JP5118674B2 - 光学素子モジュールおよびその製造方法、電子素子モジュールおよびその製造方法、電子情報機器 - Google Patents

Description

本発明は、一または複数の光学素子が遮光ホルダ内に収容されたレンズモジュールや光学機能素子モジュールなどの光学素子モジュールおよびその製造方法、この光学素子モジュールと電子素子をモジュール化した電子素子モジュールおよびその製造方法、この電子素子モジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、テレビジョン電話装置、カメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器に関する。

従来、カメラモジュールなどに用いられるレンズユニットとしては、互いに隣接するレンズに設けられた凹凸を嵌め合わせることにより、複数のレンズを鏡筒内に位置決めするものがある。

図１３は、特許文献１に開示されている従来のレンズユニットの縦断面図である。

図１３に示すように、この従来のレンズユニット５００は、第１のレンズ５１０と、第２のレンズ５２０と、第３のレンズ５３０と、後押さえ部材５４０と、第１〜第３のレンズ５１０,５２０,５３０および後押さえ部材５４０が内側に配置された鏡筒５５０とを備えている。下側が被写体側、上側が撮像側である。鏡筒５５０内の被写体側から順に第１のレンズ５１０と第２のレンズ５２０と第３のレンズ５３０と後押さえ部材５４０を配置している。また、上記第２のレンズ５２０と第３のレンズ５３０と後押さえ部材５４０の外周は、鏡筒５５０に固定されている。一方、第１のレンズ５１０の外周は、鏡筒５５０に固定されていない。

第１のレンズ５１０は、光学面を有するレンズ部５１１と、そのレンズ部５１１の外周側に設けられたフランジ部５１２とを有している。フランジ部５１２の外周側から撮像側に向かって軸方向に延びる環状の凸部５１３を設けている。

第２のレンズ５２０は、光学面を有するレンズ部５２１と、そのレンズ部５２１の外周側に設けられたフランジ部５２２とを有している。上記フランジ部５２２の外周側から撮像側に向かって軸方向に延びる環状の凸部５２３を設けている。

第３のレンズ５３０は、光学面を有するレンズ部５３１と、そのレンズ部５３１の外周側に設けられたフランジ部５３２とを有している。

後押さえ部材５４０は、環状の基部５４１と、上記基部５４１の被写体側の端面から被写体側に向かって突出するように設けられた凸部５４２と、上記基部５４１の撮像側の端面の外周に設けられた環状の段部５４３とを有している。この環状の段部５４３に接着材などを充填して、後押さえ部材５４０を鏡筒５５０に固定する。また、後押さえ部材５４０は、余計な光を遮る役割もする。

鏡筒５５０は、円筒部５５１と、この円筒部５５１の被写体側の一端に設けられ、内側に向かって延在する環状の位置決め部５５２と、位置決め部５５２の内側端面に設けられ、軸方向内側(撮像側)に突出する環状の受け部５５３とを有している。この位置決め部５５２は、第１のレンズ５１０のレンズ部５１１に対向する位置に円穴５５２aを有している。

レンズユニット５００が、第１,第２のレンズ５１０,５２０からなるレンズ群以外に鏡筒５５０に固定された第３のレンズ５３０を有することによって、互いに位置決めされたレンズ群(第１,第２のレンズ５１０,５２０)とそのレンズ群以外に鏡筒５５０に固定された第３のレンズ５３０との間に遮光板５７０を配置することができる。

第２のレンズ５２０と第３のレンズ５３０はレンズ同士で位置決めされておらず、第２のレンズ５２０と第３のレンズ５３０が鏡筒５５０に固定され、第２のレンズ５２０と第３のレンズ５３０との間の遮光板５７０は、外周が鏡筒５５０の内周面まで伸びている。上記遮光板５７０の外周が鏡筒５５０の内周面まで伸びているので、外側を通る余計な光(レンズの部分を通らない光)を遮光できるため、遮光性を向上させることができる。

また、互いに位置決めされた第１のレンズ５１０のフランジ部５１２と第２のレンズ５２０とのフランジ部５２２との間に設けられた少なくとも隙間に環状の遮光板５６０を配置することによって、遮光性を保ちつつ、遮光板５６０に厚みのばらつきがあっても、レンズ間隔に影響しないようにできる。

特開２００９−１３９６９３号公報

しかしながら、上記従来のレンズユニット５００では、第２のレンズ５２０と第３のレンズ５３０との間に遮光板５７０が挟まれているため、レンズ相互の間隔は遮光板５７０の厚みのばらつきの影響を受ける。薄いステンレス材などの金属材を用いて、遮光板５７０の厚さを薄くして厚みのばらつきを抑制できるものの、複数のレンズウエハの間に遮光板を介在させて複数層貼り合わしたレンズウエハモジュールから一括切断してレンズモジュールとして個片化する場合に、薄いステンレス板材（ＳＵＳ）を隣接の光学面Ａ間のダイシングラインＤＬに沿ってダイシングブレードやワイヤで一括切断すると、刃がつまり切断面が粗くなったりするという問題がある。

本発明は、上記従来の問題を解決するもので、レンズ間に遮光板が介在する場合に、レンズ相互の間隔のばらつきを抑制して光学特性を良好にすると共に、一括切断時により良好に切断することができるレンズユニットなどの光学素子モジュールおよびその製造方法、このレンズユニットを用いたカメラモジュールなどの電子素子モジュールおよびその製造方法、この電子素子モジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器を提供することを目的とする。

本発明の光学素子モジュールは、複数の光学素子が遮光ホルダ内に収容され、上側の光学素子には、該上側の光学素子の中央部に光学面が形成されており、該上側の光学素子には、該上側の光学素子の光学面を囲むように環状に突出したスペーサ部が形成されており、該上側の光学素子のスペーサ部は、少なくとも平坦面を有しており、下側の光学素子には、該下側の光学素子の中央部に光学面が形成されており、該下側の光学素子には、該下側の光学素子の光学面を囲むように環状に突出したスペーサ部が形成されており、該下側の光学素子のスペーサ部は、少なくとも平坦面を有しており、該上側の光学素子のスペーサ部と該下側の光学素子のスペーサ部の少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板が介在されており、該遮光板は、該光学素子の光学面に対応する位置に開口部が形成されていると共に、該遮光板の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部を有しており、該切り欠き部は、平面視４角形の４つの角部に形成されており、該切り欠き部に、接着材が配置されており、該接着材で該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されているものであり、そのことにより上記目的が達成される。

また、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける切り欠き部と接触しないように前記上側の光学素子と前記下側の光学素子とが前記接着材で接着されており、該接着材の平面視形状が１／４円形状である。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける４つの角部の切り欠き部は、１／４円形状または、該角部に沿ったＬ字状のうちのいずれかである。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける遮光板は、金属製である。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける遮光板の厚さは最大厚さ１００μｍとする。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける遮光ホルダの絞り開口部に対向する前記光学素子の光学面の外周側に平坦部から環状の傾斜面を介してスペーサ部が設けられ、該遮光ホルダの絞り開口部裏側内面には、該光学素子の環状の傾斜面に対向するように環状の傾斜面を介して平坦な底面が設けられ、該光学素子および該遮光ホルダの各環状の傾斜面が互いに案内可能とされている。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける光学素子の環状の傾斜面および前記遮光ホルダの環状の傾斜面は、前記平坦面に対して３０度〜８０度の角度で傾斜している。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける遮光ホルダの平面視４角形の内面と前記一または複数の光学素子の平面視４角形の外側面との隙間を３０〜１００μｍ空けている。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける光学素子の環状の傾斜面と前記遮光ホルダの環状の傾斜面との隙間は最大２０μｍである。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける上側の光学素子裏側の光学面の外周側のスペーサ部と、下側の光学素子表側の光学面の外周側のスペーサ部との各平坦面の更に外周側にテーパ部を介して設けられた底部によって囲まれた空間部にのみ接着材が配置されて、該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されている。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおけるテーパ部を介した底部による空間部分にのみ前記接着材が配置され、少なくとも前記上下のテーパ部による空間部分には該接着材が配置されておらず、接着時に、前記上側の光学素子と前記下側の光学素子によって該接着材が押圧されて、前記スペーサ部まで広がらない十分なスペースを、少なくともテーパ部による空間部分に有している。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける接着材は、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂または、紫外線（ＵＶ）硬化および熱硬化樹脂である。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおいて、前記光学面、その外周側の傾斜面および前記スペーサ部は透明樹脂材料により一括成型されている。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける光学素子はレンズである。

さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける光学素子は、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子である。

本発明の光学素子モジュールの製造方法は、本発明の上記光学素子モジュールを製造する光学素子モジュールの製造方法であって、前記遮光ホルダの開放側に光学素子モジュールを最も上側の光学素子側から挿入した後の自重により、最も上側の光学素子の傾斜面と該遮光ホルダの絞り開口の内側の傾斜面とが互いに案内されて該遮光ホルダの絞り開口部と該光学素子の光学面とを位置決めする組み立て工程を有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。

また、好ましくは、本発明の光学素子モジュールの製造方法における組み立て工程に先立って、複数の光学面が２次元状に配列された上側のレンズウエハと、複数の光学面が２次元状に配列された下側のレンズウエハとを、その間に遮光板ウエハを挟み込んで上下の光学面の光軸と該遮光板ウエハの開口部が一致するように接着材で貼り合わて光学素子ウエハモジュールを作製する貼り合わせ工程と、該接着材にＵＶ光を照射して樹脂硬化させるＵＶ光照射工程と、該光学素子ウエハモジュールをダイシングラインに沿って一括切断して光学素子モジュールに個片化する切断工程とを有する。

本発明の電子素子モジュールは、光学素子モジュールにおける遮光ホルダ内に、前記光学素子の光学面に対向する電子素子上を覆うように透明支持基板を接着固定した撮像素子チップモジュールを、該電子素子と該光学面とが位置合わせされて固定されているものであり、そのことにより上記目的が達成される。

本発明の電子素子モジュールの製造方法は、本発明の上記光学素子モジュールの製造方法を用いた光学素子モジュール組み立て工程と、前記光学素子の光学面に対向する電子素子上を覆うように透明支持基板を接着固定した電子素子チップモジュールを、該電子素子と該光学面とを位置合わせして該遮光ホルダ内に固定する電子素子チップモジュール組み込み工程とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。

本発明の電子情報機器は、本発明の上記光学素子モジュールが設けられた電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。

本発明の電子情報機器は、本発明の上記光学素子モジュールが設けられた電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。

上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。

本発明においては、複数の光学素子が遮光ホルダ内に収容され、上側の光学素子のスペーサ部と下側の光学素子のスペーサ部の少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板が介在されており、この金属製の遮光板は、光学素子の光学面に対応する位置に開口部が形成されていると共に、遮光板の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部を有している。

これによって、レンズ間に遮光板が介在する場合に、遮光板が金属製であるのでより薄く構成することができるので、レンズ相互の間隔のばらつきをより抑制して光学特性を良好にすると共に、遮光板の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部を有しているので切断面積が少なくなって、一括切断時に、より良好に切断することが可能となる。

また、遮光板の外周部が上側の光学素子と下側の光学素子の外周端に到達せず、切り欠き部によって隙間が空くようにしているため、接着材へのＵＶ光を遮光板が遮らないため、従来の熱処理時に上下のレンズの伸びの差からレンズが変形するのを回避することができて、レンズモジュール全体の寸法安定性を良好なものにすることが可能となる。

以上により、本発明によれば、レンズ間に遮光板が介在する場合に、遮光板が金属製であるのでより薄く構成することができるため、レンズ相互の間隔のばらつきを抑制して光学特性を良好にすると共に、遮光板の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部を有しているので切断面積が少なくなって、一括切断時に、より良好に切断することができる。

また、遮光板の外周部が上側の光学素子と下側の光学素子の外周端に到達せず、切り欠き部によって隙間が空くようにしているため、接着材へのＵＶ光を遮光板が遮らないため、従来の熱処理時に上下のレンズの伸びの差からレンズが変形するのを回避することができて、レンズモジュール全体の寸法安定性を良好なものにすることができる。

本実施形態１の電子素子モジュールの概略外観図であって、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその上面図である。 本実施形態１の撮像素子モジュールの詳細な構成例を示す縦断面図である。 （ａ）は、図２の第１レンズの表面を示す平面図、（ｂ）は、図２の第１レンズの裏面および第２レンズの表面および裏面を示す平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、第１レンズウエハおよび第２レンズウエハをモジュール化してレンズウエハモジュールを作製する場合の各製造工程を示す要部縦断面図である。 遮光ホルダにレンズモジュールおよび撮像素子チップモジュールを収容する撮像素子モジュール組み立て工程を示す各部材の断面図である。 第１レンズウエハの一例を示す平面図である。 遮光板ウエハの一例を示す平面図であり、（ａ）は切断案内孔が長孔の場合を示す図、（ｂ）は切断案内孔が十字孔およびＬ字孔の場合を示す図である。 第２レンズウエハの一例を示す平面図であり、（ａ）は遮光板ウエハの切断案内孔が長孔の場合に対応して接着材が塗布された状態を示す図、（ｂ）は遮光板ウエハの切断案内孔が十字孔およびＬ字孔の場合に対応して接着材が塗布された状態を示す図である。 （ａ）および（ｂ）は、図７の遮光板ウエハにおいて、一括切断を容易にするための切断案内孔とダイシングラインＤＬとの位置関係を示す平面図、（ｃ）は、（ａ）の長孔の拡大図、（ｄ）は、（ｂ）の十字孔の拡大図である。 第１レンズのスペーサ部と第２レンズのスペーサ部を直に当接させない場合や、それらの間に遮光板ウエハを直に介在させない場合を説明するための図であって、（ａ）は第１レンズの表面形状の要部断面図、（ｂ）はガラス板上に第１レンズが接着材で固定された場合の裏面形状の要部断面図、（ｃ）は第１レンズと第２レンズの接合面の要部断面図、（ｄ）、（ｅ）および（ｇ）は第１レンズと第２レンズで遮光板を直に挟み込んだ場合の接合面の要部断面図、（ｆ）はガラス板と第１レンズで遮光板を直に挟み込んだ場合の接合面の要部断面図である。 図７（ｂ）の遮光板ウエハから切断された遮光板を用いる場合と用いない場合を説明するための図であって、（ａ）は遮光板を用いない場合のレンズ接合面の要部断面図、（ｂ）はその平面図、（ｃ）はを用いる場合のレンズ接合面の要部断面図、（ｄ）はその平面図である。 本発明の実施形態２として、本発明の実施形態１のセンサモジュールを含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。 特許文献１に開示されている従来のレンズユニットの縦断面図である。

以下に、本発明の光学素子モジュールおよびその製造方法、この光学素子モジュールを用いた電子素子モジュールおよびその製造方法を、レンズモジュールおよびその製造方法、このレンズモジュールを用いたセンサモジュールおよびその製造方法に適用した場合を実施形態１，２として図面を参照しながら詳細に説明する。また、これらのセンサモジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器を実施形態３について図面を参照しながら詳細に説明する。

（実施形態１）
図１は、本実施形態１の電子素子モジュール４００の概略外観図であって、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその上面図である。

図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、本実施形態１の電子素子モジュールとしての撮像素子モジュール４００（センサモジュール１０）は、中央部に光学面Ａが設けられた一または複数のレンズなどの光学素子または光学素子モジュール（図示せず）と、撮像素子チップ４０１とが、光学面Ａと絞り開口部Ｂが一致するように遮光ホルダ４０２内に収容されて、遮光ホルダ４０２により光学面Ａ以外の上面および側面を覆って撮像素子表面を遮光している。この撮像素子モジュール４００は、撮像素子ウエハモジュールから一括切断されるので、図１６（ｂ）に示すように平面視外形が４角形である。

図２は、本実施形態１の撮像素子モジュール４００の詳細な構成例を示す縦断面図である。

図２に示すように、本実施形態１の撮像素子モジュール４００は、被写体を撮像する複数の受光部を有する撮像素子４０３が中央部に配置された電子素子としての撮像素子チップ４０１と、この撮像素子チップ４０１上の撮像素子４０３の周囲上に配置された樹脂接着層４０４と、撮像素子４０３上を覆い、樹脂接着層４０４上に接着固定されたガラス板などの透明支持基板４０５と、この透明支持基板４０５の上方に、撮像素子４０３に各レンズ位置（各光学面Ａの位置）が一致対応するように設けられた第１レンズ４０６および第２レンズ４０７を含む光学素子モジュールとしてのレンズモジュール４０８と、これらの撮像素子チップ４０１、樹脂接着層４０４および透明支持基板４０５を段差部４０２Ａ下に配置し、レンズモジュール４０８を底面部４０２Ｂ下に配置して撮像光以外の外部光を遮光する遮光ホルダ４０２とを有している。なお、図２では、レンズウエハモジュールの１単位のレンズモジュール４０８を示しており、詳細に後述するが、実際には、この１単位のレンズモジュール４０８は、レンズウエハモジュールから切断されて多数のレンズモジュール４０８に個片化される。このレンズモジュール４０８を遮光ホルダ４０２内に収容し、個片電子素子（撮像素子ユニット４１２）を入れて撮像素子モジュール４００（センサモジュール１０）が作製される。

レンズモジュール４０８の第１レンズ４０６の表面は、図３（ａ）のように、中央部の光学面Ａの外周端部から平坦面４０６Ａさらに傾斜面４０６Ｂを介して、光学面Ａを囲むように環状に突出した平坦なスペーサ部４０６Ｃ（平坦部または突出部）を有している。また、この第１レンズ４０６の裏面は、図３（ｂ）のように、中央部の光学面Ａを囲むように環状に突出した平坦なスペーサ部４０６Ｄ（突出部）の更に外周側に段差部（傾斜面またはテーパ面）を介して接着材配置用の底部４０６Ｅ（または底面部）が設けられている。この場合、光学面Ａ、その外周側の傾斜面４０６Ｂおよびスペーサ部４０６Ｃは透明樹脂材料により一括成型されている。

第２レンズ４０７の表面および裏面は共に、図３（ｂ）のように、中央部の光学面Ａを囲むように環状に突出した平坦なスペーサ部４０７Ｄ（突出部）の更に外周側に段差部（傾斜面）を介して接着材配置用の底部４０７Ｅ（または底面部）が設けられている。

上側の第１レンズ４０６の下側のスペーサ部４０６Ｄと、下側の第２レンズ４０７の上側のスペーサ部４０７Ｄとの各平坦面の更に外周側の底面部４０６Ｅおよび４０７Ｅによって囲まれた空間部分に接着材４０９が配置されて、第１レンズ４０６と第２レンズ４０７とが互いに貼り合わされている。この場合、接着材４０９はＵＶ硬化樹脂を用いる。

第１レンズ４０６の環状の傾斜面４０６Ｂと、遮光ホルダ４０２の絞り開口Ｂの内側の環状の傾斜面４０２Ｃとが互いに案内されて、第１レンズ４０６の上側のスペーサ部４０６Ｃおよび傾斜面４０６Ｂが遮光ホルダ４０２の傾斜面４０２Ｃに嵌合するようになっている。組み立て時に、レンズモジュール４０８を遮光ホルダ４０２内に収容し易いように、遮光ホルダ４０２の内面とレンズモジュール４０８の外側面との隙間を３０〜１００μｍ空けている。また、第１レンズ４０６の傾斜面４０６Ｂと遮光ホルダ４０２内側の傾斜面４０２Ｃとの隙間は０〜２０μｍ空けている。傾斜面４０６Ｂの嵌合角度θは、３０度〜８０度程度で、さらに好ましくは、４５度〜６０度程度である。これによって、第１レンズ４０６の光学面Ａと遮光ホルダ４０２の絞り開口部Ｂとの位置精度は±１０μｍ程度と高精度となる。

上側の第１レンズ４０６の下側のスペーサ部４０６Ｄと、下側の第２レンズ４０７の上側のスペーサ部４０７Ｄとの間に遮光板４１０が介在している。この遮光板４１０は、中央部に光学面に対応して貫通孔が形成されている。また、遮光板４１０は、ステンレス製（ＳＵＳ）の黒染め、黒色ＰＥＴまたは表面に黒色金属スパッタや蒸着したＰＩ基板などを用いることができる。ステンレス製の黒染めの遮光板は、厚さ１００μｍ以下と薄く作れるので、厚さ方向の寸法バラツキも少なくなる。例えば厚さ２０μｍのステンレス製の遮光板を用いると、厚みバラツキは約±２μｍ程度で、これは光学的には適用可能な範囲のバラツキである。したがって、遮光板４１０を、スペーサ部４０６Ｄとスペーサ部４０７Ｄとの間に直接挟み込み、遮光板４１０の厚さも薄いため、レンズモジュール４０８の厚さ方向のバラツキが殆どなく、光学的な影響も少ない。

このように、図２の丸印の当接部Ｇに示すように、第１レンズ４０６と第２レンズ４０７のレンズ間隔およびレンズモジュール４０８の厚さは、スペーサ部４０６Ｄおよび４０７Ｄの環状の突出部の各平面によって当接して規制されている。即ち、第１レンズ４０６と第２レンズ４０７同士の当たり面（スペーサ部４０６Ｄおよび４０７Ｄ）および遮光板４１０の厚さでレンズ間隔を決める。この当たり面のさらに外側の底面部４０６Ｅおよび４０７Ｅに囲まれた空間部分（隙間部分）に接着材４０９を配置して、第１レンズ４０６と第２レンズ４０７を接着材４０９で接着する。これにより、接着材４０９の量が多くても隙間内で広がるだけで、接着材４０９の厚みや量のバラツキに悪影響されない。このため、レンズ間隔が安定して、レンズモジュール４０８の光学的な特性も安定化する。この場合にも、光学面Ａの周囲に配置される接着材４０９に、後述するが通気孔４０９Ａを設けて、リフロー時の接着材４０９の剥離を防止することができる。

図２の丸印の接着部Ｈに示すように、平面視四角形状（または円板状）の遮光板４１０の外周部が一部切り欠かれた切り欠き部４１１ｅを有しており、第１レンズ４０６および第２レンズ４０７の外周端に到達せず、隙間が空くようにしている。切り欠き部４１１ｅを設けているのは、接着材４０９へのＵＶ光を遮光板４１０が遮らないようにして、接着材４０９にＵＶ光硬化樹脂を使うことができるようにするためと、遮光板４１０を切断する面積を減らすためである。接着材４０９に熱硬化樹脂を使うと、熱処理時に上下のレンズの伸びの差からレンズが変形する虞がある。接着材４０９にＵＶ光硬化樹脂を使うと、低温でＵＶ光により接着材４０９を硬化させることができるため、レンズモジュール４０８全体の寸法安定性がよい。

遮光板４１０に例えばステンレス板材（ＳＵＳ）を用いて、ダイシングブレードやワイヤで切断すると、刃がつまり切断面が粗らくなったりするため、切断面積をできるだけ減らすのが望ましい。遮光板４１０を切断する面積を減らすために切断案内孔を設ける。一括切断が容易なように、例えば切断案内孔が長孔の場合を図７（ａ）に示し、切断案内孔が十字孔およびＬ字孔の場合を図７（ｂ）に示している。

ここで、第１レンズウエハ、遮光板ウエハおよび第２レンズウエハについて説明すると共に、遮光板ウエハを用いてダイシングラインＤＬについて説明する。

図６は第１レンズウエハ４１６の一例を示す平面図である。図６では第１レンズウエハ４１６において、複数の光学面Ａが縦横方向に均等に配置されており、実際は、もっと多数の光学面Ａがマトリクス状に配設されている。

図７は、遮光板ウエハ４１１の一例を示す平面図であり、（ａ）は切断案内孔が長孔の場合を示す図、（ｂ）は切断案内孔が十字孔およびＬ字孔の場合を示す図である。図７（ａ）および図７（ｂ）では複数のレンズ開口部４１１ａが縦横方向に均等に配置されており、実際は、もっと多数のレンズ開口部４１１ａがマトリクス状に配設されている。このレンズ開口部４１１ａは、図６の光学面Ａの位置に対応して光学面Ａと同じ数だけ形成されている。このレンズ開口部４１１ａの周囲および隣接のレンズ開口部４１１ａ間には、一括切断を容易にするための切断案内孔として、図７（ａ）の長孔４１１ｂや図７（ｂ）の十字孔４１１ｃおよびＬ字孔４１１ｄが形成されている。図９（ａ）および図９（ｂ）はそれぞれ図７（ａ）および図７（ｂ）にそれぞれ対応している。

図８は、第２レンズウエハ４１７の一例を示す平面図であり、（ａ）は遮光板ウエハ４１１Ａの切断案内孔が長孔の場合に対応して接着材４０９が塗布された状態を示す第２レンズウエハ４１７Ａの平面図、（ｂ）は遮光板ウエハ４１１Ｂの切断案内孔が十字孔、Ｔ字孔およびＬ字孔の場合に対応して接着材４０９が円形状に塗布された状態を示す第２レンズウエハ４１７Ｂの平面図である。

図９（ａ）および図９（ｂ）では、図７（ａ）および図７（ｂ）の各遮光板ウエハにおいて、一括切断を容易にするための切断案内孔とダイシングラインＤＬとの位置関係について示している。図９（ｃ）は、図９（ａ）の長孔４１１ｂの拡大図である。図９（ｄ）は、図９（ｂ）の十字孔４１１ｃの拡大図である。

図２４（ａ）および図２４（ｃ）では、第２レンズウエハ４１７Ａ上に遮光板ウエハ４１１Ａを重ね合わせた場合に、短冊状の長孔４１１ｂと接着材４０９の位置が一致している。切断案内孔の長孔４１１ｂは、その幅方向中心線であるダイシングラインＤＬで切断されて切り欠き部４１１ｅとなる。
図９（ｂ）および図９（ｄ）では、第２レンズウエハ４１７Ｂ上に遮光板ウエハ４１１Ｂを重ね合わせた場合に、例えば十字孔４１１ｃの中心部と円形の接着材４０９の位置が一致している。切断案内孔の十字孔４１１ｃは、その幅方向中心線であるダイシングラインＤＬで切断されて、角部に沿ったＬ字状の切り欠き部４１１ｅとなる。

したがって、個片化された遮光板４１０は、第１レンズ４０６および第２レンズ４０７の各光学面Ａに対応する位置にレンズ開口部４１１ａが設けられていると共に、その外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部４１１ｅを有している。この切り欠き部４１１ｅは、平面視４角形の角部を除く４辺に設けられているかまたは、４つの角部に形成されている。４つの角部の切り欠き部４１１ｅは、前述したように円形孔を十字に切断して後に残る１／４円形状と、十字孔、Ｔ字孔およびＬ字孔を切断した後に残る角部に沿ったＬ字状のうちのいずれかである。

次に、これらの第１レンズウエハ４１６、遮光板ウエハ４１１および第２レンズウエハ４１７をモジュール化して、後述のレンズウエハモジュール４１８を作製する場合について図４（ａ）〜図４（ｃ）を用いて説明する。

図４（ａ）〜図４（ｃ）は、第１レンズウエハ４１６および第２レンズウエハ４１７をモジュール化してレンズウエハモジュール４１８を作製する場合の各製造工程を示す要部縦断面図である。

まず、図４（ａ）の接着材塗布工程では、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、光学面Ａを有する複数の第２レンズ４０７がマトリクス状に配置された第２レンズウエハ４１７の格子状のダイシングラインＤＬ（図２４参照）に沿って底部４０７Ｅ上に接着材４０９をディスペンス装置のノズルによって塗布する。このとき、図８（ａ）に示すように光学面Ａの周囲４隅（通気孔４０９Ａ）を除く周囲４辺に短冊状に接着材４０９を配置してもよい。この場合は、光学面Ａの周囲４角部が通気孔４０９Ａとなる。

また、図８（ｂ）に示すように光学面Ａの周囲４隅にのみに４角形状または円形状に接着材４０９を配置してもよい。この場合は、光学面Ａの周囲４辺が通気孔４０９Ａとなる。

なお、ここでは、第２レンズウエハ４１７の表面における第２レンズ４０７間の底部４０７Ｅ上に接着材４０９を塗布したが、これに限らず、第１レンズウエハ４１６の裏面における第１レンズ４０６間の底部４０６Ｅ上に接着材４０９を塗布してもよく、または、遮光板ウエハ４１１の所定箇所に接着材４０９を塗布してもよい。この遮光板ウエハ４１１の所定箇所は、底部４０６Ｅおよび底部４０７Ｅに対応する切断案内孔の箇所である。

次に、図４（ｂ）の貼り合わせ工程では、第１レンズウエハ４１６の各第１レンズ４０６における光学面Ａの各光軸と、第２レンズウエハ４１７の各第２レンズ４０７における光学面Ａの各光軸とがそれぞれ一致し、かつ、遮光板ウエハ４１１のレンズ開口部４１１ａの中心と光学面Ａの各光軸とがそれぞれ一致するようにアライメントを取って、ウェハスケールで形成された上側の第１レンズウエハ４１６と下側の第２レンズウエハ４１７とを、その間に遮光板ウエハ４１１を挟み込んで接着材４０９で貼り合わてモジュール化する。その後、紫外線（ＵＶ）をウエハ上面から照射して接着材４０９を硬化させる。この場合は、遮光板ウエハ４１１は接着材４０９で接着されているが、詳細に後述するように遮光板ウエハ４１１が接着材４０９と離間して接着されていなくてもよい。

このように、接着材４０９にＵＶ硬化樹脂を用いることが好ましい。これは、接着材４０９に熱硬化樹脂を用いると、過熱時に、第１レンズウエハ４１６と第２レンズウエハ４１７との伸び方に違いが生じて、上下の第１レンズ４０６と第２レンズ４０７の位置がずれる虞があるからである。また、接着材４０９として、ＵＶ光でも熱でも硬化する樹脂を用いるのも効果的である。この場合、遮光板ウエハ４１１で隠れた樹脂部分は熱で硬化できるので、まずはＵＶ樹脂硬化により、上下の第１レンズ４０６と第２レンズ４０７の位置を固定した後に、熱処理を行えば、上下の第１レンズ４０６と第２レンズ４０７の位置ずれは生じ難くなる。

続いて、図４（ｃ）の切断工程に示すように、ウェハスケールの第１レンズウェハ４１６の複数の第１レンズ４０６の表面側、または第２レンズウエハ４１７の複数の第２レンズ４０７の裏面側に切断保持テープ（図示せず）を貼り付ける。切断保持テープと反対面側に切断保護テープ（図示せず）を貼り付けてもよい。さらに、点線で示すダイシングラインＤＬに沿ってレンズウエハモジュール４１８を一括切断してレンズモジュール４０８に個片化する。

ここで、撮像素子ウエハ４０１上を覆うようにガラス板などのウエハ状の透明支持基板を樹脂接着層４０４により接着固定して撮像素子ウエハユニットを作製する。この撮像素子ウエハユニットをダイシングラインＤＬに沿って一括切断して、図５の撮像素子チップモジュール４１２として個片化する。

さらに、図５の撮像素子モジュール組み立て工程に示すように、開放部が上になるように遮光ホルダ４０２を逆さに設置し、レンズモジュール４０８を第１レンズ４０６側から挿入して第１レンズ４０６の傾斜面４０６Ｂを遮光ホルダ４０２の傾斜面４０２Ｃに嵌合させる。その後、レンズモジュール４０８の自重で、第１レンズ４０６の環状の傾斜面４０６Ｂと遮光ホルダ４０２の絞り開口Ｂの内側の環状の傾斜面４０２Ｃとが互いに案内されて第１レンズ４０６の上側のスペーサ部４０６Ｃが遮光ホルダ４０２の底面部４０２Ｂに精度よく嵌合する。さらに、レンズモジュール４０８を遮光ホルダ４０２内に接着材などで固定する。その後、遮光ホルダ４０２の段差部４０２Ａ上に撮像素子チップモジュール４１２の透明支持基板４０５側を設置して接着材などで固定する。これによって、撮像素子モジュール４００を製造することができる。

このように、撮像素子モジュール４００の製造方法は、遮光ホルダ４０２の開放側に最も上側の第１レンズ４０６側から挿入した後に自重により、最も上側の第１レンズ４０６の傾斜面４０６Ｂと遮光ホルダ４０２の絞り開口Ｂの内側の傾斜面４０２Ｃとが互いに案内されて遮光ホルダ４０２の絞り開口部Ｂと第１レンズ４０６の光学面Ａとを位置決めするレンズモジュール組み立て工程と、撮像素子４０３上を覆うように透明支持基板４０５を接着固定した撮像素子チップモジュール４１２を、撮像素子４０３と光学面Ａとを位置合わせして遮光ホルダ４０２内に固定する撮像素子チップモジュール組み立て工程とを有している。このようにして、遮光ホルダ４０２内に、レンズまたはレンズモジュール４０８と撮像素子チップモジュール４１２とが位置合わせされて固定される撮像素子モジュール４００を得ることができる。

このように、遮光カバーである遮光ホルダ４０２に対して、レンズモジュール４０８を途中まで挿入し、その後は、レンズモジュール４０８を落下させて嵌合部（傾斜面４０２Ｃおよび４０６Ｂ）で斜面に沿わせて精度よく位置決めし、その後、撮像素子チップモジュール４１２を遮光ホルダ４０２内に搭載する。

１０μｍ程度の位置決め精度を持つ部品搬送装置は非常に高額であるが、３０μｍ程度の位置決め精度を持つ部品搬送装置であれば比較的安価であるため、隙間が３０μｍ程度の位置決めまでは、レンズモジュール４０８を遮光ホルダ４０２まで持って行って挿入し、その後は落下させてレンズモジュール４０８を遮光ホルダ４０２の嵌合部（傾斜面４０２Ｃおよび４０６Ｂ）に沿わせて高精度に位置決めすることができる。

図１０は、図９（ａ）の遮光板ウエハ４１１Ａを用いる場合と用いない場合を説明するための図であって、（ａ）は第１レンズ４０６の表面形状の要部断面図、（ｂ）は底部のない平坦部上に第１レンズ４０６が接着材４０９で固定された場合の裏面形状の要部断面図、（ｃ）は第１レンズ４０６と第２レンズ４０７の接合面の要部断面図、（ｄ）、（ｅ）および（ｇ）は第１レンズ４０６と第２レンズ４０７で遮光板４１０を直に挟み込んだ場合の接合面の要部断面図、（ｆ）は底部のない平坦部上に第１レンズ４０６で遮光板４１０を直に挟み込んだ場合の接合面の要部断面図である。

図１０（ｂ）および図１０（ｃ）は遮光板４１０を用いない場合であって、図１０（ｂ）では、底部のない平坦部上に第１レンズ４０６のスペーサ部４０６Ｄが直に当接してレンズ間隔を安定化させ、スペーサ部４０６Ｄの外周側の底面部４０６Ｅの空間部分に接着材４０９が配置されている。この場合、底部のない平坦部と第１レンズ４０６との組み合わせは、例えば底部のない第２レンズと底部のある第１レンズ４０６との組み合わせ、ガラス板などの透明支持体と底部のある第１レンズ４０６との組み合わせがある。

図１０（ｃ）では、第１レンズ４０６のスペーサ部４０６Ｄと第２レンズ４０７のスペーサ部４０７Ｄが直に当接してレンズ間隔を安定化させ、スペーサ部４０６Ｄおよび４０７Ｄの外周側の底面部４０６Ｅおよび４０７Ｅの空間部分に接着材４０９が配置されている。

また、図１０（ｄ）〜図１０（ｇ）は遮光板４１０を用いる場合であって、図１０（ｄ）は切断位置と一致した遮光板４１０Ａを用いる場合、図１０（ｅ）は遮光板４１０Ａよりも短く接着材４０９の内部に位置した遮光板４１０Ｂを用いる場合（切断案内孔を有する場合）、図１０（ｆ）および図１０（ｇ）は接着材４０９と離間した遮光板４１０Ｃおよび４１０Ｅを用いる場合を示している。

ここで、図１０（ｄ）〜図１０（ｇ）のメリットおよびデメリットについて説明する。

図１０（ｄ）では、切断外周ぎりぎりまで遮光板４１０Ａの外周端部があるので遮光性に優れている。遮光板４１０Ａは、切断に関して、切断面積が増えるのでよくない。また、レンズと遮光板４１０Ａという異なる材料を接着材４０９で接着しているので、例えばリフローの熱処理時に遮光板４１０Ａまたはレンズ底部の界面で接着材４０９に剥離が発生する虞がある。
図１０（ｅ）では、図２５（ｄ）の場合に比べて、遮光板４１０Ｂに隙間（切り欠き部４１１ｅ）がある分だけ若干遮光性が落ちるものの、切断面積が減るので切断性は良くなる。隙間（切り欠き部４１１ｅ）を通して、レンズと接着材４０９だけで接着している部分があるので、接着材４０９は剥離し難くなる。

図１０（ｆ）および図１０（ｇ）では、図１０（ｅ）の場合にに比べて、隙間（切り欠き部４１１ｅ）が大きく空いている分だけ更に遮光性は落ちるものの、切断性については同等、剥離性については、レンズと接着材４０９だけで接着している部分が増えるので更に良くなる。

第１レンズ４０６のスペーサ部４０６Ｄと第２レンズ４０７のスペーサ部４０７Ｄを直に当接していない場合で、リフロー時に、通気孔４０９Ａを有して樹脂剥がれを防止する事例として、図１１（ａ）〜図１１（ｄ）を用いて説明する。

図１１は、第１レンズのスペーサ部と第２レンズのスペーサ部を直に当接させない場合について説明するための図であって、（ａ）は遮光板４１０Ｆを用いない場合のレンズ接合面の要部断面図、（ｂ）はその平面図、（ｃ）は遮光板４１０Ｆを用いる場合のレンズ接合面の要部断面図、（ｄ）はその平面図である。

図１１（ａ）〜図１１（ｄ）に示すように、上側の光学素子のスペーサ部４２０の平坦面の更に外周側の平坦部と、下側の光学素子のスペーサ部４２１の平坦面の更に外周側の連なった平坦部によって囲まれた空間部分に接着材４０９が配置されている。この場合、上側の光学素子のスペーサ部４２０と、下側の光学素子のスペーサ部４２１の各平坦面が直に当接していない。

また、図２６（ｃ）および図２６（ｄ）に示すように、複数の光学素子のうち、上側の光学素子のスペーサ部４２０と、下側の光学素子のスペーサ部４２１の各平坦面の間に遮光板４１０Ｆが介在しているものの、遮光板４１０Ｆはスペーサ部４２０および４２１と接しておらず、遮光板４１０Ｆは接着材４０９を介してスペーサ部４２０および４２１と接している。この場合は、接着材４０９は切断案内孔の位置に配置されて遮光板４１０Ｆと上下のレンズを接着しているが、接着材４０９は遮光板４１０Ｆの切断案内孔の位置に配置されるとは限らず、遮光板と上側レンズ間、および遮光板と下側レンズ間に、接着材４０９を配置してもよい。

以上により、本実施形態１によれば、上側の第１レンズ４０６と下側の第２レンズ４０７が遮光ホルダ４０２内に収容され、上側の第１レンズ４０６のスペーサ部４０６Ｄと下側の第２レンズ４０７のスペーサ部４０７Ｄの少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板４１０が介在されており、この遮光板４１０は、光学素子の光学面に対応する位置に開口部４１１ａが形成されていると共に、遮光板４１０の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部４１１ｅを有している。このように、遮光板４１０を薄くすることにより、レンズ相互の間隔のばらつきをより抑制して光学特性を良好にすると共に、遮光板４１０の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部４１１ｅを有しているので切断面積が少なくなって、一括切断時に、より良好に切断することができる。

また、遮光板４１０の外周部が第１レンズ４０６および第２レンズ４０７の外周端に到達せず、切り欠き部４１１ｅによって隙間が空くようにしているため、接着材４０９へのＵＶ光を遮光板４１０が遮らない。このため、従来の熱処理時に上下のレンズの伸びの差からレンズが変形するのを回避することができて、レンズモジュール４０８全体の寸法安定性がよい。

さらに、本実施形態１によれば、遮光ホルダ４０２の絞り開口部Ｂに対向する第１レンズ４０６の光学面Ａの外周側に平坦部４０６Ａから傾斜面４０６Ｂを介してスペーサ部４０６Ｃが設けられ、遮光ホルダ４０２の絞り開口部裏側内面には、第１レンズ４０６の傾斜面４０６Ｂに対向するように傾斜面４０２Ｃを介して平坦な底面４０２Ｂが設けられ、第１レンズ４０６の傾斜面４０６Ｂが遮光ホルダ４０２の傾斜面４０２Ｃに案内されて底面４０２Ｂにスペーサ部４０６Ｃが嵌合されている。このように、第１レンズ４０６の環状の傾斜面４０６Ｂと、遮光ホルダ４０２内側の環状の傾斜面４０２Ｃとが互いに案内されて、突出した環状の傾斜面が凹んだ環状の傾斜面に嵌合するため、レンズモジュール４０８を遮光ホルダ４０２の嵌合部に沿わせて高精度に位置決めすることができる。これによって、遮光ホルダ４０２の絞り開口部Ｂおよびその中心に対するレンズ光軸Ｃのずれや傾きを防止することができて光学特性を良好にすることができる。

（実施形態２）
図１２は、本発明の実施形態２として、本発明の実施形態１のセンサモジュール１０を含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。

図１２において、本実施形態２の電子情報機器９０は、上記実施形態１のセンサモジュール１０からの撮像信号を各種信号処理してカラー画像信号を得る固体撮像装置９１と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を記録用に所定の信号処理した後にデータ記録可能とする記録メディアなどのメモリ部９２と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示可能とする液晶表示装置などの表示手段９３と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を通信用に所定の信号処理をした後に通信処理可能とする送受信装置などの通信手段９４と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を印刷用に所定の信号処理をした後に印刷処理可能とするプリンタなどの画像出力手段９５とを有している。なお、この電子情報機器９０として、これに限らず、固体撮像装置９１の他に、メモリ部９２と、表示手段９３と、通信手段９４と、プリンタなどの画像出力手段９５とのうちの少なくともいずれかを有していてもよい。

この電子情報機器９０としては、前述したように例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラ、ドアホンカメラ、車載用後方監視カメラなどの車載用カメラおよびテレビジョン電話用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、テレビジョン電話装置、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置（ＰＤＡ）などの画像入力デバイスを有した電子機器が考えられる。

したがって、本実施形態２によれば、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号に基づいて、これを表示画面上に良好に表示したり、これを紙面にて画像出力手段９５により良好にプリントアウト（印刷）したり、これを通信データとして有線または無線にて良好に通信したり、これをメモリ部９２に所定のデータ圧縮処理を行って良好に記憶したり、各種データ処理を良好に行うことができる。

なお、上記実施形態２の電子情報機器９０に限らず、本発明の電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたピックアップ装置などの電子情報機器であってもよい。この場合のピックアップ装置の光学素子としては、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子（例えばホログラム光学素子）である。また、ピックアップ装置の電子素子としては、出射光を発生させるための発光素子（例えば半導体レーザ素子またはレーザチップ）および入射光を受光するための受光素子（例えばフォトＩＣ）を有している。

なお、本実施形態１では、特に詳細には説明しなかったが、複数の光学素子として例えば第１レンズ４０６および第２レンズ４０７が遮光ホルダ４０２内に収容され、上側の第１レンズ４０６のスペーサ部４０６Ｄと下側の第２レンズ４０７のスペーサ部４０７Ｄの少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板４１０が介在されており、この遮光板４１０は、第１レンズ４０６および第２レンズ４０７の各光学面Ａに対応する位置に開口部４１１ａが形成されていると共に、遮光板４１０の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部４１１ｅを有している。これにより、レンズ間に遮光板が介在する場合に、レンズ相互の間隔のばらつきを抑制して光学特性を良好にすると共に、一括切断時により良好に切断することができる本発明の目的を達成することができる。

以上のように、本発明の好ましい実施形態１、２を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態１、２に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態１、２の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

本発明は、一または複数の光学素子が遮光ホルダ内に収容されたレンズモジュールや光学機能素子モジュールなどの光学素子モジュールおよびその製造方法、この光学素子モジュールと電子素子をモジュール化した電子素子モジュールおよびその製造方法、この電子素子モジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、テレビジョン電話装置、カメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器の分野において、第１レンズの環状の傾斜面と、遮光ホルダ内側の環状の傾斜面とが互いに案内されて、突出した環状の傾斜面が凹んだ環状の傾斜面に嵌合するため、例えば第１レンズと第２レンズからなるレンズモジュールを遮光ホルダの嵌合部に沿わせて高精度に位置決めすることができる。これによって、レンズ間に遮光板が介在する場合に、レンズ相互の間隔のばらつきを抑制して光学特性を良好にすると共に、一括切断時により良好に切断することができる。また、レンズ間に遮光板が介在する場合に、レンズ相互の間隔のばらつきを抑制して光学特性を良好にすると共に、一括切断時により良好に切断することができる。さらに、遮光板の外周部が上側の光学素子と下側の光学素子の外周端に到達せず、切り欠き部によって隙間が空くようにしているため、接着材へのＵＶ光を遮光板が遮らないため、従来の熱処理時に上下のレンズの伸びの差からレンズが変形するのを回避することができて、レンズモジュール全体の寸法安定性を良好なものにすることができる。さらに、鏡筒の絞り開口部およびその中心に対するレンズ光軸Ｃのずれや傾きを防止して光学特性を良好にすることができる。

４００ 撮像素子モジュール
４０１ 撮像素子チップ（電子素子チップ）
４０２ 遮光ホルダ
４０２Ｂ、４０６Ｂ 傾斜面
４０３ 撮像素子
４０４ 樹脂接着層
４０５ 透明支持基板
４０６ 第１レンズ
４０６Ａ 平坦面
４０６Ｃ、４０６Ｄ、４０７Ｄ スペーサ部
４０６Ｅ、４０７Ｅ 底面部（底部）
４０７ 第２レンズ
４０８ レンズモジュール
４０９ 接着材
４０９Ａ 通気孔
４１０、４１０Ａ〜４１０Ｃ、４１０Ｅ 遮光板
４１１ａ レンズ開口部（貫通孔）
４１１ｂ 長孔（短冊状孔）
４１１ｃ 十字孔
４１１ｄ Ｌ字孔
４１１ｅ 切り欠き部
４１１、４１１Ａ、４１１Ｂ 遮光板ウエハ
４１２ 撮像素子チップモジュール
４１６ 第１レンズウエハ
４１７ 第２レンズウエハ
４１８ レンズウエハモジュール
４２０、４２１ スペーサ部
Ａ 光学面
Ｂ 絞り開口部
Ｇ 当接部
Ｈ 接着部

Claims (21)

1. 複数の光学素子が遮光ホルダ内に収容され、上側の光学素子には、該上側の光学素子の中央部に光学面が形成されており、該上側の光学素子には、該上側の光学素子の光学面を囲むように環状に突出したスペーサ部が形成されており、該上側の光学素子のスペーサ部は、少なくとも平坦面を有しており、下側の光学素子には、該下側の光学素子の中央部に光学面が形成されており、該下側の光学素子には、該下側の光学素子の光学面を囲むように環状に突出したスペーサ部が形成されており、該下側の光学素子のスペーサ部は、少なくとも平坦面を有しており、該上側の光学素子のスペーサ部と該下側の光学素子のスペーサ部の少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板が介在されており、該遮光板は、該光学素子の光学面に対応する位置に開口部が形成されていると共に、該遮光板の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部を有しており、
   該切り欠き部は、平面視４角形の４つの角部に形成されており、
   該切り欠き部に、接着材が配置されており、該接着材で該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されている光学素子モジュール。
2. 前記切り欠き部と接触しないように前記上側の光学素子と前記下側の光学素子とが前記接着材で接着されており、該接着材の平面視形状が１／４円形状である請求項１に記載の光学素子モジュール。
3. ４つの角部の切り欠き部は、１／４円形状または、該角部に沿ったＬ字状のうちのいずれかである請求項１に記載の光学素子モジュール。
4. 前記遮光板は、金属製である請求項１に記載の光学素子モジュール。
5. 前記遮光板の厚さは最大厚さ１００μｍとする請求項４に記載の光学素子モジュール。
6. 前記遮光ホルダの絞り開口部に対向する前記光学素子の光学面の外周側に平坦部から環状の傾斜面を介してスペーサ部が設けられ、該遮光ホルダの絞り開口部裏側内面には、該光学素子の環状の傾斜面に対向するように環状の傾斜面を介して平坦な底面が設けられ、該光学素子および該遮光ホルダの各環状の傾斜面が互いに案内可能とされている請求項１に記載の光学素子モジュール。
7. 前記光学素子の環状の傾斜面および前記遮光ホルダの環状の傾斜面は、前記平坦面に対して３０度〜８０度の角度で傾斜している請求項６に記載の光学素子モジュール。
8. 前記遮光ホルダの平面視４角形の内面と前記一または複数の光学素子の平面視４角形の外側面との隙間を３０〜１００μｍ空けている請求項６に記載の光学素子モジュール。
9. 前記光学素子の環状の傾斜面と前記遮光ホルダの環状の傾斜面との隙間は最大２０μｍである請求項６または８に記載の光学素子モジュール。
10. 上側の光学素子裏側の光学面の外周側のスペーサ部と、下側の光学素子表側の光学面の外周側のスペーサ部との各平坦面の更に外周側にテーパ部を介して設けられた底部によって囲まれた空間部にのみ接着材が配置されて、該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されている請求項１に記載の光学素子モジュール。
11. 前記テーパ部を介した底部による空間部分にのみ前記接着材が配置され、少なくとも前記上下のテーパ部による空間部分には該接着材が配置されておらず、接着時に、前記上側の光学素子と前記下側の光学素子によって該接着材が押圧されて、前記スペーサ部まで広がらない十分なスペースを、少なくともテーパ部による空間部分に有している請求項１０に記載の光学素子モジュール。
12. 前記接着材は、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂または、紫外線（ＵＶ）硬化および熱硬化樹脂である請求項１０または１１に記載の光学素子モジュール。
13. 前記光学面、その外周側の傾斜面および前記スペーサ部は透明樹脂材料により一括成型されている請求項１または３に記載の光学素子モジュール。
14. 前記光学素子はレンズである請求項１または３に記載の光学素子モジュール。
15. 前記光学素子は、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子である請求項１または３に記載の光学素子モジュール。
16. 請求項１〜１５のいずれかに記載の光学素子モジュールを製造する光学素子モジュールの製造方法であって、前記遮光ホルダの開放側に光学素子モジュールを最も上側の光学素子側から挿入した後の自重により、最も上側の光学素子の傾斜面と該遮光ホルダの絞り開口の内側の傾斜面とが互いに案内されて該遮光ホルダの絞り開口部と該光学素子の光学面とを位置決めする組み立て工程を有する光学素子モジュールの製造方法。
17. 前記組み立て工程に先立って、
    複数の光学面が２次元状に配列された上側のレンズウエハと、複数の光学面が２次元状に配列された下側のレンズウエハとを、その間に遮光板ウエハを挟み込んで上下の光学面の光軸と該遮光板ウエハの開口部が一致するように接着材で貼り合わせて光学素子ウエハモジュールを作製する貼り合わせ工程と、
    該接着材にＵＶ光を照射して樹脂硬化させるＵＶ光照射工程と、
    該光学素子ウエハモジュールをダイシングラインに沿って一括切断して光学素子モジュールに個片化する切断工程とを有する請求項１６に記載の光学素子モジュールの製造方法。
18. 請求項１〜１５のいずれかに記載の光学素子モジュールにおける遮光ホルダ内に、
    前記光学素子の光学面に対向する電子素子上を覆うように透明支持基板を接着固定した撮像素子チップモジュールを、該電子素子と該光学面とが位置合わせされて固定されている電子素子モジュール。
19. 請求項１６または１７に記載の光学素子モジュールの製造方法を用いた光学素子モジュール組み立て工程と、
    前記光学素子の光学面に対向する電子素子上を覆うように透明支持基板を接着固定した電子素子チップモジュールを、該電子素子と該光学面とを位置合わせして該遮光ホルダ内に固定する電子素子チップモジュール組み込み工程とを有する電子素子モジュールの製造方法。
20. 請求項１４に記載の光学素子モジュールが設けられた電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いた電子情報機器。
21. 請求項１５に記載の光学素子モジュールが設けられた電子素子モジュールを情報記録再生部に用いた電子情報機器。
    

Images