KR101632577B1 - 필름 노광 시스템 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2a와 도 2b는 도 1에 도시된 패턴 형성부의 상세 구조를 도시한 도면이다.
130 : 집광기 140 : 반사경-2
150 : 패턴 형성부 151 : 챔버
153 : 편광자 155 : 편광자 고정부
157 : 마스크 159 : 마스크 고정부
160 : 롤러
Claims (12)
- 발광부;
필름이 그 표면에 밀착되면서 이동하는 원통형의 롤러; 및
상기 발광부에서 조사된 광을 상기 원통형의 롤러에 밀착된 필름 부분으로 전달하여, 상기 필름 부분에 편광 패턴을 형성하는 패턴 형성부;를 포함하고,
상기 패턴 형성부는 마스크를 포함하고,
상기 마스크의 곡면과 상기 롤러의 곡면 간 거리는 일정하고,
상기 패턴 형성부는 상기 마스크의 곡면을 조정하기 위해 내부 기압이 조정되는 챔버를 포함하는,
노광 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 상기 발광부에서 출사되는 빛은 편광광인, 노광 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 상기 패턴 형성부는 상기 발광부에서 조사되는 광을 상기 롤러의 회전축을 향해 전달하는 것인 노광 시스템.
- 삭제
- 청구항 1에 있어서, 상기 마스크는 네 변을 가지는 사각면 형태이며, 일변과 마주보는 대변은 상기 패턴 형성부에 고정되어 연결되며, 이들 두 변을 제외한 서로 마주보는 한 쌍의 두 변은 상기 패턴 형성부에 고정되지 않는, 노광 시스템.
- 청구항 5에 있어서, 상기 마스크의 곡률 반경은 상기 패턴 형성부에 고정된 상기 마스크의 두 변 간의 거리를 조절할 수 있는 고정 장치에 의해 조절될 수 있는, 노광 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 상기 롤러의 표면은 무반사 또는 무산란 처리된, 노광 시스템.
- 청구항 1에 있어서,
상기 발광부에서 출력되는 광을 반사시키는 제1 반사부;
상기 제1 반사부에서 반사된 광을 집광하여 전달하는 집광기; 및
상기 집광기로부터 전달된 광을 상기 패턴 형성부로 반사시키는 제2 반사부;를 더 포함하는, 노광 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 상기 패턴 형성부는 상기 발광부에서 조사된 광을 직접 입력받아 상기 원통형의 롤러에 밀착된 필름 부분에 전달하는, 노광 시스템.
- 필름을 원통형의 롤러에 밀착시키면서 이동시키는 단계; 및
상기 원통형의 롤러에 밀착된 필름 부분에, 마스크를 포함하고 상기 마스크의 곡면과 상기 롤러의 곡면 간 거리가 일정한 패턴 형성부를 통해 광을 조사하여 상기 필름 부분에 편광 패턴을 형성하는 단계;를 포함하며,
상기 패턴 형성부는 상기 마스크의 곡면을 조정하기 위해 내부 기압이 조정되는 챔버를 포함하는, 노광 방법.
- 청구항 10에 있어서, 상기 광은 편광광인, 노광 방법.
- 청구항 10에 있어서, 상기 패턴 형성부를 통해 조사된 광은 상기 원통형의 롤러에 밀착된 필름 부분에 균일하게 입사되는, 노광 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110070909A KR101632577B1 (ko) | 2011-07-18 | 2011-07-18 | 필름 노광 시스템 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020110070909A KR101632577B1 (ko) | 2011-07-18 | 2011-07-18 | 필름 노광 시스템 및 방법 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100094792A Division KR101063056B1 (ko) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 필름 노광 시스템 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120033222A KR20120033222A (ko) | 2012-04-06 |
KR101632577B1 true KR101632577B1 (ko) | 2016-06-22 |
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ID=46136101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110070909A Expired - Fee Related KR101632577B1 (ko) | 2011-07-18 | 2011-07-18 | 필름 노광 시스템 및 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101632577B1 (ko) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003195515A (ja) | 2001-10-25 | 2003-07-09 | Heidelberger Druckmas Ag | 版を露光する方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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---|---|
KR20120033222A (ko) | 2012-04-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
PA0107 | Divisional application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A16-div-PA0107 St.27 status event code: A-0-1-A10-A18-div-PA0107 |
|
PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
E14-X000 | Pre-grant third party observation filed |
St.27 status event code: A-2-3-E10-E14-opp-X000 |
|
PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301 St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301 |
|
R17-X000 | Change to representative recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000 |
|
PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
E13-X000 | Pre-grant limitation requested |
St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000 |
|
P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Fee payment year number: 1 St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 |
|
PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
R17-X000 | Change to representative recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R17-oth-X000 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190311 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Fee payment year number: 4 St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 |
|
R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200309 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Fee payment year number: 5 St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Fee payment year number: 6 St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Fee payment year number: 7 St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 |
|
R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
PC1903 | Unpaid annual fee |
Not in force date: 20230617 Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903 |
|
R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
PC1903 | Unpaid annual fee |
Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE Not in force date: 20230617 St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903 |
|
R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
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R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
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