JP4280249B2 - チャンバをシールするための方法及び装置 - Google Patents

Description

発明の内容

本出願は、２００４年７月１２日出願の米国仮特許出願第６０/５８７,１１４号及び２００４年６月２日出願の米国仮特許出願第６０/５７６,９０６号に対する優先権を主張し、これらの開示内容は全てについて全体で本明細書に援用されている。
本発明の分野
本発明は、一般的にはフラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造に関し、更に詳細にはチャンバをシールするための方法及び装置に関する。
背景
フラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイスを製造するデバイスの処理量を増加させるために、第一ロードロック上に第二ロードロックを積重ねることができる。真空状態がロードロック内で形成することができるように各ロードロックはロードロックをシールするための１つ以上のロードロックドアを含むことができる。圧力勾配（例えば、ロードロックの外側の大気圧及び/又はロードロック内の真空圧）は、ロードロックの最上面又は底面を動かすことができ、従ってロードロックの１つ以上の壁を動かすことができる。ロードロックドアを含むロードロック壁の移動によって、シーリングガスケット、ロードロック壁とロードロックドア間に摩擦を生じてしまう。そのような摩擦はガスケットを摩耗させるとともにフラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造間で欠陥を作り出す微粒子を生成させてしまう。

シーリング表面を含む壁の圧力誘起移動が減少するように１つ以上の壁、大きな厚さの最上面及び/又は底面を有するロードロックを設計することができる。しかしながら、壁の厚さが増加すると、ロードロックの最上面及び/又は底面には過剰の材料を必要とし、それ故にロードロックのコストと重量が増加する。更に１つ以上の積重ねたロードロックの最上面及び/又は底面の厚さの増加は、ロードロックのピッチを増加させ、基板を積重ねたロードロックに及び/又はロードロックから移送する移送機構のコストを複雑にし及び/又は増加させることによって積重ねたロードロックを含む製造設備の複雑さとコストを増大させる。

従って、チャンバ（例えばロードロック）をシールするための改善された方法及び装置が望まれる。
本発明の概要
本発明のある種の態様においては、シーリング表面を含む少なくとも１つのシーリング表面壁を有する本体を含むロードロックチャンバが提供される。シーリング表面壁は、基板を導入するか又は取出すように適合したシーリング表面に隣接した開口部を有する。更に、その本体は複数の側壁を含んでいる。ロードロックチャンバは、また、本体に結合した最上面を含む。その最上面は、最上面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる。ロードロックチャンバは、更に、最上面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の最上面シーリング部材を含んでいる。各最上面シーリング部材は、最上面の第二部分に相対した最上面の第一部の移動を吸収する。

本発明のある態様においては、（１）最上面の中心部の移動によって引き起こされるシーリング表面壁の移動を減少させるように第一ロードロックチャンバの最上面の中心部とシーリング表面壁間の隙間を画成するステップと；（２）その隙間を可撓性隙間シーリング部材でシールするステップとを含む第一ロードロックチャンバをシールするための方法が提供される。

本発明のある態様においては、複数の積重ねたロードロックチャンバを含むロードロックシステムが提供される。各ロードロックチャンバは、（１）基板を導入するか又は取出すように適合したシーリング表面に隣接した開口部を有する、シーリング表面を含む少なくとも１つのシーリング表面壁と；（２）複数の側壁を有する本体とを含んでいる。各ロードロックチャンバは、また、（ａ）最上面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含む、本体に結合した最上面と；（ｂ）各最上面シーリング部材が最上面の第二部分に相対して最上面の第一部分の移動を吸収する、最上面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の最上面シーリング部材と；（ｃ）底面が第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含む、本体に結合した底面と；（ｄ）各底面シーリング部材が底面の第二部分に相対して底面の第一部分の移動を吸収する、底面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の底面シーリング部材とを含んでいる。多くの他の態様も提供される。

本発明の他の特徴及び態様は、以下の詳細な説明、添付の特許請求の範囲及び次の図面から更に十分に明らかになる。
詳細な説明
本発明は、ロードロックチャンバ又はチャンバの上又は下に積重ねた隣接のロードロックチャンバにおける圧力又は圧力変化によって引き起こされたロードロックチャンバの最上面及び/又は底面の移動によるチャンバ（例えば、ロードロック）シーリング表面の移動を減少させることに関する。更に、本発明のチャンバドア（例えば、ロードロックチャンバドア）は、ロードロックチャンバのシーリング表面壁に結合し移動することができる。下記のように、ロードロックチャンバのシーリング表面壁は、ロードロックチャンバの圧力又は圧力変化及び/又は隣接したロードロックチャンバの圧力又は圧力変化によって移動することができる。

図１は、本発明の実施形態の例示的な第一ロードロックシステム１０１を示す側面図である。図１を参照すると、例示的な第一ロードロックシステム１０１は、垂直に積重ねた複数のロードロック１０３-１０７を含んでいる。例示的な第一ロードロックシステムは、第二ロードロック１０５の下に積重ね、第三ロードロック１０７の最上面上に積重ねた第一ロードロック１０３を含んでいる。第一ロードロック１０３は、複数のシーリング表面壁１０９‐１１１を画成する本体１０８を含んでいる。シーリング表面壁１０９‐１１１は、ステンレス鋼、アルミニウム等から形成することができる。第一ロードロック１０３の１つ以上のシーリング表面壁１０９‐１１１は、フラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造の間で基板（例えば、ガラス基板、ポリマー基板、半導体ウェハ等）を導入するか及び/又は取出すための開口部１１５‐１１７を含んでいる。

ロードロックドア１１９‐１２１は、ロードロック１０３をシールするためにそれぞれのシーリング表面壁１０９‐１１１（例えば、シーリング表面壁１０９‐１１１における開口部１１５‐１１７の周りのシーリング表面壁１０９‐１１１のシーリング表面１２２）に結合させることができる。ロードロックドア１１９-１２１は、ロードロック１０３の内部又は外部であってもよい。例えば、第一ロードロック１０３は、第一シーリング表面壁１０９に結合するとともに第一開口部１１５をシールするように適合した外部ドア１１９を含み、第二シーリング表面壁１１１に結合するとともに第二開口部１１７をシールするために適合した内部ドア１２１を含んでいる。多くの又は少しのドア及び/又は異なるドア位置を使うことができる。各ロードロックドア１１９‐１２１は、Ｏリングのようなガスケット１２３によってシーリング表面壁１０９‐１１１に結合することができる。

第一ロードロック１０３は、シーリング表面壁（例えば、シーリング表面壁１０９-１１１の上部周囲）に結合した最上面１１３を含んでいる。第一ロードロック１０３の最上面１１３は、第二ロードロック１０５の底面としての働きがある。図１に示される最上面１１３はマルチピース最上面であるが、ワンピース最上面（例えば、プレート）を使うことができる。第一ロードロック１０３の最上面１１３は、最上面１１３の第一部分１２９と第二部分１３１を画成する１つ以上のスロット１２５-１２７を含んでいる。１つ以上のスロット１２５-１２７の各々は、最上面１１３における開口部（例えば、最上面１１３の上部面及び下部表面における開口部）を画成する。

第一ロードロック１０３を第二ロードロック１０５からシールするために、ガスケット１３３のような可撓性隙間シーリング部材を、各スロット１２５-１２７によって画成された開口部を覆うために使うことができる。例えば、二重のガスケット（例えば、示差）シールを使うことができる。ガスケット１３３は、エラストマー又は金属ベローズであってもよい（他のガスケット構成及び/又は材料を使ってもよい）。更に、フレーム１３５は、（例えば、各ガスケットを最上面１１３に取付けることにより）各ガスケット１３３に結合し支持することができる。

第一ロードロック１０３は、シーリング表面壁１０９-１１１（例えば、シーリング表面壁１０９-１１１の下部周囲）に結合した底面１３７を含んでいる。第一ロードロック１０３の底面１３７は、第三ロードロック１０７の最上面としての働きがある。第一ロードロック１０３の底面１３７は、構造と機能において第一ロードロック１０３の最上面１１３に類似し、それ故、ここでは詳述しない。

類似した方法で、付加的ロードロックを、第二ロードロック１０５の上及び/又は第三ロードロック１０７の下に積重ねることができる。或いは、第二ロードロック１０５は、積重ねたロードロックシステム１０１の最上面であってもよく及び/又は第三ロードロック１０７は、積重ねたロードロックシステム１０１の底面であってもよい。第三ロードロック１０７が積重ねたロードロックシステム１０１の底面であるという実施形態においては、第三ロードロック１０７の底面１３９は第一ロードロック１０３の底面１３７と類似してもよい。しかしながら、第三ロードロック１０７の底面１３９は第三ロードロック１０７の下のロードロックのドアを適合させる必要がないことから、第三ロードロック１０７の底面１３９は状況に応じて変更することができる。例えば、底面１３９の下部表面は、第一ロードロック１０３の底面１３７に示される切抜き部分のようなドアの移動に適合させる切抜き部分を含む必要がない。更に単一のガスケットシールは、底面１３９のスロット１２５、１２７をシールするために用いることができる。同様に、第二ロードロック１０５が積重ねたロードロックシステム１０１の最上面である実施形態においては、第二ロードロック１０５の最上面１４１は第一ロードロック１０３の最上面１１３に類似してもよい。しかしながら、第二ロードロック１０５の最上面１４１は第二ロードロック１０５上にロードロックのドアを適合させる必要がないことから、第二ロードロック１０５の最上面１４１は状況に応じて変更することができる。単一のガスケットシールは、第二ロードロック１０５の最上面１４１のスロット１２５、１２７をシールするために用いることができる。

図２は、本発明の実施形態の例示的な第一ロードロックシステムにおける第一ロードロック１０３を示す平面図である。ロードロックシーリング表面壁の部分は、この図において取り除かれている。図２を参照すると、フレーム１３５は、ロードロック１０３の最上面１１３（例えば、第二部分１３１の上部表面）の第二部分１３１に結合している。ガスケット（図２に示されていない；図１では１３３）は、フレーム１３５の下にあり、最上面１１３の第二部分１３１におけるスロット（図２に示されていない；図１では１２５）によって画成された開口部をシールする。

図３Ａは、本発明の実施形態の第一ロードロック１０３の部分を示す組立分解図である。図３Ａを参照すると、ロードロック１０３は、複数のシーリング表面壁１０９-１１１及び側壁３０１-３０３を含む本体１０８を含んでいる。第一及び第二シーリング表面壁１０９-１１１は、シーリング表面（例えば、フラッパドアシール表面）を含んでいる。一実施形態においては、ロードロック本体１０８は、鍛造アルミニウム又はステンレス鋼ボックスである。ボックスの長さは約１１０インチで、ボックスの幅は約８８インチであり、ボックスの高さは約１０.５インチである。更に、ボックスのシーリング表面壁１０９-１１１及び/又は側壁３０１-３０３の厚さは、約２インチである。本体１０８は他の材料から形成することができる。更に、異なるロードロック本体構造を使うことができる。例えば、ロードロック本体１０８はより多くの又は少しの側壁を含んでもよく及び/又は異なる寸法であってもよい。

一実施形態においては、第一シーリング表面壁１０９における第一開口部１１５の幅は、約８２.５インチであり、第一シーリング表面壁１０９における第一開口部１１５の高さは、約５.６インチである。第二シーリング表面壁１１１における第二開口部１１７は、同様のサイズとすることができる。他の寸法を用いることもできる。

第一ロードロック１０３の底面１３７は、ワンピースアセンブリであってもよい。例えば、図３Ａの実施形態においては、底面１３７はアルミニウム分離プレートであり、機械加工されたステップを含んでいる（図示せず）。ステンレス鋼等のアルミニウムと類似した他の材料を底面１３７に使うことができる。一実施形態においては、底面１３７の長さは約１１０インチであり、底面１３７の幅は約８８インチであり、底面１３７の厚さは約２インチである。それ故、第一ロードロック１０３の底面１３７は、第一ロードロック１０３内の圧力と第三ロードロック１０７内の圧力のために移動の影響を受けやすい。第一ロードロック１０３の底面１３７は、寸法が異なってもよい。

第一ロードロック１０３の底面１３７は、二つのスロット１２５、１２７が第一部分１２９（例えば、エッジ領域）と底面１３７の第二部分１３１（例えば、中心部）を画成するように配置された二つのスロット１２５、１２７を含んでいる。例えば、各スロット１２５、１２７は楕円型、長さ約８２インチと幅約０.５インチであってもよい。更に、スロット１２５、１２７は、幅約４インチ（各スロット１２５、１２７の中心に対して）のエッジ領域を画成する。スロットは、形状、寸法及び/又は配置が異なってもよい。更に、多くの又は少しのスロットを使うことができる。

述べたように、１つ以上のガスケット１３３をスロット１２５、１２７の各々をシールするために使うことができる。従って、各ガスケット１３３は、ガスケット１３３が結合するスロット１２５、１２７によって画成された開口部をシールするようが寸法である。図３Ａには示されていないが、第一ロードロック１０３の最上面１１３は、第一ロードロック１０３の底面１３７と類似してもよい。

図３Ｂ及び図３Ｃは、それぞれ第一ロードロック１０３の例示的な第二底面１３７’の平面図と側断面図である。底面１３７’は、ステンレス鋼フレーム３０５とアルミニウム挿入部３０７を含むマルチピースアセンブリである（図３Ｃ）。他の材料は、フレーム３０５及び/又は挿入部３０７に用いることができる。一実施形態においては、底面１３７’の長さは約１１０インチであり、底面１３７’の厚さは約８８インチであり、底面１３７’のフレーム３０５の厚さは約２インチである。それ故、第一ロードロック１０３の底面１３７’は、第一ロードロック１０３内の圧力と（図１）第三ロードロック１０７内の圧力のために移動の影響を受けやすいものである。第一ロードロック１０３の底面１３７’は寸法が異なってもよい。

図３Ｄは、例示的な第二底面１３７’の拡大側断面図である。図３Ｄに示されるように、一例示的実施形態においては、スチールフレーム３０５の幅Ｗ１が約３.７インチ〜５.５インチ（スチールフレーム３０５が図３Ｆによって以下に記載されるようにロードロックシステムの“中央”又は“外側”の最上面又は底面のいずれかに依存して）、第一厚さＴ１が約２インチ、第二厚さＴ２が約４インチであり、ステップ３０９がアルミニウム挿入部３０７を適合させるためにその中に形成されている。ステップ３０９の幅Ｗ２は約１.８インチ、高さＨ１は約０.２インチである。アルミニウム挿入部３０７はフレーム３０５内に設置されるようなサイズであってもよく、スチールフレーム３０５のステップ３０９上に置かれる挿入部３０７のフランジ３１１によって支持されている。一実施形態においては、挿入部３０７のフランジ３１１の厚さは約１.１〜約２.４インチであってもよく、挿入部３０７の全体の厚さは約４.５インチであってもよい。フレーム３０５及び/又は挿入部３０７について他の寸法を使ってもよい。

図３Ｅは、図３Ｄの実施形態に類似しているが、フレーム３０５の厚さＴが一様である（例えば、一実施形態においては約２インチであるが、他の寸法が用いることができる）例示的な第二底面１３７’の代替的実施形態の拡大側断面図である。図３Ｅの底面１３７’の残りの寸法は、図３Ｄの底面１３７’と同様であってもよい。

図３Ｆは、例示的な第二底面１３７’を使う第二ロードロックシステム１０１’の部分側断面図である。本体１０８、シーリング表面壁１０９-１１１、開口部１１５-１１７及び/又は各ロードロック１０３-１０７のロードロックドア１１９-１２１は図３Ｆに示されていないが、図１に示されているものと同様であってもよい（が他の適した構成成分を使うこともできる）。

図３Ｆのロードロックシステム１０１’は、図３Ｂ-図３Ｅによって記載される底面１３７’と類似した第一（中心）ロードロック１０３の最上面１１３’が使われている。即ち、最上面１１３’は、フレーム３０５と挿入部３０７を含んでいる。（第二ロードロックチャンバ１０５の最上面１４１’は第一ロードロックチャンバ１０３の最上面１１３’と同様であり、第三ロードロックチャンバ１０７の底面１３９’は第一ロードロックチャンバ１０３と同様である。）図３Ｅの底面１３７’に類似した最上面と底面を使うことができることに留意すること。

図３Ｇは、各最上面１１３’/底面１３７’のフレーム３０５から分離された挿入部３０７を示す図３Ｆの構成成分の組立分解部分側断面図である。図３Ｆと図３Ｇの実施形態においてはロードロックシステム１０１’の“中心”フレーム３０５が、（１）第一（中心）ロードロック１０３の最上面１１３’の挿入部３０７が第二（上部）ロードロック１０５の最上面１４１’のフレーム３０５を通過すること；（２）第一（中心）ロードロック１０３の底面１３７’の挿入部３０７が第三（下部）ロードロック１０７の底面１３９’のフレーム３０５を通過することを可能にするようにロードロックシステム１０１’へ更に伸びる。本発明の一実施形態において、ロードロック１０３の最上面１１３’と底面１３７’の挿入部３０７は約８８インチ×約７３インチであり、第二ロードロック１０５の最上面１４１’の挿入部３０７は約９５インチ×８１インチであり、第三ロードロック１０７の底面１３９’の挿入部３０７は約９５インチ×８１インチである。挿入部３０７の全体の厚さは、約４.５インチである。他のサイズの挿入部を用いることもできる。挿入部３０７は、あらゆるシーリング機構（例えば、Ｏリング）及び/又はファスニング機構（例えば、ボルト、ねじなど）によってフレーム３０５に結合することができる。一実施形態においては、２つの下部挿入部３０７のフランジ３１１は、約１.１インチの厚さで、２つの上部挿入部３０７のフランジ３１１は約２.４インチの厚さである（例えば、上部及び下部の両挿入部の全体の厚さは約４.５インチである）。一以上の実施形態においては、上部と下部のフランジ３１１の厚さの差は、３つのロードロック１０３-１０７の容積がほぼ等しくすることを可能にする。フレーム３０５は、図３Ｄ又は図３Ｅのフレーム３０５と類似してもよい。他のフランジ/挿入部のサイズ及び/又は形が用いることもできる。

図３Ｂ-３Ｇを参照すると、第一ロードロック１０３の底面１３７’は、底面１３７’ （フレーム３０５内）の第一部分１２９（例えば、エッジ領域）と第二部分１３１（例えば、中心部）を画成するように配置された２つのスロット１２５、１２７を含んでいる。例えば、各スロット１２５、１２７は、長さ約８２インチ、幅約０．５インチの楕円形であってもよい。更に、スロット１２５、１２７は、幅約４インチのエッジ領域（各スロット１２５、１２７の中心に対して）を画成する。スロットは、形、寸法及び/又は配置が異なってもよい。更に、多くの又は少しのスロットを使うことができる。

図３Ｈは、スロット１２５の例示的実施形態を示すロードロック１０３の底面１３７’の一部の斜視断面図である。スロット１２７は、同様に構成されてもよい。

スロット１２５は、底面１３７’のフレーム３０５領域内に示されている。例示的な一実施形態においては、スロット１２５の幅ＷＳは、約０.５インチである。述べたように、１つ以上のガスケット１３３ａ-ｂ（例えば、ゴム、デュポン社から入手できるＶｉｓｔｏｎ(登録商標)のようなフロロエラストマー、金属又は他の適した物質）は、スロット１２５をシールするために使うことができる。ガスケット１３３ａ-ｂは、ステンレス鋼又は類似した保持プレート３１３又は適した構造によって（例えば、ボルト、ねじ又は他のファスナによって）フレーム３０５を固定することができる。スロット１２５は、示されるガスケット１３３ａ-ｂ及び/又は保持プレート３１３を適合させるステップを含むことができる。一実施形態においては、スロット１２５内のステップは、ガスケット１３３ａ-ｂ及び/又は保持プレート３１３の厚さであってもよい深さ約０.１インチとすることができる。他のステップ、ガスケット及び/又は保持プレートのサイズを用いることができる。

スロット１２５は、底面１３７’内の圧力誘起応力を軽減する特徴部３１５を含むことができる（例えば、高い応力を受ける場所として働く鋭いエッジを避けることによって）。一実施形態においては、半径特徴部３１５の半径はそれぞれ１インチの約３/８の半径であるが、他の寸法を用いてもよい。

図３Ｈに示されるように、キャビティ３１７は、スロット１２５内のガスケット１３３ａ-ｂ間に形成される。少なくとも一実施形態においては、ロードロックチャンバ１０３が使用されている間、キャビティ３１７を排気することができる（例えば、約５００ミリトル又は他の適した圧力に）。図３Ｉは、スロット１２５を排気するために用いることができる例示的なポンピングチャンネル３１９を示す底面１３７’の一部の斜視断面図である。他のポンピングチャンネル構造を用いることもできる。図３Ｉは、また、スロット１２５（及び/又はスロット１２７）がスロット１２５内の応力を軽減するために放射状端３２１を有してよいことを示す図である。一実施形態において、放射状端３２１は直径が約１インチの鍵穴形を形成するが、他のサイズを用いることもできる。

動作中、フラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造の間、例示的なロードロックシステム１０１、１０１’の２つ以上のロードロック１０３-１０７内部の圧力は異なってもよい。例えば、第一、第二、第三ロードロック１０３-１０７は、それぞれ第一、第二、第三圧力を含むことができる。隣接したロードロック１０３-１０７間の圧力差（更に周囲圧力）は、１つ以上のロードロック１０３-１０７の最上面及び/又は底面を移動させることができる（例えば、垂直からそれる）。例えば、第一及び第二ロードロック１０３-１０５間の圧力差は、第二ロードロック１０５の底面として働く第一ロードロック１０３の最上面１１３、１１３’の１つ以上の部分を下向きに移動させることができる。最上面１１３、１１３’の第二部分１３１（例えば、中心部）が下向きにそれることは、第一部分１２９（例えば、エッジ領域）をそれさせる。スロット１２５、１２７は、最上面１１３、１１３’の中心部分を同じ圧力差異を受ける従来の最上面より多く移動させることができ（例えば、下向き又は上向きに）、最上面１１３、１１３’のエッジ領域を同じ圧力差を受ける従来の最上面より少なく移動させることができる。このようにして、第一ロードロック１０３の最上面１１３、１１３’は、第一ロードロック１０３の最上面１１３、１１３’の第二（中心）部分の移動によって引き起こされる第一（エッジ）部分１２９の移動を減少させるために適応している。

更に、第一ロードロック１０３の最上面１１３、１１３’の第一部分１２９に隣接したロードロックシーリング表面壁１０９、１１１（図１）の移動が減少する。更に詳しくは、最上面１１３、１１３’のエッジ領域１２９の移動（例えば、上向き又は下向き）は、最上面１１３、１１３’の第一部分１２９に隣接したロードロックシーリング表面壁１０９、１１１を移動させる（例えば、上向き又は下向き）。しかしながら、第一ロードロックチャンバ１０３の最上面１１３、１１３’の第一部分１２９の移動を減少させることにより、第一ロードロック１０３の最上面１１３、１１３’の第一部分１２９に隣接したロードロック表面壁１０９、１１１の移動が減少する。同様に、第一ロードロック１０３の最上面１１３、１１３’の第一部１２９の移動によって引き起こされたロードロックシーリング表面１２２の移動も減少する。その結果、ガスケット１２３、ロードロックシーリング表面壁１０９-１１１とロードロックシーリング表面壁１０９-１１１に結合したロードロックドア１１９-１２１間の摩擦が減少する。このようにして、微粒子生成とそれに付随するあらゆる基板の欠陥であるガスケット１２３及び/又は他の接触表面の摩耗が減少する。

本発明の使用によって、ロードロック１０３のシーリング表面１２２（及びロードロック１０５-１０７）は、ロードロック１０３と隣接したロードロック１０５-１０７間の圧力差によって引き起こされた（例えば、ロードロックシステム１０１、１０１’において１つ以上のロードロック１０３-１０７における圧力変動から生じる）ロードロック１０３の他の部分（例えば、最上面１１３、１１３’の中心部）の移動から分離させることができる。それにより、薄い壁厚を用いることができ、ロードロックシステムのコスト及び/又は複雑さが軽減する。

図４は、本発明の実施形態の例示的な第三ロードロックシステム４０１を示す側面図である。図４の例示的な第三ロードロックシステム４０１は、図１の例示的な第一ロードロックシステム１０１に類似している。しかしながら、例示的な第三ロードロックシステムにおけるロードロックの最上面及び/又は底面は、例示的な第一ロードロックシステムとは異なっている。図４を参照すると、例示的な第三ロードロックシステム４０１における第一ロードロックチャンバ４０５の最上面４０３は、最上面４０３の中心部４０８と第一ロードロックチャンバ４０５のシーリング表面壁４０９（例えば、シーリング表面壁４０９の最上面）間のギャップ４０７を画成するように適合している。本発明の一実施形態においては、隙間４０７は、約１/４インチ幅であってもよく、シーリング表面壁４０９に隣接した最上面４０３の第一部分は少なくとも１インチ厚であり、最上面４０３の第二部分（例えば、中心部）は約４-５インチ厚である（が、最上面４０３及び/又はギャップ４０７は寸法及び/又は形とが異なってもよい）。

第一ロードロックチャンバ４０５の最上面４０３は、第二ロードロックチャンバ４１０の底面として働くことができる。このような実施形態においては、上記と類似した方法で、第一ロードロックチャンバ４０５の最上面４０３は、最上面４０３と第二ロードロックチャンバ４１０のシーリング表面壁４１１（例えば、シーリング表面壁４１１の底面）間のギャップ４０７を画成するように適合している。或いは、第二ロードロックチャンバ４１０が存在しない場合には、第一ロードロックチャンバ４０５の最上面４０３は例示的な第三ロードロックシステム４０１の最上面として働くことができる。

最上面４０３は、ガスケットのような、可撓性隙間シーリング部材４１２によってシーリング表面壁４０９、４１１に結合している。更に詳しくは、可撓性隙間シーリング部材４１２は、最上面４０３とシーリング表面壁４０９、４１１間に画成されたギャップ４０７をシールする。可撓性隙間シーリング部材４１２は、最上面４０３の移動によって引き起こされるシーリング表面壁４０９、４１１の移動を減少させるために使われる。その結果、ロードロックシーリング壁４０９、４１１とロードロックドア４２５、４２７間で結合している、ガスケット４２３間の摩擦が減少する。

同様に、例示的な第三ロードロックシステム４０１における第一ロードロックチャンバ４０５の底面４１３は、底面４１３と第一ロードロックチャンバ４０５のシーリング表面壁４０９（例えば、シーリング表面壁４０９の底面）間のギャップ４０７を画成するように適合している。第一ロードロックチャンバ４０５の底面４１３は、第三ロードロックチャンバ４１５の最上面として働くことができる。このような実施形態においては、上記と類似した方法で、第一ロードロックチャンバ４０５の底面４１３は、底面４１３と第三ロードロックチャンバ４１５のシーリング表面壁４１７（例えば、シーリング表面壁４１７の最上面）間のギャップ４０７を画成するように適合する。或いは、第三ロードロックチャンバ４１５が存在しない場合には、第一ロードロックチャンバ４０５の底面４１３が例示的な第三ロードロックシステム４０１の底面として働くことができる。

図５は、本発明の実施形態の例示的な第一ロードロックドア５０１を示す側面図である。例示的な第一ロードロックドア５０１は、フラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造の間、ロードロックチャンバをシールすることができる。図５を参照すると、典型的な第一ロードロックドア５０１は、最上面５０６と底面５０７を含むロードロック５０５のシーリング表面壁５０３に結合することができる。更に詳しくは、例示的な第一ロードロックドア５０１は、シーリング表面壁５０３において開口部５０９の周りのシーリング表面５０８に結合することができる。

ロードロックドア５０１は、フレーム５１３（例えば、アルミニウム又はステンレス鋼フレームのような可撓性クランプフレーム）によってベローズ５１１（例えば、ベローズ/ガスケット）の第一側面（例えば、外部側面）に結合した第一補剛材５１０を含んでいる。第二補剛材５１５は、ベローズ５１１の第二側面（例えば、内部側面）に結合している。第一補剛材５１０は、１つ以上のボルト５１７又は類似した接続手段によって第二補剛材５１５に結合させることができる。第一補剛材と第二補剛材５１０、５１５は、ベローズ５１１の移動を制限し、それ故、例示的な第一ドア５０１に剛さを与える。第一ストイフナ及び/又は第二補剛材５１０、５１５は、アルミニウム、ステンレス鋼等から形成することができる。第二補剛材５１５は、ベローズ５１１の第二側面番わせるように適合している。

ベローズ５１１は、ロードロック５０５にフレキシブル真空シールを与えるように適合している。ベローズ５１１は、１つ以上の曲線Ｒ１を含んでいる。ベローズ５１１は、ステンレス鋼等のエラストマー又は可撓性金属、又は他の材料から形成することができる。

フレキシブルシーリング部材５２３は、ベローズ５１１の第二側面に結合している。更に詳しくは、可撓性シーリング部材５２３の第一側面は、ベローズ５１１の周囲に結合するように適合し、それに応じた寸法である。フレキシブルシーリング部材５２３の第二側面は、例えば、Ｏリングのようなガスケット５２５によってシーリング表面壁５０３（例えば、シーリング表面壁５０３のシーリング表面５０８で）に結合するとともにシールを形成するように適合している。フレキシブルシーリング部材５２３は、アルミニウム又は他の適した材料から形成することができる。可撓性シーリング部材５２３は、１つ以上のボルト５２７又は類似した接続手段によってフレーム５１３に結合させることができる。更に、例示的な第一ドア５０１は、例示的な第一ドア５０１をロードロック５０５に相対してピボットさせることができるシャフト５２９によってロードロック５０５に結合している。

図６は、本発明の実施形態の例示的な第二ロードロックドアを示す側面図である。図６を参照すると、例示的な第二ロードロックドア６０１は、例示的な第一ロードロックドア５０１と類似している。しかしながら、例示的な第二ロードロックドア６０１によって用いられる補剛材の数と形は異なる。更に、例示的な第二ロードロックドア６０１によって用いられるベローズ６０３の形は異なる。例えば、ベローズ６０３のエッジ６０９は曲線Ｒ２を含んでいる。

典型的な第二ロードロックドア６０１は、ベローズ６０３の第一側面に結合した補剛材６０５を含んでいる。補強板６０５は、ベローズ６０３と番わせるように適合している。更に詳しくは、ベローズ６０３に面した補剛材６０５のエッジ６０７は丸い。ボルト６１１及び対応するナット６１３は、補剛材６０５をベローズ０３に結合させるために用いることができるが、他の接続機構を用いることもできる。第二ドア６０１の残りの構成成分は、第一ドア５０１に類似したものであってもよい。

本発明の実施形態のロードロックドアの動作は、例示的な第一ロードロックドア５０１を示す図５よってここで記載されている。例示的な第二ロードロックドア６０１は、同様の方法で作動する。

大気圧のようなシーリング力は、例示的な第一ロードロックドア５０１に加えることができる。ロードロック５０５の最上面５０６の移動によって引き起こされたロードロックドア５０１の移動方向に相対する角度であってもよいシーリング力によって、ロードロックシーリング表面壁５０３に対してロードロックドア５０１が片寄る。本発明によれば、ロードロック５０５の最上面５０６が移動する場合には、可撓性シーリング部材５２３は最上面５０６のロードロックシーリング表面壁５０３に沿って移動する。結果として、ロードロックシーリング表面壁５０３とガスケット５２５及び/又は他の接触表面との間の摩擦は減少する。それ故、ガスケット５２５及び/又は他の接触表面の摩耗が減少する。

例示的な第一ロードロックドア５０１は、積重ねたロードロックシステムのロードロック５０５に結合及び/又は含まれてもよい。例えば、ロードロック５０５は、上のロードロック（図示せず）の下に積重ねられ、下のロードロック（図示せず）の上に積重ねることができる。ロードロック５０５の最上面５０６は、上のロードロックの底面として働くことができる。ロードロック５０５の底面５０７は、下のロードロックの最上面として働くことができる。フラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造の間、ロードロック５０５と上のロードロックと下のロードロックの圧力は、ロードロック５０５の最上面５０６及び/又は底面５０７を前述のように移動させる（例えば、そらす）ことができる。例えば、周囲５３１のような最上面５０６の一部は、ロードロック内の異なる圧力のために移動することができる。

更に、最上面５０６の周囲５３１の移動は、ロードロックシーリング表面壁５０３を移動させる（例えば、上向き又は下向きに）。結果として、シーリング表面壁５０３のシーリング表面５０８が移動する。

本発明の使用によって、ロードロックドア（例えば、ロードロックドアのシーリング特徴部）５０１の１つ以上の部分が、フラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造の間、ロードロックシーリング表面壁５０３と共に移動する。ロードロックドアはロードロックドアをシールするのに十分剛性であるが、ロードロックドアはロードロックシーリング表面壁に沿って移動するのに十分可撓性である。

上記説明は、本発明の例示的な実施形態のみを開示している。本発明の範囲内に包含される上記開示装置及び方法の変更は、当業者に容易に明らかである。ロードロックチャンバについて１つ以上の上記方法及び装置が記載されるが、他の実施形態においては本方法及び装置はフラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造の間に使われる他のタイプのチャンバによっても使うことができる。

本発明の少なくとも一実施形態においては、（１）本明細書に記載される本発明のロードロックチャンバの１つを準備するステップと；（２）ロードロックチャンバ内に基板を保管するステップと；（３）ロードロックチャンバから処理チャンバに基板を搬送するステップと；（４）処理チャンバ内で基板を処理するステップ（例えば、基板上でのフラットパネルディスプレイ及び/又は電子デバイス製造プロセスを行うことにより）を含む方法が提供される。例えば、ロードロックチャンバは、搬送チャンバによって処理チャンバに結合することができ、基板は搬送チャンバ内に配置された真空ロボットによってロードロックチャンバと処理チャンバ間で搬送することができる。基板は、処理チャンバ内の処理後にロードロックチャンバに戻すことができる。

従って、本発明をその例示的な実施形態とともに開示してきたが、他の実施形態も次の特許請求の範囲によって定義される本発明の精神及び範囲内に包含することができることは理解されるべきである。

図１は、本発明の実施形態の例示的な第一ロードロックシステムを示す側面図である。 図２は、本発明の実施形態の例示的な第一ロードロックシステムにおける第一ロードロックを示す平面図である。 図３Ａは、本発明の実施形態の第一ロードロックの部分の組立分解図である。 図３Ｂは、第一ロードロックの例示的な第二底面の平面図である。 図３Ｃは、第一ロードロックの例示的な第二底面の側断面図である。 図３Ｄは、図３Ｂと図３Ｃの例示的な第二底面の拡大側断面図である。 図３Ｅは、図３Ｄの例示的な第二底面の代替的実施形態の拡大側断面図である。 図３Ｆは、図３Ｂ-図３Ｅの底面が使われている例示的な第二ロードロックシステムの部分側断面図である。 図３Ｇは、図３Ｆの構成成分の組立分解部分的側断面図である。 図３Ｈは、スロットの例示的実施形態を示す図３Ｂ-図３Ｅの底面の一部分の斜視断面図である。 図３Ｉは、図３Ｈのスロットを排気するために使うことができる例示的ポンピングチャンネルを示す図３Ｂ-図３Ｅの底面の一部分の斜視断面図である。 図４は、本発明の実施形態の例示的第二ロードロックシステムを示す側面図である。 図５は、本発明の実施形態の例示的第一ロードロックドアを示す側面図である。 図６は、本発明の実施形態の例示的第二ロードロックドアの側面図である。

符号の説明

１０１…ロードロックシステム、１０３…第一ロードロック、１０５…第二ロードロック、１０７…第三ロードロック、１０８…本体、１０９…シーリング表面壁、１１１…シーリング表面壁、１１３…最上面、１１７…第二開口部、１１９…外部ドア、１２１…内部ドア、１２２…シーリング表面、１２３…ガスケット、１２５…スロット、１２７…スロット、１２９…第一部分、１３１…第二部分、１３３…ガスケット、１３５…フレーム、１３７…底面、１３９…底面、１４１…最上面、３０５…フレーム、３０７…挿入部、３０９…ステップ、３１３…保持プレート、３１７…キャビティ、３１９…ポンピングチャンネル、３２１…放射状端、４０１…ロードロックシステム、４０３…最上面、４０５…第一ロードロックチャンバ、４０７…隙間、４０８…中心部、４０９…シーリング表面壁、４１０…第二ロードロックチャンバ、４１１…シーリング表面壁、４１２…可撓性隙間シーリング部材、４１３…底面、４１５…第三ロードロックチャンバ、４２５…ロードロックドア、４２７…ロードロックドア、５０１…第一ロードロックドア、５０３…シーリング表面壁、５０５…ロードロック、５０６…最上面、５０７…底面、５０８…シーリング表面、５０９…開口部、５１０…第一補剛材、５１１…ベローズ、５１３…フレーム、５１５…第二補剛材、５１７…ボルト、５２３…可撓性シーリング部材、５２７…ボルト、５２９…シャフト、５３１…周囲、６０１…ロードロックドア、６０３…ベローズ、６０９…エッジ部、６０５…補剛材、６１１…ボルト、６１３…ナット。

Claims (50)

1. シーリング表面を含み、基板を導入するか又は取出すように適合した該シーリング表面に隣接した開口部を有する、少なくとも１つのシーリング表面壁と、複数の側壁とを有する本体と、
   該本体に結合した最上面であって、該最上面が該最上面を第一部分と第二部分に区分する少なくとも１つの開口部を含んでいる、前記最上面と、
   該最上面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の最上面シーリング部材であって、各最上面シーリング部材が該最上面の該第二部分に相対して該最上面の該第一部分の移動を吸収する、前記最上面シーリング部材と、
   を備えているロードロックチャンバ。
2. 該ロードロックチャンバが、該本体の該シーリング表面壁内の該開口部を密閉しシールするように適合したロードロックドアを更に備えている、請求項１記載のロードロック。
3. 該ロードロックドアが該シーリング表面壁の該シーリング表面に対して接触しシールするように適合したシーリング部材を含み、
   該最上面の該第一部分が該シーリング表面壁と接触している、
   請求項２記載のロードロックチャンバ。
4. 該１つ以上の最上面シーリング部材が、該最上面の該第一部分と該シーリング表面壁の移動を減少させて該ロードロックドアの該シーリング部材の摩耗を減少させる、請求項３記載のロードロックチャンバ。
5. 該ロードロックドアが、該シーリング表面壁と移動するように適合している、請求項３記載のロードロックチャンバ。
6. 該最上面の該１つ以上の開口部が、該最上面内に形成された１つ以上のスロットを含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
7. 該最上面が、
   フレームと、
   該フレーム内に配置された挿入部と、
   を含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
8. 該フレームがステンレス鋼を含み、該挿入部がアルミニウムを含んでいる、請求項７記載のロードロックチャンバ。
9. 該最上面の該１つ以上の開口部が該フレーム内に形成されている、請求項７記載のロードロックチャンバ。
10. 該本体に結合した底面であって、該底面が該底面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる、前記底面と、
    該底面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の底面シーリング部材であって、各底面シーリング部材が該底面の該第二部分に相対して該底面の該第一部分の移動を吸収する、前記底面シーリング部材と、
    を更に含む、請求項１記載のロードロックチャンバ。
11. 該ロードロックチャンバが、該本体の該シーリング表面壁内の該開口部を密閉しシールするように適合したロードロックドアを更に備えている、請求項１０記載のロードロックチャンバ。
12. 該ロードロックドアが該シーリング表面壁の該シーリング表面に対して接触しシールするように適合したシーリング部材を含み、
    該底面の該第一部分が該シーリング表面壁と接触している、
    請求項１１記載のロードロックチャンバ。
13. 該１つ以上の底面シーリング部材が該底面の該第一部分と該シーリング表面壁の移動を減少させて該ロードロックドアの該シーリング部材の摩耗を減少させる、請求項１２記載のロードロックチャンバ。
14. 該ロードロックドアが該シーリング表面壁と移動するように適合している、請求項１３記載のロードロックチャンバ。
15. 該底面の該１つ以上の開口部が該底面内に形成された１つ以上のスロットを含んでいる、請求項１０記載のロードロックチャンバ。
16. 該底面が、
    フレームと、
    該フレーム内に配置された挿入部と、
    を含んでいる、請求項１０記載のロードロックチャンバ。
17. 該フレームがステンレス鋼を含み、該挿入部がアルミニウムを含んでいる、請求項１６記載のロードロックチャンバ。
18. 該底面の該１つ以上の開口部が該フレーム内に形成されている、請求項１６記載のロードロックチャンバ。
19. 複数の積重ねたロードロックチャンバを備えているロードロックシステムであって、各ロードロックチャンバが、
    シーリング表面を含み、基板を導入するか又は取出すように適合した該シーリング表面に隣接した開口部と、複数の側壁とを有する少なくとも１つのシーリング表面壁を有する本体と、
    該本体に結合した最上面であって、該最上面が該最上面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる、前記最上面と、
    該最上面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の最上面シーリング部材であって、各最上面シーリング部材が該最上面の該第一部分に相対して該最上面の該第一部分の移動を吸収する、前記最上面シーリング部材と、
    該本体に結合した底面であって、該底面が該底面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる、前記底面と、
    該底面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の底面シーリング部材であって、各底面シーリング部材が、該底面の該第二部分に相対して該底面の該第一部分の移動を吸収する、前記底面シーリング部材と、
    を有する、前記ロードロックシステム。
20. 該最上面が、
    フレームと、
    該フレーム内に配置された挿入部と、
    を含む、請求項１９記載のロードロックチャンバ。
21. 該底面が、
    フレームと、
    該フレーム内に配置された挿入部と、
    を含む、請求項２０記載のロードロックチャンバ。
22. ロードロックチャンバの主本体に結合するように適合した最上面であって、該最上面が該最上面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる、前記最上面と、
    該最上面の各開口部を覆うように適合した１つ以上の最上面シーリング部材であって、各最上面シーリング部材が該最上面の該第二部分に相対して該最上面の該第一部分の移動を吸収する、前記最上面シーリング部材と、
    を備えている装置。
23. 該最上面の該第一部分が、該最上面が該主本体に結合している場合に該ロードロックチャンバの該主本体のシーリング表面壁と接触するように適合している、請求項２２記載の装置。
24. 該最上面が、
    フレームと、
    該フレーム内に配置された挿入部と、
    を含んでいる、請求項２３記載の装置。
25. ロードロックチャンバの主本体に結合するように適合した底面であって、該底面が該底面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる、前記底面と、
    該底面の各開口部を覆うように１つ以上の底面シーリング部材であって、各底面シーリング部材が該底面の該第一部分に相対して該底面の該第一部分の移動を吸収する、前記底面シーリング部材と、
    を備えている装置。
26. 該底面が該主本体に結合している場合に該底面の該第一部分が該ロードロックチャンバの該主本体のシーリング表面壁と接触するように適合している、請求項２５記載の装置。
27. 該底面が、
    フレームと、
    該フレーム内に配置された挿入部と、
    を含んでいる、請求項２６記載の装置。
28. 第一端と、
    第二端と、
    該第一端近傍に形成された第一スロットと、
    該第一スロットを覆う第一シーリング部材と、
    該第二端近傍に形成された第二スロットと、
    該第二スロットを覆う第二シーリング部材と、
    フレーム内に配置された挿入部と、
    を有するフレームを含んでいるロードロックチャンバの最上面を備え、
    該第一シーリング部材と該第二シーリング部材は、該ロードロックチャンバの最上面の移動を吸収するように適合されている装置。
29. 該フレームがステップを含み、
    該挿入部が該ステップ内に取付けている外部フランジを含んでいる、
    請求項２８記載の装置。
30. 第一端と、
    第二端と、
    該第一端近傍に形成された第一スロットと、
    該第一スロットを覆う第一シーリング部材と、
    該第二端近傍に形成された第二スロットと、
    該第二スロットを覆う第二シーリング部材と、
    フレーム内に配置された挿入部と、
    を有するフレームを含んでいるロードロックチャンバの底部を備え、
    該第一シーリング部材と該第二シーリング部材は、該ロードロックチャンバの底面の移動を吸収するように適合されている装置。
31. 該フレームがステップを含み、
    該挿入部が該ステップ内に取付けている外部フランジを含んでいる、
    請求項３０記載の装置。
32. 第一端と、
    第二端と、
    該第一端近傍に形成された第一スロットと、
    該第一スロットを覆う第一シーリング部材と、
    該第二端近傍に形成された第二スロットと、
    該第二スロットを覆う第二シーリング部材と、
    を有するフレームを備え、
    該第一シーリング部材と該第二シーリング部材は、該フレームの移動を吸収するように適合されている装置であって、
    該フレームが挿入部を収容してロードロックチャンバの底面又は最上面を形成するように適合している、前記装置。
33. 第一端と、
    第二端と、
    該第一端近傍に形成された第一スロットと、
    該第一スロットを覆う第一シーリング部材と、
    該第二端近傍に形成された第二スロットと、
    該第二スロットを覆う第二シーリング部材と、
    を有するフレーム内に取付ける大きさをした挿入部を備え、
    該第一シーリング部材と該第二シーリング部材は、該フレームの移動を吸収するように適合されている装置であって、
    該挿入部が該フレーム内に配置される場合に該挿入部と該フレームがロードロックチャンバの底面又は最上面を形成している、前記装置。
34. ロードロックチャンバの最上面をエッジ部と中心部に区分するスロットを覆う大きさをした可撓性シーリング要素を備えている装置であって、
    該可撓性シーリング要素が該最上面の該中心部に相対して該最上面の該エッジ部の移動を吸収するように適合している、前記装置。
35. 該可撓性シーリング要素がゴムを含んでいる、請求項３４記載の装置。
36. 該可撓性シーリング要素がフルオロエラストマーを含んでいる、請求項３４記載の装置。
37. 該可撓性シーリング要素が金属を含んでいる、請求項３４記載の装置。
38. ロードロックチャンバの底面をエッジ部と中心部に区分するスロットを覆う大きさをした可撓性シーリング要素を備えている装置であって、
    該可撓性シーリング要素が該底面の該中心部に相対して該底面の該エッジ部の移動を吸収するように適合している、前記装置。
39. 該可撓性シーリング要素がゴムを含んでいる、請求項３８記載の装置。
40. 該可撓性シーリング要素がフルオロエラストマーを含んでいる、請求項３８記載の装置。
41. 該可撓性シーリング要素が金属を含んでいる、請求項３８記載の装置。
42. 第一ロードロックチャンバをシールする方法であって、
    最上面の中心部と該第一ロードロックチャンバのシーリング表面壁間の隙間を画成して該上部の該中心部の移動によって引き起こされる該シーリング表面壁の移動を減少させるステップと、
    該隙間を可撓性隙間シーリング部材でシールするステップと、
    を含む、前記方法。
43. 該最上面の該中心部の移動によって引き起こされる該シーリング表面壁の移動を減少させるステップが、ロードロックドアがガスケットによって該シーリング表面に対してシールされる場合にロードロックドアのガスケットと該ロードロックチャンバの該シーリング表面壁間の摩擦を減少させる工程を含んでいる、請求項４２記載の方法。
44. 隙間を画成するステップが、該最上面を通って伸長する隙間を形成する工程を含み、
    該隙間をシールするステップが、第一シーリング部材を用いて該最上面の上部表面をシールする工程と第二シーリング部材を用いて該最上面の底部表面をシールする工程を含んでいる、請求項４２記載の方法。
45. 該第一シーリング部材と第二シーリング部材間の領域を真空にするステップを更に含む、請求項４３記載の方法。
46. シーリング表面を含み、基板を導入するか又は取出すように適合した該シーリング表面に隣接した開口を有する少なくとも１つのシーリング表面壁、複数の側壁、を有する本体と、
    該本体に結合した最上面であって、該最上面が該最上面を第一部分と第二部分に区分する１つ以上の開口部を含んでいる、前記最上面と、
    該最上面の各開口部を覆うように適合した１つ以上のシーリング部材であって、各最上面シーリング部材が該最上面の該第二部分に相対して該最上面の該第一部分の移動を吸収する、前記最上面シーリング部材と、
    を含むロードロックチャンバを準備するステップと、
    基板を該ロードロックチャンバ内に保管するステップと、
    該基板を該ロードロックチャンバから処理チャンバへ搬送するステップと、
    該基板を該処理チャンバ内で処理するステップと、
    を含む方法。
47. 該基板を該ロードロックチャンバから該処理チャンバへ搬送するステップが、該基板を該ロードロックチャンバから搬送チャンバへと該搬送チャンバから該処理チャンバへ搬送する工程を含んでいる、請求項４６記載の方法。
48. 該基板を該処理チャンバから該ロードロックチャンバへ逆に搬送する工程を更に含んでいる、請求項４６記載の方法。
49. 該基板がフラットパネルディスプレイのガラス基板である、請求項４８記載の方法。
50. 該基板がフラットパネルディスプレイのポリマー基板である、請求項４８記載の方法。

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