JP5695197B2 - 露光システム - Google Patents
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- G03B27/00—Photographic printing apparatus
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- G03B27/04—Copying apparatus without a relative movement between the original and the light source during exposure, e.g. printing frame or printing box
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- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Description
れた状態で移送されるフィルム移送部と、前記発光部から出射された光を密着された前記
フィルムに伝達し、前記フィルムに偏光パターンを形成するパターン形成部とを備え、前記パターン形成部は、前記曲率と同一曲率で湾曲されたマスク及び偏光子を備える、露光システム。
120:第1の反射鏡
130:集光器
140:第2の反射鏡
150:パターン形成部
151:チャンバ
153:偏光子
155:偏光板固定部
157:マスク固定部
159:マスク
160:フィルム移送部
Claims (14)
- 発光部と、フィルムがその表面に密着され、円、楕円又はその一部の曲率で湾曲された
状態で移送されるフィルム移送部と、前記発光部から出射された光を密着された前記フィ
ルムに伝達し、前記フィルムに偏光パターンを形成するパターン形成部とを備え、前記パ
ターン形成部は、前記曲率と同一曲率で湾曲されたマスク及び偏光子を備える、露光システム。 - 前記フィルム移送部は円筒形又は楕円形ローラである、請求項1に記載の露光システム
。 - 前記フィルム移送部は、円、楕円又はその一部の曲率を有する軌跡に隣接して又は離隔
して配置された複数の円形ローラである、請求項1に記載の露光システム。 - 前記複数の円形ローラの下部には複数の支持ローラをさらに備える、請求項3に記載の
露光システム。 - 前記パターン形成部は、前記発光部から出射された光を前記ローラの回転軸に向けて伝
達するものである、請求項2に記載の露光システム。 - 前記パターン形成部は、前記発光部から出射された光を密着した前記フィルムに均一に
伝達する、請求項1に記載の露光システム。 - 前記パターン形成部は、前記マスク、或いは前記マスク及び偏光子が前記曲率で湾曲さ
れるようにする内部気圧調節用チャンバをさらに備える、請求項1に記載の露光システム。 - 前記フィルム移送部の表面には粘着層又はすべり防止層が設けられる、請求項1に記載
の露光システム。 - 前記マスクから前記フィルム移送部までの距離が一定である、請求項1に記載の露光システム。
- 前記マスクは、四辺を有する四角面形態であり、一辺と対向する対辺が前記パターン形
成部の固定部に結合されており、これら二辺を除いた互いに対向する一対の二辺が前記固
定部に固定されていない、請求項1に記載の露光システム。 - 前記マスクの曲率は、前記マスクの二辺の間の距離を調節できる固定装置によって調節
することができる、請求項10に記載の露光システム。 - 前記フィルム移送部の表面は、無反射又は無散乱の処理が施されたものである、請求項
1に記載の露光システム。 - 前記発光部から出射される光を反射させる第1の反射部と、前記第1の反射部から反射
された光を集光して伝達する集光器と、前記集光器から伝達された光を前記パターン形成
部に反射させる第2の反射部とをさらに備える、請求項1に記載の露光システム。 - 前記パターン形成部は、前記発光部から出射された光を直接入力を受けて前記フィルム
移送部に密着されたフィルムに伝達する、請求項1に記載の露光システム。
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