JP3769741B2 - オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 - Google Patents
オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3769741B2 JP3769741B2 JP29527295A JP29527295A JP3769741B2 JP 3769741 B2 JP3769741 B2 JP 3769741B2 JP 29527295 A JP29527295 A JP 29527295A JP 29527295 A JP29527295 A JP 29527295A JP 3769741 B2 JP3769741 B2 JP 3769741B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- adsorber
- concentration
- flow rate
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、オゾン濃縮貯蔵装置に係わり、更に詳しくは、オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
パルプの漂白、水処理における殺菌や脱臭、下水処理における有機物の分解等に、従来の塩素等に代えて安全性の高いオゾンの利用が進められている。図3(A)は、従来の間欠オゾン供給装置の一例を示す構成図であり、オゾン発生機1により酸素供給源2から供給された酸素によりオゾンを発生させ、余剰酸素を循環ブロア3でオゾン発生機1へ再循環させて、脱吸着塔4にオゾンを吸着させ、次いで、切換弁8を切り換えて、加熱源6により脱吸着塔4からオゾンを脱着させて水流エゼクタ7等に供給し水処理等を行うようになっている。なお、この図において、5は冷却源、6は加熱源、であり、吸着時には冷却源5により脱吸着塔4を冷却し、脱着時には加熱源6により加熱するようになっている。また、脱吸着塔4には吸着剤として一般にシリカゲルが用いられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のオゾン供給装置では、図3(B)に模式的に示すように、脱着の初期には高濃度のオゾンが脱着されるが、時間の経過と共に漸次減少するため、安定した処理ができない問題点があり、この問題を解決するために、特公昭63−56163号,特公平2−284号等の間欠オゾン供給装置が提案されている。
【0004】
特公昭63−56163号の間欠オゾン供給装置は、図4(A)に示すように、脱着管路に脱着量を制御する流量調節弁9aを設けたものであり、特公平2−284号の間欠オゾン供給装置は、図4(B)に示すように、脱着管路に、主管路の切換弁8aと並列に、流路抵抗9bと切換弁8bを備えたバイパス回路を設け、初期の脱着動作時にバイパス回路を開き、次に時間遅れを持たせて主回路を開くものである。
【0005】
しかし、これらのオゾン供給装置では、脱着管路を流れる流量の調節によりオゾン濃度を調節するため、流量変化でオゾン濃度を調節するものであった。すなわち、上水処理やパルプ漂白等のオゾンの利用分野では、オゾンガスの濃度と流量の両方を一定にしたり、一方(流量)を一定にし、他方(オゾン濃度)を変化させて運転することが要望される。
【0006】
本発明はかかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、オゾンガスの濃度と流量の両方を制御できるオゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンを排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置において、反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させる脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈ガスを供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置が提供される。
【0008】
この構成によれば、脱着量制御装置により必要とするオゾン量を脱着させ、キャリアガスと共にオゾンを高濃度でオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガスを供給して必要な濃度に希釈することにより、必要な濃度と流量のオゾンガスを反応器に供給することができる。
【0009】
本発明の好ましい実施形態によれば、更に、反応器にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインの流量を制御する流量調節弁を備える。この流量調節弁を備えることにより、オゾン吸着器で脱着されたオゾン量や希釈ガスの流量に変動があっても、常に安定して所望の流量を反応器に供給することができる。
【0010】
また、本発明によれば、酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法において、反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンクに貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御する、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法が提供される。
【0011】
この方法によれば、反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させるので、余分なオゾン量の脱着がなく、吸着したオゾンを有効に利用することができる。また、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガスを供給して必要な濃度に希釈するので、オゾンタンク内に所望のオゾン濃度のオゾンガスを貯蔵し、所望の流量で外部の反応器に供給することができる。
【0012】
また、本発明の好ましい実施形態によれば、前記脱着量制御装置は、所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出し、該オゾン量を脱着するようにオゾン吸着器の温度と圧力を制御する。この方法により、必要とするオゾン量だけを正確に脱着させることができ、安定した濃度と流量のオゾンガスを供給することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付して使用する。
図1は、本発明によるオゾン濃縮貯蔵装置の構成図である。この図において、本発明によるオゾン濃縮貯蔵装置は、酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器10と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器12と、オゾン吸着器12にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ライン14と、を備えている。また、オゾン発生器10の出口とオゾン吸着器12の入口を結ぶ吸着ライン11aには、ポンプ13と切換弁15aが設けられ、オゾン吸着器12の出口とオゾン発生器11の入口を結ぶ再循環ライン11bには切換弁15bが設けられている。
【0014】
オゾン排出ライン14は、オゾン吸着器12にキャリアガスを供給するキャリアガスライン14aと、オゾン吸着器12から後述するオゾンタンク20にオゾンガスを供給するオゾンガスライン14bとからなる。キャリアガスライン14aには、切換弁16a、流量調節弁17a、及び流量制御器18aが設けられ、流量制御器18aによりキャリアガスライン13aの流量を検出し流量調節弁17aを制御するようになっている。
【0015】
オゾンガスライン14bには、切換弁16b、オゾン吸着器12の温度を調節する温度調節器17b、オゾン吸着器12の温度を検出して温度調節器17bを制御する温度制御器18b、オゾン吸着器12の圧力を調節する圧力調節器17c、オゾン吸着器12の圧力を検出し圧力調節器17cを制御する圧力制御器18c、及びオゾン吸着器12を出たオゾンガスの濃度を検出する濃度検出器18d、が設けられている。
【0016】
上述した構成により、吸着工程において、切換弁16a,16bを閉じ、切換弁15a,15bを開いて、酸素供給源(図示せず)から供給された酸素によりオゾン発生器10でオゾンを発生させ、余剰酸素をオゾン発生器10へ再循環させながら、オゾン吸着器12内の吸着剤にオゾンを吸着させることができる。
【0017】
図1のオゾン濃縮貯蔵装置は更に、オゾンを消費する外部の反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器12で脱着させる脱着量制御装置19と、脱着したオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンク20と、オゾンタンク20に希釈ガスを供給する希釈ガスライン22と、希釈ガスライン22の流量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置24と、を備えている。
【0018】
希釈ガスライン22には、切換弁16c、流量調節弁17e、及び流量制御器18eが設けられ、流量制御器18eにより希釈ガスライン22の流量を検出し流量調節弁17eを制御するようになっている。更に、オゾンタンク20から反応器にオゾンガスを供給するオゾン供給ライン23に流量を制御する流量調節弁17fと、流量制御器18fが設けられている。また、オゾンタンク20内のオゾン濃度を検出する濃度検出器18gが設けられている。
【0019】
脱着量制御装置19は、反応器が要求する所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出し、このオゾン量を脱着するように温度制御器18bによりオゾン吸着器12の温度を調節し、圧力制御器18cにより圧力を制御するようになっている。また、この脱着量制御装置19は、発生したオゾンをオゾン吸着器12から排出してオゾンタンク20に導入するために必要なキャリアガスの流量を算出し、流量制御器18aによりこれを調節する。このキャリアガスの流量は後述する希釈ガスによる濃度調節のためにできるだけ少なく設定するのがよい。この構成により、脱着量制御装置19により、反応器20が要求する必要なオゾン量を脱着させることができる。なお、脱着したオゾンガスの濃度は、濃度検出器18dにより検出され、希釈制御装置24による制御に用いられる。
【0020】
次に上述したオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法を説明する。
まず、脱着量制御装置19により、反応器で必要なオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出し、このオゾン量を脱着するように温度制御器18bと圧力制御器18cによりオゾン吸着器12の温度と圧力を制御する。オゾン吸着器12にはシリカゲル(好ましくは高純度シリカゲル)が充填されており、オゾン吸着器12の圧力を上げ、温度を下げることによりオゾンを吸着させ、逆に圧力を下げ、温度を上げることによりオゾンを脱着させることができる。また、この圧力と温度の調節によりオゾンの脱着量を制御することができる。
【0021】
次いで、流量制御器18aによりキャリアガスライン14aから少量のキャリアガス(この図では窒素ガス)を供給して、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンクに貯蔵する。同時に、濃度検出器18gによりオゾンタンク20内のオゾン濃度を検出し、かつオゾンタンク20に希釈ガス(この図では窒素ガス)を供給して所望のオゾン濃度に制御する。
【0022】
希釈ガスの流量は、定常状態では、反応器で必要な流量から、オゾンの脱着量とキャリアガスを引いた量であるが、負荷に変動がある場合には、濃度検出器18gによりオゾンタンク20内のオゾン濃度を検出し、これを所望の濃度になるように希釈ガスの流量を増減させて制御するのがよい。また、上述した制御により、反応器に供給されるオゾンガスの流量は、オゾンの脱着量とキャリアガス及び希釈ガスの総和として一義的に決まるが、負荷に変動がある場合には、オゾンの濃度を制御するのがよい。
【0023】
【実施例】
図2は、吸着剤としてシリカゲルを用いた場合の吸着・脱着試験結果の一例である。図2(A)は、吸着工程におけるオゾン吸着器の出口におけるオゾン濃度の時間変化を示しており、この図から、温度が低いほど、オゾン吸着器の出口でオゾンが検出されるまでの時間が長く、大量にオゾンを吸着することができることがわかる。例えば、吸着容量は、25℃では約6〜7kg/m3 であるが、−10℃では12kg/m3 以上となり、低温ほど大量のオゾンを吸着できることがわかる。
【0024】
図2(B)は、脱着工程におけるオゾン濃度の時間変化を示しており、この図から、キャリアガスの流量が少ないほど高濃度のオゾンを長時間持続できることがわかる。
【0025】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できることは勿論である。例えば、上述した実施形態では、オゾン吸着器は1台であり、オゾンの吸着/脱着が間欠的に行われるが、本発明はこれに限定されず、2台以上のオゾン吸着器を用いて、実質的に連続運転してもよい。また、キャリアガスと希釈ガスに、窒素ガスを用いているが、酸素、乾燥空気、等を用いてもよい。
【0026】
【発明の効果】
上述した本発明のオゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法により、脱着量制御装置により必要とするオゾン量を脱着させ、キャリアガスと共にオゾンを高濃度でオゾンタンクに貯蔵し、このオゾンタンクに希釈ガスを供給して必要な濃度に希釈することにより、必要な濃度と流量のオゾンガスを外部の反応器に供給することができる。また、流量調節弁を備えることにより、オゾン吸着器で脱着されるオゾン量や希釈ガスの流量に変動がある場合でも、常に安定して所望の流量を反応器に供給することができる。更に、反応器で必要とするオゾン量だけをオゾン吸着器で脱着させるので、余分なオゾン量の脱着がなく、吸着したオゾンを有効に利用することができ、安定した濃度と流量のオゾンガスを供給することができる。
【0027】
従って、本発明のオゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法は、オゾンガスの濃度と流量の両方を制御できる優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるオゾン濃縮貯蔵装置の構成図である。
【図2】吸着剤としてシリカゲルを用いた場合の吸着・脱着試験結果の一例である。
【図3】従来のオゾン濃縮貯蔵装置の構成図とその特性図である。
【図4】従来のオゾン濃縮貯蔵装置の別の構成図である。
【符号の説明】
10 オゾン発生器
12 オゾン吸着器
14 オゾン排出ライン
19 脱着量制御装置
20 オゾンタンク
22 希釈ガスライン
24 希釈制御装置
Claims (4)
- 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンを排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置において、
反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させる脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈ガスを供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置。 - 更に、反応器にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインの流量を制御する流量調節弁を備える、ことを特徴とする請求項1に記載のオゾン濃縮貯蔵装置。
- 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法において、
反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンクに貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御する、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法。 - 所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出し、該オゾン量を脱着するようにオゾン吸着器の温度と圧力を制御する、ことを特徴とする請求項3に記載のオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29527295A JP3769741B2 (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29527295A JP3769741B2 (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09142807A JPH09142807A (ja) | 1997-06-03 |
JP3769741B2 true JP3769741B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=17818454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29527295A Expired - Fee Related JP3769741B2 (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3769741B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4545481B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-09-15 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置 |
JP5020151B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2012-09-05 | 三菱電機株式会社 | オゾン製造装置およびオゾン製造方法 |
JP2010042331A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Kyuchaku Gijutsu Kogyo Kk | 圧力スイング吸着法によるオゾン製造装置を搭載したバラスト水処理装置 |
JP5206547B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2013-06-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン製造装置およびオゾンを製造する方法 |
JP5189033B2 (ja) * | 2009-06-17 | 2013-04-24 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給方法 |
WO2020245885A1 (ja) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 |
WO2022208842A1 (ja) * | 2021-04-01 | 2022-10-06 | 三菱電機株式会社 | 殺菌装置および殺菌方法 |
WO2024241375A1 (ja) * | 2023-05-19 | 2024-11-28 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 |
WO2024252626A1 (ja) * | 2023-06-08 | 2024-12-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給システムおよびオゾン供給方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58213602A (ja) * | 1982-06-04 | 1983-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 間欠オゾン供給装置 |
DE3434169C2 (de) * | 1984-09-18 | 1987-01-02 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur Gewinnung von Ozon |
JPH0321317A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-30 | Tokico Ltd | 気体分離装置 |
JP2722711B2 (ja) * | 1989-09-14 | 1998-03-09 | 石川島播磨重工業株式会社 | オゾン供給装置 |
JPH0378024U (ja) * | 1989-11-28 | 1991-08-07 | ||
JP2910776B2 (ja) * | 1990-03-19 | 1999-06-23 | トキコ株式会社 | 高圧気体製造装置 |
JPH03290305A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-20 | Energy Support Corp | オゾン濃度調節装置 |
JP2929039B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1999-08-03 | 行広 河野 | 給水管の洗浄方法 |
JP2646455B2 (ja) * | 1992-01-27 | 1997-08-27 | 鐘紡株式会社 | 窒素ガス分離方法 |
JPH05221610A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-08-31 | Meidensha Corp | オゾン発生装置 |
JPH0651244U (ja) * | 1992-09-25 | 1994-07-12 | 日本セラミック株式会社 | オゾン発生器 |
JPH0731825A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Tokico Ltd | 気体分離装置 |
CA2186976C (en) * | 1995-02-06 | 2001-09-04 | Hiroshi Sanui | Ozone enriching method |
JPH08245202A (ja) * | 1996-01-31 | 1996-09-24 | Nippon Sanso Kk | 高濃度オゾンの供給装置 |
-
1995
- 1995-11-14 JP JP29527295A patent/JP3769741B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09142807A (ja) | 1997-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7258725B2 (en) | Gas supplying method and system | |
JP3769741B2 (ja) | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 | |
US6344130B1 (en) | Method for continuously generating highly concentrated ozone gas | |
JP2010194533A (ja) | ガス混合物の分離方法 | |
WO1996024554A1 (fr) | Procede d'enrichissement en ozone | |
JP3769742B2 (ja) | オゾン発生装置の制御方法 | |
US5344474A (en) | Gas separation device | |
CN112203974B (zh) | 臭氧供给装置及臭氧供给方法 | |
WO2024127482A1 (ja) | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 | |
JPS61254220A (ja) | Co2除去装置 | |
JP7008125B2 (ja) | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 | |
JP7203293B1 (ja) | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 | |
EP4342571A1 (en) | Gas separation facility and gas separation method | |
JP7024916B1 (ja) | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 | |
JPH1143309A (ja) | オゾン製造装置 | |
JPS6356163B2 (ja) | ||
JP4126766B2 (ja) | オゾン吸脱着装置 | |
JP4003097B2 (ja) | オゾン吸脱着装置 | |
KR102447522B1 (ko) | 산소 발생 장치 | |
JP4354428B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2006272187A (ja) | 排ガス処理装置 | |
JP2000237315A (ja) | 医療用圧力変動吸着型酸素濃縮装置 | |
CN113614031A (zh) | 臭氧供给装置以及臭氧供给方法 | |
JPH1192107A (ja) | オゾン吸脱着装置とその脱着濃度制御方法 | |
JPH08117338A (ja) | 医療用空気乾燥装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050301 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060129 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090217 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110217 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |