第１硬化手段５１が、転写ロール４１の転写形状１３１ａに充填された転写材料１２１ａを硬化させつつ、フィルム１に接着する。これによって、転写材料１２１ａは、転写形状１３１ａが転写された状態で硬化した第１硬化膜１４１ａとなる。なお、第１転写工程ＳＴ２０と、第１硬化工程ＳＴ３０とは、略同時に行われても良い。

次に、図３における第１離型工程ＳＴ４０を行う。具体的には、離型ロール６１が、第１硬化膜１４１ａが硬化されたフィルム１を、転写ロール４１から剥離する。

次に、図３における第２塗布工程ＳＴ５０を行う。具体的には、図１Ａに示す第２塗布部２２がフィルム１の裏面に転写材料１２１ｂを塗布する。

次に、図３における仮止め工程ＳＴ６０を行う。具体的には、上記工程を終えたフィルム１が、図１Ａに示す搬送ステージ８１によりモールド１０１に対向する位置まで送られ、仮止め機構１５１により、吸着保持される。ここで、仮止め機構１５１により吸着保持されるまでのフィルム１の送り量は、要求される転写形状などに応じて制御部Ｃ１により制御される。すなわち、仮止め機構１５１は、フィルム１の表面に形成された第１硬化膜１４１ａとモールド１０１（フィルム１の裏面に形成される第２硬化膜１４１ｂ）との相対位置に応じて、フィルム１を吸着保持する。これにより、第２硬化膜１４１ｂを形成する部分を所望の位置で容易に仮止めすることができ、後述の位置ズレ量検出工程ＳＴ８０で検出される位置ズレ量を減少させることができる。

次に、図３における送り保持工程ＳＴ７０が行われる。図１Ａに示す仮止め機構１５１により、フィルム１が吸着保持されている間、送り保持機構７１ａ，７１ｂより搬送方向（Ａ１方向）下流側のフィルムの搬送系は停止しているのに対し、送り保持機構７１ａ，７１ｂより搬送方向上流側のフィルム搬送系は、連続走行している。この際に生じるフィルム１の弛みを吸収することにより、搬送方向上流側のフィルム１の搬送及び成形を安定化させる。具体的には、図１Ａに示すように、送り保持機構７１ｂが図中下方（－Ｚ方向）に移動することにより、フィルム１に生じる弛みを吸収する。なお、送り保持工程ＳＴ７０は、送り保持機構７１ａが図中上方（＋Ｚ方向）に移動することにより、行われても良い。また、保持工程ＳＴ７０は、送り保持機構７１ａが図中上方に移動し、かつ送り保持機構７１ｂが図中下方に移動することにより、行われても良い。

また、図３における送り保持工程ＳＴ７０が行われる間、位置ズレ量検出工程ＳＴ８０を行う。具体的には、図１Ａに示すように、位置ズレ量検出機構９１，９２を用いて、フィルム１の表面に形成された第１硬化膜１４１ａとモールド１０１（フィルム１の裏面に形成される第２硬化膜１４１ｂ）との位置ズレ量を検出する。

ここで、位置ズレ量検出工程ＳＴ８０に関して、図２を用いて説明する。転写ロール４１には、例えば、２点のロール上アライメントマーク（図示略）が円周方向および幅方向にずれて対角に設けられる。この時、円周方向のマークの数は問わない。これにより、図２に示すように、フィルム１の表面の第１硬化膜１４１ａには、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａが形成される。一方で、モールド１０１には、例えば、２点のモールドアライメントマーク１６１ｂ，１６２ｂが搬送方向および幅方向にずれて対角に設けられる。２点のロール上アライメントマーク間のＸ方向およびＹ方向の長さは、２点のモールドアライメントマーク１６１ｂ，１６２ｂ間のＸ方向およびＹ方向の長さに等しい。

位置ズレ量の認識には、フィルム１の表面に形成された硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａとモールドアライメントマーク１６１ｂ、１６２ｂとを使用する。硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａを基準として、モールドアライメントマーク１６１ｂ、１６２ｂの位置が、位置ズレ量検出機構９１，９２によって認識される。ロール上アライメントマークおよびモールドアライメントマーク１６１ｂ，１６２ｂを対角に２点設けることで、フィルム１の両面の硬化膜１４１ａ，１４１ｂの相対位置精度をより向上させることができる。

位置ズレ量検出工程ＳＴ８０において、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａおよびモールドアライメントマーク１６１ｂ，１６２ｂのそれぞれの中心を認識し、相対位置ズレ量としてΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’が検出される。すなわち、硬化膜アライメントマーク１６１ａの中心に対するモールドアライメントマーク１６１ｂの中心の相対位置ズレ量に関して、Ｘ方向のΔＸ及びＹ方向のΔＹが検出される。硬化膜アライメントマーク１６２ａの中心に対するモールドアライメントマーク１６２ｂの中心の相対位置ズレ量に関して、Ｘ方向のΔＸ’及びＹ方向のΔＹ’が検出される。なお、＋Ｘ方向に位置する場合はΔＸ＞０となり、－Ｘ方向に位置する場合はΔＸ＜０となる。また、＋Ｙ方向に位置する場合はΔＹ＞０となり、－Ｙ方向に位置する場合はΔＹ＜０となる。

本実施の形態１の位置ズレ量検出工程ＳＴ８０においては、フィルム１の直進部１ａにおいて位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）が検出される。これにより、湾曲部に比べて、より精確に位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を検出することができる。フィルム１の仮止めは、例えばモールド１０１に対向する位置で行われる。これにより、フィルム１の第２硬化膜１４１ｂを形成する部分を所望の位置で容易に仮止めすることができる。

図３における送り保持工程ＳＴ７０が行われる間、位置ズレ量検出工程ＳＴ８０の次に、補正工程ＳＴ９０を行う。本実施の形態１の補正工程ＳＴ９０では、位置ズレ量検出工程ＳＴ８０により検出された位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）をもとに、図１Ａに示す補正機構１１１が、フィルム１の位置を補正する。具体的には、制御部Ｃ１が、フィルム１の表面に形成された第１硬化膜１４１ａとモールド１０１との相対位置ズレを減少させるために、第１硬化膜１４１ａの位置、つまり、フィルム１の位置を調整するよう、補正機構１１１の位置または回転角を制御する。

ここで、補正工程ＳＴ９０に関して、図４を用いて詳細に説明する。図４Ａは、フィルム１の補正動作を示す概略模式図であり、図４Ｂは、補正動作前の位置ズレ認識を示し、図４Ｃは、補正動作後の位置ズレ認識を示す。

図４Ａに示すように、フィルム１の幅方向における位置ズレ量（ΔＸ，ΔＸ’）は、補正機構１１１の回転軸１１１ｂを幅方向に動かすことにより補正する。具体的には、一対の補正ロール１１１ａを＋Ｘ方向に動かすことで、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａは補正ロール１１１ａの移動と共に＋Ｘ方向に移動する。一対の補正ロール１１１ａを－Ｘ方向に動かすことで、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａは補正ロール１１１ａの移動と共に－Ｘ方向に移動する。

フィルム１の送り方向における位置ズレ量（ΔＹ，ΔＹ’）は、補正機構１１１の回転角（θ）を動かすことにより補正する。具体的には、一対の補正ロール１１１ａによりフィルム１を挟み込み、補正ロール１１１ａを回転させることで、フィルム１を送り方向に補正制御する。回転動作に関しては、補正ロール１１１ａをフィルム１と共に搬送方向下流側（＋Ｙ方向）へ回転させると、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａは、フィルム１搬送方向下流側へ移動する。補正ロール１１１ａをフィルム１と共に搬送方向上流側（－Ｙ方向）へ回転させると、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａは、フィルム１搬送方向上流側へ移動する。

前記補正動作によりフィルム１の位置が調整され、例えば、図４Ｂの状態から、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａおよびモールドアライメントマーク１６１ｂ，１６２ｂを互いに近づくように補正されて図４Ｃに示すように位置ズレ量が減少する。なお、前記補正動作において、例えば、仮止め機構１５１によるフィルム１の吸着力よりもフィルム１へ加える力が大きくなるようにして、補正機構１１１によってフィルム１の位置が補正される。

図３における送り保持工程ＳＴ７０が行われる間、補正工程ＳＴ９０の次に、第２転写工程ＳＴ１００を行う。具体的には、図１Ｂに示すように、転写材料充填機構３２が、モールド１０１の転写形状１３１ｂに、転写材料１２１ｂを充填する。この際にも、送りに応じて、送り保持機構７１ｂが下方（－Ｚ方向）にさらに移動することにより、フィルム１に生じる弛みを吸収している。

図３における送り保持工程ＳＴ７０が行われる間、第２転写工程ＳＴ１００の次に、第２硬化工程ＳＴ１１０を行う。具体的には、図１Ｃに示すように、第２硬化手段５２が、フィルム１の裏面に塗布された転写材料１２１ｂを、転写材料充填機構３２によってモールド１０１に加圧しながら硬化する。言い換えると、第２硬化手段５２が、モールド１０１の転写形状１３１ｂに充填された転写材料１２１ｂを硬化させつつ、フィルム１に接着する。これによって、転写材料１２１ｂは、転写形状１３１ｂが転写された状態で硬化した第２硬化膜１４１ｂとなる。この際にも、送りに応じて、送り保持機構７１ｂが図中下方にさらに移動することにより、フィルム１に生じる弛みを吸収している。

図３における送り保持工程ＳＴ７０が行われる間、第２硬化工程ＳＴ１１０の次に、第２離型工程ＳＴ１２０を行う。具体的には、図１Ｄに示すようにモールド１０１を第２硬化膜１４１ｂが硬化されたフィルム１から剥離する。剥離手段は問わないが、本実施の形態１においては、モールド１０１を、フィルム１に対して、斜め上向きまたは垂直方向上方へ移動させることで、第２離型工程ＳＴ１２０が行われる。この際にも、送りに応じて、送り保持機構７１ｂが図中下方にさらに移動することにより、フィルム１に生じる弛みを吸収している。

次に、第２離型工程ＳＴ１２０後、図３における送り保持工程ＳＴ７０を終了させ、下流送り工程ＳＴ１３０が行われる。具体的には、図１Ｅに示すように搬送ステージ８１での吸着が解除され、フィルム１が搬送方向下流側に送られる。この際、送り保持機構７１ｂは、フィルム１が搬送方向下流側に送られることに伴って上方（＋Ｚ方向）へ移動する。

送り保持機構７１ｂが元の位置に戻る時点、すなわち、送り保持機構７１ａ，７１ｂより下流側のフィルムの搬送系と、送り保持機構７１ａ，７１ｂより上流側のフィルム搬送系との搬送タイミング（搬送速度）が一致した時点で、下流送り工程ＳＴ１３０は終了する。

以上のような工程を行って、フィルム構造体を製造する。上述したフィルム構造体の製造方法が連続して行われることにより、ロールトゥロールでのフィルム構造体の製造を実現することができる。

本実施の形態１に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ１によれば、以下の効果を奏することができる。

本実施の形態１に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ１において、位置ズレ量検出工程ＳＴ８０と、補正工程ＳＴ９０と、補正工程ＳＴ９０の後に第２硬化膜１４１ｂを形成する第２硬化工程ＳＴ１１０とを含む。位置ズレ量検出工程ＳＴ８０において、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を検出する。補正工程ＳＴ９０において、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を減少させるように補正機構１１１によってフィルム１の位置又はモールド１０１の位置を補正する。

これにより、補正工程ＳＴ９０によって第１硬化膜１４１ａとモールド１０１との位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を減少させることができる。このため、フィルム１両面の硬化膜１４１ａ、１４１ｂの相対位置精度を向上させることができる。さらに、第２硬化工程ＳＴ１１０を補正工程ＳＴ９０の後に行うことで、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）が減少した状態で第２硬化膜１４１ｂを形成できる。このため、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）が大きい状態で第２硬化膜１４１ｂが形成されることを防止でき、歩留まりを向上させることができる。

また、本実施の形態１に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ１において、位置ズレ量検出工程ＳＴ８０で、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａと、モールドアライメントマーク１６１ｂ、１６２ｂとを検出する。補正工程ＳＴ９０において、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａ及びモールドアライメントマーク１６１ｂ、１６２ｂを互いに近づけるように補正する。

これにより、アライメントマークによって、第１硬化膜１４１ａとモールド１０１との位置ズレ量を容易に減少させることができる。

また、本実施の形態１に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ１において、一対の補正ロール１１１ａの回転に伴ってフィルム１を搬送方向に移動させる。または一対の補正ロール１１１ａをフィルム１と共に移動させる。

補正ロール１１１ａによってフィルム１の位置を補正することにより、第１硬化膜１４１ａとモールド１０１との位置ズレ量を容易に減少させることができる。

また、本実施の形態１に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ１において、仮止め工程ＳＴ６０で、フィルム１が直線的に走行する直進部１ａでフィルム１を仮止めする。位置ズレ量検出工程ＳＴ８０は、フィルム１の直進部１ａにおいて位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を検出する。

直進部１ａでフィルム１を仮止めして位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を検出することで、湾曲部で行う場合に比べて、フィルム１の吸着および位置ズレ量の検出を精度良く行うことができる。

また、本実施の形態１に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ１において、仮止め工程ＳＴ６０で、モールド１０１に対向する位置でフィルム１の表面を吸着して仮止めする。

モールド１０１に対向する位置でフィルム１の表面を吸着して仮止めすることで、フィルム１の第２硬化膜１４１ｂを形成する部分を所望の位置で容易に仮止めすることができる。このため、第１硬化膜１４１ａとモールド１０１との位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を容易に減少させることができる。

なお、本発明は前記実施の形態１に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。前記実施の形態１では、仮止め機構１５１は、フィルム１の走行経路において、フィルム１が直線的に走行する直進部１ａでフィルム１を仮止めするとしたが、これに限定されない。仮止め機構１５１は、例えばフィルム１が湾曲して走行する湾曲部でフィルム１を仮止めしてもよい。

また、一対の補正ロール１１１ａによって位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を減少させる方法（構成）について説明したが、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を減少させることができれば、補正ロール１１１ａに限定されない。フィルム１の位置又はモールド１０１の位置を補正することができれば他の方法（構成）であってもよい。

また、補正工程ＳＴ９０において、硬化膜アライメントマーク１６１ａ，１６２ａ及びモールドアライメントマーク１６１ｂ，１６２ｂを互いに近づけるように補正するとしたが、これに限定されない。すなわち、補正工程ＳＴ９０において、アライメントマークを用いずに補正を行ってもよい。

（実施の形態２）
次に、以下に本開示に係る実施の形態２について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１との相違点を中心に説明し、共通点の説明を適宜、省略または簡略化する。

図５を用いて本実施の形態２のフィルム構造体の製造装置Ｄ２の構成を説明する。図５は、製造装置Ｄ２の概略斜視図である。

実施の形態２における補正機構１１３は、モールド１０１の位置を調整するモールド位置補正機構１１３ａを有する。モールド位置補正機構１１３ａは、制御部Ｃ１によって制御され、位置ズレ量検出機構９１，９２により検出された位置ズレ量をもとに、モールド１０１を調整する機構である。モールド位置補正機構１１３ａは、フィルム１の表面に形成された第１硬化膜１４１ａとモールド１０１（フィルム１の裏面に形成される第２硬化膜１４１ｂ）との位置ズレ量を減少させるために、モールド１０１の位置を調整可能に設けられる。補正機構１１３は、例えば、モールド１０１の位置を調整可能なモータである。

ここで、実施の形態２における補正工程ＳＴ９０に関して、図６Ａ～図６Ｃ（図６）を用いて説明する。図６Ａは、モールド１０１の補正動作を示す概略模式図であり、図６Ｂは、補正動作前の位置ズレ認識を示し、図６Ｃは、補正動作後の位置ズレ認識を示す。

位置ズレ量検出工程ＳＴ８０により検出された位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）をもとに、モールド１０１の位置を幅方向（Ｘ）、送り（Ｙ）方向、及び回転（θ）方向に補正する。具体的には、フィルム１の表面に形成された第１硬化膜１４１ａとフィルム１の裏面に形成される第２硬化膜１４１ｂとの相対位置ズレを減少させるために、第２硬化膜１４１ｂの形成される位置、つまり、モールド１０１の位置を調整する。

図６Ａに示すように、フィルム１に対する幅方向における位置ズレ量（ΔＸ，ΔＸ’）は、モールド１０１を幅方向に動かすことにより補正する。具体的には、ΔＸ（ΔＸ’）＞０の場合、フィルム１に対してモールド１０１を－Ｘ方向に動かして補正し、ΔＸ（ΔＸ’）＜０の場合、フィルム１に対してモールド１０１を＋Ｘ方向に動かして補正する。

フィルム１に対する送り方向における位置ズレ量（ΔＹ，ΔＹ’）は、モールド１０１をＹ方向に動かすことにより補正する。具体的には、ΔＹ（ΔＹ’）＞０の場合、フィルム１に対してモールド１０１を－Ｙ方向に動かして補正し、ΔＹ（ΔＹ’）＜０の場合、フィルム１に対してモールド１０１を＋Ｙ方向に動かして補正する。

位置ズレ量（ΔＸ，ΔＸ’）がそれぞれ異なる場合は、モールド１０１を回転（θ）方向に動かすことで補正する。具体的には、ΔＸ＞ΔＸ’の場合、すなわち搬送方向上流側の位置ズレ量ΔＸが搬送方向下流側の位置ズレ量ΔＸ’よりも大きい場合、モールド１０１の搬送方向下流側を＋Ｘ方向に向けてモールド１０１を回転させる。ΔＸ＜ΔＸ’の場合、すなわち搬送方向上流側の位置ズレ量ΔＸが搬送方向下流側の位置ズレ量ΔＸ’よりも小さい場合、モールド１０１の搬送方向下流側を－Ｘ方向に向けてモールド１０１を回転させる。

前記補正動作によりモールド１０１の位置が調整され、例えば、図６Ｂの状態から、図６Ｃに示すように位置ズレ量が減少する。

本実施の形態２に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ２によれば、以下の効果を奏することができる。

本実施の形態２に係るフィルム構造体の製造方法および製造装置Ｄ２において、補正工程ＳＴ９０で、補正機構１１３（モールド位置補正機構１１３ａ）によって、モールド１０１を移動させることで、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＸ’，ΔＹ’）を減少させる。

補正機構１１３によって、モールド１０１を移動させることで、第１硬化膜１４１ａとモールド１０１との位置ズレ量を容易に減少させることができる。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、実施形態における要素の組み合わせや順序の変化は、本発明の範囲及び思想を逸脱することなく実現し得るものである。また、上記様々な実施の形態のうちの任意の実施の形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本開示に係るフィルム構造体の製造方法及び製造装置は、フィルムの両面に微細形状同士を高精度に形成できるため、例えば光学部品や半導体部品等の分野で有用である。

Ｄ１ 製造装置
１ フィルム
１ａ 直進部
２１ 第１塗布部
２２ 第２塗布部
３１ 加圧ロール
３２ 転写材料充填機構
４１ 転写ロール
５１ 第１硬化手段
５２ 第２硬化手段
６１ 離型ロール
７１ａ，７１ｂ 送り保持機構
８１ 搬送ステージ
９１，９２ 位置ズレ量検出機構
１０１ モールド
１１１，１１３ 補正機構
１１１ａ 補正ロール
１１１ｂ 回転軸
１１３ａ モールド位置補正機構
１２１ａ，１２１ｂ 転写材料
１３１ａ，１３１ｂ 転写形状
１４１ａ 第１硬化膜
１４１ｂ 第２硬化膜
１５１ 仮止め機構
１５１ａ 吸着穴
１６１ａ，１６２ａ 硬化膜アライメントマーク
１６１ｂ，１６２ｂ モールドアライメントマーク
Ｃ１ 制御部
ＳＴ１０ 第１塗布工程
ＳＴ２０ 第１転写工程
ＳＴ３０ 第１硬化工程
ＳＴ４０ 第１離型工程
ＳＴ５０ 第２塗布工程
ＳＴ６０ 仮止め工程
ＳＴ７０ 送り保持工程
ＳＴ８０ 位置ズレ量検出工程
ＳＴ９０ 補正工程
ＳＴ１００ 第２転写工程
ＳＴ１１０ 第２硬化工程
ＳＴ１２０ 第２離型工程
ＳＴ１３０ 下流送り工程

Claims (12)

1. 連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する方法であって、
   フィルムの表面に紫外線硬化樹脂を含む転写材料を塗布する塗布工程と、
   前記フィルムの表面を加圧ロールによって転写ロールに加圧しながら、前記フィルムの表面に塗布された前記転写材料を紫外線により硬化させて第１硬化膜を形成する第１硬化工程と、
   前記第１硬化膜が形成された前記フィルムの表面を吸着して仮止めする仮止め工程と、
   前記仮止め工程による吸着部分よりも搬送方向の上流側において、ダンサーロールによって、走行中の前記フィルムの送りを保持する送り保持工程と、
   前記第１硬化工程により形成された前記第１硬化膜と、前記仮止め工程により仮止めされた前記フィルムの裏面側において前記転写材料が充填されるモールドとの位置ズレ量を検出する位置ズレ量検出工程と、
   前記位置ズレ量検出工程により検出された前記位置ズレ量を減少させるように、補正機構によって、前記フィルムの位置又は前記モールドの位置を補正する補正工程と、
   前記補正工程の後、前記モールドに充填された前記転写材料を前記フィルムの裏面上に硬化させて第２硬化膜を形成する第２硬化工程と、
   を含む、フィルム構造体の製造方法。
2. 前記位置ズレ量検出工程において、前記第１硬化膜に形成された硬化膜アライメントマークと、前記モールドに形成されたモールドアライメントマークとを検出し、
   前記補正工程において、前記硬化膜アライメントマーク及び前記モールドアライメントマークを互いに近づけるように補正する、請求項１に記載のフィルム構造体の製造方法。
3. 前記補正工程において、前記補正機構が有する一対の補正ロールで前記フィルムを挟んで、前記一対の補正ロールの回転に伴って前記フィルムを前記搬送方向に移動させるか又は前記一対の補正ロールを前記フィルムと共に移動させることで、前記位置ズレ量を減少させる、請求項１又は２に記載のフィルム構造体の製造方法。
4. 前記補正工程において、前記補正機構によって、前記モールドを移動させることで、前記位置ズレ量を減少させる、請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造方法。
5. 前記仮止め工程では、前記フィルムの走行経路において前記フィルムが直線的に走行する直進部で前記フィルムを仮止めし、
   前記位置ズレ量検出工程では、前記フィルムの前記直進部において前記位置ズレ量を検出する、請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造方法。
6. 前記仮止め工程において、前記モールドに対向する位置で前記フィルムの表面を吸着して仮止めする、請求項１から５のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造方法。
7. 連続走行するフィルムの両面に転写材料を転写して硬化させたフィルム構造体を製造する装置であって、
   フィルムの表面に紫外線硬化樹脂を含む転写材料を塗布する塗布部と、
   表面に転写形状を有する転写ロールと、
   前記フィルムの表面に塗布された前記転写材料を前記転写ロールに加圧する加圧ロールと、
   前記加圧ロールによって加圧された前記転写材料を前記フィルムの表面上に硬化させて第１硬化膜を形成する第１硬化手段と、
   前記第１硬化膜が形成された前記フィルムの表面を吸着して仮止めする仮止め機構と、
   ダンサーロールを含み、前記仮止め機構による吸着部分よりも搬送方向の上流側において走行中の前記フィルムの送りを保持する送り保持機構と、
   表面に転写形状を有するモールドと、
   前記モールドに充填された前記転写材料を前記フィルムの裏面上に硬化させて、第２硬化膜を形成する第２硬化手段と、
   前記フィルムの表面に形成された前記第１硬化膜と前記モールドとの位置ズレ量を検出する位置ズレ量検出機構と、
   前記位置ズレ量検出機構により検出された前記位置ズレ量を補正する補正機構と、
   前記第２硬化手段によって前記第２硬化膜を形成する前に、前記位置ズレ量検出機構によって検出された前記位置ズレ量を減少させるように前記補正機構を制御する制御部と、
   を備える、フィルム構造体の製造装置。
8. 前記転写ロールは、前記第１硬化膜に硬化膜アライメントマークを形成するアライメントマークを有し、
   前記モールドは、モールドアライメントマークを有し、
   前記位置ズレ量検出機構は、前記第１硬化膜に形成された前記硬化膜アライメントマークと前記モールドの前記モールドアライメントマークとの位置ズレ量を検出する、請求項７に記載のフィルム構造体の製造装置。
9. 前記補正機構は、前記フィルムを挟むように配置されて、前記フィルムの位置を補正する一対の補正ロールを有し、前記一対の補正ロールを回転させるか又は前記一対の補正ロールを移動させることによって、前記位置ズレ量を補正する、請求項７又は８に記載のフィルム構造体の製造装置。
10. 前記補正機構は、前記位置ズレ量検出機構によって検出された前記位置ズレ量に基づいて、前記モールドの位置を補正するモールド位置補正機構を有する、請求項７から９のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造装置。
11. 前記仮止め機構は、前記フィルムの走行経路において前記フィルムが直線的に走行する直進部で前記フィルムを仮止めし、
    前記位置ズレ量検出機構は、前記フィルムの前記直進部において前記位置ズレ量を検出する、請求項７から１０のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造装置。
12. 前記仮止め機構は、前記モールドに対向する位置で、前記フィルムの表面を吸着して仮止めする吸着穴を有する、請求項７から１１のいずれか一項に記載のフィルム構造体の製造装置。

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